DE911878C - Magnetische Elektronenlinse, insbesondere fuer Elektronenmikroskope - Google Patents

Description

Ein Elektronenstrahl kann unter Zuhilfenahme eines homogenen Magnetfeldes, dessen Kraftlinien senkrecht zum Strahl gerichtet sind, kreisförmig abgelenkt werden. Es ist bekannt, daß ein solches Feld in radialer Richtung eine fokussierende Wirkung auf den Elektronenstrahl hat. Bei gewissen Elektronenspektrometern wird diese Wirkung benutzt.

Gemäß der Erfindung wird ein Magnetfeld, dessen Kraftlinien im wesentlichen quer zu den Bahnen der geladenen Teilchen gerichtet sind, für vollständige Fokussierung verwendet. Die Erfindung bezieht sich auf eine magnetische Linse für Elektronen oder andere sich bewegende, geladene Teilchen, die weiter Querfeldlinse genannt wird, von der eine der beiden Polflächen ein Sektor mit einem Winkel (Linsenwinkel) von maximal 270⁰ einer Umdrehungsfläche ist.

Die andere Polfläche kann das Spiegelbild der ersten- sein gegenüber einer zur Umdrebungsachse so senkrechten Ebene (Äquatorialebene), die eine der Tangenten der Erzeugenden der Umdrebungsfläche unter einem Winkel von 30⁰ oder weniger schneidet, in einem Abstand von der Umdrehungsachse gleich dem des Berührungspunktes. Aus Sym- as metriegründen kann die erwähnte flache Ebene selbst die Gegenpolfläche bilden. Dies ist wegen der kleineren Linsenöffnung weniger vorteilhaft als ersteres, ist jedoch eine Form, in der die Erfindung Anwendung finden kann.

Wie aus den weiteren Erläuterungen hervorgeht, entsteht eine Linse mit besonderen Eigenschaften,

wenn die Erzeugende der Umdrehungsfläche ein Teil einer Parabel ist, deren Spitze in der Umdrehungsachse liegt. Jede Tangente dieser Kurve schneidet die Äquatorialebene in einem Punkt, dessen Abstand von der Umdrehungsachse gleich dem des Berührungspunktes ist.

Mit praktisch hinreichender Annäherung kann die Parabel jedoch durch eine Tangente ersetzt werden, die der Umdrehungsfläche die Gestalt einer ίο Kegelfläche erteilt. Die Tangente, die in bezug auf ihre Neigung gegenüber der Äquatorialebene und ihren Schnittpunkt mit dieser Ebene die vorstehende Bedingung erfüllt, deckt sich in diesem Falle mit der Erzeugenden.

Die optische Achse der Linse nach der Erfindung ist ein Kreisbogen, dessen Mittelpunkt in der Umdrehungsachse liegt und dessen Radius von der magnetischen Feldstärke und der Geschwindigkeit der Teilchen abhängig ist. Bei einer Linse mit kegelförmigen Polflächen hat die Größe dieses Radius einen Einfluß auf den Astigmatismus der Linse. Dieser ist dann minimal, wenn der gegenseitige Abstand der Polflächen an der optischen Achse das Zweifache des Abstands ihrer Schnittpunkte mit der Umdrehungsachse (der Kegelspitzen) ist.

Die Stärke der Linse wird unter anderem von der Größe des Linsenwinkels bedingt. Zum Erhalten einer starken Linse geeignete Werte dieses Winkels liegen zwischen 120 und 135⁰'. Die maximale Linsenstärke ergibt sich bei einem Linsenwinkel von 127 V4⁰.

Eine magnetische Elektronenlinse, deren Kraftlinien sich im wesentlichen in der Richtung der Elektronenbahnen erstrecken (Längsfeldlinse), durch einen Dauermagneten zu erregen, ist nur zweckmäßig, wenn die Elektronen eine Geschwindigkeit haben, die wesentlich geringer ist als die, mit der bei Elektronenmikroskopen meistens gearbeitet wird. Da die Querfeldlinse für eine gleiche fokussierende Wirkung eine wesentlich geringere magnetomotorische Kraft erfordert, kommt Erregung durch Dauermagnetismus in diesem Falle auch bei viel größeren Elektronengeschwindigkeiten in Betracht. Dies bedeutet eine Vereinfachung der Bauart (kein Erregerstromkreis und keine Kühlung) und weniger Verluste.

Das optisch wirksame Feld einer Elektronenlinse muß sich in einem entlüfteten Raum befinden. Die Erregerwicklung der radialsymmetrischen Längsfeldlinse kann leicht außerhalb des entlüfteten Raumes angeordnet werden, der dabei von dem Zylinderjoch umschlossen wird. Die Form der Querfeldlinse eignet sich weniger gut für eine entsprechende Anordnung. Es ist leichter, diese Linse als Ganzes im Vakuum anzuordnen; bei Verwendung eines Dauermagneten treten die dem Anbringen einer Erregerwicklung im Vakuum anhaftenden Nachteile nicht auf.

Da der Krümmungsradius der optischen Achse . der Querfeldlinse sich mit der Geschwindigkeit der geladenen Teilchen ändert, verschiebt sich das von dieser Linse erzeugte Bild, wenn sich die Beschleunigungsspannung ändert. Diese Eigenschaft der Querfeldlinse kann zum Abtasten des Bildes benutzt werden. Diese Eigenschaft ist jedoch nachteilig, wenn die Ouerfeldlinse als elektronenoptisches System bei einem Elektronenmikroskop verwendet wird, dessen Betriebsspannung nicht hinreichend konstant ist. Dieser Nachteil kann dadurch verringert werden, daß das Mikroskop mit einem System zweier oder mehrerer Querfeldlinsen versehen wird, die nacheinander vom Elektronenstrahl durchlaufen werden und diesen in der gleichen Ebene und in gleichem Sinne abbiegen. Diese Linsen können gegeneinander und dem Gegenstand gegenüber derart angeordnet sein, daß das vom Linsensystem erzeugte Endbild keine oder nahezu keine chromatische Verschiebung erleidet.

Bei einem auf besondere Weise eingerichteten Elektronenmikroskop nach der Erfindung richtet das elektronenoptische Linsensystem den Elektronenstrahl auf den von den Elektroden des Elektronenerzeugers gebildeten Spiegel, der das Bild, auf das der so gerichtete Strahl fokussiert ist, vergrößert wiedergibt.

Es ist zweckdienlich, die Polschuhe zweier oder mehrerer Querfeldlinsen durch ein gemeinsames Joch zu verbinden. In baulicher Hinsicht bilden die zusammenarbeitenden Linsen dann ein Ganzes.

Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung beispielsweise näher erläutert.

Fig. ι dient zur Erläuterung der fokussierenden Wirkung, die ein homogenes Magnetfeld auf Elektronenbahnen ausübt, indem

Fig. 2 ein Polschuh einer Querfeldlinse mit angedeuteten Elektronenbahnen darstellt;

Fig. 3 ist ein Schnitt längs der Ebene HI-III durch die Ouerfeldlinse, zu der der Polschuh nach Fig. 2 gehört;

Fig. 4 ist eine schematische Darstellung der Anordnung zweier Querfeldlinsen in einem Elektronenmikroskop nach der Erfindung.

In Fig. ι stellt der schraffierte Teil ein homogenes Magnetfeld dar, dessen Kraftlinien sich senkrecht zur Zeichnungsehene erstrecken. Zwei in dieser Ebene liegende Elektronenbahnen 1 und 2 treten in das Feld unter einem Winkel von 90'°' mit der Grenzebene 3 des Magnetfeldes hinein. Sie werden im Feld von der Lorenzkraft kreisförmig abgelenkt und verlassen das Feld wieder als parallele Linien. Die Kreisbogen schneiden einander im Punkt 4. Ist die Grenzfläche 3 nicht flach, sondern derart gekrümmt oder gebrochen, daß die Elektronen im Feld einen von i8ö° verschiedenen Bogen beschreiben, so verlassen die ursprünglich parallelen Elektronenbahnen das Feld unter einem Winkel zueinander. Auf diese Weise entsteht eine Fokussierung, die nur für Elektronenbahnen in einer die Kraftlinien senkrecht schneidenden Ebene gilt.

Werden die Polflächen, zwischen denen die Elektronenbahnen sich erstrecken, nicht flach gewählt, sondern gemäß der Erfindung in der Form von Umdrehungsflächen, so entsteht zwischen diesen Polflächen ein inhomogenes Magnetfeld.

Erstrecken sich diese Polflächen über einen Sektor von 270⁰ oder weniger, so kann ein Elektronenstrahl tangential in dieses Feld geschickt werden. Auf diesen Strahl wirkt das Feld sowohl in axialer als auch in radialer Richtung fokussierend. Auf, diese Weise entsteht also eine Linse.

In Fig. 2 bezeichnet 5 einen Polschuh einer solchen Querfeldlinse, in Richtung der Umdrehungsachse 6 gesehen. In Fig. 3 sind die beiden Polschuhe 5 und 7 in einem Schnitt mit der Ebene III-III durch die Achse 6 dargestellt. Der Querschnitt der Polflächen 8 und 9 ist eine Parabel, deren Scheitel 10 auf der Achse 6 liegt.

Die beiden Polschuhe sind aus ferromagnetischem Material hergestellt und bilden ein Magnetsystem. Sie sind durch ein (nicht dargestelltes) Joch miteinander verbunden, das von einer Erregerwicklung umfaßt wird oder aus einem Dauermagneten besteht. Hat das System in 7 einen Nordao pol, so liegt in 5 ein Südpol. Im Raum zwischen diesen Polen, durch den ein Strahl geladener Teilchen hindurchgeschickt wird, ist ein inhomogenes Magnetfeld vorhanden. Der stark gekrümmte Teil der Polflächen in der Nähe der Achse 6, der außer- »5 halb des optisch wirksamen Linsenbereichs liegt, ist abgeschnitten.

In der Äquatorialebene 11, die die magnetischen Kraftlinien senkrecht schneidet, durchläuft einer der in tangentialer Richtung in das Feld eintretenden Teilchen einen Kreisbogen um die Achse 6. Dieser ist als die optische Achse der Linse zu betrachten und mit 12 bezeichnet. Die Bahnen 13 und 14, die, bevor sie in die Linse eintreten, parallel zur optischen Achse 12 und beiderseits derselben verlaufen, werden im Magnetfeld derart abgelenkt, daß sie die Achse 12 im Punkt 15 schneiden. Dieser Punkt, der im dargestellten Beispiel auf der Grenze des Feldes liegt, ist der Brennpunkt der Linse.

Bahnen, die sich in der durch die optische Achse 12 gehenden Fläche senkrecht zur Äquatorialebene erstrecken und die, bevor sie in die Linse hineintreten, parallel sind, werden gleichfalls im inhomogenen Magnetfeld derart abgelenkt, daß sie die Achse 12 im Punkt 15 schneiden. Es erfolgt also vollständige Fokussierung, und zwar ist um jeden Punkt der optischen Achse die fokussierende Wirkung in zwei zueinander senkrechten Richtungen gleich.

Eine für praktische Zwecke meistens hinreichende Fokussierung entsteht, wenn der parabolische Schnitt der Polflächen durch gerade Linien 16 und 17 ersetzt wird, d. h. wenn die Polflächen kegelförmig gemacht werden. Der infolge dieser Annäherung entstehendeAstigmatismus wird minimal, wenn an der optischen Achse 12 der Abstand zwischen diesen Linien das Zweifache des Abstandes zwischen ihren Schnittpunkten mit der Umdrehungsachse 6 ist, also wenn a = 2 b ist. Die Geraden 16 und 17 sind Tangenten der parabolischen Linien 8 und 9 in den Punkten 34 und 35.

Die Stelle der optischen Achse, d. h. der Radius der Bahn in der Äquatorialebene, die kreisförmig abgelenkt wird, hängt von der magnetischen Feldstärke und von der Geschwindigkeit der Teilchen ab. Wird die die Teilchen beschleunigende Spannung größer, so vergrößert sich auch der Radius dieser Bahn, und die optische Achse verschiebt sich z. B. zu den Kreisbogen 18 hin. Die Bahnen 13 und 14, die beide auf derselben Seite der neuen optischen Achse liegen, werden anders abgelenkt, so daß sie die Achse 18 am Punkt 19 schneiden. Daraus erfolgt, daß bei Änderung der Beschleunigungsspannung das von der Querfeldlinse entworfene Bild sich verschiebt. Bei einer Querfeldlinse mit kegelförmigen Polflächen beeinflußt diese Änderung außerdem die Bildschärfe, da Astigmatismus bei dieser Linse nur dann fehlt, wenn die vorerwähnte Bedingung in bezug auf die Lage der optischen Achse erfüllt ist.

Wird der zwischen den Tangenten oder Erzeugenden 16 und 17 eingeschlossene Winkel groß, so wird die Krümmung der magnetischen Kraftlinien so stark, daß die Linse optische Fehler aufweist. Es hat sich ergeben, daß, solange die Neigung dieser Linien unterhalb 3O^|O( bleibt, diese Fehler in den meisten Fällen zulässig sind.

Die Stärke der Linse hängt von dem Winkel Θ zwischen den Endflächen 20 und 21 der Polschuhe ab, der der Linsenwinkel genannt werden kann. Die größte Linsenstärke ergibt sich bei einem Winkel von 127¹A⁰. Die Brennweite, die einer Querfeldlinse mit einem Linsenwinkel dieses optimalen Wertes erteilt werden kann, ist R ]/T. Dabei bezeichnet R den Radius des Kreisbogens, der von der optischen Achse der Linse gebildet wird. Der in Fig. 2 dargestellte Polschuh hat einen Linsenwinkel Θ des erwähnten optimalen Wertes, so daß die Brennpunkte der Linse, die mit solchen Polschuhen versehen ist, in den Grenzebenen 20 und 21 liegen. Bei einer Linse mit kegelförmigen Polflächen gilt dies nur, wenn die Bedingung a — 2 b erfüllt ist.

Die obere Grenze von 270°'für den Linsenwinkel der Linse gemäß der Erfindung wird dadurch gesetzt, daß es bei Winkeln größer als 270'°' nicht immer möglich ist, den Elektronenstrahl um die optische Achse zu zentrieren.

Das Magnetfeld in der oberen Hälfte der Linse ändert seine Struktur nicht und wirkt nach wie vor fokussierend, wenn die Polfläche des unteren Polschuhes zur Äquatorialebene 11 hin verschoben wird. Die auf diese Weise gebildete Linse hat eine kleinere öffnung. Daher wird in der Praxis diese Anordnung nicht ohne triftige Gründe bevorzugt werden.

Die Eigenschaft einer Abbildtmgslinse nach der Erfindung, daß das Bild sich bei Änderung des Elektronenstrahls verschiebt, d. h. eine chromatische Verschiebung, bedeutet einen Nachteil für iao ein mit einer solchen Linse versehenes Elektronenmikroskop.

Wenn die Linse ein Auflösungsvermögen von 100 A haben soll, darf die relative Änderung der Arbeitsspannung nicht mehr als V100000 betragen. Dies ist eine hohe und oft schwierig zu erfüllende

Bedingung. Die chromatische Verschiebung kann jedoch verringert und sogar ganz behoben werden, wenn der die Linse verlassende Elektronenstrahl in einer zweiten Querfeldlinse aufgefangen wird, die den Elektronenstrahl in gleichem Sinne ablenkt. In dieser zweiten Linse tritt bei Änderung der Arbeitsspannung auch eine Verschiebung der optischen Achse auf; aber infolge der Umkehrung des Bildes wirkt die Verschiebung der optischen ίο Achse der zweiten Linse korrigierend auf die Verschiebung des Bildes. Dies ist leicht ersichtlich, wenn nachgeprüft wird, wie bei einem System zweier positiver Glaslinsen sich der Lichtstrahlverlauf ändert, wenn das System in einer zur optisehen Achse senkrechten Richtung verschoben wird. Zu diesem Zweck wird der Fall gewählt, daß die erste Linse ein reelles umgekehrtes Bild vor dem Brennpunkt der zweiten Linse entwirft, das von letzterer wieder umgekehrt abgebildet wird. ao Durch passende Wahl der Anordnung der zweiten Linse und etwa einer oder mehrerer folgenden Linsen kann die chromatische Verschiebung beseitigt werden, wenigstens insoweit sie ein Linsenfehler erster Ordnung ist. Die chromatische as Abweichung, die als Linsenfehler höherer Ordnung verbleibt, ist so gering, daß an die Konstanz der Arbeitsspannung und der magnetischen Feldstärke weniger hohe Anforderungen gestellt zu werden brauchen als bei einer Längsfeldlinse mit gleichem Auflösungsvermögen. Eine relative Änderung von Viooo ist in vielen Fällen zulässig.

Fig. 4 stellt schematisch für ein Elektronenmikroskop eine Anordnung zweier Ouerfeldlinsen nach der Erfindung dar. In dieser Figur ist auch schematisch der Elektronenerzeuger des Mikroskops abgebildet. Letzterer besteht aus einer Glühkathode 22, einem Wehneltzylinder 23 und einer Anode 24. Das von diesen Elektroden gebildete System emittiert beim Anlegen passender Spannungen einen Elektronenstrahl 25. Dieser tritt in die Querfeldlinse 26 ein, senkrecht zu einer der in Fig. 2 mit 20 und 21 bezeichneten Grenzflächen, und wird darin so abgebogen, daß er diese Linse in der Richtung 27 verläßt. Es wird angenommen, daß die Achse des Elektronenstrahls sich mit der optischen Achse der Linse 26 deckt, was durch eine passende Wahl der Spannung oder der magnetischen Feldstärke und angemessene Anordnung der Linse erreichbar ist. Von einem in der Nähe der Linse 26 am Punkt 28 angeordneten Präparat wird von dieser Linse ein vergrößertes Bild im Punkt 29 erzeugt. Dieses Bild stellt den Gegenstand dar für die zweite Querfeldlinse 30, in der der Strahl wieder in der Richtung 31 abgebogen wird. Man könnte die Linse 30¹ ein BdId auf einem vom Strahl 31 getroffenen Fangschirm erzeugen lassen; das Mikroskop kann· auch mit einem dritten elektronenoptischen: System versehen werden, wenn dies für die Regelung oder weitere Vergrößerung erwünscht ist.

Der Umstand, daß der Strahl von den beiden Linsen 26 und 30 insgesamt über einen Winkel von mehr als i8o° abgebogen werden kann, ermöglicht es, die Linsen derart anzuordnen, daß der Elektronenstrahl 31, der die Linse 30 verläßt, in das elektrostatische Feld des Elektrodensystems 23 und 24 eintritt. Dieses System wirkt dann elektronenoptisch wie ein konvexer Spiegel. Wenn die Bildfläche der Linse 30 hinter diesem Spiegel liegt, also im Punkt 32, gibt der Spiegel das Bild vergrößert wieder in einer z. B, bei 33 liegenden Ebene. Durch einen in dieser Ebene angeordneten Fangschirm (Fluoreszenzschirm oder photographischen Film) kann das Bild sichtbar gemacht werden.

Es ist nicht erforderlich, daß der Strahl 31 gerade auf die Öffnung der Anode 24 gerichtet ist, durch die die Elektronen ursprünglich austreten. Neben der Austrittsöffnung des Strahles 25 kann in der Anode auch eine zweite Öffnung für den Strahl 31 vorgesehen werden, hinter der die Elektrode 23 liegt, die beim Betrieb des Mikroskops ein kleines negatives Potential· gegenüber der Elektronenquelle 22 hat. Auch diese abgeänderte Ausbildung hat den Vorteil, daß für das Spiegelsystem keine besonderen Befestigungsmittel und Zuleitungen erforderlich sind.

Dem Elektronenstrahl kann der richtige Verlauf erteilt werden durch 'passende W^Tahl des Abstandes der Linse 26 von dem Elektronenerzeuger und des go gegenseitigen Abstandes der Linsen 26 und 30,

Der aus der Ouerfeldlinse austretende Strahl kann auch anders gerichtet w^rerden, indem der Linsenwinkel geändert wird. Ein brauchbarer Abstand zwischen der Linse 26 und dem Elektronenerzeuger ist 50 cm. Der Abstand der Bildfläche 33 von dem Elektrodensystem 23,24 kann von der gleichen Größenordnung sein.

Die chromatische Verschiebung wird beseitigt, wenn die folgende Bedingung erfüllt ist:

R₁ F_{2 + 1} ' * ■

Dabei bezeichnen V₁ und V₂ die Vergrößerungen, welche die Linsen 26 bzw. 30 ergeben, und R₁ und R₂ stellen die Krümmungsradien der optischen Achsen der ersten bzw. zweiten Linse dar. Ergeben die beiden Linsen eine gleiche Vergrößerung V, so muß R₂ — VR₁ sein. Es hat sich gezeigt, daß praktische Resultate erzielt werden mit einer Vergrößerung je Linse von etwa 7 und mit einer etwa hundertfachen Vergrößerung unter Zuhilfenahme des Spiegels 23, 24. Dies ergibt insgesamt eine Vergrößerung von etwa 5000, aber durch Änderung der verschiedenen Faktoren, die die Gesamtvergrößerung beeinflussen, kann eine stark abweichende Zahl gefunden werden. Ein praktischer Wert des Krümmungsradius R₁ ist z. B. 3 mm. Der Krümmungsradius R₂ muß dabei, um die vorerwähnte Bedingung zum Beseitigen der chromati- iao sehen Verschiebung zu erfüllen, 21 mm gewählt werden, wobei angenommen wird, daß die beiden Linsen je eine siebenfache Vergrößerung ergeben. Die Linsen 26 und 30 können mit einem gemeinsamen Joch versehen werden, wodurch ein Linsen- 1*5 system entsteht, das sich durch Einfachheit und

leichte Anordnungsmöglichkeit auszeichnet, besonders wenn die Summe der beiden Linsenwinkel nur wenig größer als i8o° gemacht wird, so daß die Linsen nahe aneinander herangerückt werden können.

Claims (12)

1. PATENTANSPRÜCHE:

   i. Magnetische Linse für Elektronen oder andere geladene Teilchen, dadurch gekennzeichnet, daß eine der beiden Polflächen ein Sektor ist mit einem Winkel (Linsenwinkel) von maximal 270⁰ einer Umdrehungsfläche und eine zur Umdrehungsachse senkrechte Ebene, die eine der Tangenten der Erzeugenden der Umdrehungsfläche unter einem Winkel von 30⁰ oder weniger in einem Abstand von der Umdrehungsachse schneidet, der gleich dem des Berührungspunktes ist, die Ebene ist, gegenüber der die zweite Polfläche das Spiegelbild der

   so erstgenannten ist oder die Gegenpolfläche selbst bildet.
2. 2. Magnetische Linse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Erzeugende ein Teil einer Parabel ist, die ihren Scheitel in der

   as Umdrehungsachse hat.
3. 3. Magnetische Linse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Umdrehungsfläche eine Kegelfläche ist.
4. 4. Magnetische Linse nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,'daß der Linsenwinkel einen Wert zwischen 120 und 135⁰ hat.
5. 5. Magnetische Linse nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Linsenwinkel 127¹Ii⁰' beträgt.
6. 6. Magnetische Linse nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ihr Magnetfeld durch Dauermagnetismus erzeugt wird.
7. 7. Elektronenmikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß es eine magnetische Linse nach einem der vorangehenden Ansprüche enthält.
8. 8. Elektronenmikroskop nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß es die magnetische Linse nach Anspruch 3 enthält und die Betriebsspannung den Wert hat, bei dem die tangential in die Linse eintretende Elektronenbahn, die einen Kreisbogen um die Umdrehungsachse beschreibt, den Abstand von dieser Achse hat, bei dem die Polflächen das Zweifache des Abstandes ihrer Schnittpunkte der Achse voneinander haben.
9. 9. Elektronenmikroskop nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß es ein System zweier oder mehrerer Linsen nach einem der Ansprüche 1 bis 6 enthält, die nacheinander vom Elektronenstrahl durchlaufen werden und diesen in der gleichen Ebene und in gleichem Sinne ablenken.
10. 10. Elektronenmikroskop nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Linsen derart einander gegenüber und gegenüber dem Gegenstand angeordnet sind, daß das vom Linsensystem erzeugte endgültige Bild keine oder nahezu keine chromatische Verschiebung erleidet. ■
11. 11. Elektronenmikroskop nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Linsensystem den Elektronenstrahl auf den von den Elektroden des Elektronenerzeugers gebildeten Spiegel richtet, der das Bild, auf dem der so gerichtete Strahl fokussiert ist, vergrößert wiedergibt.
12. 12. Elektronenmikroskop nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Polschuhe zweier oder mehrerer Linsen durch ein gemeinsames Joch verbunden sind.

    Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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