DE2209951A1

DE2209951A1 - Massenfilter mit hyperbolischem Feldverlauf

Info

Publication number: DE2209951A1
Application number: DE19722209951
Authority: DE
Inventors: Wilson M. Arcadia Calif. Brubaker (V.StA.)
Original assignee: Individual
Current assignee: BRUBAKER, WILSON M., 91106 ARCADIA, CALIF., US
Priority date: 1971-03-03
Filing date: 1972-03-02
Publication date: 1972-09-21
Also published as: US3783279A; JPS5517465B1; FR2128554A1; FR2128554B1; GB1341357A

Description

Wilson M. Brubaker, Pasadena (Kalifornien), V.St.A.

Massenfilter mit hyperbolischem Feldverlauf

Die Erfindung befaßt sich mit einpoligen Massenfiltern sowie mit Quadrupol-Massenfiltern, insbesondere mit der Anordnung von Hilfselektrode?! in der Nähe der Eingangsblende derartiger JELelder ₌sowie mit denTTTnlegen einer Steuerspannung an sie, um einen Betrieb mit einem verzögerten Gleichspannungsanstieg zu erreichen.

Einpolige Massenfilter wie auch Quadrupol-Masserfilter spalten einen Ionenstrahl in ein Spektrum auf, und zwar entsprechend der Masse (dem Verhältnis von Masse zu Ladung) der einfallenden Ionen. Diese Massenspektrometer zeichnet die Verwendung kombinierter Gleichspannungsund Wechselspannungsfelder aus, im Gegensatz zu den meisten älteren Spektrometertypen, die mit Magneten arbeiten.

Ein Quadrupol-Massenfilter weist vier Primärelektroden in der Form von symmetrisch um eine Mittelachse des

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Filters angeordneten, parallelen, zylindrischen Stangen auf. Wechsel- und Gleichspannungen von entgegengesetzt gleichen Werten werden an benachbarte Elektroden angelegt. Die Wechselspannungskomponente liegt im Hochfrequenzbereich.

Die theoretischen Überlegungen zur Betriebsweise des Quadrupol-Massenfilters sind in der US-Patentschrift 3 129 327 offenbart. Eine Zusammenfassung dieser Überlegungen wird hier kurz wiedergegeben. Die Bewegungsgleichungen der Ionen in den kombinierten Gleich- und Wechselspannungsfeldern werden leicht in die Standardform der Mathieu-Gleichung umgeformt. Die Lösungen der Mathieu-Gleichung zeigen Gebiete der Stabilität und solche der Instabilität der Ionen-Bahnkurven. Das in Figur 1 erläuterte Stabilitäts-Diagramm ist in abwechselnde Bereiche von stabilen und instabilen Abschnitten gegliedert. Auf der Ordinate ist die dimensionslose Variable a und auf der Abszisse die dimensionslose Variable q abgetragen. Diese Variablen sind in dem Kontext zu Figur 1 definiert. Für einen gegebenen Gleichspannungs- und Wechselspannungs-Anregungspegel fallen die Arbeitspunkte für sämtliche Massen auf die Abtastlinie.

In der Ionenquelle ist der Arbeitspunkt am Ursprung, da die Potentiallinien der Quadrupolelektroden nicht in dieses Gebiet eindringen. Wenn der emittierte Ion aus der Ionenquelle in das bekannte Filter durch das Randfeld von zunehmender Stärke eindringt, bewegt sich der zugehörige Arbeitspunkt vom Ursprung in die Nähe des Scheitels entlang der Abtastlinie. Dabei dringt er weit in das instabile y-Gebiet vor. Während dieser Zeit nimmt das Ion einen höchst unerwünschten Impuls in Richtung auf die Elektroden auf der y-Achse

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auf. Der Arbeitspunkt für die nach der Masse aufgespaltenen freien Ionen liegt gerade unterhalb des Scheitels.

Dieses instabile Gebiet kann dadurch vermieden werden, daß der Filter mit einem verzögerten Gleichspannungsanstieg betrieben wird, was bedeutet, daß das Verhältnis der Gleichspannungsfeldstärke zur Wechselspannungsfeldstärke nahe der Ionen-Eingangsblende klein ist im Vergleich zum Verhältnis in dem Gebiet gleichförmigen Feldes in der Mitte des Filters. Unter diesen Umständen bewegt sich der Arbeitspunkt vom Ursprung zur Spitze des Dreiecks längs einer bevorzugten Kurve ganz im Inneren des stabilen Bereiches in dem Diagramm. Somit wird der unerwünschte, nach y gerichtete Impuls vermieden, was zu einer wesentlich verbesserten Arbeitsleistung des Instrumentes führt.

Nach dem Stande der Technik wurde der verzögerte Gleichspannungsanstieg durch die Verwendung eines Satzes von Hilfselektroden erreicht, an die große Wechselspannungspotentiale und nahezu verschwindende Gleichspannungspotentiale gelegt wurden. Diese Umstände machen die Anwendung von Hochfrequenzpotentialeri für diese Elektroden nötig, die auf einem vernachlässigbaren Gleichspannungen potential stehen. Gerätemäßig wurde dies durch zusätzliche HF-Hochspannungs-Durchführungen verwirklicht, die die das Vakuum abschließende Wand durchstoßen, oder in dem Widerstands- und Kondensator-Netzwerke im Inneren des Vakuumbereichs verwendet wurden. Beide Behelfe komplizieren den Geräteaufbau und erhöhen die benötigte WechselspannungsIeistung.

Demgegenüber wird nach der Erfindung eine einfache Anordnung zur Erzeugung des gewünschten Betriebs mit verzögertem Gleichspannungsanstieg für Quadrupol-Massenfilter

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oder für einpolige Massenfilter vorgeschlagen. Erfindungsgemäß weist das Massenfilter Eingangs- und Ausgangsblenden sowie mindestens zwei parallele Primärelektroden und Steuermittel zum Anlegen von Gleich- und Wechselspannungen an die Elektroden auf, um ein·hyperbolisches elektrisches Feld zwischen den Elektroden zu erzeugen. Mindestens eine Hilfselektrode ist in der Nähe der Eingangsblende angeordnet und es sind Steuermittel für die Beaufschlagung der Hilfselektroden mit Gleichspannungen vorgesehen, um das von der Primärelektrode in der Nachbarschaft der Eingangsblende erzeugte Gleichspannungsfeld zu neutralisieren.

Der verzögerte Gleichspannungsanstieg wird durch Anlegen von Gleichspannung lediglich an die Hilfselektrode oder Elektroden erreicht. Die Polaritäten dieser Potentiale sind entgegengesetzt zu jenen der entsprechenden Primärelektroden. Das sich aus dem an die Hilfselektrode angelegten Spannungen ergebende Feld schaltet die Gleichspannungskomponente des Feldes von den Primärelektroden in der Nachbarschaft der Eingangsblende aus bzw. neutralisiert sie. Das Wechselspannungsfeld von den Primärelektroden ist in der Nachbarschaft der Eingangsblende im wesentlichen von normaler Stärke. Das somit normalisierte Gleichspannungsfeid -ist verhältnismäßig schwach relativ zu dem normalisierten Wechselspannungsfeld in der Umgebung der Blende, erreicht jedoch seinen Normälwert sehr schnell an Stellen, die von der Blende entfernt liegen.

Das erfindungsgemäße Massenfilter erreicht den verzögerten Gleichspannungsanstieg des Betriebes ohne Erhöhung der Belastung der HochfrequenzVersorgung. Weiterhin können die Hilfselektroden von Niederspannungsisolatoren hoher Kapazität gehaltert werden und die Verbindungsleitungen können durch die das Vakuum begrenzende Wand

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über Durchführungs-Isolatoren hoher Kapazität hindurchgeführt sein. Die Hilfselektroden sind zweckmässig Teil der Ionenquellen-Geometrie.

Die Erfindung wird nachfolgend an einem bevorzugten Ausführungsbeispiel unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben. Im einzelnen zeigen:

Fig. 1 ein Stabilitäts-Diagramm zur Erläuterung der Betriebseiegenschaften eines Quadrupol-Massenfilters oder eines einpoligen Massenfilters;

Fig. 2 einen schematischen Querschnitt durch ein Quadrupol-Massenfilter sowie eine Schaltung zur Lieferung der Steuerspannungen;

Fig. 3 einen Querschnitt längs der Linie 3-3 aus Figur 2; und

Fig. 4 eine schematische Vorderansicht eines , -— "gXnprolTgerr^Hassenfilters..

·=—45as—Mas-SBTifTiter bzw. das Massenspektrometer gemäß den Figuren 2 und 3 ist~ein^ Quad^u^oT^Mos-geafiitelc^und weist ein metallisches Gehäuse 10 mit darin angeordneten^jiief Primärelektroden 12, 14, 16 und 18 auf. Die Elektroden 12 und 16 sind-al-S-"Xi¹^IeKtföden und jdie^Elektroden und 18 sind als "Y"-Elektroden bezei-ehriet. Die Elektroden werden durchs ge_e_lgn^xTe Isolatoren 19 von hoher Impedanz gehalten. Die Mittelachse des Filters ist mit "Z" bezeichnet (Figur 2).

Die Primärelektroden haben die Form zylindrischer Leiter-Stangen, erstrecken sich parallel zueinander und sind symmetrisch zur Mittelachse angeordnet. Die X-Elektroden liegen mit ihren Mitten in der X-Z-Ebene, während die Y-Elektroden mit ihren Mitten in der Y-Z-Ebene liegen. Im Idealfall sollten die Elektroden Hyperbeln darstellen.

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In der praktischen Anwendung liefern die kreisförmigen Querschnitte eine ausreichend gute Näherung.

Eine Eingangsblendenplatte 20 definiert eine Ioneneingangsöffnung 22, die zur Z-Achse zentriert ist, und ist an einem Ende des Gehäuses durch geeignete Metallschrauben befestigt. Die Ionen der zu analysierenden Substanz werden von einer an der Platte 20 befestigten Ionenquelle 24 geliefert. Die Ionenquelle 24 ist an eine im einzelnen nicht dargestellte Spannungsversorgung über ein Kabel angeschlossen.

An dem von der Eingangsplatte 20 entfernt liegenden Ende des Gehäuses 10 ist eine Ausganqsblendenplatte 28 angeordnet. Die Platte 28 definiert eine Ionen-Ausgangsblende 30, die zur Z-Achse zentriert ist. Eine Rückwand 32 schließt das Gehäuse ab und trägt einen lonenkollektor 34 auf einein Durchführungsisolator 36.

Ionen von ausgewähltem Masse/Ladungs-Verhältnis treten in das Filter durch die Eingangsblende 22 ein, durchqueren das Filter und treffen auf den Kollektor 34 auf. Der Ionenstrom kann von einer konventionellen Meßschaltung 38 gemessen werden. Das leitende Gehäuse 10 sowie die Platten 20, 28 und 32 sind sämtlich geerdet. Das Innere des Gehäuses wird mit einer nicht dargestellten Vakuumpumpe auf Unterdruck gehalten.

Vier Hilfselektroden 42, 44, 46 und 48 sind symmetrisch um die Filterachse Z nahe der Eingangsblende angeordnet. Die Hilfselektroden 42, 44, 46 und 48 sind an der Eingangsblendenplatte 20 über Isolatoren 55 befestigt. Wie in Figur 2 zu erkennen ist, ist die Ioneneingangsplatte 20 mit vier Kavitäten oder eingesenkten Abschnitten in

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der Nachbarschaft der Ioneneingangsblende 22 versehen. Die Hilfselektroden 42 bis 48 sind jeweils in einer Kavität positioniert, so daß die Innenflächen der .Hilfselektroden, soweit sie in das Innere des Massenfilters weisen, im wesentlichen mit der Innenfläche 49 der Eingangsplatte 20 abschließen.

Die Spannungsquellen 60 und 62 liefern Wechsel- und Gleichspannung für die Primär- und Hilfselektroden, wie das im einzelnen in der Schaltung nach Figur 2 dargestellt ist. Einander diametral gegenüberliegende Elektroden 12 und 16 sind mit einer gemeinsamen Leitung 66 an die Steuerspannungsquellen 60 und 62 über einen Transformator 64 angeschlossen. Die Primärelektroden 14 und 18 sind über die Leitung 68 mit der Steuerspannungsquelle verbunden. Die Gleich- und Wechselspannungsquellen sind mit einem gekoppelten Steuejrarm 70 dargestellt, so daß die Größe der Gleichspannung und" die- Amplitifde^^er"We&hse^-Steuerspannung zusammen verändert werden können, damit Ionen von ausgewählter Mas~se durch das Filter auf den Kollektor gelangen können. Man bemerke, daß die gekoppelte Steuerung der Gleich- und Wechselspannungsquellen nur der Illustration dienen soll. Die Gleichspannung würde normalerweise aus der Wechselspannungsquelle 60 durch Gleichrichtung gewonnen werden können und würde proportional zur Wechselspannung sein. Eine derartige Einrichtung ist in der US-Patentschrift 3 129 327 beschrieben. Wie am besten Figur 3 zeigt, ist an die X-Elektroden 12 und 16 eine positive Gleichspannung und an die Y-Elektroden 14 und 18 eine negative Gleichspannung gelegt.

Die Hilfselektroden 42 bis 48 sind mit der Gleichspannungsquelle 62 über Leitungen und Potentiometer 72 und 74 verbunden. Zwei HF-Entkoppel-Kondensatoren 76 und 78 sind zwischen entgegengesetzt gepolte Anschlüsse der Gleich-

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Spannungsquelle 62 geschaltet und geerdet, so daß sich eine wirkungsvolle Erdung für die Wechselspannungssignale aus der Wechselspannungsquelle 60 ergibt. Diametral gegenüberliegende Hilfselektroden 42 und 46 sind elektrisch zu einem Paar verbunden und an den Abgriff des Potentiometers 74 über eine Leitung 75 zur Aufnahme einer negativen Gleichspannung angeschlossen. Die Hilfselektroden 44 und 48 sind als ein Paar über eine Leitung 77 an den Abgriff des Potentiometers 72 angeschlossen, um eine positive Gleichspannung aufzunehmen. Die entsprechenden Primär- und Hilfselektroden (12 und 42, etc.) werden somit mit Gleich-Steuerspannungen von entgegengesetzter Polarität beaufschlagt.. Die Abgriffe der Potentiometer 72 und 74 sind so eingestellt, daß ein Gleichspannungsfeld in der Nachbarschaft der Eingangsblende 22 erzeugt wird, daß das von den Primärelektroden 12 bis 18 erzeugte Gleichspannungsfeld neutralisiert bzw. ausschaltet, so daß das Gleichspannungsfeld in der Umgebung der Eingangsblende 22 im wesentlichen Null ist.

Die Wechselspannungsfelder in der Umgebung der Eingangsblende 22 werden durch die Gegenwart der Hilfselektroden praktisch nicht beeinflußt. Demzufolge sprechen die in das Filter eintretenden Ionen sofort auf die Wechselspannungsfelder an, während sie auf die Gleichspannungsfelder erst dann ansprechen, wenn sie tiefer in das Filter eingedrungen sind.

Wie Figur 1 zeigt, sind die Bahnen für kleine Werte des ■ Wechselspannungsfeldes (in der Nähe der Eingangsblende) selbst bei einem sehr kleinen Gleichspannungsfeld instabil in der Y-Z-Ebene. Um die Stabilität in der Y-Z-Ebene zu vergrößern, ist eine Gleichspannung mit umgekehrter

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— Q —

Polarität an den Hilfselektroden vorgesehen, um das Gleichspannungsfeld in der Nähe der Eingangsblende im wesentlichen auf Null zu reduzieren. Auf diese Weise ergibt sich ein äußerst wirkungsvolles Quadrupol-Massenspektrometer, ohne daß Weciiselspannungen an die Hilfselektroden angelegt werden müßten, um sicherzustellen, daß die Ionen sofort nach Eintritt in das Spektrometer einer großen Wechselspannungskomponente unterworfen sind. Diese Einrichtung erübrigt Hochfrequenzleitungen oder -isolatoren sowie Hilfselektroden. Weiterhin können die Hilfselektroden auf konventionelle Weise in den Kavitäten der Eingangsblendenplatte 20 befestigt werden, wobei die Steuerleitungen 75 und 77 mit in der Spannungsversorgungsleitung für die Ionenquelle untergebracht sein können.

Indem die Hilfselektroden 40 -bis 48 mit der Innenfläche der Eingangsplatte 20 bündig abschließend befestigt werden, schützen die Hilfselektroden das Eingangsblendengebiet nicht vor der Einwirkung der von den Primärelektroden erzeugten Wechselspannungsfelder. Diese Befestigungsweise der Hilfselektroden ergibt eine einfache und leicht herzustellende Einrichtung. Die Hilfselektroden werden von der Eingangsplatte 20 und der Ionenquelle getragen und die Zuführungen zu den Elektroden können in die Zuführungen für die Ionenquelle mit eingeschlossen werden.

Ein einpoliges Masserfilter bzw. Massenspektrometer ist in Figur 4 erläutert und weist die Primärelektroden 14' und 80 auf. Elektrisch gesehen ist das einpolige Massenspektrometer genau ein Viertel des Quadrupol-Spektrometers, Von Ulf von Zahn ist in der Review of Scientific Instruments, Band 34, 1964, Seiten 1 bis 4, berichtet worden,

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daß die Symmetrieebenen in einem Quadrupol-Massenfliter in der Mitte zwischen den Primärelektroden liegen und daß diese Symmetrieebenen Äquipotentialflächen sind. Das Ersetzen von drei Primärelektroden durch eine Leiterfläche in Form einer 90° Winkelplatte 80 (Figur 4) ergibt ein gleichartiges hyperbolisches Feld wie das in dem Quadrupolmassenfilter aus Figur 2. Die Primärelektrode 14' ist mit Gleich- und Wechselspannungsquellen verbunden. Die Elektrode 80 ist geerdet. Diese Geometrie stellt eine zusätzliche Nebenbedingung zur jenen des normalen Quadrupolmassenfilters dar insofern, als die Ionen die Instrumentenachse (die Spitze der Elektrode 80) nur an den äußersten Enden des Filters kreuzen kann. Unter diesen Umständen liegen die geometrischen örter der Arbeitspunkte der durchlaufenden Ionen innerhalb eines schmalen Bandes, das geringfügig von der Y-Stabilitätsgrenze entfernt ist. Die Axialgeschwindigkeit der Ionen wird ein wichtiger Faktor für die Bestimmung des Ionendurchsatzes durch den Filter, und das Verhältnis der Gleich- zur Wechselspannung wird weniger wichtig. Die Verwendung einer Hilfselektrode 44', an die Gleichspannung von entgegengesetzter Polarität wie die Gleichspannung an der Elektrode 14' und von solcher Größe gelegt wird, die das Gleichspannungsfeld in der Nähe der Eingangsblende neutralisiert, macht es möglich, das einpolige Filter auch in einem verzögerten Gleichspannungsanstieg zu betreiben. Die Verwendung einer Hilfselektrode und einer geeigneten Steuerquelle zur Neutralisierung des Gleichspannungsfeldes in der Nähe der Eingangsblende liefert die gleichen Vorteile für ein einpoliges Massenspektrometer, wie das für das Quadrupol-Massenspektrometer vorstehend erörtert wurde.

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Der gewünschte Betrieb mit verzögertem Gleichspannungsantrieb gelingt mit einer einfachen und billigen Einrichtung. Das Filter arbeitet mit hohem Wirkungsgrad, der ein Ergebnis der Verringerung der benötigten Wechselspannungs-Anregungsleistung ist, jedenfalls verglichen mit derjenigen Leistung, die bei bekannten Systemen zur Erzielung eines Betriebes mit verzögertem Gleichspannungsanstieg, gebraucht wird.

Es wurde also ein Massenfilter mit hyperbolischem Feld beschrieben, das mindestens zwei Primärelektroden, eine Ioneneingangsblende, eine Ionenausgangsblende und eine an die Primärelektroden angeschlossene Wechselspannungsund Gleichspannungs-Steuerquelle zur Erzeugung von Wechselspannungs- und Gleichspannungs-Feldkomponenten .zwischen den Elektroden umfaßt. Dabei kann das Massenfilter ein Quadrupolmassenfilter oder ein einpoliges Massenfilter pein. Mindestens eine Hilfselektrode ist zwischen der Primärelektrode und der Eingangsblende zusammen mit einer Steuereinrichtung für die Hilfselektrode vorgesehen, die Gleichspannungspotentiale zur Neutralisierung des von den Primärelektroden in der Nachbarschaft der Eingangsblende erzeugten Gleichspannungsfeldes liefert.

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Claims

Ansprtic'he

1. Massenfilter, insbesondere Massenspektrometer, mit einer Eingangsblende und einer Ausgangsblende, sowie mit mindestens zwei Elektroden, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Elektroden parallel angeordnete Primärelektroden (14, 18? 12, 16; 14', 80) sind und daß sie an eine Gleichspannungs- und Wechselspannungsversorgung (60 ... 70) zur Erzeugung eines hyperboloidischen elektrischen Feldes zwischen den Primärelektroden angeschlossen sind; daß mindestens eine Hilfselektrode (44, 48; 42, 46; 44') zwischen den Primärelektroden und der Eingangsblende (22) angeordnet und an eine Spannungsquelle (72 ... 77) angeschlossen ist derart, daß das von den Primärelektroden in der Nachbarschaft der Eingangsblende erzeugte Gleichspannungsfeld durch das von der Hilfselektrode erzeugte Feld neutralisiert wird.

2. Massenfilter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Filtergehäuse (10) und der Hilfselektrode eine geringe Wechselspannungsimpedanz liegt.

3. Massenfilter nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wechselspannungsfeldkomponente in der Nachbarschaft der Eingangsblende (22) ausschließlich durch die Priitiärelektroden erzeugt wird.

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4. Massenfilter nach einem der vorhergehenden Ansprüche gekennzeichnet durch eine die Eingangsblende bildende Eingangsplatte (20), die eine Ionenquelle (24) trägt und in der Nähe der Eingangsblende eine Ausnehmung (55) aufweist, in der die Hilfselektrode derart befestigbar ist, daß die Hilfselektrodenfläche und die Fläche der Blendenplatte in der Nähe der Primärelektrode im wesentlichen koinzident liegen.

der

5. Massenfilter nach einem/vorstehenden Ansprüche,

gekennzeichnet durch zwei Paare diametral gegenüberliegender paralleler Primärelektroden und zwei Paare diametral gegenüberliegender Hilfselektroden, wobei eine Hilfselektrode jeder Primärelektrode zugeordnet ist.

6. Massenfilter nach einem der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein Gehäuse mit einer Ioneneingangsplatte an einer Seite, die eine Eingangsblende definiert und mit einer Ionenausgangsplätte an der anderen Seite, die eine Ionenausgangsblende definiert; durch zwei Paare diametral einander gegenüberliegender paralleler Primärelektroden, die symmetrisch um eine von der Eingangsblende zur Ausgangsblende sich erstreckende Mittelachse angeordnet sind; durch eine Steuerung zum Anlegen von Gleichspannungen und HF-Spannungen an die Primärelektroden zur Erzeugung eines elektrischen Feldes zwischen den Primärelektroden; durch eine von der Eingangsplatte getragene Ionenquelle zur Injektion von Ionen in das Filter; durch zwei Paare diametral einander gegenüberliegender Hilfselektroden, die an der Eingangsplatte befestigt und .um die Filterachse zwischen den Primärelektroden und der Eingangsplatte angeordnet sind, wobei jede Hilfselektrode einer Primärelektrode zugeordnet ist; und durch

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eine Einrichtung zum Anlegen von Gleichspannung an jedes Paar von Hilfselektroden, die von entgegengesetzter Polarität zu derjenigen Gleichspannung ist, die an dem entsprechenden Paar von Primärelektroden liegt, derart, daß die Gleichspannungsfeldkomponente,· die von den Primärelektroden in der Umgebung der Eingangsblende erzeugt wird, neutralisiert wird.

7. Massenfilter nach einem der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Kondensator, der zwischen jedem Paar von Hilfselektroden und Masse verbunden ist und für die HF-Spannungen einen Weg von geringer Impedanz darstellt.

8. Massenfilter nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Eingangsplatte in der Nähe der Primärelektroden eine Innenfläche hat und mindestens eine Einsenkung in der Nähe der Eingangsblende definiert, in der die Hilfselektrode befestigbar ist; und daß die Hilfselektroden an der Eingangsplatte derart befestigt sind, daß die Innenfläche der Eingangsplatte im wesentlichen mit der Oberfläche der Hilfselektroden in der Umgebung der Primärelektroden zusammenfällt, derart, daß die Eingangselektroden nicht das von den Primärelektroden erzeugte Wechselspannungsfeld an der Eingangsblende abschirmt.

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