DE1286239B - Korpuskularstrahlgeraet, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einer Schleuseinrichtung - Google Patents

Description

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Die Erfindung betrifft ein Korpuskularstrahlgerät senkrecht zur Achse der Schleusenbohrung und mit einer Schleuseinrichtung, die in einer Schleusen- neben dieser Achse verlaufende Drehachse drehbar bohrung einen stabförmigen Halter für einen ein- gelagert ist, derart, daß sie durch den stabförmigen zuschleusenden Gegenstand und an dem dem Halter bei dessen Einführen durch die Schleusen-Vakuumraum des Gerätes zugekehrten Ende der 5 bohrung gedreht wird, bis ihre Ausnehmung die Ver-Schleusenbohrung ein eine Kugel enthaltendes bindung zwischen der Schleusenbohrung und dem Schleusentor aufweist, wobei das Schleusentor durch Vakuumraum des Gerätes herstellt und in dieser den stabförmigen Halter bei dessen Einführen ge- Stellung vom stabförmigen Halter durchsetzt wird, öffnet wird, während bei herausgezogenem Halter wobei Mittel vorgesehen sind, die beim Zurückdie Kugel das Ende der Schleusenbohrung dicht ver- io ziehen des stabförmigen Halters aus der Ausnehschließt. mung heraus die Kugel wieder in ihre Schlicßlage

Bekanntlich besteht eine grundlegende Aufgabe in zurückdrehen, in der die Ausnehmung ausschließlich der Technik der Korpuskularstrahlgeräte, zu denen auf der der Schleusenbohrung zugekehrten Seite der außer den Elektronenmikroskopen beispielsweise die Kugel umgebenden Dichtung liegt. Vorzugsweise Beugungsgeräte, Ionenmikroskope, Geräte zur Mikro- 15 wird man die Drehachse mit einem Durchmesser der analyse oder Ladungsträgerstrahlbearbeitung u. dgl., Kugel zusammenfallen lassen.

gehören, darin, irgendwelche Gegenstände ohne Auf- Während also bei der bekannten Konstruktion die

hebung des Vakuums in dem Korpuskularstrahlgerät einen Bestandteil des Schleusentores bildende Kugel in dieses einschleusen und aus diesem ausschleusen im wesentlichen eine Verschiebebewegung gegen die zu können. Dabei kann es sich sowohl um Objekte 20 Wirkung von Federn erfährt, wenn der stabförmige bzw. Objektpatronen als auch um irgendwelche Teile Objekthalter eingeführt wird, ist eine solche Transdes Korpuskularstrahlgerätes selbst handeln, also bei- lationsbewegung bei der einen Bestandteil des Schleuspielsweise um Blenden, Polschuhteile elektromagne- sentores des erfindungsgemäßen Korpuskularstrahltischer Linsen oder andere Gegenstände. gerätes bildenden Kugel dadurch vermieden, daß die Entsprechend der grundsätzlichen Bedeutung die- 25 Kugel um eine Achse drehbar angeordnet und mit ser Aufgabe ist eine große Zahl von Schleusenein- einer Ausnehmung versehen ist, die durch den stabrichtungen bekanntgeworden. Eine aus der deutschen förmigen Halter in eine solche Lage um die Achse Patentschrift 1027 815 bekannte Objektschleuse ent- der Kugel geschwenkt wird, daß der Halter die Kugel hält einen stabförmigen Halter für den zu schleusen- durch diese Ausnehmung durchsetzt, den Gegenstand in einer Schleusenbohrung, deren 30 Während in diesem Zustand der Schleuseinrichdem Vakuumraum zugekehrtem Ende ein eine Kugel tung also über die Ausnehmung in der Kugel eine enthaltendes Schleusentor zugeordnet ist. Die Schleu- Verbindung zwischen dem Vakuumraum und der senbohrung besitzt bei dieser bekannten Anordnung Schleusenbohrung vorhanden ist, muß bei allen Bean ihrem dem Vakuumraum zugekehrten Ende einen triebszuständen, in denen sich der stabförmige Halter sich trichterartig erweiternden Ansatz, in den mittels 35 nicht in den Vakuumraum des Gerätes hinein erFedern beim vakuumdichten Abschluß eine Kugel streckt, für eine solche Lage der Kugel Sorge gehineingezogen wird. Diese Kugel wird beim Ein- tragen werden, daß die Ausnehmung nur auf der der führen des stabförmigen Objekthalters durch diesen Schleusenbohrung zugekehrten Seite der die Kugel gegen die Wirkung der Federn aus seiner Bahn zur umgebenden Ringdichtung liegt. Dann überbrückt Seite weggedrückt. 40 die Ausnehmung also die genannte Dichtung nicht.

Die Federn, die die genannte Kugel auf ihren Sitz Wie schon aus dieser ersten Beschreibung der Erziehen sollen, müssen, relativ kräftig dimensioniert findung ersichtlich ist, sind die Dichtfläche der Kugel werden, da nach dem Entfernen des stabförmigen und die mit dem stabförmigen Halter bei seiner Ein-Objekthalters der Sitz der Kugel gegen den äußeren führbewegung in Berührung kommende Fläche der Luftdruck gewahrt sein muß. Das bedeutet, daß der 45 Ausnehmung der Kugel nicht identisch, so daß selbst stabförmige Objekthalter kräftig betätigt werden beim Eintreten von Beschädigungen durch den Druck muß, damit er die Kugel aus seiner Bahn zur Seite des stabförmigen Halters keine Einwirkungen auf die wegdrückt. Dies wiederum führt leicht zu Beschädi- Dichtwirkung des Schleusentores zu befürchten sind, gungen der Oberfläche der Kugel, und da diese Außerdem brauchen lediglich die zum Drehen der Kugeloberfläche zusammen mit dem trichterförmigen 50 Kugel in die Schließstellung erforderlichen Kräfte Fortsatz der Schleusenbohrung nach Entfernen des aufgebracht zu werden, da die Kugel durch die hierstabförmigen Objekthalters den vakuumdichten Ab- für vorgesehenen Mittel nicht gegen die Wirkung des schluß bilden soll, können sich Beschädigungen der äußeren Luftdruckes in ihrer Schließstellung gehalten Kugeloberfläche nachteilig hinsichtlich der Dicht- zu werden braucht. Die Kraft des äußeren Luftwirkung bemerkbar machen. Auch Ermüdungs- 55 druckes wird durch die Drehachse der Kugel auferscheinungen der den dichten Sitz der Kugel be- genommen; nach dem Drehen der Kugel in ihre wirkenden Federn gehen unmittelbar nachteilig in Schließstellung genügt die durch die die Kugel umdie Güte des vakuumdichten Abschlusses der Schleus- gebende Dichtung ausgeübte Reibungskraft, um die einrichtung ein. Kugel in ihrer Schließstellung zu halten. Es kann

Diese Nachteile soll die Erfindung, die übrigens, 60 auch eine Rastkugel vorgesehen sein, die die Kugel wie bereits eingangs bemerkt, sich nicht nur auf des Schleusentores in der Schließstellung hält. Objektschleusen, sondern auf Schleuseinrichtungen Um die Kugel in ihre Schließstellung zu bewegen,

schlechthin bei Korpuskularstrahlgeräten der ein- können — relativ schwache — Federn vorgesehen gangs genannten Art bezieht, vermeiden. Das er- sein, die die Kugel entgegen dem von dem stabfir. dungsgemäße Korpuskularstrahlgerät ist dadurch 65 förmigen Halter auf die Kugel ausgeübten Drehgekennzeichnet, daß die Kugel mit einer sie exzen- ^- moment gegen einen Anschlag zu drücken suchen, irisch durchsetzenden Ausnehmung versehen, von "_: Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfineiner ringförmigen Dichtung umgeben und um eine dung enthalten die Mittel zur Rückdrehung der Ku-

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gel in ihre Schließstellung eine an dem stabförmigen Korpuskularstrahlgerätes nicht über die stets vor-Halter befindliche Kulissenführung für in der Aus- handenen Zwischenräume zwischen den Begrennehmung der Kugel befestigte Schwenkstifte sowie zungsflächen der Ausnehmung in der Kugel einereinen Anschlag für die Kugel; die Form der Kulissen- seits und dem stabförmigen Halter bzw. seinem Hohlführung und die Anordnung der Schwenkstifte sind 5 körper andererseits mit der Atmosphäre in Verbinso gewählt, daß beim Wirksamwerden des Anschlags dung steht. Man kann eine weitere Dichtung den Kulissenführung und Schwenkstifte einander frei- stabförmigen Halter in der Schleusenbohrung umgeben und der stabförmige Halter aus dem Korpus- gebend vorsehen und ein Ventil verwenden, durch kularstrahlgerät entfernt werden kann. das die zwischen den beiden Dichtungen liegende

Die Lösbarkeit des stabförmigen Halters von der io Schleusenkammer zeitweise mit der Atmosphäre oder

Kugel wird bei dieser Konstruktion in einfacher mit einem Raum niedrigeren Druckes verbindbar ist.

Weise, beispielsweise durch einen freien Auslauf der Damit ist sichergestellt, daß auch die in der Schleu-

Kulissenführung für die Schwenkstifte gewährleistet. senkammer zwischen dem die Kugel enthaltenden

Um die Reibung möglichst gering zu halten, ist es Schleusentor und der weiteren Dichtung enthaltene zweckmäßig, die Stirnfläche des stabförmigen Hai- 15 Luft vor dem Öffnen des Schleusentores entfernt ters ballig zu formen; der Halter dreht dann bei sei- wird und gegebenenfalls nach erneutem Schließen ner Einführung die Kugel, indem er sich auf einer des Schleusentores die dann evakuierte Schleusen-Gegenfläche in der Ausnehmung der Kugel abwälzt, kammer zur Erleichterung des Herausziehens des in eine Lage, in der die Achse der Ausnehmung mit stabförmigen Halters belüftet wird,
dei Achse der Schleusenbohrung zusammenfällt. Die 20 Wie im folgenden noch beschrieben wird, braucht Abmessung wird dann besonders gering, wenn der diese Möglichkeit nicht notwendigerweise mit einer Radius der Kugel zumindest ungefähr gleich der Erschwerung der Bedienung der Schleuse verbunden . größten Querschnittsabmessung desjenigen Bereiches zu sein, da man den Antrieb für das Ventil mit dem des stabförmigen Halters ist, der von der Ausneh- Antrieb für den stabförmigen Halter kombinieren mung aufgenommen wird. In diesem Falle liegt die 25 kann.

Drehachse der Kugel also so, daß sie den von der Ein Antrieb für den stabförmigen Halter, der im Ausnehmung aufzunehmenden Bereich des stab- Sinne der zuletzt beschriebenen Kombination erweiförmigen Halters bzw. eines auf ihm befindlichen, terbar ist, zeichnet sich dadurch aus, daß er eine das noch zu erläuternden Hohlkörpers zumindest un- der Kugel abgekehrte Ende des stabförmigen HaI-gefähr tangiert und die Ausnehmung sich von der 30 ters umgebende, zugleich den Betätigungsgriff bil-Mittelachse der Kugel bis auf ihren Umfang er- dende Hülsenanordnung aufweist, die in der ersten streckt. Im Querschnitt bietet diese Ausgestaltung Ausbaustufe zwei jeweils mit einem oder mehreren der Kugel dann tatsächlich die Ansicht eines um die Nocken zusammenwirkende Kulissenführungen aufAchse schwenkbaren Tores, das eine dem Radius der weist. Es handelt sich dabei um eine mit ortsfesten, Kugel entsprechende größte Dicke besitzt. 35 d. h. mit fest mit dem Korpuskularstrahlgerät ver-

Wie bereits angedeutet, kann es zweckmäßig sein, bundenen ersten Nocken zusammenwirkende erste

auf den stabförmigen Halter an seinem der Kugel Kulissenführung und eine mit zweitem Nocken an

zugekehrten Ende einen Hohlkörper aufzusetzen; in dem stabförmigen Halter zusammenwirkende zweite

ihm können Befestigungsmittel für die Halterung des Kulissenführung. Für diese Kulissenführungen ist bei

zu schleusenden Gegenstandes an dem stabförmigen 4° diesem Ausführungsbeispiel ein solcher Verlauf ge-

Halter liegen. Bei dieser Ausbildung der Erfindung wählt, daß das Einführen des stabförmigen Halters

ist unter der obenerwähnten, vorzugsweise ballig ge- bis zum Wirksamwerden des ersten (festen) Nockens

formten Stirnfläche des stabförmigen Halters dann als Anschlag durch eine erste Verschiebebewegung

die entsprechende Fläche des Hohlkörpers zu ver- der Hülsenanordnung erfolgt, daß sich hieran eine

stehen. Die erwähnte Kulissenführung für die Rück- 45 erste Drehbewegung bis zum Wirksamwerden eines

drehung der Kugel in ihre Schließstellung wird man weiteren Anschlages anschließt, daß hierauf eine

dann auf bzw. in Seitenwänden des Hohlkörpers an- zweite, ebenfalls durch einen Anschlag begrenzte

ordnen. Der Hohlkörper bewirkt einen Schutz des Verschiebebewegung erfolgt, und daß nunmehr eine

einzuschleusenden Gegenstandes. zweite Drehbewegung des Antriebs den stabförmigen

Bei der bevorzugten Ausführungsform wird der 50 Halter relativ zu dem Hohlkörper in diejenige Hohlkörper beim Einführen des stabförmigen Hai- Stellung verschiebt, bei der sich der zu schleusende ters mittels eines Anschlages in der Ausnehmung der Gegenstand an seinem Einsatzort befindet.
Kugel gehalten und der stabförmige Halter bei seiner Es sei an dieser Stelle darauf hingewiesen, daß im weiteren Bewegung relativ zu dem Hohlkörper so Rahmen der Erfindung unter der Einführung des weit bewegt, daß er den einzuschleusenden Gegen- 55 stabförmigen Halters alle Bewegungsvorgänge zu stand aus dem Hohlkörper heraus an seinen Einsatz- verstehen sind, die dazu dienen, einen einzuschleuort bringt. Man hat hier also eine teleskopartige An- senden Gegenstand an seinen Einsatzort zu bringen. Ordnung von Halter und Hohlkörper, wobei der Tat- Entsprechend wird unter dem Begriff »Rückführung« sache Rechnung getragen wird, daß ein Schutz des der Bewegungsablauf verstanden, der erforderlich einzuschleusenden oder auszuschleusenden Gegen- 60 ist, um einen eingeschleusten Gegenstand aus dem Standes gegen mechanische Beschädigung nur so Korpuskularstrahlgerät einschließlich der Schleusenlange erforderlich ist, wie er im Bereich der Aus- bohrungcwieder zu entfernen.

nehmung in der Kugel liegt bzw. die Drehung der Die so definierte Einführung des zu schleusenden

Kugel unter der Wirkung des stabförmigen Halters Gegenstandes oder des stabförmigen Halters soll bei

erfolgen soll. 65 der eben beschriebenen Ausführungsform der Erfin-

Während der Öffnungszeit des die Kugel enthal- dung also durch zwei Verschiebebewegungen und

tenden Schleusentores muß durch weitere Dichtun- zwei Drehbewegungen des Antriebs (wobei die Dreh-

- gen dafür gesorgt werden, daß der Vakuumraum des bewegungen durch die Kulissenführungen ebenfalls

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zum Teil in Verschiehebewegungen des stabfönnigen eingeschleusten Gegenstand in Verbindung bleiben

Halters umgesetzt werden) in abwechselnder Folge soll, wird man die Öse den Haken mit einem im

durchgeführt werden. Hinblick auf etwaige Bewegungen des Gegenstan-

Die erwähnten Anschläge können durch die erste des an seinem Einsatzort bemessenen Spiel umgeben

Kulissenführung gebildet sein, „5 lassen.

Die Erweiterung des beschriebenen Antriebs im Bei Handantrieb kann es aus konstruktiven Grün-Sinne der Kombination desselben mit dem Antrieb den sinnvoll sein, den Ausschleusvorgang durch für das Ventil kann beispielsweise so erfolgen, daß entgegengesetzte Bewegungen des Antriebs durchdie Hülsenanordnung eine dritte, mit dritten Nocken zuführen.

an einem Stößel des Ventils zusammenwirkende io Diesen Weiterbildungen des Antriebs in der Weise,

Kulissenführung solchen Verlaufs aufweist, daß in daß durch Fortsetzung der zweiten Drehbewegung

Abhängigkeit von der Betätigungsstellung des An- die Rückführung des stabfönnigen Halters eingeleitet

triebs der Stößel in Stellungen bewegt ist, in denen er wird, trägt im Sinne einer Anpassung hinsichtlich der

die Schleusenkammer entweder mit der Atmosphäre Ventilbetätigung ein solcher Verlauf der dritten

oder mit dem Raum niedrigeren Druckes verbindet 15 Kulissenführung Rechnung, daß durch die erste

oder aber die Schleusenkammer vakuumdicht ab- Drehbewegung der Ventilstößel über seine die Schleu-

schließt. senkammer mit dem Raum niedrigeren Druckes ver-

In dieser Weise ist es durch Vorsehen von drei in bindende Stellung in seine die Schleusenkammer ihrem Verlauf aufeinander abgestimmten Kulissen- vakuumdicht abschließende Stellung bewegt wird führungen an der Hülsenanordnung möglich, mittels 20 und daß nach Rückkehr der Kugel in ihre Schließeines einzigen-Handgriffs die gesamte Anordnung stellung der Ventilstößel in seine die Schleusenkameinschließlich des Ventils zu betätigen. mer mit der Atmosphäre verbindende Stellung be-

Das Ventil kann ein Gehäuse aufweisen, das einen wegt ist. Dabei kann der vakuumdichte Abschluß der

Stößel aufnimmt und das durch eine den Stößel dich- Schleusenkammer durch die weitere Dichtung in der

tend umgebende Dichtung in zwei Kammern unter- 25 Schleusenbohrung unterstützt sein, indem diese dann

teilt ist; von diesen weist die eine Kammer eine Ver- die Einmündung eines Verbindungskanals zwischen

bindung zur Schleusenkammer und die andere eine der Schleusenkammer und der einen Ventilkammer

Verbindung zu dem Raum niedrigeren Druckes auf. abdeckt.

Der Stößel weist sich in Richtung seiner Achse er- Einzelnen Stellungen des Antriebs, insbesondere streckende Kanäle auf, von denen der eine mit der 30 solchen, die für die Ventilbewegung wichtig sind, einen Kammer und der andere mit der Atmosphäre können Rastvonichrungen zugeordnet sein. Dabei ist in Verbindung steht und deren einander zugekehrte beispielsweise an die der Evakuierung der Schleusen-Enden auf dem Stößelumfang in einem Abstand von- kammer zugeordnete Ventilstellung gedacht; die Rasteinander auslaufen, der größer als die in Richtung stellung soll dann dafür sorgen, daß die Verbindung der Stößelachse gemessene Länge der einen Kammer 35 zwischen Schleusenkammer und Vakuumpumpe für ist. Durch diese Abstandsbemessung ist verhindert, eine bestimmte Zeit bestehenbleibt,
daß bei irgendeiner Stößelstellung beide Kanäle in In dem Falle, in dem der einzuschleusende Gegenderselben Kammer auslaufen. Die Kanäle können stand ein Objekt beispielsweise in einer Objektdurch zur Stößelachse parallele oder mit dieser zu- patrone ist, das bzw. die in einem Objekttisch einsammenfallende Längsbohrungen und ihre auslaufen- 40 gesetzt werden soll, kann die beschriebene Schleusden Bereiche durch Querbohrungen im Stößel er- einrichtung dadurch ergänzt werden, daß eine Gegenzeugt sein; verständlicherweise können auch auf dem lage für den Objekttisch bewegbar in einem Block Umfang des Stößels entsprechende Ausnehmungen gelagert ist, der durch die Schleuseinrichtung und, vorgesehen sein. falls vorhanden, das Ventil gebildet ist. Diese zu-

Es kann, insbesondere bei Verwendung von Stell- 45 sammengefaßte Konstruktion kann so aussehen, daß motoren für den Schleusenantrieb, zweckmäßig sein, die Gegenlage zumindest ungefähr die- Form eines U der ersten und der zweiten Kulissenführung einen besitzt, dessen freie Schenkel federnd mit Spiel in den derart gewählten weiteren. Verlauf zu geben, daß die Block derart hineinragen, daß der mittlere Teil des Fortsetzung der zweiten Drehbewegung die Rück- U zumindest ungefähr senkrecht zur Achse des Stabführung des stabfönnigen Halters einleitet und daß 5° förmigen Halters verläuft.

die Rückführung durch eine zum Einführvorgang Die Fig. 1 bis 4 zeigen in verschiedenen Schnitten spiegelbildliche Bewegungsfolge vorgenommen wird. ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, während Beispielsweise durch einmalige Drehung des Antriebs F i g. 5 schematisch die Abwicklungen der erwähnten erhält man dann den vollen Ein- und Ausschleus- drei Kulissenführungen an der Hülsenordnung wiezyklus. Während des Betriebes mit dem eingeschleu- 55 dergibt. Die Fig. 1 und 2 zeigen Schnitte, die um sten Gegenstand bleibt dann der stabförmige Halter 90° gegeneinander versetzt sind; Fig. 3 denselben mit dem Gegenstand verbunden. Man kann den stab- Schnitt wie F i g. 2, aber bei einem anderen Betriebsförmigen Halter in seinem Antrieb auch nachgiebig zustand der Schleuseinrichtung; Fig.4 stellt einen lagern, beispielsweise mittels Federn, so daß eine Schnitt senkrecht zur Achse des stabförmigen Hai-Lösung des Halters mit seinen Befestigungsmitteln 60 ters etwa in Höhe der Drehachse der Kugel dar. Die von dem eingescbleusten Gegenstand möglich ist. folgende Beschreibung erfolgt in erster Linie an Hand Dann kann die Fortsetzung der zweiten Dreh- der F i g. 2 und 3, und die F i g. 1 und 4 dienen vorbewegung den stabförmigen Halter von dem ein- nehmlich zur weiteren Erläuterung der Konstruktion geschleusten Gegenstand entkoppeln« Hierzu ge- und des Zusammenbaues der einzelnen Teile,
eignete Befestigungsmittel enthalten beispielsweise 65 Bei dem figürlich dargestellten Ausführungsbeieinen Haken an dem stabförmigen Halter und eine spiel handelt es, sich um eine zusammen mit einem Öse an dem einzuschleusenden Gegenstand. Für den Ventil für die Schleusenkammer zu einem Block zu-FaII, daß der Halter während des Arbeitens mit dem sammengefaßte Objektschleuseinrichtung. Der in den

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Figuren oberhalb der Dichtung 1 befindliche Teil des Wirksamwerden der beiden Rastvorrichtungen 20

Blockes ragt in den Vakuumraum des Korpuskular- und 21 (F i g. 1), die unter Federdruck stehende Ku-

strahlgerätes, im Beispiel eines Elektronenmikro- geln enthalten, die ihrerseits in Ausnehmungen in der

skops, hinein; die Dichtung 1 dichtet also den Um- Kulissenhülse 22 einfallen. Wie später noch erläutert

fang des Blockes gegen die Begrenzungswand einer 5 wird, dienen diese Rastvorrichtungen 20 und 21 zur

Ausnehmung an der strichpunktiert angedeuteten Markierung einer bestimmten Ventilstellung.

Säule des Elektronenmikroskops ab (F i g. 1). Der Dreht man nunmehr die Hülsenanordnung 13 wei-

Elektronenstrahl verläuft in den F i g. 2 und 3 senk- ter, so wird diese Bewegung begrenzt durch das

recht zur Zeichenebene oberhalb der Gegenlage 2 Wirksamwerden einer weiteren Anschlagstellung in

für einen Objekttisch, in den eine Objektpatrone io der Kulisse 15. Nunmehr erfolgt das weitere Ein-

oder ein sonstiger Objekthalter mittels der im fol- führen des stabförmigen Halters 3 mit dem Hohl-

genden zu beschreibenden Schleuseinrichtung ohne körper 6 durch eine zweite Verschiebebewegung der

Unterbrechung des Vakuums im Elektronenmikro- Hülsenanordnung 13 in Richtung ihrer Achse. Diese

skop eingesetzt bzw. aus ihm entfernt werden soll. Verschiebebewegung wird gemäß F i g. 3 beendet

Einen wesentlichen Bestandteil der erfindungs- 15 durch einen weiteren Anschlag der Kulisse 15. Dann gemäßen Schleuseinrichtung bildet der stabförmige steht die Fläche 23 der Kulisse 24 in dem Hohl-Halter 3, der an seinem oberen Ende den Haken 4 körper 6 dem Schwenkstift 25 in der Ausnehmung 11 zur Befestigung des Objekthalters 5 in einer Öse des- der Kugel 8, gegebenenfalls mit Spiel, gegenüber,
selben aufweist und in diesem Bereich von dem Der Hohlkörper 6 wird durch die anschlagartige Hohlkörper 6 umgeben ist. Der Hohlkörper 6 besitzt 20 Ausbildung bei 27 bei weiterer Bewegung des stabeine ballig geformte Stirnfläche 7, die mit der einen förmigen Halters 3 festgehalten.
Bestandteil des Schleusentores bildenden Kugel 8 zu- Nunmehr erfolgt eine zweite Drehbewegung der sammenwirkt. Die Dichtwirkung des Schleusentores Hülsenanordnung 13, bei der sich durch Wirksamwird dadurch erzielt, daß sich die ringförmige Dich- werden eines eine bestimmte Steigung aufweisenden tung 9 dicht gegen die Oberfläche der Kugel 8 legt. 25 Teiles der Kulissenführung 16, die mit dem hier ein

Die Kugel 8 ist um die Achse 10 drehbar, die in Kugellager tragenden Nocken 29 an dem stabförmidiesem Ausführungsbeispiel bei in die Ausneh- gen Halter 3 zusammenarbeitet, der Halter 3 durch mung 11 der Kugel hineinbewegtem Hohlkörper 6 die Bohrung 30 in dem Hohlkörper 6 relativ zu dieis. F i g. 3) gerade die in den F i g. 2 und 3 linke sem so bewegt, daß der Objekthalter 5 aus dem Be-Begrenzungslinie des Hohlkörpers 6 tangiert. Aus- 30 reich des Hohlkörpers 6 hinaus in semen Einsatzort gehend von der in Fig. 2 wiedergegebenen Stellung im Objekttisch bewegt wird.

des Hohlkörpers 6 wird durch Verschiebung des- Die Kulissenführung 24 hat folgende Aufgabe zu selben in Richtung auf die Gegenfläche 12 seine erfüllen: Beim Zurückziehen des stabförmigen Hai-Stirnfläche 7 mit der Gegenfläche 12 in Berührung ters 3 nimmt dieser wiederum den Hohlkörper 6 mit, gebracht; bei weiterer Verschiebebewegung des Hohl- 35 der seinerseits über die Anschlagfläche 31 mit dem körpers 6 dreht dieser die Kugel 8 um die Achse 10, ' Schwenkstift 25 zusammenwirkend die Kugel 8 aus bis die Achse der Ausnehmung 11 in der Kugel 8 die der in Fig. 3 dargestellten geöffneten Lage des in F i g. 3 dargestellte Lage hat, d. h. mit der Achse Schleusentores in ihre Schließstellung gemäß F i g. 2 des Hohlkörpers 6 und des stabförmigen Halters 3 gegen den Anschlagstift 31 α zurückdreht. Wie erzusammenfällt. 40 sichtlich, besitzt die Kulissenführung 24 den freien

Die Drehachse 10 ist die gemeinsame Achse der Auslauf 32, so daß nach dem Schließen des die Ku-

zwei Achsstutzen 10α und 10ό (s. Fig. 1). gel 8 enthaltenden Schleusentores der stabförmige

Betrachtet man nun den Antriebsmechanismus der Halter 3 zusammen mit dem Hohlkörper 6 aus der Schleuseinrichtung an Hand des Einschleusvorgan- Schleusenbohrung 14 entfernt werden kann,
ges, so erfolgt zunächst ein Einsetzen des stabförmi- 45 Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist eine gen Halters 3 mit dem Hohlkörper 6 und der all- Gegenlage 2 für den Objekttisch in dem Block der gemein mit 13 bezeichneten Hülsenanordnung in die Schleuseinrichtung gelagert. Diese Lagerung erfolgt Schleusenbohrung 14, d. h. eine erste Verschiebe- mittels Federn 33 und 34 sowie mittels Rollen 35,36 bewegung des Antriebes 13, deren Ergebnis F i g. 2 und 37 (s. F i g. 4) so, daß Objektbewegungen durch zeigt. Die Hülsenanordnung 13 weist in dem figur- 50 entsprechende Bewegungen des Tisches in einer lieh dargestellten Ausführungsbeispiel drei mit Nok- Ebene senkrecht zum Elektronenstrahl möglich sind, ken zusammenwirkende Kulissenführungen auf, von Die Hülsenanordnung 13 weist in ihrer äußeren denen für die Durchführung des eigentlichen Schleus- Hülse 38 noch die dritte Kulissenführung 39 auf, die Vorganges zunächst nur die mit 15 bezeichnete erste mit dem ebenfalls ein Kugellager zur Reibungsverrin-Kulissenführung und die mit 16 bezeichnete zweite 55 gerung tragenden Nocken 40 an dem allgemein mit Kulissenführung von Interesse sind. Die erste Kulis- 41 bezeichneten Ventil zusammenwirkt. Das Ventil senführung 15 wirkt zusammen mit dem Nocken 17 41 dient dazu, in Abhängigkeit von der Stellung des an dem Rohr 18, das über das Teil 19 fest im Ge- stabförmigen Halters 3 eine Evakuierung, eine Behause des Elektronenmikroskops angeordnet ist. Teil lüftung oder einen vakuumdichten Abschluß der 17 ist also ein feststehender Nocken. 60 Schleusenkammer zwischen dem durch die Kugel 8

F i g. 2 zeigt den Bewegungszustand, bei dem die und die Dichtung 9 gebildeten Schleusentor einererste Verschiebebewegung der Hülsenanordnung 13 seits und der weiteren, den stabförmigen Halter 3 durch die Anschlagwirkung des Nockens 17 beendet umgebenden Dichtung 42 andererseits zu ermögist. Hieran schließt sich in dem beschriebenen Aus- liehen.

führungsbeispiel eine erste Drehbewegung (Rechts- 65 Das Ventil 41 ist durch die Dichtung 43 in zwei drehung) an, die in später zu erläuternder Weise für Kammern unterteilt, von denen die in den Figuren die Ventileinstellung von Interesse ist. Diese erste obere mit 44 bezeichnet ist und mit der zum VorDrehbewegung wird zunächst unterbrochen durch vakuumbehälter führenden Leitung 45 in Verbindung

steht, während die in den Figuren untere das Bezugs- hen der Kugel 8 in ihre Durchlaßstellung für zeichen 46 trägt und über den Kanal 47 mit der den stabförmigen Halter 3 und den Hohlkörper 6 Schleusenkammer 48 verbunden ist. Der Ventil- vakumdicht schließen. Hierzu muß sein Stößel 49 stößel 49 enthält zwei axial verlaufende Bohrungen in die in Fig. 3 dargestellte mittlere Lage bewegt 50 und 51; beide Bohrungen sind Querbohrungen 52 5 werden, wie dies der Teil III der Abwicklung für die und 53 im Bereich ihrer einander zugekehrten Enden Kulissenführung 39 in F i g. 5 zeigt, zugeordnet. Sofern der Ventilstößel in die in Fig. 2 Nach dieser die Bewegung des Ventilstößels aus

dargestellte Lage durch Betätigen der Hülsenanord- der Belüftungsstellung I über die Evakuierungsstelnung 13 bewegt ist, erfolgt über seinen Kanal 51 und lung II in die Verschlußstellung III veranlassenden die Ventilkammer 46 eine Belüftung der Schleusen- io ersten Drehbewegung erfolgt die zweite Verschiebekammer 48; ist der Ventilstößel 49 ganz nach unten bewegung, die sich von ΙΠ bis IV erstreckt. Dembewegt (nicht dargestellt), so verbindet die andere entsprechend ist die Kulissenführung 15, wie auch Läügsbohrung 50 über die zugeordnete Querbohrung F ig. 3 erkennen läßt, in ihrem jetzt wirksam werden-52 die Ventilkammer 46 und damit die Schleusen- den Bereich so ausgebildet, daß sie sich parallel zur kammer 48 mit der Vakuumleitung 45. In der in 15 Achse des stabförmigen Halters 3 und damit in Rich-F ig. 3 gezeigten Stellung dagegen bewirkt das Ventil rung der Bewegung desselben erstreckt. 41 einen vakuumdichten Abschluß der Schleusen- Auch die Kulissenführung 39 für die Betätigung

kammer 48 und wird hierin durch die weitere Dich- des Ventilstößels 49 weist einen in dieser Richtung rung 42 dadurch unterstützt, daß diese sich dichtend verlaufenden Bereich auf, wie dies ebenfalls Fig. 3 vor das Ende 54 des Verbindungskanals legt. 20 zeigt. Die Stellung des Stößels 49 wird bei der zwei-

Bei geeigneter Ausbildung der drei Kulissenfüh- ten Verschiebebewegung also nicht geändert, rungen 15,16 und 39 ist es möglich, durch Ver- An diese zweite Verschiebebewegung II — IV

Schiebebewegungen und in demselben Drehsinn er- schließt sich die zweite Drehbewegung IV — V an, folgende Drehbewegungen der Hülsenanordnung 13 bei der die Drehung der Hülsenanordnung 13 durch den gesamten Ein- .und Ausschleusvorgang ein- 25 die Kulissenführung 16 mit dem Nocken 29 an dem schließlich der Betätigung des Ventils zu steuern. Die stabförmigen Halter 3 in eine Verschiebebewegung Abwicklung des prinzipiellen Verlaufs der drei der des stabförmigen Halters 3 relativ zu dem Hohl-Hülsenanordnung 13 zugeordneten Kulissenführun- körper 6 umgesetzt wird, der gemäß F i g. 3 durch gen 15,16 und 39 über dem'Drehwinkel α der Hül- den Anschlag 27 an der Teilnahme an dieser Bewesenanordnung 13 zeigt;Fig. 5. Bei I ist der in Fig. 2 30 gung gehindert wird. Während dieser Drehbewegung angenommene Zustand zugrunde gelegt, bei dem in- ändert sich weder die Lage der Hülsenanordnung 13 folge der ersten Verschiebebewegung bis zum Wirk- in Achsrichtung noch die Stellung des Ventilstößels samwerden des Nockens 17 als Anschlag für die 49, so daß die Kulissenführungen 15 und 39 einen Kulissenführung 15 der Hohlkörper 6 und der stab- geradlinigen Verlauf ohne Steigung ausweisen. Ledigförmige Halter 3 in die Schleusenbohrung eingesetzt 35 lieh die Kuh"ssenführungl6 besitzt jetzt eine Steigung, sind. Bei der sich hieran anschließenden, von I bis Im Zustand V ist der einzuschleusende Gegenstand

III verlaufenden ersten Drehung der Hülsenanord- in seine Arbeitsstellung bewegt. Es kann zweckmäßig nung 13 ändert sich die axiale Lage der entsprechen- sein, bei V α eine Raststellung vorzusehen, in der der den Bereiche der Kulissenführungen 15 und 16 nicht, stabförmige Halter 3 etwas zurückgezogen und von da diese erste Drehung lediglich zur Steuerung des 40 dem eingeschleusten Gegenstand mechanisch entVentils dienen soll. Das Ventil befindet sich im koppelt ist..

Augenblick I infolge geeigneter Ausbildung der mit Dreht man nunmehr die Hülsenanordnung 13 im

dem Nocken 40 an dem Ventilstößel 49 zusammen- selben Drehsinn weiter, so ist der Verlauf der wirkenden Kulissenführung39 in seiner in Fig.2 Kulissenführung 16 zwischenV und VI spiegelbilddargestellten höchsten Lage, in der über den Kanal 45 lieh zu dem Verlauf zwischen IV und V: Der stab-51 und seine Querbohrung 53 eine Belüftimg der föimige Halter 3 wird relativ zum Hohlkörper 6 Schleusenkammer 48 erfolgt. . wieder zurückbewegt, bis im Punkt VI beide Teile

In dem durch den ersten Teil der ersten Dreh- wieder gemeinsam bewegt werden. Während dieser bewegung erzielten Zustand Π ist dagegen der Ventil- Bewegungsphase bleibt der Ventilstößel in seiner den stößel 49 in seine figürlich nicht dargestellte tiefste 50 vakuumdichten Abschluß der Schleusenkammer 48 Lage verschoben, in der die andere Längsbohrung50 gewährleisteten Stellung (Fig. 3), und auch die des Stößels 49 über ihre Querbohrung 52 eine Ver- Kulissenführung 15 verläuft so, daß keine Verschiebindung zwischen, der Schleusenkammer 48 und der bung der Hülsenanordnung 13 auftritt, mit einem Raum niedrigeren Druckes, beispielsweise Die Verschiebung (Herausziehen) der Hülsendem Vorvakuumbehälter, in Verbindung stehenden 55 anordnung 13 erfolgt erst in dem anschließenden Leitung 45 schafft. In diesem Zustand II erfolgt also Bewegungsintervall VI — VII, worauf der Ventilvor dem Öffnen des die Kugel 8 enthaltenden Schleu- stößel 49 wieder in die in Fig. 2 dargestellte Besentores die Evakuierung der Schleusenkammer 48. lüftungsstellung bewegt werden muß. Dies geschieht Dieser Zustand wird in dem figürlich dargestellten durch Drehung VII — VIII; während dieser Dreh-Ausführungsbeispiel mittels der Rastvorrichtungen 60 bewegung erfolgt wie schon bei der ersten Dreh- und 21 fixiert, zumal es zweckmäßig sein kann, bewegung I — II keine Bewegung des stabförmigen beim Durchführen des Einschleusvorganges in der Halters 3 in Richtung seiner Achse. Stellung II kurz innezuhalten, um ein sicheres Eva- Der zweite Teil VIII — IX der Drehbewegung

kuieren der auch kleine Strömungsquerschnitte auf- kann dazu dienen, Zeit für die Belüftung der weisenden Schleusenkammer 48 zu gewährleisten. 65 Schleusenkammer 48 zu gewinnen; es kann sich aber Der zweite Teil dieser ersten Drehbewegung er- an den Zustand VIII sofort eine weitere Verschiebestreckt sich von II bis III und dient ebenfalls der bewegung anschließen, bei der der stabförmige Steuerung des Ventils. Das Ventil muß vor dem Dre- Halter 3 zusammen mit dem Hohlkörper 6 aus der

in F i g. 2 dargestellten Lage (Zustand VII) herausbewegt wird. In diesem Falle ist bei VIII wieder der Zustand nach I erreicht.

Es ist aber auch möglich, den Äusschleusvorgang durch Durchlaufen der Zustände V α bzw. V bis I in umgekehrter Reihenfolge durchzuführen.

Verständlicherweise läßt sich auch eine andere Ventilkonstruktion bei der figürlich dargestellten Schleuseinrichtung verwenden, beispielsweise eine solche, bei der die die beiden Kammern 44 und 46 des Ventils unterteilende Dichtung 43 nicht fest in dem Ventilgehäuse, sondern fest auf dem Ventilstößel 49 angeordnet und relativ zum Ventilgehäuse zusammen mit der in den F i g. 2 und 3 gezeichneten zweiten Ventildichtung bewegbar ist. Auch können weitere Rastvorrichtungen vorgesehen sein, beispielsweise eine Rastvorrichtung, die den Zustand IV markiert und zwischen einem den Hohlkörper 6 umgebenden, fest mit dem Gerät verbundenen Teil einerseits und einem an der Verschiebebewegung teilnehmenden Teil andererseits wirkt.

Wie die F i g. 1 bis 3 erkennen lassen, ist es zweckmäßig, den stabförmigen Halter 3 unter Verwendung der Feder 55 nachgiebig zu lagern, um eine Möglichkeit zur Anpassung an die jeweilige Lage des Objekttisches zu haben.

Das Ventil kann auch einen elektromagnetischen oder motorischen Antrieb besitzen, in dessen Stromkreis dann Kontakte liegen, die von der Hülsenanordnung über Nocken oder ähnliche Mittel gesteuert werden.

Claims (24)

Patentansprüche:

1. Korpuskularstrahlgerät mit einer Schleuseinrichtung, die in einer Schleusenbohrung einen stabförmigen Halter für einen einzuschleusenden Gegenstand und an dem dem Vakuumraum des Gerätes zugekehrten Ende der Schleusenbohrung ein eine Kugel enthaltendes Schleusentor aufweist, wobei das Schleusentor durch den stabförmigen Halter bei dessen Einführen geöffnet wird, während bei herausgezogenem Halter die Kugel das Ende der Schleusenbohrung dicht verschließt, dadurchgekennzeichnet, daß die Kugel (8) mit einer sie exentrisch durchsetzenden Ausnehmung (11) versehen, von einer ringförmigen Dichtung (9) umgeben und um eine senkrecht zur Achse der Schleusenbohrung (14) und neben dieser Achse verlaufende Drehachse (10) drehbar gelagert ist, derart, daß sie durch den stabförmigen Halter (3) bei' dessen Einführen durch die Schleusenbohrung gedreht wird, bis ihre Ausnehmung (11) die Verbindung zwischen der Schleusenbohrung und dem Vakuumraum des Gerätes herstellt und in dieser Stellung vom stabförmigen Halter (3) durchsetzt wird, wobei Mittel (24, 25) vorgesehen sind, die beim Zurückziehen des stabförmigen Halters (3) aus der Ausnehmung (11) heraus die Kugel (8) wieder in ihre Schließlage zurückdrehen, in der die Ausnehmung (11) ausschließlich auf der der Schleusenbohrung (14) zugekehrten Seite der die Kugel umgebenden Dichtung (9) liegt.

2. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel Federn enthalten, die die Kugel (8) entgegen dem von dem stabförmigen Halter (3) auf die Kugel (8) ausgeübten Drehmoment gegen einen Anschlag zu drücken suchen.

3. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 1,. dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel eine an dem stabförmigen Halter (3) befindliche Kulissenführung (24) für in der Ausnehmung (11) der Kugel (8) befestigte Schwenkstifte (25) sowie einen Anschlag (31 ä) für die Kugel (8) enthalten und daß die Form der Kulissenführung (24) und die Anordnung der Schwenkstifte (25) so gewählt sind, daß beim Wirksamwerden des Anschlags (31 a) Kulissenführung (24) und Schwenkstifte (25) einander freigeben.

4. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kulissenführung (24) einen freien Auslauf (32) aufweist.

5. Korpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stirnfläche (7) des stabförmigen Halters (3) ballig geformt ist und beim Einführen des Halters (3) sich auf einer Gegenfläche (12) in der Ausnehmung (11) der Kugel (8) abwälzend die Kugel (8) in die Lage dreht, in der die Achse der Ausnehmung (11) mit der Achse der Schleusenbohrung (14) zusammenfällt.

6. Korpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß auf den stabförmigen Halter (3) an seinem der Kugel (8) zugekehrten Ende ein Hohlkörper (6) aufgesetzt ist und in dem Hohlkörper (6) Befestigungsmittel (4) für die Halterung des zu schleusenden Gegenstandes an dem stabförmigen Halter (3) liegen.

7. Korpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 3 bis 5 und Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß Seitenwände des Hohlkörpers (6) die Kulissenführung (24) tragen,

8. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlkörper (6) beim Einfuhren des stabförmigen Halters (3) mittels eines Anschlages (27) in der Ausnehmung (11) gehalten wird und der stabförmige Halter (3) bei seiner weiteren Bewegung den zu schleusenden Gegenstand aus dem Hohlkörper (6) heraus an seinen Einsatzort im Gerät bewegt.

9. Korpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Dichtung (42) den stabförmigen Halter (3) in der Schleusenbohrung (14) umgibt und ein Ventil (41) vorgesehen ist, durch das die zwischen den beiden Dichtungen (9, 42) liegende Schleusenkammer (48) zeitweise mit der Atmosphäre oder mit einem Raum niedriger en Druckes verbindbar ist. . ..." .",...'_... .-'

10. Korpuskularstrahlgerät .nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb (4Q). für das Ventil (41) mit dem Antrieb'(13) für "den stabförmigen Halter (3) kombiniert ist.

11. Korpuskularstrahlgerät nach den Ansprüchen 8 und 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb für den stabförmigen Halter (3) eine das der Kugel (8) abgekehrte Ende desselben umgebende, zugleich den Betätigungsgriff bildende Hülsenanordnung (13) aufweist, die eine mit ortsfesten ersten Nocken (17) zusammenwirkende erste Kulissenführung (15) sowie eine mit zweiten Nocken (29) an dem stabförmigen Halter (3) zusammenwirkende zweite Kulissen-

führung (16) solchen Verlaufs trägt, daß das Einführen des stabförmigen Halters (3) bis zum Wirksamwerden des ersten Nockens (17) als Anschlag durch eine erste Verschiebebewegung der Hülsenanordnung (13) erfolgt, daß sich hieran eine erste Drehbewegung bis zum Wirksamwerden eines weiteren Anschlages (15) anschließt, daß hierauf eine zweite, durch einen Anschlag (15) begrenzte Verschiebebewegung erfolgt und daß nunmehr eine zweite Drehbewegung des An- ίο triebs den stabförmigen Halter (3) relativ zu dem Hohlkörper (6) in die Stellung verschiebt, bei der sich der zu schleusende Gegenstand an seinem .Einsatzort befindet.

12. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschläge durch die erste Kulissenführung (15) gebildet sind.

13. Korpuskularstrahlgerät nach den Ansprüchen 10 und 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Hülsenanordnung (13) eine dritte, mit dritten Nocken (40) an einem Stößel (49) des Ventils (41) zusammenwirkende Kulissenführung(39) solchen Verlaufs aufweist, daß in Abhängigkeit von der Betätigungsstelhmg des Antriebes der Stößel (49) in Stellungen bewegt ist, in denen er die Schleusenkammer (48) entweder mit der Atmosphäre oder mit dem Raum niedrigeren Druckes verbindet oder aber die Schleusenkammer (48) vakuumdicht abschließt.

14. ΚοφυβίΜ^ΐΓαΙι^εώΙ nach einem der An-Sprüche 9 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventil (41) ein Gehäuse aufweist, das einen Stößel (49) aufnimmt und das durch eine den Stößel (49) dichtend umgebende Dichtung (43) in zwei Kammern (44) unterteilt ist, von denen die eine Kammer (46) eine Verbindung zur Schleusenkammer (48) und die andere (44) eine Verbindung zu dem Raum niedrigeren Druckes aufweist, und daß der Stößel (49) sich in Richtung seiner Achse erstreckende Kanäle (50, 51) aufweist, von denen der eine (50) mit der einen Kammer (44) und der andere (51) mit der Atmosphäre in Verbindung steht und deren einander zugekehrte Enden auf dem Stößelumfang in einem Abstand voneinander auslaufen, der größer als die in Richtung der Stößelachse gemessene Länge der einen Kammer (46) ist.

15. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die erste (15) und die zweite (16) Kulissenführung einen derart gewählten weiteren Verlauf aufweisen, daß die Fortsetzung der zweiten Drehbewegung den stabförmigen Halter (3) von dem eingeschleusten Gegenstand entkoppelt.

16. Körpuskularstrahlgerät nach Anspruch 13 oder den Ansprüchen 13 und 14, dadurch gekennzeichnef, daß der Verlauf der dritten Kulissenfuhrung(39) derart gewählt ist, daß durch die erste Drehbewegung der Ventilstößel (49) über seine die Schleusenkammer (48) mit dem Raum niedrigeren Druckes verbindende Stellung in seine die Schleusenkammer (48) vakuumdicht abschließende Stellung bewegt wird.

17. Korpuskularstrahlgerät nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß der vakuumdichte Abschluß der Schleusenkammer (48) durch die weitere Dichtung (42) in der Schleusenbohrung (14) unterstützt ist, die dann die Einmündung. (54) eines Verbindungskanals zwischen der Schleusenkammer (48) und der einen Ventilkammer (46) abdeckt.

18. Körpuskularstrahlgerät nach den Ansprüchen 15 und 16, dadurch gekennzeichnet, daß der weitere Verlauf der dritten Kulissenführung (39) derart gewählt ist, daß nach der Rückkehr der Kugel (8) in ihre Schließstellung der Ventilstößel (49) in seine die Schleusenkammer (48) mit der Atmosphäre verbindende Stellung bewegt ist.

19. Körpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 11 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß einzelnen Stellungen des Antriebes Rastvorrichtungen (20, 21) zugeordnet sind.

20. Körpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß der stabförmige Halter (3) einen Haken (4) und der einzuschleusende Gegenstand (5) eine Öse trägt, die den Haken (4) mit im Hinblick auf etwaige Bewegungen des Gegenstandes (5) an seinem Einsatzort bemessenem Spiel umgibt.

21. Körpuskularstrahlgerät nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der stabförmige Halter (3) in seinem Antrieb nachgiebig (55) gelagert ist.

22. Körpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 21 mit einer Objektschleuseneinrichtung und einem Objekttisch, dadurch gekennzeichnet, daß eine Gegenlage (2) für den Objekttisch bewegbar in einem Block gelagert ist, der durch die Schleuseneinrichtung und gegebenenfalls das Ventil (41) gebildet ist.

23. Körpuskularstrahlgerät nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenlage (2) zumindest ungefähr die Form eines U besitzt, dessen freie Schenkel federnd (33, 34) mit Spiel in den Block derart hineinragen, daß der mittlere Teil des U zumindest ungefähr senkrecht zur Achse des stabförmigen Halters (3) verläuft.

24. Körpuskularstrahlgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß der Radius der Kugel (8) zumindest ungefähr gleich der größten Querschnittsabmessung des stabförmigen Halters (3) bzw. des Hohlkörpers (6) in dessen von der Ausnehmung (11) aufzunehmenden Bereich ist.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen