DE1220949B - Verstelleinrichtung fuer einen stabfoermigen Objekt- oder Blendenhalter in Korpuskularstrahlapparaten - Google Patents

Description

• Verstelleinrichtung für einen stabförmigen Objekt- oder Blendenhalter in Korpuskularstrahlapparaten Die Erfindung betrifft eine Verstelleinrichtung für einen stabförmigen Objekt- oder Blendenhalter in Korpuskularstrahlapparaten.
• Bei Elektronenmikroskopen muß dafür gesorgt werden, daß das Objekt bzw. die Blende während der Zeit der Herstellung von photographischen Aufnahmen des Bildes möglichst wenig auswandern kann.
• Die Erwärmung des Objektes bzw. der Blende durch auftreffende Elektronen führt, da das Material des Objekt- bzw. Blendenhalters sich ausdehnt, zu der thermischen Trift.
• Es ist bereits bekannt, eine gute Wärmeableitung vom Objekt bzw. von der Blende über den Halter auf größere Metallmassen zu erreichen. Dabei ergibt sich durch die langsamere Erwärmung eine geringere Triftgeschwindigkeit. So ist es beispielsweise bekannt, den Objekthalter als Kegel auszubilden, in dem das Objekt mit überwurfmutter eingeschraubt wird. Dieser Kegel sitzt mit großer Flächenanlage in der verhältnismäßig großen Masse des Verschiebetisches. Bei einer anderen bekannten Einrichtung wird der Objekthalter bei guter metallischer Flächenberührung zwecks Wärmeausgleich auf den Polschuh aufgepreßt. Derartige Ausführungen verlangen zum Einführen des Objekthalters in die Kegelhülse komplizierte Schleusmechanismen. Außerdem ist die Objektverschiebung durch die Reibung zwischen Polschuh und Objekthalter beeinträchtigt.
• Bei den bekannten stabförmigen Objekthaltern ist der Schleusmechanismus zwar einfach, aber die thermische Trift wird erheblich, weil die Einspannung des stabförmigen Objekthalters vom Objekt verhältnismäßig weit entfernt liegt. Eine Verminderung dieses Nachteiles läßt sich durch starke Stäbe erreichen, die genügend Masse haben, um eine langsame Erwärmung und damit geringe Triftgeschwindigkeit zu bekommen. Beim Einführen dieser starken Stäbe in das Vakuum muß jedoch eine Schleusenkammer mit Vorvakuumanschluß passiert werden, wenn nicht größere Luftmengen mit in den Hochvakuumraum eingeschleust werden sollen.
• Diese Nachteile lassen sich durch eine Verstelleinrichtung vermeiden, bei der gemäß der Erfindung die Verstelleinrichtung einen den stabförmigen Objekt- oder Blendenhalter rahmenförmig umgebenden Teil aufweist, in dem der Objekt- oder Blendenhalter in Strahlnähe fest eingespannt ist. Hierdurch ist eine Ableitung der durch die auftreffenden Korpuskeln entstehenden Wärme gewährleistet, und eine Verschiebung des Objekts durch Längenausdehnung des Objekthalters wird weitgehend vermieden. Dabei kann die Einrichtung so ausgebildet werden, daß der stabförmige Halter in Objektnähe durch eine zangenförmige Ausbildung des vorgezogenen Verstelltisches in radialer Richtung zur Anlage kommt, indem die Zangenbacken, beispielsweise durch Drehen eines Knopfes über ein gelenkiges Zwischenglied und eine Spindel an den stabförmigen Halter gepreßt werden.
• Andererseits ist es auch möglich, den stabförmigen Halter in Objektnähe in einer Kegelhülse oder an einer Planfläche zur Anlage zu bringen und ihn durch Federdruck in axialer Richtung gegen die Anlagefläche zu drücken.
• An Hand der Figuren sind die zwei Ausführungsbeispiele näher erläutert. , In F i g. 1 sind 1 und 2 Gehäuseteile eines Elektronenmikroskops. Der Gehäuseteil 2 umschließt den unter Hochvakuum stehenden Teil des Gerätes, der gegen den Teil t durch eine valcuumdichte Membran 3, die beispielsweise aus Gummi bestehen kann und zwischen zwei Scheiben 4. und 5 eingespannt ist, abgedichtet wird. In einem Verstelltisch 6, dessen Halterung innerhalb des Gerätes hier nicht näher dargestellt ist, wird ein stabförmiger Objekthalter 7 geführt. Er trägt eine das Objekt enthaltende Objektpatrone 8 und ist von außen durch einen Einstellknopf 9 verstellbar. Der Verstelltisch 6 ist durch einen rahmenförmigen Teil 10 bis in die Nähe des Elektronenstrahls vorgezogen, dessen Achsrichtung mit A und B bezeichnet ist. Der vorgezogene Teil 10 besitzt zwei zangenförmige Backen 11 und 11', von denen eine durch Drehen eines Knopfes 12 über ein gelenkiges Zwischenglied 13 und eine Druckspindel 14 an den Stab 7 gepreßt werden kann. Um eine überbeanspruchung der Spannelemente zu vermeiden, kann der Knopf 12 nur bis zu einem fest eingestellten Anschlag 15 gedreht werden. Bei dieser Ausführungsform wird also auf den stabförmigen Objekthalter 7 ein Flächendruck in radialer Richtung ausgeübt, um die gewünschte Wärmeableitung zu bekommen.
• Ein anderes Ausführungsbeispiel, bei dem der Objekthalter in axialer Richtung gegen den vorgezogenen Tei110 des Verstelltisches gedrückt wird, zeigt F i g. 2, in der nur die wesentlichen Teile eingezeichnet sind. Der stabförmige Objekthalter 7 ist hierbei an seinem Ende 16 kegelförmig ausgebildet. Am vorgezogenen Teil 10 des Verstelltisches ist entsprechend dem Ende 16 des Objekthalters 7 eine kegelförmige- Anlagefläche 17 ausgearbeitet, so daß durch Betätigung des Knopfes 9 der Stab 7 in Richtung des Pfeiles gegen die Anlagefläche 17 gedrückt werden kann.

Claims (3)

1. Patentansprüche: 1. Verstelleinrichtung für einen stabförmigen Objekt- oder Blendenhalter in Korpuskularstrahlapparaten, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstelleinrichtung einen den stabförmigen Objekt- oder Blendenhalter (7) rahmenförmig umgebenden Teil (10) aufweist, in dem der Objekt- oder Blendenhalter (7) in Strahlnähe fest eingespannt ist.
2. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an dem rahmenförmigen Teil (10) zwei Backen (11,11') vorgesehen sind, zwischen denen der stabförmige Objekt- oder Blendenhalter (7) durch eine Druckspindel (14) eingespannt ist.
3. 3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das freie Ende des stabförmigen Objekt- oder Blendenhalters (7) durch Federdruck in eine Kegelhülse oder an eine Planfläche des rahmenförmigen Teiles (10) gedrückt ist. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschrift Nr. 810 796.