DE761373C

DE761373C - Vorrichtung zur Verstellung eines Teiles eines Korpuskular-strahlapparates, z. B. eines Elektronenmikroskopes

Info

Publication number: DE761373C
Application number: DES148500D
Authority: DE
Inventors: Ernst Dr-Ing Ruska
Original assignee: Siemens and Halske AG; Siemens Corp
Current assignee: Siemens and Halske AG; Siemens Corp
Priority date: 1942-01-17
Filing date: 1942-01-18
Publication date: 1953-06-29

Description

Bei Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elektronenmikroskopen, ist es mitunter erforderlich, einen Apparatteil quer zur S trahl achse von außen einstellbar einzurichten. Diese Einstellbarkeit· ist: beispielsweise erforderlich', um bei einem Elektronenmikroskop einen bestimmten Objelrtauissrfinitt aussuchen zu können, der auf diem Endibildleudutischirm betrachtet bzw. auf der fotografischen Platte festgehalten werden soll. Um derartige, meist geringfügige VersteHbewegungen quer zur optischen Achse des Systeme durchzuführen, bedient man sich bekanntlich beispielsweise zweier in einer Ebene um 90 oder 120'°' gegeneinander versetzter, an einem feststehenden Apparatteil gelagerter Druckkörper, die durch äußere Antriebe, beispielsweise Verstellschraubeni, in ihrer Lagerung verschiebbar sind. Mit diesen Druckkörpern arbeiten bei den bekannten Anordnungen! am feststehen,-den Apparatteil durch Fiedem festgelegte Gegendruckkörper zusammen, und jedem Druckkörper ist eine Gleitfläche des zu verstellenden Apparatteiles zugeordnet. Alis Druckstücke werden, um. eine¹ sehr feinfühlige Verstellung zu ermöglichen, dabei meist

Kugeln oder Rollen angewendet, so daß sich also eine punktförmige oder linienförmige Berührung zwischen dem Druckstück und der zugeordneten Gleitfläche ergibt.
Die eingangs erwähnten bekannten Verstel!vorrichtungen werden, erfindungsgemäß dadurch verbessert, daß mindestens einer der Druckkörper oder Gegendruckkörper sich mit wenigstens zwei in der Angriffsebene der

ίο Druckkörper voneinander entfernt liegenden Teilen gegen die ihm zugeordnete Gleitfläche des zu verstellenden Apparatteiles legt. Auf diese Weise wird erreicht, daß sich der zu verstellende Apparatteil, also beispielsweise ein als Objektpatronenhalter dienender Tisch, der in den Vakuumraum des Mikroskops eingebaut ist, bei der Verstellung nicht dreht, sondern stets eindeutig nur parallel bewegt wird.

Wenn die Druckkörper als Druckstücke Kugeln oder Rollen haben, so wird man beispielsweise mindestens einem der Druckkörper zwei in dar Angriffsebene der Druckkörper voneinander entfernt liegende Rollen oder Kugeln zuordnen. Man kann aber auch wenigstens einen der Druckkörper mit einer Gleitfläche versehen, die mit der entsprechenden Gleitfläche des zu verstellenden Apparatteiles zusammenarbeitet. Man kann die durch äußere Antriebe einstellbaren Druckkörper um 90³ gegeneinander versetzt anordnen und ihnen in an sich bekannter Weise zwei jeweils genau gegenüberliegende, federnd abgestützte Druckkörper zuordnen. Man kann aber auch zwei um oooder 120° gegeneinander versetzten, von außen verstellbaren Druckkörpern einen einzigen um 135 bzw. 120 ° gegen diese versetzten federnden Gegendruckkörper zuordnen. Bei Anwendung der vorliegenden Vorrichtung zur Querverschiebung eines als Objektpatronenhalter dienenden, in den Vakuumraum eingebauten Tisches wird man zweckmäßig die axiale Lage dieses Tisches durch Federn festlegen., weiche den Tisch gegen eine Gleitfläche der Objektivlinse drücken. Hierdurch wird die Objektpatrone gegenüber der Objektivlinse gut festgelegt, so daß Erschütterungen des Apparates sich bei der Aufnahme nicht ungünstig auswirken können.

Die Figuren zeigen als Ausführungsbeispiel der Erfindung eine Objektpatronenhalterung für ein. Elektronenmikroskop. In Fig. 1 ist ein Querschnitt durch den oberen Teil der Objektivlinse mit den zugehörigen Patronen^ halterungen dargestellt. Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf den in Fig. 1 dargestellten Teil. Als Objekthalter dient ein Tisch 1, der mit Hilfe der Federn 2, 3 gegen die obere Abdeckplatte 4 der Objektivlinse gedruckt wird.

Der untere Rand 38 dieses Tisches ruht auf einer Gleitfläche 39 des Teiles 4. Die Objektpatrone 5 ist in: eine mittlere Bohrung 6 des Tisches 1 derart eingesetzt, daß sie sich mit ihrem Rand 7 fest auf eine Gegenfläche 8 des Tisches auflegt. Die Patrone kann sich außerdem noch in der in Fig. 1 dargestellten Lage mittels einer axial federnden Objektblendenfassung 37, fernerhin bei 9 gegen eine entsprechende Gleitfläche des Objektivlinseneinsatzkörpers 10 abstützen, wodurch eine doppelte Sicherung gegen Erschütterungen erfolgt.

Um Verschiebungen des Tisches 1 quer zur optischen Achse des Mikroskops durchführen zu können, sind dem Tisch zwei Druckkörper 11, 12 zugeordnet, die um 90- gegeneinander versetzt sind. Diese Druckkörper werden in der aus Fig. 1 ersichtlichen bekannten Weise über Schwenkhebel 13 mit Hilfe von Verstellschrauben 14 eingestellt. Zur Betätigung der Verstellschrauben 14 dienen Handgriffe 15, welche in der Xähe der Objektivlinse angeordnet sind. Die Verstellschrauben können fernerhin in an sich bekannter Weise nach unten hin verlängert sein, so daß sie auch bequem von dem sitzenden Beobachter aus verstellt werden können. Mit dem Druckkörper 11 arbeitet ein Gegendruckkörper 16 zusammen, der sich mit Hilfe einer Feder 17 gegen den: feststehenden Teil 18 der Vakuumwand abstützt. Die Druckstifte 11, 12, 16 weisen je eine Rolle 19, 20, 21 auf, die mit entsprechenden Gleitflächen 22. 23, 24 des Tisches 1 zusammenarbeiten. L*m bei Verstellbewegungen ein Drehen des Tisches zu verhindern, ist der federnde, dem Druckstift 12 genau gegenüberliegende Gegendruckkörper 25 gemäß der Erfindung mit zwei Rollen 26, 27 versehen, die in der aus Fig. 2 ersichtlichen Weise mit der Gleitfläche 28 des Tisches zusammenarbeiten. Die Gleitfläche 28 stützt sich somit gegen die beiden Rollen, 26 und 27 derart ab, daß bei Betätigung des Druckstiftes 11 bzw. bei Betätigung des Druckstiftes 12 stets eine eindeutige Parallelverschiebung des Tisches 1 gesichert ist.

In dem Tisch 1 ist eine Reihe von Bohrungen 29 vorgesehen, die eine gute Evakuierung des oberen und unteren Mikroskopteiles sicherstellen. Entsprechende Bohrungen 30 be- no finden sich auch in der Objektivlinse. Zum Einsetzen und Entnehmen der Objektivpatrone 5 ist in der Vakuumwand 18 eine von außen in an sich bekannter Weise verschließbare öffnung 31 vorgesehen. Einen Querschnitt durch diese Öffnung zeigt Fig. 3. Für das Einsetzen bzw. Entnehmen der Patrone wird der in Fig. 4 dargestellte Halter 32 verwendet. Dieser Halter bildet einen gabelförmigen Schlüssel 33, der in die Rille 34 der Objektivpatrone paßt. Die Patrone wird mit Hilfe des Schlüssels 32 durch eine geradlinige,

quer zur optischen Achse verlaufende Bewegung im den Tisch eingeführt. Eine Führung im Objekttisch, d. h. ein dem unteren Patronenteil 35 angepaßter Quersehlitz 36 im Tisch ι sorgt dafür, daß- die Patrone zwangsläufig an die richtige Stelle geführt wird. Sobald die Patrone und der Schlüssel die in Fig. 3 gestrichelt angedeutete Lage erreicht hat, wird der Schlüssel· mit der Patrone in der Achsrichtung nach, unten gedrückt und die mittlere Bohrung 6 de» Tisches 1 nimmt die Patrone auf. Danach kann dar Schlüssel· 32 herausgezogen und die Öffnung 31 verschlossen werden.

Claims

PATENTANSPRÜCHE:

i. Vorrichtung zur Verstellung eines Teiles eines KorpuskuJarstrahlapparates, z. B. eines: Elektronemmikroskopes, quer zur Strahlachse mit HiHe von gegeneinander -versetzten, an einem feststehenden Apparattie.il gelagerten, durch äußere Antriebe quer verschiebbaren Druckkörpern, die mit einem oder mehreren am feststehendem Apparatteil· durch Federn festgelegten Gegenidruckkö'rpern zusammenarbeiten, und bei, denen: jedem Druckkörper und Gegendiruckkörper eine Gleitfläche des zu verstellenden Apparatteiles zugeordnet ist, insbesondere "ziur Querverstellung eines Objekthalters, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einer der Druckkörper oder Gegend'ruckkörper sich mit wenigstens zwei in der Angriffsebene der Druckkörper voneinander entfernt liegendien Teilen gegen die ihm zugeordnete Gleitfläche des zu. verstellenden Apparatteiles: legt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Druckkörper alsi D'ruckstücke Kugeln oder Rollen aufweisen, die mit den zugeordneten Gleitflächem zusammenarbeiten, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einer der Druckkörper zwei in ihrer Angriffsebene voneinander entfernt liegende Rollen oder Kugeln hat.
3. Vorrichtung¹ nach Anspruch i, dadiurch gekennzeichnet, daß wenigstens einer der Druckkörper eine Gleitfläche hat, die mit der entsprechenden Gleitfläche des zu verstellenden Apparatteiles zusammentarbeitet.
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1,

2 oder 3 zur Querverschiebung eines; als Objektpatronenhalter dienenden, in den Vakuumraum eingebauten Tisches, dadurch gekennzeichnet, daß die axiale Lage des Tisches durch Federn festgelegt ist, welche den Tisch gegen eine Gleitfläche der Objektivlinse drücken.
5. Vorrichtung mach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß den beiden um 90⁰ gegeneinander versetzten, von außen' verstellbaren Druckkörpern! ein einziger um 135⁰ gegen diese versetzter federnder Gegendruckkörper zugeordnet ist.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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