DE1614122B1 - Magnetische,insbesondere elektromagnetische,Polschuhlinse fuer Korpuskularstrahlgeraete,insbesondere fuer Elektronenmikroskope und Verfahren zu ihrer Justierung - Google Patents

Magnetische,insbesondere elektromagnetische,Polschuhlinse fuer Korpuskularstrahlgeraete,insbesondere fuer Elektronenmikroskope und Verfahren zu ihrer Justierung

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DE1614122B1 DE19671614122 DE1614122A DE1614122B1 DE 1614122 B1 DE1614122 B1 DE 1614122B1 DE 19671614122 DE19671614122 DE 19671614122 DE 1614122 A DE1614122 A DE 1614122A DE 1614122 B1 DE1614122 B1 DE 1614122B1
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Description

1 ■ ■ .. 2 <
Die Erfindung betrifft eine magnetische, insbeson- durch die Genaujjgkgit djr Justierung ebenfalls herabdere elektromagnetische, Polschuhlinse für Korpus- gesetzt wird. Im prjfljzip ergeben sieh bei einer derkularstrahlgeräte, insbesondere für Elektronenmikro- artigen, mit quer zur §fr-ahlachse Kräfte ausübenden skope, deren beide Polschuhe unter Verwendung un* Justierschrauben versehenen Polschuhanordnung also magnetischer Abstandsteile und parallel zur Strahl- 5 zwei die Güte der Justierung verringernde Fehlerachse angeordneter Schrauben zu einer aus dem Gerät quellen, von denen sich die oben an erster Stelle begesondert entfernbaren Einheit zusammengefaßt sind handelte im wesentlichen erst nach Beendigung des und bei der zumindest einer der Polschuhe quer zur Justiervorganges und die oben an zweiter Stelle beAchse des Korpuskularstrahles relativ zu dem jeweils handelte bereits während des Justierens störend beanderen Polschuh nach Entfernen der Einheit justier- io merkbar macht.
bar ist. Dabei ist in erster Linie an eine Pojsehuhlinse Die. Polsshuhjinse ist nun zur Behebung dieser
für Elektronenmikroskope gedacht, jedoc]* kann die Jugtjgrungenauigkeiten erfindungsgemäß dadurch geLinse mit Vorteil auch bei Ionenmikroskopen, kennzeichnet, daß die Abstandsteile eine quer zur LadungsteägerstrahlrBearbeitungsgeräten, Beugungs-i Strahlachse verlaufende Reibfläche als Auflagefläche geraten oder anderen K^us.k^arstrahlgeräte.n An? 15 für den justierbaren Polschuh oder ein mit ihm fest wendung finden. verbundenes ringförmiges Teil besitzen, daß ferner
Polschuhlinsen, deren beide Polschuhg jn der ge,-> zum Anpressen des justierbaren Polschuhes bzw. des nannten Weise zu einer aus dem Qerät gesgn.de.rt ejrtr ringförmigen Teiles an die Reibfläche die Schrauben fernbaren Einheit zusammengefaßt sind, besehreibt in die Abstandsteile eingeschraubt sind und die in beispielsweise die USA.-Patentschrift 2 679 018. 20 dem justierbaren Polschuh bzw. dem ringförmigen Auch dort enthält diese Einheit, die ohne Beeinflus- Teil vorgesehenen Löcher mit Spiel durchsetzen, und sung der Lage der den magnetischen Fluß erzeugen- daß zwischen d§n Schraubenköpfen und den diesen den Teile der Linse, also beispielsweise einer Spule benachbarten Oberflächenbereichen des justierbaren mit Eisenrückschluß oder Permanentmagnete, aus Polschuhes bzw. des ringförmigen Teiles reibungsdem Gerät entfernbar ist, Mittel, die es gestatten, 25 mindernde Mittel vorgesehen sind. Relativbewegungen zwischen den beiden Polschuhen Bei der Erfindung wird al§P bewußt darauf geach-
quer zur Strahlachse durchzuführen. Diese Justierung tet, daß die ganze Einheit so aufgebaut ist, daß wähaußerhalb des Korpuskularstrahlgerätes vorzunehmen rend und nach der Justierung 'auf das justierbare bietet insofern Vorteile, als die Bewegungen der ein- Polschuhteil keine quer zur S.trahlachse gerighteten zelnen Polschuhe nicht unter dem Einfluß eines ma- 30 Kraftkomponenten wirken.
gnetischen Flusses vorgenommen und keine reibungs- Die Festlegung des justierbaren Polschuhteiles in
vermindernden Spalte zwischen den einzelnen Teilen seiner Justierstellung erfolgt dadurch, daß durch Ander Einheit vorgesehen zu werden brauchen. Auch igt ziehen der parallel zur Sfirahlachse verlaufenden es insbesondere dann, wenn die Polschuhe im ein- .Sehrauben die Reibung zwischen dem justierbaren gesetzten Zustand von den flußerzeugenden Teilen 35 Polschuh bzw. dem den justierbaren Polschuh haltender Linse umgeben sind, schwierig, Antriebsmittel den ringförmigen Teil einerseits und einer Auflageoder Werkzeuge zur Justierung der Polschuhe an die fläche an den unmagnetischen Abstandsteilen ande-Polschuhanordnung heranzuführen. rerseits auf einen für die Fixierung ausreichenden
Bei der bekannten Polschuhlinse enthalten die un- Wert erhöht wird. Auch hier sind also keine quer zur magnetischen Abstandsteile ein hohlzylindrisches 40 Strahlachse liegenden Schrauben vorgesehen." Teil, in das der untere Polschuh eingesetzt und auf Damit die Schrauben beim Festziehen nach der
das der obere Polschuh mit einem bundartigen Fort- Justierbewegung keine Querkräfte auf den justiersatz in das Teil hineinragend aufgesetzt ist. Sowohl baren Polschuh ausüben, wodurch entweder sofort zur Halterung der beiden Polschuhe als auch zur oder im Laufe der Zeit (»Fließen«) Querversetzungen Durchführung ihrer Justierbewegujagr sind in dem 45 dieses Polschuhes verursacht werden könnten, sind hohlzylindrischen Teil parallel zur Strahlachse ver- zusätzliche Maßnahmen getroffen, die die Reibung laufende Schrauben angeordnet, die mit ihren Enden zwischen den Schraubenköpfen einerseits und ihnen in Ausnehmungen in mit den Polschuhen verbünde- zugekehrten Bereichen der Oberfläche des justiernen ringförmige Teile hineinragen. Bei der Justierung bargn Polschulies bzw, des. mit diesem fest yerbunder einzelnen Polschuhe dienen diese über den Um- 50 denen ringförmigen Teiles andererseits auf einen verfang verteilten Schrauben teilweise als die Justier- nachlässigbaren Wert herabsetzen. Es handelt sich bewegung durchführende Druckschrauben, die quer hier also um entgegengesetzte Maßnahmen an zwei zur Strahlachse gerichtete Kräfte auf den beweglichen verschiedenen Auflageflächen. Die Auflagefläche der Polschuh ausüben, und teilweise als Gegenschrauben. unmagnetischen Abstandsteile für den justierbaren Es hat sich gezeigt, daß es einerseits sehr schwer ist, 55 Polschuh soll nach Festlegung des Polschuhes diesen die verschiedenen auf einen Polschuh wirkenden durch Reibung festhalten, dagegen soll die Auflage-Schrauben so einzustellen, daß sie betragsmäßig glei- fläche für die Schraubenjiöpfe möglichst reibungsfrei ehe Kräfte auf den Polschuh ausüben und daß an- sein.
dererseits bei unterschiedlichen Kraftwirkungen der Zur Erläuterung dieses Prinzips dient die schemaeinzelnen Schrauben Ausgleichsbewegungen des 60 tische Fig. 1. Dort ist eine zwei Wicklungen oder jeweiligen Polschuhes relativ zu dem anderen Pol- zwei Wicklungsteile 1 und 2 oberhalb und unterhalb schuh nach Beendigung des Justiervorganges auftre- der Polschuheinheit 3 aufweisende Linse wiederten. Man kann hier von einer mechanischen Hysterese gegeben, deren Eisenrückschluß mit 4 bezeichnet ist. sprechen. Weiterhin ist der Angriffspunkt der einzel- Der im Eisenrückschluß verlaufende magnetische nen Schrauben im Hinblick auf Herstellungstoleran- 65 Fluß schließt sich über die Polschuhe 5 und 6 und den zen nicht genau fixiert, so daß die einzelnen Schrau- zwischen diesen befindlichen Linsenspalt 7, in dem ben ein mit ihrer Stellung veränderliches Drehmoment die Beeinflussung des Elektronenstrahles 8 durch den auf den jeweiligen Polschuh ausüben können, wo- magnetischen Fluß der Linse erfolgt. Die Polschuhe 5
3 4
. und 6 sind mittels des ringförmigen Teiles 9 und des Durchführung der Justierung eingesetzt wird und die wie das Teil 9 aus einem unmagnetischen Material, gegebenenfalls Justierschrauben enthält, wie Messing, bestehenden Abstandsteiles 10 zu der ". Die reibungsmindernden Mittel, die im Falle des Einheit3 zusammengefaßt, die in diesem Ausfuhr Ausführungsbeispiels nach Fig. 1 als wesentliche rungsbeispiel durch Bewegung quer zum Elektronen- 5 Elemente Kugeln enthalten, können auch durch strahle gesondert aus dem Korpusjailarstrahlgerät Unterlegscheiben mit glatten Oberflächen gebildet entfernbar ist. Zu diesem Zweck kann der Eisenkreis 4 sein, die aus einem Kunststoff bestehen können, im Bereich der Einheit 3 eine Ausnehmung be- Ein weiterer Vorteil des Zusammenbaues der Polsitzen, schuhe einer Linse zu einer gesondert aus dem Kor-Der quer zur Achse des Elektronenstrahles 8 und io puskularstrahlgsrät entfernbaren Einheit besteht in relativ zu dem fest im Abstandsteil 10 gehaltenen an- der einfachen Möglichkeit zur Reinigung und zum deren Polschuh 6 justierbare Polschuh 5 ist fest mit Auswechseln der Polschuhe. Sofern beispielsweise zu dem ringförmigen Teil 9 verbunden, das seinerseits den genannten Zwecken die Einheit auseinandermittels Sehrauben 11 in vorzugsweise rotatipnssym- genommen werden muß, ist es zweckmäßig, dem metrischer Anordnung bezüglich des Elektronen- 15 justierbaren Polschuh vorzugsweise einstellbare Marstrahles 8 auf die Auflagefläche 12 des Abstandsteiles kierungen, wie Fadenkreuze, zuzuordnen. Bei Ver-
10 gedrückt ist. Die Fläche 12 ist als Reibfläche, d. h. wendung einstellbarer Markierungen kann man Teilmit rauher Oberfläche, ausgebildet, wobei aber die striche auf diesen nach erfolgter Justierung zur Dßk-Rauhigkeit der Oberfläche dadurch begrenzt }st, daß kung bringen und so beim erneuten Zusammenbau bei gelockerten Schrauben 11 feine Bewegungen des 20 der Einheit die einmal ermittelte Justierstellung mit ringförrnigen Teiles 9 und damit des Polschuhes 5 großer Genauigkeit wiederfinden, also gegebenenfalls quer zum Elektronenstrahl 8 möglich sein müssen. ohne erneut Testaufnahmen herstellen zu müssen.
Während die Fläche 12 also in diesem Sinne als Dadurch, daß bei der vorliegenden Polschuhlinse
Reibfläche ausgebildet ist, sind zusätzliche Mittel auf. quer oder schräg zum Korpuskularstrahl Kräfte zwischen, den unteren Flächen der Schraubenköpfe 25 ausübende Schrauben in der Einheit verzichtet ist, einerseits und den ihnen zugekehrten Bereichen 13 erübrigen sieh bundartige Fortsätze an dem justierder die Schrauben aufnehmenden Senkungen in dem baren Polschuh, die in den Raum zwischen den beiringförrnigen Teil 9 andererseits vorgesehen, die jede den Polschuhen innerhalb der Einheit hineinragen. Reibung zwischen den Schraubenköpfen und diesen; Eine solche Konstruktion bietet daher die Mögliche Oberflächenbereichen beim Anziehen der Schrauben 3O keit, in diesem freien Zwischenraum weitere der Linse
11 verhindern sollen. In dem in Fig. 1 gezeigten zugeordnete Teile als Bestandteil der gesondert ent-Ausführungsbeispiel dienen hierzu die zwischen Plat^ fernbaren Einheit vorzusehen. Es sei bemerkt, daß ten 14 und 15 geführten Kugeln 16, die gegebenen- diese Möglichkeit unter Umständen auch dann befalls von einem nachgiebigen Käfig 17, beispielsweise stehen kann, wenn die Festlegung des justierbaren aus einem geschäumten Kunststoff, umgeben s.ein 35 Polschuhes in anderer Weise als oben angegeben erkönnen. Die Kugeln sind also so gehalten, daß sie alle folgt, daß aber diese vorteilhafte Möglichkeit der Auf-Qnerkräfte, die beim Anziehen der Schrauben beim. nähme weiterer der Linse zugeordneter Teile in die Fehlen der Teile 14 bis 16 auf das ringförmige Teil 9 Polschuheinheit sich bei der vorliegenden Festlegung ausgeübt werden würden, wirkungslos machen. . deshalb besonders evident ergibt, weil durch die Ver-
Die Schrauben 11 sind, um die Justierbewegungen 40 wendung von parallel zur Strahlachse wirkenden des Polschuhes 5 zuzulassen, durch sie mit hinreichen- Haltgsehrauben keinerlei zusätzliche Teile, Bünde dem Spiel umgebende Löcher in depj ringförmigen od. dgl, notwendig sind. Te.il 9 hindurchgpführt. Man wird zweckmäßigerweise solche weiteren Teile
Mit 18 und 19 ist je eine Skala an den Teilen 9 und in die Polschuheinheit aufnehmen, die eine Justierung 10 bezeichnet, die die einmal gefundene Justierung 45 bezüglich des Korpuskularstrahles erfordern oder im des Polschuhes 5 markieren. Betrieh bezüglich des Korpuskularstrahles bewegbar
Wie das Ausführungsbeispiel zeigt, ist ,auf quer sein müssen. Beispielsweise können die weiteren Teile oder geneigt zur Strahlachse verlaufende Schrauben - einen Stigmator bilden. Handelt es sich um einen verzichtet, und auch die Schrauben 11 haben lediglich elektrischen oder elektromagnetischen Stigmator, so die Aufgabe von Halteschrauben, nicht aber von 50 steht die Justierung desselben quer zum Kqrpuskular-Justierschrauben. Es hat sich nämlich gezeigt, daß strahl im Vordergrund, sofern man nicht auf elekeipe sehr feinfühlige Justierung gerade unter Verzicht irischem Wege die Stigmatorachse bezüglich der auf Justierschrauben außerhalb des Korpuskular- Linsenachse ausrichtet. Man kann aber auch einen Strahlgerätes von Hand durchgeführt werden kann, mechanischen Stigmator mittels eines Stigmatorbeispielsweise indem man mit einem Bleistift gegen 55 gehäuses an den Abstandsteilen und/oder einem mit den justierbaren Polschuh vorsichtig klopft. Ein be- diesen fest verbundenen Polschuh befestigen. Bei vorzugtes Verfahren zum Justieren der Polschuhlinse einem derartigen mechanischen Stigmator erfolgt die nach der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß Einstellung bekanntlich durch Bewegung von magnebei in das Gerät eingesetzter Einheit Testaufnahmen tischen Unsymmetrien (Eisenmassen) in bezug auf hergestellt und hieraus die erforderlichen Justier- 60 den Korpuskularstrahl. Diesen Stigmator wird man bewegungen des justierbaren Polschuhes ermittelt mit einem Antrieb, der vakuumdicht durch das Gewerden, daß die Einheit aus dem Gerät entfernt wird, häuse des Korpuskularstrahlgerätes hindurchgeführt und daß hierauf unter Beobachtung mittels einer ist, zweckmäßigerweise über eine Steckverbindung lichtoptischen Vergrößerungseinrichtung die Justier- verbinden, damit eine einfache Möglichkeit zur Aufbewegungen von Hand durchgeführt werden. 65 hebung dieser Verbindung beim Entfernen der Ein-"1Es sei jedoch bemerkt, daß man auch eine Vor- heit gegeben ist.
richtung verwenden kann, in die die Einheit nach Die in die Einheit aufgenommenen weiteren Teile
ihrer Entfernung aus dem Korpuskularstrahlgerät zur können auch Blenden sein, gegebenenfalls solche, die
mit einem Tiefkühlmittel, wie flüssiger Luft, in wärmeleitender Verbindung stehen. Derartige gekühlte Blenden haben besonders bei einer Objektivlinse Bedeutung, bei der man in der Umgebung des zu untersuchenden Objektes gekühlte Flächen zum Zwecke der Vermeidung einer Objektverschmutzung anordnet.
Ebenfalls im Falle einer Objektivlinse können die weiteren Teile einen quer zur Strahlachse verschiebbaren Objekttisch bilden.
Die Fig. 2 bis 5 zeigen ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, bei der die Polschuheinheit sowohl einen Objekttisch als auch einen an sich bekannten mechanischen Stigmator enthält. Es handelt sich also um eine in eine Objektivlinse, beispielsweise eines Elektronenmikroskops, einsetzbare Einheit. Die flußerzeugenden Teile dieser Objektivlinse, d. h. im Falle einer elektromagnetischen Linse die Linsenwicklung und der Eisenrückschluß, sind nicht dargestellt; sie sind an sich bekannt und im Prinzip in Fig. 1 angegeben.
Fig. 2 zeigt eine Aufsicht auf die Einheit, die Fig. 3, 4 und 5 geben verschiedene, im einzelnen bezeichnete Schnitte wieder.
Die Einheit enthält als wesentliche Bestandteile den fest mit dem zweistückigen unmagnetischen Abstandsteil 20 verbundenen unteren Polschuh 21 sowie den quer zur Strahlachse 22 justierbaren oberen Polschuh 23, der fest in das ringförmige Teil 24 eingesetzt ist, das seinerseits, auf der als Reibfläche ausgebildeten Auflagefläche 25 des Abstandsteiles 20 aufliegt. Das obere und das untere Stück des Abstandsteiles 20 sind, wie F i g. 5 zeigt, über die Konuspassung 20 α mittels Schrauben20& (Fig. 4) zusammengesetzt. Am Umfang ist das Abstandsteil 20 strebenartig ausgebildet (vgl. Fig. 4).
Die feste Verbindung zwischen dem unteren Polschuh 21 und dem Abstandsteil 20 erfolgt gemäß F i g. 5 über Schrauben 26 und den Konusring 27. Während hier also eine formschlüssige Festlegung erfolgt, ist der Polschuh 23 über das-ringförmige Teil 24 kraftschlüssig an dem Abstandsteil 20 gehalten. Hierzu dienen Schrauben 27 α, die durch Aufeinanderpressen der Teile 24 und 20 die Reibkraft an der Auflagefläche 25 im zur Fixierung erforderlichen Maße vergrößern.
Damit keine Kraftkomponenten quer zum Elektronenstrahl 22 beim Anziehen der Schrauben 27 a, von denen mehrere rotationssymmetrisch bezüglich der Strahlachse 22 vorhanden sind, auf den justierbaren Polschuh 23 übertragen werden, ist eine Unterlegscheibe 28 aus einem die Reibung zwischen den Köpfen der Schrauben 27 α und der zugekehrten Fläche des ringförmigen Teiles 24 verringernden Material, im Beispiel einem Kunststoff, vorgesehen. Die Schrauben 27a sind durch Löcher 29 in dem ringförmigen Teil 24 hindurchgesteckt, die die Schrauben mit derart gewähltem Spiel umgeben, daß die Löcher 29 die Justierbewegungen des Polschuhes 23 nicht behindern.
Mit dem Abstandsteil 20 über die Achse 30 α drehbar verbunden ist der Halter 30 für die Konusrolle 31, die zur Rückstellung des Qbjekttiscb.es 32 und zum Andrücken desselben gegen eine Auflagefläche dient. Dieser etwa ringförmig ausgebildete Objekttisch (vgl. auch Fig. 4) trägt auf seiner der federnden Konusrolle 31 abgekehrten Seite die weitere Rolle 33, an die sich im eingesetzten Zustand der Einheit eine nicht dargestellte Verstellvorrichtung für den Objekttisch 32 anlegt. Dieselbe Aufgabe hat die dritte Rolle 34 am Objekttisch; auf den dieser Rolle 34 abgekehrten Bereich 35 des Objekttisches 32 legt sich eine federnde Anlage auf.
Der Objekttisch32 trägt, wie nur in Fig. 5 eingezeichnet, in einer die Feder 36 aufweisenden Aufnahme 37 den eigentlichen Objekthalter 38, der auf seinem am Elektronenstrahl 22 liegenden Bereich blendenförmig ausgebildet ist und in dieser Blende das zu untersuchende Objekt hält.
Weiterhin ist dieser Einheit ein mechanischer Stigmator zugeordnet. Er besitzt die beiden relativ zueinander verdrehbaren Ringe 40 und 41, die jeweils Eisenklötzchen als Unsymmetrien in bestimmter Anzahl tragen. In den Fig. 3 und 5 sind nur die sich gegenüberliegenden Unsymmetrien 42 und 43 an dem inneren Stigmatorring 41 erkennbar; die entsprechenden Unsymmetrien des Ringes 40 liegen vor bzw. hinter den Unsymmetrien 42 und 43 ebenfalls einander diametral gegenüber.
Diese beiden Stigmatorringe sind mittels des Stigmatorgehäuses 44 an dem unmagnetischen Abstandsteil 20 gehalten; das Gehäuse besteht ebenfalls aus magnetisch unwirksamem Material.
Der Antrieb des Stigmators ist so ausgebildet, daß zur Einstellung der Stärke des Stigmatorfeldes die den beiden Ringen 40 und 41 zugeordneten Unsymmetrien relativ zueinander und zur Einstellung der Richtung des Stigmatorfeldes sämtliche Unsymmetrien gemeinsam um die Strahlachse 22 geschwenkt werden können. Hierzu tragen die beiden Stigmatorringe, wie Fi g. 3 zeigt, je einen Zahnkranz 45 bzw. 46; diese beiden Zahnkränze wirken mit Zahnrädern 47 bzw. 48 auf einem schlüsselartigen Ansatzstück 49 für die Verbindung mit einem Stigmatorantrieb zusammen.
Zur Fixierung der Justierstellung des justierbaren Polschuhes 23 sind gemäß F i g. 3 zwei Glasplatten 50 und 51 mit Fadenkreuzen vorgesehen, von denen die eine am ringförmigen Teil 24 und die andere an dem Abstandsteil 20 befestigt ist. Die Platte 50 ist quer verschiebbar, so daß Markierungen auf den beiden Skalen nach Abschluß der Polschuhjustierung zur Deckung gebracht werden können. Die Platte 50 ist in den Ring 53 eingeklebt, der einen Zwischenraum 54 gegenüber dem Andruckbügel 55 besitzt.
Die Einheit wird im eingesetzten Zustand mittels Federanordnungen 52 gegen eine definierte Gegenlage gedrückt.

Claims (14)

Patentansprüche:
1. Magnetische, insbesondere elektromagnetische, Polschuhlinse für Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere für Elelctronenmikroskope, deren beide Polschuhe unter Verwendung unmagnetischer Abstandsteile und parallel zur Strahlachse angeordneter Schrauben zu einer aus dem Gerät gesondert entfernbaren Einheit zusammengefaßt sind und bei der zumindest einer -" der Polschuhe quer zur Achse des Korpuskularstrahles relativ zu dem jeweils anderen Polschuh nach Entfernen der Einheit justierbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandsteile (20) eine quer zur Strahlachse (22) verlaufende Reibfläche (25) als Auflagefläche für den justierbaren Polschuh (23) oder ein mit ihm fest verbundenes ringförmiges Teil (24) besitzen, daß ferner zum Anpressen des justierbaren Polschuhes
(23) bzw. des ringförmigen Teiles (24) · an die Reibfläche die Schrauben (27 a) in die Abstandsteile (20) eingeschraubt sind und die in dem justierbaren Polschuh (23) bzw. am ringförmigen Teil (24) vorgesehenen Löcher (29) mit Spiel 5 durchsetzen, und daß zwischen den Schraubenköpfen und den diesen benachbarten Oberflächenbereichen des justierbaren Polschuhes (23) bzw. des ringförmigen Teiles (24) reibungsmindernde Mittel (28) vorgesehen sind.·
2. Linse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die reibungsmindernden Mittel Unterlegscheiben (28) mit glatten Oberflächen sind.
3. Linse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlegscheiben (28) aus einem Kunststoff bestehen.
4. Linse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die reibungsmindernden Mittel Rollenlager (14,15,16) sind bei denen zwischen von den Schrauben (11) durchsetzten Scheiben (14,15) Kugeln (16) angeordnet sind.
5. Linse nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kugeln (16) der einzelnen Rollenlager (14,15,16) von einem Käfig (17) aus nachgiebigem Material gehalten sind.
6. Linse nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der justierbare Polschuh (23) einstellbare Markierungen (50,51), wie Fadenkreuze, aufweist.
7. Magnetische Polschuhlinse nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandsteile (20) und die Polschuhe (21, 23) einen Raum einschließen, in dem weitere, der Linse zugeordnete Teile (32) als Bestandteil der gesondert entfernbaren Einheit angeordnet sind.
8. Linse nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die weiteren Teile einen Stigmator (40 bis 43) bilden.
9. Linse nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein mechanischer Stigmator (40 bis 43) mittels eines Stigmatorgehäuses (44) an den Abstandsteilen (20) und/oder einem mit diesen fest verbundenen Polschuh (21) befestigt ist.
10. Linse nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Stigmator (40 bis 43) mit einem Antrieb über eine Steckverbindung (49) verbindbar ist.
11. Linse nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die weiteren Teile Blenden sind.
12. Linse nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden mit einem Tiefkühlmittel, beispielsweise flüssiger Luft, in wärmeleitender Verbindung stehen.
13. Linse nach einem der Ansprüche 8 bis 12 für den Fall einer Objektivlinse, dadurch gekennzeichnet, daß die weiteren Teile einen quer zur Strahlachse (22) verschiebbaren Objekttisch (32) bilden.
14. Verfahren zum Justieren der Polschuhlinse nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß bei in das Gerät eingesetzter Einheit Testaufnahmen hergestellt und hieraus die erforderlichen Justierbewegungen des justierbaren Polschuhes (5) ermittelt werden, daß die Einheit aus dem Gerät entfernt wird, und daß hierauf unter Beobachtung mittels einer lichtoptischen Vergrößerungseinrichtung die Justierbewegungen von Hand durchgeführt werden.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen 009 526/129
DE19671614122 1967-02-24 1967-02-24 Magnetische,insbesondere elektromagnetische,Polschuhlinse fuer Korpuskularstrahlgeraete,insbesondere fuer Elektronenmikroskope und Verfahren zu ihrer Justierung Pending DE1614122B1 (de)

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