DE1614122C - Magnetische, insbesondere elektromag netische. Polschuhhnse fur Korpuskularstrahlgerate, insbesondere fur Elektronen mikroskope, und Verfahren zu ihrer Justie rung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine magnetische, insbesondere elektromagnetische, Polschuhlinse für Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere für Elektronenmikroskope, deren beide Polschuhe unter Verwendung unmagnetischer Abstandsteile und parallel zur Strahlachse angeordneter Schrauben zu einer aus dem Gerät gesondert entfernbaren Einheit zusammengefaßt sind und bei der zumindest einer der Polschuhe quer zur Achse des Korpuskularstrahles relativ zu dem jeweils anderen Polschuh nach Entfernen der Einheit justierbar ist. Dabei ist in erster Linie an eine Polschuhlinse für Elektronenmikroskope gedacht, jedoch kann die Linse mit Vorteil auch bei Ionenmikroskopen, Ladungsträgerstrahl-Bearbeitungsgeräten, Beugungsgeräten oder anderen Korpuskularstrahlgeräten Anwendung finden.

Polschuhlinsen, deren beide Polschuhe in der genannten Weise zu einer aus dem Gerät gesondert entfernbaren Einheit zusammengefaßt sind, beschreibt beispielsweise die USA.-Patentschrift 2 679 018. Auch dort enthält diese Einheit, die ohne Beeinflussung der Lage der den magnetischen Fluß erzeugenden Teile der Linse, also beispielsweise einer Spule mit Eisenrückschluß oder Permanentmagnete, aus dem Gerät entfernbar ist, Mittel, die es gestatten, Relativbewegungen zwischen den beiden Polschuhen quer zur Strahlachse durchzuführen. Diese Justierung außerhalb des Korpuskularstrahlgerätes vorzunehmen bietet insofern Vorteile, als die Bewegungen der einzelnen Polschuhe nicht unter dem Einfluß eines magnetischen Flusses vorgenommen und keine reibungsvermindernden Spalte zwischen den einzelnen Teilen der Einheit vorgesehen zu werden brauchen. Auch ist es insbesondere dann, wenn die Polschuhe im eingesetzten Zustand von den flußerzeugenden Teilen der Linse umgeben sind, schwierig, Antriebsmittel oder Werkzeuge zur Justierung der Polschuhe an die Polschuhanordnung heranzuführen.

Bei der bekannten Polschuhlinse enthalten die unmagnetischen Abstandsteile ein hohlzylindrisches Teil, in das der untere Polschuh eingesetzt und auf das der obere Polschuh mit einem bundartigen Fortsatz in das Teil hineinragend aufgesetzt ist. Sowohl zur Halterung der beiden Polschuhe als auch zur Durchführung ihrer Justierbewegun& sind in dem hohlzylindrischen Teil parallel zur Strahlachse verlaufende Schrauben angeordnet, die mit ihren Enden in Ausnehmungen in mit den Polschuhen verbundenen ringförmige Teile hineinragen. Bei der Justierung der einzelnen Polschuhe dienen diese über den Umfang verteilten Schrauben teilweise als die Justierbewegung durchführende Druckschrauben, die quer zur Strahlachse gerichtete Kräfte auf den beweglichen Polschuh ausüben, und teilweise als Gegenschrauben. Es hat sich gezeigt, daß es einerseits sehr schwer ist, die verschiedenen auf einen Polschuh wirkenden Schrauben so einzustellen, daß sie betragsmäßig gleiche Kräfte auf den Polschuh ausüben und daß andererseits bei unterschiedlichen Kraftwirkungen der einzelnen Schrauben Ausgleichsbewegungen des jeweiligen Polschuhes relativ zu dem anderen Polschuh nach Beendigung des Justiervorganges auftreten. Man kann hier von einer mechanischen Hysterese sprechen. Weiterhin ist der Angriffspunkt der einzelnen Schrauben im Hinblick auf Herstellungstoleranzen nicht genau fixiert, so daß die einzelnen Schrauben ein mit ihrer Stellung veränderliches Drehmoment auf den jeweiligen Polschuh ausüben können, wodurch die Genauigkeit der Justierung ebenfalls herabgesetzt wird. Im Prinzip ergeben sich bei einer derartigen, mit quer zur Strahlachse Kräfte ausübenden Justierschrauben versehenen Polschuh anordnung also zwei die Güte der Justierung verringernde Fehlerquellen, von denen sich die oben an erster Stelle behandelte im wesentlichen erst nach Beendigung des Justiervorganges und die oben an zweiter Stelle behandelte bereits während des Justierens störend bemerkbar macht.

Die Polschuhlinse ist nun zur Behebung dieser Justierungenauigkeiten erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandsteile eine quer zur Strahlachse verlaufende Reibfläche als Auflagefläche für den justierbaren Polschuh oder ein mit ihm fest verbundenes ringförmiges Teil besitzen, daß ferner zum Anpressen des justierbaren Polschuhes bzw. des ringförmigen Teiles an die Reibfläche die Schrauben in die Abstandsteile eingeschraubt sind und die in dem justierbaren Polschuh bzw. dem ringförmigen . Teil vorgesehenen Löcher mit Spiel durchsetzen, und daß zwischen den Schraubenköpfen und den diesen benachbarten Oberflächenbereichen des justierbaren Polschuhes bzw. des ringförmigen Teiles reibungsmindernde Mittel vorgesehen sind.

Bei der Erfindung wird also bewußt darauf geachtet, daß die ganze Einheit so aufgebaut ist, daß wahrend und nach der Justierung auf das justierbare Polschuhteil keine quer zur Strahlachse gerichteten Kraftkomponenten wirken.

Die Festlegung des justierbaren Polschuhteiles in seiner Justierstellung erfolgt dadurch, daß durch Anziehen der parallel zur Strahlachse verlaufenden Schrauben die Reibung zwischen dem justierbaren Polschuh bzw. dem den justierbaren Polschuh haltenden ringförmigen Teil einerseits und einer Auflagefläche an den unmagnetischen Abstandsteilen andererseits auf einen für die Fixierung ausreichenden Wert erhöht wird. Auch hier sind also keine quer zur Strahlachse liegenden Schrauben vorgesehen.

Damit die Schrauben beim Festziehen nach der Justierbewegung keine Querkräfte auf den justierbaren Polschuh ausüben, wodurch entweder sofort oder im Laufe der Zeit (»Fließen«) Querversetzungen dieses Polschuhes verursacht werden könnten, sind zusätzliche Maßnahmen getroffen, die die Reibung zwischen den Schraubenköpfen einerseits und ihnen zugekehrten Bereichen der Oberfläche des justierbaren Polschuhes bzw. des mit diesem fest verbundenen ringförmigen Teiles andererseits auf einen vernachlässigbaren Wert herabsetzen. Es handelt sich hier also um entgegengesetzte Maßnahmen an zwei verschiedenen Auflageflächen. Die Auflagefläche der unmagnetischen Abstandsteile für den justierbaren Polschuh soll nach Festlegung des Polschuhes diesen durch Reibung festhalten, dagegen soll die Auflagefläche für die Schraubenköpfe möglichst reibungsfrei sein.

Zur Erläuterung dieses Prinzips dient die schematische Fig. 1. Dort ist eine zwei Wicklungen oder zwei Wicklungsteile 1 und 2 oberhalb und unterhalb der Polschuheinheit 3 aufweisende Linse wiedergegeben, deren Eisenrückschluß mit 4 bezeichnet ist. Der im Eisenrückschluß verlaufende magnetische Fluß schließt sich über die Polschuhe 5 und 6 und den zwischen diesen befindlichen Linsenspalt 7, in dem die Beeinflussung des Elektronenstrahles 8 durch den magnetischen Fluß der Linse erfolgt. Die Polschuhe 5

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und 6 sind mittels des ringförmigen Teiles 9 und des Durchführung der Justierung eingesetzt wird und die wie das Teil 9 aus einem unmagnetischen Material, gegebenenfalls Justierschrauben enthält,
wie Messing, bestehenden Abstandsteiles 10 zu der Die reibungsmindernden Mittel, die im Falle des Einheit 3 zusammengefaßt, die in diesem Ausfiih- Ausführungsbeispiels nach Fig. 1 als wesentliche rungsbeispiel durch Bewegung quer zum Elektronen- 5 Elemente Kugeln enthalten, können ^v auch durch strahl 8 gesondert aus dem Korpuskularstrahlgerät Unterlegscheiben mit glatten Oberflächen gebildet entfernbar ist. Zu diesem Zweck kann der Eisenkreis 4 sein, die aus einem Kunststoff bestehen können,
im Bereich der Einheit 3 eine Ausnehmung be- Ein weiterer Vorteil des Zusammenbaues der Polsitzen, schuhe einer Linse zu einer gesondert aus dem Kor-Der quer zur Achse des Elektronenstrahles 8 und io puskularstrahlgerät entfernbaren Einheit besteht in relativ zu dem fest im Abstandsteil 10 gehaltenen an- der einfachen Möglichkeit zur Reinigung und zum deren Polschuh 6 justierbare Polschuh 5 ist fest mit Auswechseln der Polschuhe. Sofern beispielsweise zu dem ringförmigen Teil 9 verbunden, das seinerseits den genannten Zwecken die Einheit auseinandermittels Schraubenil in vorzugsweise rotationssym- genommen werden muß, ist es zweckmäßig, dem metrischer Anordnung bezüglich des Elektronen- 15 justierbaren Polschuh vorzugsweise einstellbare Marstrahles 8 auf die Auflagefläche 12 des Abstandsteiles kierungen,. wie Fadenkreuze, zuzuordnen. Bei Ver-

10 gedrückt ist. Die Fläche 12 ist als Reibfläche, d. h. wendung einstellbarer Markierungen kann man Teilmit rauher Oberfläche, ausgebildet, wobei aber die striche auf diesen nach erfolgter Justierung zur Dek-Rauhigkeit der Oberfläche dadurch begrenzt ist, daß kung bringen und so beim erneuten Zusammenbau bei gelockerten Schrauben 11 feine Bewegungen des ao der Einheit die einmal ermittelte Justierstellung mit ringförmigen Teiles 9 und damit des Polschuhes 5 großer Genauigkeit wiederfinden, also gegebenenfalls quer zum Elektronenstrahl 8 möglich sein müssen. ohne erneut Testaufnahmen herstellen zu müssen.

Während die Fläche 12 also in diesem Sinne als Dadurch, daß bei der vorliegenden Polschuhlinse Reibfläche ausgebildet ist, sind zusätzliche Mittel auf quer oder schräg zum Korpuskularstrahl Kräfte zwischen den unteren Flächen der Schraubenköpfe 25 .ausübende Schrauben in der Einheit verzichtet ist, einerseits und den ihnen zugekehrten Bereichen 13 erübrigen sich bundartige Fortsätze an dem justierder die Schrauben aufnehmenden Senkungen in dem baren Polschuh, die in den Raum zwischen den beiringförmigen Teil 9 andererseits vorgesehen, die jede den Polschuhen innerhalb der Einheit hineinragen. Reibung zwischen den Schraubenköpfen und diesen Eine solche Konstruktion bietet daher die Möglich-Oberflächenbereichen beim Anziehen der Schrauben 30 keit, in diesem freien Zwischenraum weitere der Linse

11 verhindern sollen. In dem in Fig. 1 gezeigten zugeordnete Teile als Bestandteil der gesondert ent-Ausführungsbeispiel dienen hierzu die zwischen Plat- fernbaren Einheit vorzusehen. Es sei bemerkt, daß ten 14 und 15 geführten Kugeln 16, die gegebenen- diese Möglichkeit unter Umständen auch dann befalls von einem nachgiebigen Käfig 17, beispielsweise stehen kann, wenn die Festlegung des justierbaren aus einem geschäumten Kunststoff, umgeben sein ₃₃ Polschuhes in anderer Weise als oben angegeben erkönnen. Die Kugeln sind also so gehalten, daß sie alle folgt, daß aber diese vorteilhafte Möglichkeit der Auf-Querkräfte, die beim Anziehen der Schrauben beim nähme weiterer der Linse zugeordneter Teile in die Fehlen der Teile 14 bis 16 auf das ringförmige Teil 9 Polschuheinheit sich bei der vorliegenden Festlegung ausgeübt werden würden, wirkungslos machen. deshalb besonders evident ergibt, weil durch die Ver-

Die Schrauben 11 sind, um die Justierbewegungen ₄₀ wendung von parallel zur Strahlachse wirkenden

des Polschuhes 5 zuzulassen, durch sie mit hinreichen- Halteschrauben keinerlei zusätzliche Teile, Bünde

dem Spiel umgebende Löcher in dem ringförmigen od. dgl. notwendig sind.

Teil 9 hindurchgeführt. Man wird zweckmäßigerweise solche weiteren Teile

Mit 18 und 19 ist je eine Skala an den Teilen 9 und in die Polschuheinheit aufnehmen, die eine Justierung

10 bezeichnet, die die einmal gefundene Justierung ₄₅ bezüglich des Korpuskularstrahles erfordern oder im

des Polschuhes 5 markieren. Betrieb bezüglich des Korpuskularstrahles bewegbar

Wie das Ausführungsbeispiel zeigt, ist auf quer sein müssen. Beispielsweise können die weiteren Teile oder geneigt zur Strahlachse verlaufende Schrauben einen Stigmator bilden. Handelt es sich um einen verzichtet, und auch die Schrauben 11 haben lediglich elektrischen oder elektromagnetischen Stigmator, so die Aufgabe von Halteschrauben, nicht aber von 50 steht die Justierung desselben quer zum Korpuskular-Justierschrauben. Es hat sich nämlich gezeigt, daß strahl im Vordergrund, sofern man nicht auf elekeine sehr feinfühlige Justierung gerade unter Verzicht trischem Wege die Stigmatorachse bezüglich der auf Justierschrauben außerhalb des Korpuskular- Linsenachse ausrichtet Man kann aber auch einen Strahlgerätes von Hand durchgeführt werden kann, mechanischen Stigmator mittels eines Stigmatorbeispielsweise indem man mit einem Bleistift gegen 55 gehäuses an den Abstandsteilen und/oder einem mit den justierbaren Polschuh vorsichtig klopft. Ein be- diesen fest verbundenen Polschuh befestigen. Bei vorzugtes Verfahren zum Justieren der Polschuhlinse einem derartigen mechanischen Stigmator erfolgt die nach der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß Einstellung bekanntlich durch Bewegung von magnebei in das Gerät eingesetzter Einheit Testaufnahmen tischen Unsymmetrien (Eisenmassen) in bezug auf hergestellt und hieraus die erforderlichen Justier- 60 den Korpuskularstrahl. Diesen Stigmator wird man bewegungen des justierbaren Polschuhes ermittelt mit einem Antrieb, der vakuumdicht durch das Gewerden, daß die Einheit aus dem Gerät entfernt wird, häuse des Korpuskularstrahlgerätes hindurchgeführt und daß hierauf unter Beobachtung mittels einer ist, zweckmäßigerweise über eine Steckverbindung lichtoptischen Vergrößerungseinrichtung die Justier- verbinden, damit eine einfache Möglichkeit zur Aufbewegungen von Hand durchgeführt werden. 65 hebung dieser Verbindung beim Entfernen der Ein-"Es sei jedoch bemerkt, daß man auch eine Vor- heit gegeben ist

richtung verwenden kann, in die die Einheit nach Die in die Einheit aufgenommenen weiteren Teile

ihrer Entfernung aus dem Korpuskularstrahlgerät zur können auch Blenden sein, gegebenenfalls solche, die

Claims (14)

1. mit einem Tiefkühlmittel, wie flüssiger Luft, in dargestellte Verstellvorrichtung für den Objekttisch

   wärmeleitender Verbindung stehen. Derartige ge- 32 anlegt. Dieselbe Aufgabe hat die dritte Rolle 34

   kühlte Blenden haben besonders bei einer Objektiv- am Objekttisch; auf den dieser Rolle 34 abgekehrten

   linse Bedeutung, bei der man in der Umgebung des Bereich 35 des Objekttisches 32 legt sich eine

   zu untersuchenden Objektes gekühlte Flächen zum 5 federnde Anlage auf.

   Zwecke der Vermeidung einer Objektverschmutzung Der Objekttisch 32 trägt, wie nur in F i g. 5 einanordnet, gezeichnet, in einer die Feder 36 aufweisenden Auf-

   Ebenfalls im Falle einer Objektivlinse können die nähme 37 den eigentlichen Objekthalter 38, der auf

   weiteren Teile einen quer zur Strahlachse verschieb- seinem am Elektronenstrahl 22 liegenden Bereich

   baren Objekttisch bilden. io blendenförmig ausgebildet ist und in dieser Blende

   Die Fig. 2 bis 5 zeigen ein Ausführungsbeispiel das zu untersuchende Objekt hält,
   der Erfindung, bei der die Polschuheinheit sowohl Weiterhin ist dieser Einheit ein mechanischer Stigcinen Objekttisch als auch einen an sich bekannten mator zugeordnet. Er besitzt die beiden relativ zueinmechanischen Stigmator enthält. Es handelt sich also ander verdrehbaren Ringe 40 und 41, die jeweils um eine in eine Objektivlinse, beispielsweise eines 15 Eisenklötzchen als Unsymmetrien in bestimmter AnElektronenmikroskops, einsetzbare Einheit. Die fluß- zahl tragen. In den F i g. 3 und 5 sind nur die sich erzeugenden Teile dieser Objektivlinse, d. h. im Falle gegenüberliegenden Unsymmetrien 42 und 43 an dem einer elektromagnetischen Linse die Linsenwicklung inneren Stigmatorring 41 erkennbar; die entsprechen- und der Eisenrückschluß, sind nicht dargestellt; sie den Unsymmetrien des Ringes 40 liegen vor bzw. sind an sich bekannt und im Prinzip in Fig. 1 an- 20 hinter den Unsymmetrien 42 und 43 ebenfalls einangegeben. . der diametral gegenüber.

   Fig. 2 zeigt eine Aufsicht auf die Einheit, die Diese beiden Stigmatorringe sind mittels des Stig-

   F i g. 3, 4 und 5 geben verschiedene, im einzelnen matorgehäuses 44 an dem unmagnetischen Abstands-

   bezeichnete Schnitte wieder. teil 20 gehalten; das Gehäuse besteht ebenfalls aus

   Die Einheit enthält als wesentliche Bestandteile den 35 magnetisch unwirksamem Material,

   fest mit dem zweistückigen unmagnetischen Abstands- Der Antrieb des Stigmators ist so ausgebildet, daß

   teil 20 verbundenen unteren Polschuh 21 sowie den zur Einstellung der Stärke des Stigmatorfeldes die den

   quer zur Strahlachse 22 justierbaren oberen Polschuh beiden Ringen 40 und 41 zugeordneten Unsymmetrien

   23, der fest in das ringförmige Teil 24 eingesetzt ist, relativ zueinander und zur Einstellung der Richtung

   das seinerseits auf der als Reibfläche ausgebildeten 30 des Stigmatorfeldes sämtliche Unsymmetrien gemein-

   Auflagefläche 25 des Abstandsteiles 20 aufliegt. Das sam um die Strahlachse 22 geschwenkt werden kön-

   obere^und das untere Stück des Abstandsteiles 20 nen. Hierzu tragen die beiden Stigmatorringe, wie

   sind, wie Fig. 5 zeigt, über die Konuspassung20α Fig. 3 zeigt, je einen Zahnkranz 45 bzw. 46; diese

   mittels Schrauben 20 b (Fi g. 4) zusammengesetzt. beiden Zahnkränze wirken mit Zahnrädern 47 bzw.

   Am Umfang ist das Abstandsteil 20 strebenartig aus- 35 48 auf einem schlüsselartigen Ansatzstück 49 für die

   gebildet (vgl. F i g. 4). Verbindung mit einem Stigmatorantrieb zusammen.

   Die feste Verbindung zwischen dem unteren Pol- Zur Fixierung der Justierstellung des justierbaren

   schuh 21 und dem Abstandsteil 20 erfolgt gemäß Polschuhes 23 sind gemäß F i g. 3 zwei Glasplatten 50

   F i g. 5 über Schrauben 26 und den Konusring 27. und 51 mit Fadenkreuzen vorgesehen, von denen die

   Während hier also eine formschlüssige Festlegung 40 eine am ringförmigen Teil 24 und die andere an dem

   erfolgt, ist der Polschuh 23 über das ringförmige Teil Abstandsteil 20 befestigt ist. Die Platte 50 ist quer

   24 kraftschlüssig an dem Abstandsteil 20 gehalten. verschiebbar, so daß Markierungen auf den beiden

   Hierzu dienen Schrauben 27a, die durch Aufeinan- ^{Skalen nach} Abschluß der Polschuhjustierung zur

   derpressen der Teile 24 und 20 die Reibkraft an der Deckung gebracht werden können. Die Platte 50 ist in

   Auflagefläche 25 im zur Fixierung erforderlichen 45 ^{den Rin}S ⁵³ eingeklebt, der einen Zwischenraum 54

   Maße"vergrößern. gegenüber dem Andruckbügel 55 besitzt.

   Damit keine Kraftkomponenten quer zum Elektro- Die Einheit wird im eingesetzten Zustand mittels

   nenstrahl 22 beim Anziehen der Schrauben 27a, von Federanordnungen 52 gegen eine definierte Gegenlage

   denen mehrere rotationssymmetrisch bezüglich der gedrückt.

   Strahlachse 22 vorhanden sind, auf den justierbaren 50 Patentansprüche:
   Polschuh 23 übertragen werden, ist eine Unterlegscheibe 28 aus einem die Reibung zwischen den 1. Magnetische, insbesondere elektromagne-Köpfen der Schrauben 27 a und der zugekehrten tische, Polschuhlinse für Korpuskularstrahl-Fläche des ringförmigen Teiles 24 verringernden Ma- geräte, insbesondere für Elektronenmikroskope, terial, im Beispiel einem Kunststoff, vorgesehen. Die 55 deren beide Polschuhe unter Verwendung unSchrauben 27a sind durch Löcher 29 in dem ringf or- magnetischer Abstandsteile und parallel zur migen Teil 24 hindurchgesteckt, die die Schrauben Strahlachse angeordneter Schrauben zu einer aus mit derart gewähltem Spiel umgeben, daß die Löcher dem Gerät gesondert entfernbaren Einheit zu-.29 die Justierbewegungen des Polschuhes 23 nicht sammengefaßt sind und bei der zumindest einer behindern. 60 der Polschuhe quer zur Achse des Korpuskular-

   Mit dem Abstandsteil 20 über die Achse 30 α dreh- Strahles relativ zu dem jeweils anderen Polschuh

   bar verbunden ist der Halter30 für die Konusrolle nach Entfernen der Einheit justierbar ist, da-

   31, die zur Rückstellung des Objekttisches 32 und zum durchgekennzeichnet,daß die Abstands-

   Andrücken desselben gegen eine Auflagefläche dient. teile (20) eine quer zur Strahlachse (22) verlau-

   Dieser etwa ringförmig ausgebildete Objekttisch (vgl. 65 fende Reibfläche (25) als Auflagefläche für den

   auch Fig. 4) trägt auf seiner der federnden Konus- justierbaren Polschuh (23) oder ein mit ihm fest

   rolle 31 abgekehrten Seite die weitere Rolle 33, an die verbundenes ringförmiges Teil (24) besitzen, daß

   sich im eingesetzten Zustand der Einheit eine nicht ferner zum Anpressen des justierbaren Polschuhes

   (23) bzw. des ringförmigen Teiles (24) an die Reibfläche die Schrauben (27 a) in die Abslandsteile (20) eingeschraubt sind und die in dein justierbaren Polschuh (23) bzw. am ringförmigen Teil (24) vorgesehenen Löcher (29) mit Spiel 5 durchsetzen, und daß zwischen den Schraubenköpfen und den diesen benachbarten Oberflächenbereichen des justierbaren Polschuhes (23) bzw. des ringförmigen Teiles (24) reibungsmindernde Mittel (28) vorgesehen sind.
2. 2. Linse nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet.· daß die reibungsminciernden Mittel Unterlegscheiben (28) mit glatten Oberflächen sind.
3. 3. Linse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterlegscheiben (28) aus einem Kunststoff bestehen.
4. 4. Linse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die reibungsmindernden Mittel Rollenlager (14,15,16) sind bei denen zwischen von den Schrauben (11) durchsetzten Scheiben (14,15) Kugeln (16) angeordnet sind.
5. 5. Linse nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kugeln (16) der einzelnen Rollenlager (14, 15, 16) von einem Käfig'(17) aus nachgiebigem Material gehalten sind.
6. 6. Linse nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der justierbare Polschuh (23) einstellbare Markierungen (50,51), wie Fadenkreuze, aufweist.
7. 7. Magnetische Polschuhlinse nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandsteile (20) und die Polschuhe (21, 23) einen Raum einschließen, in dem weitere, der Linse zugeordnete Teile (32) als Bestandteil der gesondert entfernbaren Einheit angeordnet sind.
8. S. Linse nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die weiteren Teile einen Stigmator (40 bis 43) bilden.
9. 9. Linse nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein mechanischer Stigmator (40 bis 43) mittels eines Stigmatorgehäuses (44) an den Abstandsteilen (20) und/oder einem mit diesen fest verbundenen Polschuh (21) befestigt ist.
10. K). Linse nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß de"r Stigmator (40 bis 43) mit einem Antrieb über eine Steckverbindung (49) verbindbar ist.
11. 11. Linse nach einem der Ansprüchen bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die weiteren Teile Blenden sind.
12. 12. Linse nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Blenden mit einem Tiefkühlmittel, beispielsweise flüssiger Luft, in wärmeleitender Verbindung stehen.
13. 13. Linse nach einem der Ansprüche 8 bis 12 für den Fall einer Objektivlinse, dadurch gekennzeichnet, daß die weiteren Teile einen quer zur Strahlachse (22) verschiebbaren Objekttisch (32) bilden. .
14. 14. Verfahren zum Justieren der Polschuhlinse nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß bei in das Gerät eingesetzter Einheit Testaufnahmen hergestellt und hieraus die erforderlichen Justierbewegungen des justierbaren Polschuhes (5) ermittelt werden, daß die Einheit aus dem Gerät entfernt wird, und daß hierauf unter Beobachtung mittels einer lichtoptischen Vergrößerungseinrichtung die Justierbewegungen von Hand durchgeführt werden.

    Hierzu 2 Blatt Zeichnungen