Das Patent 923616 betrifft einen Korpuskularstrahlapparat,
und zwar insbesondere ein Elektronenmikroskop mit magnetischen Polschuhlinsen, wobei einer Linse zwei oder mehr im Vakuumraum
des Mikroskops angeordnete Polschuhpaare zugeordnet sind, die durch von außen her zu bedienende
Antriebsmittel auszuwechseln sind. Diese Anordnung bringt den Vorteil, daß der Übergang von einer
Vergrößerung zu einer anderen in kürzester Zeit ohne Betriebsunterbrechung durchführbar ist, weil
das Auswechseln von Polschuhpaaren stattfinden kann, ohne den Vakuumraum öffnen zu müssen.
Die Erfindung betrifft eine Ausführungsform des Hauptpatents, mit der es möglich ist, das Auswechseln
der Polschuheinsätze sehr rasch und mit einem einzigen Antriebs organ durchzuführen. Erfindungisgemäß
sind die Polschuhpaare in einem Drehtisch gelagert, der durch einen äußeren Trieb
um eine exzentrisch zur optischen Achse des Gerätes liegende Achse derart drehbar ist, daß die so
Polschuhpaare durch die bloße Drehbewegung in die Betriebsstellung geführt werden. Ein solcher
Drehtisch gestattet es, mehrere, beispielsweise vier Polischuheinsätze mit verschiedenem Durchmesser
in die Linse von vornherein einzubauen, so daß es »5
nunmehr durch die bloße Drehung des Tisches leicht möglich ist, in groben Stufen die Brennweite
der Linse zu verändern. Wenn es sich um ein Elektronenmikroskop handelt, wird man einen solchen
Drehtisch vorzugsweise der Projektionslinse des Apparates zuordnen. Bei elektromagnetischen
Linsen, die in an sich bekannter Weise allseitig ge-
kapselt sind, kann man die Außenkapselung der Wicklung nach einer Seite hin bei senkrecht stehenden
Anordnungen, vorzugsweise nach oben hin, über den Spulenbereich verlängern und mit einem
Deckel derart abschließen, daß der Aufnahmeraum für den Drehtisch, durch diese magnetischen Teile
der Kapselung und einen die Wicklung auf dieser Seite unmittelbar abschließenden unmagnetischen
Deckel gebildet wird. Man kann den Drehtisch mit ίο Hilfe eines Stiftes lagern, der nach unten hin in
eine Bohrung des die Wicklung abschließenden unmagnetischen Deckels hineinragt. Der aus magnetischem
Material bestehende obere Deckel der Spulenkapselung wird auf der Seite des Aufnahmeraumes
für den Drehtisch, vorzugsweise durch eine Platte aus unmagnetischem Material, so abgeschirmt,
daß nur jeweils der Polschuh mit dem Magneteisen der Spulenkapselung in Berührung
kommt, der gerade in die Betriebsstellung gedreht worden ist. In den einzelnen Polschuhsystemen
können Gesichtsfeldblenden geeigneter Größe und mit Meßstäben versehene Zwischenbildleuchtschirme
eingelegt sein. Es kann auch ein gemeinsamer Zwischenbildleuchtschirm angewendet werden, der
unabhängig von den einzelnen. Polschuhpaaren ist und durch einen von außen bedienbaren Antrieb
aus dem Strahlengang entfernt werden kann, z. B. um den Beugungskegel auf das Endbild gelangen
zu lassen. In diesem Falle muß eine große lichte Öffnung des Projektivrevolvers in den Strahlengang
gebracht werden und kann durch zwei den Polschuhen der übrigen Systeme entsprechenden ferromagnetischen
Hohlzylinder gebildet sein, die bei eingeschaltetem Spulenstrom als Linse großer
Brennweite wirken können und zusammen mit dem Objektiv vom Objekt ein Übersichtsbild geringer
Vergrößerung auf dem Leuchtschirm entwerfen.
Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale ergeben sich aus dem im folgenden beschriebener!»
Ausführungsbeispiel.
In Fig. ι ist ein Längsschnitt und in Fig. 2 ein
Querschnitt durch einen Teil eines Elektronenmikroskops dargestellt. Der gemäß der Erfindung
ausgebildete Drehtisch ist hierbei der Projektionslinse zugeordnet. Mit 1 ist die Erregerwicklung dieser
Luise bezeichnet. Diese Wicklung ist in an sich bekannter Weise allseitig gekapselt. Die Kapselung
besteht aus den Teilen 2, 3, 4 und 5. Die obere
Seite der Wicklung 1 ist unmittelbar durch eine Messingplatte 6 nach oben hin abgeschlossen.
Ebenso ist zu dem magnetischen Teil 5 der Kapselung eine aus Messing bestehende Platte 7 befestigt.
Durch die Teile 4 bis 7 wird ein Aufnahmeraum 8 für den Drehtisch 9 umschlossen, der zur
Aufnahme von drei verschiedenen Polschuheinsätzen 10 bis 12 eingerichtet ist. Die Polschuheinsätze bestehen
je für sich aus den Polschuhen 13 und 14 und einem Abstandstück 1S aus unmagnetischem
Material. Diese Teile 13 bis 15 sind jeweils zu einheitlichen
Polschuheinsätzen zusammengefügt. Mit 16 sind entsprechende ringförmige Polschuhaufnahmestücke
bezeichnet, die in ähnlicher Weise in zwei magnetische Stücke 17, 18 und ein unmagnetisches
Stück 19 unterteilt sind. Bei 20 ist im Drehtisch kein Polschuhpaar eingesetzt. Dieser
Teil des Drehtisches wird in den Strahlengang hineingedreht, wenn mit dem Elektronenmikroskop
Beugungsaufnahmen gemacht werden sollen. Der Teil 20 hat dementsprechend einen besonders großen,
den Beugungskegel nicht behindernden Durch· messer. Die Drehachse. des Drehtisches wird durch
einen Stift 21 gebildet, der in eine entsprechende Bohrung der Messingplatte 6 paßt. Da die Drehachse
des Tisches 9 exzentrisch zur optischen Achse 22 des Gerätes liegt, kann man die einzelnen Polschuheinsätze
durch das bloße Drehen des Tisches in die Betriebslage verstellen. Zum Drehen dient
ein Drehknopf 23, dessen Drehachse, vorzugsweise mit Hilfe einer konischen Fettschliff dichtung 24,
nach außen hin abgedichtet ist. Es können aber auch ζ. B. gefettete Gewinde oder manschettenartige
Vakuumdurchführungen (z. B. Gummiringe) verwendet werden. Durch den Drehknopf 23 wird ein
Kegelrad 25 gedreht, das mit einem am Drehtisch befestigten Radkranz 26 zusammenarbeitet. Um die
jeweilige Betriebslage des einzuschaltenden Polschuheinsatzes fühlbar zu machen, ist eine federnde
Raste 27 vorgesehen, die bei Erreichen der Betriebslage in die am Tisch angeordneten Vertiefungen
28 eingreift.
Auf den Kapselteil 4 ist oben unter Verwendung einer Dichtungsscheibe 29 der Vakuumwandteil 30
aufgesetzt, welcher die Schaugläser 31 und 3 2 für
die Betrachtung des Zwischenbildleuchtschirmes 33 aufnimmt. Der Leuchtschirm 33 kann durch die
Schaugläser 32 von stehenden Beobachtern und durch die Schaugläser 31 über das Prisma 34 von
sitzenden Beobachtern betrachtet werden. Der Leuchtschirm kann mit Hilfe des Verstellhebels 3 5
und des Zahntriebes 37 durch Betätigen des Drehknopf es 36 aus dem Strahlengang herausgeklappt
werden. Der Drehtisch 9, die Raste 27 und das Antriebsritzel 25 bestehen aus unmagnetischem Material.
Die magnetische Abschlußplatte liegt mit Eigengewicht auf dem Polschuh auf, wobei der
Magnetfluß durch die zylindrische Passung hindurchgeht. Der Klappleuchtschirm 33 kann auf diesem
magnetischen Teller aufgebaut sein.