DE898207C - Korpuskularstrahlapparat - Google Patents

Description

• Korpuskularstrahlapparat Die Erfindung betrifft einen Ko,rpuskwlarstrahlapparat, insbesondere ein Elektronenmikroskop, mit einer Einrichtung zur wahlweisen Herstellung von mikroskopischen und Beugungsaufnahmen des gleichen Objekts. Erfindungsgemäß ist der Objektivlinse des Apparates ein Blendeuh@alter zugeordnet, der eine Blende für mikroskopische Aufnahmen und eine zweite größere Durchtrittsöffn.tuig für die Beugungsaufnahmen besitzt und dem zwei von außen zu betätigende Antriebe derart zugeordnet sind, daß einerseits. ein Austausch der Blenden und andererseits eine Feineinstellung in beliebiger Richtung quer zur Strohlachse möglich ist. Auf diese Weise besteht die Möglichkeit, sehr rasch von der einenAufnahmeart auf die andereAufnahmeart desselben Objektbereiches überzugehen, da hierbei keinerlei Unterbrechungen, des Vakuums erforderlich sind. Dadurch, .daB die zum Austauschen der Blenden dienende Verstellvorrichtung auch gleichzeitig für die, Feineinstellung der Obj ektivblende mitverwendet wird, ergibt sich eine sehr einfache Kmstruktion.
• Wenn, es sich nun magnetische mit Polschuhen versehene Objektivlinsen handelt, wird man den Bilendenhalteir in den Raum zwischen den beiden Polschuhen quer verschiebbar einsetzen und die zugehörigen Betätigungsstangen in der Höhe des zwischen den Polschuhen befindlichen eisenfreien Spaltes radial durch den Spulenkörper hindurchführen. Es ergibt sich so die Möglichkeit, die Erregerwicklung der Objektivlinse in: unmittelbarer Nähe der Polschuhe anzuordnen und eine gute Entlüftung durch das Objektiv sicherzustellen.
• Den verstellbaren Blendanhalterkann man vorteilhaft als Schieber ausbilden -und die Anordnung so wählen, daß er quer zur Strahlachse verschiebbar auf einer im Pol:schuheinsatzkörper gebildeten Gleitfläche ruht. Da man die Polschuheinsatzkörper bei magnetischen Linsen gern so. ausbildet, daß sie leicht in axialer Richtung ausgebaut werden können, wird man gemäß der, weiteren Erfindung den Blendenhalter und die ihm zugeordneten Federn und Anschläge in dem Polschuheinsatzkörp.er so, anordnen, daß der Einsatzkörper leicht zusammen mit diesen Innenteilen ausgewechselt werden kann.
• Die Verstelleinrichtungen für den B.leldenhadter kann, man in verschiedener Weise durchbilden. So kann man dem Blendenhalter beispielsweise zwei Federn zuordnen, die in zwei um 9o° gegeneinander versetzten. Richtungen auf ihn einwirken. Auf der den Federn gegenüberliegendem Seite kann man d ann. entsprechende durch äußere Antriebe bewegte Verstells hangen; angreifen lassen. Die eine Versteillstange kann. man in diesem Fall mit Vorteil unmitteilbar in der Austauschrichtung der beiden Blendenbohrungen wirken, lassen. Um einem, schnellen Blendenwechsel zu erzielen, kann man dabei die zugehörige Einstellschraube mit einer Grobverstellung versehen. Eine andere Aus,führungsmöglichkeit für die Verstelleinrichtung des Blendenhalters ergibt sich, wenn man diesen um einem Drehpunkt schwenkbar anordnet. Man wird dann beispielsweise auf diesen, Blendemträger vier je um eine Drehachse schwenkbare Hebel einwirken lassen, von denen zwei mit äußeren Betätigungsstangen und zwei mit Gegenfedern zusammen arbeiten. Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmade ergeben sich bei der Behandlung der Ausführungsbeispiele.
• In Fing. i ist als Ausführungsbeispiel der Erfindung.eiimLängsschn:ittdurch,eiätl elektromagnetisches Objektiv eines Elektronenmikroskops dargestellt. Mit i ist der Wickelraum der Erregerspule, mit 2 die magnetische Ummantelung des Objektivs bezeichnet. In dem Mantel des Spulenkörpers Ist eine konische Paßfläche 3 vorgesehen, in die ein Polschuheinsatzkörper mit seiner entsprechenden äußeren konischen Paßfläche eingesetzt ist. Der Poilschuheins.artzkörper besteht aus dem oberen Polschuh 4, dem unteren Polschuhs und dem unmagnetischen Zwischenstück 6. Mit 7 ist der untere Teil der Objektpatrone bezeichnet. In den Zwischenraum 8 zwischen den beiden Polschuhen. 4 und 5 ist ein Blendenhalter 9 quer zur Strahlachse verstellbar eingebaut. In diesem Blend'enhalter :ist die Objektivblende io, welche für die mikroskopischen Aufnahmen benötigt wird, und außerdem noch eine Bnendenöffnung i i mit größerem. Durchmesser für Bieug.ungsaufnahmen vorgeisehen. Wie aus dem in Fig. 2 dargestellten Querschnitt hervorgeht, ist denn Halter 9 eine in der Austauschrichtung der beiden Blenden io, i i wirkende Feder 12 zugeordnet, die mit- einem Verstellstift 13 zusammen arbeitet. Dieser Verstellstift ist. durch einen den oberen Abschluß des Wickelraumes bildenden Deckel 14 nach außen hin durchgeführt. Die Vakuumdichtung der Betätigungsstange 13 erfolgt durch. Fett zwischen der zylindrischen Fläche der Stange und,der im Spulenkörper vorgesehenen entsprechendem. Bohrung. Dem Verstellst@ift 13 kann außer der Feinverstallschraube eine Grobverstellvoirrichtung zugeordnet sein, um den Blerndenwechsel rasch durchführen zu können. Die für das Feineinstellen erforderlichen Querbewegungen werden mit Hilfe,der Versteldstange 15 ausgeführt, die über einen Stift 16 auf dem: Blendemhalter, 9 wirkt. Auf der gegenüberliegenden Seite drückt eine Feder 17 mit Hilfe des Stiftes 18 in der entgegengesetzten Richtung. Die Federn 12 und 17 und die Stifte 16 und r8 sind in der aus Fig. 2 ersichtlichen Weise an den Teilen ig, 2o des Polschuheinsatzkörpers befestigt und geführt. Alle in dem Einsatzkörper eingebauten beweglichen. Einzelteile werden vorteilhaft so bemessen, d'aß man den Einsatzkörper zusammen. mit den Einbauten bei entsprechender Einstellung der Verstellstifte 13 und 15 ohn ei weiteres. -durch eine axiale Ausbaubewegung entfernen kann.
• Die Fig. 3 und 4 zeigen ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung. Soweit die Einzeltende mit denen in Fig. i und 2 übereinstimmen, sind die gleichem; Bezugszeichen verwendet. Der Blendenhalter 21 ist mit Hilfe eines Stiftes 22 an einem um die fest angeordnete Achse 23 als Drehpunkt schwenkbaren Hebel 24 angelenkt. Eine Feder 25 drückt den Hebel 24 und damit den B endenhadter 2,1 nach links. Gleichzeitig drückt eine Feder 26 über einen ebenfalls in der Achse 23 gelagerten Hebel 27 den Blendenträger 2i nach oben. Den Richtkräften der Federn wird durch die Verstellorganie 13, 28, welche in axialer Richtung verstellt werden, entgegengewirkt. Zwischen diesen Einstellstiften 13 und 28 und dem Blendenträger 2i sind ferner noch die beiden Hebel z9 und 3o angeordnet, die je um eine feste Achse drehbar sind. Auf diese Weiise ist es möglich, die beiden Einstellstifte 13 und 28 in eineue in gewissen Grenzen beliebigem, also auch von gol°' abweichenden Winkel zueinander anzuordnen. Beim Ausführungsbeispiel beträgt der Winkel i2d'#-. Auch in diesem Fall kann. mit Hilfe der Verstellstifte 13 und 28 einerseits ein rascher Blendenwechse@l und andererseits auch eine genlaue Feineinstellung dar Obj ektivblende -durchgeführt werden.

Claims (12)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Koirpusktilarss@tran@lapparat, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einer Einrichtung zur wahilwensen Herstellung von mikroskopischen und Beugungsaufnahmen des gleichen Objekts, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektivlinse ein Blend'enhalter zugeordnet ist, -der eine Blende für die mikroskopischem: Aufnahmen und: eine zweite, größere Durchtrittsöffnung für die Beugungsaufnahmen besitzt und dem zwei von außen zu betätigende Antriebe derart zugeordnet sind, daß einerseits ein Austausch der Blenden und andererseits eine Feineinstellung in beliebiger Richtung quer zur Strahlachse möglich ist.
2. 2. Anordnung mach Anspruch i für eine magnetische mit Polschuhen versehene Objektivlinse, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenhalter in .den Raum zwischen den beiden Polschuhen quer verschiebbar eingesetzt ist und daß die zuggehörigen Betätigungsstangen in der Höhe des zwischen den Polschuhen befindlichen eisenfreien Spaltes radial durch den Spulenkörper hindurchgeführt sind.
3. 3. Anordnung nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, dgaß der Blendenhalter auf einer durch .den Polschuheinsatzkörper gebildeten Gleitfläche ruht. q..
4. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der, Bdendenh:alter durch zwei Federn, die in zwei um gfo1°i gegeneinander versetztem, Richtungen wirken, beeinflußt wird und d'aß diesen Federn je eine durch äußeren Antrieb bewegliche Verstellata.nge zugeordnet ist.
5. 5. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, d,aß die Vakuumdichtung der Betätigungsstangen durch Fett zwischen den Zylinderflächen der Stangen, und der im Spulenkörper vorgesehenen Bohrungen erfolgt.
6. 6. Anordnung nach Anspruch q., dadurch gekennzeichnet, daß die eine Verstedlstange unmittelbar in der Austauschrichtung der beiden B.le:ndenbohrungen wirkt, wobei die zugehörige Einstellschraube vorzugsweisse mit einer Grobverstellung versehen ist, um einen schnellen Blendenwechsel zu ermöglichen.
7. 7. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden für magnetische Linsen mit einen Polschuheinsatzkörper, der eine axialsymmetrische, beispielsweise konische Paßfläche besitzt, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenhalter und die ihm zugeordneten Federn und Anschläge zusammen mit dein Einsatzkörper in axialer Richtung aus der Linse ausgebaut werden können. B.
8. Anordnung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenhalter um einen Drehpunkt schwenkbar angeordnet ist.
9. 9. Anordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Blendenhalter drehbar an einem Hebel befestigt ist, der seinerseits um eine fes.tie Drehachse geschwenkt werden kann. i o.
10. Anordnung nach Anspruch g, dadurch gekennzeichnet, daß auf den Blendenträger vier j e um eine Drehachse schwenkbare Hebel einwirken, von denen zwei mit äußeren Betätigungsstangen und zwei mit Gegenfedern zusammen arbeiten. ii.
11. Anordnung nach Anspruch io, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden. äußeren Betätigungsstangen innerhalb gewisser Grenzen beliebige Winkel, beispielsweise i2o°, miteinander bilden.
12. 12. Anordnung nach Anspruch io, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Betätigungsstangen, längs der Zwischenhebel an beliebigen Stellen derart angreifen, daß man ein Übersetzungsverhältnis zwischen Objektverstellung und B.etätigungsstangenbewegungg erhält.