DE1639346B2 - Vorrichtung zum Verstellen des Objektes quer zur Strahlennchtung in einem Korpuskularstrahlengerat - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Verstellen des Objektes quer zur Strahlenrichtung in Korpuskularstrahlengeräten, bei der mindestens ein der Verstellung dienender Hebel mit mindestens einer ebenen Berührungsfläche eines quer zur Strahlenrichtung verschieblichen Objektträgers durch die Kraft einer Feder in Berührung gehalten ist, insbesondere für ein Elektronenmikroskop. Eine derartige Vorrichtung ist bekannt (deutsche Patentschriften 907 328 und 91 !060).

Obgleich bisher viele Versuche unternommen wurden, das Auflösungsvermögen eines E^lektronenmikroskopes zu verbessern, wurde das Problem der durch Änderungen der Umgebungstemperatur verursachten Verschiebungen des Objektes bisher noch nicht zufriedenstellend gelöst. Wenn z. B. die Objektivlinse erregt wird, dehnen sich der Objektträger und die Linsenjoche aus, was auf die in der Spule der Linse erzeugte Wärme zurückzuführen ist. Das Objekt wird deshalb aus seiner gegenüber dem Elektronenstrahl genau ausgerichteten Lage verschoben, wodurch das Auflösungsvermögen verringert wird.

Zur Vergrößerung des Bereiches der möglichen Beobachtungen mit einem Elektronenmikroskop sind dieselben mit einer Reihe von Zusatzaggregaten versehen, die z. B. Einrichtungen zum Erwärmen und Kühlen der Objekte betreffen. Durch diese Zusatzeinrichtungen wird zwar einerseits der Informationsbereich verbessert, andererseits wird das Problem einer Verschiebung des Objektes vergrößert und somit das Auflösungsvermögen infolge der auftretenden Wärmeausdehnuiigen verringert.

Im Zusammenhang mit dem vorgenannten Problem steht die Tatsache, daß bei den herkömmlichen Elektronenmikroskopen — USA.-Patentschrif 2423 158 — der Objektträger von Einstellstangen in axialer Richtung unterstützt wird. Diese Einstellstangen sind für eine Bedienung und eine Einstellung des Objektträgers sehr gut geeignet zum Ausgleich von Wärmeausdehnungen, jedoch nicht brauchbar, denn auf Grund von Wärmeeinwirkung verändert sich die Länge der Einstellstangen, was eine entsprechende Verschiebung des Objektträgers zur Folge hat.

In der deutschen Patentschrift 907 328 erfolgt die Querverschiebung des Objektträgers mittels eines Stiftes, der auf dem Objektträger eine im wesentlichen radial ausgerichtete Kraft ausübt. Diametral zu diesem Stift greift am Objektträger eine Feder an, welche für ein festes Anliegen des Objektträgers am Stift sorgt. Findet bei Erregung der Objektlinse eine Erwärmung des Objektträgers statt, so dehnen sich Objektträger

und Linsenjoch aus. Diese Ausdehnung führt dazu, daß der Objektträger, da er fest am Stift anliegt, ein Stück in Richtung auf die nachgiebige Feder verschoben wird. Hierdurch wird das Auflösungsvermögen verringert. Dies gilt auch für die aus der deutschen Patentschrift 911060 bekannte Vorrichtung, bei der ebenfalls Stifte und Federn am Objektträger angreifen. Auch die in der deutschen Auslegeschrift 1035 811 dargestellte Vorrichtung weist diese Nachteile auf, da dort die Verschiebung mittels einer Druckstange übertragen wird.

Ausgehend von dem genannten Stand der Technik ist es nun Aufgabe der Erfindung, ein Elektronenmikroskop dahingehend zu verbessern, daß die durch Änderungen der Umgebungstemperatur verursachten unerwünschten Verschiebungen des Objektträgers und des Objektes soweit als irgend möglich vermieden werden.

Diese Aufgabe wird bei einer Vorrichtu ;g der eingangs genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die ebenen Berührungsflächen auf dem Objektträger zumindest annähernd mit Geraden fluchten, die durch die Mitte des Objektträgers hindurchgehen und senkrecht auf der Strahlenachse stehen.

In der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung und an Hand der Zeichnung wird die Erfindung noch näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 eine perspektivische Ansicht eines Teiles eines Elektronenmikroskopes,

F i g. 2 eine Draufsicht auf den Teil des Elektronenmikroskopes nach Fig. 1,

F i g. 3 eine Ansicht von vorne einer weiteren bevorzugten Ausführungsform eines Elektronenmikroskopes,

F i g. 4 un J 5 jeweils eine Draufsicht auf weitere bevorzugte Ausführungsformen eines Elektronenmikroskopes,

F i g. 6 einen Schnitt längs Linie B-B' in F i g. 5,

F i g. 7 einen Schnitt längs Linie C-C in F i g. 5,

F i g. 8 eine Draufsicht auf eine weitere bevorzugte Ausführungsform eines Elektronenmikroskopes.

Wie in den F i g. 1 und 2 dargestellt, weist ein Elektronenmikroskop einen einstellbaren Objektträger 1 auf, der innerhalb einer Objektkammer 2 angeordnet ist, die von einem Gehäuse 3 umgeben wird, welches einen Teil -nnes Mikroskoprohres bildet. Der einstellbare Objektträger 1 ist auf einem oberen Joch 4 einer Objektivlinse mittels nicht dargesteliter Kugeln gelagert, so daß mit Hilfe von Hebeln 5 und 6 eine Einstellung des Objektträgers 1 vorgenommen werden kann.

Ein Halter 7, an dessen unterem Teil das zu beobachtende Objekt angebracht werden kann, ist lösbar in einer öffnung in der Mitte des Objektträgers 1 angeordnet. Ein von einer nicht dargestellten Elektronenquelle ausgehender Elektronenstrahl wird durch das Zentrum des Halters 7 geleitet, wodurch das Objekt bestrahlt und belichtet und das dabei entstehende Bild auf einen nicht dargestellten fluoreszierenden Schirm geworfen wird. Der Objektträger 1 ist mit Flanschen 8,9 und 10 versehen. Es sind zwei seitliche Begrenzungsflächen 11 und 12 der Flansche 8 und 9 vorgesehen, die in einer Ebene liegen und zur ^-y'-Achse — s. F ig. 2 — ausgerichtet, vorzugsweise parallel, sind, welche durch den Mittelpunkt des Objektträgers 1 hindurchgeht. Der Flansch 10 weist eine Fläche 13 auf, die rechtwinklig zu den Flächen 11 und 12 angeordnet ist und zu einer Achse X-X' ausgerichtet, vorzugsweise parallel hierzu ist, welche ebenfalls durch den Mittelpunkt des Objektträgers 1 hindurchgeht. Die drei Seitenflächen 11, 12 und 13 sind mit V-förmigen Nuten 14,15 und 16 versehen, die mit Stahlkugeln 17,18 und 19 im Eingriff stehen.

Ein Einde des Hebels 5 erstreckt sich außerhalb des Mikroskoprohres, während an dem anderen Ende des Hebels 5 eine zweifache Gabelung 20, 21 vorgesehen ist, die mit ihren Flächen mit den Flächen 11 und 12 über die Kugeln 17 und 18 in Berührung gebracht werden kann. Ein Ende des Hebels 6 erstreckt sich gleichfalls außerhalb des Mikroskopes, während das andere Ende in ähnlicher Weise mit der Fläche 13 über die Kugel 19 in Eingriff gebracht werden kann.

An der Wand des Gehäuses sind Balge 24 und 25 vorgesehen, durch die die Hebel 5 und 6 gegenüber der Wandung luftdicht abgeschlossen sind, wodurch eine Beeinträchtigung des Vakuums in dem Rohr vermieden wird. Der Hebel 5 ist durcn Stifte 22 und 23 schwenkbar gelagert, die mit der Achse Y-Y' eine Linie bilden und in der Wandung des Gehäuses befestigt sind. In ähnlicher Weise ist der Hebel 6 durch einen als Drehpunkt dienenden Stift 26 schwenkbar angeordnet, der mit der Achse X-X' eine Linie bildet.

Ein mit einem Ansatz 28 versehener Schraubenbolzen 27 ist mittels einer Halteeinrichtung 29 rechtwinklig zu dem Hebel 5 angeordnet. Die Halteeinrichtung 29 ist mit der Wand des Gehäuses 3 fest verbunden. Ein Ende des Schraubenbolzens 27 liegt gegen die flache Unterseite des Hebels 5 an. Durch eine Drehung des Ansatzes 28 kann der Hebel 5 um einen bestimmten Betrag gehoben werden, wodurch der Objektträger in A"-Richtung bewegt wird. In ähnlicher Weise kann der Hebel 6 durch Drehung eines mit einem Ansatz 31 versehenen Schraubenbolzens 30 bewegt werden, der in einer an der Wandung des Gehäuses befestigten Halteeinrichtung 32 angeordnet ist. Bei einem Heben des Hebels 6 wird die Fläche 13 des Flansches 10 des Objektträgers 1 in K-Richtung bewegt. Für eine genaue Einstellung des Objektträgers 1 sind die Schraubenbolzen 27 und 30 mit einem Mikrometergewinde versehen. Weiterhin ist eine Feder 34 vorgesehen, die mit einem Ende über eine Schraube 33 mit der Wandung des Gehäuses verbunden und mit ihrem anderen Ende mittels einer Schraube 35 an dem Objektträger 1 befestigt ist. Hierdurch ist gewährleistet, daß die Hebel 5 und 6 ständig mit den V-förmigen Nuten in den Flanschen 8,9 und 10 über die Kugeln 17,18 und 19 im Eingriff stehen.

Mit der vorstehend beschriebenen Einstellvorrichtung können durch Umgebungstemperaturänderungen verursachte Verschiebungen des Objektes fast vollständig ausgeglichen werden, denn die Achsen der Stifte 22, 23 uad 26 fallen mit den Achsen X-X' und Y-Y' zusammen, die durch den Mittelpunkt des Objektträgers 1, wie in F i g. 2 dargestellt, hindurchgehen.

Selbst wenn der Hebel 5 z. B. auf Grund einer Wärmeausdehnung de?. Schraubenbolzens 27 angehoben wird, ist die Verschiebung des Objektträgers 1 extrem klein, denn der Abstand zwischen der Kugel 18 und dem Stift ist, verglichen mit der Länge des Hebels 5, sehr klein. Wenn die Objektivlinse erregt wird und in den Spulen derselben Wärme entsteht oder wenn eine Erwärmungseinrichtung für das Objekt in der Objektkammer angeordnet wird, verändert der Objektträger dennoch seine Lage nicht, denn das Linsenjoch und der Objektträger dehnen sich bezüglich des Mittel-

punktes nur in radialer Richtung aus, d. h., der Objektträger führt keine Translationsverschiebungen aus.

Der Objektträger kann sehr fein und, falls gewünscht, stufenweise eingestellt und verschoben werden, indem der Hebel S mit dem Schraubenbolzen 27 angehoben wird, denn der Abstand zwischen der Kugel 18 und dem Stift 23 ist, verglichen mit der Länge des Hebels 5, sehr klein.

In F i g. 3 der Zeichnung ist eine weitere bevorzugte Ausführungsform eines Mikroskopes mit einer Einstellvorrichtung dargestellt.

Ein einstellbarer Objektträger 40 ist in einem Gehäuse 45 des Mikroskopes angeordnet und auf einem Joch 41 einer Objektivlinse 42 mit Hilfe von Kugeln 43 gelagert. Ein Halter 44, an dessen einem Ende das zu beobachtende Objekt angebracht werden kann, ist lösbar in einer zentralen Öffnung des Objektträgers 40 angeordnet. Ein mit einer V-förmigen Nut 47 versehener Hebel 46 ist mittels eines Stiftes 49 drehbar gelagert, der in der inneren Wandung des Gehäuses 50 befestigt ist. In der V-förmigen Nut 57 ist eine Kugel 48 angeordnet, die mit einer Seitenfläche des Flansches in Berührung steht. Ein Ende des Hebels 46, welches im wesentlichen rechtwinklig zur Horizontalebene ausgerichtet ist, steht in Berührung mit einem Schraubenbolzen 51, der durch ein Teil 52 unterstützt ist, weiches an der inncieii Wandung des Gehäuses 50 befestigt ist. Das äußere Ende des Schraubenbolzens 51 ist mit einem Ansatz 53 versehen. Eine Berührungsfläche 54 des Hebels 46 mit dem Ende des Schraubenbolzens 51 liegt in derselben Ebene wie der Stift 49. In die gleiche Ebene fällt auch der Elektronenstrahl.

Durch ein Drehen des Ansatzes 53 wird der Hebel 46 geneigt, und die Kugel 48 drückt die Fläche des Flansches und somit den Objektträger 40 in die gewünschte Lage.

In F i g. 4 ist eine weitere bevorzugte Ausführungsform eines Elektronenmikroskopes mit einer Einstellvorrichtung dargestellt. Hiernach ist ein Objektträger 60 vorgesehen, in dessen zentraler öffnung ein Halter 63 für das Objekt lösbar angeordnet ist, der von einem Gehäuse 62 des Elektrodenmikroskopes umgeben ist. Der Objektträger 60 weist drei Flansche 64,65 und 66 auf. Seitenflächen 67 und 68 der Flansche 64 und 65 fallen mit der A'-^'-Achse zusammen, die die Achse des Elektronenstrahles kreuzt. Die Flächen 67 und 68 stehen in Berührung mit Hebeln 70 und 71. Eine Fläche 69 des Flansches 66 fällt mit der Y-!"-Achse zusammen, die rechtwinklig zur X-AT'-Achse ausgerichtet ist. Die y-y'-Achse kreuzt gleichfalls die Elektronenstrahlachse. Die Fläche 69 steht in Berührung mit einem Teil 72, welches am Joch der Objektivlinse befestigt ist.

Die Hebel 70 und 71 sind einander gegenüberliegend an einem ein Teil des Mikroskoprohres bildenden Gehäuse 61 mit Hilfe von Stiften 73 und 74 drehbar befestigt, welche als Drehpunkte dienen. Die Enden eines jeden Hebels stehen mit Schraubenbolzen 75 und 76 in Berührung, die mit Hilfe von O-Ringen luftdicht abgedichtet sind. Die äußeren Enden der Schraubenbolzen 75 und 76 sind mit Ansätzen 77 und 78 zum Einstellen versehen. Eine Feder 79 ist zwischen dem Objektträger und der Wandung des Gehäuses 61 angeordnet, wodurch die Flächen 67,68 und 69 zur Anlage gegen die Hebel 70 und 71 und das Teil 72 gedrückt werden.

Die Einstellung des Objektträgers 60 erfolgt mit Hilfe der Schraubenbolzen 75 und 76. Wenn z. B. der Ansatz 77 gedreht wird, wird der Hebel 70 mit seinen Enden 80 und 81 gedreht, was eine Verschiebung des Objektträgers 60 zur Folge hat. Diese Verschiebung ist bei einer Drehung nach rechts des Hebels 70 in F i g. 4 mit strichpunktierter Linie dargestellt. Verschiebungen des Objektträgers 60, die auf Temperaturänderungen entweder des Objektträgers selbst oder in der Umgebung zurückzuführen sind, können bei dieser Anordnung nicht auftreten, denn die Hebel 70

ίο und 71 und das Teil 72 stehen mit dem Objektträger in Richtung der Wärmeausdehnung nicht in Berührung,

d. h., ein klares und scharfes Abbild des Objektes ist gewährleistet.

Bei der Ausführungsform nach den F i g. 5,6 und 7 ist ein einstellbarer Objektträger 100 vorgesehen, der mit Hilfe von Stahlkugeln 103 auf einem Joch 101 einer Objektivlinse 102 gelagert ist. Ein Halter 104 für das Objekt, dessen unteres Ende sich in ein Polstück 105 der Objektivlinse erstreckt, ist lösbar in einer zentralen öffnung des Objektträgers 100 angeordnet. Das zu beobachtende Objekt ist im unteren Teil des Halters 104 angeordnet. Der Objektträger 100 ist mit Flanschen 106 und 107 versehen, die Flächen 108 und

109 aufweisen, die in Berührung mit Enden von Hebein 110 und 111 jeweils stehen. Diese Hebel 110 und 111 sind mit Hilfe von Stiften 112 und 113 drehbar gelagert, die in der Wandung eines Gehäuses 114 befestigt sind. Die Flächen 108 und 109 und die Achsen der Stifte 112 und 113 fallen in die gleiche Ebene, die rechtwinklig zur Elektronenstrahlachse ausgerichtet ist. Die äußeren Enden der Hebel 110 und 111 liegen gegen zwei Schraubenbolzen an, von denen nur ein Schraubenbolzen 115 dargestellt ist. Die Schraubenbolzen sind mit jeweils einem Ansatz versehen. Es ist nur der Ansatz 116 dargestellt. Die Schraubenbolzen werden durch Halteeinrichtungen festgehalten, die am Gehäuse befestigt sind. Es ist nur die Halteeinrichtung 117 dargestellt.

Die Hebel 110 und 111 sind von Balgen 118 und 119 zur Erzielung einer luftdichten Abdichtung gegenüber dem Mikroskoprohr umgeben. Eine Feder 120 drückt den Objektträger rechtwinklig zur Achse der Stifte 112 und 113, die den Flächen 108 und 109 gegenüberliegen.

Wie Fig.7 zu entnehmen, sind der Objekttidger 100 und das Joch 101 jeweils miteinander gegenüberliegenden Nuten 121 und 122 versehen, in denen eine Kugel als Zentrum der Bewegung des Objektträgers angeordnet ist. Die Nuten 121 und 122 sind parallel zur .Y-Jf-AcIiSe.

Etwaige Verschiebungen des Objektträgers, die auf Temperaturänderungen zurückzuführen sind, können fast vollständig ausgeglichen werden, denn die Hebel

110 und 111 liegen rechtwinklig gegen die Flächen 108 und 109 des Objektträgers 100 an. Die Hebel 110 und 111 werden somit durch Wärmeausdehnungen des Objektträgers 100 nicht beeinträchtigt.

Bei der Ausführungsfonn nach F i g. 8 ist ein auf drei Kugeln 222 beweglich angeordneter Objektträger 200 vorgesehen, der eine umgekehrte konische Öffnung für einen Halter 102 für das Objekt aufweist. Der Objektträger 200 ist außerdem mit zwei Flanschen 202 und 203 versehen, die über Kugeln 206 und 207 mit Hebeln 204 und 205 in Berührung gebracht werden können. Die Kugeln 206 und 207 werden durch zwei Federn 208 und 209 in ihre Lage gedrückt und hierin gehalten. Die beiden Hebel 204 und 205 sind am oberen Joch der Objektivlinse mit Hilfe von

zwei Stiften 210 und 211, die als Drehpunkte dienen, drehbar befestigt. Die mit den Kugeln 206 und 207 in Berührung stehenden Flansche und die Stifte 210 und 211 Hegen in derselben Querebene wie die Elektronenstohlachse. Die Verschiebungslinie (extension line) dieser Ebene bildet mit der Elektronenstrahlachse einen rechten Winkel.

Ein Ende 212 des Hebels 204 steht über eine Kugel 214 mit einem Schraubenbolzen 213 in Berührung. Der Schraubenbolzen 213 ist in einem Gehäuse 215 des Mikroskopes angeordnet und erstreckt sich außerhalb desselben. Zur Erzielung einer luftdichten Abdichtung ist ein O-Ring 216 vorgesehen. Der Hebel 204 wird gegen das Lager mittels einer Feder 217 angedrückt. Der Hebel 205 ist in gleicher Weise gelagert. Das eine Ende des Hebels 205 liegt gegen eine Kugel 218 an, die in Berührung mit einem Schraubenbolzen 218 steht. Der Hebel 205 wird mit seinem einen Ende durch eine Feder 220 gegen die Kugel 218 gedruckt.

Wie in F i g. 7 dargestellt, ist der Objektträger mit Hilfe von Kugeln auf dem Joch der Linse gelagert, wozu gleichfalls V-förmige Nuten im Objektträger und in dem Joch angeordnet sind. Diese Nuten bilden mit der Ausdehnungslinie der Flächen 223 und 224 einen rechten Winkel.

Der Schraubenbolzen 213 weist einen Ansatz 225 auf, bei dessen Drehung der Objektträger eine Bewegung in Richtung des gekrümmten Pfeiles 26 ausführt. Wenn ein Ansatz 27 des Schraubenbolzens 218 gedreht wird, führt der Objektträger eine Bewegung in Richtung eines gekrümmten Pfeiles 228 aus. Das Rotationszentrum bildet in beiden Fällen die Kugel 221. Ein derart ausgebildetes Elektronenmikroskop weist den Vorteil auf, daß die von Temperaluränderungen herrührenden Verschiebungen des Objektträgers und des Objektes mit beliebiger Genauigkeit ausgeglichen werden können, indem eine entsprechende Einstellung und Verschiebung des Objektträgers vorgenommen wird. Die zur Verschiebung des Objektträgers vorgesehenen Hebel oskulieren bei einer kreisförmigen Verdrehung des Objektträgers gleichfalls. Die Drehpunkte der Hebel bilden vorzugsweise eine Linie, die einen rechten Winkel zur Elektronenstrahl achse bildet, so daß sowohl bei Ausdeh-

ao nungen als auch Zusammenziehungen die Verschiebungen sehr klein sind, da die Entfernung zwischen den Drehpunkten der Hebel und dem Objektträger nur sehr gering ist. Weiterhin ist von Vorteil, daß die Drehpunkte der Hebel auf Geraden liegen, die durch

as den Mittelpunkt des Objektträgers gehen.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (8)

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zum Verstellen eines Objektes quer zur Strahlenrichtung in Korpuskularstrahlengeräten, bei der mindestens ein der Verstellung dienender Hebel mit mindestens einer ebenen Berührungsfläche eines quer zur Strahlenrichtung verschieblichen Objektträgers durch die Kraft eine Feder in Berührung gehalten ist, insbesondere für eine Elektronenmikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß die ebenen Berührungsflächen auf dem Objektträger zumindest annähernd mit Geraden fluchten, die durch die Mitte des Objektträgers hindurchgehen und senkrecht auf der Strahlenachse stehen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellvorrichtung aus zwei rechtwinklig zueinander, in einer zur Strahlenachse senkrechten Ebene angeordneten Hebeln (5, 6) besteht, von denen der eine Hebel (S) an seinem einen Ende ein gabelförmiges Bauteil (20,21) aufweist, dessen Stirnflächen (11, 12) an zwei miteinander fluchtenden Berührungsflächen des Objektträgers (1) anliegen und das mit Hilfe von Stiften (22, 23) drehbar in einem Gehäuse (3) gelagert ist, und das eine E de des anderen Hebels (6) an einer zu den beiden genannten Berührungsflächen senkrecht angeordnete Berührungsfläche (13) anliegt und dieser andere Hebel (6) eber'alls mittels eines Stiftes (26) in dem Gehäuse (3) drehbar gelagert ist, und daß die Stifte (22, 23, 26) auf sich im Mittelpunkt des Objektträgers (1) kreuzenden und auf der Strahlenachse senkrecht stehenden Geraden liegen.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Hebel (5) und der zur drehbeweglichen Lagerung dieses Hebels (5) vorgesehene Stift (26) in der gleichen Ebene angeordnet sind.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebel (5,6) mit ihren freien Enden über Kugeln (17,18,19) mit dem Objektträger (1) in Berührung stehen.

5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Hebel (5,6) durch Faltenbälge (24, 25) gegenüber dem Gehäuse (3) luftdicht abgedichtet sind.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Mikrometerschrauben (27, 30) vorgesehen sind, die gegen die Hebel (5,6) an ihren äußeren Enden anliegen und durch deren Verdrehung die Hebel (S, 6) kippbar sind.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektträger (64) zwei in einer gemeinsamen Ebene liegende Berührungsflächen (67, 68) aufweist, sowie eine hierzu rechtwinklig angeordnete weitere Berührungsfläche (69), daß die weiteren Berührungsflächen (69) mit einem an einem Gehäuse (61) des Mikroskopes befestigten stationären Teil (72) in gleitender Berührung steht, daß die beiden erstgenannten Berührungsflächen (67, 68) mit den Enden zweier von außen betätigbarer Hebel (70, 71) in Beruhrung stehen, daß die beiden Hebel (70, 71) um im Gehäuse (61) gelagerte Stifte (73, 74) drehbar sind, daß die Stifte (73, 74) und die beider erstgenannten Berührungsflächen (67, 68) in einer Ebene liegen und daß der Objektträger (64) mittels einer am Gehäuse (61) befestigten Feder (79) in Kontakt mit den Enden der Hebel (70, 71) und dem stationären Teil (72) gehalten ist.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß an einer Unterseite des Objektträgers (200) eine V-förmige Nut vorgesehen ist, in der eine gegen die Oberseite des oberen Joches der Objektivlinse anliegende Kugel (221) eingreift, um deren Mittelpunkt der Objektivträger (200) mittels zweier Hebel (204, 205) drehbar ist.