DE1125566B

DE1125566B - Blendenanordnung fuer ein dreistufiges Elektronenmikroskop

Info

Publication number: DE1125566B
Application number: DET16824A
Authority: DE
Inventors: Armin Delong; Vladimir Drahos; Jan Specialny
Original assignee: Tesla AS
Current assignee: Tesla AS
Priority date: 1958-06-19
Filing date: 1959-06-18
Publication date: 1962-03-15
Also published as: GB881094A; US2993993A; NL113488C

Description

DEUTSCHES

PATENTAMT

T16824VIHc/21g

ANMELDETAG: 18. JUNI 19S9

BEKANNTMACHUNG DER ANMELDUNG UNDAUSGABE DER AUSLEGESCHRIFT: 15. MÄRZ 1962

Die Erfindung betrifft eine Blendenanordnung für ein dreistufiges Elektronenmikroskop.

Bei Elektronenbeugungsapparaten ist es für das Identifizieren des zu untersuchenden Materials oft erwünscht, den Abbildungsbereich einzuschränken. Bei dreistufigen Elektronenmikroskopen kann dieser Bereich dadurch eingeschränkt werden, daß in der Objektebene der Hilfslinse eine Blende derart angeordnet ist, daß die Elektronenstrahlen des Außenbereichs für die Abbildung nicht verwendet werden. Je nach Beschaffenheit des zu prüfenden Objektes muß der Beobachtungsbereich bis auf Abmessungen einzelner Mirkokristalle eingeschränkt werden, so daß verschiedene Blendenöffnungen erforderlich sind.

Es sind bereits Blenden in Form von Schieberzungen bekannt, die mit einer Anzahl von Öffnungen von verschiedenen, genau festgelegten Durchmessern versehen sind und je nach Bedarf in das Gesichtsfeld eingeschoben werden. Die Öffnungen der Blenden sind in der Regel kreisförmig. Ihr Nachteil besteht darin, daß die Auswahl der einstellbaren Blendenwerte nur auf eine kleine Anzahl von vorher festgelegten Öffnungen in der Schieberzunge eingeschränkt ist. Vorteilhafter sind Blenden, die derart verstellbar sind, daß ihre Öffnung, die z. B. rautenförmig ist, durch Verschiebung zweier Blendenteile geändert werden kann, die einander überlappen und mit je einem dreieckförmigen Ausschnitt am Ende versehen sind, wie in Fig. 1 und 2 angedeutet ist. Durch gegenseitiges Überdecken der Blendenteile bei ihren Verschiebungen in Richtung auf die optische Achse, zu oder von ihr ab, kann die erwünschte Blendenöffnung eingestellt werden. Die Einstellung der Blende auf den größtmöglichen Durchgang der Elektronenstrahlen ist in Fig. 1 dargestellt. Fig. 2 zeigt, wie die Abblendung allmählich verändert werden kann. Derart verstellbare Blenden sind aber wegen der kleinen Abmessungen der Blendenöffnung mechanisch schwer herstellbar. Ein gemeinsamer Nachteil aller bisher bekannten Blenden ist ihre langwierige Bedienung, weil diese Blenden ein umständliches Zentrieren erfordern.

Die Nachteile der bekannten Blendenvorrichtungen werden behoben, und die zur Einstellung der Blende erforderliche Zeit wird beträchtlich verkürzt, wenn erfindungsgemäß zwei in Strahlrichtung hintereinanderliegende, aus je zwei gleich großen Kreisabschnitten bestehende Blenden vorgesehen sind, die gemeinsam senkrecht zur optischen Achse des Elektronenmikroskops drehbar sind. Jede Blende wird von zwei Blendenteilen mit kreisförmigen Öffnungen gebildet, die sich teilweise überdecken.

Blendenanordnung für ein dreistufiges Elektronenmikroskop

Anmelder: Tesla, närodni, podnik, Prag-Hloubetin

Vertreter: Dipl.-Ing. H. Seiler, Berlin-Grunewald,

Lynarstr. 1, Dipl.-Ing. H. Stehmann und Dipl.-Ing. B. Richter, Nürnberg, Patentanwälte

Beanspruchte Priorität: Tschechoslowakei vom 19. Juni 1958 (Nr. P. V. 3259)

Armin Delong, Vladimir Draho§

und Jan Speciälny, Brunn (Tschechoslowakei),

sind als Erfinder genannt worden

Die Erfindung ist in der Zeichnung erläutert.

Fig. 1 und 2 zeigen eine bisher bekannte verschiebbare Blende;

Fig. 3 und 4 zeigen das Prinzip der Ausblendung des Elektronenstrahles nach der Erfindung.

Ein konstruktives Ausführungsbeispiel der Blende, ihres Halters und ihrer Betätigungsglieder ist in Fig. 5 und 6 dargestellt.

Das Prinzip der Ausblendung des Elektronenstrahles mit Hilfe einer erfindungsgemäß ausgebildeten Blendenanordnung ist in Fig. 3 und 4 dargestellt, wobei Fig. 3 die Blende in einer solchen Einstellung zeigt, daß sie den größtmöglichen Durchgang für die Elektronenstrahlen freiläßt. Fig. 4 zeigt dann allmähliche Ausblendung der Elektronenstrahlen durch Drehung der Blende um ihre Achse.

Ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung und ihrer Betätigungsglieder ist in Fig. 5 und 6 dargestellt. Eine Stange 10 ist an dem einen Ende mit einer Führungsfläche 11 und einem Gewinde 12 versehen. Im anderen Ende der Stange 10 ist eine querverlaufende kreisförmige Öffnung 13 vorgesehen, deren Achse zur Ebene der Führungsfläche 11 senkrecht steht. Auf dieses Ende der Stange ist eine Hülse 14 aufgesteckt, in der zwei kreisförmige, diametral gegenüberliegende Öffnungen 15 vorgesehen sind, die mit der Öffnung 13 teilweise zur Deckung gebracht werden können, wodurch die be-

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schriebene Blendenöffnung entsteht. Die Stange 10 ist durch einen elastischen Ring 16 abgedichtet, der von einer Überwurfmutter 18 gegen einen Lagerkörper 17 derart gedrückt wird, daß die Stange 10 unter Aufrechterhaltung einer vakuumdichten Verbindung Schub-, Dreh- und Schwenkbewegungen ausführen kann. Der Lagerkörper 17 wird durch eine Überwurfmutter 19 über einen Dichtring 20 zur Wand 21 einer ausgepumpten Kammer gedrückt. Auf den Lagerkörper 17 ist eine Buchse 22 aufgesteckt, die auf einem Ende mit einer Kugelfläche 23 versehen ist. Auf der Kugelfläche 23 liegt ein mit einer Skala zur Winkeleinstellung versehener Steuerring 24, an den sich eine Stellmutter 25 abstützt, die mit einer Mikrometerskala versehen und auf das Gewinde 12 der Stange 10 aufgeschraubt ist. In den Steuerring 24 ist ein Keil 26 eingesteckt, der einerseits die Mitnahme der Stange 10 bei Drehbewegungen des Steuerringes 24 sichert, andererseits aber verhindert, daß die Stange 10 bei ihren axialen, durch Drehung der Stellmutter 25 hervorgerufenen Bewegungen zugleich auch Drehbewegungen ausführt. Auf der Stange 10 ist ein weiterer Ring 27 verschiebbar gelagert, der als Widerlager für Stellschrauben 28, 29 dient, welche zur Schwenkeinstellung der Stange 10 vorgesehen sind. Die Stange 10 und die mit ihr verbundenen Bestandteile werden in Richtung zum Innenraum der ausgepumpten Kammer einerseits durch den Überdruck der Außenluft, andererseits durch den Druck einer an eiern Splint 31 abgestützten Feder 30 gedrückt.

Die zusammengestellte Vorrichtung ist unter dem Objektiv eines Elektronenmikroskops gelagert. Die Mitte der linsenförmigen Blendenöffnung wird mit der Mitte des Elektronenstrahlenganges zur Deckung gebracht, und zwar einerseits durch Drehung der Stellmutter, wodurch Längsbewegungen der Stange hervorgerufen werden, andererseits durch Schwenkbewegungen der Stange, hervorgerufen durch die Stellschrauben 28, 29.

Die Abblendung der Elektronenstrahlenn wird durch Drehung des Steuerringes 24 um die Achse der Stange 10 erzielt. Der Drehwinkel kann an der Skala des Steuerringes 24 abgelesen werden.

Die Bedienung der beschriebenen Vorrichtung zur Ausblendung von Elektronenstrahlen ist gegenüber den bekannten Einrichtungen wesentlich einfacher und ermöglicht eine stetige Änderung der Blendenöffnung, die praktisch bis zur kleinstmöglichen Einschränkung des Gesichtsfeldes durchführbar ist.

Claims

PATENTANSPRÜCHE:

1. Blendenanordnung für ein dreistufiges Elektronenmikroskop, gekennzeichnet durch zwei in Strahlrichtung hintereinanderliegende, aus je zwei gleich großen Kreisabschnitten bestehende Blenden, die gemeinsam senkrecht zur optischen Achse des Elektronenmikroskops drehbar sind.

2. Blendenanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in einer zylindrischen Stange (10) eine kreisförmige Öffnung (13) vorgesehen ist, deren Achsen senkrecht aufeinander stehen, daß auf die zylindrische Stange (10) eine Hülse (14) aufgesteckt ist, die zwei kreisförmige, gegenüberliegende Öffnungen (15) aufweist, daß die Öffnungen in der Hülse (14) und in der Stange (10) gleich groß sind und daß die Achse der beiden Öffnungen (15) parallel zur Achse der Öffnung (13) verläuft (Fig. 5).

3. Blendenanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Anordnung in einer zur optischen Achse des Elektronenmikroskops senkrechten Richtung verschiebbar und quer zur Richtung der Verschiebung schwenkbar angeordnet ist.

4. Blendenanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß für die Längsverschiebung der Blendenanordnung eine Mikrometerskala vorgesehen ist.

5. Blendenanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Anordnung mit einem Ring versehen ist, der eine Skala zur Ablesung des eingestellten Drehwinkels der Blende trägt.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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