DE891583C - Elektronenoptisches Geraet, insbesondere UEbermikroskop - Google Patents

Description

• Elektronenoptisches Gerät, insbesondere Übermikroskop Bei elektronenoptischen Geräten, insbesondere Übermikroskopen, ist es: erwünscht, ddie Größe de;t öffniurngen von Blendkin ändern zu können. Es ist bereits bekannt, @auswechsielbiare Blenden vorzusehen, um je nach den Erfordernisseen eine Blende mit dem gewünschten Blendenloch in den Strahleng,ang einführten zu können. Nan hat hierzu die Kanäle der verschiedenen Appara turblenden in deiner Blendenzt~uge ,angebracht, welche in den Strahlengang geschoben werden kann. Diese Ausführung erfordert einen beträchtlichen Aufwand. Es kommt ferner hinzu, diaß die Blend:enlöcher .a!uß,eroi,ddentlich sauber ;gehalten werden müssen. Nun läßt es sich jedoch während. ,des Betriebes nicht vermeiden, diaß kleine Partikelchen, insbesondere Fettpartikdelchen, auf den Blenden niederschlggen und dieselben verschmutzen.. Eine Reinigung von Blenden mit außerordentlich kleinen Bdohrun ;gen bereitet in der Praxis ;größte Schwierigkeiten.
• Die Erfindung betrifft ein elektronenoptisches Gerät, insbesoiudere übdermikrosk dop, mit wenigstens einer Blende, deren öffnung regelbar ist. Nach der Erfindung ist die Blendenöffnung von wenigstens zwei scheiben doder bandförmigen Teilen umrandet, welche derart in dden Korpuskula,rs,trahlengang zu schieben oder zu klappen sind, daß bei Betätigung der miteiniander gekuppelten Teile dila Größe der Öffnung der Blende geregelt wird. Auf diese Weise kann zunächst der Blendenöffnung je nach Bedarf die gewünschte Größe gegeben werden. Zudem kann ein sehr kleines Blendenloch derart erweitert werden, ,daß es Ader Reinigung bequem zugänglich ist. Nachdem die Reiniöung vorgenommen -,worden ist, kann wieder eine beliebige Verkleinerung des Blendenloches- :erfolgen, um ses dem gewünschten Zweck anzupassen.
• Die Teile, welche zur Ausblendung »des Korpuskulars'tnahles :dienen, brauchen nicht in :einer Ebene zu liegen, sondern ;können, wie es in der Fig. i schematisch angedeutet ist"auch in verschiedenen Ebenen angeordnet sein, -da die Elektronenstrahlen sich ;geradlinig fortpflanzen, ühne :daß, wie beim Licht, störende ,diffuse Strahlung euftritt. Bei dem in der Fig. i dargestellten Ausführungsbeispiel wird die Blende :durch drei in verschiedenen Ebenen liegende Scheiben i, 2; 3 gebildet. Von dem Elektronenstrahl 5 wird auf diese Weise ein dreieckförmiger Teil ausgeblendet. Natürlich kann die Form, ides .ausgeblendeten Elekfironernstrahles auch ge"änidert werden, indem beispielsweise an Stiellee von drei Scheiben :eine größere Anzahl benutzt wird oder indem den Scheibenkanten, welche die Umrandung des Blendenloches bilden, eine entsprechende Form gegeben wird. Je nach der Anzahl :der Scheiben bzw. je nach deren Form gelangt beispielsweisse bei einem Übermikroskop !oder seinem Beugungsgerät ein entsprechend geformter Elektronenstrahl in die Linse, von welcher die Elektrode 4 :dargestellt ist.
• Dias Prinzip der Verwendung von mehreren in verschiedenen Ebenen liegenden Teilen: zur Bildung der Blende ist auch bei den in -den Fig. 2 und 2a gezeigten Ausführungsformen benutzt. Der Übersicht halber ist jedoch in !diesen Fällen stets nur einer der Biegrenzungsteile ,loggestellt. Blei der Anordnung nach Fig. 2 ist ein, mit einer öffhung 3 4 für den Durchtritt :des Elektronienstrahles 12 versehenes elastisches Band 8 vorhanden, welches an: den beidem Enden 9 und io biefestigt ist, und zwar ist sdas Band an der Stelle g direkt an dem fest, stehenden Rohr 6 gehaltert, wähnend ,die- Befestigungsstelle io sich außerhalb- !des Rohres 6 be= findet. Zu !diesem Zweck ist das Bian!d 8 idurch eine Öffnung 7 !des Rohres 6, welches :dien Elektronenstrahl 12 umgibt, geführt. In gleicher Weise werden. beispielsweisse roch zwei weitere. Ränder 8 vorgiesehen, wobei dizse Bänder derart angebacht werden, idaß :dieselben. sich in der Projektion auf einer Ebene senkrecht zur Achse !des Rohres 6 schneiden. Um nun !die Größe !des Blen:denlo:cbes zu ,ändern, ist zu j edeln Band :ein in dem Rohr 6, geführter Hohlzylinderteil vorgesehen, welcher leine Spannung !des zuggehörigen Bundes bewirkt. Der zu !denn Band 8 gehörende Hohlzylinder ist mit. dem Bezugszeichen, i i versehen. Sämtliche Hohlzylinder sind mechanisch :derart miteinander ,gekuppelt, ldaß dieselben edle betreffenden Bänder in, gleicher Weise spannen lunld damit leine gleichmä;(34lge Verkleinerung !des Blendenloches bewirken. Beim Entspialnnen der Bänder tritt dagegen ,bei der dargestellten Ausführungsform eine Vergrößerung. des Blendenloches ein, was bei der Reinigung der Blende vom Vorteil ist.
• Gegebenenfalls hat :es sich auch als zweckmäßig erwiesen, der Anordnung nach der Erfindung die! irr sder Fig. 2o, dargestellte Ausführungsform. zu geben. Diese Ausführungsform -entspricht imi wesentlichen der Anordnung nach Fig. 2. In diesem Fall sind edle Bänder jedoch nicht aji beiden, Enden, sondern nur an einem Ende befestigt, wie es iam dem Band 8 gezeigt ist. Des Brand 8 wird durch eine Feder 32 ;gegen Iden unteren Rand der öffniiun9 7 in dem Zylinder 6 gedrückt. In gleicher Weise sind beispielsweise zwei weitere Bänder vorgesehen, wobei sämtliche Bänder ins der Projektion auf eine Ehere senkrecht zur Achse des Zylinders 6 schräg zueinander verlaufen. Die Länge der Bänder ist dabei so. ,gewählt, idaß je nach ider Fedierkraft, welche zurrt Hcrandrücken oder !elastischen Bänder gegen ,die Ränder,dler Öffnungen in dem Zylinder 6 angewandt wird, ein größerer odlerc kleinerer Teil des Korplueskularstnahles ausgeblendet wird.
• In manchen Fällen hat sich fauch @d;ie in: der Fig. 3 in: der Aufsicht von unten gezeigte Form bewährt. Die Anordnung entspricht im wesentlichen wiederum der Ausführungsform nach Fig.2. In dem Rohr 6 sind drei in der Projektion sich kreuzende Bänder 8, 13 und 14 vorgesehen. Diese Bänder sind jeweils an dem :einen Ende an in dem Rohr 6 angeordneten parallel zu, !demselben verlaaufenden Stäben 15, 16, 17 befestigt. Mit Hilfe dieser Stäbe können !die Bänder 8, 13, 14 :derart zueinander verkantet werden, daß, der Elektronenstrahl in verschiedener Weisse ausgeblendet wird.
• Der Gegenstand der Erfindung kann Beispiels weise auch die in -den Fig. 4 bis 6 dargestellte Form ;annehmen. In diesem Fall sind zwei Üb(ereänandergreifende Schneiden 21, 22 vorgesehen, welche an Schenkeln 23 und 24 befestigt sind, die eine gemeinsame Drehachse 3 i aufweisen. Mit Hilfe eines durch .den Rahmleu 33 igeführten konischen Gewindesofties 25 können: :die Schenkel 23, 24 voneinander entfernt wenden, so, daß damit eine zwischen :den Schneiden 21 und 22 hefrndliche Blenderöffnung vergrößert wird. Die gesamte Anordnung befindet :sich in einer kamdenischen Aufhängung, welche mit Hilfe der konischen Gewindestifte 26 rund 27 in ihrer Lage justiert werden Die Teile 29, 30 der beiden Schneiden 21, 22, welche die Begrenzung der Blendenlochränder bilden, verlaufen parallel zueinander, sind jedoch, wie !die Fi;g.6 erkennen läßt, schräg- zueinander aggeordneet. Auf diesle Weisse kann Lurch die Blendenöffnang lein Saphirstift 28 geführt werden, welcher zur mechanischen Reinigung :dies Blendenloches !dient. Mit Hilfe edles konischen Gewindestiftes 25 kann die Grä:ße der Öffnung des, Blendenloches :eingesttellt werden. Wenn nun ein kleine Blendenloch benötigt wird:, sa kann dasselbe! zur Vorniahme einer Reinigung mit Hilfe, :des, Stiftes 25, welcher edle Schienkel 23, 24 voneinander entfernt, vergrößert werden, sec. daß :dann der Saphirstift 28 .durch !die Blendmiöffnung geführt werden kann, tim !dieselbe mechanisch zu reinigen.

Claims (7)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Elektronenoptisches Gerät, insbesondere Übermikroskop, mit wenigstens seiner Blende, deren Öffnung regelbar ist, !dadurch gek;ermzeichnet, da3,die Blerndenöffnung von wenigstens zwei scheib!en- codier bandförmigen Teilen umrandet ist, welche derart in den Korp!uskularstrahlengang zu verschieben oder zu klappen sind, daß bei Betätigung der miteinander gekuppelten Teile die Größe :der öggn!ung der Blenden geregelt wird.
2. 2. Elektronenoptisches Gerät nach Anspruch i, ,dadurch gekennzeichnet, daß die scheibenförmigen Teile in verschiedenen Ebenen angeordnet sind (Fig. i).
3. 3. Elektronenioptisches Gerät nach Anspruch 2, ,dadurch igekennzeichnet, @daß der Korpiusktil;arstrahlengang von einem rohrförmigen Körper (6) umgeben ist, daß zur Ausblendung mehrere ,mit Blendenöfnungen versehene elastische, bandförmige, schräg den Korpusk!ularstrahlengang kreuzende Teile (8) dienen, welche an dem einen Ende an dem rohrförmigen Körper (6) und an dem anderen Ende nach Durchführung durch in der Wanidung des rohrförmigen Körpers (6) vorgesehene Öffnungen (7) außerhalb-desselben befestigt sind, und :daß hohlzylinderfö.rmige Körper (i i) vorgesehen sind, um :die elastischen, bandförmigen Teile um einen gewünschten Betrag zu spannen (Fig. 2). q..
4. Elektronenoptisches Gerät nach Anspruch 2, ,dadurch gekennzeichnet, daß der Korpuskularstrahlengang von einem rohrförmigen, in: Achsiervrichtunig beweglichen Körper (6) umgeben ist, welcher mit Öffnungen (7) versehen ist, durch ,die jeweils :einselastischer, bandförmiger, schräg ,den Korpluskularstrahlengang kreuzender Teil geführt ist, welcher durch Federwirkung gegen den Rand der Öffnung (7) gepreßt ist (Fig. 2a).
5. 5. Elektronen;optisehes Gerät nach Anspruch i, dadurch ;gekennzeichnet, daaß zwei mit Einschnitten versehene übereinandergreifende Schneiden (21, 22), welche an Schenkeln (23, 2q.) mit .einer gemeinsamen Achse (31) befestigt sind, die Blendenöffnung umgeben und daß zur Einstellung -der Größe :der Blendenöffnung .ein zwischen die Schenkel (23, 2q.) ;geführter konischer Stift (25) dient.
6. 6. Elektroneniaptisches Gerät nach Anspruch 5, @dadurch ,gekennzeichnet, daß die die Blendenlochränder bildenden Teile der beiden Schneiden parallel zueinander, jedoch schräg zur Achse des Blendenloches verlaufen.
7. 7. ElektronenioptischesGerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß in das Blendenr loch .ein Saphirstift (28) einführbar ist. B. Elektronenoptisches Gerät nach Anspruch 5 Moder folgenden, dadurch ,gekennzeichnet, daß die Blende in feiner kardanischen gelagert ist.