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Elektronenoptisches Gerät, insbesondere Übermikroskop Bei elektronenoptischen
Geräten, insbesondere Übermikroskopen, ist es: erwünscht, ddie Größe de;t öffniurngen
von Blendkin ändern zu können. Es ist bereits bekannt, @auswechsielbiare Blenden
vorzusehen, um je nach den Erfordernisseen eine Blende mit dem gewünschten Blendenloch
in den Strahleng,ang einführten zu können. Nan hat hierzu die Kanäle der verschiedenen
Appara turblenden in deiner Blendenzt~uge ,angebracht, welche in den Strahlengang
geschoben werden kann. Diese Ausführung erfordert einen beträchtlichen Aufwand.
Es kommt ferner hinzu, diaß die Blend:enlöcher .a!uß,eroi,ddentlich sauber ;gehalten
werden müssen. Nun läßt es sich jedoch während. ,des Betriebes nicht vermeiden,
diaß kleine Partikelchen, insbesondere Fettpartikdelchen, auf den Blenden niederschlggen
und dieselben verschmutzen.. Eine Reinigung von Blenden mit außerordentlich kleinen
Bdohrun ;gen bereitet in der Praxis ;größte Schwierigkeiten.
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Die Erfindung betrifft ein elektronenoptisches Gerät, insbesoiudere
übdermikrosk dop, mit wenigstens einer Blende, deren öffnung regelbar ist. Nach
der Erfindung ist die Blendenöffnung von wenigstens zwei scheiben doder bandförmigen
Teilen umrandet, welche derart in dden Korpuskula,rs,trahlengang zu schieben oder
zu klappen sind, daß bei Betätigung der miteiniander gekuppelten Teile dila Größe
der Öffnung der Blende geregelt wird. Auf diese Weise kann zunächst der Blendenöffnung
je nach Bedarf die gewünschte Größe gegeben werden. Zudem kann ein sehr kleines
Blendenloch derart erweitert werden, ,daß es Ader Reinigung bequem zugänglich ist.
Nachdem die Reiniöung vorgenommen -,worden ist, kann wieder eine beliebige Verkleinerung
des
Blendenloches- :erfolgen, um ses dem gewünschten Zweck anzupassen.
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Die Teile, welche zur Ausblendung »des Korpuskulars'tnahles :dienen,
brauchen nicht in :einer Ebene zu liegen, sondern ;können, wie es in der Fig. i
schematisch angedeutet ist"auch in verschiedenen Ebenen angeordnet sein, -da die
Elektronenstrahlen sich ;geradlinig fortpflanzen, ühne :daß, wie beim Licht, störende
,diffuse Strahlung euftritt. Bei dem in der Fig. i dargestellten Ausführungsbeispiel
wird die Blende :durch drei in verschiedenen Ebenen liegende Scheiben i, 2; 3 gebildet.
Von dem Elektronenstrahl 5 wird auf diese Weise ein dreieckförmiger Teil ausgeblendet.
Natürlich kann die Form, ides .ausgeblendeten Elekfironernstrahles auch ge"änidert
werden, indem beispielsweise an Stiellee von drei Scheiben :eine größere Anzahl
benutzt wird oder indem den Scheibenkanten, welche die Umrandung des Blendenloches
bilden, eine entsprechende Form gegeben wird. Je nach der Anzahl :der Scheiben bzw.
je nach deren Form gelangt beispielsweisse bei einem Übermikroskop !oder seinem
Beugungsgerät ein entsprechend geformter Elektronenstrahl in die Linse, von welcher
die Elektrode 4 :dargestellt ist.
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Dias Prinzip der Verwendung von mehreren in verschiedenen Ebenen liegenden
Teilen: zur Bildung der Blende ist auch bei den in -den Fig. 2 und 2a gezeigten
Ausführungsformen benutzt. Der Übersicht halber ist jedoch in !diesen Fällen stets
nur einer der Biegrenzungsteile ,loggestellt. Blei der Anordnung nach Fig. 2 ist
ein, mit einer öffhung 3 4 für den Durchtritt :des Elektronienstrahles 12 versehenes
elastisches Band 8 vorhanden, welches an: den beidem Enden 9 und io biefestigt ist,
und zwar ist sdas Band an der Stelle g direkt an dem fest, stehenden Rohr 6 gehaltert,
wähnend ,die- Befestigungsstelle io sich außerhalb- !des Rohres 6 be= findet. Zu
!diesem Zweck ist das Bian!d 8 idurch eine Öffnung 7 !des Rohres 6, welches :dien
Elektronenstrahl 12 umgibt, geführt. In gleicher Weise werden. beispielsweisse roch
zwei weitere. Ränder 8 vorgiesehen, wobei dizse Bänder derart angebacht werden,
idaß :dieselben. sich in der Projektion auf einer Ebene senkrecht zur Achse !des
Rohres 6 schneiden. Um nun !die Größe !des Blen:denlo:cbes zu ,ändern, ist zu j
edeln Band :ein in dem Rohr 6, geführter Hohlzylinderteil vorgesehen, welcher leine
Spannung !des zuggehörigen Bundes bewirkt. Der zu !denn Band 8 gehörende Hohlzylinder
ist mit. dem Bezugszeichen, i i versehen. Sämtliche Hohlzylinder sind mechanisch
:derart miteinander ,gekuppelt, ldaß dieselben edle betreffenden Bänder in, gleicher
Weise spannen lunld damit leine gleichmä;(34lge Verkleinerung !des Blendenloches
bewirken. Beim Entspialnnen der Bänder tritt dagegen ,bei der dargestellten Ausführungsform
eine Vergrößerung. des Blendenloches ein, was bei der Reinigung der Blende vom Vorteil
ist.
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Gegebenenfalls hat :es sich auch als zweckmäßig erwiesen, der Anordnung
nach der Erfindung die! irr sder Fig. 2o, dargestellte Ausführungsform. zu geben.
Diese Ausführungsform -entspricht imi wesentlichen der Anordnung nach Fig. 2. In
diesem Fall sind edle Bänder jedoch nicht aji beiden, Enden, sondern nur an einem
Ende befestigt, wie es iam dem Band 8 gezeigt ist. Des Brand 8 wird durch eine Feder
32 ;gegen Iden unteren Rand der öffniiun9 7 in dem Zylinder 6 gedrückt. In
gleicher Weise sind beispielsweise zwei weitere Bänder vorgesehen, wobei sämtliche
Bänder ins der Projektion auf eine Ehere senkrecht zur Achse des Zylinders 6 schräg
zueinander verlaufen. Die Länge der Bänder ist dabei so. ,gewählt, idaß je nach
ider Fedierkraft, welche zurrt Hcrandrücken oder !elastischen Bänder gegen ,die
Ränder,dler Öffnungen in dem Zylinder 6 angewandt wird, ein größerer odlerc kleinerer
Teil des Korplueskularstnahles ausgeblendet wird.
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In manchen Fällen hat sich fauch @d;ie in: der Fig. 3 in: der Aufsicht
von unten gezeigte Form bewährt. Die Anordnung entspricht im wesentlichen wiederum
der Ausführungsform nach Fig.2. In dem Rohr 6 sind drei in der Projektion sich kreuzende
Bänder 8, 13 und 14 vorgesehen. Diese Bänder sind jeweils an dem :einen Ende an
in dem Rohr 6 angeordneten parallel zu, !demselben verlaaufenden Stäben 15, 16,
17 befestigt. Mit Hilfe dieser Stäbe können !die Bänder 8, 13, 14 :derart
zueinander verkantet werden, daß, der Elektronenstrahl in verschiedener Weisse ausgeblendet
wird.
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Der Gegenstand der Erfindung kann Beispiels weise auch die in -den
Fig. 4 bis 6 dargestellte Form ;annehmen. In diesem Fall sind zwei Üb(ereänandergreifende
Schneiden 21, 22 vorgesehen, welche an Schenkeln 23 und 24 befestigt sind, die eine
gemeinsame Drehachse 3 i aufweisen. Mit Hilfe eines durch .den Rahmleu 33 igeführten
konischen Gewindesofties 25 können: :die Schenkel 23, 24 voneinander entfernt wenden,
so, daß damit eine zwischen :den Schneiden 21 und 22 hefrndliche Blenderöffnung
vergrößert wird. Die gesamte Anordnung befindet :sich in einer kamdenischen Aufhängung,
welche mit Hilfe der konischen Gewindestifte 26 rund 27 in ihrer Lage justiert werden
Die Teile 29, 30 der beiden Schneiden 21, 22, welche die Begrenzung der Blendenlochränder
bilden, verlaufen parallel zueinander, sind jedoch, wie !die Fi;g.6 erkennen läßt,
schräg- zueinander aggeordneet. Auf diesle Weisse kann Lurch die Blendenöffnang
lein Saphirstift 28 geführt werden, welcher zur mechanischen Reinigung :dies Blendenloches
!dient. Mit Hilfe edles konischen Gewindestiftes 25 kann die Grä:ße der Öffnung
des, Blendenloches :eingesttellt werden. Wenn nun ein kleine Blendenloch benötigt
wird:, sa kann dasselbe! zur Vorniahme einer Reinigung mit Hilfe, :des, Stiftes
25, welcher edle Schienkel 23, 24 voneinander entfernt, vergrößert werden, sec.
daß :dann der Saphirstift 28 .durch !die Blendmiöffnung geführt werden kann, tim
!dieselbe mechanisch zu reinigen.