DE756934C - Anordnung zur Verschiebung eines in einem Korpuskularstrahlapparat zu untersuchenden Objektes in der Strahlrichtung, insbesondere fuer Elektronemikroskope - Google Patents

Description

AUSGEGEBEN AM 15. DEZEMBER 1952

REICHS PATE NTAMT

PATENTSCHRIFT

KLASSE 21g GRUPPE 3710

S149729 VIIIcJ 21g

SJr.^ttg. Ernst Ruska, Berlin ist als Erfinder genannt worden

Siemens & Halske A. G., Berlin und München

Elektronenmikroskope

(Ges. v. 15. 7.51) Patenterteilung bekanntgemacht am 25. September 1952

Bei Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elektronenmikroskopen, die zur Untersuchung von Objekten dienen, müssen Einrichtungen vorgesehen werden, die eine Verschiebung des Objekts in axialer Richtung gestatten. Derartige Einrichtungen zum Verschieben des Objekts sind einmal notwendig, um das Objekt nach seinem Einschleusen in den Vakuumraum des Geräts möglichst nahe an den wirksamen Bereich der Öbjektd-vHnse heranzubringen. Ferner ist bei Anwendung einer elektrostatischen oder magnetostatischen Objektivlinee die axiale Verschiebebewegung des Objekts erforderlich, um das Bild scharf einzustellen.

Erfindungsgemäß ist bei Anordnungen der obenerwähnten Art der Objektträger in einen Flachkeil eingesetzt, der mit einem zweiten, relativ zum ersten, quer zum Strahl verschiebbaren Flachkeil zusammenarbeitet, ao

Auf diese Weise erhält man-eine Konstruktion, bei der nach vollzogener axialer Verschiebebewegung keinerlei Ouerbewegungen des Objekts gegenüber dem Objektiv zu befürchten sind. Die Reibung zwischen den beiden Flachkeilen einerseits und der Auflagefläche des unteren Flachkeils anderseits verhindert derartige Ouerbewegungen.

Eine einfache Ausführungsform der Erfindung ergibt sich, wenn man den quer beweglichen Flachkeil mit einem Ausschnitt versieht, in welchen die in den anderen Flachkeil eingesetzte, als Objektträger dienende Patrone hineinragt. Das kann beispielsweise dadurch erreicht werden, daß der quer bewegliche Flachkeil U-förmig ausgebildet wird. Um die für das Aufsuchen eines bestimmten Bildausschnitts erforderlichen Ouerbewegungen des Objekts gegenüber der Strahlachse durchzuführen, kann man gemäß der weiteren Erfindung als Auflager für den unteren quer beweglichen Flachkeil einen mit besonderen Trieben quer zur Strahlrichtung verstellbaren Tisch anordnen. Die beiden Flachkeile, welche zur axialen Verstellung des Objekts dienen, werden dabei durch geeignete Federn gegen den erwähnten Tisch gedrückt, während der Tisch selbst auch seinerseits durch besondere Federn fest gegen einen Teil des Objektivs gedrückt wird.

Die Abbildung zeigt als Ausführungsbeispiel der Erfindung schematisch einen Querschnitt durch das Objektiv eines Elektronenmikroskops, das zur Durchstrahlung von Objekten eingerichtet ist. Mit 1 ist die Vakuumwand des Geräts bezeichnet. Als Objektiv dient eine elektrostatische Einzellinse,, die in an sieb bekannter Weise aus den beiden auf gleichem Potential, vorzugsweise Erdpotential, befindlichen Elektroden 2, 3 und der dazwischen angeordneten, auf 'hohem negativem Potential befindlichen Elektrode 4 besteht. Mit 5 ist die Objektpatrone bezeichnet, welche in ihrem untersten Teil das in der Abbildung nicht näher dargestellte Objekt trägt. Um für die Zwecke der Scharfeinstellung Bewegungen der Objektpatrone, in Richtung der Strahlachse durchführen zu können, ist die Patrone in einen Flachkeil 6 eingesetzt, der mit einem zweiten U-förmigen Flachkeil 7 zusammenarbeitet. Die abgeschrägten Flächen der Keile sind einander zugekehrt. Beide Keile werden mit Hilfe der Federn 8, 9 gegen einen Tisch 10 gedrückt, der seinerseits mit Hilfe von Federn 11 an die obere Auflagefläche der Elektrode 2 gedrückt wird. Die Federn 8,9 sind in der aus der Abbildung ersichtlichen Weise mit Hilfe der Muttern 12, 13 und der zugeordneten Bolzen 14, 15 am Tisch 10 abgestützt. Dieser Tisch dient dazu, die Querbewegung des Objekts durchzuführen. Ihm sind zu diesem Zweck in der Abbildung im einzelnen nicht dargestellte Verstellschrauben zugeordnet, die mit einer Gegenfeder 16 zusammenarbeiten. Die axiale Bewegung der Patrone 5 wird durchgeführt mit Hilfe des Bolzens 17, der an seinem Ende mehr oder weniger in ein entsprechendes mit Gewinde versehenes Loch 18 des Flachkeils 7 geschraubt werden kann. Der Bolzen ist mit Hilfe eines konischen Fettschliffs 19 durch die Vakuumwand hindurchgeführt und außen mit einem Betätigungsgriff 20 versehen. Die bei der Anordnung angewendeten Federn sind so bemessen, daß bei der axialen Verstellung der Patrone 5 mit Hilfe der beiden Flachkeile 6 und 7 keinerlei Ouerbewegungen des Tisches ι ο möglich sind.

Claims (3)

1. PATENTANSPRÜCHE:

   i. Anordnung zur Verschiebung eines in einem Korpuskularstrahlapparat zu untersuchenden Objekts in der Strahlrichtung, insbesondere für Elektronenmikroskope mit elektrostatischer oder magnetostatischer Obje'ktivlinse, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektträger in einen Flachkeil eingesetzt ist, der mit einem zweiten, relativ zum ersten, quer zum Strahl verschiebbaren Flachkeil zusammen- go arbeitet.
2. 2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der quer bewegliche Flachkeil einen Ausschnitt aufweist, beispielsweise U-förmiger Flachkeil, in welchen dfe in den anderen Flachkeil eingesetzte Objektpatrone hineinragt.
3. 3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß Federn die beiden Flachkeile gegen eine in einen quer ioo zur Strahlrichtung verstellbaren Tisch drücken.

   Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

   5cO2 12.52