DE911412C - Korpuskularstrahlapparat, insbesondere Elektronenmikroskop - Google Patents
Korpuskularstrahlapparat, insbesondere ElektronenmikroskopInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Korpuskularstrahlapparat,
insbesondere ein Elektronenmikroskop, mit einer Einrichtung zur Untersuchung von Objekten, die einem hohen Gasdruck von beispielsweise
oberhalb 20 mm Hg ausgesetzt sind, um Reaktionen dieses Gases mit dem Objekt zu verfolgen.
Es kann aber auch wertvoll sein, die Objekte zur Verhinderung rascher Austrocknung in
einer Gasatmosphäre zu untersuchen. Erfindungsgemäß dient der zum Ein- und Ausschleusen des
Objektes verwendete, vorzugsweise vom Objektiv, beispielsweise von den Polschuhen, lösbare Objekthalter
selbst als Gaskammer und ist mit Kanälen versehen, die zu einem Gasreservoir führen. Durch
diese Kombination der Reaktionsgaskammer mit dem ein- und ausschleusbaren Objekthalter ergibt
sich eine sehr einfache konstruktive Lösung für die Erfindungsaufgabe. Man wird den hohl ausgebildeten
Objekthalter vorzugsweise so ausgestalten, daß der durch ihn gebildete Reaktionsgasraum im ao
Bereich des Strahlenganges einerseits durch eine Drosselblende und andererseits durch die Objektträgerblende
abgeschlossen ist. Da die meist üblichen äußerst dünnen Objektträgerfolien oder auch
frei in den Strahlengang hineinragende Objekte durch den zwischen der Prüfgaskammer und dem
Hauptvakuumraum bestehenden Druckunterschied sehr stark beansprucht werden, kann man gemäß
der weiteren Erfindung den Objekthalter auch so ausbilden, daß die Objektträgerfolie beiderseits
durch gleichen Druck belastet ist. Zu diesem Zweck wird man den hohl ausgebildeten Objekthalter im
Bereich des Strahlenganges nach beiden Seiten hin durch Drosselblenden abschließen, wobei sich dann
die Objektträgerblende zwischen den beiden Drosselbknden befindet. Man kann nun auf die Objektträgerfolie
beiderseits den Druck des Prüfgases wirken lassen. Es ist aber auch möglich, die Anordnung
so auszugestalten, daß zu beiden Seiten ίο der Objektträgerfolie verschiedene Gase vorzugsweise
mit gleichem Druck wirken. Diese Anordnung kann beispielsweise angewendet werden, wenn man
Objekte, die sich auf beiden Seiten der Objektträgerfolie befinden, gleichzeitig aber getrennt mit
verschiedenen Gasen untersuchen will. Man kann die erwähnte Anordnung aber auch vorzugsweise
dazu benutzen, um die Streuung der Elektronen, welche durch das Vorhandensein von Gasen hervorgerufen
wird, mögliehst klein zu halten. In diesem Falle wird man beispielsweise auf der Seite der
einseitig mit Objekten beschickten Folie, welche den Objekten abgewendet ist, ein Gegendruckgas,
vorzugsweise Wasserstoff oder Helium, anwenden, das bei dem gewählten Druck ein besonders kleines
Streuvermögen auf die abbildenden Elektronenstrahlen hat.
Durch die vorbeschriebene Anordnung ist in jedem Falle dafür gesorgt, daß das Volumen hohen
Druckes im Objekthalter nur über die beiden Drosselblenden mit dem Vakuumraum des Mikroskops in Verbindung steht. Der Objekthalter wird
gemäß der weiteren Erfindung vorzugsweise so ausgebildet, daß er seitlich in das Gerät einschiebbar
ist und daß er bei Anwendung einer magnetischen Objektivlinse in den Raum zwischen den beiden
Polschuhen hineinragt. Um einen allmählichen Druckabfall von dem hohen Druck im schleusbaren
Objekthalter zum Hauptvakuum des Gerätes zu erzielen, wird man den Objekthalter vorteilhaft in
einen Raum des Apparates einführen, der gegenüber dem Hauptvakuum durch zwei in der Gerätachse liegende Drosselblenden abgeschlossen ist und
mit einer Vorvakuumpumpe, beispielsweise einer rotierenden ölpumpe, verbunden ist. Dieser an die
Vorvakuumpumpe angeschlossene Aufnahmeraum des Objekthalters kann bei magnetischen Objektiven
vorzugsweise zwischen den beiden Polschuhen des Objektivs liegen.
Bei Verwendung der Erfindung für magnetische Objektive besteht leicht die Möglichkeit, die Anordnung
so· zu wählen, daß die Wicklung des Objektivs noch in der gleichen Ebene liegt wie mindestens der
bildseitige Objektivpolschuh. Ferner ist bei dieser Anwendungsform auch wichtig, daß die empfindliehen
Teile des Objektivs (die Polschuhe) beim Objektwechsel unverändert im Mikroskop verbleiben
können. Weitere für die Erfindung wesentliche Merkmale ergeben sich bei der Behandlung des
folgenden Ausführungsbeispiels.
Fig. ι zeigt schematisch einen Querschnitt durch
das Objektiv eines Elektronenmikroskops, welches mit einer Anordnung zur Untersuchung von elektronendurchstrahlten
Objekten bei Gasdrucken oberhalb 20 mm Hg ausgerüstet ist. Mit 1 ist die magnetische
Ummantelung der Objektivspule 2 6g bezeichnet. 3 ist der obere, 4 der untere Polschuh
des Objektivs. Zwischen den beiden Polschuhen ist ein vom Vakuumraum getrennter Raum 5 vorgesehen, der durch eine Leitung 6 mit einer nicht dargestellten
Vorvakuumpumpe verbunden werden kann. Der Raum 5 steht mit dem oberen Teil' 7 des
Hauptvakuums über eine Drosselblende 8 in Verbindung, die mit Hilfe der Schraube 9 im Polschuh
3 befestigt ist. In entsprechender Weise steht der Raum 5 mit dem unteren Teil des Hauptvakuumraumes
IO über eine Drosselblende 11 in Verbindung, die mit Hilfe des Halters 12 in den unteren
Polschuh eingeschraubt ist. Die Halter 9 und 12 können aus magnetischem Material bestehen und
bilden somit die inneren Teile der Polschuhe. In den Raum 5 kann von der Seite her ein rohrförmiger
O'bjekthalter 13 eingeschoben werden, der mit Hilfe der Gummidichtung 14 abgedichtet wird. Dieser
Objekthalter besitzt zwei Gaskammern 15, 16, die durch das Mittelstück 17 voneinander getrennt sind.
Im Bereich der Gerätachse ist am Mittelstück 17 die Objektträgerblende 18 befestigt. Die Hohlräume
15 und 16 stehen mit dem Raum 5 über die Drosselblenden
19, 20 in Verbindung, so daß das Volumen hohen Druckes des Halters· über diese beiden
Drosselblenden 19, 20 mit dem Vorvakuumraum 5
und dieser über die Drosselblenden 8 und 11 mit
dem Hauptvakuumraum 7, 10 verbunden ist. Der Objekthalter 13 kann zum Ein- und Ausschleusen
des Objektes seitlich aus dem Mikroskop entnommen werden. Bei Untersuchungen von Folien, die mit
Objekten beschickt sind, kann entweder in beide Kammern 15, 16 das Prüfgas eingeleitet werden.
Man kann die Anordnung aber auch so betreiben, daß das Prüfgas nur in diejenige Kammer, beispielsweise
die Kammer 15, eingeleitet wird, welche der mit den Objekten beschickten Folienseite zugekehrt
is,t, während in die andere Kammer 16 ein Gegendruckgas, vorzugsweise Wasserstoff, eingeleitet wird, das bei den jeweils gegebenen Druck-
Verhältnissen eine besonders kleine Streuung der Elektronen zur Folge hat.
Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf den in die Kammer 5 eingeführten Objekthalter 13. Um beliebige
Objektausschnitte aufsuchen zu können, besitzt der uo Objekthalter eine federnde Wand 21, die mit den
beiden Verstellstiften 22 und 23 zusammenarbeitet. Diese Verstellstifte sind gegenüber der Achse des
Halters 13 je um 1200 räumlich versetzt und mit
von außen zu bedienenden Verstellschrauben od. dgl. versehen, so daß es möglich ist, beliebige Querbewegungen
des Objektes gegenüber der Strahlachse durchzuführen.
Claims (8)
- PATENTANSPRÜCHE:I- Korpuskularstrahlapparat, insbesondere Elektronenmikroskop, mit einer Einrichtung zur Untersuchung von Objekten, die einem hohen Gasdruck ausgesetzt sind, dadurchgekennzeichnet, daß der zum Ein-und Ausschleusen des Objektes dienende, vorzugsweise vom Objektiv lösbare Objekthalter als Gaskammer dient und mit Kanälen versehen ist, die zu einem Gasreservoir führen.
- 2. Anordnung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß der Prüfgasraum des hohl ausgebildeten Objekthalters im Bereich des Strahlenganges einerseits durch eine Drossel-ίο blende und andererseits durch die Objektträgerblende abgeschlossen ist.
- 3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der hohl ausgebildete Objekthalter im Bereich des Strahlenganges nach beiden Seiten hin durch Drosselblenden abgeschlossen ist und daß sich die Objektträgerblende zwischen diesen beiden Drosselblenden befindet.
- 4. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der ao folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der ein- und ausschleusbare Objekthalter in einen Raum des Apparates eingeführt wird, der gegenüber dem Hauptvakuum durch zwei in der Gerätachse liegende Drossdblenden abgeschlossen ist und der an eine Vorvakuumpumpe angeschlossen ist.
- 5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der an die Vorvakuumpumpe angeschlossene Aufnahmeraum des. Objekthalters zwischen den beiden Polschuhen einer magnetisehen Objektivlinse liegt.
- 6. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden zur Untersuchung von auf Folien angeordneten Objekten, gekennzeichnet durch eine derartige Unterteilung des Objekthalters, daß sich auf den beiden Seiten der Objektfolie verschiedene Gase befinden können.
- 7. Anordnung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der hohle Objekthalter seitlich in das Gerät ein*- schiebbar ist.
- 8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Objekthalter innerhalb des Gerätes quer zum Strahlengang beweglich angeordnet ist und daß dem Objekthalter eine Feder, beispielsweise eine federnde Wand, und zwei hierzu um 1200 gegeneinander versetzte Verstellstifte zugeordnet sind.Hierzu 1 Blatt Zeichnungen9517 5.
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Country | Link |
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DE (1) | DE911412C (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7108049B2 (en) | 1996-08-12 | 2006-09-19 | Calsonic Kansei Corporation | Integral-type heat exchanger |
-
1942
- 1942-04-30 DE DES10270D patent/DE911412C/de not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US7108049B2 (en) | 1996-08-12 | 2006-09-19 | Calsonic Kansei Corporation | Integral-type heat exchanger |
US7392837B2 (en) | 1996-08-12 | 2008-07-01 | Calsonic Kansei Corporation | Integral-type heat exchanger |
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