DE2632001B2 - Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse - Google Patents
Meßanordnung zur RöntgenfluoreszenzanalyseInfo
- Publication number
- DE2632001B2 DE2632001B2 DE2632001A DE2632001A DE2632001B2 DE 2632001 B2 DE2632001 B2 DE 2632001B2 DE 2632001 A DE2632001 A DE 2632001A DE 2632001 A DE2632001 A DE 2632001A DE 2632001 B2 DE2632001 B2 DE 2632001B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sample
- housing
- measuring arrangement
- detector
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse gemäß dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 1.
Eine solche Meßanordnung ist beispielsweise in Nuclear Instruments and Methods, Band 114 (1974),
Seiten 157 und 158 bzw. Analytical Chemistry, Band 47, Nr. 6, Mai 1975, Seiten 852 bis 855 bekannt.
zur Rötgenfluoreszenzanalyyse mit totalreflektierendem
Probenträger waren sehr komplex aufgebaut; sie wurden von Fall zu Fall auf einer optischen Bank
zusammengestellt und bedurften daher eines sehr ■>
großen Einbauraumes und neigten häufig zu Dejustierungen. Solche DeJustierungen betrafen vor allem den
Winkel, den die einfallende Strahlung mit der Oberfläche der Probe bildet
Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es daher,
Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es daher,
ic eine Meßanordnung der einleitend genannten Art so
auszugestalten, daß sie mit hohem Bedienungskomfort in besonders einfacher Weise für Reihenuntersuchungen
eingesetzt werden kann, sich leicht auf kleinstem Raum wegstellen läßt und jederzeit für den Einsatz zur
ι5 Verfügung steht, ohne daß ein langwieriger Meßaufbau
erforderlich wird.
Die vorstehende Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale gelöst, die im Patentanspruch 1
angegeben sind.
Zum Stande der Technik sind noch zwei Aufsätze der Siemens-Zeitschrift zu nennen, und zwar I960, Seiten
726 bis 733 und 1962, Seiten 597 bis 603.
Der erst erwähnte Zeitschriftenartikel offenbart ein wellenlängendispersives Röntgenfiuoreszenzgerät, bei
dem ebenfalls Proben in Vakuum analysiert werden können. Doch ist dieses Gerät nicht für die Muitieiementanalyse,
sondern nur für die Messung eines einzelnen Elementes geeignet bei einer Empfindlichkeit, die
mindestens um den Faktor 100 geringer ist als beim
^o Anmeldungsgegenstand. Der zweitgenannten Zeitschriftenartikel
betrifft ebenfalls ein wellenlängendispersives Röntgenfluoreszenzgerät, für das die Einstellung
optimaler Winkel für die Probenbestrahlung beschrieben wird. Dieser Bestrahlungswinkel liegt im
sr> Gegensatz zum Anmeldungsgegenstand bei etwa 45°,
so daß von einer streifend einfallenden Strahlung keine Rede sein kann. Die anregende Strahlung wird gemäß
dieser Vorveröffentlichung in erhebüchem Maße in den
Probenträger eindringen, ein hohes o'törsignal verursachen
und damit eine erheblich geringere Nachweisempfindlichkeit erhalten.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung und der Zeichnung näher
erläutert
*"> Das Detektorsystem der Meßanordnung besteht in
bekannter Weise aus einem Dewargefäß 1 mit einem SiLi-Detektor in einer Halterung 3, welche mit einer
Dichtung 5 in die Haube 23 eines Gehäuses eingesetzt ist Die Haube 23 stützt sich an ihrem unteren Rand
"'" dichtend auf einer Grundplatte 20 ab. In der Haube 23
befindet sich eine mit Scharnieren angelenkte Beladungsklappe 4, die ebenfalls im wesentlichen gasdicht
verschließbar ist Innerhalb der Dichtung 5 ist der Detektor bezüglich seiner Detektorachse D justierbar
r>5 gehalten.
Der gasdichte Abschluß des aus Haube 23, Deckel 4 und Grundplatte 20 bestehenden Gehäuses gibt die
Möglichkeit, dieses Gehäuse zu evakuieren oder aber auch mit Gasen, beispielsweise mit Helium zu füllen
«) oder zu spülen.
Seitlich in der Haube befindet sich ein Eintrittsfenster 11 aus Beryllium. Vor dieses Fenster kann eine äußere
Strahlenquelle 12 gesetzt werden, bei der es sich beispielsweise um eine Röntgenröhre oder um ein
fe> Sekundärtarget handelt Das Berylliumfenster U sorgt
dafür, daß die anregende Röntgenstrahlung möglichst wenig geschwächt wird. An Stelle der in der Zeichnung
dargestellten SiLi-Diode kann auch ein anderer
Detektor für die Analyse der Röntgenstrahlung treten,
beispielsweise ein Zählrohr oder ein NaJ-Kristail. Dadurch, daß die Strahlenquelle 12 außerhalb des
Gehäuses 23 vorgesehen ist, besteht die Möglichkeit, die
erfindungsgemäße Meßanordnung an Stelle einer anderen Meßeinrichtung an einer vorhandenen geeigneten
Strahlenquelle aufzustellen und wieder zu entfernen. Hinter dem Eintrittsfenster 11 befinden sich
Streustrahlenbknden 10, die mit einem Sockel auf der
Grundplatte 20 abgestützt sind.
Ein wesentlicher Teil der vorliegenden Erfindung ist der auf der Grundplatte 20 gelagerte Schwenkrahmen
13. Dieser Schwenkrahmen besteht aus einem kürzeren oberen Schenkel 13a, einem längeren unteren Schenkel
136 und einem die beiden Schenkel 13a, 136 verbindenden Jochteil 13c Die beiden Schenkel 13a und
136 verlaufen im wesentlichen parallel zueinander, etwa parallel zur Grundplatte 20. Der Schwenkrahmen 13 ist
auf der Grundplatte 20 mit einem zweiteiligen Lagerbock 15 gelagert, dessen Drehachse 16 sich
senkrecht zur Papierebene der beigefügten Zeichnung durch den Meßbereich erstreckt Als Meßbereich sei
hier der Bereich gezeichnet, in dem die von der Strahlenquelle 12 kommende Strahlung die Detektorachse
D schneidet Die beiden Hälften des Lagerbockes 15 sind auf der Grundplatte 20 so angeordnet, daß sie
den Schwenkrahmen 13, die von diesem Schwenkrahmen getragenen, nachfolgend zu beschreibenden Teile
und das Detektorsystem nicht behindern.
Der obere Schenkel 13a des Schwenkrahmens 13 weist eine Durchbrechung auf, die mit geringem Spiel
das Vorderende des Detektors 2 umgibt An der Innenseite des Schenkles 13a belinden sich am Rand der
genannten Durchtrittsöffnung punktförmige Widerlager 7, welche die Meßebene definieren und an denen in
nachfolgend noch zu beschreibender Weise die Probenträgerplatten 8 zur Anlage kommen. Auf diese
Weise kann das Eintrittsfenster des Detektorsystems 1, 2 unmittelbar über der ProbentrSlgerplatte 8 angeordnet
werden. Eine besondere Blende 6 des Detektorsystems definiert die Apertur des Detektors. Die Anpassung und
Justierung des Detektorsystenis erfolgt, wie schon vorstehend erwähnt, mittels der justierbaren Halterung
3.
' Der Schwenkrahmen 13 ist in seinem oberen Bereich,
d. h. im Bereich des oberen Schenkels 13a mit einer Ausnehmung versehen, über die die Strahlung der
Strahlenquelle 12 die Meßebene erreichen kann. Der äußere Bereich des Strahlenfeldes wird mit Blenden 10
ausgeblendet, um Streustrahluni; vom Probenort fernzuhalten.
Der untere Schenkel 136 des Schwenkrahmens 13 trägt einen Probenwechsler, der aus einer Positioniereinrichtung
19 und einer karussellartig um die Achse P drehbaren Karussellplatte 18, die ein Probenmagazin 17
aufnehmen kann. Die Positioniereinrichtung kann mit Hilfe eines von außen bedienbaren Antriebes gedreht
werden, so daß die im Probenmagazin 17 enthaltenen Probenträgerplatten der Reihe nach auf die Detektorachse
D ausgerichtet werden können, Wie die Zeichnung erkennen läßt, liegen die einzelnen Probenträgerplatten
8 mit geringem Spiel in Ausnehmungen des Probenmagazins 17. Neben der Positioniereinrichtung
19 befindet sich eine Andrückvorrichtung 9, die ebenfalls genau wie die Positioniereinrichtung 19 mit
einem von außen bedienbaren A.ntrieb bewegt werden kann. Bei der Aktivierung der Andrückvorrichtung 9
drückt ein Stempel von unten durch die Karussellplatte 18 hindurch und bewegt dann die Probenträgerplatte 8
gegen die punktförmigen Widerlager 7 in eine durch den oberen Schenkel 13a genau definierte Stellung vor
der Detektorachse D. Die Andrückvorrichtung ist bezüglich ihrer Hubbewegungen im wesentlichen auf
die Detektorachse Dausgerichtet
Das in der Zeichnung links liegende Ende des unteren Schenkels 13f>
ist mit einer Mikrometerschraube 14 auf einem Widerlager 24 der Grundplatte abgestützt Die
:c Mikrometerschraube 14 ist bezüglich der Drehachse 16
tangential angestellt und stützt sich auf einem Widerlager 24 der Grundplatte ab, dessen Anstützfläche
im wesentlichen radial auf die Drehachse 16 ausgerichtet ist Die Mikrometerschraube 14 ist mit einer manuell
oder auch fernbedienbaren Spindel 25 verstellbar. Auf diese Weise ist der Winkel zwischen der Strahlenachse
und der Probenträgerplatte 8 im Bereich von einigen Bogen-Minuten einzustellen. Die feste Anlage der
Mikrometerschraube 14 an dem Widerlager 24 wird dadurch sichergestellt, daß das Gericht des Probenwechseisystems
bezüglich der Drehachse 16 ein Moment ausübt, das bezüglich der Zeichnung entgegen
Uhrzeigerrichtung wirksam ist Durch die gewählte Lage der Drehachse 16 bleibt die Probe auch bei
Drehung des Schwenkrahmens und damit der Probenträgerplatte am gleichen Ort im Strahlungsfeld. Diese
Probenträgerplatten 8 sind in ihrer Oberfläche feinst bearbeitet und bestehen z.B. aus hoch reinem
Quarzglas.
Zur Justierung der Grundplatte 20 gegenüber einer Aufstell- oder Tischplatte dienen ein oder mehrere
verstellbare Füße 21. Zur Evakuierung oder Gasbespülung des Gehäuses 23 dient ein Vakuum-Anschluß 22,
der konventionell ausgebildet sein kann und eine Verbindung zu einer Vakuum- oder Gas-Quelle
ermöglicht
Mit der erfindungsgemäßen Meßanordnung kann automatisch eine Meßreihe mit einer größeren Anzahl
von Proben untersucht werden. Hierzu wird ein Probenmagazin mit einer Mehrzahl von Probenträgerplatt«n
auf die Karussellplatte 18 aufgelegt Nach Schließen des Gehäuses 23 und Vorsetzen einer
Strahlenquelle 12 und nach Erzeugung eines Vakuums oder einer Gasfüllung kann die Reihen-Messung
vorgenommen werden. Mit Hilfe der Positioniereinrichtung 19 werden programmgesteuert oder manuell die
einzelnen Probenträgerplatten in die Meßposition gebracht Da die Probenträgerplatten in einem auswechselbaren
Magazin liegen, können während laufender Messungen bereits weitere Meßreihen vorbereitet
werden. Dazu gehören Reinigungsgänge (z. B. in verschiedenen Ultraschallbädern) und die Beladung der
TrägeTJIatten mit Probenmaterial (Dosierung mit
Mikroliterpipetten, Herstellung dünner Schichten). Die Gerätehaube 23 besteht vorzugsweise aus durchsichtigem
Material, so daß das Meßverfahren okular beobachtet werden kann.
Für die Steuerung des Detektorsystems wird kommerzielle Elektronik eingesetzt Je nach Aufgaben-
w) stellung reicht das Gerätsspektrum von preiswerten
Einzelbausteinen bis zum rechnergesteuerten und ■kontrollierten Analysensystem.
Somit schafft die vorliegende Erfindung erstmals eine technische Lösung, die es gestattet, den Effekt der
« Totalreflexion der Röntgenstrahlung mit den für
Routineuntersuchungen notwendigen Bedienungseileichterungen
zu nutzen. Der Effekt der Untergrundverminderung durch Totalreflexion der einfallenden Rönt-
genstrahlung ist schon seit längerem nachgewiesen, doch waren die bisher verwendeten Meßanordnungen
zur Ausnutzung des vorerwähnten Effektes ausschließlich
Laboraufbauten, die für Routineanwendungen nicht geeignet sind, weil man sie nur sehr schwer justieren
kann und auch keinen automatischen Wechsel der Probe zulassen.
Claims (5)
1. Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse,
bei der eine auf einem Träger angeordnete plane Probe durch die von einer Röntgenstrahlen emittierenden
Strahlenquelle derart streifend einfallende Röntgenstrahlung angeregt wird, daß letztere am
Träger totalreflektiert werden, und mit einem über der Probe angeordneten Detektor spektrometrisch
untersucht wird, der auf der Oberseite eines evakuierbaren Gehäuses in dessen Inneres hineinragt,
mit einem in der Seitenwand des Gehäuses angeordneten, für die Meßebene ausgerichtetes
Strahleneintrittsfenster für die äußere vor das Gehäuse vorsetzbare Strahlenquelle, dadurch
gekennzeichnet, daß im Inneren des kastenförmigen Gehäuses (23) ein U-förmig ausgebildeter
Schwenkrahmen (13) angeordnet ist, dessen Schwenkachse (16) in der Meßebene des Detektors
(2) liegt und der aus einem einen fernbedienbaren Probenwechsler (18, 19) und eine im wesentlichen
auf die Detektorachse (DJ ausgerichtete, fernbedienbare
Probenträger-Andrückvorrichtung (9) tragenden unteren Schenkel (13ojt einem das innere Ende
des Detektors (2) mit Spiel umfassenden, an der Innenseite mit punktförmigen Widerlagern (7) für
die Probenträger (8) versehenen oberen Schenkel (13a,) und einem die beiden Schenkel (13a, i3b)
verbindenden Jochteil (13ς7 besteht
2. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Probenwechsler (19) mit
einem achsparallel zur DetektTachse (D) verdrehbaren
Karussell (18) versehen ist, dessen Karusselplatte am Umfang auf die Petektorachse (D)
ausgerichtete Ausnehmungen für- die Probenträgerplatten (8) aufweist, welche mit der Andrückvorrichtung
(9) abhebbar und gegen die Widerlager (7) des oberen Schwenkrahmenschenkels (13a,) andrückbar
sind.
3. Meßanordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwenkrahmen (13) mit
Probenwechsler (18,19) gewichtsmäßig so dimensioniert
ist, daß das freie Ende vom unteren Schwenkrahmeschenkel (\3b) durch den Einfluß der
Schwerkraft gegen den Gehäuseboden (20) gedruckt wird.
4. Meßanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das freie Ende des unteren
Schwenkrahmenschenkels (\3b) auf dem Gehäuseboden
(20) justierbar mit einer Mikrometerschraube abgestützt ist, deren Achse im wesentlichen tangetial
zur Schwenkachse (16) des Schwenkrahmens verläuft.
5. Meßanordnung nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (20, 23) auf
höhenjustierbaren Füßen steht.
Priority Applications (12)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2632001A DE2632001C3 (de) | 1976-07-16 | 1976-07-16 | Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse |
CH835277A CH614778A5 (de) | 1976-07-16 | 1977-07-06 | |
DK308877A DK308877A (da) | 1976-07-16 | 1977-07-08 | Maleapparat til tontgenfluorescensanalyse |
JP8431077A JPS5328489A (en) | 1976-07-16 | 1977-07-15 | Measuring apparatus for xxray fluorescence analysis |
IT83625/77A IT1117341B (it) | 1976-07-16 | 1977-07-15 | Dispositivo di rilevazione per l'analisi mediante rontgen-fluorescenza |
LU77779A LU77779A1 (de) | 1976-07-16 | 1977-07-15 | |
AT0513777A ATA513777A (de) | 1976-07-16 | 1977-07-15 | Messanordnung zur roentgenfluoreszenzanalyse |
NL7707888A NL7707888A (nl) | 1976-07-16 | 1977-07-15 | Meetinrichting voor roentgenfluorescentieanalyse. |
BE179375A BE856851A (fr) | 1976-07-16 | 1977-07-15 | Dispositif de mesure pour analyses par fluorescence aux rayons x |
GB2984/77A GB1568863A (en) | 1976-07-16 | 1977-07-15 | Measuring devices for x-ray fluorescence analysis |
FR7721936A FR2358653A1 (fr) | 1976-07-16 | 1977-07-18 | Dispositif de mesure pour analyses par fluorescence aux rayons x |
US06/214,636 US4358854A (en) | 1976-07-16 | 1980-12-10 | Measuring devices for X-ray fluorescence analysis |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2632001A DE2632001C3 (de) | 1976-07-16 | 1976-07-16 | Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2632001A1 DE2632001A1 (de) | 1978-01-19 |
DE2632001B2 true DE2632001B2 (de) | 1979-09-06 |
DE2632001C3 DE2632001C3 (de) | 1980-10-23 |
Family
ID=5983162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2632001A Expired DE2632001C3 (de) | 1976-07-16 | 1976-07-16 | Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4358854A (de) |
JP (1) | JPS5328489A (de) |
AT (1) | ATA513777A (de) |
BE (1) | BE856851A (de) |
CH (1) | CH614778A5 (de) |
DE (1) | DE2632001C3 (de) |
DK (1) | DK308877A (de) |
FR (1) | FR2358653A1 (de) |
GB (1) | GB1568863A (de) |
IT (1) | IT1117341B (de) |
LU (1) | LU77779A1 (de) |
NL (1) | NL7707888A (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0235640A2 (de) * | 1986-03-01 | 1987-09-09 | Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh | Anordnung zur zerstörungsfreien Messung von Metallspuren |
DE4130556A1 (de) * | 1991-09-13 | 1993-03-25 | Picolab Oberflaechen Und Spure | Vorrichtung zur totalreflexions-roentgenfluoreszenzanalyse |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2717925C3 (de) | 1977-04-22 | 1981-09-03 | Gkss - Forschungszentrum Geesthacht Gmbh, 2000 Hamburg | Verwendung eines für die Spurenanalyse durch Röntgenfluoreszenz diedenden Anreicherungsverfahren |
DE2727505A1 (de) * | 1977-06-18 | 1979-01-04 | Ibm Deutschland | Roentgenfluoreszenzanalyse zur untersuchung oberflaechennaher schichten |
DE3542003A1 (de) * | 1985-11-28 | 1987-06-04 | Geesthacht Gkss Forschung | Verfahren zur zerstoerungsfreien analyse der oberflaechenschicht von proben |
US5014287A (en) * | 1990-04-18 | 1991-05-07 | Thornton Michael G | Portable x-ray fluorescence spectrometer for environmental monitoring of inorganic pollutants |
JP2535675B2 (ja) * | 1990-06-28 | 1996-09-18 | 株式会社東芝 | 全反射蛍光x線分析装置 |
WO2005005969A1 (ja) * | 2003-07-11 | 2005-01-20 | Waseda University | エネルギー分散型エックス線回折・分光装置 |
JP6305327B2 (ja) * | 2014-12-04 | 2018-04-04 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 蛍光x線分析装置 |
CN107536618B (zh) * | 2016-06-29 | 2020-05-15 | 合肥美亚光电技术股份有限公司 | X射线成像装置及其探测器偏转机构 |
IT202000015082A1 (it) * | 2020-06-23 | 2021-12-23 | Istituto Naz Di Astrofisica | Metodo di analisi di campioni tramite raggi x a bassa energia e relativa attrezzatura di laboratorio |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1398091A (fr) * | 1964-03-26 | 1965-05-07 | Radiologie Cie Gle | Perfectionnements aux appareils de dosage par fluorescence chi |
GB1272333A (en) * | 1968-06-22 | 1972-04-26 | Philips Electronic Associated | Apparatus for determining the crystallographic directions of a single crystal by means of a beam of x-rays |
US3920984A (en) * | 1974-04-08 | 1975-11-18 | Machlett Lab Inc | X-ray energy analyzer |
DE2727505A1 (de) * | 1977-06-18 | 1979-01-04 | Ibm Deutschland | Roentgenfluoreszenzanalyse zur untersuchung oberflaechennaher schichten |
-
1976
- 1976-07-16 DE DE2632001A patent/DE2632001C3/de not_active Expired
-
1977
- 1977-07-06 CH CH835277A patent/CH614778A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-07-08 DK DK308877A patent/DK308877A/da unknown
- 1977-07-15 AT AT0513777A patent/ATA513777A/de not_active Application Discontinuation
- 1977-07-15 IT IT83625/77A patent/IT1117341B/it active
- 1977-07-15 BE BE179375A patent/BE856851A/xx unknown
- 1977-07-15 NL NL7707888A patent/NL7707888A/xx not_active Application Discontinuation
- 1977-07-15 JP JP8431077A patent/JPS5328489A/ja active Pending
- 1977-07-15 GB GB2984/77A patent/GB1568863A/en not_active Expired
- 1977-07-15 LU LU77779A patent/LU77779A1/xx unknown
- 1977-07-18 FR FR7721936A patent/FR2358653A1/fr active Granted
-
1980
- 1980-12-10 US US06/214,636 patent/US4358854A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0235640A2 (de) * | 1986-03-01 | 1987-09-09 | Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh | Anordnung zur zerstörungsfreien Messung von Metallspuren |
EP0235640A3 (en) * | 1986-03-01 | 1989-10-04 | Gkss Forschungszentrum Geesthacht Gmbh | Arrangement for non destructive measuring of metal traces |
DE4130556A1 (de) * | 1991-09-13 | 1993-03-25 | Picolab Oberflaechen Und Spure | Vorrichtung zur totalreflexions-roentgenfluoreszenzanalyse |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1568863A (en) | 1980-06-11 |
CH614778A5 (de) | 1979-12-14 |
FR2358653A1 (fr) | 1978-02-10 |
FR2358653B1 (de) | 1981-11-27 |
DE2632001A1 (de) | 1978-01-19 |
JPS5328489A (en) | 1978-03-16 |
LU77779A1 (de) | 1977-10-17 |
BE856851A (fr) | 1977-10-31 |
DE2632001C3 (de) | 1980-10-23 |
IT1117341B (it) | 1986-02-17 |
US4358854A (en) | 1982-11-09 |
ATA513777A (de) | 1982-05-15 |
DK308877A (da) | 1978-01-17 |
NL7707888A (nl) | 1978-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2632001C3 (de) | Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse | |
DE1192329B (de) | Vorrichtung zum Messen der Radioaktivitaet einer Vielzahl von einzelnen Proben | |
DE19524371A1 (de) | Gerät zur Analyse von Fluoreszenz-Röntgenstrahlung | |
DE3901625A1 (de) | Goniometer in einer roentgenstrahlbeugungseinrichtung | |
DE3104468A1 (de) | Roentgenfluoreszenzspektrometer | |
DE3152738C2 (de) | K}vette für die photometrische Abtastung von Gelsa{ulen | |
EP0436986B1 (de) | Anordnung zur Untersuchung eines Prüfobjekts mit Gamma- oder Röntgenstrahlung | |
DE2736960C3 (de) | Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse | |
DE1813497C3 (de) | Differentialkuvette | |
DE2507664C3 (de) | Präparathalter für ein Röntgendiffraktionsgerät | |
WO1994019682A1 (de) | Goniometer | |
DE1902628C3 (de) | Röntgenkamera für die Röntgenstrahlen-Beugungsanalyse von pulverförmigen Substanzen | |
DE3442061C2 (de) | ||
DE3318574A1 (de) | Verfahren zur durchfuehrung chemischer analysen | |
DE3108474A1 (de) | Kuevettenwechsler fuer ein fluoreszenzmessgeraet | |
DE3005148A1 (de) | Einrichtung zur ueberpruefung der messeigenschaften eines fotometrischen gasanalysegeraetes | |
DE2032150C3 (de) | Vorrichtung für ein Spektral Fotometer | |
DE2911596B2 (de) | Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse | |
DE9212265U1 (de) | Röntgenspektrometer | |
EP1484602A2 (de) | Probenkammer mit Koppel- und Justiervorrichtung zum reproduzierbaren Ankoppeln der Probenkammer in ein Röntgendiffraktometer | |
DE2040433C3 (de) | Vorrichtung zum Sammeln von Proben sedimentierender, luft- oder gasgetragener Substanzen (Aerosole) | |
EP0837313A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Farbmessung | |
DE3703928A1 (de) | Funkenemissions-spektrometeranlage | |
DE745478C (de) | Einrichtung zur Reihenpruefung von Werkstuecken mittels Roentgenstrahlen | |
DE2512627A1 (de) | Vakuum-vorrichtung zur untersuchung von proben |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OD | Request for examination | ||
BGA | New person/name/address of the applicant | ||
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |