JP6305327B2

JP6305327B2 - 蛍光ｘ線分析装置

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Publication number: JP6305327B2
Application number: JP2014245524A
Authority: JP
Inventors: 稔幸高原; 弘行能田; 藍増田
Original assignee: Hitachi High Tech Science Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Science Corp
Priority date: 2014-12-04
Filing date: 2014-12-04
Publication date: 2018-04-04
Anticipated expiration: 2034-12-04
Also published as: TW201621304A; KR20160067717A; US20160161428A1; TWI646327B; US9810649B2; EP3029455A1; JP2016109502A; EP3029455B1; CN105675640A; KR102354191B1; CN105675640B

Description

本発明は、有害物質の検出等が可能で製品のスクリーニング等あるいはメッキ等の膜厚測定に使用される蛍光Ｘ線分析装置に関する。

蛍光Ｘ線分析は、Ｘ線源から出射されたＸ線を試料に照射し、試料から放出される特性Ｘ線である蛍光Ｘ線をＸ線検出器で検出することで、そのエネルギーからスペクトルを取得し、試料の定性分析若しくは定量分析又は膜厚測定を行うものである。この蛍光Ｘ線分析は、試料を非破壊で迅速に分析可能なため、工程・品質管理などで広く用いられている。近年では、高精度化・高感度化が図られて微量測定が可能になり、特に材料や複合電子部品などに含まれる有害物質の検出を行う分析手法として普及が期待されている。

一般に、蛍光Ｘ線分析の装置では、遮蔽容器であるエンクロージャ内の試料室に設置された試料台上に試料を載置し、Ｘ線源から一次Ｘ線を試料に照射して分析を行うが、従来、例えば非特許文献１及び２に示すように、エンクロージャの前面に設置された扉を開閉して試料の搬入出を行う構造となっている。

"蛍光Ｘ線式膜厚計（ＸＲＦ膜厚計）のネット店舗"、［online］、株式会社フィッシャー・インストルメンツ、［平成２６年１１月２１日検索］、インターネット＜URL：http://makuatsu.com/index.php?option=com_content&view=article&id=35&Itemid=77＞ "膜厚測定蛍光Ｘ線膜厚計ＦＴ１１０シリーズ"、［online］、株式会社日立ハイテクサイエンス、［平成２６年１１月２１日検索］、インターネット＜URL：http://www.hitachi-hitec-science.com/products/xrf/FT110.html＞

上記従来の技術には、以下の課題が残されている。
すなわち、従来の蛍光Ｘ線分析装置では、試料の測定位置合わせ等のためにエンクロージャの前面の扉を開いて試料台に設置された試料を確認しているが、試料をエンクロージャ前面の前方斜め上方から視認することになり、試料全体を視認することが難しいという不都合があった。また、試料全体を視認するために前面の扉を大きくする方法があるが、その場合、扉だけでなくエンクロージャが高くなって大型化してしまう問題がある。さらに、試料として大型プリント基板等をエンクロージャ前面の扉から出し入れする際、十分に広い開口部が得られず、作業性が悪いという不都合があった。

本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、装置を大型化しなくても試料台に載置した試料の測定位置の視認性を大幅に向上させることが可能であると共に試料の出し入れも容易になるＸ線分析装置を提供することを目的とする。

本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、第１の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、試料を設置可能な載置面を有する試料台と、前記試料に対して一次Ｘ線を照射する照射位置の直上に配され前記試料に対して一次Ｘ線を照射するＸ線源と、前記一次Ｘ線を照射された前記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、前記試料台、前記Ｘ線源及び前記検出器を少なくとも収納した遮蔽容器とを備え、前記遮蔽容器が、前記試料台を収納する試料室部と、前記試料室部の上部の少なくとも前半分を開閉可能な扉部とを備え、前記Ｘ線源及び前記検出器が、前記扉部よりも後側に配置され、前記扉部に透明板で塞がれた窓部が形成されていることを特徴とする。

この蛍光Ｘ線分析装置では、試料室部の上部の少なくとも前半分を開閉可能な扉部を備え、Ｘ線源及び検出器が、扉部よりも後側に配置されているので、試料室部前部の上方の扉部によって大きな開口部が得られ、試料台上の試料の視認性が向上し、試料の測定位置合わせが容易になる。すなわち、Ｘ線源及び検出器を試料室部後部に配置して空いた試料室部前部の上に扉部を設けることで、試料台前部の上方が大きく開口可能であり、試料台上の試料の位置観察領域が広くなる。また、扉部を開くことで試料室部前部の上方が大きく開口するため、大型プリント基板等の試料でも操作性を犠牲にせず、容易に出し入れ可能になる。さらに、試料室部前部の上部が扉部により開閉可能なため、メンテナンス時に従来機のように大型の筐体（遮蔽容器）を取り外すなどの工程が不要になる。

第２の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第１の発明において、前記扉部に透明板で塞がれた窓部が形成されていることを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、扉部に透明板で塞がれた窓部が形成されているので、扉部を閉じた状態でも窓部から試料台に設置した試料の測定位置を目視することができる。

第３の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第１又は第２の発明において、前記遮蔽容器の上部であって前記扉部の後側に設置され前記遮蔽容器に連結されたフード部と、前記Ｘ線源及び前記検出器を上下動可能で前記Ｘ線源及び前記検出器を前記遮蔽容器内から前記フード部内に移動可能な上下移動機構とを備えていることを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、遮蔽容器の上部であって扉部の後側に設置され遮蔽容器に連結されたフード部と、Ｘ線源及び検出器を上下動可能でＸ線源及び検出器を遮蔽容器内からフード部内に移動可能な上下移動機構とを備えているので、試料を試料室部に搬入出する際に上下移動機構によりＸ線源及び検出器をフード部内に退避させることができ、作業性が向上して試料の出し入れが容易になる。

第４の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第３の発明において、前記フード部が、前記試料室部を前面視した際の中央に対して左側または右側に配置されて、前記遮蔽容器と前記フード部とが左右非対称な配置となっていることを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、遮蔽容器とフード部とが左右非対称な配置となっているので、例えば大型プリント基板のような大型試料測定用の蛍光Ｘ線分析装置とした場合、装置の設置スペースも大きく必要なところ、遮蔽容器上面のフード部が無い側にディスプレイ部などを設置することができるので、省設置スペースとなる。

第５の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第３又は第４の発明において、前記フード部が、前記Ｘ線源及び前記検出器を収納した状態で少なくとも一部を開閉可能であることを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、フード部が、Ｘ線源及び検出器を収納した状態で少なくとも一部を開閉可能であるので、フード部を開けることでＸ線源及び検出器の取り出し、取付け及びメンテナンス等の作業性を向上させることができる。

第６の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第３から第５の発明のいずれかにおいて、前記扉部の開閉を検知する開閉検知機構を備え、前記上下移動機構が、前記扉部が開けられたことを前記開閉検知機構が検知すると、前記Ｘ線源及び前記検出器を前記フード部へ移動させることを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、上下移動機構が、扉部が開けられたことを開閉検知機構が検知すると、Ｘ線源及び検出器をフード部へ移動させるので、扉部を開いた際にＸ線源及び検出器が自動的にフード部に退避されることで、試料を設置する際に、退避し忘れることを防止できる。

第７の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第６の発明において、前記試料台に前記試料が設置されたことを検知する試料検知機構を備え、前記試料検知機構が前記試料台上の前記試料を検知すると共に前記扉部が閉められたことを前記開閉検知機構が検知すると、前記上下移動機構が、前記Ｘ線源及び前記検出器を前記遮蔽容器内の所定高さ位置に移動させることを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、試料検知機構が試料台上の試料を検知すると共に扉部が閉められたことを開閉検知機構が検知すると、上下移動機構が、Ｘ線源及び検出器を遮蔽容器内の所定高さ位置に移動させるので、試料を試料台に載せた後に扉部を閉じるだけで自動的にＸ線源及び検出器が下降し、高さ方向の粗位置合せができる。したがって、測定に際しては微細な位置合せのみでよく、長いストロークの移動を省略でき、高い利便性が得られると共に、時短化を図ることができる。

第８の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第１から第７の発明のいずれかにおいて、前記フード部に前記Ｘ線源から一次Ｘ線の照射のオン／オフを視認可能なインジケータが設けられていることを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、フード部にＸ線源から一次Ｘ線の照射のオン／オフを視認可能なインジケータが設けられているので、装置の動作状況を明確にモニターすることができる。

第９の発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、第１から第８の発明のいずれかにおいて、前記扉部が、後端部にヒンジ部を有して前面側から開口可能であり、前記扉部の前面に取っ手部又は凹部が設けられていることを特徴とする。
すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置では、扉部が、後端部にヒンジ部を有して前面側から開口可能であり、扉部の前面に取っ手部又は凹部が設けられているので、取っ手部又は凹部に指を掛けて扉部の先端部を上下することで、容易に開閉することができる。

本発明によれば、以下の効果を奏する。
すなわち、本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置によれば、試料室部の上部の少なくとも前半分を開閉可能な扉部を備え、Ｘ線源及び検出器が、扉部よりも後側に配置されているので、試料室部前部の上方の扉部によって大きな開口部が得られ、試料台上の試料の視認性が向上する。
したがって、試料の測定位置合わせが容易になると共に、大型プリント基板等の試料でも操作性を犠牲にせず、容易に出し入れ可能になると共に、同程度の大型試料用蛍光Ｘ線分析装置と比較して、省設置スペースとなる。

本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置の一実施形態において、扉部を閉じた状態の装置本体の内部構造及び全体の構成を示す図である。本実施形態において、扉部を開いた状態の装置本体を示す側面図である。本実施形態において、蛍光Ｘ線分析装置の装置本体を示す斜視図である。

以下、本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置の一実施形態を、図１から図３を参照しながら説明する。

本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置１は、図１から図３に示すように、試料を設置可能な載置面を有する試料台２と、試料に対して一次Ｘ線Ｘ１を照射する照射位置Ｐの直上に配され試料に対して一次Ｘ線Ｘ１を照射するＸ線源３と、一次Ｘ線Ｘ１を照射された試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器４と、試料台２、Ｘ線源３及び検出器４を少なくとも収納した遮蔽容器５とを備えている。

上記遮蔽容器５は、Ｘ線遮蔽エンクロージャであって、鉄板等で構成されている。
この遮蔽容器５は、試料台２を収納する試料室部６と、試料室部６の上部の少なくとも前半分を開閉可能な扉部７とを備えている。すなわち、扉部７は、試料室部６の内面寸法（平面視における一辺の長さ）をＬとしたとき、遮蔽容器５の前端部からＬ×（１／２）以上Ｌ×（２／３）未満の位置まで開口するように設けられている。
上記Ｘ線源３及び検出器４は、扉部７よりも後側に配置されている。

また、一次Ｘ線Ｘ１の照射位置Ｐは、試料台２の中心から外れて設定されており、本実施形態では、Ｌ×（１／６）からＬ×（１／３）の距離だけ試料台２の中心位置から後ろ側に離れた位置に照射位置Ｐが設定されている。なお、本実施形態では、測定位置合わせ用のガイド光照射機構１８が試料台２の上方に設けられており、可視光のレーザ光をガイド光Ｇとして測定位置（照射位置Ｐ）に照射して点灯させることで、測定位置の確認が目視でできるようになっている。
さらに、ガイド光Ｇを照射して試料測定位置と一次Ｘ線Ｘ１の照射位置Ｐ（分析位置）とを合わせる際も、撮像部１４（撮像素子）を介しての画像と目視とによる試料測定位置がほぼ一致しているため、確認しやすく作業性が向上する。

上記扉部７には、透明板８で塞がれた窓部７ａが形成されている。この透明板８は、例えば樹脂製で、鉛等のＸ線遮蔽効果の高い物質が含有されている。
窓部７ａは、扉部７の強度が保てる程度の枠部を残して大きく形成されており、扉部７を閉めた状態で、ガイド光Ｇが照射した測定位置を外部から視認可能とされている。
なお、扉部７は、遮蔽容器５の後部側面と接する部分を斜め形状にして軽量化を図っている。

また、この蛍光Ｘ線分析装置１は、上記遮蔽容器５の上部であって扉部７の後側に設置され遮蔽容器５に連結されたフード部９と、Ｘ線源３及び検出器４を遮蔽容器５内からフード部９内に移動可能な上下移動機構１０と、扉部７の開閉を検知する開閉検知機構１１と、試料台２に試料が設置されたことを検知する試料検知機構１２と、試料台２を移動可能な試料台移動機構１３と、試料台２上の試料を撮像可能な撮像部１４とを備えている。

さらに、蛍光Ｘ線分析装置１は、検出器４に接続され検出器４からの信号を分析する分析器１５と、Ｘ線源３、検出器４、試料台移動機構１３、開閉検知機構１１、試料検知機構１２、撮像部１４、ディスプレイ部１６及び分析器１５等に接続され、これらを制御する制御部１７とを備えている。
なお、遮蔽容器５とフード部９とこれらに収納された部分とを装置本体とする。

上記フード部９は、Ｘ線源３及び検出器４を収納した状態で少なくとも一部を開閉可能である。すなわち、フード部９の上部には、開閉可能なフード開閉部９ａが設けられている。このフード開閉部９ａは、図２に示すように、後ろ側にヒンジ部を有してフード部９の前側が大きく開口可能になっている。
また、フード部９には、Ｘ線源３から一次Ｘ線Ｘ１の照射のオン／オフを視認可能なインジケータ１７が設けられている。このインジケータ１７は、フード開閉部９ａの前面に縦長の帯状に設けられており、一次Ｘ線Ｘ１の照射時に赤色に表示されると共に、一次Ｘ線Ｘ１の非照射時に消灯するように設定されている。

上記上下移動機構１０は、扉部７が開けられたことを開閉検知機構１１が検知すると、Ｘ線源３及び検出器４をフード部９へ移動させる機能を有している。
また、試料検知機構１２が試料台２上の試料を検知すると共に扉部７が閉められたことを開閉検知機構１１が検知すると、上下移動機構１０は、Ｘ線源３及び検出器４を遮蔽容器５内の所定高さ位置に移動させる機能を有している。

上記試料検知機構１２は、試料台２上に試料が設置された際、ガイド光照射機構１８によりガイド光Ｇを試料に照射し、光位置検出素子（ＰＳＤ）又はリニアイメージセンサ等の受光部（図示略）での感知状態を検出することで試料台２上の試料を検出可能である。
また、上下移動機構１０は、ガイド光Ｇを試料に照射し、上記受光部での感知状態を検出することで、試料の測定位置の高さ方向の相対位置を検知し、Ｘ線源３及び検出器４を遮蔽容器５内の所定高さ位置に移動させることができる。
上記開閉検知機構１１は、例えば扉部７の先端部と遮蔽容器５の下部との接触の有無をスイッチで検知する機構等が採用可能である。

扉部７は、後端部にヒンジ部７ｃを有して前面側から開口可能であり、扉部７の前面には取っ手部７ｂが設けられている。なお、取っ手部７ｂの代わりに凹部を扉部７の前面に設けても構わない。

上記試料台移動機構１３は、試料台２を載置面と平行な一方向であるＸ方向に移動可能なＸステージ（図示略）と、試料台２を載置面と平行でＸ方向に直交するＹ方向に移動可能なＹステージ（図示略）と、載置面の中心に回転中心を有し載置面に直交する回転軸周りに試料台２を回動可能なθステージ（図示略）とを備えている。これらステージは、それぞれモータ等で駆動される。
上下移動機構１０は、上記Ｘ方向及びＹ方向に直交するＺ方向（上下方向）に、Ｘ線源３、検出器４、撮像部１４及びガイド光照射機構１８が取り付けられたユニットを移動可能なモータ等で構成されている。

上記撮像部１４は、ＣＣＤ等を搭載した観察用カメラであり、試料台２の上方で扉部７に近い位置に設置されており、試料台２上の試料を撮像可能である。
上記Ｘ線源３は、一次Ｘ線Ｘ１を照射可能なＸ線管球であって、管球内のフィラメント（陰極）から発生した熱電子がフィラメント（陰極）とターゲット（陽極）との間に印加された電圧により加速されターゲットのＷ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｃｒ（クロム）などに衝突して発生したＸ線を一次Ｘ線Ｘ１としてベリリウム箔などの窓から出射するものである。

上記検出器４は、半導体検出素子（例えば、ｐｉｎ構造ダイオードであるＳｉ（シリコン）素子）（図示略）を備え、Ｘ線光子１個が入射すると、このＸ線光子１個に対応する電流パルスが発生するものである。この電流パルスの瞬間的な電流値が、入射した特性Ｘ線のエネルギーに比例している。また、検出器４は、半導体検出素子で発生した電流パルスを電圧パルスに変換、増幅し、信号として出力するように設定されている。

上記分析器１５は、上記信号から電圧パルスの波高を得てエネルギースペクトルを生成する波高分析器（マルチチャンネルアナライザー）である。
上記制御部１７は、ＣＰＵ等で構成されたコンピュータであり、撮像部１４による撮像画面や分析結果をディスプレイ部１６に表示する機能を有している。

次に、本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置１を用いた蛍光Ｘ線分析方法について説明する。
まず、扉部７を開けて試料室部６の前部上方を開口する。この際、扉部７が開けられたことを開閉検知機構１１によって検知すると共に、この検知に基づいて上下移動機構１０が、Ｘ線源３及び検出器４を上昇させてフード部９内に退避させる。この状態で、ガイド光照射機構１８から照射されるガイド光Ｇに従って、試料台２上に試料を設置する。

試料を設置した後、扉部７を閉めると開閉検知機構１１によって扉部７が閉められたことを検知すると共に、試料検知機構１２が試料台２上の試料を検知すると、これらの検知に基づいて上下移動機構１０がフード部９内のＸ線源３及び検出器４を試料室部６内の所定の高さ位置まで下降させる。この後、微細な位置合わせを行った後、Ｘ線源３から一次Ｘ線Ｘ１を試料に照射して蛍光Ｘ線分析を行う。なお、一次Ｘ線Ｘ１が照射されると、インジケータ１７が赤色に点灯する。

このように本実施形態の蛍光Ｘ線分析装置１では、試料室部６の上部の少なくとも前半分を開閉可能な扉部７を備え、Ｘ線源３及び検出器４が、扉部７よりも後側に配置されているので、試料室部６前部の上方の扉部７によって大きな開口部が得られ、試料台２上の試料の視認性が向上し、試料の測定位置合わせが容易になる。すなわち、Ｘ線源３及び検出器４を試料室部６後部に配置（試料台２中央から後方にオフセット）して空いた試料室部６前部の上に扉部７を設けることで、試料台２前部の上方が大きく開口可能であり、試料台２上の試料の位置観察領域（図２に示すハッチング領域）が広くなる。

なお、フード部は、図３に示す前後のオフセットみならず、左右非対称としても良い。すなわち、フード部が、試料室部を前面視した際の中央（左右方向の中央）に対して左側または右側に配置されて、遮蔽容器とフード部とが左右非対称な配置としても構わない。
これに伴い、Ｘ線発生源３及び検出器４も移動することになる。また、フード部が左右非対称となることにより、遮蔽容器５の後部（扉部７の後方）に空きスペースができ、その空きスペースにディスプレイ部などを設置することにより、例えば、大型プリント基板測定用の蛍光Ｘ線分析装置としての設置スペースを小さくすることもできる。

また、扉部７を開くことで試料室部６前部の上方が大きく開口するため、大型プリント基板等の試料でも操作性を犠牲にせず、容易に出し入れ可能になる。さらに、試料室部６前部の上部が扉部７により開閉可能なため、メンテナンス時に従来機のように大型の筐体（遮蔽容器）を取り外すなどの工程が不要になる。
また、扉部７に透明板８で塞がれた窓部７ａが形成されているので、扉部７を閉じた状態でも窓部７ａから試料台２に設置した試料の測定位置を目視することができる。
さらに、扉部７を閉じた状態でガイド光Ｇを照射し、試料台２を可動させて、試料測定位置の微調整を行うこともできる。
また、扉部７を閉じると遮蔽容器５は密閉状態となり、Ｘ線源３をオンにした分析時の被爆防止又は抑制効果が高くなり、安全に蛍光Ｘ線分析を行うことができる。

また、遮蔽容器５の上部であって扉部７の後側に設置され遮蔽容器５に連結されたフード部９と、Ｘ線源３及び検出器４を上下動可能でＸ線源３及び検出器４を遮蔽容器５内からフード部９内に移動可能な上下移動機構１０とを備えているので、試料を試料室部６に搬入出する際に上下移動機構１０によりＸ線源３及び検出器４をフード部９内に退避させることができ、作業性が向上して試料の出し入れが容易になる。
さらに、フード部９が、Ｘ線源３及び検出器４を収納した状態で少なくとも一部を開閉可能であるので、フード部９を開けることでＸ線源３及び検出器４の取り出し、取付け及びメンテナンス等の作業性を向上させることができる。

また、上下移動機構１０が、扉部７が開けられたことを開閉検知機構１１が検知すると、Ｘ線源３及び検出器４をフード部９へ移動させるので、扉部７を開いた際にＸ線源３及び検出器４が自動的にフード部９に退避されることで、試料を設置する際に、退避し忘れることを防止できる。
さらに、試料検知機構１２が試料台２上の試料を検知すると共に扉部７が閉められたことを開閉検知機構１１が検知すると、上下移動機構１０が、Ｘ線源３及び検出器４を遮蔽容器５内の所定高さ位置に移動させるので、試料を試料台２に載せた後に扉部７を閉じるだけで自動的にＸ線源３及び検出器４が下降し、高さ方向の粗位置合せができる。したがって、測定に際しては微細な位置合せのみでよく、長いストロークの移動を省略でき、高い利便性が得られると共に、時短化を図ることができる。

また、フード部９にＸ線源３から一次Ｘ線Ｘ１の照射のオン／オフを視認可能なインジケータ１７が設けられているので、装置の動作状況を明確にモニターすることができる。
また、扉部７が、後端部にヒンジ部７ｃを有して前面側から開口可能であり、扉部７の前面に取っ手部７ｂが設けられているので、取っ手部７ｂに指を掛けて扉部７の先端部を上下することで、容易に開閉することができる。

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上記実施形態では、波高分析器でＸ線のエネルギーと強度とを測定するエネルギー分散方式の蛍光Ｘ線分析装置に適用したが、蛍光Ｘ線を分光結晶により分光し、Ｘ線の波長と強度を測定する波長分散方式の蛍光Ｘ線分析装置に適用しても構わない。

また、扉部７を開けて試料の搬入出を行う際に、Ｘ線源３及び検出器４の退避、あるいは、扉部７を閉じて蛍光Ｘ線分析を開始する前の粗位置調整は手動で行っても構わない。

１…蛍光Ｘ線分析装置、２…試料台、３…Ｘ線源、４…検出器、５…遮蔽容器、６…試料室部、７…扉部、７ａ…窓部、７ｂ…取っ手部、７ｃ…ヒンジ部、８…透明板、９…フード部、１０…上下移動機構、１１…開閉検知機構、１２…試料検知機構、１４…撮像部（撮像素子）、１７…インジケータ、１８…ガイド光照射機構（ガイド光源）、Ｇ…ガイド光、Ｐ…照射位置、Ｘ１…一次Ｘ線

Claims

試料を設置可能な載置面を有する試料台と、
前記試料に対して一次Ｘ線を照射する照射位置の直上に配され前記試料に対して一次Ｘ線を照射するＸ線源と、
前記一次Ｘ線を照射された前記試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、
前記試料台、前記Ｘ線源及び前記検出器を少なくとも収納した遮蔽容器とを備え、
前記遮蔽容器が、前記試料台を収納する試料室部と、
前記試料室部の上部の少なくとも前半分を開閉可能な扉部とを備え、
前記Ｘ線源及び前記検出器が、前記扉部よりも後側に配置され、
前記遮蔽容器の上部であって前記扉部の後側に設置され前記遮蔽容器に連結されたフード部と、
前記Ｘ線源及び前記検出器を上下動可能で前記Ｘ線源及び前記検出器を前記遮蔽容器内から前記フード部内に移動可能な上下移動機構とを備えていることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置において、
前記扉部に透明板で塞がれた窓部が形成されていることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
請求項１又は２に記載の蛍光Ｘ線分析装置において、
前記フード部が、前記試料室部を前面視した際の中央に対して左側または右側に配置されて、
前記遮蔽容器と前記フード部とが左右非対称な配置となっていることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
請求項１から３のいずれか一項に記載の蛍光Ｘ線分析装置において、
前記フード部が、前記Ｘ線源及び前記検出器を収納した状態で少なくとも一部を開閉可能であることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載の蛍光Ｘ線分析装置において、
前記扉部の開閉を検知する開閉検知機構を備え、
前記上下移動機構が、前記扉部が開けられたことを前記開閉検知機構が検知すると、前記Ｘ線源及び前記検出器を前記フード部へ移動させることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
請求項５に記載の蛍光Ｘ線分析装置において、
前記試料台に前記試料が設置されたことを検知する試料検知機構を備え、
前記試料検知機構が前記試料台上の前記試料を検知すると共に前記扉部が閉められたことを前記開閉検知機構が検知すると、前記上下移動機構が、前記Ｘ線源及び前記検出器を前記遮蔽容器内の所定高さ位置に移動させることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
請求項１から６のいずれか一項に記載の蛍光Ｘ線分析装置において、
前記フード部に前記Ｘ線源から一次Ｘ線の照射のオン／オフを視認可能なインジケータが設けられていることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
請求項１から７のいずれか一項に記載の蛍光Ｘ線分析装置において、
前記扉部が、後端部にヒンジ部を有して前面側から開口可能であり、
前記扉部の前面に取っ手部又は凹部が設けられていることを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。