KR20160067717A - 형광 x 선 분석 장치 - Google Patents

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Abstract

[과제] 장치를 대형화하지 않아도 시료대에 재치한 시료의 측정 위치의 시인성을 대폭 향상시키는 것이 가능함과 함께 시료의 출입도 용이해지는 X 선 분석 장치를 제공하는 것.
[해결수단] 시료를 설치 가능한 재치면을 갖는 시료대 (2) 와, 시료에 대하여 1 차 X 선 (X1) 을 조사하는 조사 위치 (P) 의 바로 위에 배치되고 시료에 대하여 1 차 X 선을 조사하는 X 선원 (3) 과, 1 차 X 선이 조사된 시료로부터 발생하는 형광 X 선을 검출하는 검출기 (4) 와, 시료대, X 선원 및 검출기를 적어도 수납한 차폐 용기 (5) 를 구비하고, 차폐 용기가, 시료대를 수납하는 시료실부 (6) 와, 시료실부의 상부의 적어도 전반분을 개폐 가능한 도어부 (7) 를 구비하고, X 선원 및 검출기가, 도어부보다 후측에 배치되어 있다.

Description

형광 X 선 분석 장치{FLUORESCENT X-RAY ANALYZER}
본 발명은, 유해 물질의 검출 등이 가능하고 제품의 스크리닝 등 혹은 도금 등의 막두께 측정에 사용되는 형광 X 선 분석 장치에 관한 것이다.
형광 X 선 분석은, X 선원으로부터 출사된 X 선을 시료에 조사하고, 시료로부터 방출되는 특성 X 선인 형광 X 선을 X 선 검출기로 검출함으로써, 그 에너지로부터 스펙트럼을 취득하고, 시료의 정성 분석 혹은 정량 분석 또는 막두께 측정을 실시하는 것이다. 이 형광 X 선 분석은, 시료를 비파괴로 신속히 분석 가능하기 때문에, 공정·품질 관리 등에서 널리 사용되고 있다. 최근에는, 고정밀도화·고감도화가 도모되어 미량 측정이 가능해져, 특히 재료나 복합 전자 부품 등에 함유되는 유해 물질의 검출을 실시하는 분석 수법으로서 보급이 기대되고 있다.
일반적으로, 형광 X 선 분석의 장치에서는, 차폐 용기인 인클로저 내의 시료실에 설치된 시료대 상에 시료를 재치 (載置) 하고, X 선원으로부터 1 차 X 선을 시료에 조사하여 분석을 실시하지만, 종래, 예를 들어 비특허문헌 1 및 2 에 나타내는 바와 같이, 인클로저의 전면 (前面) 에 설치된 도어를 개폐하여 시료의 반입출을 실시하는 구조로 되어 있다.
"형광 X 선식 막두께계 (XRF 막두께계) 의 넷점포", [online], 주식회사 피셔·인스트루먼츠, [2014년 11월 21일 검색], 인터넷 ＜URL: http://makuatsu.com/index.php?option=com_content&view=article&id=35&Itemid=77＞ "막두께 측정 형광 X 선 막두께계 FT110 시리즈", [online], 주식회사 히타치 하이테크 사이언스, [2014년 11월 21일 검색], 인터넷 ＜URL:http://www.hitachi-hitec-science.com/products/xrf/FT110.html＞
상기 종래의 기술에는, 이하의 과제가 남겨져 있다.
즉, 종래의 형광 X 선 분석 장치에서는, 시료의 측정 위치 맞춤 등을 위해서 인클로저의 전면의 도어를 열어 시료대에 설치된 시료를 확인하고 있지만, 시료를 인클로저 전면의 전방 비스듬히 상방으로부터 시인하게 되어, 시료 전체를 시인하는 것이 어렵다는 문제가 있었다. 또, 시료 전체를 시인하기 위해서 전면의 도어를 크게 하는 방법이 있지만, 그 경우, 도어뿐만 아니라 인클로저가 높아져 대형화되는 문제가 있다. 또한, 시료로서 대형 프린트 기판 등을 인클로저 전면의 도어로부터 출입할 때, 충분히 넓은 개구부가 얻어지지 않아, 작업성이 나쁘다는 문제가 있었다.
본 발명은, 전술한 과제를 감안하여 이루어진 것으로서, 장치를 대형화하지 않아도 시료대에 재치한 시료의 측정 위치의 시인성을 대폭 향상시키는 것이 가능함과 함께 시료의 출입도 용이해지는 X 선 분석 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해서 이하의 구성을 채용하였다. 즉, 제 1 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 시료를 설치 가능한 재치면을 갖는 시료대와, 상기 시료에 대하여 1 차 X 선을 조사하는 조사 위치의 바로 위에 배치되고 상기 시료에 대하여 1 차 X 선을 조사하는 X 선원과, 상기 1 차 X 선이 조사된 상기 시료로부터 발생하는 형광 X 선을 검출하는 검출기와, 상기 시료대, 상기 X 선원 및 상기 검출기를 적어도 수납한 차폐 용기를 구비하고, 상기 차폐 용기가, 상기 시료대를 수납하는 시료실부와, 상기 시료실부의 상부의 적어도 전반분을 개폐 가능한 도어부를 구비하고, 상기 X 선원 및 상기 검출기가, 상기 도어부보다 후측에 배치되고, 상기 도어부에 투명판으로 막힌 창부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
이 형광 X 선 분석 장치에서는, 시료실부의 상부의 적어도 전반분을 개폐 가능한 도어부를 구비하고, X 선원 및 검출기가, 도어부보다 후측에 배치되어 있기 때문에, 시료실부 전부 (前部) 의 상방의 도어부에 의해 큰 개구부가 얻어져, 시료대 상의 시료의 시인성이 향상되고, 시료의 측정 위치 맞춤이 용이해진다. 즉, X 선원 및 검출기를 시료실부 후부에 배치하여 빈 시료실부 전부 상에 도어부를 형성함으로써, 시료대 전부의 상방이 크게 개구 가능하고, 시료대 상의 시료의 위치 관찰 영역이 넓어진다. 또, 도어부를 여는 것에 의해 시료실부 전부의 상방이 크게 개구되기 때문에, 대형 프린트 기판 등의 시료에서도 조작성을 희생하지 않고, 용이하게 출입 가능하게 된다. 또한, 시료실부 전부의 상부가 도어부에 의해 개폐 가능하기 때문에, 메인터넌스시에 종래 기계와 같이 대형의 케이싱 (차폐 용기) 을 떼내는 것 등의 공정이 불필요해진다.
제 2 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 1 발명에 있어서, 상기 도어부에 투명판으로 막힌 창부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 형광 X 선 분석 장치에서는, 도어부에 투명판으로 막힌 창부가 형성되어 있기 때문에, 도어부를 닫은 상태에서도 창부로부터 시료대에 설치한 시료의 측정 위치를 눈으로 볼 수 있다.
제 3 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 1 또는 제 2 발명에 있어서, 상기 차폐 용기의 상부로서 상기 도어부의 후측에 설치되고 상기 차폐 용기에 연결된 후드부와, 상기 X 선원 및 상기 검출기를 상하동 가능하고 상기 X 선원 및 상기 검출기를 상기 차폐 용기 내로부터 상기 후드부 내로 이동 가능한 상하 이동 기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 형광 X 선 분석 장치에서는, 차폐 용기의 상부로서 도어부의 후측에 설치되고 차폐 용기에 연결된 후드부와, X 선원 및 검출기를 상하동 가능하고 X 선원 및 검출기를 차폐 용기 내로부터 후드부 내로 이동 가능한 상하 이동 기구를 구비하고 있기 때문에, 시료를 시료실부에 반입출할 때에 상하 이동 기구에 의해 X 선원 및 검출기를 후드부 내로 퇴피시킬 수 있어, 작업성이 향상되어 시료의 출입이 용이해진다.
제 4 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 3 발명에 있어서, 상기 후드부가, 상기 시료실부를 전면에서 봤을 때의 중앙에 대하여 좌측 또는 우측에 배치되어, 상기 차폐 용기와 상기 후드부가 좌우 비대칭인 배치로 되어 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 형광 X 선 분석 장치에서는, 차폐 용기와 후드부가 좌우 비대칭인 배치로 되어 있기 때문에, 예를 들어 대형 프린트 기판과 같은 대형 시료 측정용의 형광 X 선 분석 장치로 했을 경우, 장치의 설치 스페이스도 크게 필요한 바, 차폐 용기 상면의 후드부가 없는 측에 디스플레이부 등을 설치할 수 있기 때문에, 설치 스페이스 절약이 된다.
제 5 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 3 또는 제 4 발명에 있어서, 상기 후드부가, 상기 X 선원 및 상기 검출기를 수납한 상태에서 적어도 일부를 개폐 가능한 것을 특징으로 한다.
즉, 이 형광 X 선 분석 장치에서는, 후드부가, X 선원 및 검출기를 수납한 상태에서 적어도 일부를 개폐 가능하기 때문에, 후드부를 여는 것에 의해 X 선원 및 검출기의 취출, 장착 및 메인터넌스 등의 작업성을 향상시킬 수 있다.
제 6 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 3 내지 제 5 발명 중 어느 하나에 있어서, 상기 도어부의 개폐를 검지하는 개폐 검지 기구를 구비하고, 상기 상하 이동 기구가, 상기 도어부가 열린 것을 상기 개폐 검지 기구가 검지하면, 상기 X 선원 및 상기 검출기를 상기 후드부로 이동시키는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 형광 X 선 분석 장치에서는, 상하 이동 기구가, 도어부가 열린 것을 개폐 검지 기구가 검지하면, X 선원 및 검출기를 후드부로 이동시키기 때문에, 도어부를 열었을 때에 X 선원 및 검출기가 자동적으로 후드부로 퇴피됨으로써, 시료를 설치할 때에, 퇴피하는 것을 잊는 것을 방지할 수 있다.
제 7 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 6 발명에 있어서, 상기 시료대에 상기 시료가 설치된 것을 검지하는 시료 검지 기구를 구비하고, 상기 시료 검지 기구가 상기 시료대 상의 상기 시료를 검지함과 함께 상기 도어부가 닫힌 것을 상기 개폐 검지 기구가 검지하면, 상기 상하 이동 기구가, 상기 X 선원 및 상기 검출기를 상기 차폐 용기 내의 소정 높이 위치로 이동시키는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 형광 X 선 분석 장치에서는, 시료 검지 기구가 시료대 상의 시료를 검지함과 함께 도어부가 닫힌 것을 개폐 검지 기구가 검지하면, 상하 이동 기구가, X 선원 및 검출기를 차폐 용기 내의 소정 높이 위치로 이동시키기 때문에, 시료를 시료대에 실은 후에 도어부를 닫는 것만으로 자동적으로 X 선원 및 검출기가 하강하고, 높이 방향의 조 (粗) 위치 맞춤을 할 수 있다. 따라서, 측정시에는 미세한 위치 맞춤만이어도 되고, 긴 스트로크의 이동을 생략할 수 있어, 높은 편리성이 얻어짐과 함께, 시간 단축화를 도모할 수 있다.
제 8 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 1 내지 제 7 발명 중 어느 하나에 있어서, 상기 후드부에 상기 X 선원으로부터 1 차 X 선의 조사의 온/오프를 시인 가능한 인디케이터가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 형광 X 선 분석 장치에서는, 후드부에 X 선원으로부터 1 차 X 선의 조사의 온/오프를 시인 가능한 인디케이터가 형성되어 있기 때문에, 장치의 동작 상황을 명확하게 모니터할 수 있다.
제 9 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 1 내지 제 8 발명 중 어느 하나에 있어서, 상기 도어부가, 후단부에 힌지부를 가지며 전면측으로부터 개구 가능하고, 상기 도어부의 전면에 손잡이부 또는 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 형광 X 선 분석 장치에서는, 도어부가, 후단부에 힌지부를 가지며 전면측으로부터 개구 가능하고, 도어부의 전면에 손잡이부 또는 오목부가 형성되어 있기 때문에, 손잡이부 또는 오목부에 손가락을 걸어 도어부의 선단부를 상하함으로써, 용이하게 개폐할 수 있다.
본 발명에 의하면, 이하의 효과를 나타낸다.
즉, 본 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치에 의하면, 시료실부의 상부의 적어도 전반분을 개폐 가능한 도어부를 구비하고, X 선원 및 검출기가, 도어부보다 후측에 배치되어 있기 때문에, 시료실부 전부의 상방의 도어부에 의해 큰 개구부가 얻어져, 시료대 상의 시료의 시인성이 향상된다.
따라서, 시료의 측정 위치 맞춤이 용이해짐과 함께, 대형 프린트 기판 등의 시료에서도 조작성을 희생하지 않고, 용이하게 출입 가능해짐과 함께, 동일한 정도의 대형 시료용 형광 X 선 분석 장치와 비교하여, 설치 스페이스 절약이 된다.
도 1 은 본 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치의 일 실시형태에 있어서, 도어부를 닫은 상태의 장치 본체의 내부 구조 및 전체의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2 는 본 실시형태에 있어서, 도어부를 연 상태의 장치 본체를 나타내는 측면도이다.
도 3 은 본 실시형태에 있어서, 형광 X 선 분석 장치의 장치 본체를 나타내는 사시도이다.
이하, 본 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치의 일 실시형태를, 도 1 내지 도 3 을 참조하면서 설명한다.
본 실시형태의 형광 X 선 분석 장치 (1) 는, 도 1 내지 도 3 에 나타내는 바와 같이, 시료를 설치 가능한 재치면을 갖는 시료대 (2) 와, 시료에 대하여 1 차 X 선 (X1) 을 조사하는 조사 위치 (P) 의 바로 위에 배치되고 시료에 대하여 1 차 X 선 (X1) 을 조사하는 X 선원 (3) 과, 1 차 X 선 (X1) 이 조사된 시료로부터 발생하는 형광 X 선을 검출하는 검출기 (4) 와, 시료대 (2), X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 적어도 수납한 차폐 용기 (5) 를 구비하고 있다.
상기 차폐 용기 (5) 는, X 선 차폐 인클로저로서, 철판 등으로 구성되어 있다.
이 차폐 용기 (5) 는, 시료대 (2) 를 수납하는 시료실부 (6) 와, 시료실부 (6) 의 상부의 적어도 전반분을 개폐 가능한 도어부 (7) 를 구비하고 있다. 즉, 도어부 (7) 는, 시료실부 (6) 의 내면 치수 (평면에서 볼 때에 있어서의 1 변의 길이) 를 L 로 했을 때, 차폐 용기 (5) 의 전단부로부터 L × (1/2) 이상 L × (2/3) 미만의 위치까지 개구하도록 형성되어 있다.
상기 X 선원 (3) 및 검출기 (4) 는, 도어부 (7) 보다 후측에 배치되어 있다.
또, 1 차 X 선 (X1) 의 조사 위치 (P) 는, 시료대 (2) 의 중심으로부터 벗어나서 설정되어 있고, 본 실시형태에서는, L × (1/6) 내지 L × (1/3) 의 거리만큼 시료대 (2) 의 중심 위치로부터 후측으로 떨어진 위치에 조사 위치 (P) 가 설정되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 측정 위치 맞춤용의 가이드광 조사 기구 (18) 가 시료대 (2) 의 상방에 형성되어 있고, 가시광의 레이저광을 가이드광 (G) 으로 하여 측정 위치 (조사 위치 (P)) 에 조사하여 점등시킴으로써, 측정 위치의 확인이 눈으로 볼 수 있도록 되어 있다.
또한, 가이드광 (G) 을 조사하여 시료 측정 위치와 1 차 X 선 (X1) 의 조사 위치 (P) (분석 위치) 를 맞출 때에도, 촬상부 (14) (촬상 소자) 를 개재한 화상과 눈으로 보는 것에 의한 시료 측정 위치가 거의 일치하고 있기 때문에, 확인하기 쉬워 작업성이 향상된다.
상기 도어부 (7) 에는, 투명판 (8) 으로 막힌 창부 (7a) 가 형성되어 있다. 이 투명판 (8) 은, 예를 들어 수지제이며, 납 등의 X 선 차폐 효과가 높은 물질이 함유되어 있다.
창부 (7a) 는, 도어부 (7) 의 강도를 유지할 수 있을 정도의 프레임부를 남기고 크게 형성되어 있으며, 도어부 (7) 를 닫은 상태에서, 가이드광 (G) 이 조사된 측정 위치를 외부로부터 시인 가능하도록 되어 있다.
또한, 도어부 (7) 는, 차폐 용기 (5) 의 후부 측면과 접하는 부분을 비스듬한 형상으로 하여 경량화를 도모하고 있다.
또, 이 형광 X 선 분석 장치 (1) 는, 상기 차폐 용기 (5) 의 상부로서 도어부 (7) 의 후측에 설치되고 차폐 용기 (5) 에 연결된 후드부 (9) 와, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 차폐 용기 (5) 내로부터 후드부 (9) 내로 이동 가능한 상하 이동 기구 (10) 와, 도어부 (7) 의 개폐를 검지하는 개폐 검지 기구 (11) 와, 시료대 (2) 에 시료가 설치된 것을 검지하는 시료 검지 기구 (12) 와, 시료대 (2) 를 이동 가능한 시료대 이동 기구 (13) 와, 시료대 (2) 상의 시료를 촬상 가능한 촬상부 (14) 를 구비하고 있다.
또한, 형광 X 선 분석 장치 (1) 는, 검출기 (4) 에 접속되고 검출기 (4) 로부터의 신호를 분석하는 분석기 (15) 와, X 선원 (3), 검출기 (4), 시료대 이동 기구 (13), 개폐 검지 기구 (11), 시료 검지 기구 (12), 촬상부 (14), 디스플레이부 (16) 및 분석기 (15) 등에 접속되고, 이들을 제어하는 제어부 (17) 를 구비하고 있다.
또한, 차폐 용기 (5) 와 후드부 (9) 와 이들에 수납된 부분을 장치 본체로 한다.
상기 후드부 (9) 는, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 수납한 상태에서 적어도 일부를 개폐 가능하다. 즉, 후드부 (9) 의 상부에는, 개폐 가능한 후드 개폐부 (9a) 가 형성되어 있다. 이 후드 개폐부 (9a) 는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 후측에 힌지부를 가지며 후드부 (9) 의 전측이 크게 개구 가능하도록 되어 있다.
또, 후드부 (9) 에는, X 선원 (3) 으로부터 1 차 X 선 (X1) 의 조사의 온/오프를 시인 가능한 인디케이터 (17) 가 형성되어 있다. 이 인디케이터 (17) 는, 후드 개폐부 (9a) 의 전면에 세로로 긴 띠상으로 형성되어 있고, 1 차 X 선 (X1) 의 조사시에 적색으로 표시됨과 함께, 1 차 X 선 (X1) 의 비조사시에 소등되도록 설정되어 있다.
상기 상하 이동 기구 (10) 는, 도어부 (7) 가 열린 것을 개폐 검지 기구 (11) 가 검지하면, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 후드부 (9) 로 이동시키는 기능을 갖고 있다.
또, 시료 검지 기구 (12) 가 시료대 (2) 상의 시료를 검지함과 함께 도어부 (7) 가 닫힌 것을 개폐 검지 기구 (11) 가 검지하면, 상하 이동 기구 (10) 는, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 차폐 용기 (5) 내의 소정 높이 위치로 이동시키는 기능을 갖고 있다.
상기 시료 검지 기구 (12) 는, 시료대 (2) 상에 시료가 설치되었을 때, 가이드광 조사 기구 (18) 에 의해 가이드광 (G) 을 시료에 조사하고, 광 위치 검출 소자 (PSD) 또는 리니어 이미지 센서 등의 수광부 (도시 생략) 에서의 감지 상태를 검출함으로써 시료대 (2) 상의 시료를 검출 가능하다.
또, 상하 이동 기구 (10) 는, 가이드광 (G) 을 시료에 조사하고, 상기 수광부에서의 감지 상태를 검출함으로써, 시료의 측정 위치의 높이 방향의 상대 위치를 검지하고, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 차폐 용기 (5) 내의 소정 높이 위치로 이동시킬 수 있다.
상기 개폐 검지 기구 (11) 는, 예를 들어 도어부 (7) 의 선단부와 차폐 용기 (5) 의 하부의 접촉 유무를 스위치로 검지하는 기구 등을 채용 가능하다.
도어부 (7) 는, 후단부에 힌지부 (7c) 를 가지며 전면측으로부터 개구 가능하고, 도어부 (7) 의 전면에는 손잡이부 (7b) 가 형성되어 있다. 또한, 손잡이부 (7b) 대신에 오목부를 도어부 (7) 의 전면에 형성해도 된다.
상기 시료대 이동 기구 (13) 는, 시료대 (2) 를 재치면과 평행한 일 방향인 X 방향으로 이동 가능한 X 스테이지 (도시 생략) 와, 시료대 (2) 를 재치면과 평행이고 X 방향과 직교하는 Y 방향으로 이동 가능한 Y 스테이지 (도시 생략) 와, 재치면의 중심에 회전 중심을 갖고 재치면과 직교하는 회전축 둘레에 시료대 (2) 를 회동 (回動) 가능한 θ 스테이지 (도시 생략) 를 구비하고 있다. 이들 스테이지는, 각각 모터 등으로 구동된다.
상하 이동 기구 (10) 는, 상기 X 방향 및 Y 방향과 직교하는 Z 방향 (상하 방향) 에, X 선원 (3), 검출기 (4), 촬상부 (14) 및 가이드광 조사 기구 (18) 가 장착된 유닛을 이동 가능한 모터 등으로 구성되어 있다.
상기 촬상부 (14) 는, CCD 등을 탑재한 관찰용 카메라이며, 시료대 (2) 의 상방에서 도어부 (7) 에 가까운 위치에 설치되어 있고, 시료대 (2) 상의 시료를 촬상 가능하다.
상기 X 선원 (3) 은, 1 차 X 선 (X1) 을 조사 가능한 X 선 관구 (管球) 로서, 관구 내의 필라멘트 (음극) 로부터 발생한 열전자가 필라멘트 (음극) 와 타깃 (양극) 사이에 인가된 전압에 의해 가속되고 타깃의 W (텅스텐), Mo (몰리브덴), Cr (크롬) 등에 충돌하여 발생한 X 선을 1 차 X 선 (X1) 으로 하여 베릴륨박 등의 창으로부터 출사하는 것이다.
상기 검출기 (4) 는, 반도체 검출 소자 (예를 들어, pin 구조 다이오드인 Si (실리콘) 소자) (도시 생략) 를 구비하고, X 선 광자 1 개가 입사하면, 이 X 선 광자 1 개에 대응하는 전류 펄스가 발생하는 것이다. 이 전류 펄스의 순간적인 전류값이, 입사된 특성 X 선의 에너지에 비례하고 있다. 또, 검출기 (4) 는, 반도체 검출 소자에서 발생한 전류 펄스를 전압 펄스로 변환, 증폭시키고, 신호로서 출력하도록 설정되어 있다.
상기 분석기 (15) 는, 상기 신호로부터 전압 펄스의 파고 (波高) 를 얻어 에너지 스펙트럼을 생성하는 파고 분석기 (멀티 채널 애널라이저) 이다.
상기 제어부 (17) 는, CPU 등으로 구성된 컴퓨터이며, 촬상부 (14) 에 의한 촬상 화면이나 분석 결과를 디스플레이부 (16) 에 표시하는 기능을 갖고 있다.
다음으로, 본 실시형태의 형광 X 선 분석 장치 (1) 를 사용한 형광 X 선 분석 방법에 대해 설명한다.
먼저, 도어부 (7) 를 열어 시료실부 (6) 의 전부 상방을 개구한다. 이 때, 도어부 (7) 가 열린 것을 개폐 검지 기구 (11) 에 의해 검지함과 함께, 이 검지에 기초하여 상하 이동 기구 (10) 가, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 상승시켜 후드부 (9) 내로 퇴피시킨다. 이 상태에서, 가이드광 조사 기구 (18) 로부터 조사되는 가이드광 (G) 을 따라서, 시료대 (2) 상에 시료를 설치한다.
시료를 설치한 후, 도어부 (7) 를 닫으면 개폐 검지 기구 (11) 에 의해 도어부 (7) 가 닫힌 것을 검지함과 함께, 시료 검지 기구 (12) 가 시료대 (2) 상의 시료를 검지하면, 이들의 검지에 기초하여 상하 이동 기구 (10) 가 후드부 (9) 내의 X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 시료실부 (6) 내의 소정의 높이 위치까지 하강시킨다. 그 후, 미세한 위치 맞춤을 실시한 후, X 선원 (3) 으로부터 1 차 X 선 (X1) 을 시료에 조사하여 형광 X 선 분석을 실시한다. 또한, 1 차 X 선 (X1) 이 조사되면, 인디케이터 (17) 가 적색으로 점등된다.
이와 같이 본 실시형태의 형광 X 선 분석 장치 (1) 에서는, 시료실부 (6) 의 상부의 적어도 전반분을 개폐 가능한 도어부 (7) 를 구비하고, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 가, 도어부 (7) 보다 후측에 배치되어 있기 때문에, 시료실부 (6) 전부의 상방의 도어부 (7) 에 의해 큰 개구부가 얻어져, 시료대 (2) 상의 시료의 시인성이 향상되고, 시료의 측정 위치 맞춤이 용이해진다. 즉, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 시료실부 (6) 후부에 배치 (시료대 (2) 중앙으로부터 후방으로 오프셋) 하여 빈 시료실부 (6) 전부 상에 도어부 (7) 를 형성함으로써, 시료대 (2) 전부의 상방이 크게 개구 가능하고, 시료대 (2) 상의 시료의 위치 관찰 영역 (도 2 에 나타내는 해칭 영역) 이 넓어진다.
또한, 후드부는, 도 3 에 나타내는 전후의 오프셋뿐만 아니라, 좌우 비대칭으로 해도 된다. 즉, 후드부가, 시료실부를 전면에서 봤을 때의 중앙 (좌우 방향의 중앙) 에 대하여 좌측 또는 우측에 배치되어, 차폐 용기와 후드부가 좌우 비대칭인 배치로 해도 된다.
이것에 수반하여, X 선 발생원 (3) 및 검출기 (4) 도 이동하게 된다. 또, 후드부가 좌우 비대칭이 됨으로써, 차폐 용기 (5) 의 후부 (도어부 (7) 의 후방) 에 빈 공간이 생기고, 그 빈 공간에 디스플레이부 등을 설치함으로써, 예를 들어, 대형 프린트 기판 측정용의 형광 X 선 분석 장치로서의 설치 공간을 작게 할 수도 있다.
또, 도어부 (7) 를 여는 것에 의해 시료실부 (6) 전부의 상방이 크게 개구되기 때문에, 대형 프린트 기판 등의 시료에서도 조작성을 희생하지 않고, 용이하게 출입 가능하게 된다. 또한, 시료실부 (6) 전부의 상부가 도어부 (7) 에 의해 개폐 가능하기 때문에, 메인터넌스시에 종래기와 같이 대형의 케이싱 (차폐 용기) 을 떼내는 등의 공정이 불필요해진다.
또, 도어부 (7) 에 투명판 (8) 으로 막힌 창부 (7a) 가 형성되어 있기 때문에, 도어부 (7) 를 닫은 상태에서도 창부 (7a) 로부터 시료대 (2) 에 설치한 시료의 측정 위치를 눈으로 볼 수 있다.
또한, 도어부 (7) 를 닫은 상태에서 가이드광 (G) 을 조사하고, 시료대 (2) 를 가동시켜, 시료 측정 위치의 미세 조정을 실시할 수도 있다.
또, 도어부 (7) 를 닫으면 차폐 용기 (5) 는 밀폐 상태가 되어, X 선원 (3) 을 온으로 한 분석시의 피폭 방지 또는 억제 효과가 높아져, 안전하게 형광 X 선 분석을 실시할 수 있다.
또, 차폐 용기 (5) 의 상부로서 도어부 (7) 의 후측에 설치되고 차폐 용기 (5) 에 연결된 후드부 (9) 와, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 상하동 가능하고 X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 차폐 용기 (5) 내로부터 후드부 (9) 내로 이동 가능한 상하 이동 기구 (10) 를 구비하고 있기 때문에, 시료를 시료실부 (6) 에 반입출할 때에 상하 이동 기구 (10) 에 의해 X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 후드부 (9) 내로 퇴피시킬 수 있어, 작업성이 향상되고 시료의 출입이 용이해진다.
또한, 후드부 (9) 가, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 수납한 상태에서 적어도 일부를 개폐 가능하기 때문에, 후드부 (9) 를 여는 것에 의해 X 선원 (3) 및 검출기 (4) 의 취출, 장착 및 메인터넌스 등의 작업성을 향상시킬 수 있다.
또, 상하 이동 기구 (10) 가, 도어부 (7) 가 열린 것을 개폐 검지 기구 (11) 가 검지하면, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 후드부 (9) 로 이동시키기 때문에, 도어부 (7) 를 열었을 때에 X 선원 (3) 및 검출기 (4) 가 자동적으로 후드부 (9) 로 퇴피됨으로써, 시료를 설치할 때에, 퇴피하는 것을 잊는 것을 방지할 수 있다.
또한, 시료 검지 기구 (12) 가 시료대 (2) 상의 시료를 검지함과 함께 도어부 (7) 가 닫힌 것을 개폐 검지 기구 (11) 가 검지하면, 상하 이동 기구 (10) 가, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 를 차폐 용기 (5) 내의 소정 높이 위치로 이동시키기 때문에, 시료를 시료대 (2) 에 실은 후에 도어부 (7) 를 닫는 것만으로 자동적으로 X 선원 (3) 및 검출기 (4) 가 하강하여, 높이 방향의 조위치 맞춤을 할 수 있다. 따라서, 측정시에는 미세한 위치 맞춤만이어도 되고, 긴 스트로크의 이동을 생략할 수 있어, 높은 편리성이 얻어짐과 함께, 시간 단축화를 도모할 수 있다.
또, 후드부 (9) 에 X 선원 (3) 으로부터 1 차 X 선 (X1) 의 조사의 온/오프를 시인 가능한 인디케이터 (17) 가 형성되어 있기 때문에, 장치의 동작 상황을 명확하게 모니터할 수 있다.
또, 도어부 (7) 가, 후단부에 힌지부 (7c) 를 가지며 전면측으로부터 개구 가능하고, 도어부 (7) 의 전면에 손잡이부 (7b) 가 형성되어 있기 때문에, 손잡이부 (7b) 에 손가락을 걸어 도어부 (7) 의 선단부를 상하함으로써, 용이하게 개폐할 수 있다.
또한, 본 발명의 기술 범위는 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변경을 가하는 것이 가능하다.
예를 들어, 상기 실시형태에서는, 파고 분석기로 X 선의 에너지와 강도를 측정하는 에너지 분산 방식의 형광 X 선 분석 장치에 적용했지만, 형광 X 선을 분광 결정에 의해 분광하고, X 선의 파장과 강도를 측정하는 파장 분산 방식의 형광 X 선 분석 장치에 적용해도 된다.
또, 도어부 (7) 를 열어 시료의 반입출을 실시할 때에, X 선원 (3) 및 검출기 (4) 의 퇴피, 혹은 도어부 (7) 를 닫고 형광 X 선 분석을 개시하기 전의 조위치 조정은 수동으로 실시해도 된다.
1 : 형광 X 선 분석 장치
2 : 시료대
3 : X 선원
4 : 검출기
5 : 차폐 용기
6 : 시료실부
7 : 도어부
7a : 창부
7b : 손잡이부
7c : 힌지부
8 : 투명판
9 : 후드부
10 : 상하 이동 기구
11 : 개폐 검지 기구
12 : 시료 검지 기구
14 : 촬상부 (촬상 소자)
17 : 인디케이터
18 : 가이드광 조사 기구 (가이드광원)
G : 가이드광
P : 조사 위치
X1 : 1 차 X 선

Claims (9)

  1. 시료를 설치 가능한 재치면을 갖는 시료대와,
    상기 시료에 대하여 1 차 X 선을 조사하는 조사 위치의 바로 위에 배치되고 상기 시료에 대하여 1 차 X 선을 조사하는 X 선원과,
    상기 1 차 X 선이 조사된 상기 시료로부터 발생하는 형광 X 선을 검출하는 검출기와,
    상기 시료대, 상기 X 선원 및 상기 검출기를 적어도 수납한 차폐 용기를 구비하고,
    상기 차폐 용기가, 상기 시료대를 수납하는 시료실부와,
    상기 시료실부의 상부의 적어도 전반분을 개폐 가능한 도어부를 구비하고,
    상기 X 선원 및 상기 검출기가, 상기 도어부보다 후측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 도어부에 투명판으로 막힌 창부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 차폐 용기의 상부로서 상기 도어부의 후측에 설치되고 상기 차폐 용기에 연결된 후드부와,
    상기 X 선원 및 상기 검출기를 상하동 가능하고 상기 X 선원 및 상기 검출기를 상기 차폐 용기 내로부터 상기 후드부 내로 이동 가능한 상하 이동 기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 후드부가, 상기 시료실부를 전면에서 봤을 때의 중앙에 대하여 좌측 또는 우측에 배치되어,
    상기 차폐 용기와 상기 후드부가 좌우 비대칭인 배치로 되어 있는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 후드부가, 상기 X 선원 및 상기 검출기를 수납한 상태에서 적어도 일부를 개폐 가능한 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  6. 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도어부의 개폐를 검지하는 개폐 검지 기구를 구비하고,
    상기 상하 이동 기구가, 상기 도어부가 열린 것을 상기 개폐 검지 기구가 검지하면, 상기 X 선원 및 상기 검출기를 상기 후드부로 이동시키는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 시료대에 상기 시료가 설치된 것을 검지하는 시료 검지 기구를 구비하고,
    상기 시료 검지 기구가 상기 시료대 상의 상기 시료를 검지함과 함께 상기 도어부가 닫힌 것을 상기 개폐 검지 기구가 검지하면, 상기 상하 이동 기구가, 상기 X 선원 및 상기 검출기를 상기 차폐 용기 내의 소정 높이 위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 후드부에 상기 X 선원으로부터 1 차 X 선의 조사의 온/오프를 시인 가능한 인디케이터가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 도어부가, 후단부에 힌지부를 가지며 전면측으로부터 개구 가능하고,
    상기 도어부의 전면에 손잡이부 또는 오목부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9933375B2 (en) * 2015-09-25 2018-04-03 Olympus Scientific Solutions Americas, Inc. XRF/XRD system with dynamic management of multiple data processing units
CN105902280B (zh) * 2016-06-09 2018-09-25 嘉兴日昌汽车配件有限公司 防干扰暗室扫描装置
CN106288796A (zh) * 2016-07-26 2017-01-04 中国科学院上海应用物理研究所 一种掠入射xafs高温原位炉
JP6642372B2 (ja) * 2016-10-14 2020-02-05 株式会社島津製作所 Ｘ線分析装置
CN109827982B (zh) * 2017-11-23 2024-04-26 核工业西南物理研究院 一种土壤重金属检测的快速检测仪
BR112020023596A2 (pt) * 2018-05-18 2021-04-20 Enersoft Inc. sistemas, dispositivos e métodos para análise de amostras geológicas
USD896981S1 (en) 2018-07-20 2020-09-22 Euroimmun Medizinische Labordiagnostika Ag Diagnostic apparatus for medical or laboratory purposes
USD889657S1 (en) * 2018-11-20 2020-07-07 Shimadzu Corporation Fluoroscopy device
USD907245S1 (en) * 2019-03-22 2021-01-05 Euroimmun Medizinische Labordiagnostika Ag Apparatus for doctors, hospitals and laboratories
USD907244S1 (en) * 2019-06-14 2021-01-05 Emd Millipore Corporation Cell imager
CN110806382B (zh) * 2019-11-22 2022-06-28 长春美泰仪器有限公司 一种集成式一体化液体和固体检测池装置及荧光检测仪
JP7302504B2 (ja) * 2020-02-27 2023-07-04 株式会社島津製作所 蛍光ｘ線分析装置
JP7416254B2 (ja) 2020-07-14 2024-01-17 株式会社島津製作所 蛍光ｘ線分析装置
JP1708068S (ja) * 2020-12-04 2022-02-22 バッチ式病理標本スキャナー
DE102021127537A1 (de) 2021-10-22 2023-04-27 Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik Verfahren und Messgerät zur Messung von Messobjekten mittels Röntgenfluoreszenz

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4860329A (en) * 1986-02-24 1989-08-22 Upa Technology, Inc. X-ray fluorescence thickness measuring device
KR20120021270A (ko) * 2010-08-31 2012-03-08 에스아이아이 나노 테크놀로지 가부시키가이샤 형광 ｘ 선 분석 장치 및 형광 ｘ 선 분석 방법
KR20140116813A (ko) * 2013-03-25 2014-10-06 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스 형광 x 선 분석 장치
KR20140118812A (ko) * 2013-03-27 2014-10-08 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스 형광 x 선 분석 장치

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2632001C3 (de) * 1976-07-16 1980-10-23 Gkss - Forschungszentrum Geesthacht Gmbh, 2000 Hamburg Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse
US5309495A (en) * 1992-03-18 1994-05-03 Helmut Fischer Positioning device for an x-ray thickness measuring system
JP4041606B2 (ja) * 1998-12-04 2008-01-30 株式会社堀場製作所 Ｘ線分析装置
JP2001021510A (ja) * 1999-07-09 2001-01-26 Horiba Ltd Ｘ線分析装置
JP4190186B2 (ja) * 2002-01-07 2008-12-03 Ｔｄｋ株式会社 Ｘ線分析方法及びｘ線分析装置
US7515685B2 (en) * 2004-04-28 2009-04-07 Panasonic Corporation Fluorescent X-ray analysis method and device
JP2009074934A (ja) * 2007-09-20 2009-04-09 Miura Sensor Laboratory Inc 試料分析装置
CN203216879U (zh) * 2012-10-31 2013-09-25 赛默科技便携式分析仪器有限公司 X射线荧光分析器

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4860329A (en) * 1986-02-24 1989-08-22 Upa Technology, Inc. X-ray fluorescence thickness measuring device
KR20120021270A (ko) * 2010-08-31 2012-03-08 에스아이아이 나노 테크놀로지 가부시키가이샤 형광 ｘ 선 분석 장치 및 형광 ｘ 선 분석 방법
KR20140116813A (ko) * 2013-03-25 2014-10-06 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스 형광 x 선 분석 장치
KR20140118812A (ko) * 2013-03-27 2014-10-08 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스 형광 x 선 분석 장치

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"막두께 측정 형광 X 선 막두께계 FT110 시리즈", [online], 주식회사 히타치 하이테크 사이언스, [2014년 11월 21일 검색], 인터넷 ＜URL:http://www.hitachi-hitec-science.com/products/xrf/FT110.html＞
"형광 X 선식 막두께계 (XRF 막두께계) 의 넷점포", [online], 주식회사 피셔·인스트루먼츠, [2014년 11월 21일 검색], 인터넷 ＜URL: http://makuatsu.com/index.php?option=com_content&view=article&id=35&Itemid=77＞

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