KR20140118812A - 형광 x 선 분석 장치 - Google Patents

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요시키 마토바
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가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스
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Abstract

과제
비교적 간이한 구성과 제어에 의해 출력 강도의 변동을 억제 가능한 형광 X 선 분석 장치를 제공하는 것.
해결 수단
시료 (S) 에 대해 1 차 X 선을 조사하는 X 선원 (2) 과, X 선원으로부터 조사되는 1 차 X 선을 집광하여 시료에 대한 조사 면적을 작게 하는 집광 소자 (3) 와, 1 차 X 선이 조사된 시료로부터 발생하는 형광 X 선을 검출하는 검출기 (4) 와, X 선원 및 집광 소자를 수납하는 케이싱 (5) 을 구비한 형광 X 선 분석 장치 (1) 로서, X 선원 및 X 선원의 주위의 적어도 일방에 설치된 온도 센서 (6) 와, 케이싱에 적어도 하나 형성되어 내부와 외부의 공기를 교체 가능한 외기용 팬 (7) 과, 온도 센서에서 검출한 온도 정보에 기초하여, 외기용 팬을 구동시켜 X 선원의 주위의 분위기 온도를 일정한 온도로 조정하는 제어부 (C) 를 구비하고 있다.

Description

형광 X 선 분석 장치{FLUORESCENT X-RAY ANALYZER}
본 발명은, 유해 물질의 검출 등이 가능하여, 제품의 스크리닝이나 혹은 도금 등의 막두께 측정에 사용되는 형광 X 선 분석 장치에 관한 것이다.
형광 X 선 분석은, X 선원으로부터 출사된 X 선을 시료에 조사하고, 시료로부터 방출되는 특성 X 선인 형광 X 선을 X 선 검출기로 검출함으로써, 그 에너지로부터 스펙트럼을 취득하고, 시료의 정성 분석 혹은 정량 분석 또는 막두께 측정을 실시하는 것이다. 이 형광 X 선 분석은, 시료를 비파괴에 의해 신속하게 분석 가능하기 때문에, 공정·품질 관리 등에서 널리 사용되고 있다. 최근에는, 고정밀도화·고감도화가 도모되어 미량 측정이 가능해져, 특히 재료나 복합 전자 부품 등에 포함되는 유해 물질의 검출을 실시하는 분석 수법으로서 보급이 기대되고 있다.
이 형광 X 선 분석 장치에서는, X 선원으로부터의 X 선을 집광하여 시료에 대한 조사 면적을 작게 할 수 있는 폴리캐필러리를 구비한 것이 알려져 있다. 이 폴리캐필러리는, 직경 10 ㎛ 정도의 유리관 (캐필러리) 의 다발로 구성되고, 입사된 X 선을 내부에서 전반사시켜 집광하여 출사하는 렌즈 기능을 갖는 X 선 집광 소자이다.
예를 들어, 특허문헌 1 에는, X 선 관과, X 선 관으로부터의 X 선을 수집하는 X 선 광학 기기로서 폴리캐필러리를 구비한 X 선 소스 어셈블리가 기재되어 있다. 이 X 선 소스 어셈블리에서는, 위치 조정을 위해서 X 선 관의 타깃을 직접 가열/냉각시키는 온도 액추에이터를 구비하고 있다.
일본 공개특허공보 2011-71120호
상기 종래의 기술에는, 이하의 과제가 남아 있다.
즉, 폴리캐필러리를 X 선원의 관구 (管球) 에 장착한 장치에서는, 폴리캐필러리로부터의 출력 강도가 그 장착 위치에 의존하여, 위치 어긋남이 발생하면 출력 강도가 저하되어 버리는 문제가 있다. 예를 들어, 수평 방향으로 폴리캐필러리가 상대적으로 10 ㎛ 어긋나는 것만으로 출력 강도가 5 ％ 감소되어 버린다. 그 때문에, 안정적인 출력 강도로 측정을 실시하려면, 출력 강도가 최대가 되는 부분에 폴리캐필러리를 장착할 필요가 있음과 함께, 한 번 장착한 위치로부터 어긋나지 않도록 하는 것이 필수이다. 폴리캐필러리의 위치가 어긋나는 요인으로는, 기계적 요인이나 열 (온도 드리프트) 에 의한 요인을 들 수 있다. 특히, X 선원의 관구에는 일반적으로 30 W 내지 50 W 의 전력이 가해지기 때문에, 전력의 변경에 따라 온도의 변화가 크다. 또, 장치 주변의 온도도 특별히 제어하고 있지 않는 한 10 ∼ 30 ℃ 까지 변화한다. 이와 같은 온도 변화에 의한 열 팽창은 폴리캐필러리의 상대적인 위치 어긋남을 발생시키기 때문에, 출력 강도가 변동되어 버리는 문제가 있었다.
이에 대하여, 상기 특허문헌 1 의 기술에서는, 온도 변화에 의한 출력 강도의 변동을 억제하기 위해서, 주위의 온도 변화에 대하여, 관구의 타깃 (애노드) 을 직접 온도 액추에이터로 가열/냉각시킴으로써 위치를 움직여, 온도 변화에 의한 위치 보정을 실시하고 있다. 그러나, 이와 같이 온도 액추에이터를 관구의 타깃에 형성하는 것은 구조를 복잡화시킴과 함께 제어도 어렵고, 비용도 증대된다는 문제가 있었다.
본 발명은, 전술한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 비교적 간이한 구성과 제어에 의해 출력 강도의 변동을 억제 가능한 형광 X 선 분석 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해서 이하의 구성을 채용하였다. 즉, 제 1 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 시료에 대해 1 차 X 선을 조사하는 X 선원과, 상기 X 선원으로부터 조사되는 상기 1 차 X 선을 집광하여 상기 시료에 대한 조사 면적을 작게 하는 집광 소자와, 상기 1 차 X 선이 조사된 상기 시료로부터 발생하는 형광 X 선을 검출하는 검출기와, 적어도 상기 X 선원 및 상기 집광 소자를 수납하는 케이싱을 구비한 형광 X 선 분석 장치로서, 상기 X 선원 및 상기 X 선원의 주위의 적어도 일방에 설치된 온도 센서와, 상기 케이싱에 적어도 하나 형성되어 내부와 외부의 공기를 교체 가능한 외기용 팬과, 상기 온도 센서에서 검출한 온도 정보에 기초하여, 상기 외기용 팬을 구동시켜 상기 X 선원의 주위의 분위기 온도를 일정한 온도로 조정하는 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
이 형광 X 선 분석 장치에서는, 제어부가, 온도 센서에서 검출한 온도 정보에 기초하여, 외기용 팬을 구동시켜 X 선원의 주위의 분위기 온도를 일정한 온도로 조정하기 때문에, 종래 기술과 같이 X 선원을 부분적으로 온도 제어하는 것이 아니라, X 선원의 주위의 분위기 전체를 일정한 온도로 온도 제어함으로써, 전체적으로 온도 변동을 없게 하여 위치 어긋남을 억제할 수 있다. 따라서, X 선원에 직접 온도 제어 기구를 장착시켜 구조를 복잡화시킬 필요가 없고, 열원이 되는 X 선원과 공기 교체를 실시하는 외기용 팬에 의한 비교적 간이한 구성과 제어에 의해, X 선원과 폴리캐필러리 사이의 온도 변동을 억제할 수 있어, 위치 어긋남에 의한 출력 강도의 변동을 억제하는 것이 가능해진다.
제 2 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 1 발명에 있어서, 상기 X 선원의 주위에 형성된 순환용 팬을 구비하고 있고, 상기 제어부가, 상기 순환용 팬도 구동시켜 상기 조정을 실시하는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 형광 X 선 분석 장치에서는, 제어부가 순환용 팬도 구동시켜 상기 조정을 실시하기 때문에, 외기용 팬의 구동만으로는 냉각 효과가 충분하지 않은 경우 등에, 외기용 팬뿐만 아니라 순환용 팬도 구동시킴으로써, X 선원의 주위의 분위기를 순환시켜, 체류에 의한 온도차가 발생하지 않도록 할 수 있다.
제 3 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 1 또는 제 2 발명에 있어서, 외기를 도입하는 상기 외기용 팬과 상기 X 선원 사이에 배치된 히터를 구비하고 있고, 상기 제어부가, 상기 히터도 구동시켜 상기 조정을 실시하는 것을 특징으로 한다.
즉, 이 형광 X 선 분석 장치에서는, 제어부가 히터도 구동시켜 상기 조정을 실시하기 때문에, 외기용 팬에 의해 도입한 외기의 온도가 지나치게 낮은 경우나 X 선원 자체의 열만으로는 분위기 온도의 상승이 충분하지 않은 경우에도, 도입한 외기를 히터에 의해 가열하여 온풍으로 함으로써, 분위기 온도를 용이하게 높일 수 있어, 보다 유연한 온도 제어가 가능해진다.
제 4 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 1 내지 제 3 발명 중 어느 하나에 있어서, 상기 집광 소자가 폴리캐필러리인 것을 특징으로 한다.
제 5 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 1 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치에 있어서, 상기 외기용 팬은, 상기 외기를 상기 케이싱에 도입하는 흡기 팬과, 상기 내부의 공기를 배출하는 배기 팬을 구비하는 것을 특징으로 한다.
제 6 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 5 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치에 있어서, 상기 흡기 팬은, 상기 외기를 상기 X 선원을 향하여 도입하도록 구성되어 있고, 상기 형광 X 선 분석 장치는, 상기 X 선원의 주위에 형성되어 상기 X 선원의 주위에 공기를 순환시키는 순환용 팬을 구비하고 있고, 상기 제어부가, 상기 온도 센서에서 검출한 온도 정보에 기초하여, 상기 흡기 팬, 상기 배기 팬, 상기 순환용 팬을 선택적으로 구동시켜 상기 조정을 실시하는 것을 특징으로 한다.
제 7 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 6 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치에 있어서, 상기 온도 센서는, 상기 X 선원에 장착되어 상기 X 선원의 온도를 검출하는 것을 특징으로 한다.
제 8 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치는, 제 5 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치에 있어서, 상기 흡기 팬과 상기 X 선원 사이에 배치되어 상기 흡기 팬에 의해 도입된 상기 외기를 가열하는 히터를 구비하고 있고, 상기 온도 센서는, 상기 X 선원에 장착되어 상기 X 선원의 온도를 검출하는 제 1 온도 센서와, 상기 히터와 상기 X 선원 사이에 배치되어 상기 가열 공기의 온도를 검출하는 제 2 온도 센서로 이루어지고, 상기 제어부가, 상기 제 1, 제 2 온도 센서에서 검출한 온도 정보에 기초하여, 상기 흡기 팬, 상기 배기 팬, 상기 히터를 선택적으로 구동시켜 상기 조정을 실시하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 이하의 효과를 발휘한다.
즉, 본 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치에 의하면, 제어부가, 온도 센서에서 검출한 온도 정보에 기초하여, 외기용 팬을 구동시켜 X 선원의 주위의 분위기 온도를 일정한 온도로 조정하기 때문에, 비교적 간이한 구성 및 제어에 의해, 저비용으로 X 선원과 폴리캐필러리 사이의 온도 변동을 억제할 수 있어, 위치 어긋남에 의한 출력 강도의 변동을 억제하는 것이 가능해진다. 따라서, X 선원이나 장치 주변의 온도가 변화해도, 장치 내부의 분위기 온도를 일정하게 유지하여 출력 강도의 변동을 억제할 수 있어 안정적인 측정이 가능해진다.
도 1 은, 본 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치의 제 1 실시형태를 나타내는 전체 구성도이다.
도 2 는, 본 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치의 제 2 실시형태를 나타내는 전체 구성도이다.
이하, 본 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치의 제 1 실시형태를 도 1 을 참조하면서 설명한다.
본 실시형태의 형광 X 선 분석 장치 (1) 는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 시료 (S) 에 대해 1 차 X 선을 조사하는 X 선원 (2) 과, X 선원 (2) 으로부터 조사되는 1 차 X 선을 집광하여 시료 (S) 에 대한 조사 면적을 작게 하는 집광 소자 (3) 와, 1 차 X 선이 조사된 시료 (S) 로부터 발생하는 형광 X 선을 검출하는 검출기 (4) 와, X 선원 (2), 집광 소자 (3) 및 검출기 (4) 를 수납하는 케이싱 (5) 을 구비하고 있다.
또, 이 형광 X 선 분석 장치 (1) 는, X 선원 (2) 에 설치된 온도 센서 (6) 와, 케이싱 (5) 에 2 개 형성되어 내부와 외부의 공기를 교체 가능한 외기용 팬 (7) 과, X 선원 (2) 의 주위에 형성된 순환용 팬 (8) 과, 온도 센서 (6) 에서 검출한 온도 정보에 기초하여, 외기용 팬 (7) 및 순환용 팬 (8) 을 구동시켜 X 선원 (2) 의 주위의 분위기 온도를 일정한 온도로 조정하는 제어부 (C) 를 구비하고 있다.
상기 X 선원 (2) 은, 1 차 X 선을 조사 가능한 X 선 관구로서, 관구 내의 필라멘트 (음극) 로부터 발생한 열 전자가 필라멘트 (음극) 와 타깃 (양극) 사이에 인가된 전압에 의해 가속되고, 타깃의 W (텅스텐), Mo (몰리브덴), Cr (크롬) 등에 충돌하여 발생한 X 선을 1 차 X 선으로 하여 베릴륨박 등의 창으로부터 출사하는 것이다.
상기 검출기 (4) 는, X 선의 입사창에 설치되어 있는 반도체 검출 소자 (예를 들어, pin 구조 다이오드인 Si (실리콘) 소자) (도시 생략) 를 구비하고, X 선 광자 1 개가 입사되면, 이 X 선 광자 1 개에 대응하는 전류 펄스가 발생하는 것이다. 이 전류 펄스의 순간적인 전류값이, 입사된 특성 X 선의 에너지에 비례하고 있다. 또, 검출기 (4) 는, 반도체 검출 소자에서 발생한 전류 펄스를 전압 펄스로 변환, 증폭시켜, 신호로서 출력하도록 설정되어 있다.
상기 시료 (S) 는, 케이싱 (5) 내에 설치된 시료대 (9) 위에 재치되어 분석에 제공된다.
상기 집광 소자 (3) 는, X 선원 (2) 에 위치 조정 기구 (10) 를 개재하여 장착되어 있는 폴리캐필러리이다. 이 집광 형광 소자 (3) 는, 기단이 X 선원 (2) 으로부터의 1 차 X 선이 입사 가능하게 기단이 배치되어 있음과 함께, 집광된 1 차 X 선을 출사하는 선단이 시료대 (9) 를 향하여 배치되어 있다. 상기 위치 조정 기구 (10) 는, 집광 소자 (3) 의 기단부를 유지함과 함께 출력 강도가 최대가 되도록 X 선원 (2) 과 집광 소자 (3) 의 상대적인 위치를 조정하는 이미 알려진 3 축 조정 기구이다. 또한, 집광 소자 (3) 로는, 모노캐필러리, 콜리메이터 또는 폴리캐필러리가 바람직하지만, 집속 결정 등을 채용해도 상관없다.
상기 온도 센서 (6) 는, 예를 들어 서미스터 소자 등이 채용되고, X 선원 (2) 의 외측에 설치되어 있다.
상기 2 개의 외기용 팬 (7) 은, 서로 케이싱 (5) 의 대향하는 측벽부에 설치되어, 일방 (흡기 팬) 이 외기를 내부로 흡기하여 도입하는 방향으로 팬이 회전되고, 타방 (배기 팬) 이 내부의 공기를 외부로 배기하는 방향으로 팬이 회전되어 구동된다.
상기 제어부 (C) 는, X 선원 (2), 검출기 (4) 및 시료대 (9) 에도 접속되고, 이들도 제어하는 CPU 등에 의해 구성된 컴퓨터이다.
또한, 본 실시형태의 형광 X 선 분석 장치 (1) 는, 검출기 (4) 에 접속되어, 검출기 (4) 로부터의 신호를 분석하는 분석기 (도시 생략) 를 구비하고 있다. 이 분석기는, 상기 신호로부터 전압 펄스의 파고 (波高) 를 얻어 에너지 스펙트럼을 생성하는 파고 분석기 (멀티채널 펄스 하이트 애널라이저) 이다.
다음으로, 본 실시형태의 형광 X 선 분석 장치 (1) 에 의한 온도 제어 방법에 대해 설명한다.
예를 들어, 장치 주변의 외기 온도가 10 ∼ 30 ℃ 의 범위인 경우, 온도 센서 (6) 에서 검출되는 X 선원 (2) 의 온도가 33 ℃ 가 되도록, 제어부 (C) 가 외기용 팬 (7) 및 순환용 팬 (8) 을 구동 제어한다. 이와 같이 제어부 (C) 는, 온도 센서 (6) 에서 검출하는 온도가 외기 온도의 상한보다 약간 높은 온도가 되도록 온도 제어를 실시한다.
즉, 온도 센서 (6) 에서 검출한 온도가 33 ℃ 보다 낮은 경우, 제어부 (C) 는 순환용 팬 (8) 만을 구동시킨다. 통상적으로, X 선원 (2) 의 관구는 50 W 정도에서 동작하고 있고, 관구 자체가 열을 갖고 있기 때문에, 이것을 열원으로 하여 케이싱 (5) 내의 분위기 온도를 상승시키는 효과를 갖고 있다. 따라서, X 선원 (2) 으로부터의 열을 순환용 팬 (8) 에 의한 케이싱 (5) 내의 공기를 유동시킴으로써, 케이싱 (5) 내의 분위기 온도가 33 ℃ 가 되도록 제어한다.
또, 온도 센서 (6) 에서 검출한 온도가 33 ℃ 보다 높은 경우, 제어부 (C) 는 2 개의 외기용 팬 (7) 과 순환용 팬 (8) 의 양방을 구동시킨다. 이로써, 외기용 팬 (7) 에 의해 낮은 온도의 외기를 도입함과 함께 순환용 팬 (8) 에 의해 케이싱 (5) 내의 분위기를 순환시켜, 분위기 온도를 33 ℃ 가 되도록 낮출 수 있다.
이와 같이 본 실시형태의 형광 X 선 분석 장치 (1) 에서는, 제어부 (C) 가, 온도 센서 (6) 에서 검출한 온도 정보에 기초하여, 외기용 팬 (7) 을 구동시켜 X 선원 (2) 의 주위의 분위기 온도를 일정한 온도로 조정하기 때문에, 종래 기술과 같이 X 선원을 부분적으로 온도 제어하는 것이 아니라, X 선원 (2) 의 주위의 분위기 전체를 일정한 온도로 온도 제어함으로써, 전체적으로 온도 변동을 없게 하여 위치 어긋남을 억제할 수 있다.
따라서, X 선원 (2) 에 직접 온도 제어 기구를 장착하여 구조를 복잡화시킬 필요가 없고, 열원이 되는 X 선원 (2) 과 공기 교체를 실시하는 외기용 팬 (7) 에 의한 비교적 간이한 구성과 제어에 의해, X 선원 (2) 과 집광 소자 (3) 사이의 온도 변동을 억제할 수 있어, 위치 어긋남에 의한 출력 강도의 변동을 억제하는 것이 가능해진다.
또, 제어부 (C) 가 순환용 팬 (8) 도 구동시켜 온도 조정을 실시하기 때문에, 외기용 팬 (7) 의 구동만으로는 냉각 효과가 충분하지 않은 경우 등에, 외기용 팬 (7) 뿐만 아니라 순환용 팬 (8) 도 구동시킴으로써, X 선원 (2) 의 주위의 분위기를 순환시켜, 체류에 의한 온도차가 발생하지 않도록 할 수 있다.
다음으로, 본 발명에 관련된 형광 X 선 분석 장치의 제 2 실시형태에 대하여, 도 2 를 참조하여 이하에 설명한다. 또한, 이하의 실시형태의 설명에 있어서, 상기 실시형태에 있어서 설명한 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 붙이고, 그 설명은 생략한다.
제 2 실시형태와 제 1 실시형태의 상이한 점은, 제 1 실시형태에서는, 외기용 팬 (7) 등의 팬에 의해 온도 조정되고 있는 데에 반하여, 제 2 실시형태의 형광 X 선 분석 장치 (21) 에서는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 외기를 도입하는 외기용 팬 (7) 과 X 선원 (2) 사이에 배치된 히터 (22) 를 구비하고 있어, 제어부 (C) 가, 히터 (22) 도 구동시켜 온도 조정을 실시하는 점이다. 또한, 제 2 실시형태에서는 순환용 팬 (8) 은 설치되어 있지 않다.
또, 제 2 실시형태에서는, 2 개의 온도 센서 (6A, 6B) 가 설치되어 있는 점에서도 제 1 실시형태와 상이하다. 즉, 일방의 온도 센서 (6A) 는 제 1 실시형태와 마찬가지로 X 선원 (2) 에 장착되어 있음과 함께, 타방의 온도 센서 (6B) 는 X 선원 (2) 의 주위로서, 히터 (22) 와 X 선원 (2) 사이에 설치되어 있다. 따라서, 이 온도 센서 (6B) 는, 히터 (22) 로부터 X 선원 (2) 을 향하여 송출되는 온풍의 온도를 직접 측정 가능하다.
이와 같이 제 2 실시형태의 형광 X 선 분석 장치 (21) 에서는, 제어부 (C) 가 히터 (22) 도 구동시켜 온도 조정을 실시하기 때문에, 외기용 팬 (7) 에 의해 도입한 외기의 온도가 지나치게 낮은 경우나, X 선원 (2) 자체의 열만으로는 분위기 온도의 상승이 충분하지 않은 경우라도, 도입한 외기를 히터 (22) 에 의해 가열하여 온풍으로 함으로써, 분위기 온도를 용이하게 높일 수 있어, 보다 유연한 온도 제어가 가능해진다. 특히, 제 2 실시형태에서는, X 선원 (2) 으로 보내지는 온풍의 온도를 온도 센서 (6B) 로 측정하고, 이 온풍의 온도 정보와 온도 센서 (6A) 로부터의 X 선원 (2) 의 온도 정보의 2 가지 정보에 기초하여 온도 조정을 실시하기 때문에, 케이싱 (5) 내 전체의 분위기 온도를 보다 고정밀도로 제어하는 것이 가능하다.
또한, 본 발명의 기술 범위는 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지의 변경을 가하는 것이 가능하다.
예를 들어, 상기 제 2 실시형태에 있어서, 순환용 팬 (8) 을 형성하도록 구성해도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 파고 분석기로 X 선의 에너지와 강도를 측정하는 에너지 분산 방식의 형광 X 선 분석 장치에 적용했지만, 형광 X 선을 분광 결정에 의해 분광하고, X 선의 파장과 강도를 측정하는 파장 분산 방식의 형광 X 선 분석 장치에 적용해도 상관없다.
1, 21 : 형광 X 선 분석 장치
2 : X 선원
3 : 집광 소자 (폴리캐필러리)
4 : 검출기
5 : 케이싱
6, 6A, 6B : 온도 센서
7 : 외기용 팬
8 : 순환용 팬
22 : 히터
C : 제어부
S : 시료

Claims (8)

  1. 시료에 대해 1 차 X 선을 조사하는 X 선원과, 상기 X 선원으로부터 조사되는 상기 1 차 X 선을 집광하여 상기 시료에 대한 조사 면적을 작게 하는 집광 소자와, 상기 1 차 X 선이 조사된 상기 시료로부터 발생하는 형광 X 선을 검출하는 검출기와, 적어도 상기 X 선원 및 상기 집광 소자를 수납하는 케이싱을 구비한 형광 X 선 분석 장치로서,
    상기 X 선원 및 상기 X 선원의 주위의 적어도 일방에 설치된 온도 센서와,
    상기 케이싱에 적어도 하나 형성되어 내부와 외부의 공기를 교체 가능한 외기용 팬과,
    상기 온도 센서에서 검출한 온도 정보에 기초하여, 상기 외기용 팬을 구동시켜 상기 X 선원의 주위의 분위기 온도를 일정한 온도로 조정하는 제어부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 X 선원의 주위에 형성된 순환용 팬을 구비하고 있고,
    상기 제어부가, 상기 순환용 팬도 구동시켜 상기 조정을 실시하는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 외기를 도입하는 상기 외기용 팬과 상기 X 선원 사이에 배치된 히터를 구비하고 있고,
    상기 제어부가, 상기 히터도 구동시켜 상기 조정을 실시하는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 집광 소자가, 폴리캐필러리인 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 외기용 팬은, 상기 외기를 상기 케이싱에 도입하는 흡기 팬과, 상기 내부의 공기를 배출하는 배기 팬을 구비하는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 흡기 팬은, 상기 외기를 상기 X 선원을 향하여 도입하도록 구성되어 있고,
    상기 형광 X 선 분석 장치는, 상기 X 선원의 주위에 형성되어 상기 X 선원의 주위에 공기를 순환시키는 순환용 팬을 구비하고 있고,
    상기 제어부가, 상기 온도 센서에서 검출한 온도 정보에 기초하여, 상기 흡기 팬, 상기 배기 팬, 상기 순환용 팬을 선택적으로 구동시켜 상기 조정을 실시하는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 온도 센서는, 상기 X 선원에 장착되어 상기 X 선원의 온도를 검출하는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 흡기 팬과 상기 X 선원 사이에 배치되어 상기 흡기 팬에 의해 도입된 상기 외기를 가열하는 히터를 구비하고 있고,
    상기 온도 센서는, 상기 X 선원에 장착되어 상기 X 선원의 온도를 검출하는 제 1 온도 센서와, 상기 히터와 상기 X 선원 사이에 배치되어 상기 가열 공기의 온도를 검출하는 제 2 온도 센서로 이루어지고,
    상기 제어부가, 상기 제 1, 제 2 온도 센서에서 검출한 온도 정보에 기초하여, 상기 흡기 팬, 상기 배기 팬, 상기 히터를 선택적으로 구동시켜 상기 조정을 실시하는 것을 특징으로 하는 형광 X 선 분석 장치.
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