JP7030077B2 - X線分析装置 - Google Patents
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Description
マップ分析は、試料に照射される電子線または試料ステージを走査し、走査信号と同期してX線強度を測定することにより元素の分布を取得することにより行われる。これらの分析は、1つ1つの分析時間が数分から数十分に及ぶことがある。これらの分析を組み合わせて連続して実行することも多く行われ、この場合、分析時間が長時間に及ぶこともある。
試料ステージと、
前記試料ステージに載置された試料から放出されたX線を分光する分光素子、および前記分光素子で分光されたX線を検出するX線検出器を備えた分光器と、
前記試料ステージの温度を計測するための第1温度センサーおよび前記分光器の温度を計測するための第2温度センサーの少なくとも一方を含む温度計測部と、
前記分光器のキャリブレーションデータ、および前記分光器のキャリブレーションを実行したときの前記温度計測部における計測結果が記憶されている記憶部と、
前記温度計測部における計測結果を取得して、前記記憶部に記憶されている前記キャリブレーションを実行したときの計測結果に対する温度変化量を求め、当該温度変化量に基づいて、前記キャリブレーションを実行すべき旨を通知する通知部と、
を含み、
前記通知部は、
前記第1温度センサーで計測された前記試料ステージの温度を取得して、前記記憶部に記憶されている前記キャリブレーションを実行したときの前記試料ステージの温度に対する温度変化量を求め、当該温度変化量が第1の変化量を超えた場合に、前記キャリブレーションを実行すべき旨を通知する。
本発明に係るX線分析装置の一態様は、
試料ステージと、
前記試料ステージに載置された試料から放出されたX線を分光する分光素子、および前記分光素子で分光されたX線を検出するX線検出器を備えた分光器と、
前記試料ステージの温度を計測するための第1温度センサーおよび前記分光器の温度を計測するための第2温度センサーの少なくとも一方を含む温度計測部と、
前記分光器のキャリブレーションデータ、および前記分光器のキャリブレーションを実行したときの前記温度計測部における計測結果が記憶されている記憶部と、
前記温度計測部における計測結果を取得して、前記記憶部に記憶されている前記キャリブレーションを実行したときの計測結果に対する温度変化量を求め、当該温度変化量に基づいて、前記キャリブレーションを実行すべき旨を通知する通知部と、を備えたX線分析装置であって、
前記X線分析装置が配置された部屋の温度を計測する第3温度センサーを含み、
前記通知部は、前記第3温度センサーにおける計測結果を取得して、前記部屋の温度変化量を求め、前記部屋の温度変化量が第3の変化量を超えた場合に、前記キャリブレーションを実行すべきでない旨を通知する。
試料ステージと、
前記試料ステージに載置された試料から放出されたX線を分光する分光素子、および前記分光素子で分光されたX線を検出するX線検出器を備えた分光器と、
前記試料ステージの温度を計測するための第1温度センサーおよび前記分光器の温度を計測するための第2温度センサーの少なくとも一方を含む温度計測部と、
前記分光器のキャリブレーションデータ、および前記分光器のキャリブレーションを実行したときの前記温度計測部における計測結果が記憶されている記憶部と、
前記温度計測部における計測結果を取得して、前記記憶部に記憶されている前記キャリブレーションを実行したときの計測結果に対する温度変化量を求め、当該温度変化量に基づいて、前記キャリブレーションを実行する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記第1温度センサーで計測された前記試料ステージの温度を取得して、前記記憶部に記憶されている前記キャリブレーションを実行したときの前記試料ステージの温度に対する温度変化量を求め、当該温度変化量が第1の変化量を超えた場合に、前記キャリブレーションを実行する。
うなX線分析装置では、適切なタイミングでキャリブレーションを行うことができる。
試料に照射される電子線または試料ステージを走査して、マップ分析を行うX線分析装置であって、
試料ステージと、
前記試料ステージに載置された試料から放出されたX線を分光する分光素子、および前記分光素子で分光されたX線を検出するX線検出器を備えた分光器と、
前記試料ステージの温度を計測するための第1温度センサーおよび前記分光器の温度を計測するための第2温度センサーの少なくとも一方を含む温度計測部と、
前記X線検出器の出力信号を取得して、前記マップ分析を行う分析部と、
前記分光器のキャリブレーションデータ、および前記分光器のキャリブレーションを実行したときの前記温度計測部における計測結果が記憶されている記憶部と、
前記マップ分析の結果に温度変化の影響がある旨と通知する通知部と、
を含み、
前記通知部は、
前記マップ分析が開始されてから前記マップ分析が終了するまでの間の前記温度計測部における計測結果を取得して、前記キャリブレーションを実行したときの計測結果に対する温度変化量を求め、
当該温度変化量に基づいて、前記マップ分析の結果に温度変化の影響があるか否かを判
定し、
前記マップ分析の結果に温度変化の影響があると判定した場合には、前記マップ分析の結果に温度変化の影響がある旨の情報と、前記マップ分析の結果と、を関連付けて前記記憶部に記憶させ、前記マップ分析の結果および前記マップ分析の結果に温度変化の影響がある旨を通知する。
明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
1.1. X線分析装置
まず、第1実施形態に係るX線分析装置について図面を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係るX線分析装置100の構成を示す図である。X線分析装置100は、電子プローブマイクロアナライザー(EPMA)である。
憶部42に記憶されたプログラムを実行することにより実現できる。処理部30は、記録部32と、通知部34と、を含む。
次に、処理部30の処理について説明する。まず、記録部32の処理について説明する
。
X線分析装置100は、例えば、以下の特徴を有する。
次に、X線分析装置100の変形例について説明する。上記では、温度計測部20が、第1温度センサー22および第2温度センサー24を有していたが、温度計測部20は、第1温度センサー22のみを有していてもよい。この場合、通知部34は、第1温度センサー22で計測された試料ステージ15の温度を取得して、記憶部42に記憶されているキャリブレーションを実行したときの試料ステージ15の温度に対する温度変化量を求め、当該温度変化量が第1の変化量を超えた場合に、キャリブレーションを実行すべき旨を通知する。
得して、記憶部42に記憶されているキャリブレーションを実行したときの波長分散型X線分光器18の温度に対する温度変化量を求め、当該温度変化量が第2の変化量を超えた場合に、キャリブレーションを実行すべき旨を通知する。
2.1. X線分析装置
次に、第2実施形態に係るX線分析装置について、図面を参照しながら説明する。図7は、第2実施形態に係るX線分析装置200の構成を示す図である。以下、第2実施形態に係るX線分析装置200において、第1実施形態に係るX線分析装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、通知部34の処理について説明する。図8は、通知部34の処理の一例を示すフローチャートである。
02のNo)、ステップS200に戻って、部屋の温度変化量を求める。
3.1. X線分析装置
次に、第3実施形態に係るX線分析装置について、図面を参照しながら説明する。図9は、第3実施形態に係るX線分析装置300の構成を示す図である。以下、第3実施形態に係るX線分析装置300において、第1実施形態に係るX線分析装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、制御部36の処理について説明する。図10は、制御部36の処理の一例を示すフローチャートである。以下では、上述した図6に示す通知部34の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
4.1. X線分析装置
次に、第4実施形態に係るX線分析装置について、図面を参照しながら説明する。図11は、第4実施形態に係るX線分析装置400の構成を示す図である。以下、第4実施形態に係るX線分析装置400において、第1実施形態に係るX線分析装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図12は、分析部38の処理の一例を示すフローチャートである。以下では、上述した図6に示す通知部34の処理の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
4)。
5.1. X線分析装置
次に、第5実施形態に係るX線分析装置について、図面を参照しながら説明する。図13は、第5実施形態に係るX線分析装置500の構成を示す図である。以下、第5実施形態に係るX線分析装置500において、第1実施形態に係るX線分析装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
X線スペクトルを同時に測定できる。
X線分析装置500においても、通知部34は、図6に示す通知部34の処理と同様の処理を行う。したがって、X線分析装置500では、X線分析装置100と同様の作用効果を奏することができる。
Claims (7)
- 試料ステージと、
前記試料ステージに載置された試料から放出されたX線を分光する分光素子、および前記分光素子で分光されたX線を検出するX線検出器を備えた分光器と、
前記試料ステージの温度を計測するための第1温度センサーおよび前記分光器の温度を計測するための第2温度センサーの少なくとも一方を含む温度計測部と、
前記分光器のキャリブレーションデータ、および前記分光器のキャリブレーションを実行したときの前記温度計測部における計測結果が記憶されている記憶部と、
前記温度計測部における計測結果を取得して、前記記憶部に記憶されている前記キャリブレーションを実行したときの計測結果に対する温度変化量を求め、当該温度変化量に基づいて、前記キャリブレーションを実行すべき旨を通知する通知部と、
を含み、
前記通知部は、
前記第1温度センサーで計測された前記試料ステージの温度を取得して、前記記憶部に記憶されている前記キャリブレーションを実行したときの前記試料ステージの温度に対する温度変化量を求め、当該温度変化量が第1の変化量を超えた場合に、前記キャリブレーションを実行すべき旨を通知する、X線分析装置。 - 請求項1において、
前記通知部は、
前記第2温度センサーで計測された前記分光器の温度を取得して、前記記憶部に記憶されている前記キャリブレーションを実行したときの前記分光器の温度に対する温度変化量を求め、当該温度変化量が第2の変化量を超えた場合に、前記キャリブレーションを実行すべき旨を通知する、X線分析装置。 - 請求項1または2において、
前記X線分析装置が配置された部屋の温度を計測する第3温度センサーを含み、
前記通知部は、前記第3温度センサーにおける計測結果を取得して、前記部屋の温度変化量を求め、前記部屋の温度変化量が第3の変化量を超えた場合に、前記キャリブレーシ
ョンを実行すべきでない旨を通知する、X線分析装置。 - 試料ステージと、
前記試料ステージに載置された試料から放出されたX線を分光する分光素子、および前記分光素子で分光されたX線を検出するX線検出器を備えた分光器と、
前記試料ステージの温度を計測するための第1温度センサーおよび前記分光器の温度を計測するための第2温度センサーの少なくとも一方を含む温度計測部と、
前記分光器のキャリブレーションデータ、および前記分光器のキャリブレーションを実行したときの前記温度計測部における計測結果が記憶されている記憶部と、
前記温度計測部における計測結果を取得して、前記記憶部に記憶されている前記キャリブレーションを実行したときの計測結果に対する温度変化量を求め、当該温度変化量に基づいて、前記キャリブレーションを実行すべき旨を通知する通知部と、を備えたX線分析装置であって、
前記X線分析装置が配置された部屋の温度を計測する第3温度センサーを含み、
前記通知部は、前記第3温度センサーにおける計測結果を取得して、前記部屋の温度変化量を求め、前記部屋の温度変化量が第3の変化量を超えた場合に、前記キャリブレーションを実行すべきでない旨を通知する、X線分析装置。 - 試料ステージと、
前記試料ステージに載置された試料から放出されたX線を分光する分光素子、および前記分光素子で分光されたX線を検出するX線検出器を備えた分光器と、
前記試料ステージの温度を計測するための第1温度センサーおよび前記分光器の温度を計測するための第2温度センサーの少なくとも一方を含む温度計測部と、
前記分光器のキャリブレーションデータ、および前記分光器のキャリブレーションを実行したときの前記温度計測部における計測結果が記憶されている記憶部と、
前記温度計測部における計測結果を取得して、前記記憶部に記憶されている前記キャリブレーションを実行したときの計測結果に対する温度変化量を求め、当該温度変化量に基づいて、前記キャリブレーションを実行する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記第1温度センサーで計測された前記試料ステージの温度を取得して、前記記憶部に記憶されている前記キャリブレーションを実行したときの前記試料ステージの温度に対する温度変化量を求め、当該温度変化量が第1の変化量を超えた場合に、前記キャリブレーションを実行する、X線分析装置。 - 請求項5において、
前記制御部は、
前記第2温度センサーで計測された前記分光器の温度を取得して、前記記憶部に記憶されている前記キャリブレーションを実行したときの前記分光器の温度に対する温度変化量を求め、当該温度変化量が第2の変化量を超えた場合に、前記キャリブレーションを実行する、X線分析装置。 - 試料に照射される電子線または試料ステージを走査して、マップ分析を行うX線分析装置であって、
試料ステージと、
前記試料ステージに載置された試料から放出されたX線を分光する分光素子、および前記分光素子で分光されたX線を検出するX線検出器を備えた分光器と、
前記試料ステージの温度を計測するための第1温度センサーおよび前記分光器の温度を計測するための第2温度センサーの少なくとも一方を含む温度計測部と、
前記X線検出器の出力信号を取得して、前記マップ分析を行う分析部と、
前記分光器のキャリブレーションデータ、および前記分光器のキャリブレーションを実行したときの前記温度計測部における計測結果が記憶されている記憶部と、
前記マップ分析の結果に温度変化の影響がある旨と通知する通知部と、
を含み、
前記通知部は、
前記マップ分析が開始されてから前記マップ分析が終了するまでの間の前記温度計測部における計測結果を取得して、前記キャリブレーションを実行したときの計測結果に対する温度変化量を求め、
当該温度変化量に基づいて、前記マップ分析の結果に温度変化の影響があるか否かを判定し、
前記マップ分析の結果に温度変化の影響があると判定した場合には、前記マップ分析の結果に温度変化の影響がある旨の情報と、前記マップ分析の結果と、を関連付けて前記記憶部に記憶させ、前記マップ分析の結果および前記マップ分析の結果に温度変化の影響がある旨を通知する、X線分析装置。
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