JP6642372B2

JP6642372B2 - Ｘ線分析装置

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Publication number: JP6642372B2
Application number: JP2016202173A
Authority: JP
Inventors: 隆雄丸井; 伊藤　武史; 武史伊藤; 中村　健一郎; 健一郎中村
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2016-10-14
Filing date: 2016-10-14
Publication date: 2020-02-05
Anticipated expiration: 2036-10-14
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Description

本発明は、試料中に含まれる元素の情報を取得するＸ線分析装置に関する。

蛍光Ｘ線分析装置は、固体試料や粉体試料や液体試料に一次Ｘ線を照射し、一次Ｘ線により励起されて放出される蛍光Ｘ線を検出することによって、その試料に含まれる元素の定性や定量分析を行うものである。

図４は、一般的な蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図である。また、図５は、図４に示す蛍光Ｘ線分析装置の開放状態（非測定状態）である。なお、紙面上の左右方向をＸ方向とし、紙面に垂直な方向をＹ方向とし、紙面上の上下方向をＺ方向とする。
蛍光Ｘ線分析装置４０１は、試料Ｓが内部に配置される防護ケース２０と、Ｘ線管球１０とコリメータ（シャッタ）４１と検出器３０とＣＣＤカメラ４５とが内部に配置された装置本体部５０と、防護ケース２０を上下方向に移動させるケース駆動機構４２と、コリメータ４１を移動させるコリメータ駆動機構４３と、装置全体を制御するコンピュータ４６０とを備える（例えば、特許文献１参照）。

装置本体部５０は、上面と下面と右側壁と前側壁と左側壁と後側壁とを有する筐体部５１を備え、筐体部５１の上面の中央部には、例えば直径１５ｍｍの円形状の開口５１ａが形成されており、図のように試料Ｓの分析面が開口５１ａを塞ぐようにして分析位置に載置されるようになっている。

図６は、図４に示すＸ線管球１０を示す断面図である。Ｘ線管球１０は、陽極であるターゲット１１と陰極であるフィラメント１２とを内部に有する円筒形状の筐体１３を備える。
筐体１３の側壁には、例えばＢｅ（ベリリウム）製の円形状の出射窓１３ａが形成されており、出射窓１３ａと対向する位置にターゲット１１の端面が配置されるとともに、ターゲット１１の端面と対向する位置にフィラメント１２の先端が配置されている。

このようなＸ線管球１０によれば、高圧電源（図示せず）によってターゲット１１に高電圧を印加するとともに、低圧電源（図示せず）によってフィラメント１２に低電圧を印加することで、フィラメント１２から放射された熱電子をターゲット１１の端面に衝突させ、ターゲット１１の端面で発生した一次Ｘ線を出射窓１３ａから出射する。

そして、Ｘ線管球１０は、開口５１ａの左下方に位置するように固定されており、Ｘ線管球１０から出射される一次Ｘ線が開口５１ａ中の所定照射範囲（例えば直径１０ｍｍの円形状）へ入射するように構成されている。
コリメータ４１は、大円形状（例えば直径１０ｍｍ）の開口４１ａと、小円形状（例えば直径１ｍｍ）の開口４１ｂとが並ぶように形成された平板であり、Ｘ線管球１０と開口５１ａとの間に配置されている。そして、コリメータ４１は、コリメータ駆動機構４３によって、一次Ｘ線の光軸に直交する面内でＹ方向と−Ｙ方向とに移動可能となっている。よって、Ｘ線管球１０から出射される所定照射範囲（例えば直径１０ｍｍの円形状）の一次Ｘ線のうち、任意の設定照射有効範囲の一次Ｘ線がコリメータ４１を通過するようになっている。これにより、試料Ｓにおいて、例えば、一次Ｘ線によって直径１０ｍｍの円形状の設定測定有効領域が照射されたり、一次Ｘ線によって直径１ｍｍの円形状の設定測定有効領域が照射されたり、又は全く照射されなかったりする。

検出器３０は、例えば、導入窓が形成された筐体を有し、筐体の内部に蛍光Ｘ線を検出する検出素子（半導体素子）が配置されている。そして、検出器３０は、開口５１ａの右下方に位置するように固定されており、試料Ｓで発生する蛍光Ｘ線が導入窓に入射するように構成されている。

ＣＣＤカメラ４５は、試料Ｓの分析面に対向する位置に設けられており、試料Ｓの分析面画像をコンピュータ４６０に出力するようになっている。

防護ケース２０は、上面と右側壁と前側壁と左側壁と後側壁とを有する筐体部２１を備える。そして、筐体部２１の下面には気密シール用のＯリング（図示せず）が取り付けられており、このＯリングを介して筐体部２１が装置本体部５０の上面に載置されることで、筐体部２１と装置本体部５０の上面とで形成された密閉空間内に試料Ｓが配置されることになる。また、筐体部２１は、真空ポンプ（図示せず）と接続されており、筐体部２１と装置本体部５０の上面とで形成された空間を真空に排気することができるようになっている。

ところで、このような蛍光Ｘ線分析装置４０１において試料Ｓを出し入れする際には、ユーザは、防護ケース２０を装置本体部５０の上面から上方に２０ｃｍ程度移動させることで、試料Ｓを分析位置に配置したり分析位置から取り除いたりしている。このような防護ケース２０は、真空に耐える強度を有し、また、一次Ｘ線を遮蔽する材料で作製する必要があるため、非常に重い（例えば１０ｋｇ）ものとなっているので、防護ケース２０を上下方向に機械的に移動させるために、ケース駆動機構４２が設置されている。

そして、Ｘ線管球１０は一次Ｘ線の強度を安定させるために連続運転することになるので、試料Ｓを交換するために防護ケース２０を上方に移動させるときには、コリメータ４１で出射窓１３ａを遮ることで、ユーザのＸ線被爆を防いでいる。このとき、ユーザのＸ線被爆を確実に防ぐために、蛍光Ｘ線分析装置４０１では、コンピュータ４６０によって、通電中には防護ケース２０かコリメータ４１かの少なくともどちらかを閉じるように設定されている。

特開２００９−００２７９５号公報

ところで、上述したような蛍光Ｘ線分析装置４０１では、固体試料Ｓの一部が破損して開口５１ａから落下したり、液体試料Ｓが容器からこぼれたりすることにより、開口５１ａの下方に位置する出射窓１３ａに試料Ｓが付着することがあった。
また、蛍光Ｘ線分析装置４０１が設置された室内で暖房等の電源が入れられると、室内の空気の温度は上昇するが、熱容量が大きい筐体１３の温度は、なかなか上昇せず低いままとなるため、筐体１３の外周面に水滴が付着することがあった。つまり、結露等によって出射窓１３ａの上に付着した水が残留することがあった。
このように出射窓１３ａに試料Ｓや水が付着すると腐食が発生し、出射窓１３ａに穴が開いて筐体１３内の真空が破れ、運転不能の原因となる。

しかしながら、上述したような蛍光Ｘ線分析装置４０１では、蛍光Ｘ線分析装置４０１の通電中は防護ケース２０かコリメータ４１かの少なくともどちらかが閉じているため、ユーザが出射窓１３ａを目視でチェックすることはできない。そのため、出射窓１３ａが試料Ｓや水等の異物で汚染されたかどうかは、装置技術者が訪問して蛍光Ｘ線分析装置４０１を分解しなければ確認できないという問題点があった。

また、ユーザが固体試料Ｓを出射窓１３ａに落下させた可能性があっても、ユーザには確認する手段がないため装置技術者を訪問させる動機にはならず、実際に出射窓１３ａが汚染されていたとしても、それによって直ちに蛍光Ｘ線分析装置４０１が異常動作を示すわけではないため、装置技術者に点検を依頼する動機にはならなかった。
そこで、本発明は、出射窓１３ａが汚染されたことを容易に確認することができるＸ線分析装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するためになされた本発明のＸ線分析装置は、Ｘ線管と検出器とシャッタとが内部に配置され、測定時に上面の開口部に試料が載置される装置本体部と、前記開口部を覆う測定状態と前記開口部を開放する非測定状態とに移動可能な防護ケースとを備え、前記Ｘ線管は、出射窓が形成されている筐体と、前記筐体の内部に端面が配置された陽極と、前記筐体の内部に配置された陰極とを有し、前記陽極の端面で発生したＸ線を筐体の出射窓から出射し、前記検出器は、前記試料にＸ線が照射されることにより、前記試料で発生したＸ線の強度を検出し、前記シャッタは、前記非測定状態時には前記Ｘ線管の出射窓の前方に配置される一方、前記測定状態時には前記Ｘ線管の出射窓の前方から除去されるＸ線分析装置であって、前記測定状態時に前記Ｘ線管の出射窓を撮像するための撮像装置を備えるようにしている。

以上のように、本発明のＸ線分析装置によれば、出射窓に対する試料や水等の異物の付着を、ユーザが早期に認識することができるため、異物による出射窓の劣化が進行する前に装置技術者を訪問させて、異物の除去や洗浄等を行うことができ、不具合（運転不能等）の発生を防止することができる。

（他の課題を解決するための手段および効果）
また、上記の発明において、前記撮像装置で撮像された出射窓画像と、保存された出射窓画像とを比較することにより、前記出射窓が正常であるか否かを判定する判定部を備えるようにしてもよい。
このようなＸ線分析装置によれば、例えば正常時の出射窓画像や前回使用時の出射窓画像を保存しておくことで、判定部がその出射窓画像と今回の出射窓画像とを比較することにより、出射窓が正常であるか否かを自動的に判定することができる。

また、上記の発明において、前記判定部は、正常でないと判定したときには、警告を発するようにしてもよい。

また、上記の発明において、前記装置本体部の内部に前記撮像装置が配置されるとともに、前記装置本体部の内部に、可視光を反射する鏡が移動可能に配置されるようにしてもよい。
このようなＸ線分析装置によれば、現在測定中の試料を分析位置に載置したままで、鏡を移動させることで出射窓を確認することができる。また、ある試料を置いた直後、さらにその試料を除去する直前に鏡を移動させることで出射窓を確認することができ、その結果、数ある試料のうち、どの試料が汚染の原因になったかを特定しやすく、汚染の対策が容易になる。

また、上記の発明において、前記装置本体部の内部に前記撮像装置が配置されるとともに、前記装置本体部の内部に、Ｘ線を透過し可視光を反射する鏡が配置されるようにしてもよい。
このようなＸ線分析装置によれば、測定をしながら出射窓を確認することができる。よって、測定中に試料の落下等により出射窓が汚染された場合、直ちにＸ線の照射を停止して汚染の発生をユーザに通知することができるため、出射窓の劣化を最小限にすることができる。

そして、上記の発明において、前記防護ケースの内部に前記撮像装置が配置されているようにしてもよい。
さらに、上記の発明において、前記装置本体部の上面の開口部に載置される鏡ユニットを備えるようにしてもよい。

第一実施形態に係る蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図。第二実施形態に係る蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図。第三実施形態に係る蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図。一般的な蛍光Ｘ線分析装置における閉蓋状態の一例を示す概略構成図。一般的な蛍光Ｘ線分析装置における開蓋状態の一例を示す概略構成図。図４に示すＸ線管球を示す断面図。

以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。

＜第一実施形態＞
図１は、本発明の第一実施形態に係る蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図である。なお、先に述べた蛍光Ｘ線分析装置４０１と同様のものについては、同じ符号を付している。
蛍光Ｘ線分析装置１は、試料Ｓが内部に配置される防護ケース２０と、Ｘ線管球１０とコリメータ（シャッタ）４１と検出器３０とＣＣＤカメラ４５と鏡４６とが内部に配置された装置本体部５０と、防護ケース２０を上下方向に移動させるケース駆動機構４２と、コリメータ４１を移動させるコリメータ駆動機構４３と、鏡４６を移動させる鏡駆動機構４４と、装置全体を制御するコンピュータ６０とを備える。

鏡４６は、Ｘ線を透過し可視光を反射する三角柱体であり、例えば樹脂にアルミニウムを薄く蒸着したものである。そして、鏡４６は、鏡駆動機構４４によって、出射窓画像をＣＣＤカメラ４５に導く確認位置と、出射窓画像をＣＣＤカメラ４５に導かない非確認位置との間でＹ方向と−Ｙ方向とに移動可能となっている。

コンピュータ６０は、ＣＰＵ（制御部）６１と入力装置６２と表示装置６３とメモリ６４とを備える。ＣＰＵ６１が処理する機能をブロック化して説明すると、ＣＣＤカメラ４５から画像を取得して表示装置６３に表示する画像取得部６１ａと、検出器３０から蛍光Ｘ線の強度（蛍光スペクトル）を取得する検出器制御部６１ｂと、Ｘ線管球１０から一次Ｘ線を出射させるＸ線源制御部６１ｃと、ケース駆動機構４２とコリメータ駆動機構４３と鏡駆動機構４４とを制御する駆動機構制御部６１ｄと、判定部６１ｅとを有する。また、メモリ６４には、出射窓１３ａが正常なときに撮像された出射窓画像が記憶されるようになっている。

駆動機構制御部６１ｄは、入力装置６２からの入力信号に基づいて、ケース駆動機構４２とコリメータ駆動機構４３と鏡駆動機構４４とに制御信号を出力する制御を行う。
例えば、試料Ｓを分析する際には、ユーザは表示装置６３に表示された試料Ｓの分析面画像を観察しながら、試料Ｓにおける設定測定有効領域が一次Ｘ線によって照射されるように、入力装置６２を用いてコリメータ４１を移動させる。
また、Ｘ線管球１０から一次Ｘ線を出射させた状態で試料Ｓを交換する際には、まず、ユーザは試料Ｓに対する一次Ｘ線の照射を遮蔽するように、入力装置６２を用いてコリメータ４１を移動させる。これにより、防護ケース２０を上方に移動させることが可能となり、ユーザは入力装置６２を用いて防護ケース２０を上方に移動させる。次に、ユーザは試料Ｓを交換した後、入力装置６２を用いて防護ケース２０を下方に移動させる。

そして、ユーザが試料Ｓの一部を出射窓１３ａに落下させた可能性を察知して、出射窓１３ａを確認する際には、まず、ユーザは入力装置６２を用いて鏡４６を確認位置に移動させる。つまり、現在測定中の試料Ｓを分析位置に載置したまま、出射窓１３ａを確認することができる。

画像取得部６１ａは、ＣＣＤカメラ４５から画像を取得して表示装置６３に表示する制御を行う。具体的には、駆動機構制御部６１ｄによって鏡４６が確認位置に配置されているときには、出射窓画像を取得する。一方、駆動機構制御部６１ｄによって鏡４６が非確認位置に配置されているときには、分析面画像を取得する。これにより、ユーザは試料Ｓにおける最適な設定測定有効領域を設定することができる。

判定部６１ｅは、ＣＣＤカメラ４５で撮像された出射窓画像と、メモリ６４に保存されている出射窓画像とを比較することにより、出射窓１３ａが正常であるか否かを判定し、正常でないと判定したときには、警告を発する制御を行う。これにより、ユーザは出射窓１３ａに対する異物の付着を認識することができる。

以上のように、本発明の蛍光Ｘ線分析装置１によれば、鏡４６を用いることで、出射窓１３ａに対する試料Ｓや水等の異物の付着にユーザが気付くことができるため、出射窓１３ａの腐食が進行する前に装置技術者を訪問させて異物の除去や洗浄等を行うことができ、運転不能等の不具合を防止することができる。

＜第二実施形態＞
図２は、本発明の第二実施形態に係る蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図である。なお、先に述べた蛍光Ｘ線分析装置１、４０１と同様のものについては、同じ符号を付している。
蛍光Ｘ線分析装置１０１は、試料Ｓが内部に配置される防護ケース２０と、Ｘ線管球１０とコリメータ（シャッタ）４１と検出器３０とＣＣＤカメラ４５とが内部に配置された装置本体部５０と、防護ケース２０を上下方向に移動させるケース駆動機構４２と、コリメータ４１を移動させるコリメータ駆動機構４３と、鏡ユニット１４６と、Ｘ線管球１０と検出器３０とケース駆動機構４２とコリメータ駆動機構４３とＣＣＤカメラ４５とを制御するコンピュータ１６０とを備える。

鏡ユニット１４６は、下面に鏡が形成されたものであり、装置本体部５０の上面の開口部５１ａの分析位置に、試料Ｓの代わりに載置されるようになっている。そして、鏡ユニット１４６が分析位置に載置されると、出射窓画像をＣＣＤカメラ４５に導くようになっている。

コンピュータ１６０は、ＣＰＵ（制御部）１６１と入力装置６２と表示装置６３とメモリ１６４とを備える。ＣＰＵ１６１が処理する機能をブロック化して説明すると、ＣＣＤカメラ４５から画像を取得して表示装置６３に表示する画像取得部６１ａと、検出器３０から蛍光Ｘ線の強度（蛍光スペクトル）を取得する検出器制御部６１ｂと、Ｘ線管球１０から一次Ｘ線を出射させるＸ線源制御部６１ｃと、ケース駆動機構４２とコリメータ駆動機構４３とを制御する駆動機構制御部１６１ｄとを有する。

駆動機構制御部１６１ｄは、入力装置６２からの入力信号に基づいて、ケース駆動機構４２とコリメータ駆動機構４３とに制御信号を出力する制御を行う。
例えば、試料Ｓを分析する際には、ユーザは表示装置６３に表示された試料Ｓの分析面画像を観察しながら、試料Ｓにおける設定測定有効領域が一次Ｘ線によって照射されるように、入力装置６２を用いてコリメータ４１を移動させる。
また、Ｘ線管球１０から一次Ｘ線を出射させた状態で試料Ｓを交換する際には、まず、ユーザは試料Ｓに対する一次Ｘ線の照射を遮蔽するように、入力装置６２を用いてコリメータ４１を移動させる。これにより、防護ケース２０を上方に移動させることが可能となり、ユーザは入力装置６２を用いて防護ケース２０を上方に移動させる。次に、ユーザは試料Ｓを交換した後、入力装置６２を用いて防護ケース２０を下方に移動させる。

そして、ユーザが試料Ｓの一部を出射窓１３ａに落下させた可能性を察知して、出射窓１３ａを確認する際には、まず、ユーザは試料Ｓに対する一次Ｘ線の照射を遮蔽するように、入力装置６２を用いてコリメータ４１を移動させる。これにより、防護ケース２０を上方に移動させることが可能となり、ユーザは入力装置６２を用いて防護ケース２０を上方に移動させる。次に、ユーザは試料Ｓの代わりに鏡ユニット１４６を分析位置に載置した後、入力装置６２を用いて防護ケース２０を下方に移動させる。これにより、コリメータ４１の開口４１ａに移動させることが可能となり、ユーザは試料Ｓにおける設定測定有効領域が一次Ｘ線によって照射されるように、入力装置６２を用いてコリメータ４１を移動させる。

画像取得部６１ａは、ＣＣＤカメラ４５から画像を取得して表示装置６３に表示する制御を行う。具体的には、ユーザによって鏡ユニット１４６が分析位置に配置されているときには、出射窓画像を取得する。これにより、ユーザは出射窓１３ａに対する異物の付着を認識することができる。一方、試料Ｓが分析位置に配置されているときには、分析面画像を取得する。これにより、ユーザは試料Ｓにおける最適な設定測定有効領域を設定することができる。

以上のように、本発明の蛍光Ｘ線分析装置１０１によれば、鏡ユニット１４６を用いることで、出射窓１３ａに対する試料Ｓや水等の異物の付着にユーザが気付くことができるため、出射窓１３ａの腐食が進行する前に装置技術者を訪問させて異物の除去や洗浄等を行うことができ、運転不能等の不具合を防止することができる。

＜第三実施形態＞
図３は、本発明の第三実施形態に係る蛍光Ｘ線分析装置の一例を示す概略構成図である。なお、先に述べた蛍光Ｘ線分析装置１、１０１、４０１と同様のものについては、同じ符号を付している。
蛍光Ｘ線分析装置２０１は、試料Ｓが内部に配置されるとともにＣＣＤカメラ４５が内部に配置された防護ケース２２０と、Ｘ線管球１０とコリメータ（シャッタ）４１と検出器３０とが内部に配置された装置本体部２５０と、防護ケース２２０を上下方向に移動させるケース駆動機構４２と、コリメータ４１を移動させるコリメータ駆動機構４３と、装置全体を制御するコンピュータ２６０とを備える。

防護ケース２２０は、上面と右側壁と前側壁と左側壁と後側壁とを有する筐体部２１を備える。そして、筐体部２１の下面には気密シール用のＯリング（図示せず）が取り付けられており、このＯリングを介して筐体部２１が装置本体部２５０の上面に載置されることで、筐体部２１と装置本体部２５０の上面とで形成された密閉空間内に試料Ｓが配置されることになる。また、筐体部２１は、真空ポンプ（図示せず）と接続されており、筐体部２１と装置本体部２５０の上面とで形成された空間を真空に排気することができるようになっている。

ＣＣＤカメラ４５は、防護ケース２２０が測定状態となったときには、出射窓１３ａに対向する位置に設けられるようになっており、その際に出射窓画像をコンピュータ２６０に出力するようになっている。

コンピュータ２６０は、ＣＰＵ（制御部）２６１と入力装置６２と表示装置６３とメモリ２６４とを備える。ＣＰＵ２６１が処理する機能をブロック化して説明すると、ＣＣＤカメラ４５から画像を取得して表示装置６３に表示する画像取得部２６１ａと、検出器３０から蛍光Ｘ線の強度（蛍光スペクトル）を取得する検出器制御部６１ｂと、Ｘ線管球１０から一次Ｘ線を出射させるＸ線源制御部６１ｃと、ケース駆動機構４２とコリメータ駆動機構４３とを制御する駆動機構制御部２６１ｄとを有する。

駆動機構制御部２６１ｄは、入力装置６２からの入力信号に基づいて、ケース駆動機構４２とコリメータ駆動機構４３とに制御信号を出力する制御を行う。
例えば、試料Ｓを分析する際には、ユーザは試料Ｓにおける設定測定有効領域が一次Ｘ線によって照射されるように、入力装置６２を用いてコリメータ４１を移動させる。
また、Ｘ線管球１０から一次Ｘ線を出射させた状態で試料Ｓを交換する際には、まず、ユーザは試料Ｓに対する一次Ｘ線の照射を遮蔽するように、入力装置６２を用いてコリメータ４１を移動させる。これにより、防護ケース２２０を上方に移動させることが可能となり、ユーザは入力装置６２を用いて防護ケース２２０を上方に移動させる。次に、ユーザは試料Ｓを交換した後、入力装置６２を用いて防護ケース２２０を下方に移動させる。

そして、ユーザが試料Ｓの一部を出射窓１３ａに落下させた可能性を察知して、出射窓１３ａを確認する際には、まず、ユーザは試料Ｓに対する一次Ｘ線の照射を遮蔽するように、入力装置６２を用いてコリメータ４１を移動させる。これにより、防護ケース２２０を上方に移動させることが可能となり、ユーザは入力装置６２を用いて防護ケース２２０を上方に移動させる。次に、ユーザは試料Ｓを分析位置から除去した後、入力装置６２を用いて防護ケース２２０を下方に移動させる。これにより、コリメータ４１の開口４１ａに移動させることが可能となり、ユーザは試料Ｓにおける設定測定有効領域が一次Ｘ線によって照射されるように、入力装置６２を用いてコリメータ４１を移動させる。

画像取得部２６１ａは、ＣＣＤカメラ４５から画像を取得して表示装置６３に表示する制御を行う。具体的には、試料Ｓが分析位置に配置されていないときには、出射窓画像を取得する。これにより、ユーザは出射窓１３ａに対する異物の付着に気付くことができる。

以上のように、本発明の蛍光Ｘ線分析装置２０１によれば、出射窓１３ａに対する試料Ｓや水等の異物の付着にユーザが気付くことができるため、出射窓１３ａの腐食が進行する前に装置技術者を訪問させて異物の除去や洗浄等を行うことができ、運転不能等の不具合を防止することができる。

＜他の実施形態＞
（１）上述した蛍光Ｘ線分析装置１では、コリメータ４１を移動させるコリメータ駆動機構４３と鏡４６を移動させる鏡駆動機構４４とを備える構成を示したが、コリメータ４１と鏡４６とを一体化して、１個の駆動機構を備えるような構成としてもよい。

（２）上述した蛍光Ｘ線分析装置１では、ユーザが試料Ｓの一部を出射窓１３ａに落下させた可能性を察知した際に、出射窓１３ａを確認するために鏡４６を移動させる構成を示したが、駆動機構制御部６１ｄが、試料Ｓの分析開始直前や分析終了直後等に自動的に制御信号を出力するような構成としてもよい。

本発明は、試料中に含まれる元素の情報を取得するＸ線分析装置等に利用することができる。

１蛍光Ｘ線分析装置
１０Ｘ線管球
１１ターゲット（陽極）
１２フィラメント（陰極）
１３筐体
１３ａ出射窓
２０防護ケース
３０検出器
４１コリメータ（シャッタ）
４５ＣＣＤカメラ（撮像装置）
５０装置本体部
５１ａ開口部
Ｓ試料

Claims

Ｘ線管と検出器とシャッタとが内部に配置され、測定時に上面の開口部に試料が載置される装置本体部と、
前記開口部を覆う測定状態と前記開口部を開放する非測定状態とに移動可能な防護ケースとを備え、
前記Ｘ線管は、出射窓が形成されている筐体と、前記筐体の内部に端面が配置された陽極と、前記筐体の内部に配置された陰極とを有し、前記陽極の端面で発生したＸ線を筐体の出射窓から出射し、
前記検出器は、前記試料にＸ線が照射されることにより、前記試料で発生したＸ線の強度を検出し、
前記シャッタは、前記非測定状態時には前記Ｘ線管の出射窓の前方に配置される一方、前記測定状態時には前記Ｘ線管の出射窓の前方から除去されるＸ線分析装置であって、
前記測定状態時に前記Ｘ線管の出射窓を撮像するための撮像装置を備えることを特徴とするＸ線分析装置。
前記撮像装置で撮像された出射窓画像と、保存された出射窓画像とを比較することにより、前記出射窓が正常であるか否かを判定する判定部を備えることを特徴とする請求項１に記載のＸ線分析装置。
前記判定部は、正常でないと判定したときには、警告を発することを特徴とする請求項２に記載のＸ線分析装置。
前記装置本体部の内部に前記撮像装置が配置されるとともに、前記装置本体部の内部に、可視光を反射する鏡が移動可能に配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のＸ線分析装置。
前記装置本体部の内部に前記撮像装置が配置されるとともに、前記装置本体部の内部に、Ｘ線を透過し可視光を反射する鏡が配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のＸ線分析装置。
前記防護ケースの内部に前記撮像装置が配置されていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のＸ線分析装置。
前記装置本体部の上面の開口部に載置される鏡ユニットを備えることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のＸ線分析装置。