JP6962613B1 - 蛍光x線分析装置、及び、蛍光x線分析装置の制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 待機位置と測定位置との間で試料を移動させる移動機構と、1次X線を前記試料に照射するX線源と、入射する蛍光X線の強度を測定する検出器と、前記移動機構及び前記X線源の動作を制御する第1制御部と、を有する測定部と、
前記検出器が測定した前記蛍光X線の強度に基づいて前記試料の分析を行う分析部と、前記第1制御部と通信を行い、前記測定部を制御する第2制御部と、を有する情報処理部と、
を有し、
前記第1制御部は、前記第1制御部と前記第2制御部との通信が途切れた場合に、前記移動機構に対して、前記測定位置にある前記試料を前記待機位置に退避させる退避制御を行う退避手段を有する、
ことを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 前記第2制御部は、前記第1制御部に対して、所定の時間間隔で通信が正常に行われているか否かの確認に用いる確認信号を送信し、
前記第1制御部は、前記確認信号を所定の時間継続して受信しない場合に前記通信が途切れたと判断し、前記退避制御を行う、
ことを特徴とする請求項1に記載の蛍光X線分析装置。 - 前記第1制御部は、前記通信が途切れた場合に、前記X線源から照射される前記1次X線を切断する切断制御を行う切断手段を有する、ことを特徴とする請求項1または2に記載の蛍光X線分析装置。
- 前記第1制御部は、
前記試料の測定を行う試料室の大気を排出し、前記測定位置を測定環境下に置く排出制御を行う排出手段と、
前記通信が途切れた場合に、前記試料室に大気を導入する導入制御を行う導入手段と、
を有する、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の蛍光X線分析装置。 - 待機位置と測定位置との間で試料を移動させる移動機構と、1次X線を前記試料に照射するX線源と、入射する蛍光X線の強度を測定する検出器と、前記移動機構及び前記X線源の動作を制御する第1制御部と、を有する測定部と、
前記検出器が測定した前記蛍光X線の強度に基づいて前記試料の分析を行う分析部と、前記第1制御部と通信を行い、前記測定部を制御する第2制御部と、を有する情報処理部と、
を有する蛍光X線分析装置の制御方法であって、
前記第1制御部と前記第2制御部との通信が途切れたか否か確認するステップと、
前記通信の切断が確認された場合に、前記移動機構に対して、前記測定位置にある前記試料を前記待機位置に退避させる退避制御を行うステップと、
を有することを特徴とする蛍光X線分析装置の制御方法。
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