DE4130556A1 - Vorrichtung zur totalreflexions-roentgenfluoreszenzanalyse - Google Patents
Vorrichtung zur totalreflexions-roentgenfluoreszenzanalyseInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Totalreflexions-Rönt
genfluoreszenzanalyse (TRFA), bei der die glatte ebene Oberflä
che einer Probe oder Dünnschicht auf einer Probe durch die ein
fallende Röntgenstrahlung angeregt wird und die emittierte Rönt
genfluoreszenzstrahlung spektral erfaßt wird, wobei diese im we
sentlichen aus einer Strahlungsquelle, einem Monochromator,
einer Streustrahlenblende und einem Meßaufnehmer besteht.
Es ist bereits bekannt, Totalreflexion-Röntgenfluoreszenzanalyse
verfahren zur zerstörungsfreien Elementanalyse oberflächennaher
Schichten einzusetzen. Mit diesem bekannten Verfahren können bei
spielsweise Kontaminationen auf Silizium-Wafern mit sehr hoher
Genauigkeit festgestellt werden. Derartige Prüfverfahren gewin
nen aufgrund der erhöhten Reinheitsanforderungen bei der Herstel
lung hochintegrierter elektronischer Bauelemente immer mehr an
Bedeutung.
Bereits aus der DE-OS 28 32 001 und der US-PS 48 58 854 sind Vor
richtungen zur Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse (TRFA)
bekannt. Das mittels derartiger Vorrichtungen durchführbare Meß
verfahren beruht darauf, daß aus einer Röntgenquelle austretende
Röntgenstrahlung unter einem extrem flachen Einfallswinkel auf
die Oberfläche einer zu untersuchenden Probe gelenkt wird, wobei
aufgrund der Total-Reflexion die Röntgenstrahlung nur wenige
Nanometer in die Oberfläche eindringt. Hierdurch wird gewährlei
stet, daß nur die oberflächennahe Schicht meßtechnisch erfaßt
wird, ohne daß die Probe dabei in irgendeiner Weise durch die
Röntgenstrahlung verändert wird. Unter Totalreflexionsbedingung
der Röntgenstrahlung werden nur die Atome der obersten Oberflä
chenschicht durch die nur wenige Nanometer in die Oberfläche ein
dringende primäre Röntgenstrahlung zur Aussendung von Fluores
zenzstrahlung angeregt.
Die Härte der Fluoreszenzstrahlung der Elemente nimmt entspre
chend der Reihenfolge im periodischen System der Elemente stetig
zu. Damit ist die Fluoreszenzintensität der Elemente mit höherer
Ordnungszahl vergleichsweise größer, so daß diese mit der TRFA
problemlos gemessen werden können. Allerdings können mit bislang
bekannten Vorrichtungen nur verhältnismäßig schwere Elemente
sicher erfaßt werden. So kann mit den bekannten Vorrichtungen
zwar noch das Silizium mit der Ordnungszahl 14 problemlos erfaßt
werden. Eine Messung von den Elementen geringerer Ordnungszahl
war jedoch nicht ohne weiteres möglich. Andererseits besteht die
Notwendigkeit, auch Verunreinigungen von Elementen mit geringe
ren Ordnungszahlen, wie beispielsweise Aluminium, Natrium und
Fluor sicher erkennen zu können.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine gattungs
gemäße Vorrichtung zur Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse
an die Hand zu geben, mit der auch Elemente mit vergleichsweise
niedriger Ordnungszahl im Periodensystem festgestellt werden kön
nen.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird es erfindungsgemäß vorgeschlagen,
einerseits die Strahlungsquelle, den Monochromator, die Streu
strahlenblende und den Meßaufnehmer in einem Vakuumgehäuse anzu
ordnen und andererseite den Meßaufnehmer mit einem dünnen Dia
mantfenster mit einer Dicke von kleiner als 1 µm, vorzugsweise im
Bereich von 1/10 µm, auszustatten.
Durch die Kombination dieser Merkmale ist eine hochgenaue Erfas
sung der Fluoreszenzstrahlung insbesondere auch vergleichsweise
leichterer Elemente möglich. Im Stand der Technik war es bislang
üblich, ale Meßfenster im Meßaufnehmer ein Berillium-Fenster vor
zusehen, das eine Dicke in der Größenordnung von 10 µm aufwies.
Im übrigen wurde die Messung unter Umgebungsdruck durchgeführt.
Erst durch die erfindungsgemäß vorgeschlagene Maßnahme ist es
nunmehr möglich, auch Elemente hinreichend genau festzustellen,
deren Fluoreszenzstrahlungshärte vergleichsweise gering ist.
Die Strahlungsquelle kann gemäß einer besonderen Ausgestaltung
der Erfindung eine niederenergetische Röntgenröhre sein.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Strahlungsquelle, der Mo
nochromator, die Streustrahlenblende und der Meßaufnehmer fest,
aber definiert verstellbar im Vakuumgehäuse angeordnet sind. Um
exakt plane Oberflächen in dem Vakuumgehäuse zu schaffen, die
wiederum eine exakte Anordnung der jeweiligen Komponenten ermög
lichen, kann dieses außen um den Mantel umlaufende Verstärkungs
rippen aufweisen, die im wesentlichen parallel verlaufen und in
entsprechenden Abständen Querrippen aufweisen. Das gesamte Vaku
umgehäuse kann beispielsweise als Schweißkonstruktion aus Alumi
nium gefertigt sein.
Die als Strahlungsquelle dienende Röntgenröhre ist während des
Meßvorganges starr im Gehäuse angeordnet. Dabei ist sie in einer
bestimmten Winkelstellung im Gehäuse eingebaut, die den Abgriff
winkel der als Strahlungsquelle dienenden Röntgenröhre vorbe
stimmt. Durch eine entsprechende Steigerung des Abgriffwinkels
wird eine Steigerung der Intensität des Primärspektrums er
reicht. Dies ist insbesondere bei der Analyse leichter Elemente
von Bedeutung. Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform kann
nun die Winkelstellung der Röntgenröhre im Gehäuse verändert wer
den.
Zur Aufnahme des Monochromators kann eine in z-Richtung verstell
bare Monochromatorhalterung vorgesehen sein. Die Monochromator
halterung kann auch mehrere Monochromatoren nebeneinander aufwei
sen, wobei die Monochromatorhalterung in x-Richtung verschieb
lich ausgeführt sein kann, um bestimmte Monochromatoren in den
Strahlengang einzubringen. Hierdurch ist es beispielsweise mög
lich, zunächst vergleichsweise schwerere Elemente durch Auswahl
eines spezifischen Monochromators zu messen und anschließend
nach gegebenenfalls automatischem Verschieben der Monochromator
halterung mittels eines anderen Monochromators Verunreinigungen
der Probe, die aus leichteren Elementen bestehen, zu messen.
An der verstellbaren Monochromatorhalterung kann zusätzlich eine
in z-Richtung verstellbare Blende, die vorzugsweise aus einem
feinpolierten Molybdänstab besteht, angeordnet sein. Diese Blen
de dient zur Abschirmung des Primärstrahls.
Zwischen der Röntgenröhre und der Monochromathalterung kann ein
Abschirmrohr angeordnet sein, welches eine Verschieblichkeit der
Monochromatorhalterung zuläßt, wobei zwischen dem Abschirmrohr
und der Monochromatorhalterung ein so geringer Spalt gelassen
ist, daß keine Röntgenstreustrahlung durchtreten kann. Zusätz
lich können an der Monochromatorhalterung vor und hinter dem
Monochromator Schlitzblenden angeordnet sein.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung
weist die Vorrichtung zur Aufnahme der zu untersuchenden Probe
einen Probetisch auf, der gegenüber dem Meßaufnehmer in einem
Vakuumgehäuse angeordnet ist. Dieser kann in z-Richtung und in
x-Richtung längsverschieblich, um seine Mittelachse drehbar und
in einer Kreissegmentführung schwenkbar ausgeführt sein, wobei
die Verfahrbarkeit über feinstauflösende Schrittmotoren erfolgen
kann. Insbesondere durch die Schwenkbarkeit in der Kreissegment
führung ist eine hochpräzise Einstellung des Einfallwinkels der
Primärstrahlung möglich. Diesbezüglich ist bereits in der DE-PS
88 08 748 und in der DE-OS 38 18 081 beschrieben, daß bei Vor
richtungen zur Durchführung der Totalreflexions-Röntenfluores
zenzanalyse der Einfallswinkel der primären Röntgenstrahlung mit
einer Genauigkeit von etwa 0,1-0,2 Bogenminuten eingestellt wer
den muß, weil die Fluoreszenzintensität der Elemente aus der
Oberflächenschicht stark vom Einfallswinkel der die Fluoreszenz
anregenden primären Röntgenstrahlung abhängt. Diese geforderte
Genauigkeit kann mittels des schrittmotorgesteuerten Probenti
sches problemlos erfüllt werden.
Der Probentisch kann als Aufnahmeplatte eine Saugplatte aufwei
sen, in welcher mehrere über ihre obere Ebene ausfahrbare Stifte
integriert sind. Hierdurch kann einerseits die zu untersuchende
Probe, beispielsweise ein Wafer in handelsüblicher Größe, sicher
aufgenommen werden. Nach der Messung kann die Probe durch Ausfah
ren der Stifte angehoben werden und beispielsweise durch einen
Robotergreifer erfaßt und seitlich durch eine entsprechende Öff
nung des Vakuumgehäuses herausgezogen werden.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann als Meßauf
nehmer ein Germanium-Detektor verwendet werden.
In vorteilhafter Weise kann der als Meßaufnehmer dienende Detek
tor im Gegensatz zu dem vorbekannten Stand der Technik auch unge
kühlt betrieben werden. Der Meßaufnehmer kann in z-Richtung mit
tels eines Schrittmotors verfahrbar sein.
Dem den Meßaufnehmer enthaltenden Detektorrohr ist eine Streu
strahlenblende vorgeschaltet, wobei diese Blende ebenfalls über
einen Schrittmotor in z-Richtung verfahrbar sein kann. Durch die
se Verfahrbarkeit ist eine Anpassung an unterschiedliche Dicken
der zu vermessenden Proben möglich. Gemäß einer anderen Ausfüh
rungsform der Erfindung kann in dem Bereich, in welchem die von
der Probe reflektierte Röntgenstrahlung auf die Gehäusewandung
des Vakuumgehäuses auftrifft, ein Reflexionsdetektor angeordnet
sein. Durch Messung der vom Wafer reflektierten Röntgenstrahlung
kann der Einfallswinkel, der durch den Probentisch, d. h. die Ver
schwenkbarkeit des Probentisches eingestellt wird, bestimmt wer
den.
Zusätzlich kann vor dem Monochromator ein Detektor zur Messung
der Intensität der Röntgenprimärstrahlung angeordnet sein. Da
durch kann ein alterungsbedingter Intensitätsabfall der Röntgen
strahlungsquelle berücksichtigt werden.
Schließlich können die Schrittmotoren der verstellbaren Komponen
ten der Vorrichtung über einen programmierbaren Mikroprozessor
steuerbar sein. Hierdurch kann prozessorgesteuert ein vollständi
ges Meßprogramm automatisch durchgeführt werden. In diesem Fall
werden selbstverständlich auch die Meßwerte auf geeigneten elek
tronischen Speichermedien entsprechend dem durchfahrenen Meßpro
gramm abgelegt.
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird anhand der
in Anlage beigefügten Zeichnung näher erläutert.
In der einzigen Figur ist eine Ausführungsform der erfindungsge
mäßen Vorrichtung zur Totalreflexions-Röntenfluoreszenzanalyse
teilweise geschnitten dargestellt.
Die Vorrichtung 10 zur Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse
gemäß der in der Figur dargestellten Ausführungsform weist in
einem Vakuumgehäuse 20 eine Strahlungsquelle 12, mindestens
einen Monochromator 14, eine Streustrahlenblende 16 und einen
Meßaufnehmer 18, sowie einen Probentisch 30 auf. Sämtliche zuvor
genannten Komponenten sind ortsfest, wenn auch zum Teil defi
niert verstellbar in dem Vakuumgehäuse 20 angeordnet. Die Rich
tungen der Verstellbarkeit der einzelnen Komponenten sind durch
das neben der Figur angedeutete karthesische x-, y-, z-Koordina
tensystem angedeutet.
Die aus einer Röntgenröhre bestehende Strahlungsquelle 12 ist
über eine Halterung 22 in dem Vakuumgehäuse 20 eingebaut. Die
Halterung 22 ermöglicht es, daß die Röntgenröhre in unterschied
lichen Winkelstellungen in dem Vakuumgehäuse 20 angeordnet wer
den kann.
Neben der Röntgenröhre ist ein Monochromatorhalter 24 zur Halte
rung eines oder mehrerer Monochromatoren 14 angeordnet. Dieser
ist entsprechend dem Doppelpfeil a in z-Richtung verschieblich.
Die Verschieblichkeit zwischen dem Doppelpfeil a ist hier durch
eine nicht näher dargestellte Mikrometerschraube gegeben. Im vor
liegenden Ausführungsbeispiel sind mehrere Monochromatoren 14
nebeneinander angeordnet. Durch entsprechende Verschieblichkeit
des Monochromatorhalters 24 entlang eines in der Figur angedeute
ten Schlittens in Pfeilrichtung b, d. h. x-Richtung, können unter
schiedliche Monochromatoren in den Strahlengang eingebracht wer
den. Die Schlittenführung ist schrittmotorgesteuert.
An dem Monochromatorhalter 24 ist ebenfalls in z-Richtung ver
schieblich eine Blende 26 angeordnet. Diese Blende 26 ist im vor
liegenden Ausführungsbeispiel als Molybdänstab mit Feinpolitur
oberfläche ausgeführt. Die Verschiebung entsprechend dem Doppel
pfeil c erfolgt ebenfalls über eine nicht dargestellt Mikrometer
schraube.
Vor dem Monochromator und hinter dem Monochromator sind in nicht
näher dargestellter Weise Schlitzblenden angeordnet.
Als Monochromatoren können Bragg-Kristalle, beliebige Röntgen
spiegel oder aber auch Multilayer verwendet werden. Zwischen der
Strahlungsquelle 12 und dem Monochromator ist ein Abschirmrohr
angeordnet, das selbstverständlich eine Verschieblichkeit des
gesamten Monochromatorgehäuses zuläßt, wobei der Spalt zwischen
dem Abschirmrohr, das einen flanschartigen Abschlußrand auf
weist, und dem Monochromatorhalter bzw. -gehäuse so bemessen
ist, daß keine Röntgenstreustrahlung durchgelassen wird.
Die zu untersuchende Probe 32 ist auf einer hier nicht näher dar
gestellten Ansaugplatte auf dem Probentisch 80 angeordnet. Der
Probentisch ist entsprechend dem Doppelpfeil f in z-Richtung und
entsprechend dem Pfeil i in x-Richtung verschieblich. Über eine
entsprechende Kreissegmentführung ist eine Schwenkbarkeit des
Probentisches 80 in Doppelpfeilrichtung h möglich. Schließlich
kann er um seine Mittellinie in Pfeilrichtung d gedreht werden.
Sämtliche Bewegungen des Probentisches sind mittels Schrittmoto
ren stufenlos möglich. Bei Verwendung entsprechend präziser
Schrittmotoren ist eine höchst genaue Verstellbarkeit des Proben
tisches zu erreichen.
Der Meßaufnehmer 18 ist in einem Detektorrohr 82 aufgenommen.
Der Meßaufnehmer 18 kann als üblicher Si(Le)-Detektor ausgeführt
sein. Zur Messung leichterer Elemente kann besonders vorteilhaft
ein Germanium-Detektor verwendet werden, der auch noch ungekühlt
betrieben werden kann. Auch die ansonsten üblich eingesetzten
Detektoren können gemäß der erfindungsgemäßen Ausführungsform
ungekühlt betrieben werden. Das Detektorrohr 82 ist gemäß der
vorliegenden Ausführungsform durch ein dünnes Diamantfenster mit
einer Dicke von ca. 1/10 µm verschlossen. Der Meßaufnehmer 18
kann in Doppelpfeilrichtung d in z-Richtung verschieblich sein.
An dem Detektorrohr 32 ist die Streustrahlenblende 16 vorgeschal
tet, die über einen Schrittmotor in Richtung des Doppelpfeils e
in z-Richtung verschieblich ist. Die Blendenanpassung ist bei
spielsweise deswegen notwendig, weil sich die Dicke der Probe
ändert. In dieser Ausführungsform ist die Blende im Drehpunkt
des schwenkbaren Probentisches 30 angeordnet.
Im Bereich der von der Probe 32 reflektierten Strahlung ist an
der Wandung des Gehäuses 20 ein Reflexionsdetektor 34 angeord
net, mittels dem der Einfallswinkel der Strahlung bestimmt wer
den kann, der durch Verschwenkung des Probentisches in Doppel
pfeilrichtung h eingestellt werden kann.
Sämtliche per Schrittmotor verstellbaren Komponenten werden über
einen oder mehrere programmierbare Mikroprozessoren gesteuert.
Dadurch kann durch Anschluß eines entsprechenden Computers ein
entsprechendes Meßprogramm vollautomatisch abgefahren werden,
wobei die aufgenommenen Meßwerte entsprechend von dem Computer
verarbeitet werden können und unter Verwendung geeigneter Pro
gramme in beliebiger Weise aufbereitet werden.
Claims (19)
1. Vorrichtung (10) zur Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzana
lyse (TRFA), bei der die glatte ebene Oberfläche einer Probe
oder Dünnschicht auf einer Probe durch die einfallende Rönt
genstrahlung angeregt wird und die emittierte Röntgenfluores
zenzstrahlung spektral erfaßt wird, im wesentlichen beste
hend aus einer Strahlungsquelle (12), einem Monochromator
(14), einer Streustahlenblende (18) und einem Meßaufnehmer
(18),
dadurch gekennzeichnet,
daß die Strahlungsquelle (12), der Monochromator (14), die Streustrahlenblende (16) und der Meßaufnehmer (18) in einem Vakuumgehäuse (20) angeordnet sind und
daß der Meßaufnehmer (18) als Meßfenster ein dünnes Diamant fenster mit einer Dicke von kleiner als 1 µm aufweist.
daß die Strahlungsquelle (12), der Monochromator (14), die Streustrahlenblende (16) und der Meßaufnehmer (18) in einem Vakuumgehäuse (20) angeordnet sind und
daß der Meßaufnehmer (18) als Meßfenster ein dünnes Diamant fenster mit einer Dicke von kleiner als 1 µm aufweist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Strahlungsquelle (12) eine niederenergetische Röntgenröhre
umfaßt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Strahlungsquelle (12), der Monochromator (14), die
Streustrahlenblende (16) und der Meßaufnehmer (18) fest,
aber definiert verstellbar im Vakuumgehäuse (20) angeordnet
ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das
Vakuumgehäuse (20) außen um den Mantel umlaufende Verstär
kungsrippen aufweist und daß es vorzugsweise aus Aluminium
besteht.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Röntgenröhre (12) über einer Halterung
(22) schwenkbar und feststellbar in dem Vakuumgehäuse (20)
sitzt.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-6, dadurch gekenn
zeichnet, daß eine zumindest in z-Richtung verstellbare Mono
chromatorhalterung (24) zur Aufnahme zumindest eines Mono
chromators (14) vorgesehen ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die
Monochromatorhalterung mehrere Monochromatoren (14) nebenein
ander aufweist und daß durch entsprechende Verschieblichkeit
der Monochromatorhalterung (24) in x-Richtung ein jeweils
gewünschter Monochromator (14) in den Strahlengang einge
bracht werden kann.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet,
daß an der verstellbaren Monochromatorhalterung zusätzlich
eine in z-Richtung verstellbare Blende (26), die vorzugswei
se aus einem feinpolierten Molybdänstab besteht, angeordnet
ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekenn
zeichnet, daß zwischen der Röntgenröhre (12) und der Mono
chromatorhalterung (24) ein Abschirmrohr (28) angeordnet
ist, welches eine Verschieblichkeit der Monochromatorhalte
rung (24) zuläßt, wobei zwischen dem Abschirmrohr (28) und
der Monochromatorhalterung nur ein so geringer Spalt gelas
sen ist, daß keine Röntgenstreustrahlung durchtreten kann.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekenn
zeichnet, daß an der Monochromatorhalterung (24) vor und hin
ter dem Monochromator (14) Schlitzblenden angeordnet sind.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-10, dadurch gekenn
zeichnet, daß zur Aufnahme einer Probe (32) ein Probentisch
(30) gegenüber dem Meßaufnehmer (18) in dem Vakuumgehäuse
(20) angeordnet ist, wobei dieser vorzugsweise in z-Rich
tung und in x-Richtung längsverschieblich, um seine Mittel
achse drehbar und in einer Kreissegmentführung schwenkbar
ausgeführt ist, wobei die Verfahrbarkeit des Probenaufnahme
tisches (30) über feinstauflösende Schrittmotoren erfolgt.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß
der Probentisch (30) als Aufnahmeplatte eine Saugplatte auf
weist, in welcher mehrere über ihre obere Ebene ausfahrbare
Stifte integriert sind.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-12, dadurch gekenn
zeichnet, daß als Meßaufnehmer (18) ein Germanium-Detektor
verwendet wird.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-13, dadurch gekenn
zeichnet, daß der als Meßaufnehmer (18) dienende Detektor
nicht eigens gekühlt wird.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-14, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Meßaufnehmer (18) in z-Richtung verfahrbar
ist.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-15, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Streustrahlenblende (16) dem den Meßaufneh
mer (18) enthaltenden Detektorrohr vorgeschaltet ist, wobei
diese Blende über einen Schrittmotor in z-Richtung verfahr
bar ist.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-16, dadurch gekenn
zeichnet, daß in dem Bereich, in welchem die von der Probe
reflektierte Röntgenstrahlung auf die Gehäusewandung des
Vakuumgehäuses (20) auftrifft, ein Reflexionsdetektor (34)
angeordnet ist.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-17, dadurch gekenn
zeichnet, daß vor dem Monochromator (14) ein Detektor zur
Messung der Intensität der Röntgenprimärstrahlung angeordnet
ist.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1-18, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Schrittmotoren der verstellbaren Komponen
ten der Vorrichtung über einen programmierbaren Mikroprozes
sor steuerbar sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19914130556 DE4130556C2 (de) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | Vorrichtung zur Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse |
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Publications (2)
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DE4130556A1 true DE4130556A1 (de) | 1993-03-25 |
DE4130556C2 DE4130556C2 (de) | 1996-07-04 |
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ID=6440574
Family Applications (1)
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DE19914130556 Expired - Fee Related DE4130556C2 (de) | 1991-09-13 | 1991-09-13 | Vorrichtung zur Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse |
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