DE907328C

DE907328C - Vorrichtung zur Verstellung von Objekten, die in Korpuskularstrahlapparaten untersucht werden

Info

Publication number: DE907328C
Application number: DES11115D
Authority: DE
Inventors: Rudolf Hackbarth
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1941-07-30
Filing date: 1941-07-31
Publication date: 1954-03-25

Description

(WiGBl. S. 175)

AUSGEGEBEN AM 25. MÄRZ 1954

S 11115 VIII c/21 g

(Ges. v. 15. 7. 51)

Bei Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elektronenmikroskopen, ist es bekannt, das zu untersuchende Objekt mit Hilfe einer besonderen Vorrichtung·, beispielsweise einer Objektpatrone, in den Vakuumraum einzuschleusen, wobei die Objektpatrone sich in der Betriebslage gegen einen einstellbaren Halter abstützt. Die Einstellbarkeit eines solchen Halters ist erforderlich, um einzelne Bildausschnitte des Objektes leicht einstellen zu können. Hierzu wird eine Querverschiebung vorgesehen. Bei einer bekannten Konstruktion dieser Art ist der Halter außerdem auch noch in der Strahlrichtunsr verstellbar,- um eline Scharfstellung des Bildes zu ermöglichen. Die Einstellvorrichtungen sind dabei so ausgebildet, daß Verstellstangen den Halter entgegen dem Druck von Federn bewegen. Bei der bekannten Anordnung ist es nachteilig, daß der die Objektpatrone aufnehmende Halter beim Betrieb des Elektronenmikroskops infolge von äußeren Erschütterungen leicht mitschwingen kann, wodurch sich leicht bei der photographischen Aufnahme verwackelte Bilder ergeben können. Dieser Nachteil wird bei der Erfindung dadurch vermieden, daß crfinduingsgemaB der Halter der Objektpatrone zur

Objektivlinse derart festgelegt ist, daß eine Verstellung der in den Halter eingeführten Objektpatrone nur quer zur Strahlrichtung möglich ist. Zu diesem Zweck kann man vorzugsweise den Patronenhalter mit Hilfe eines oder mehrerer eine Querverschiebung zulassender Druckkörper gegen eine quer zur Strahlrichtung liegende Gleitfläche drücken. Diese Konstruktion gestattet es, den Objekthalteir so fest gegenüber dem Objektiv abzustutzen, daß Erschütterungen während der Aufnahme sich nicht nachteilig auswirken können. Die neue Konstruktion unterscheidet sich auch vorteilhaft von solchen bekannten Anordnungen, bei denen der Objekthalter zusammen mit einem Teil des Objektivs zur Ein- und Ausschleusung des Objektes in 'das Mikroskop eingesetzt und daraus entfernt werden kann. Bei der Erfindimg ist nämlich im Gegensatz zu dieser bekannten Anordnung ein leichtes Ein- und Ausschleusen des Objektes mögao lieh, ohne daß wichtige Teile der Optik bei diesen Schleusvorgängen selbst verstellt oder gar mitentfernt werden müssen. Bei der Erfindung kann man nämlich das Schleusen derart durchführen, daß das Objektiv völlig unverändert bleibt.
Man kann als Druckkörper, auf welcher der Patronenhalter gedrückt wird, gemäß der weiteren Erfindung einen Ring verwenden, von dessen äußerem Umfang sich radial nach außen hin Arme erstrecken, die zwischen sich Evakuierungslöcher frei lassen und mit denen der Ring an einem feststehenden Teil des Mikroskops, vorzugsweise an der den Schleuseraraum umgebenden Mikroskopwand befestigt ist. Die Patrone selbst kann mit einem gegen die Patrone federnden Objekthalter versehen sein, der unmittelbar auf eine senkrecht zum Strahl liegende Gleitfläche des Polschuhsystems drückt, um so eine weitere Beruhigung der Objektlage zu erhalten. Für die zuletzt genannte AusführungisforaXL der Erfindung ist in der Figur ein 4.0 Ausführunigsbeispiel dargestellt. Die Figur zeigt: einen Längsschnitt durch eine elektromagnetische Objektivlinse eines Elektronenmikroskops. Mit I ist die Wicklung, mit 2 der sie umgebende Magnetkörper bezeichnet. Die Linse besitzt zwei PoI-schuhe 3, 4, zwischen denen in üblicher Weise ein Ring aus unmagnetischem Material 5 angeordnet ist. Die Polschuhe sind mit Hilfe der Schrauben 6 und eines Ringes 7 am Mantel 2 befestigt. Mit 8 ist die die Objekte chleusenkammer umgebende Vakuuniwand des Mikroskops bezeichnet. Der Teil 8 ist gegenüber dem Mantel 2 der Linse durch eine Gummidichtung-9 abgedichtet. Die Schleuseinrichtung für die Objektpatrone 10 besteht in an sich bekannter Weise aus einem Hahnküken 11, das drehbar in der Vakuumwand 8 angeordnet ist, so daß die Bohrung 12 des Hahnkükens derart quer gestellt werden kann, daß man durch die Öffnung 13 die Patrone in die Bohrung einführen bzw. sie daraus entnehmen kann. Mit 14 ist ein die Objekt patrone in der dargestellten Betriebsstellurig aufnehmender Halter bezeichnet, der erfindungsgemäß so ,angeordnet ist, daß eine Verstellung der Patrone zusammen mit diesem Halter nur quer zur Strahlrichtung möglich ist. Zu diesem Zweck ist der Halter 14 mit Hilfe eines Ringes 15 am Teil 8 festgeklemmt. Dieser Ring 15 besitzt radial nach außen hin sich erstreckende Arme, mit denen er durch Schrauben 17 am Teil 8 des Mikroskops befestigt ist. Durch die Zwischenräume der Arme kann der obere bzw. "untere Mikraskopte.il evakuiert werden, je nachdem, ob die Vakuumpumpe oberhalb oder unterhalb der Objekts chleuse angesetzt ist. Der Halter 14 wird gegen eine quer zur Strahlrichtung liegende Gleitfläche 18 gedrückt und kann durch die Anwendung des Diruckkörpers 15 zusammen mit der Patrone nur quer zur Strahlrichtung· bewegt werden. Die dargestellte Befestigung des Halters 14 am Teil 8 und damit auch die starre Befestigung an der Objektivlinse selbst sichert das Objekt in der Betriebs stellung gegen die bei Erschütterungen sonst auftretenden Nachteile. Zum Bewegen des Halters 14 und der darin eingeführten Objektpatrone dienen Diruckstangen 19, die mit Hilfe von Gummiringen 20 dicht, aber beweglich in die Mikroskopwand eingesetzt sind. Die Abdichtung wird mit Hilfe der Schrauben 21 und 22 bewirkt. Die Verstellbewegung wird auf die Stange 19 mit Hilfe eines Direhhebels 23 übertragen, der seinerseits in an sich bekannter Weise durch einen vom sitzenden Beobachter aus zu betätigenden Fern- go antrieb 24 verstellt werden kann. Die Verstellung erfolgt dabei entgegen der Wirkung einer um 180° gegenüber dem Stift 19 versetzten Feder 25. Ein entsprechender Antrieb ist um 90⁰ gegenüber der Zeichenebene gedreht vorhanden, so daß es möglich ist, 'einen beliebigten Bildausschnitt durch Betätigen der beiden Fernantriebe 24 auszusuchen. Die gesamte Vorschubeinrichtung des Objektes kann natürlich auch vom Objektivspulenkörper statt von der Objektschleuse aufgenommen werden, wodurch ein noch unimittelbarer Kraftschluß zwischen Objekt und Objektiv erzielt wird.

Claims

PATENTANSPRÜCHE:

ι. Vorrichtung zur Verstellung von Objekten, die in Korpuskularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen, untersucht werden, wobei die Objektpatrone in der Betriebslage sich no gegen einen einstellbaren Halter abstützt, dadurch gekennzeichnet, daß der Halter der Objektpatrone zur Objektivlinse derart festgelegt ist, daß eine Verstellung· der in den Halter eingeführten Objektpatrone nur quer zur Strahlrichtung möglich ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Pätronenhalter mit Hilfe eines oder mehrerer eine Querverschiebung zulassender Druckkörper gegen eine quer zur iao Strahlrichtung Hegende Gleitfläche gedrückt wird.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Gleitfläche ein Ring dient, der außerhalb der Gleitfläche Aussparungen zum Evakuieren besitzt und mit seinem Außenrand-

an einen feststehenden Teil des Mikroskops (z. B. an der den Schleusenraum umgebenden Mikroskopwandung*) befestigt ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Objektpatrone mit einem gegen sie federnden

Objekthalter versehen ist, der in der Betriebslage unmittelbar auf eine senkrecht zum Strahl liegende Gleitfläche des Objektivs drückt und der zusammen mit der Patrone durch den Patronennalter quer zur optischen Achse bewegt wird.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

5849 3.