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Mit einer konischen Paßfläche versehener, vorzugsweise in ein elektronenoptisches
Gerät einsetzbarer Konstruktionsteil Bei an der Vakuumpumpe arbeitenden Korpuskularstrahlapparate-n,
beispielsweise Elektronenmikroskopen, Elektronenbeugungsröhren od. dgl., werden
vielfach Konstruktionsteile angewendet, die mit Hilfe konischer Paßflächen in zugeordnete
Halter einzusetzen sind. Solche konischen Paßflächen sind besonders vorteilhaft,
weil sie bei genauer mechanischer Herstellung eine zwangläufige Zentrierung des
Konstruktionsteiles zu ermöglichen gestatten und auch gleichzeitig zwangläufig dafür
sorgen, daß der Konstruktionsteil in eine ganz bestimmte, beispielsweise eine bestimmte
axiale Lage des Korpuskularstrahlapparates mit gutem Anpreßdruck eingestellt wird.
Vielfach ist es notwendig, diese mit Konussen versehenen Konstruktionsteile so anzuwenden,
d-aß sie von unten nach oben her in ihre Betriebslage eingefügt werden. Da sich
ein solches Konstruktionsstück in der konischen Paßfläche dabei nicht zwangläufig
mit Sicherheit selbst hält, ist es üblich, in diesem Fallbesondere Befestigungsmittel
anzuwenden.
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Die Erfindung betrifft einen mit eiaier konischen Paßfläche versehenen,
vorzugsweise in ein elektronenoptisches Gerät einsetzbaren Konstruktionsteil, insbesondere
einen Polschuheinsatzkörper für in Elektronenmikroskopen angewendete magnetische
Linsen. Erfindungsgemäß dient eine Mutter sowohl zum Festdrücken der konischen Paßflächem,
beim Einsetzen des Konstruktionsteiles als auch zum Abdrücken der Paßflächen beim
Lösen des
Konstruktionsteiles. Diese Anordnung ist besonders vorteilhaft,
weil die Mutter bei geeigneter konstruktiver Durchbildung somit zwei verschiedene
Aufgaben zu erführen gestattet, sie kann nämlich einerseits zum Festhalten des Konstruktionsstückes
in der Betriebslage und außerdem dazu dienen, dieses Stück beim gelegentlich erforderlichen
Auswechseln leicht vom Haltekonus abzuziehen. Wenn es sich um einen Polschuheinsatzkörper
handelt, wird man die Anordnung vorzugsweise so treffen, daß der mit konischer Paßfläche
in den Magnetkörper eingesetzte Polschuhkörper von der Bildseite her einsetzbar
ist und in dem Magnetkörper mit Hilfe der Mutter in die Betriebslage gedrückt wird.
Man kann die Erfindung auch bei anderen mit konischen Paßflächen versehenen Konstruktionsteilen,
beispielsweise auch bei ein Stück der Vakuumwand bildenden Konstruktionsteilen anwenden;
denn auch in diesem Fall ist es vorteilhaft, eigne Mutter zum Lösen der Konusse
zu besitzen und diese Mutter gleichzeitig dazu zu benutzen, die Konusse in .der
Betriebslage fest aufeinanderzudrücken.
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Die Figur zeigt ein Ausführungsbeispiel der Erfindung, und zwar einen
Längsschnitt durch das elektromagnetische Objektiv eines Elektronenmikroskops. Die
Erregerwicklung i dieser Linse ist umkapselt mit dem Außenmantel2, dem oberen Deckel
3 und dem unteren Deckel 4. Die Teile :2 bis 4 bestehen aus magnetischemMaterial:
Zwiischen den Teilen 3 und 4 ist ein Teller 5 aus unmagnetischem Material eingefügt.
In eine konische Bohrung 6 der Spulenkapselung ist ein Polschuheinsatzkörper einsetzbar,
der aus dem oberen Polschuh 7, dem unteren Polschuh 8 und einem unmagnetisehen Zwischenstück
9 besteht. In den unteren Polschuh B ist mit Hilfe einer Befestigungsmutter io eine
zweite Mutter i i eingesetzt, die in ein passendes Gewinde des Teiles 4 eingeschraubt
werden kann. Durch dieses. Einschrauben wird der konische Polschuheinsatzkörper
7, 8, 9 fest in die passende konische Bohrung 6 gedrückt. Zum Ausbau das Polszhuheinsatzkörpers
wird die Mutter ii aus dem Gewinde herausgeschraubt, wobei die nach innen vorspringende
Nase 12 die Mutter io und damit den ganzen Polschuhei,nsatzkörper nach umfiten hernu;
z ieht.
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Oben auf den Deckel 3 ist der Schleusenkörper 13 mit Hilfe des Gewinderinges
14 unter Zwischenschaltung einer Gummidichtung 15 aufgeschraubt. 1n dem Schleusenkörper
13 befindet sieh- eine Öffnung 16, durch die hindurch die Objektpatrone in die an
sich bekannte, als drehbares Hahnküken 17 ausgebildete Schleuse eingesetzt werden
kann, wenn diese so eingestellt ist, daß die Querbohrung 18 waagerecht liegt. In
das Hahnküken 17 ist der Trieb i9 eingebaut, mit dessen Hilfe die Patrone 2o aus
der Querbohrung 18 heraus nach unten in Richtung auf das Objekt hin vorgeschoben
werden kann. Die Patrone ist in einen Halter 2,i eingesetzt, der seinerseits um
geringe Beträge quer beweglich in dem Rohr 22, sitzt, welches auf der linken Seite
die Zahnstange! 23 für den Vortrieb der Patrone besitzt. In der Betriebslage befindet
sich die Patrone in einem Tisch 24, der auf der Unterseite auf einer, ebenen Gleitfläche
des oberen Polschuhs 7 gleitet. Um Funkenbildung und daraus folgendes Fressen an
den aufeinander gleitenden Teilen zu vermeiden und ein ruckweises Bewegen des Tisches
zu verhindern, besitzt dieser auf der Seite der Gleitfläche einen Bronzering 25,
dessen untere Seite die Gleitfläche des Tisches 24 bildet. Die Patrone ist in der
Betriebslage im Tisch in einer solchen Lage, daß die Patronenteile selbst den Polschuh
nicht unmittelbar berühren.
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Für die Verstellung des Tisches 24 quer zur optischen Achse dienen
zwei um go° gegeneinander versetzt angeordnete Verstellstangen, denen entsprechende
Gegenfedern27 zugeordnet sind. Diese Verstellstangen t26 und Gegenfedern 27 sind
unter einem solchen Winkel gegen die optische Achse geneigt, daß sie mit einer Kraftkomponente
quer zur Strahlrichtung auf einer anderen Kraftkomponente in Richtung auf den oberen
Polschuh 7 hin wirken. Auf diese Weise bewirken die Teile 26 und 2:7 selbst das:
unmittelbare Andrücken des Objekttisches 24 am oberen Polschuh, so daß besondere
Andrückfedern nicht erforderlich sind. Die Seiten 28 des Objektpatronentisches 24,
gegen welche sich die Druckkugeln 29 der Verstellstangen 26 bzw. der Gegenfedern
27 anlegen, sind entsprechend der Neigung der Druckstangen und Gegenfedern ebenfalls
geneigt ausgebildet, wodurch sich zwangläufig die Aufteilung der von den Verstellstangen
und Gegenfedern auf den Tisch ausgeübten Kraft in die beiden gewünschten Komponenten
ergibt.