DE708778C - Vorrichtung zum Einbringen von Objekten in das Elektronenmikroskop - Google Patents
Vorrichtung zum Einbringen von Objekten in das ElektronenmikroskopInfo
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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- H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
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Description
- Vorrichtung zum Einbringen von Objekten in das Elektronenmikroskop Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Einbringen von Objekten in das Elektronenmikroskop.
- Es sind .Elektronenmikroskope mit Vorrichtungen zum Einbringen von Objekten bekannt, bei denen ein konischer Metallkörper in einem konischen Schliff angeordnet ist. Nun ist es bekannt, daß konische Schliffe für einen einwandfreien Betrieb Fett benötigen.
- Demgegenüber besteht die Vorrichtung zum Einbringen von Objekten in das Elektronemnikroskop erfindungsgemäß aus einem optisch geschliffenen Stab mit mehreren Bohrungen senkrecht zur Achse zur Unterbringung von Objekten. Der Stab ist in einer Hülse geführt, und Stab und Hülse sind außerhalb des Elektronenmikroskops zusätzlich gegeneinander durch eine Dichtung gesichert.
- Mittels des optisch geschliffenen Stabes in der v orliegen.den Anordnung wird die Verwendung von Fett als Dichtungsmittel entbehrlich, und es können gleichzeitig mehrere Objekte in den Objektträger eingesetzt werden, die nacheinander für die Untersuchung in den Strahlengang gebracht werden können. Bei den bekannten Einschleusvorrichtungen ist demgegenüber nur ein einziges Objekt vorgesehen oder zwei Platten oder Filme innerhalb eines Konus.
- Bei dem auf der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel sind .aber fünf Kammern angeordnet, deren Anzahl im Bedarfsfall weitervermehrt werden kann.
- Ein weiterer Vorteil wirkt sich bei der Auswechselung der Objekte aus. Diese werden zweckmäßig z. B. durch einfaches Drehen des Stabes mit einer Objektpatrone nach unten zum Herausfallen gebracht, ohne daß es erforderlich ist, mit einem mehr oder weniger langen Stäbchen das Objekt herauszustoßen.
- Schließlich schafft die vorliegende VorrichtunF die Möglichkeit einer Kühlung oder Erwärmung durch die Anordnung -von Kanälen, was für die Untersuchung empfindlicher organischer Präparate von ausschlaggebender Bedeutung sein kann, wenn diese z. B. durch weitgehende Kühlung ausgefroren «erden können.
- Die Vorrichtung nach der Erfindung ist schematisch auf der Zeichnung beispielsweise dargestellt.
- Durch den Vakuumraute a eine: Elektronenmikroskops b ist eine Buchse c angeordnet. In der Buchse c wird ein optisch geschliffener Stab d geführt, der mehrere Bobrungen c, bis e5 besitzt. In die Bohrungen werden die Objekte z. B. mittels Objektpatronenj eingebracht, wie dies aus der aufgeschnitten dargestellten Kammer e3 ersichtlich ist. Der Objektstab d und die Hülse c sind außerhalb des Elektronentnil;roskolas h durch eine Dichtung g zusätzlich gegeneinander gesichert.
- Um die Objekte temperaturmällig beeinflussen zu können, ohne das \-akuum zu beeinträchtigen. können außer den Objektkammern e1 bis e, gleichlaufend mit der -@c11se des Stabes d Kanäle oder Bohrungen vorg,:-sehen sein, um Kühlflüssigkeiten hindurchz_uleiten oder elektrische Leiter durchzuführen.
- Um beim Objekt-,vechsel die Bohrungen cl bis e, im Stabe auszupumpen und etwa nachdrängende Luft abzufangen, wird zweckmäßig zwischen Buchse c und Stab b ein ringförmiger Hohlraute t: vorgesehen, der an eine Vakuumleitung angeschlossen ist.
- Zum Auswechseln der Objekte wird der Stab d so weit herausgezogen, daß die Objektkammern e von außen zugänglich sind. Nach dem Auswccltseln der Objekte wird der Stab wieder in den Hochvakuumraum geschoben.
- Bei diesen Vorgängen bleibt das Vakuum i:ii Innern, abgesehen. von geringen Lufteinbrüchen, vollständig erhalten, so daß schnel-Ic#@ Arbeiten z. B. bei Serienuntersuchungen gewährleistet wird. Es ist möglich, mehrere Objekte auf einmal in den Hochvakuumraum einzuschleusen. Durch die Verwendung eines optisch geschliffenen Stabes. der der Bohrung der Buchse saugend anliegt, und durch die Dichtung wird jede \- erwendung von Schlifffett überflüssig. Die vorliegende Vorrichtung kann deshalb auch für Kühlung mit flüssiger Luft Verwendung finden.
Claims (3)
- PATENTANSPRÜCHE: 1. \-orrichtung zum Linbringen von Objekten in das Elektronenmikroskop, gekennzeichnet durch einen optisch geschliffenen Stab (d) mit mehreren Bohrungen (e, bis er) senkrecht zur Achse zur Unterbringung von Objekten. der in einer Hülse (c) geführt ist, wobei Stab (d) und Hülse (c) außerhalb des Elektronenmikroskops (l:) zusätzlich gegeneinander durch eine Diehtung (g) gesichert sind.
- 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Stab (d) außer den Objektkammern (e, bis e") Blei: hlaufend mit der Achse Kanäle (Bohrungen h) angeordnet sind.
- 3. Vorrichtung nach Anspruch t oder 2, gekennzeichnet durch die Anordnung eines Ringraumes (i.1 -zwischen Hülse (c) und Stab (d), der mit einer Vakuumleitung (k) in Verhindung steht.
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