DE69835499T2 - Auswahlschaltkreis für eine DRAM-Matrix und Verfahren zum Testen der Datenspeicherfähigkeit einer DRAM-Matrix - Google Patents

Auswahlschaltkreis für eine DRAM-Matrix und Verfahren zum Testen der Datenspeicherfähigkeit einer DRAM-Matrix Download PDF

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Description

  • ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
  • Die vorliegende Erfindung betrifft Speicherbauelemente wie etwa dynamische Direktzugriffspeicher (DRAMs) und insbesondere ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Erfassen und/oder Steuern bestimmter mit Speicherzellen des DRAM assoziierter Leckströme.
  • Zum besseren Verständnis bestimmter Probleme, mit denen die Anmelderin konfrontiert ist, und der erfindungsgemäßen Lösung dieser Probleme wird zuerst auf 1 Bezug genommen, die ein aus Speicherzellen 11 bestehendes Speicherarray 10 zeigt. Zum Zweck der Darstellung ist das Array 10 mit M Zeilen gezeigt, mit einem Zeilenleiter oder einer Wortleitung (WL) pro Zeile, und mit N Spalten, mit einem Spaltenleiter oder einer Bitleitung (BL) pro Spalte. Eine Speicherzelle 11 befindet sich am Schnittpunkt jedes Zeilen- und Spaltenleiters. Die Zeilenleiter oder Wortleitungen werden von einer Zeilendecodierer- und -treiberschaltung 20 angesteuert, und die Spaltenleiter oder Bitleitungen werden von einer Spaltendecodierer- und -treiberschaltung 30 angesteuert. Eine Schreib-/Leseschaltung 40 enthält eine Schaltungsanordnung zum Schreiben von Informationen auf die Bitleitungen zur Übertragung zu ausgewählten Speicherzellen und eine Schaltungsanordnung zum Erfassen von von ausgewählten Speicherzellen gelesenen und auf die Bitleitungen gekoppelten Informationen.
  • Beim Betrieb des Speicherarrays von 1, wo die Speicherzellentransistoren MOS-Transistoren vom N-Leitfähigkeitstyps sind und wo das an den Speicher angelegte Arbeitspotential VDD Volt (z.B. +5 Volt) und Masse (z.B. null Volt) beträgt, wird im allgemeinen eine Wortleitung aktiviert (ausgewählt oder freigegeben), indem daran eine „hohe" Spannung (z.B. VDD Volt) ange legt wird, und die Wortleitung wird deaktiviert (nicht ausgewählt, blockiert oder im Standby-Zustand), indem daran eine „niedrige" Spannung (z.B. null Volt) angelegt wird. In 1 werden die M Wortleitungen des Arrays 10 selektiv mit Hilfe einer Zeilentreiberschaltung 20 freigegeben, die M Decodierer-/Treiberschaltungen aufweist, von denen jede von dem in 2 gezeigten Typ sein kann. Der Decodierertreiber von 2 enthält einen Transistor P1 vom P-Typ, bei dem der Source-Drain-Weg zwischen einen Signalanschluß 211 und einen Ausgangsanschluß 213 geschaltet ist, an den seine assoziierte Wortleitung (WL) angeschlossen ist. Das Substrat 212 von P1 ist mit einem Anschluß 214 verbunden, an den ein festes Potential (z.B. VDD Volt) angelegt wird. Die Source-Drain-Wege der Transistoren N1 und N2 sind zwischen dem Ausgangsanschluß 213, der mit einer Wortleitung (WL) verbunden ist, und einem Anschluß 216, an den Massepotential angelegt ist, parallel geschaltet. Die Substrate 217 von N1 und N2 werden ebenfalls zu Massepotential zurückgeführt. Ein erstes teilweise decodiertes Signal RDEC wird an die Gateelektroden der Transistoren P1 und N1 angelegt, und ein zweites teilweise decodiertes Signal WLD wird an den Signalanschluß 211 angelegt. Ein Signal WLK (in der Regel der Kehrwert von WLD) wird an die Gateelektrode von N2 angelegt, damit die Wortleitung für bestimmte Eingangssignalbedingungen selektiv an Masse geklemmt werden kann.
  • Die Schaltung von 2 wird dazu verwendet, eine ausgewählte Wortleitung zu aktivieren. Wenn das Signal RDEC auf „L" und das Signal WLD ein „H" (und WLK auf „L") ist, wird an die Wortleitung ein „H" angelegt und sie aktiviert und die Speicherzellentransistoren freigegeben, deren Gateelektroden mit der Wortleitung verbunden sind. Wenn das Signal RDEC auf „H" ist und/oder wenn das Signal WLK auf „H" ist, wird ein „L" (z.B. Masse) an die Wortleitung angelegt und sie wird als „deselektiert" oder „deaktiviert" angesehen, da die Speicherzellentransistoren, deren Gateelektroden mit der Wortleitung verbunden sind, abgeschaltet sind. Somit kann die Schaltung von 2 dazu verwendet werden, entweder eine Aktivierungsspannung (Einschaltspannung) (z.B. VDD Volt) an die Wortleitungen anzulegen oder eine Deaktivierungsspannung (Abschaltspannung) (z.B. null Volt) an die Wortleitungen anzulegen.
  • In dem am 16. Mai 1995 an Ohira erteilten US-Patent Nr. 5,416,747 wird eine Nichtselektionspegelspannung auf eine Spannung unter dem Massepotential gesetzt, wenn ein oberer Adreßdecodierer nicht ausgewählt ist, um einen Leckstrom von Speicherzellen zu reduzieren. In dem am 24. Februar 1976 an Coontz erteilten US-Patent Nr. 3,940,740 werden in dem Speicherarray redundante Zeilen vorgesehen, die anstelle von Zeilen aktiviert werden können, die fehlerhafte Bauelemente enthalten, die nicht freigegeben sind.
  • In US 4,610,003 liefert eine Treiberschaltung eine Abschaltspannung an eine DRAM-Zelle und eine Ladungspumpschaltung reduziert ständig den Wert der Spannung an der Gateelektrode des DRAM-Zellentransistors.
  • Die Fähigkeit, eine einzelne festgelegte Abschaltspannung anzulegen, ist bei einigen Anwendungen nicht zufriedenstellend. Am besten wird dies erläutert, indem angemerkt wird, daß die Speicherzellen von DRAMs Leckströmen unterworfen sind, die die in den Speicherzellen des DRAM gespeicherten Daten zerstören können. Es ist deshalb notwendig, die Zellen eines Speicherarrays zu testen, um sicherzustellen, daß ihr Lecken innerhalb von annehmbaren Grenzen liegt. Wenn beispielsweise die Speicherzellentransistoren vom N-Leitfähigkeitstyp sind, erfolgt das Testen normalerweise, indem zuerst die Wortleitungen des Speicherarrays aktiviert werden, indem an sie eine hohe Spannung angelegt und in die Zellen ein „H" geschrieben wird, indem ihre Speicherkondensatoren auf eine hohe Spannung geladen werden. Dann werden die Wortleitungen deaktiviert, indem null Volt für einen bekannten Zeitraum an die Wortleitungen angelegt wird. Nach dem Verstreichen des bekannten Zeitraums werden die Speicherzellen selektiv ausgelesen, um ihren Datenerhalt zu bestimmen. Mit der Schaltung von 2 wird, wenn eine Wortleitung deaktiviert ist, eine einzelne festgelegte Abschaltspannung von beispielsweise null Volt an eine Wortleitung angelegt, wenn sie deselektiert wird.
  • Dies ist nicht zufriedenstellend, weil das Lecken der Speicherzellentransistoren als eine Funktion der Amplitude und Polarität der an ihre Gateelektroden angelegten Abschaltspannung variiert, wie in 4 gezeigt. Somit gestattet die Schaltung von 2 kein Testen des Leckens der Speicherzellen für verschiedene Werte einer an die Wortleitungen angelegten Abschaltspannung.
  • Dementsprechend besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung in der Bereitstellung einer Schaltungsanordnung, um das Anlegen verschiedener Werte von Abschaltspannungen an die Wortleitungen eines Speicherarrays zu ermöglichen.
  • Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, Leckströme wie etwa das gateinduzierte Drainleckengate induced drain leakage (GIDL)(L) von Speicherzellentransistoren für verschiedene Werte einer Wortleitungsspannung zu erfassen.
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht außerdem darin zu bestimmen, ob bestimmte Abschaltspannungen Leckströme wie etwa GIDL reduzieren oder erhöhen.
  • KURZE DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung der Anmelderin besteht teilweise in der Erkenntnis, daß es wünschenswert und/oder erforderlich sein kann, ein Speicherarray zu testen oder zu betreiben, indem an die Wortleitungen eines Speicherarrays verschiedene Werte von Abschaltspannungen angelegt werden. Insbesondere hat die Anmelderin erkannt, daß es wünschenswert ist, das Lecken von Speicherzellentransistoren zu testen, indem Abschaltspannungen an ihre Gateelektroden angelegt werden, die hinsichtlich Amplitude und Polarität die an ihre Gateelektroden angelegte normale Abschaltspannung übersteigen.
  • Die Anmelderin hat auch erkannt, daß es wünschenswert und/oder notwendig sein kann, ein Speicherarray herzustellen, das eine Schaltungsanordnung enthält, damit verschiedene Abschaltspannungen an die Wortleitungen des Speicherarrays angelegt werden können.
  • Die Erfindung der Anmelderin besteht auch in einer Schaltungsanordnung zum Anlegen entweder einer normalen Abschaltspannung (z.B. null Volt für einen Transistor vom N-Typ) oder einer Abschaltspannung, die größer ist als normal (z.B. –1 Volt für einen Transistor vom N-Typ), an die Gateelektroden von Speicherzellentransistoren.
  • Die Erfindung verkörpernde Speichersysteme enthalten eine Schaltungsanordnung zum Anlegen einer ersten Abschaltspannung an ausgewählte Wortleitungen, um die Stromleitung im Hauptleitungsweg der Speicherzellen transistoren abzuschalten, deren Gateelektroden an diese Wortleitungen angeschlossen sind, und zum selektiven Anlegen einer erhöhten Abschaltspannung an ausgewählte Wortleitungen zum schärferen Abschalten der Speicherzellentransistoren, deren Gateelektroden an diese Wortleitungen angeschlossen sind.
  • Bei einer Ausführungsform der Erfindung werden Abschaltspannungen mit einem Wertebereich an die Wortleitungen angelegt, um die Anfälligkeit der Speicherzellen gegenüber einem gateinduzierten Drainleckstrom (GIDL) zu testen. Für einen ersten, an die Wortleitungen angelegten Bereich von erhöhten Abschaltspannungen nimmt der Leckstrom der Transistoren, deren Gateelektroden an die Wortleitungen angeschlossen sind, ab. Bei einer weiteren Erhöhung der an die Wortleitungen angelegten Abschaltspannung nimmt der Leckstrom der Transistoren zu, deren Gateelektroden an die Wortleitungen angeschlossen sind. Anhand der Bestimmung des Bereichs der Abschaltspannung, für die das Lecken ein Minimum ist, und des Bereichs, für den das Lecken zunimmt, kann die Grenze der Amplitude einer Abschaltspannung gesetzt werden und ein entsprechender Bereich von Abschaltspannungen ausgewählt werden. Außerdem können die Abschaltspannungen, die normalerweise den Leckstrom erhöhen, dazu verwendet werden, die Anfälligkeit der Speicherzellentransistoren gegenüber gateinduzierten Drainleckströmen (GIDL) zu testen. Dieses Testen ermöglicht die Detektion und Korrektur oder Zurückweisung von potentiell fehlerhaften Speicherprodukten, was zur Herstellung eines zuverlässigeren Produkts führt.
  • Ein die Erfindung verkörperndes Verfahren beinhaltet die folgenden Schritte: (a) Schreiben eines zu speichernden bestimmten Signalzustands (z.B. ein H) in die Speicherzellen eines Speicherarrays; (b) Anlegen einer ersten Abschaltspannung für einen ersten Zeitraum an ausgewählte Wortleitungen des Speicherarrays; (c) Erfassen des Inhalts der Speicherzellen, um gegebenenfalls den Effekt von Leckströmen mit der ersten Abschaltspannung auf ausgewählte Speicherzellen zu bestimmen; (d) erneutes Schreiben des bestimmten Signalzustands in das Speicherarray; (e) Anlegen einer zweiten Abschaltspannung für einen Zeitraum, der im allgemeinen gleich dem ersten Zeitraum ist; und (f) Erfassen des Inhalts der Speicherzellen, um den Effekt von Leckströmen für den zweiten Wert einer Abschaltspannung auf die ausgewählten Speicherzellen zu bestimmen; und wobei eine der ersten und zweiten Abschaltspannung eine größere Amplitude als die andere aufweist.
  • Dementsprechend enthalten die Erfindung verkörpernde Speichersysteme Schaltungen zum Testen der Anfälligkeit der Speicherzellen für ein gateinduziertes Drainlecken (GIDL) als Funktion der Abschaltspannung. Das Testen der Speicherzellen kann dazu verwendet werden, die Wortleitungsabschaltspannung zu setzen und/oder fehlerhafte Zeilen und Spalten durch redundante Zeilen und Spalten zu ersetzen und/oder fehlerhafte Speicherarrays zurückzuweisen.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • In den beiliegenden Zeichnungen bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche Komponenten. Es zeigen:
  • 1 ein Blockschaltbild eines DRAM-Speicherarrays nach dem Stand der Technik;
  • 2 ein Schemadiagramm einer Decodierer-/Treiberschaltung nach dem Stand der Technik;
  • 3A ein vereinfachtes Schemadiagramm einer einzelnen Speicherzelle;
  • 3B ein Querschnittsdiagramm der Schaltung von 3A, das das Vorliegen parasitärer Übergänge zeigt;
  • 3C ein Schemadiagramm des Speichers von 3A mit in 3B gezeigten parasitären Dioden;
  • 4 ein Diagramm des mit Speicherzellentransistoren assoziierten Hauptstroms (IDS) und Leckstroms (IL) als Funktion der Gatespannung;
  • 5 ein Testmodus-TM-Signal gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 6A ein Schemadiagramm einer die Erfindung verkörpernden Decodierer-/Treiberschaltung und
  • 6B ein Schemadiagramm einer die Erfindung verkörpernden weiteren Decodierer-/Treiberschaltung.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Zum besseren Verständnis der folgenden Beschreibung der Erfindung wird zuerst ein Leckmechanismus untersucht, der ein Hauptanliegen ist. Eine Speicherzelle 11 des in 1 gezeigten Speicherarrays 10 enthält einen Transistor T1 und einen Speicherkondensator C1. Wie weiter in den 3A, 3B und 3C detailliert weist der Transistor (T1) eine Gateelektrode 13 auf, die mit ihrer assoziierten Wortleitung (WL) verbunden ist, eine erste Elektrode 14, die als Source- oder Drainelektrode fungiert und mit ihrer assoziierten Bitleitung (BL) verbunden ist, und eine zweite Elektrode 15, die eben falls als eine Drain- oder Sourceelektrode fungiert und mit einem Ende eines Speicherkondensators C1 verbunden ist. 3B ist ein Querschnittsdiagramm der Speicherzelle von 3A und zeigt, daß N-Gebiete 14 und 15 in einem P-Substrat 16 ausgebildet sind. Die Gebiete 14 und 15 definieren die Enden des Hauptleitungswegs im Substrat 16. Das N-Gebiet 14 bildet ebenfalls einen PN-Übergang, wobei das Substrat 16 als eine „parasitäre" Diode D1 identifiziert ist, und auch das N-Gebiet 15 bildet einen PN-Übergang, wobei das Substrat 16 als eine „parasitäre" Diode D2 identifiziert ist. Diese parasitären Dioden D1 und D2 können die Quelle des Leckens sein, wie unten beschrieben. Die Dioden D1 und D2 werden normalerweise in Sperrichtung vorgespannt betrieben, indem die Substratspannung negativer gehalten wird als die Spannungen an den Source-/Draingebieten 14 und 15. In 3B ist das Substrat 16 geerdet gezeigt. Jedoch kann eine kleine negative Vorspannung von Vbb Volt (wobei Vbb beispielsweise gleich –1 Volt ist) an das Substrat 16 angelegt sein. 3C ist ein Schemadiagramm der Speicherzelle von 3B mit den parasitären Dioden D1 und D2. Zur leichteren Veranschaulichung in der folgenden Erörterung wird angenommen, daß die Speicherzellentransistoren (T1) Metalloxidhalbleiter-(MOS)-Transistoren vom N-Leitfähigkeitstyp sind. Transistoren vom N-Typ werden lediglich beispielhaft verwendet, und stattdessen könnten andere Arten von Transistoren (z.B. vom P-Typ) verwendet werden.
  • Zur leichteren Erläuterung in der folgenden Erörterung sei angemerkt, daß ein MOS-Transistor ein Bauelement ist, das folgendes aufweist: (a) Source- und Drainelektroden, die die Enden eines Hauptleitungswegs definieren: und (b) eine Gateelektrode, die über dem Hauptleitungsweg liegt, dessen angelegte Spannung die Leitfähigkeit des Haupleitungswegs definiert. Ein Transis tor vom N-Typ wird durchgeschaltet, wenn sein Gatepotential sein Sourcepotential um mehr als die Schwellwertspannung (Vt) des Transistors übersteigt. Die Sourceelektrode des Transistors vom N-Typ ist definiert als die eine der ersten und zweiten Elektroden mit dem daran angelegten niedrigeren Potential. Da ein Transistor vom N-Typ (sowie ein Transistor vom P-Typ) bei Betrieb als Tortransistor bidirektional leiten kann, dann ist die Frage, welche Elektrode die Sourceelektrode ist und welche die Drainelektrode ist, eine Funktion des an diese Elektroden angelegten Potentials.
  • Wie in der Technik wohlbekannt ist, können eine logische „0" oder eine logische „1" in eine Speicherzelle 11 geschrieben und darin gespeichert werden. Wenn das Arbeitspotential an dem Speicherarray VDD Volt (z.B. 5 Volt) und Masse (z.B. null Volt) beträgt, kann zum Zweck der Veranschaulichung angenommen werden, daß: (a) ein Signal mit einer logischen „0" oder einem L ein Signal mit einem Wert von null oder nah bei null Volt ist und (b) ein Signal mit einer logischen „1" oder H ein Signal mit einem Wert von VDD oder in der Nähe von VDD Volt ist.
  • Informationen werden in eine Speicherzelle 11 geschrieben, wenn ihr Tortransistor freigegeben ist (z.B. durch Anlegen von beispielsweise VDD Volt an die an ihre Gateelektrode 13 angelegte WL durchgeschaltet ist). Eine logische Null kann dann in die Speicherzelle geschrieben werden, indem an die an die Elektrode 14 angeschlossene Bitleitung null Volt angelegt werden. Der Kondensator C1 kann dann über den Drain-Source-Weg des Transistors T1 gegen Masse entladen werden. T1 kann dann abgeschaltet werden, indem null Volt an die an seine Gateelektrode angeschlossene WL angelegt werden, und C1 bleibt bei oder in der Nähe von null Volt.
  • Eine logische „1" wird in eine Speicherzelle geschrieben, wenn ihr T1 wie oben angemerkt durchgeschaltet ist und durch Anlegen von VDD Volt an die an ihre Drainelektrode angeschlossene Bitleitung. Der Kondensator C1 wird über den Source-Drain-Leitungsweg des T1 auf VDD aufgeladen. T1 kann dann durch das Anlegen von null Volt an seine Gateelektrode abgeschaltet werden. Der Kondensator C1 wird auf dem hohen Potential ([VDD-Vt]Volt) aufgeladen bleiben, auf das er geladen wurde, außer wenn Leckströmen vorliegen, die C1 im allgemeinen gegen Masse entladen. Zum Zweck der Veranschaulichung sei angenommen, daß, wenn eine logische „1" in eine Speicherzelle 11 geschrieben wird, der Speicherkondensator C1 auf eine Spannung von beispielsweise +5 Volt aufgeladen wird. Nach dem Schreiben einer „Eins" (oder einer „0") in eine Zelle 11 wird die Gatespannung des Speicherzellentransistors T1 auf „L" (z.B. null Volt) gesteuert, um den Transistor T1 abzuschalten. Der Transistor T1 bleibt abgeschaltet (d.h. in einem „Standby"-Zustand) bis zu einer nachfolgenden Lese-, Auffrisch- oder Neubeschreibungsoperation mit der Erwartung, daß der Kondensator C1 auf oder in der Nähe von +5 Volt geladen bleibt. Wenn sich jedoch die Gatespannung von T1 auf Null befindet, während seine Drainelektrode auf +5 Volt ist, befindet sich die Gateelektrode auf negativen 5 Volt relativ zur Drainelektrode. Bei extrem kleinen Transistoren induziert diese Spannung am Übergang der Drainelektrode 15 zum Substrat 16 ein hohes elektrisches Feld. Dieses hohe elektrische Feld bewirkt das Fließen eines Leckstroms von der Drainelektrode 15 in das Substrat 16, wodurch im allgemeinen der Kondensator C1 entladen wird. Unter Bezugnahme auf 3C würde der Kondensator C1 über den vom Kondensator C1 durch den Umkehrweg von D2 in das Substrat 16 fließenden Leckstrom (IL) entladen werden. Falls zuviel Ladung wegleckt, erzeugt die Speicherzelle beim nächsten Auslesen kein korrektes Ausgangssignal.
  • Wenn die WL, mit der die Gateelektrode von T1 verbunden ist, auf null Volt liegt, wird T1 abgeschaltet. In dem zwischen dem Source- und Draingebiet von T1 liegenden „Hauptleitungsweg" fließt nur ein unter dem Schwellwert liegender Strom. Außerdem kann ein Leckstrom von C1 über Diode D2 in das Substrat fließen. Diese Leckströme entladen im allgemeinen C1 und bewirken, falls sie ausreichende Amplitude aufweisen, einen Ausfall, da der Wert des in der Speicherzelle gespeicherten Datenbits zerstört wird. 4 ist ein beispielhaftes Diagramm, das den Stromfluß (IDS) in dem Hauptleitungsweg eines Transistors als Funktion der Gatespannung und den Effekt des Erhöhens der an die Gateelektrode angelegten Abschaltspannung auf das Fließen von Leckstrom (z.B. gateinduzierten Drainleckstrom GIDL) zeigt. Wenn die Gate-Source-Spannung (VGS) unter der Schwellwertspannung (Vt) liegt, fließt in dem Source-Drain-Weg nur ein unter dem Schwellwert liegender Strom. Dieser Strom nimmt mit zunehmender Abschaltspannung bis auf eine Gatespannung von (–)VA Volt ab, wie in 4 gezeigt. Die Anmelderin erkannte außerdem, daß, wenn die Gate-Source-Spannung über einen Bereich bis (–)VA Volt geringfügig negativ gemacht wird, der unter dem Schwellwert liegende Leckstrom weiterhin abnimmt. Der Wert von (–)VA kann von –1 V bis –3 V reichen; die eigentliche Zahl ist dabei stark von der Technologie und den Prozessen abhängig, die zum Herstellen der Transistoren verwendet werden. Wie in 4 gezeigt, nimmt jedoch, wenn die Gate-Source-Spannung eines Transistors vom N-Typ signifikant negativer als –VA Volt gemacht wird (d.h., wenn die Amplitude der Abschaltspannung über einen bestimmten Pegel angehoben wird), der Leckstrom (GIDL) durch die parasitären Dioden signifikant zu und insbesondere durch D2, wenn die Drainelektrode durch die Ladung auf dem Speicherkondensator positiv vorgespannt ist.
  • Wie oben angemerkt besteht die Erfindung der Anmelderin teilweise in der Erkenntnis, daß das Lecken von Transistoren der Speicherzellen eines Speicherarrays auf verschiedene Werte von Abschaltspannungen getestet werden könnte, um zu bestimmen, wie der Leckstrom als Funktion von zunehmenden und abnehmenden Werten von Abschaltspannungen variiert. Bei Transistoren vom N-Typ sind dies Spannungen, die die Gateelektrode des Transistors relativ zu seiner Sourceelektrode negativ machen. Dieses Testen ermöglicht, die Stelle von fehlerhaften Zellen zu detektieren, so daß sie durch Zellen aus einer redundanten Zeile oder Spalte (nicht gezeigt) ersetzt werden können. Falls zu viele fehlerhafte Zellen vorliegen, so daß die redundanten Zeilen und Spalten nicht ausreichen, könnte der Speicherchip als Alternative zurückgewiesen werden. Das Testen ermöglich außerdem, die optimale Abschaltgatespannung oder das optimale Design der Speichertransistoren zu bestimmen.
  • Die Erfindung der Anmelderin besteht außerdem auch in einer Decodiererschaltungsanordnung wie in 6A gezeigt, durch die verschiedene Spannungen (z.B. Masse oder Vbb Volt) selektiv an ausgewählte Wortleitungen angelegt werden können. 6A enthält einen Transistor P1 wie in 2 zum selektiven Liefern einer hohen Spannung an die Wortleitung (WL). Im Gegensatz zu 2 sind jedoch in der Schaltung von 6A die Transistoren N1 und N2 in einer isolierten P-Mulde 51 ausgebildet, damit eine negative Vorspannung von Vbb Volt an die P-Mulde 51 an einem Anschluß 52 davon angelegt werden kann. Vbb kann beispielsweise gleich –1 Volt sein. Vbb kann jedoch so ausgewählt sein, daß es eine beliebige Spannung zwischen Vt und –VA Volt ist. Die Sourceelektroden 53s und 54s von N1 und N2 sind mit einem Knoten 41 verbunden. Die Schaltung von 6A ermöglicht das Anlegen entweder von Masse oder Vbb Volt an Knoten 41. Die Transistoren N1 und N2 fungieren bei Freigabe dahingehend, jede an Knoten 41 anliegende Spannung an die Wortleitung (WL) zu koppeln.
  • Der Source-Drain-Weg eines Transistors N3 ist zwischen Knoten 41 und einem Knoten 42 geschaltet, an den Vbb Volt angelegt werden. Außerdem ist der Source-Drain-Weg eines Transistors N4 zwischen Knoten 41 und einem Knoten 43 geschaltet, an den Massepotential angelegt ist. Die Substrate der Transistoren N3 und N4 und die Sourceelektrode von N3 sind an einen Anschluß 55 angeschlossen, an den Vbb Volt angelegt sind. Ein als TM (in 5 gezeigt) bezeichnetes Testsignal wird an die Gateelektrode von N3 und den Eingang 45 eines Inverters 46 angelegt, dessen Ausgang an die Gateelektrode von N4 angelegt wird und dessen Arbeitspotential VDD und Vbb beträgt.
  • Folgendes ist die Funktionsweise der Schaltung von 6A. Es sei angenommen, daß das Testsignal TM entweder einen Wert „L" von Vbb Volt, was den „standardmäßigen" oder „normalen" Zustand definiert, oder einen Wert „H" von VDD Volt aufweist, was den „Testzustand" definiert, für den eine erhöhte Abschaltspannung für das Anlegen an die Wortleitungen verfügbar gemacht wird. Wenn während des standardmäßigen Arbeitszustands TM auf L ist, dann ist somit der Ausgang des Inverters 46 auf H, und dieses H wird an die Gateelektrode des Transistors N4 angelegt, wodurch er durchgeschaltet wird. Wenn N4 durchgeschaltet wird, klemmt er Knoten 41 an Masse. Gleichzeitig bewirkt das Anlegen von Vbb Volt an die Gateelektrode von N3, daß er abgeschaltet wird.
  • Während des standardmäßigen Arbeitszustands werden somit die Sourceelektroden der Transistoren N1 und N2 über die relativ niedrige Source-Drain-Impedanz von N4 nach Masse zurückgeführt. Wenn die Transistoren N1 und/oder N2 durchgeschaltet werden, wird das Massepotential an Knoten 41 dann an die Wortleitung (WL) angelegt.
  • Während des Testarbeitszustands geht das Signal TM hoch auf VDD Volt. Das an den Eingang des Inverters 46 angelegte hohe TM-Signal bewirkt, daß sein Ausgang auf Vbb Volt geht, wobei diese Spannung an die Gateelektrode von N4 angelegt wird, was bewirkt, daß er abschaltet. Gleichzeitig wird das hohe TM-Signal an die Gateelektrode des Transistors N3 angelegt, was bewirkt, daß er durchschaltet. Wenn N3 durchgeschaltet wird, klemmt er den Knoten 41 an die an den Anschluß 55 angelegten Vbb Volt und macht somit Vbb Volt an den Sourceelektroden der Transistoren N1 und N2 verfügbar.
  • Die Funktionsweise der Decodiererschaltung von 6A kann somit wie folgt zusammengefaßt werden. Für den Zustand, wo RDEC oder WLK (oder beide) auf H sind, wird die Wortleitung (WL) über N1 und/oder N2 an Knoten 41 geklemmt. Die Spannung an Knoten 41 wird entweder gleich Masse sein, wenn TM auf L ist, oder wird auf Vbb Volt sein, wenn TM auf H ist. Somit ermöglicht die Schaltung von 6A das Anlegen entweder von Massepotential oder Vbb Volt an die Wortleitung. Für den Zustand, wenn RDEC und WLK auf L sind und WLD auf H ist (z.B. VDD), wird ein H an WL angelegt, wodurch die Speicherzellentransistoren vom N-Typ, deren Gateelektroden an WL angeschlossen sind, durchgeschaltet werden.
  • Bei der in die Zeilendecodierer- und -treiberschaltung 20 von 1 integrierten Schaltung von 6A kann das Speicherarray 10 im standardmäßigen Arbeitszustand (Masse an ausgewählte oder alle Wortleitungen angelegt) oder unter „Testbedingungen", wenn eine negative Spannung an bestimmte (oder alle) Wortleitungen angelegt ist, auf ein Lecken hin getestet werden.
  • In der Standardbetriebsart wird das Signal TM auf einen Wert „L" (z.B. Vbb Volt) gesetzt. Ein „H" (z.B. VDD Volt) kann in alle (oder nur ausgewählte) Speicherzellen des Arrays geschrieben werden, indem ihre Speicherkondensatoren auf oder fast auf VDD Volt geladen werden. Nach der „H"-Schreiboperation koppelt der Decodierer eine Spannung von null Volt an bestimmte (oder alle) Wortleitungen des Speicherarrays für einen vorbestimmten Zeitraum. Nach dem vorbestimmten Zeitraum können die Speicherzellen, in die ein „H" geschrieben wurde, auf die Bitleitungen und auf die Leseverstärker ausgelesen werden, um den Grad des Lecks zu bestimmen und/oder ob die in der Speicherzelle gespeicherten Daten erhalten worden sind.
  • In dem „Testmoduszustand" wird das Signal TM auf einen „H"-Wert (z.B. VDD Volt) gesetzt. Dies ermöglich es der Decodiererschaltung, danach eine Spannung von Vbb Volt (z.B. –1 Volt) an die Wortleitungen anzulegen. Ein „H" (z.B. VDD Volt) kann in alle (oder nur ausgewählte) Speicherzellen des Arrays geschrieben werden, indem ihre Speicherkondensatoren auf oder fast auf VDD Volt geladen werden. Nach der „H"-Schreiboperation koppelt der Decodierer eine Spannung von Vbb Volt an bestimmte (oder alle) Wortleitungen des Speicherarrays für eine vorbestimmte Zeitperiode. Nach der vorbestimmten Zeitperiode können die Speicherzellen, in die ein „H" geschrieben wurde, auf die Bitleitungen und ihre entspre chenden Leseverstärker ausgelesen werden, um den Grad des Lecks und/oder das Ausmaß zu bestimmen, in dem die in der Speicherzelle gespeicherten Daten gehalten wurden. Das Testen des Speicherarrays 10 kann für viele verschiedene zunehmende Werte der Abschaltspannung im Bereich von Vt Volt bis –VA Volt (und sogar noch negativer) wiederholt werden. Die Ergebnisse des Testens der Speicherzellen unter Standardbedingungen können mit den Ergebnissen verglichen werden, die unter einer oder mehreren „Testbedingungen" erhalten werden. Anhand des Vergleiches kann die Stelle von schwachen oder schlechten Zellen detektiert werden, die zu stark lecken oder eine Anfälligkeit für Lecken aufweisen, und der Vergleich kann benutzt werden für ihren Austausch mit „guten" Zellen von redundanten Zeilen und Spalten. Alternativ kann das Testen dazu verwendet werden, fehlerhafte Chips zurückzuweisen. Noch weiter kann das Testen den optimalen Bereich der Gatespannung im Bereich zwischen Vt und –VA anzeigen, der für den Betrieb mit geringstem Lecken an das Speichersystem anzulegen ist.
  • Es sollte offensichtlich sein, daß die Schaltung von 6A das leichte Anlegen verschiedener Werte der Abschaltspannung an die Wortleitungen des Arrays gestattet. Während des Testens des Speicherarrays kann die Spannung Vbb in Stufen über einen Bereich variiert werden, der beispielsweise von Vt Volt bis –3 Volt oder mehr reichen kann. Dies gestattet, die optimale anzulegende Abschaltspannung zu bestimmen, um Leckströme zu minimieren, und den benötigten Spielraum für einen sicheren Betrieb. Es sollte außerdem offensichtlich sein, daß der Speicherchip infolge des Testens mit einer nicht gezeigten Schaltungsanordnung derart aufgestattet werden kann, daß die Wortleitungsspannung zwischen VDD (für das Durchschalten) und einer optimalen Abschalt spannung, die eine andere als null Volt sein kann, variiert.
  • Die Schaltung von 6A kann wie in 6B gezeigt modifiziert werden, wo die Sourceelektrode von N2a an Masse angeschlossen ist, während die Sourceelektrode von N1 weiterhin mit Knoten 41 verbunden ist, an den die Drainelektroden von N3 und N4 angeschlossen sind. In der Schaltung von 6B muß N2 abgeschaltet werden, wenn das Signal TM auf H ist, um zu vermeiden, daß die Vbb Volt aufgeteilt werden.
  • Die Schaltungen und ihre Funktionsweise sind unter der Annahme beschrieben worden, daß die Speicherzellentransistoren (T1) vom N-Leitfähigkeitstyp sind. Es versteht sich jedoch, daß Transistoren vom P-Typ bei der entsprechenden Änderung der angelegten Spannung substituiert werden könnten (z.B. schaltet ein Transistor vom P-Typ ab, wenn seine Gatespannung gleich seiner Sourcespannung oder positiver ist, und die Sourceelektrode eines Transistors vom P-Typ ist jene Elektrode, an die das positivere Potential angelegt ist).

Claims (5)

  1. Speichersystem, das folgendes umfaßt: ein Speicherarray (10) aus in M Zeilen und N Spalten angeordneten Zellen (11), wobei jede Zeile einen Zeilenleiter (WL) und jede Spalte einen Spaltenleiter (BL) aufweist, wobei eine Zelle am Schnittpunkt eines Zeilenleiters und eines Spaltenleiters ausgebildet ist und jede Zelle (11) einen Transistor (T1) und einen Speicherkondensator (C1) enthält, wobei jeder Transistor eine erste und zweite Elektrode aufweist, die die Enden eines Hauptleitungswegs definieren, und eine Gateelektrode, wobei die Gateelektrode jedes Transistors mit seinem entsprechenden Zeilenleiter (WL) verbunden ist, wobei ein Ende seines Leitungswegs mit seinem entsprechenden Spaltenleiter (BL) und das andere Ende seines Leitungswegs mit seinem Speicherkondensator (C1) verbunden ist; und eine Auswahlschaltung (20), an das Speicherarray (10) gekoppelt, wobei die Auswahlschaltung dafür ausgelegt ist, eine Abschaltspannung selektiv an ausgewählte Zeilenleiter anzulegen, um die Leitung in den Hauptleitungswegen der Transistoren abzuschalten, deren Gateelektroden mit den ausgewählten Zeilenleitern verbunden sind, wobei die Auswahlschaltung dafür ausgelegt ist, mindestens zwei verschiedene Abschaltspannungen nacheinander an ausgewählte Zeilenleiter selektiv anzulegen, wobei die verschiedenen Abschaltspannungen ausgewählt sind aus einem Bereich von Spannungen zwischen einer Schwellwertspannung Vt und einer Spannung VA, die unter der Schwellwertspannung Vt für einen Transistor vom n-Typ liegt, oder über der Schwell wertspannung Vt für einen Transistor vom p-Typ liegt, wobei die Auswahlschaltung (20) zum selektiven Anlegen einer Abschaltspannung und mindestens zweier verschiedener Abschaltspannungen ausgewählt aus dem Bereich folgendes enthält: (a) eine Reihendecodierschaltungsanordnung (N1, N2), zwischen jeden Zeilenleiter und einen ersten Knoten (41) geschaltet; und (b) Mittel zum selektiven Anlegen einer Spannung an den ersten Knoten (41) mit entweder einem Wert gleich der Abschaltspannung oder einem Wert gleich einer der verschiedenen Abschaltspannungen ausgewählt aus dem Bereich von verschiedenen Abschaltspannungen, wobei die Reihendecodierschaltungsanordnung (N1, N2) einen ersten selektiv freigegebenen Decodiertransistor (N1) enthält, dessen Leitungsweg zwischen seinen assoziierten Zeilenleiter (WL) und den ersten Knoten (41) geschaltet ist; und wobei das Mittel zum selektiven Anlegen einer Spannung an den ersten Knoten folgendes enthält: (a) einen ersten zwischen den ersten Knoten (41) und einen ersten Punkt (43) von Referenzpotential gekoppelten Schalter (N4); (b) Mittel zum Anlegen der Abschaltspannung an den ersten Punkt (43) von Referenzpotential; (c) einen zweiten zwischen den ersten Knoten (41) und einen zweiten Punkt (42) von Referenzpotential gekoppelten Schalter (N3); (d) Mittel zum Anlegen der mindestens zwei verschiedenen Abschaltspannungen nacheinander an den zweiten Punkt (42) von Referenzpotential und (e) Mittel zum selektiven Freigeben eines des ersten und zweiten Schaltermittels.
  2. Speichersystem nach Anspruch 1, wobei jede einzelne der Reihendecodiererschaltungen einen zweiten selektiv freigegebenen Decodiertransistor (N2) enthält, dessen Leitungsweg parallel zu dem ersten Decodiertransistor (N1) geschaltet ist.
  3. Speichersystem nach Anspruch 1, wobei jede einzelne der Reihendecodiererschaltungen einen zweiten selektiv freigegebenen Decodiertransistor (N2) enthält, dessen Leitungsweg zwischen seinen Zeilenleiter (WL) und einen dritten Punkt von Referenzpotential geschaltet ist.
  4. Speichersystem nach Anspruch 1, wobei jeder Speicherzellentransistor ein Transistor vom N-Typ ist; wobei die Abschaltspannung Massepotential ist und wobei die verschiedene Abschaltspannung negativer ist als Massepotential.
  5. Verfahren zum Testen der Datenhaltefähigkeit der Speicherzellen (11) eines dynamischen Direktzugriffspeichers DRAM, wobei die Speicherzellen in M Zeilen und N Spalten angeordnet sind, wobei jede Zeile eine Wortleitung (WL) aufweist und jede Spalte eine Bitleitung (BL) aufweist, wobei eine Speicherzelle am Schnittpunkt jeder Wort- und Bitleitung ausgebildet ist, und jede Speicherzelle (11) einen Transistor (T1) und einen Speicherkondensator (C1) enthält, wobei jeder Transistor eine erste und zweite Elektrode aufweist, die die Enden eines Hauptleitungswegs definieren, und eine Gateelektrode, wobei (a) die Gateelektrode jedes Transistors mit seiner entsprechenden Wortleitung (WL) verbunden ist; (b) ein Ende des Leitungswegs jedes Transistors mit seiner entsprechenden Bit leitung (BL) verbunden ist und (c) das andere Ende des Leitungswegs jedes Transistors mit seinem Speicherkondensator (C1) verbunden ist; wobei der DRAM eine Schreib-/Leseschaltungsanordnung (40), an die Bitleitungen gekoppelt, zum Schreiben von Informationen in oder Lesen von Informationen aus ausgewählten Speicherzellen enthält; und dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren zum Testen die folgenden Schritte umfaßt: Schreiben von Informationen in ausgewählte Speicherzellen; Anlegen einer ersten Abschaltspannung für einen ersten Zeitraum an die Wortleitungen ausgewählter Speicherzellen zum Abschalten ausgewählter Speicherzellentransistoren für den ersten Zeitraum; Erfassen des Haltens der in ausgewählten Speicherzellen gespeicherten Informationen nach dem ersten Zeitraum; Schreiben von Informationen in ausgewählte Speicherzellen nach der Leseoperation; Anlegen einer zweiten Abschaltspannung für einen zweiten Zeitraum an die Wortleitungen ausgewählter Speicherzellen zum Abschalten ausgewählter Speicherzellentransistoren für den zweiten Zeitraum, wo die zweite Spannung eine größere Abschaltamplitude als die erste Abschaltspannung aufweist; und Erfassen des Haltens der in ausgewählten Speicherzellen gespeicherten Informationen nach dem zweiten Zeitraum.
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