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HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
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Gebiet der
Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein aminogruppenhaltiges
Phenolderivat, sowie eine Polyimidvorstufe oder ein Polyimidpolymer;
eine lichtempfindliche Polyimidvorstufe oder ein lichtempfindliches
Polyimidpolymer; und ein Verbundmaterial, welches dieselben verwendet.
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Beschreibung
des zugehörigen
Standes der Technik
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In
den letzten Jahren haben Fortschritte bei der Funktionalität von IT-Anlagen
einen Bedarf für
eine erhöhte
Dichte innerhalb von mobilen Anlagen geschaffen, die in der Lage
sind, enorme Informationsmengen zu verarbeiten. Außerdem wird
nun beträchtliche
Aufmerksamkeit auf die Auswirkungen der bei der Herstellung dieser
Arten von elektronischen Komponenten verwendeten Materialien auf
die Umwelt gelenkt und die Anforderungen werden zunehmend strenger,
wobei der Ruf nach halogenfreien Flammschutzmitteln und einer verbesserten
Wärmebeständigkeit
für bleifreie
Lötmaterialien
und dergleichen ertönt.
Zu speziellen Anforderungen gehören
geringe (mechanische) Beanspruchung bzw. Spannung, niedrige Dielektrizitätskonstante, hohe
Wärmebeständigkeit,
gute Adhäsion
und gute Flammbeständigkeit.
Außerdem
weisen Polyimidpolymere, welche herkömmlicherweise in elektronischen
Komponenten für
Funktionen wie Oberflächenschutzfilme und
Zwischenschichtisolierfilme von Halbleiterelementen verwendet werden,
ausgezeichnete Wärmebeständigkeit,
mechanische Eigenschaften und Flammbeständigkeit sowie eine niedrige
Dielektrizitätskonstante, gute
Flammbeständigkeit,
leichte Anwendbarkeit bzw. Anwendungsfreundlichkeit und gute Filmbildungseigenschaften
auf und infolgedessen sind sie häufig
als mögliche
Materialien für
Anwendungen der nächsten
Generation ins Gespräch
gebracht worden. Die derzeitigen Polyimidpolymere weisen jedoch
erhebliche Nachteile auf, wozu eine schlechte Adhäsion (Klebefähigkeit)
an Siliziumwafern und Metalloxid und dergleichen und das Aufweisen
eines großen
Wärmeausdehnungsgrades
nach dem Glasübergang
gehören.
Außerdem
haben sich Modifizierungen von Polyimidpolymeren als schwierig erwiesen
und weil solche Polyimidpolymere außerdem nur schwach löslich in
organischen Lösungsmitteln
sind, ist ihre Verarbeitungsfähigkeit
schlecht und mögliche Anwendungen
sind vergleichsweise eingeschränkt
geblieben. Um diese mit Polyimidpolymeren verbundenen Nachteile
zu beseitigen, offenbart die japanische ungeprüfte Patentanmeldung, erste
Veröffentlichung
Nr. Hei 5-255480 wohlausgewogene epoxymodifizierte Polyimidpolymere,
welche die inhärente
Wärmebeständigkeit des
Polyimidpolymers beibehalten können,
während
sie gleichzeitig gute Flammbeständigkeit
gewährleisten. Außerdem offenbart
die japanische ungeprüfte
Patentanmeldung, erste Veröffentlichung
Nr. Hei 6-345866 siloxanmodifizierte Polyimidpolymere, in welchen
ein Siloxangerüst
in die Polyimidhauptkette eingeführt
wird, um niedrigere Spannungswerte zu ergeben.
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In
den in der japanischen ungeprüften
Patentanmeldung, erste Veröffentlichung
Nr. Hei 5-255480 offenbarten epoxymodifizierten Polyimidpolymeren
verschlechtern sich in der Tat das Molekulargewicht, die Anwendungsfreundlichkeit
und die mechanischen Eigenschaften des Polyimidpolymers und die
erwünschten
Eigenschaften werden nicht zufriedenstellend erzielt. Außerdem verschlechtert
sich in den in der japanischen ungeprüften Patentanmeldung, erste
Veröffentlichung
Nr. Hei 6-345866 offenbarten siloxanmodifizierten Polyimidpolymeren
die Wärmebeständigkeit
infolge der Siloxanmodifizierung und es tritt ein gewisser Verlust
bei den inhärenten
Eigenschaften des ursprünglichen
Polyimidpolymers auf. Die vorliegende Erfindung zieht diese Aspekte
in Betracht, mit der Aufgabe, ein Material bereitzustellen, welches
die mit herkömmlichen
Polyimidpolymeren verbundenen Nachteile wie eine schlechte Substratadhäsion und
nicht zufriedenstellende Flexibilität beseitigt und dennoch die
von den herkömmlichen
Polyimidpolymeren gebotenen Vorteile beibehält.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Die
Erfinder der vorliegenden Erfindung haben umfangreiche Forschungen
durchgeführt,
die darauf abzielten, die nicht zufriedenstellenden Eigenschaften
der vorstehend beschriebenen Polyimidpolymere zu verbessern, unter
der Voraussetzung, dass mit anderen Verbindungen gebildete Komplexe
in dieser Hinsicht wirksam sein können. Da jedoch herkömmliche
Polyimidpolymere und daraus gebildete Materialien eine schlechte Reaktivität mit anderen
Verbindungen an den Tag legen, erwies sich diese Art von Verbesserung
als äußerst schwierig.
Bei weiteren Untersuchungen fanden die Erfinder jedoch heraus, dass
durch Einführen
einer Phenolverbindung in ein Polyimidpolymer unter Verwendung eines
aminogruppenhaltigen Phenolderivats die Bildung von Komplexen mit
anderen Verbindungen möglich
wurde und die nicht zufriedenstellenden Eigenschaften des Polyimidpolymers
durch eine komplexierte Verbindung davon verbessert werden konnten,
und sie waren folglich in der Lage, die vorliegende Erfindung zustande
zu bringen. Mit anderen Worten ist ein aminogruppenhaltiges Phenolderivat
der vorliegenden Erfindung ein aminogruppenhaltiges Phenolderivat,
das durch die nachstehend gezeigte allgemeine Formel (1) wiedergegeben
wird.
wobei R
1,
R
2 und R
3, welche
gleich oder voneinander verschieden sein können, jeweils eine Alkylgruppe
mit 1 bis 9 Kohlenstoffatomen, eine Alkoxygruppe mit 2 bis 10 Kohlenstoffatomen,
eine COOR-Gruppe, in welcher R eine Alkylgruppe mit 1 bis 6 Kohlenstoffatomen
bedeutet, oder ein Wasserstoffatom bedeuten; R
4 und
R
5, welche gleich oder voneinander verschieden
sein können,
jeweils eine Alkylgruppe mit 1 bis 9 Kohlenstoffatomen oder ein
Wasserstoffatom bedeuten;
X -O-, -S-, -SO
2-,
-C(CH
3)
2-, -CH
2-, -C(CH
3)(C
2H
5)- oder -C(CF
3)
2- bedeutet; und
n eine ganze Zahl von 1 oder größer bedeutet.
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Außerdem wird
eine Polyimidvorstufe der vorliegenden Erfindung aus einer Wiederholungseinheit
gebildet, die durch die nachstehend gezeigte allgemeine Formel (2)
wiedergegeben wird:
wobei
R
1, R
2 und R
3, welche gleich oder voneinander verschieden
sein können,
jeweils eine Alkylgruppe mit 1 bis 9 Kohlenstoffatomen, eine Alkoxygruppe
mit 2 bis 10 Kohlen stoffatomen, eine COOR-Gruppe, in welcher R eine
Alkylgruppe mit 1 bis 6 Kohlenstoffatomen bedeutet, oder ein Wasserstoffatom
bedeuten; R
4 und R
5, welche
gleich oder voneinander verschieden sein können, jeweils eine Alkylgruppe
mit 1 bis 9 Kohlenstoffatomen oder ein Wasserstoffatom bedeuten;
X
-O-, -S-, -SO
2-, -C(CH
3)
2-, -CH
2-, -C(CH
3)(C
2H
5)-
oder -C(CF
3)
2- bedeutet;
R
6 eine aromatische Tetracarbonsäuredianhydridgruppe
bedeutet; und n eine ganze Zahl von 1 oder größer bedeutet.
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Außerdem wird
ein Polyimidpolymer der vorliegenden Erfindung durch eine Dehydratisierungs-Kondensations-Reaktion
einer vorstehend erwähnten
Polyimidvorstufe erhalten. Außerdem
kann eine Polyimidvorstufe oder ein Polyimidpolymer der vorliegenden
Erfindung auch eine lichtempfindliche Polyimidvorstufe oder ein
lichtempfindliches Polyimidpolymer sein, in welcher bzw. welchem
ein Wasserstoffatom von wenigstens einer phenolischen Hydroxylgruppe
durch eine funktionelle Gruppe ersetzt wird bzw. substituiert ist,
welche der Polyimidvorstufe Lichtempfindlichkeit verleiht. Außerdem kann
eine Polyimidvorstufe oder ein Polyimidpolymer der vorliegenden
Erfindung auch mit einer weiteren Verbindung komplexiert werden,
um ein Verbundmaterial zu bilden.
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KURZE BESCHREIBUNG
DER ABBILDUNGEN
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1 ist
ein IR-Spektrum eines Produkts von Synthesebeispiel 1.
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2 ist
ein IR-Spektrum eines Produkts von Synthesebeispiel 2.
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3 ist
ein IR-Spektrum eines Produkts von Synthesebeispiel 3.
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4 ist
ein IR-Spektrum eines Produkts von Synthesebeispiel 4.
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5 ist
ein IR-Spektrum eines Produkts von Synthesebeispiel 5.
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6 ist
ein IR-Spektrum eines Produkts von Synthesebeispiel 6.
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7 ist
ein IR-Spektrum eines Produkts von Beispiel 1.
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8 ist
ein IR-Spektrum eines Produkts von Beispiel 2.
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9 ist
ein IR-Spektrum eines Produkts von Beispiel 3.
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AUSFÜHRLICHE
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Das
Folgende ist eine ausführlichere
Beschreibung der Zusammensetzung der vorliegenden Erfindung.
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(A) Aminogruppenhaltiges
Phenolderivat
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In
einem aminogruppenhaltigen Phenolderivat gemäß der vorstehend erwähnten allgemeinen
Formel (1) bedeuten die Gruppen R1, R2 und R3 in der Formel
entweder:
- (i) eine geradkettige oder verzweigte
Alkylgruppe mit 1 bis 9 Kohlenstoffatomen, und vorzugsweise 1 bis
4 Kohlenstoffatomen;
- (ii) eine Alkoxygruppe mit 1 bis 10 Kohlenstoffatomen und vorzugsweise
1 bis 4 Kohlenstoffatomen, in welcher die Alkylgruppe der Alkoxygruppe
entweder geradkettig oder verzweigt sein kann;
- (iii) eine COOR-Gruppe, in welcher R eine geradkettige oder
verzweigte Alkylgruppe mit 1 bis 6 Kohlenstoffatomen und vorzugsweise
3 bis 6 Kohlenstoffatomen bedeutet; oder
- (iv) ein Wasserstoffatom, und die Gruppen R1,
R2 und R3 können entweder
gleich oder voneinander verschieden sein.
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Von
diesen Optionen ermöglicht
der Fall, in dem R1, R2 und
R3 Alkylgruppen bedeuten, dass die Wasserbeständigkeit
verbessert wird. Im Fall von Alkoxygruppen oder COOR-Gruppen kann die
Adhäsion
der Verbindung an ein Substrat verbessert werden, für diejenigen
Fälle,
in denen die Verbindung in elektronischen Bauteilen verwendet wird,
wie nachstehend beschrieben ist. Außerdem wird im Falle von COOR-Gruppen auch
eine Komplexierung mit Polyestern unter Bildung von Verbundmaterialien
möglich,
wie nachstehend beschrieben ist. Außerdem ermöglicht die Hydrolyse der Alkoxygruppen
oder der COOR-Gruppen, dass die Alkalilöslichkeit weiter verbessert
wird, was für
Anwendungen vom Alkalientwicklungs-Typ wünschenswert ist. Mit anderen
Worten sollten die Gruppen R1, R2 und R3 vorzugsweise
in Übereinstimmung
mit der gewünschten Anwendung
ausgewählt
werden. Verbindungen, in welchen entweder eine oder zwei der Gruppen
R1, R2 und R3 Wasserstoffatome sind und die restlichen
Gruppen keine Wasserstoffatome sind, weisen besonders bevorzugte
Eigenschaften auf. Außerdem
sollte die Gruppe oder die Gruppen, welche keine Wasserstoffatome
sind, vorzugsweise Methylgruppen sein. Zum Beispiel ergeben Kombinationen,
in welchen zwei von R1, R2 und
R3 Wasserstoffatome sind und eines eine
Methylgruppe ist, oder Kombinationen, in welchen eines von R1, R2 und R3 ein Wasserstoffatom ist und die anderen
beiden Methylgruppen sind, Verbesserungen im Hinblick auf die Feuchtigkeitsbeständigkeit
und sind folglich bevorzugt.
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Außerdem können die
Gruppen R1, R2 und
R3 an beliebige der Kohlenstoffatomstellungen
2 bis 6 gebunden sein, die in der allgemeinen Formel (1) gezeigt
sind, wenngleich in Fällen,
in denen eine reguläre
Wiederholungseinheit erforderlich ist, Verbindungen mit einer guten
strukturellen Symmetrie bevorzugt sind. Insbesondere in denjenigen
Fällen,
in welchen zwei der Gruppen R1, R2 und R3 Wasserstoffatome
sind und die andere eine von einem Wasserstoffatom verschiedene
Gruppe ist, führt
die Bindung der Gruppe, die kein Wasserstoffatom ist, an die entsprechenden
Kohlenstoffatome in Stellung 4 zu einer besseren Struktursymmetrie und
ist folglich bevorzugt für
Fälle,
in welchen eine reguläre
Wiederholungseinheit erforderlich ist. Wenn alle der Gruppen R1, R2 und R3 Methylgruppen sind, kann außerdem die
Feuchtigkeitsbeständigkeit
noch weiter verbessert werden und die Löslichkeit in Lösungsmitteln
verbessert sich ebenfalls.
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Die
Gruppen R4 und R5 bedeuten
entweder eine geradkettige oder eine verzweigte Alkylgruppe mit
1 bis 9 Kohlenstoffatomen, und vorzugsweise 1 bis 4 Kohlenstoffatomen,
oder ein Wasserstoffatom und können entweder
gleich oder voneinander verschieden sein. Durch Einführen einer
Alkylgruppe an R4 und/oder R5 auf diese
Weise kann die Wasserbeständigkeit
der Verbindung verbessert werden. Außerdem sollten unter dem Gesichtspunkt
der Reaktivität
der Aminogruppen R4 und R5 vorzugsweise
Methylgruppen sein.
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Wenn
die R4-Gruppen, die R5-Gruppen
und die X- und -CH2--Gruppen, die an die
jeweiligen Benzolringe, welche die zwei terminalen Aminogruppen
umfassen, gebunden sind, in jedem Fall an das Kohlenstoffatom mit
der gleichen Nummer gebunden sind und wenn die Benzolringe, an welche
die zwei terminalen Aminogruppen gebunden sind, und die -X- und
-CH2--Gruppen, welche diese Benzolringe
mit dem Benzolring oder -ringen, an welchen bzw. welche eine phenolische
Hydroxylgruppe gebunden ist, verbinden, in jedem Fall symmetrisch
sind, kann außerdem
eine Polyimidvorstufe mit ho hem Molekulargewicht gebildet werden,
was wünschenswert
ist. X bedeutet -O-, -S-, -SO2-, -C(CH3)2-, -CH2-, -C(CH3)(C2H5)-, oder -C(CF3)2-, wenngleich
von diesen eine -CH2--Bindung zu einem einfacheren
Reaktionsverfahren führt
und folglich bevorzugt ist. In einer bevorzugten Konfiguration sind
(i) die zwei R4-Gruppen jeweils an das entsprechende
Kohlenstoffatom in der Stellung 2 oder Stellung 6 gebunden, (ii)
sind die zwei R5-Gruppen jeweils an das
andere entsprechende Kohlenstoffatom entweder in Stellung 2 oder
Stellung 6 gebunden und (iii) sind X und die Methylengruppe jeweils an
das entsprechende Kohlenstoffatom in Stellung 4 gebunden. In einer
solchen Konfiguration verbessert sich die Feuchtigkeitsbeständigkeit,
da die Hygroskopizität
der Aminogruppen beibehalten wird, und da es keine Wechselwirkung
zwischen den Aminogruppen und einer benachbarten phenolischen Hydroxylgruppe
gibt, nimmt außerdem
die Reaktivität
der Aminogruppe zu, was ebenfalls wünschenswert ist.
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n
bedeutet eine beliebige ganze Zahl von 1 oder größer, wenngleich sie in der
Praxis auf eine ganze Zahl von nicht mehr als 20 beschränkt ist.
Außerdem
sind ganze Zahlen von 1 oder größer, aber
nicht mehr als 15 noch mehr bevorzugt. Der tatsächliche Wert von n kann in Übereinstimmung
mit den gewünschten
Eigenschaften des Endprodukts ausgewählt werden.
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Beispiele
für die
am meisten bevorzugten Konfigurationen für aminogruppenhaltige Phenolderivate der
vorliegenden Erfindung sind nachstehend gezeigt.
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n
beträgt
vorzugsweise 1 bis 20.
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Ein
Herstellungsverfahren für
ein aminogruppenhaltiges Phenolderivat der vorliegenden Erfindung
ist nachstehend für
den Fall beschrieben, in welchem X eine -CH2--Gruppe
in der vorstehend erwähnten
allgemeinen Formel (1) ist. Bei der Herstellung dieses aminogruppenhaltigen
Phenolderivats wird Formalin mit einer Verbindung auf Phenolbasis
umgesetzt, die durch die nachstehend gezeigte [Formel a] wiedergegeben wird,
nämlich
einer Verbindung auf der Basis der allgemeinen Formel (1), in welcher
die Benzolringe, an welche die Aminogruppen gebunden sind, X und
die Methylengruppe ausgeschlos sen worden sind, und bildet ein Dihydroxymethylphenolderivat,
das zwei gebundene -CH2OH-Gruppen enthält, das
durch die nachstehend gezeigte [Formel b] wiedergegeben wird. Wenn
in der durch die [Formel b] wiedergegebenen allgemeinen Formel n
einen Wert von 2 oder größer bedeutet,
umfasst die Struktur zwei oder mehr Verbindungen auf Phenolbasis, die über eine
Methylengruppe verbunden sind. Der Wert von n kann in Abhängigkeit
von den Eigenschaften der als Ausgangsmaterial eingesetzten Verbindung
auf Phenolbasis, die durch die [Formel a] wiedergegeben wird, und
den Reaktionsbedingungen variiert werden. Anschließend werden
die zwei -CH2OH-Gruppen dieses Dihydroxymethylphenolderivats
einer Kondensation mit der Aminogruppe eines Anilinderivats unterworfen, das
durch die nachstehend gezeigte [Formel c] wiedergegeben wird, wobei
das aminogruppenhaltige Phenolderivat erhalten wird, das durch die
vorstehend erwähnte
allgemeine Formel (1) wiedergegeben wird.
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Die
Gruppen R1, R2,
R3, R4 und R5 und die Zahl n in den Formeln von [Formel
a] bis [Formel c] sind die gleichen wie die in der allgemeinen Formel
(1) gezeigten und können
in Übereinstimmung
mit dem gewünschten
aminogruppenhaltigen Phenolderivat, das hergestellt werden soll,
zweckmäßig ausgewählt werden.
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Das
Folgende ist eine Beschreibung eines spezifischen Beispiels der
Reaktionsbedingungen. Eine Verbindung auf Phenolbasis und eine wässrige Formalinlösung, vorzugsweise
mit einer Konzentration von ungefähr 50 Massen-%, die das 2-
bis 4-fache der Zahl der Mole der Verbindung auf Phenolbasis enthält, werden in
ein Reaktionsgefäß gegeben,
das mit einem Rührer,
einem Thermometer, einem Kühler
und einem Tropftrichter ausgestattet ist, und während das Gemisch konstant
gerührt
wird, wird dann Alkali unter Reaktionsbedingungen, zu denen eine
Temperatur von 0 bis 50°C
und eine Reaktionszeit von 1 bis 2 Stunden gehören, tropfenweise zu dem Gemisch
zugegeben. Das Alkali ist vorzugsweise eine wässrige Alkalilösung von
Natriumhydroxid oder Kaliumhydroxid oder dergleichen und kann z.B.
von einer wässrigen
Natriumhydroxidlösung mit
einer Konzentration von ungefähr
30 Massen-% Gebrauch machen. Außerdem
ist die Alkalimenge typischerweise eine der Verbindung auf Phenolbasis äquivalente
Zahl von Molen. Nach der Zugabe des Alkali wird die Temperatur erhöht und die
Reaktion wird bei einer Reaktionstemperatur von 20 bis 80°C während eines Zeitraums
von 2 bis 4 Stunden ablaufen gelassen.
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Anschließend wird
das Reaktionsgemisch gekühlt,
vorzugsweise auf eine Temperatur von nicht mehr als 30°C, mit Säure neutralisiert
und das Produkt wird ausgefällt.
Es gibt keine besonderen Beschränkungen hinsichtlich
der verwendeten Säure
und ein geeignetes Beispiel ist eine wässrige Essigsäurelösung mit
einer Konzentration von ungefähr
10 Massen-%. Das Produkt wird dann filtriert, mit Wasser gewaschen
und dann unter vermindertem Druck getrocknet, vorzugsweise bei einer
Temperatur von nicht mehr als 50°C,
wobei das Produkt (ein Dihydroxymethylphenolderivat) erhalten wird.
Dieses Produkt wird dann zusammen mit einem Anilinderivat, einem
Säurekatalysator
und sofern erforderlich einem organischen Lösungsmittel in ein Reaktionsgefäß gegeben,
das mit einem Thermometer, einem Kühler und einem Rührer ausgestattet
ist, und wird während eines
Zeitraums von 4 bis 8 Stunden bei einer Temperatur von 120 bis 200°C und vorzugsweise
140 bis 180°C
umgesetzt.
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Die
Menge des verwendeten Anilinderivats sollte das 2- bis 4-fache und
vorzugsweise 2,2- bis 3,0-fache der Zahl der Mole des Dihydroxymethylphenolderivats
betragen. Der Säurekatalysator
kann von jeder typischen organischen Säure oder anorganischen Säure Gebrauch
machen und zu geeigneten Beispielen gehören Chlorwasserstoffsäure, Paratoluolsulfonsäure und
Oxalsäure,
wenngleich von diesen Oxalsäure
bevorzugt ist. Die Menge des Säurekatalysators
kann in Abhängigkeit
von der Art der verwendeten Säure
zweckmäßig abgeändert werden,
wenngleich im Fall von Oxalsäure
eine Menge von ungefähr
1 Massen-%, bezogen auf die Gesamtmenge der Materialien in dem Reaktionsgefäß, bevorzugt
ist. Außerdem
ist die Verwendung eines Lösungsmittels
wie eines Alkohols, einer Cellosolve oder Toluol bevorzugt, wenngleich
ein organisches Lösungsmittel
keine Notwendigkeit ist. Die Menge des Lösungsmittels beträgt typischerweise
10 bis 20 Massen-%, bezogen auf die Gesamtmenge der Reaktanten.
Im Anschluss an die Reaktion wird das Gemisch gekühlt und
dann, sofern erforderlich, gereinigt, wobei bekannte Methoden wie
Destillation oder Umkristallisation verwendet werden, um ein aminogruppenhaltiges
Phenolderivat gemäß der vorliegenden
Erfindung zu erhalten. Zu Beispielen für geeignete Lösungsmittel
für die
Umkristallisation gehören
Cellosolven, Alkohole, Acetatester, Benzol und Toluol.
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In
den Fällen,
in welchen X in der vorstehend erwähnten allgemeinen Formel (1)
eine von einer -CH2--Gruppe verschiedene
Bindungsgruppe ist, kann ein aminogruppenhaltiges Phenolderivat
durch Verwenden einer Verbindung auf Phenolbasis wie Bisphenol-S, Hydroxydiphenylether
oder Bisphenol AF und anschließend
Durchführen
einer Dihydroxymethylierung und Umsetzen des Produkts davon mit
einem Anilinderivat auf die gleiche Weise wie vorstehend beschrieben
hergestellt werden.
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(B) Polyimidvorstufe und
Polyimidpolymer
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Eine
Polyimidvorstufe der vorliegenden Erfindung wird aus einer Wiederholungseinheit
gebildet, die durch die vorstehend erwähnte allgemeine Formel (2)
wiedergegeben wird. Wenn diese Vorstufe einer Dehydratisierungs-Kondensations-Reaktion
unterworfen wird, erfolgen außerdem
entsprechende Dehydratisierungs-Kondensationen der zwei Carboxylgruppen
und der an die R6-Gruppe in der allgemeinen
Formel (2) gebundenen Iminogruppe, wobei Ringstrukturen gebildet
werden und ein Polyimidpolymer erzeugt wird, das aus einer Wiederholungseinheit
gebildet ist, die durch die nachstehend gezeigte allgemeine Formel
(3) wiedergegeben wird.
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In
den allgemeinen Formeln (2) und (3) sind die Gruppen R1,
R2, R3, R4, R5 und X und die
Zahl n die gleichen wie die für
das vorstehend erwähnte
aminogruppenhaltige Phenolderivat beschriebenen.
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In
den allgemeinen Formeln (2) und (3) bedeutet R6 eine
aromatische Tetracarbonsäuredianhydridgruppe.
Zu Beispielen für
bevorzugte aromatische Tetracarbonsäuredianhydride gehören Pyromellitsäuredianhydrid,
3,3',4,4'-Benzophenontetracarbonsäuredianhydrid,
2,2',3,3'-Benzophenontetracarbonsäuredianhydrid,
2,3,3',4'-Benzophenontetracarbonsäuredianhydrid,
Naphthalin-2,3,6,7-tetracarbonsäuredianhydrid, Naphthalin-1,2,5,6-tetracarbonsäuredianhydrid,
Naphthalin-1,2,4,5-tetracarbonsäuredianhydrid,
Naphthalin-1,4,5,8-tetracarbonsäuredianhydrid,
Naphthalin-1,2,6,7-tetracarbonsäuredianhydrid,
3,3',4,4'-Diphenyltetracarbonsäuredianhydrid,
2,2',3,3'-Diphenyltetracarbonsäuredianhydrid,
2,3,3',4'-Diphenyltetracarbonsäuredianhydrid,
3,3'',4,4''-p-Terphenyltetracarbonsäure, 2,2'',3,3''-p-Terphenyltetracarbonsäure, 2,3,3'',4''-p-Terphenyltetracarbonsäure, 2,2-Bis(2,3-dicarboxyphenyl)propandianhydrid,
2,2-Bis(3,4-dicarboxyphenyl)propan-dianhydrid, Bis(2,3-dicarboxyphenyl)etherdianhydrid,
Bis(2,3-dicarboxyphenyl)methandianhydrid, Bis(3,4-dicarboxyphenyl)methandianhydrid,
Bis(2,3-dicarboxyphenyl)sulfondianhydrid, Bis(3,4-dicarboxyphenyl)sulfondianhydrid,
1,1-Bis(2,3-dicarboxyphenyl)ethandianhydrid und 1,1-Bis(3,4-dicarboxyphenyl)ethandianhydrid.
Von diesen Verbindungen sind Pyromellitsäuredianhydrid, 3,3',4,4'-Diphenyltetracarbonsäuredianhydrid
besonders bevorzugt, da sie die typischsten Beispiele darstellen
und auch niedrige Wärmeausdehnungsgrade
bieten.
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Die
massengemittelten Molekulargewichte der Polyimidvorstufe und des
Polyimidpolymers liegen im gleichen Bereich. Das massengemittelte
Molekulargewicht von jedem von ihnen kann in Übereinstimmung mit der gewünschten
Anwendung des Produkts zweckmäßig eingestellt
werden, wenngleich Werte von 10000 bis 100000 bevorzugt sind und
Werte von 20000 bis 60000 noch wünschenswerter
sind. Durch Kontrollieren der Reaktionsbedingungen können Polyimidvorstufen
oder Polyimidpolymere gemäß der vorliegenden
Erfindung mit einer guten Kontrolle über das massengemittelte Molekulargewicht
hergestellt werden, um einen Wert innerhalb des vorstehend erwähnten Bereichs
von 10000 bis 100000 und vorzugsweise von 20000 bis 60000 zu erhalten.
Infolgedessen kann ein Molekulargewicht erzielt werden, welches
im Vergleich mit denjenigen von herkömmlichen Polyimidpolymeren
günstig
abschneidet.
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Außerdem wurde
herausgefunden, dass ein Polyimidpolymer der vorliegenden Erfindung
nicht nur ein ähnliches
massengemitteltes Molekulargewicht wie herkömmliche Polyimidpolymere aufweist,
sondern auch die äußerst nützliche
Eigenschaft aufweist, dass es in organischen Lösungsmitteln löslich ist.
Mit anderen Worten war es typischerweise schwierig, herkömmliche
aromatische Polyimidpolymere in organischen Lösungsmitteln aufzulösen. Infolgedessen
wird typischerweise ein Verfahren eingesetzt, in welchem eine Polyimidvorstufe
(nämlich
eine Polyamidsäure),
welche in organischen Lösungsmitteln
löslich
ist, vorher hergestellt wird und eine Lösung, welche diese in einem
organischen Lösungsmittel
aufgelöste
Polyimidvorstufe enthält,
dann auf ein Substrat aufgebracht wird und anschließend durch
Erwärmen
zum Bewirken einer Cyclodehydratisierung und anschließendes Trocknen
in ein Polyimid umgewandelt wird, wodurch die Bildung eines Polyimidpolymerfilms
ermöglicht
wird. Die Bedingungen für
die Erwärmungs-
und Trocknungsbehandlungsschritte in diesem Verfahren erfordern
eine hohe Temperatur und eine beträchtliche Zeitdauer, um die
Cyclisierung der Polyimidvorstufe über eine Dehydratisierungs-Kondensation
zu erzielen und das Produkt Polyimidpolymer zu erzeugen. Im Gegensatz
dazu ist ein Polyimidpolymer der vorliegenden Erfindung in organischen
Lösungsmitteln
löslich
und folglich kann ein Polyimidpolymerfilm hergestellt werden durch
Aufbringen einer Lösung,
nicht von einer Vorstufe, sondern von dem Polyimidpolymer selbst,
das durch die Dehydratisierungs-Kondensation erzeugt wurde und in
einem organischen Lösungsmittel
gelöst
ist, und dann Durchführen
eines nachfolgenden Trocknungsschritts bei einer weit niedrigeren
Temperatur und wäh rend
eines weit kürzeren
Zeitraums als den Erwärmungs-
und Trocknungsbehandlungsbedingungen, die vorstehend beschrieben
sind.
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Folglich
kann ein Film in einer viel kürzeren
Zeit und durch einen viel einfacheren Arbeitsgang hergestellt werden,
als herkömmlicherweise
möglich
ist. Außerdem
wird, da nur eine Lösungsmittelentfernungsbehandlung
erforderlich ist und es keine Notwendigkeit gibt, eine Dehydratisierungs-Kondensations-Reaktion durchzuführen, der
weitere Vorteil erhalten, dass Verringerungen der Filmdicke oder
die Erzeugung von Unregelmäßigkeiten
in der Filmdicke, die durch eine Dehydratisierung bewirkt werden,
nicht auftreten.
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Es
gibt keine besonderen Beschränkungen
hinsichtlich des verwendeten organischen Lösungsmittels, vorausgesetzt,
dass das Lösungsmittel
in der Lage ist, die Polyimidpolymere der vorliegenden Erfindung
aufzulösen,
und es kann entweder ein einzelnes Lösungsmittel oder ein Gemisch
aus zwei oder mehr Lösungsmitteln
verwendet werden. Zu geeigneten Lösungsmitteln gehören organische
Lösungsmittel
wie N-Methyl-2-pyrrolidon, N,N-Dimethylformamid, N,N-Dimethylacetamid,
Dimethylsulfoxid, Hexamethylphosphoramid, Tetramethylensulfon, γ-Butyrolacton
und p-Chlorphenol sowie Lösungsmittel
auf Glycoletherbasis wie Methyldiethylenglycoldimethylether (Methyldiglyme)
und Methyltriethylenglycoldimethylether (Methyltriglyme).
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Wie
vorstehend beschrieben ist, können
gemäß der vorliegenden
Erfindung Polyimidvorstufen und Polyimidpolymere bereitgestellt
werden, welche, während
die inhärenten
Vorteile von herkömmlichen
Polyimidpolymeren beibehalten werden, auch zusätzliche Vorteile in Bezug auf
die Filmbildung wie ein einfacheres Filmbildungsverfahren und eine
glattere Filmoberfläche
bieten. Außerdem
kann eine Polyimidvorstufe der vorliegenden Erfindung einer Dehydratisierungs-Kondensations-Reaktion
unterworfen und in ein Polyimidpolymer umgewandelt werden, bevor
es in einem Lösungsmittel
aufgelöst,
auf ein Substrat aufgebracht und anschließend getrocknet wird, um eine
vorgegebene Form auszubilden. Folglich kann das Problem, dass während der Wärmebehandlung
Dehydratisierungs-Kondensationswasser erzeugt wird, vermieden werden,
welches in den Fällen
auftritt, wo eine Lösung
einer Polyimidvorstufe zuerst auf ein Substrat aufgebracht wird,
bevor es einer Dehydratisierungs-Kondensations-Reaktion unterworfen
wird. Infolgedessen treten Fehlstellen und dergleichen, welche während des
Entfernens von Wasser aus einem geformten Produkt wie einem Film
erzeugt werden können,
weniger wahrscheinlich auf. In dünnen
Filmen kann Wasser, das durch die Dehydratisierungs-Kondensations-Reaktion
erzeugt wird, leicht in die Atmosphäre entweichen, aber im Fall
von dickeren Filmen oder dickeren geformten Produkten in Form von
rechteckigen Prismen oder dergleichen ist es viel schwieriger, das
Wasser zu entfernen und Fehlstellen und dergleichen werden wahrscheinlicher.
In diesen Arten von Anwendungen ist es bevorzugt, dass eine Lösung verwendet
wird, die ein aufgelöstes
Polyimidpolymer enthält,
da ein einheitlich geformtes Produkt ohne Fehlstellen hergestellt
werden kann. Infolgedessen bieten Polyimidvorstufen und Polyimidpolymere
der vorliegenden Erfindung selbst ohne Mischen ausgezeichnete Eigenschaften
als wässrige
Entwicklungsmaterialien, Klebstoffe für elektronische Materialien,
Isoliermaterialien und Formmassen und dergleichen.
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Eine
Polyimidvorstufe der vorliegenden Erfindung kann auf die nachstehend
beschriebene Weise hergestellt werden. Zuerst werden ein aminogruppenhaltiges
Phenolderivat und ein organisches Lösungsmittel in ein Reaktionsgefäß gegeben
und das Gemisch wird beispielsweise ungefähr 30 Minuten bei Raumtemperatur gerührt, um
das aminogruppenhaltige Phenolderivat aufzulösen. Es gibt keine besonderen
Beschränkungen hinsichtlich
des organischen Lösungsmittels,
vorausgesetzt, dass es in der Lage ist, die Materialien und Reaktanten
gleichmäßig aufzulösen, und
es können
entweder einzelne Lösungsmittel
oder Gemische aus zwei oder mehr Lösungsmitteln verwendet werden.
Zu geeigneten Beispielen gehören
organische Lösungsmittel
wie N-Methyl-2-pyrrolidon, N,N-Dimethylformamid, N,N-Dimethylacetamid,
Dimethylsulfoxid, Hexamethylphosphoramid, Tetramethylensulfon, γ-Butyrolacton
und p-Chlorphenol sowie Lösungsmittel
auf Diethylenglycoldimethylether-Basis wie Methyldiethylenglycoldimethylether
und Methyltriethylenglycoldimethylether. Es wird ausreichend organisches
Lösungsmittel
verwendet, um eine Konzentration des aminogruppenhaltigen Phenolderivats
von 10 bis 35 Massen-% und vorzugsweise 15 bis 25 Massen-% zu erzeugen.
-
Anschließend wird
ein aromatisches Tetracarbonsäuredianhydrid
nach und nach mit konstantem Rühren über einen
Zeitraum von 0,5 bis 1 Stunde zugegeben, wobei die Temperatur bei
nicht mehr als 30°C
(und vorzugsweise bei 20 bis 25°C)
gehalten wird. Das Reaktionsgemisch wird anschließend bei
der gleichen Temperatur für
einen Zeitraum von 1 bis 20 Stunden gerührt und ergibt eine Polyimidvorstufenlösung. In
den Fäl len, in
welchen die Polyimidvorstufe erforderlich ist, sollte die Lösung vorzugsweise
so verwendet werden, wie sie ist. Das Molverhältnis des aminogruppenhaltigen
Phenolderivats, bezogen auf das aromatische Tetracarbonsäuredianhydrid,
sollte in einem Bereich von 1,2 bis 0,9 und vorzugsweise ungefähr 1 und
noch mehr bevorzugt von 1,01 bis 0,99 liegen.
-
In
den Fällen,
in welchen die Polyimidvorstufe anschließend einer Dehydrierungs-Kondensations-Reaktion
zum Erzeugen eines Polyimidpolymers unterworfen werden soll, wird
die auf die vorstehend beschriebene Weise erhaltene Polyimidvorstufenlösung 2 bis
4 Stunden auf eine Temperatur von 170 bis 200°C erhitzt, wobei eine Dehydratisierungs-Kondensations-Reaktion
bewirkt und ein Polyimidpolymer erhalten wird.
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(C) Lichtempfindliche
Polyimidvorstufe und lichtempfindliches Polyimidpolymer
-
Eine
lichtempfindliche Polyimidvorstufe der vorliegenden Erfindung ist
eine Polyimidvorstufe, die aus einer Wiederholungseinheit gebildet
ist, die durch die vorstehend erwähnte allgemeine Formel (2)
wiedergegeben wird, in welcher das Wasserstoffatom von wenigstens
einer phenolischen Hydroxylgruppe durch eine funktionelle Gruppe
ersetzt wird, welche der Polyimidvorstufe Lichtempfindlichkeit verleiht.
Ein lichtempfindliches Polyimidpolymer der vorliegenden Erfindung
ist ein Polyimidpolymer, das aus einer Wiederholungseinheit gebildet
wird, die durch die vorstehend erwähnte allgemeine Formel (3)
wiedergegeben wird, in welcher das Wasserstoffatom von wenigstens
einer phenolischen Hydroxylgruppe durch eine funktionelle Gruppe
ersetzt wird, welche dem Polyimidpolymer Lichtempfindlichkeit verleiht.
Diese lichtempfindlichen Polyimidvorstufen und lichtempfindlichen
Polyimidpolymere weisen ausgezeichnete Eigenschaften als wässrige Entwicklungsmaterialien,
als Lötresists
für elektronische
Materialien und als lichtempfindliche Materialien auf. Weil diese
Art von lichtempfindlichem Polyimidpolymer bereits vor der Filmbildung
eine Dehydratisierungs-Kondensations-Reaktion durchgemacht hat,
wird während
der Filmbildung kein Wasser erzeugt, was den beträchtlichen Vorteil
bietet, dass sich die Filmdicke während des Filmbildungsverfahrens
nicht verringert. Wie vorstehend für Polyimidpolymere der vorliegenden
Erfindung beschrieben, ist ein lichtempfindliches Polyimidpolymer
der vorliegenden Erfindung besonders wirksam in Fällen, in
denen Wasser schwer zu entfernen ist, wie etwa in dickeren Filmen.
-
Wenn
eine lichtempfindliche Polyimidvorstufe in einer Alkalientwicklung
verwendet wird, kann es erforderlich sein, dass große Mengen
an lichtempfindlichen Gruppen eingeführt werden, um einen angemessenen
Kontrast während
des Alkalientwicklungsverfahrens zu erzielen. Im Fall einer lichtempfindlichen
Polyimidvorstufe sollten 10 bis 90% und vorzugsweise 40 bis 80%
der phenolischen Hydroxylgruppen mit der vorstehend erwähnten funktionellen
Gruppe, welche Lichtempfindlichkeit verleiht, substituiert sein.
Im Fall eines lichtempfindlichen Polyimidpolymers sollten 10 bis
70% und vorzugsweise 20 bis 40% der phenolischen Hydroxylgruppen
mit der funktionellen Gruppe, welche Lichtempfindlichkeit verleiht,
substituiert sein.
-
Die
massengemittelten Molekulargewichte der lichtempfindlichen Polyimidvorstufe
und des lichtempfindlichen Polyimidpolymers liegen im gleichen Bereich
und um eine gute Anwendbarkeit zu erzielen, sind Werte von 10000
bis 100000 und vorzugsweise von 20000 bis 60000 bevorzugt.
-
Zu
Beispielen für
funktionelle Gruppen, welche Polyimidvorstufen oder Polyimidpolymeren
Lichtempfindlichkeit verleihen, gehören lichtempfindliche Gruppen
auf Chinondiazidbasis und Acryloylgruppen. Zu speziellen Beispielen
für bevorzugte
lichtempfindliche Gruppen auf Chinondiazidbasis gehören 1,2-Benzochinondiazid-4-sulfonatester,
1,2-Naphthochinondiazid-4-sulfonatester, 1,2-Naphthochinondiazid-5-sulfonatester, 2,1-Naphthochinondiazid-4-sulfonatester
und 2,1-Naphthochinondiazid-5-sulfonatester.
-
Als
ein Beispiel kann eine lichtempfindliche Polyimidvorstufe der vorliegenden
Erfindung, die mit einer lichtempfindlichen Gruppe auf Chinondiazidbasis
substituiert ist, erzeugt werden durch Herstellen einer Polyimidvorstufe
der vorliegenden Erfindung unter Verwendung des vorstehend beschriebenen
Verfahrens und anschließend
Umsetzen von 100 Massenteilen dieser Vorstufe mit vorzugsweise 1
bis 50 Massenteilen und noch mehr bevorzugt 5 bis 25 Massenteilen
Chinondiazidsulfonylchlorid. In dieser Reaktion ist es bevorzugt,
dass im Anschluss an die Zugabe des Chinondiazidsulfonylchlorids
weitere 1,2 Äquivalente
Triethylamin über
einen Zeitraum von ungefähr
30 Minuten bei einer Temperatur von nicht mehr als 30°C und vorzugsweise
nicht mehr als 25°C
tropfenweise zugegeben werden und anschließend für einen Zeitraum von 2 bis
12 Stunden umgesetzt werden. Anschließend wird das Reaktionsgemisch
in ein großes
Volumen einer 0,2%-igen wässrigen Oxalsäurelösung gegossen,
die dem 10-fachen des Volumens der Reaktionslösung äquivalent ist, und die ausgefällte Feststofffraktion
wird filtriert, mit Ionenaustauschwasser gewaschen und anschließend getrocknet,
um die lichtempfindliche Polyimidvorstufe zu erhalten. Außerdem kann
z.B. ein lichtempfindliches Polyimidpolymer der vorliegenden Erfindung,
das mit einer lichtempfindlichen Gruppe auf Chinondiazidbasis substituiert
ist, auf ähnliche
Weise wie vorstehend beschrieben hergestellt werden, indem zuerst
ein Polyimidpolymer der vorliegenden Erfindung hergestellt wird
und dann dieses Harz mit Chinondiazidsulfonylchlorid auf ähnliche
Weise wie bei der vorstehend erwähnten
lichtempfindlichen Polyimidvorstufe umgesetzt wird. Außerdem kann
ein lichtempfindliches Polyimidpolymer auch hergestellt werden,
indem die vorstehend erwähnte
lichtempfindliche Polyimidvorstufe einer Dehydratisierungs-Kondensations-Reaktion unterworfen
wird. Eine lichtempfindliche Polyimidvorstufe oder ein lichtempfindliches
Polyimidpolymer, die bzw. das mit einer Acryloylgruppe substituiert
ist, kann auf die gleiche Weise wie vorstehend beschrieben hergestellt
werden, mit der Ausnahme, dass das Chinondiazidsulfonylchlorid durch
Acrylylchlorid ersetzt wird.
-
Obgleich
dies in gewissem Maß von
der gewünschten
Endanwendung des Produkts abhängt,
sind die am meisten bevorzugten lichtempfindlichen Polyimidvorstufen
und lichtempfindlichen Polyimidpolymere diejenigen, welche ein bevorzugtes
aminogruppenhaltiges Phenolderivat verwenden, das nachstehend gezeigt
ist:
-
-
(n
ist vorzugsweise 1 bis 20). Von diesen sind Vorstufen und Harze,
welche Pyromellitsäuredianhydrid oder
3,3',4,4'-Diphenyltetracarbonsäuredianhydrid
als das aromatische Tetracarbonsäuredianhydrid
verwenden, besonders bevorzugt für
solche Anwendungen, bei denen die Auswirkungen der Wärmeausdehnung
ein wichtiger Faktor sind.
-
(D) Verbundmaterialien
-
Polyimidvorstufen
und Polyimidpolymere der vorliegenden Erfindung können durch
Komplexieren mit anderen Verbindungen in Verbundmaterialien umgewandelt
werden.
-
In
der vorliegenden Erfindung gibt es keine besonderen Beschränkungen
hinsichtlich dieser anderen Verbindungen, die bei der Bildung von
Verbundmaterialien verwendet werden, vorausgesetzt, dass sie eine funktionelle
Gruppe enthalten, die in der Lage ist, mit einer phenolischen Hydroxylgruppe
zu reagieren, und wenngleich die Natur der Verbindung in Abhängigkeit
von der Anwendung variiert, sind synthetische Harze und dergleichen
bevorzugt. Zu speziellen Beispielen gehören Epoxyharze, Siliconharze
und Acrylharze und diese Harze können
einzeln oder in Gemischen aus zwei oder mehr verschiedenen Harzen
verwendet werden. In der vorliegenden Erfindung können mit
Epoxyharzen oder Siliconharzen gebildete Verbundmaterialien zusätzliche
günstige
Eigenschaften wie eine erhöhte
Wärmebeständigkeit,
verbesserte mechanische Eigenschaften, elektrische Isolierung und
Flammbeständigkeit
des Polyimidpolymers sowie eine gute Filmformbarkeit bereitstellen,
welche besonders wünschenswert
sind in Anwendungen für
elektronische Komponenten wie etwa Oberflächenschutzfilme für Halbleiterelemente
und Zwischenschichtisolierfilme und dergleichen. Außerdem können in
denjenigen Fällen,
in welchen eine beliebige der Gruppen R1,
R2 und R3 in den
allgemeinen Formeln (2) und (3) eine COOR-Gruppe ist, auch Verbundmaterialien
mit Polyesterharzen gebildet werden. Von den Polyimidvorstufen und
den Polyimidpolymeren ist eine Komplexierung für jede Vorstufe oder jedes
Harz möglich,
welche bzw. welches wenigstens eine phenolische Hydroxylgruppe aufweist,
und folglich ist eine Komplexierung auch für lichtempfindliche Polyimidvorstufen
oder lichtempfindliche Polyimidpolymere mit wenigstens zwei phenolischen
Hydroxylgruppen möglich,
bei denen ein Teil der Wasserstoffatome von diesen Hydroxylgruppen
durch eine lichtempfindliche Gruppe auf Chinondiazidbasis ersetzt
worden ist.
-
Ein
Verbundmaterial kann unter Verwendung des nachstehend beschriebenen
Musterverfahrens hergestellt werden. Zuerst werden eine Polyimidvorstufe
oder ein Polyimidpolymer der vorliegenden Erfindung und eine Verbindung
zum Bilden des Verbundmaterials gleichmäßig vermischt. Im Fall einer
Verbindung wie eines Epoxyharzes mit einer Glycidylgruppe wird das
Vermischen für
einen Zeitraum von 20 bis 60 Minuten und vorzugsweise ungefähr 30 Minuten
bei einer Temperatur von 40 bis 80°C und vorzugsweise einer Temperatur
von ungefähr
60°C durchgeführt. Anschließend wird
ein Katalysator wie Triphenylphosphin, Triethylamin oder irgendein
anderer typischer Härtungsbeschleuniger
zugegeben (wenngleich Triphenylphosphin bevorzugt ist) und das Gemisch
wird 20 bis 60 Minuten und vorzugsweise ungefähr 30 Minuten bei einer Temperatur von 40
bis 80°C
und vorzugsweise einer Temperatur von ungefähr 60°C gerührt, um den Ablauf der Komplexierungsreaktion
zu bewirken. Dann wird die Temperatur auf 170 bis 350°C angehoben
und diese Temperatur wird 3 bis 5 Stunden aufrechterhalten, um das
Material zu härten
und das Verbundmaterial herzustellen. Das Härten kann z.B. durch Aufrechterhalten
einer Temperatur von 180°C
während
einer Stunde, Erhöhen
der Temperatur und anschließend
Aufrechterhalten einer Temperatur von 250°C während einer weiteren Stunde und
dann erneutes Erhöhen
der Temperatur und Aufrechterhalten einer Temperatur von 320°C während noch einer
weiteren Stunde durchgeführt
werden. In denjenigen Fällen,
wo ein Film gebildet werden soll, kann das Verbundmaterial vor den
Temperaturerhöhungs-
und Härtungsschritten
auf eine Substratoberfläche
aufgebracht werden, wobei Rotationsbeschichten oder dergleichen
eingesetzt wird, und das Material kann dann unter ähnlichen
Bedingungen wie den vorstehend beschriebenen gehärtet werden, wobei es möglich gemacht wird,
dass ein substratgebundener Film mit beträchtlicher Leichtigkeit hergestellt
wird.
-
Die
relativen Anteile der Polyimidvorstufe oder des Polyimidpolymers
der vorliegenden Erfindung und der anderen Verbindung während der
Herstellung eines Verbundmaterials können in Übereinstimmung mit der Natur
der anderen Verbindung, die verwendet wird, und der beabsichtigten
Endanwendung zweckmäßig geändert werden,
wenngleich im Fall der Herstellung eines Verbundmaterials mit beispielsweise
einem synthetischen Harz Verhältnisse
(Massenverhältnisse)
innerhalb eines Bereichs von 10:1 bis 1:10 und vorzugsweise von
4:1 bis 1:4 verwendet werden.
-
Im
Fall der Komplexierung mit einem Epoxyharz gibt es keine besonderen
Beschränkungen
hinsichtlich der Art des Epoxyharzes, welches in Übereinstimmung
mit der gewünschten
Endanwendung ausgewählt werden
kann. Zu Beispielen für
geeignete Epoxyharze gehören
Epoxyharze vom Phenol-Novolak-Typ; Epoxyharze vom o-Cresol-Novolak-Typ; Epoxide
von Bisphenol A, Bisphenol S, Bisphenol F und Biphenol und dergleichen;
und Epoxyharze vom Glycidylamin-Typ, die durch Reaktion eines Polyamins
wie Diaminophenylmethan und Epichlorhydrin gebildet werden, und
diese Harze können
einzeln oder in Kombination von zwei oder mehr solchen Harzen verwendet
werden. Zum Beispiel sind im Fall einer Anwendung auf eine Formmasse
beliebige der verschiedenen Novolakharze bevorzugt, wogegen im Fall
von Anwendungen auf Filme oder Klebstoffe Epoxyharze vom Dimer-Typ,
die die verschiedenen Bisphenole verwen den, bevorzugt sind. Die
Epoxyäquivalenz
des Epoxyharzes kann in Übereinstimmung
mit der beabsichtigten Anwendung variiert werden, wenngleich typische
Werte 150 bis 250 und vorzugsweise 160 bis 200 betragen. Verbundmaterialien,
die durch Komplexieren eines Epoxyharzes gebildet werden, weisen
eine überraschend
große
Zunahme des Glasübergangspunktes
gegenüber
dem Glasübergangspunkt
der Polyimidvorstufe vor dem Komplexieren auf und die Verbesserung
der Wärmebeständigkeit
ist ausgeprägt.
Entsprechend kann ein Material hergestellt werden, welches nicht
nur eine gute Adhäsion
an elektronische Komponenten wie etwa Substrate aufweist, sondern auch
eine äußerst gute
Wärmebeständigkeit
aufweist.
-
Für Anwendungen
auf elektronische Komponenten sollte das Epoxyharz vorzugsweise
aus Harzen ausgewählt
werden, die herkömmlicherweise
in Anwendungen für
elektronische Komponenten verwendet werden. In solchen Fällen liegen
die relativen Anteile der Polyimidvorstufe oder des Polyimidpolymers
der vorliegenden Erfindung und des Epoxyharzes typischerweise im
Bereich von 4:1 bis 1:4 und vorzugsweise von 2:1 bis 1:2 (Massenverhältnisse).
Außerdem
sind kürzlich
filmartige Materialien als IC-Dichtungsmaterialien vorgeschlagen
worden und da Verbundmaterialien der vorliegenden Erfindung die
ausgezeichneten Filmbildungseigenschaften eines Polyimidpolymers
aufweisen, können
sie auch idealerweise auf diese Art von Anwendung angewandt werden.
-
Im
Fall des Komplexierens mit einem Siliconharz gibt es keine besonderen
Beschränkungen
hinsichtlich der Art des Siliconharzes, welches in Übereinstimmung
mit der gewünschten
Endanwendung ausgewählt werden
kann. Das zahlengemittelte Molekulargewicht des Siliconharzes kann
in Übereinstimmung
mit der beabsichtigten Anwendung geändert werden, wenngleich typische
Werte innerhalb eines Bereichs von 3000 bis 30000 und vorzugsweise
von 5000 bis 20000 liegen. In letzter Zeit werden mit dem zunehmenden
Integrationsgrad in elektronischen Komponenten Siliconharze als
spannungsarme Harze verwendet. Entsprechend kann durch Komplexieren
eines Siliconharzes ein Film oder dergleichen hergestellt werden,
welcher eine gute Flexibilität
und niedrige Spannung aufweist und auch die günstigen Eigenschaften eines
Polyimidpolymers, nämlich
ein hohes Niveau der Wärmebeständigkeit,
eine günstige
Dielektrizitätskonstante
und gute Filmbildungseigenschaften aufweist. Insbesondere weist
das Verbundmaterial die günstigen
Filmbildungseigenschaften eines Polyimidpolymers auf und weist auch
die Flexibilität
eines Siliconharzes auf und ist folglicherweise ideal für Anwendungen
wie filmartige Dichtungsmaterialien und flexible Leiterplatten.
In solchen Fällen sollte
das Siliconharz vorzugsweise aus Harzen ausgewählt werden, die herkömmlicherweise
in Anwendungen für
elektronische Komponenten verwendet werden. Zu geeigneten Beispielen
gehören
Phenylmethylsiliconharz, Methylsiliconharz und modifiziertes Siliconharz.
In solchen Fällen
liegen die relativen Anteile der Polyimidvorstufe oder des Polyimidpolymers
der vorliegenden Erfindung und des Siliconharzes typischerweise
in einem Bereich von 10:10 bis 10:1 und vorzugsweise von 10:4 bis
10:2 (Massenverhältnisse).
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Auf
diese Weise, durch Bilden einer Polyimidvorstufe oder eines Polyimidpolymers
unter Verwendung eines aminogruppenhaltigen Phenolderivats der vorliegenden
Erfindung, ermöglicht
die Einführung
einer phenolischen Hydroxylgruppe die Bildung von Verbundmaterialien
durch Komplexieren mit anderen Materialien, wobei die günstigen
Polyimidpolymereigenschaften wie Wärmebeständigkeit, mechanische Eigenschaften, elektrische
Isolierung und Flammbeständigkeit
beibehalten werden können.
Was hier als Komplexieren beschrieben wird, bezieht sich auf eine
Reaktion einer vorstehend erwähnten
phenolischen Hydroxylgruppe eines aminogruppenhaltigen Phenolderivats
mit einer funktionellen Gruppe einer weiteren Verbindung, die zu
einer Bindungsbildung führt.
Das Komplexieren mit einem weiteren Harz macht es möglich, dass
die günstigen Eigenschaften
dieses anderen Harzes dem Verbundmaterial verliehen werden. Speziell
führt das
Komplexieren mit einem Epoxyharz zu einem Material mit einem niedrigen
Wärmeausdehnungskoeffizienten
und einer guten Adhäsion
an Substrate wie Glas, Metalle und Metalloxide. Im Gegensatz dazu
ergibt das Komplexieren mit Siliconharzen ein Material, welches
eine gute Adhäsion
an Siliconwafer und Glasplatten bietet und auch eine ausgezeichnete
Flexibilität
aufweist. Außerdem
können
in einer Polyimidvorstufe oder einem Polyimidpolymer unter Verwendung
eines aminogruppenhaltigen Phenolderivats der vorliegenden Erfindung
die Wasserstoffatome von phenolischen Hydroxylgruppen durch eine
funktionelle Gruppe ersetzt werden, welche der Polyimidvorstufe
oder dem Polyimidpolymer Lichtempfindlichkeit verleiht, was die
Herstellung einer lichtempfindlichen Polyimidvorstufe oder eines
lichtempfindlichen Polyimidpolymers ermöglicht.
-
BEISPIELE
-
Das
Folgende ist eine ausführlichere
Beschreibung der vorliegenden Erfindung auf der Basis einer Reihe
von Beispielen.
-
(Synthese von aminogruppenhaltigen
Phenolderivaten)
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Synthesebeispiel 1
-
(1) Synthese eines Dimethylolphenolderivats
-
Das
nachstehend gezeigte 2,2'-Methylenbis(4-methyl-6-hydroxymethylphenol)
wurde als ein Dihydroxymethylphenolderivat auf die nachstehend beschriebene
Weise synthetisiert.
-
-
162
g p-Cresol und 360 g einer 50%-igen wässrigen Formalinlösung wurden
in einen 2 l-Vierhalskolben gegeben, der mit einem Thermometer,
einem Kühler,
einem Rührer
und einem Tropftrichter ausgestattet war. 200 g einer 30 Massen-%-igen
wässrigen
Lösung
von NaOH wurden dann über
einen 2-Stunden-Zeitraum bei einer Temperatur von nicht mehr als
30°C tropfenweise
zugegeben. Dann wurde die Temperatur auf 60°C erhöht und das Gemisch wurde 4
Stunden umgesetzt, bevor die Temperatur wieder auf eine Temperatur von
nicht mehr als 30°C
abgekühlt
wurde. 900 g einer 10 Massen-%-igen
wässrigen
Essigsäurelösung wurden dann
tropfenweise zugegeben, um das Reaktionsgemisch zu neutralisieren,
aus dem ein Rohprodukt ausfiel. Dieses Rohprodukt wurde filtriert,
mit Wasser gewaschen (300 g Wasser wurde für jede Waschung verwendet und
es wurden vier getrennte Waschvorgänge durchgeführt) und
dann unter vermindertem Druck bei einer Temperatur von weniger als
50°C (ungefähr 40°C) getrocknet,
wobei das Produkt erhalten wurde. Die Ausbeute betrug 200 g und
das Produkt war ein weißes
Pulver.
-
(2) Synthese eines aminogruppenhaltigen
Phenolderivats
-
Unter
Verwendung des vorstehend erhaltenen Produkts wurde das nachstehend
gezeigte 2,2'-Methylenbis{4-methyl-6-(3,5-dimethyl-4-aminobenzyl)phenol}
als ein aminogruppenhaltiges Phenolderivat auf die nachstehend beschriebene
Weise synthetisiert.
-
-
Zuerst
wurden 200 g des vorstehenden Produkts, 190 g 2,6-Dimethylanilin,
3,0 g Oxalsäure
und 20 g Ethylcellosolve in einen 500 ml-Vierhalskolben gegeben,
der mit einem Thermometer, einem Kühler und einem Rührer ausgestattet
war, und 4 Stunden bei einer Temperatur von 120°C umgesetzt. Das Reaktionsgemisch wurde
dann gekühlt
und aus 800 g Ethylcellosolve umkristallisiert, wobei das aminogruppenhaltige
Phenolderivat erhalten wurde. Die Ausbeute betrug 315 g und das
Produkt war ein blassgelbes Pulver. Die Identifizierung der Verbindung
wurde auf der Basis des Massenspektrums, des IR-Spektrums und des
Schmelzpunkts durchgeführt.
Der Schmelzpunkt wurde unter Verwendung eines DSC 220, hergestellt
von Seiko Instruments Inc., an einer Probengröße von 3 bis 5 mg gemessen,
wobei ein Temperaturbereich von 20 bis 550°C verwendet wurde und die Temperatur
mit einer Rate von 10°C/min
erhöht
wurde. Das IR-Spektrum
ist in 1 gezeigt. Der Schmelzpunkt für das Produkt betrug 201°C.
-
Synthesebeispiel 2
-
(1) Synthese eines Dihydroxymethylphenolderivats
-
Es
wurde das nachstehend gezeigte 2,6-Dihydroxymethyl-4-n-propylcarboxyphenol
synthetisiert.
-
-
Mit
der Ausnahme, dass die nachstehend beschriebenen Bedingungen geändert wurden,
wurde ein Produkt unter Verwendung des gleichen Verfahrens wie in
Synthesebeispiel 1 beschrieben erhalten. Die Produktausbeute betrug
100 g eines weißen
Pulvers.
- • Ausgangsreaktanten:
90 g Propyl-p-hydroxybenzoat und 120 g einer 50 Massen-%-igen wässrigen
Formalinlösung.
- • Bedingungen
der tropfenweisen Zugabe: 67 g einer 30 Massen-%-igen wässrigen
Lösung
von NaOH, zugegeben über
einen Zwei-Stunden-Zeitraum bei einer Temperatur von nicht mehr
als 40°C
- • Reaktionsbedingungen
bei erhöhter
Temperatur: 3 Stunden bei 75°C
- • Neutralisationsbedingungen:
540 g einer 10 Massen-%-igen wässrigen
Essigsäurelösung.
-
(2) Synthese eines aminogruppenhaltigen
Phenolderivats
-
Unter
Verwendung des vorstehend erhaltenen Produkts wurde das nachstehend
gezeigte 2,6-Bis(3,5-dimethyl-4-aminobenzyl)-4-n-propylcarboxyphenol)
als ein aminogruppenhaltiges Phenolderivat synthetisiert.
-
-
Mit
der Ausnahme, dass die nachstehend beschriebenen Bedingungen geändert wurden,
wurde ein Produkt unter Verwendung des gleichen Verfahrens wie in
Synthesebei spiel 1 beschrieben erhalten. Die Produktausbeute betrug
125 g eines blassgelben Pulvers. Das IR-Spektrum ist in 2 gezeigt.
Außerdem
betrug der Schmelzpunkt des Produkts 127.8°C.
- • Ausgangsreaktanten:
72 g des vorstehenden Produkts, 80 g 2,6-Dimethylanilin und 1,5
g Oxalsäure
- • Reaktionsbedingungen:
4 Stunden bei 140°C.
-
Synthesebeispiel 3
-
(1) Synthese eines Dihydroxymethylphenolderivats
-
Das
nachstehend gezeigte 2,6-Dihydroxymethyl-4-t-butylphenol wurde als
ein Dihydroxymethylphenolderivat synthetisiert.
-
-
Mit
der Ausnahme, dass die nachstehend beschriebenen Bedingungen geändert wurden,
wurde ein Produkt unter Verwendung des gleichen Verfahrens wie in
Synthesebeispiel 1 beschrieben erhalten. Die Produktausbeute betrug
67 g eines rötlich
gelben Pulvers.
- • Ausgangsreaktanten: 61 g p-Methoxyphenol
und 162 g einer 37 Massen-%-igen wässrigen Formalinlösung.
- • Bedingungen
der tropfenweisen Zugabe: 67 g einer 30 Massen-%-igen wässrigen
Lösung
von NaOH, zugegeben über
einen Zwei-Stunden-Zeitraum bei einer Temperatur von nicht mehr
als 40°C
- • Reaktionsbedingungen
bei erhöhter
Temperatur: 2 Stunden bei 60°C
- • Neutralisationsbedingungen:
540 g einer 10 Massen-%-igen wässrigen
Essigsäurelösung.
-
(2) Synthese eines aminogruppenhaltigen
Phenolderivats
-
Unter
Verwendung des vorstehend erhaltenen Produkts wurde das nachstehend
gezeigte 2,6-Bis(3,5-dimethyl-4-aminobenzyl)-4-t-butylphenol) als
ein aminogruppenhaltiges Phenolderivat synthetisiert.
-
-
Mit
der Ausnahme, dass die nachstehend beschriebenen Bedingungen geändert wurden,
wurde ein Produkt unter Verwendung des gleichen Verfahrens wie in
dem Synthesebeispiel 1 beschrieben erhalten. Die Produktausbeute
betrug 120 g eines blassroten Feststoffs. Das IR-Spektrum ist in 3 gezeigt.
Außerdem betrug
der Schmelzpunkt des Produkts 180,7°C.
- • Ausgangsreaktanten:
32 g des vorstehenden Produkts, 30 g 2,6-Dimethylanilin und 0,6
g Oxalsäure
- • Reaktionsbedingungen:
4 Stunden bei 140°C
- • Bedingungen
der Reinigung (Umkristallisation): 150 g Ethylcellosolve.
-
Synthesebeispiel 4
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(1) Synthese eines Dihydroxymethylphenolderivats
-
Ein
nachstehend gezeigtes Orthocresolharz vom Resol-Typ wurde als ein
Dihydroxymethylphenolderivat hergestellt.
-
-
Mit
der Ausnahme, dass die nachstehend beschriebenen Bedingungen geändert wurden,
wurde ein Produkt unter Verwendung des gleichen Verfahrens wie im
Synthesebeispiel 1 beschrieben erhalten. Die Produktausbeute betrug
100 g einer braunen viskosen Flüssigkeit.
- • Ausgangsreaktanten:
81 g o-Cresol und 99 g einer 50 Massen-%-igen wässrigen Formalinlösung.
- • Bedingungen
der tropfenweisen Zugabe: 100 g einer 30 Massen-%-igen wässrigen
Lösung
von NaOH, zugegeben über
einen Zwei-Stunden-Zeitraum bei einer Temperatur von nicht mehr
als 30°C
- • Reaktionsbedingungen
bei erhöhter
Temperatur: 1 Stunde bei 70°C
- • Neutralisationsbedingungen:
450 g einer 10%-igen wässrigen
Essigsäurelösung.
-
(2) Synthese eines aminogruppenhaltigen
Phenolderivats
-
Ein
Orthocresol-Novolak mit einer Aminobenzylgruppe an beiden Enden,
der nachstehend gezeigt ist, wurde als ein aminogruppenhaltiges
Phenolderivat synthetisiert.
-
-
Zuerst
wurden 100 g des vorstehenden Produkts, 180 g Anilin und 2,8 g Oxalsäure in einen
500 ml-Vierhalskolben gegeben, der mit einem Thermometer, einem
Kühler
und einem Rührer
ausgestattet war, und 4 Stunden bei einer Temperatur von 180°C umgesetzt.
Jegliche nicht-umgesetzten Reaktanten wurden dann über einen
30 Minuten-Zeitraum
bei –720
mmHg und 180°C
entfernt. Das Produkt wurde dann entfernt und ergab 250 g eines
braunen Feststoffs. Der Erweichungspunkt betrug 113°C. Das IR-Spektrum ist in 4 gezeigt.
Außerdem
ergab die Messung des massengemittelten Molekulargewichts durch
GPC (Gelpermeationschromatografie) einen Wert von 770.
-
(Synthese einer Polyimidvorstufe)
-
Synthesebeispiel 5
-
Unter
Verwendung des in dem Synthesebeispiel 1 erhaltenen aminogruppenhaltigen
Phenolderivats wurde eine Polyimidvorstufe auf die nachstehend beschriebene
Weise synthetisiert.
-
4,940
g des in dem Synthesebeispiel 1 erhaltenen aminogruppenhaltigen
Phenolderivats und 40,30 g NMP-Lösungsmittel
(N-Methylpyrrolidon) wurden in ein Reaktionsgefäß gegeben und das aminogruppenhaltige
Phenolderivat wurde durch 30 Minuten Rühren bei Raumtemperatur aufgelöst. Anschließend wurden
2,180 g Pyromellitsäuredianhydrid
bei einer Temperatur von nicht mehr als 30°C zugegeben und das Reaktionsgemisch
wurde dann 24 Stunden bei einer Temperatur von 25 bis 28°C gerührt, wobei
eine Polyimidvorstufe erhalten wurde. Das IR-Spektrum ist in 5 gezeigt.
Das massengemittelte Molekulargewicht des Produkts betrug 34.500.
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(Synthese eines Polyimid-Klarlacks)
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Synthesebeispiel 6
-
Unter
Verwendung des in dem Synthesebeispiel 4 erhaltenen aminogruppenhaltigen
Phenolderivats wurde ein Polyimid-Klarlack (eine Polyimidpolymerlösung) auf
die nachstehend beschriebene Weise synthetisiert.
-
6,180
g des in dem Synthesebeispiel 4 erhaltenen aminogruppenhaltigen
Phenolderivats und 32,57 g NMP-Lösungsmittel
wurden in ein Reaktionsgefäß gegeben
und das aminogruppenhaltige Phenolderivat wurde durch 30 Minuten
Rühren
bei Raumtemperatur aufgelöst.
Anschließend
wurden 2,180 g Pyromellitsäuredianhydrid
bei einer Temperatur von nicht mehr als 30°C zugegeben und das Reaktionsgemisch
wurde eine Stunde gerührt.
Unter einer Stickstoffatmosphäre
wurde die Temperatur dann allmählich über einen
Ein-Stunden-Zeitraum auf 180°C
erhöht
und eine Dehydratisierungs-Kondensations-Reaktion (eine Cyclodehydratisierung)
wurde dann über
einen Zeitraum von 3 Stunden durchgeführt, wobei ein Polyimid-Klarlack
erhalten wurde. Das IR-Spektrum des Produkts ist in 6 gezeigt.
Außerdem
betrug das massengemittelte Molekulargewicht des Produkts 32000.
-
(Synthese einer Polyimidvorstufe
zur Verwendung in Vergleichsbeispiel 2, das nachstehend beschrieben
ist)
-
Synthesebeispiel 7
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Unter
Verwendung von 4,00 g p,p'-Methylendianilin,
4,36 g Pyromellitsäuredianhydrid
und 47,3 g NMP-Lösungsmittel
wurde eine Polyimidvorstufe hergestellt, wobei das gleiche Verfahren
wie das für
das Synthesebeispiel 5 beschriebene verwendet wurde.
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(Synthese einer Polyimidvorstufe
zur Verwendung in Vergleichsbeispiel 3, das nachstehend beschrieben
ist)
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Synthesebeispiel 8
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20,0
g (0,10 mol) p,p'-Methylendianilin
und 6,00 g (0,001 mol) von α,ω-Bis(3-aminopropyl)polydimethylsiloxan
mit einem massengemittelten Molekulargewicht von 6000 wurden in
272 g NMP-Lösungsmittel
gelöst,
22,02 g (0,101 mol) Pyromellitsäuredianhydrid
wurden zugegeben und das Gemisch wurde 24 Stunden umgesetzt, wobei
eine Polyimidvorstufe erhalten wurde.
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Beispiel 1
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(Komplexieren der Polyimidvorstufe
von Synthesebeispiel 5 und eines Epoxyharzes)
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10
g eines Epoxyharzes (Epikote 828 (ein Markenname von Yuka Shell
Epoxy Co., Ltd.)) und 50 g der in dem Synthesebeispiel 5 hergestellten
Polyimidvorstufe wurden 30 Minuten bei 60°C vermischt, um ein einheitliches
Gemisch herzustellen, und dann wurden 0,1 g Triphenylphosphin als
Katalysator zugegeben und das Gemisch wurde weitere 30 Minuten bei
60°C gerührt. Die
so erhaltene zusammengesetzte Polyimidvorstufen lösung wurde auf einen Siliciumwafer
und ein Cu-Substrat aufgebracht, wobei Rotationsbeschichtungsmethoden
verwendet wurden, und anschließend
einer Wärmebehandlung
von 1 Stunde bei 180°C
und 1 Stunde bei 250°C
unterworfen, um einen Polyimid-Epoxy-komplexierten
Polymerfilm zu erhalten. Das IR-Spektrum dieses Polyimidfilms ist
in 7 gezeigt. Der mit dem Polyimidfilm beschichtete
Siliciumwafer wurde dann einer 48-stündigen Wärmebehandlung in einem Dampfdruckkochtopf
bei einer Temperatur von 121°C
und 100% relativer Feuchtigkeit unterworfen und ein Gitterschnitttest
wurde vor und nach dieser Wärmebehandlung durchgeführt (in
der Tabelle sind diese Ergebnisse als "Prä PCT" und "Post PCT" aufgeführt). Die
Ergebnisse zeigten, dass eine Ablösung nicht stattfand und dass
ein gutes Niveau der Adhäsion
beibehalten wurde. Der vorstehend erwähnte Gitterschnitttest wird
durchgeführt
unter Verwendung einer Schneidevorrichtung zum Schneiden des Films
in 100 getrennte 5 mm × 5
mm-Quadrate, Ankleben eines Cellophan-Klebebands an dem Film und
anschließend
Wegziehen des Cellophans und Aufzeichnen der Zahl der Quadrate,
welche zusammen mit den Cellophan abgelöst sind. Der gleiche Test wurde
auch unter Verwendung der Cu-Substrat-Probe durchgeführt. Die Ergebnisse sind in
Tabelle 1 gezeigt.
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Der
Glasübergangspunkt,
die thermische Zersetzungstemperatur (Differenzial-Scanning-Calorimetrie [DSC])
und der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient
wurde ebenfalls für
das vorstehende Produkt gemessen, wobei die nachstehend dargelegten
Methoden verwendet wurden. Die vorstehend erwähnte zusammengesetzte Polyimidvorstufenlösung wurde
durch Walzenbeschichtung auf Aluminiumfolie aufgebracht und nach einer
Wärmebehandlung
von der Aluminiumfolie abgelöst,
wobei ein Film mit einer Dicke von 50 μm erhalten wurde. Der Glasübergangspunkt
und der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient
wurden unter Verwendung dieses Films gemessen. Speziell wurden die
Messungen durchgeführt
unter Verwendung eines TMA (Markenname, hergestellt von SII) unter
Bedingungen, zu denen eine Temperatur von 200 bis 400°C, eine Rate
des Temperaturanstiegs von 2°C/min
und eine Last von 10 g gehörten.
Die thermische Zersetzungstemperatur wurde unter Verwendung eines
TG/DTA 320 (Markenname, hergestellt von SII) unter Bedingungen gemessen, zu
denen eine Probengröße von 10
mg, eine Temperatur von 100 bis 800°C und eine Rate des Temperaturanstiegs
von 10°C/min
gehörten.
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Für Vergleichszwecke
wurde die in Synthesebeispiel 7 hergestellte Polyimidvorstufe in
einem Verhältnis
von 1:1 (Massenverhältnis)
mit dem in Beispiel 1 verwendeten Epoxyharz kombiniert und dann
auf die gleiche Weise wie in Beispiel 1 beschrieben komplexiert
und das resultierende Produkt wurde den gleichen Tests wie vorstehend
(Vergleichsbeispiel 1) unterworfen. Außerdem wurden die gleichen
Tests auch an dem nicht komplexierten Allzweck-Polyimidpolymer (Vergleichsbeispiel
2) durchgeführt.
Der Glasübergangspunkt
wurde auch für
das Polyimidpolymer bestimmt, das durch Unterwerfen der Polyimidvorstufe
von Beispiel 1 einer Dehydratisierungs-Kondensations-Reaktion hergestellt
wurde. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt.
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Die
Ergebnisse in Tabelle 1 bestätigen,
dass das Verbundmaterial einen höheren
Glasübergangspunkt und
eine bessere Wärmebeständigkeit
aufweist als das nicht komplexierte Polyimidpolymer. Außerdem war auch
die Adhäsion
des Verbundmaterials ausgezeichnet. Außerdem war der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient
klein und die Schwankung des Volumens bei Schwankungen der Temperatur
war ebenfalls klein.
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Beispiel 2 (Komplexieren
der Polyimidvorstufe von Synthesebeispiel 5 und eines Siliconharzes)
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2,0
g eines Siliconharzes (KF1001 (ein Markenname von Shin-Etsu Chemical
Co., Ltd.)) und 50 g der in dem Synthesebeispiel 5 hergestellten
Polyimidvorstufe wurden auf ähnliche
Weise wie in Beispiel 1 vermischt und dann wurden 0,01 g Triphenylphosphin
als Katalysator zugegeben und das resultierende Gemisch wurde 1
Stunde bei 150°C
umgesetzt. Dann wurde eine Probe genommen und ein Flexibilitätstest wurde
auf die nachstehend beschriebene Weise durchgeführt. Das verbleibende Reaktionsgemisch
wurde dann weitere 3 Stunden bei 180°C umgesetzt, um die Reaktion
abzuschließen,
und nach dem Abkühlen
wurde es in eine große
Menge an Methanol gegossen. Der Niederschlag, welcher sich bildete,
wurde filtriert und getrocknet und das resultierende Produkt wurde
entfernt. Das IR-Spektrum des Produkts ist in 8 gezeigt.
Die Bildung eines komplexierten Verbundmaterials wurde durch den
Si-O-Peak bei 1000 bis 1200 cm–1 bestätigt. Das
massengemittelte Molekulargewicht des Verbundmaterials betrug 37000.
Die Messung des Glasübergangspunkts auf ähnliche
Weise wie in Beispiel 1 ergab einen Wert von 260°C.
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(Spannungsmessung: Bewertung
der Flexibilität)
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Die
in dem Beispiel 2 hergestellte Polyimidvorstufe wurde durch Rotationsbeschichten
auf einen 5-Zoll Siliciumwafer aufgebracht und anschließend einer
Wärmebehandlung
von 3 Stunden bei 180°C
unterworfen, um einen Polyimidfilm zu bilden. Der Krümmungsradius
des 5 Zoll-Wafers wurde dann gemessen und die nachstehend gezeigte
Formel wurde verwendet, um die Spannung an dem Siliciumwafer zu
berechnen. Außerdem
wurde als Vergleichsbeispiel 3 die in dem Synthesebeispiel 8 hergestellte
Polyimidvorstufe ebenfalls durch Rotationsbeschichten auf einen
5 Zoll-Siliciumwafer aufgebracht, um einen Polyimidfilm unter den
gleichen Bedingungen zu bilden, und der Krümmungsradius dieses 5 Zoll-Wafers
wurde ebenfalls gemessen und die nachstehend gezeigte Formel wurde
auf identische Weise verwendet, um die Spannung an dem Siliciumwafer
zu berechnen. Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 gezeigt.
- σf:
- Erzeugte Spannung
(kg/mm2)
- ts:
- Dicke des Siliciumwafers
(μm)
- tf:
- Filmdicke (μm)
- R:
- Krümmungsradius (μm)
- Es:
- Youngscher-Modul für Siliciumwafer
(dyn/cm2)
- rs:
- Poisson-Zahl für Siliciumwafer
(keine Einheiten).
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Aus
den Ergebnissen in Tabelle 2 geht hervor, dass eine Kombination
von niedriger Spannung und einem hohen Glasübergangspunkt (Wärmebeständigkeit)
in dem Beispiel 2 erzielt wurde. Im Gegensatz dazu haben in dem
Vergleichsbeispiel 3, wenngleich eine niedrige Spannung erzielt
wurde, die Siloxaneinheiten in dem Hauptgerüst den Glasübergangspunkt verringert, was
zu einer unbefriedigenden Wärmebeständigkeit führt.
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Beispiel 3 (Synthese eines
lichtempfindlichen Polyimidpolymers)
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26,7
g des in dem Synthesebeispiel 6 hergestellten Polyimid-Klarlacks
wurden in ein Reaktionsgefäß gegeben,
0,269 g 1,2-Naphthochinon-2-diazid-5-sulfonylchlorid wurden zugegeben
und das Gemisch wurde gerührt,
um ein einheitliches Gemisch herzustellen. 1,01 g Triethylamin,
das mit Acetonlösungsmittel
bis zu einer Konzentration von 10 Massen-% verdünnt war, wurden dann tropfenweise über einen
30-Minuten-Zeitraum zugegeben, wobei das Reaktionsgefäß gekühlt wurde,
und nach der Beendigung der Zugabe wurde die Reaktion 24 Stunden
bei Raumtemperatur ablaufen gelassen. Nach der Be endigung der Reaktion
wurde die Reaktionsflüssigkeit
in 250 g einer 0,02 Massen-%-igen wässrigen Oxalsäurelösung gegossen
und der ausgefällte
gelb gefärbte
Feststoff wurde filtriert, mit Ionenaustauschwasser gewaschen und
dann getrocknet, wobei ein lichtempfindliches Polyimidpolymer erhalten
wurde. Das IR-Spektrum dieses Produkts ist in 9 gezeigt.
Das IR-Spektrum bestätigte,
dass eine lichtempfindliche Gruppe in das Harz eingeführt worden
war. 3,0 g dieses lichtempfindlichen Polyimidpolymers wurden in
12 g Ethylcellosolve gelöst,
um eine 20 Massen-%-ige Lösung
herzustellen. Diese Lösung
eines lichtempfindlichen Polyimidpolymers wurde mittels Rotationsbeschichtung
auf einen Siliciumwafer aufgebracht und nach 10 Minuten Erwärmen auf
einer Heizplatte mit 90°C wurde
die Filmdicke gemessen und ergab eine Dicke von 5,2 μm. Der Film
wurde dann mit 65 mJ/cm2 einer 365 nm-Strahlung
aus einer UV-Bestrahlungsvorrichtung
(ML-251C/A, hergestellt von Ushio Inc.) bestrahlt, anschließend 60
Sekunden in eine 1,98-%-ige wässrige
TMAH-Lösung
(Tetramethylammoniumhydroxid) eingetaucht und dann 20 Sekunden mit
Wasser gewaschen. Die Filmdicke des belichteten Teils und des nicht
belichteten Teils wurden gemessen und ein Restfilmverhältnis wurde
bestimmt. Die Ergebnisse waren 0% für den belichteten Teil und
100% für
den nicht belichteten Teil.
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Wie
vorstehend beschrieben, können
gemäß der vorliegenden
Erfindung durch Verwenden eines aminogruppenhaltigen Phenolderivats
mit einer phenolischen Hydroxylgruppe Verbundmaterialien mit anderen Verbindungen
gebildet werden und es kann eine Vielfalt von Materialien bereitgestellt
werden, welche, während
sie die günstigen
Eigenschaften von Polyimidpolymeren beibehalten, auch zusätzliche
Eigenschaften aufweisen, die bei ausschließlicher Verwendung eines Polyimids
nicht erhalten werden können.