DE60221223T2

DE60221223T2 - Aufnahmemediumlaufwerk und Kopfgleiter

Info

Publication number: DE60221223T2
Application number: DE60221223T
Authority: DE
Inventors: Masaki Kawasaki-shi Kameyama; Kenrou Kawasaki-shi Yamamoto; Masaharu Kawasaki-shi Sugimoto; Yoshiharu Kawasaki-shi KASAMATSU; Toru Kawasaki-shi Yokohata; Kazuhiro Kawasaki-shi Watanabe
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Toshiba Storage Device Corp
Priority date: 2002-03-28
Filing date: 2002-10-10
Publication date: 2007-12-20
Anticipated expiration: 2022-10-11
Also published as: CN1448940A; KR20030078609A; CN1322493C; CN1248229C; US6891699B2; DE60221223D1; KR100820089B1; US20030184915A1; CN1758343A; EP1811499A3; EP1349153A1; EP1811499A2; JP2003288710A; EP1349153B1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Aufzeichnungsmedienlaufwerk oder eine Speichervorrichtung zum Aufzeichnen und/oder Wiedergeben von Informationsdaten bezüglich eines Aufzeichnungsmediums wie beispielsweise einer magnetischen Aufzeichnungsplatte. Im Besonderen betrifft die vorliegende Erfindung einen Kopfgleiter, der ein Kopfelement innerhalb des obengenannten Aufzeichnungsmedienlaufwerks stützt.
Ein magnetoresistiver (MR) Film ist genutzt worden, um magnetische Informationen zum Beispiel von einer Festplatte oder einer magnetischen Aufzeichnungsplatte in einem Festplattenlaufwerk (hard disk drive: HDD) zu lesen. Der MR-Film empfängt ein Magnetfeld, das aus der magnetischen Aufzeichnungsplatte heraustritt. Der elektrische Widerstand des MR-Films variiert als Reaktion auf die Richtung des Magnetflusses, der in dem Magnetfeld vorhanden ist. Binärinformationsdaten können auf der Basis der Variation des elektrischen Widerstandes des MR-Films unterschieden werden.
Auf der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte können manchmal solche Hindernisse wie Erhebungen und Verschmutzungen vorhanden sein. Falls der MR-Film mit einer Verschmutzung auf der rotierenden magnetischen Aufzeichnungsplatte kollidiert, erleidet der MR-Film eine sogenannte thermische Rauheit. Herkömmlicherweise ist bekannt, dass durch die thermische Rauheit der MR-Film am akkuraten Lesen der Binärinformationsdaten gehindert werden kann.
Im Allgemeinen wird ein Dünnfilmspulenmuster genutzt, um magnetische Informationsdaten in die magnetische Aufzeichnungsplatte in dem HDD zu schreiben. Wenn ein elektrischer Strom dem Dünnfilmspulenmuster zugeführt wird, wird in dem Dünnfilmspulenmuster ein Magnetfeld induziert. Das induzierte Magnetfeld breitet sich hin zu der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte aus. Als Antwort auf die Anwendung des Magnetfeldes wird in der magnetischen Aufzeichnungsplatte eine entsprechende Magnetisierung eingerichtet. Wenn die Frequenz des Informationsdatensignals zur Aufzeichnung höher wird, erzeugt das Dünnfilmspulenmuster eine größere Wärmemenge.
Der obengenannte MR-Film und das Dünnfilmspulenmuster sind beide in einem Schutzfilm zum Beispiel aus Al₂O₃ eingebettet, mit dem eine Fläche des nachlaufenden oder Herausströmungsendes eines Gleiterkörpers beschichtet ist. Der Schutzfilm hat einen Wärmeausdehnungskoeffizienten, der größer als der Wärmeausdehnungskoeffizient des Gleiterkörpers ist. Die Wärme von dem Dünnfilmspulenmuster bewirkt eine thermische Ausdehnung des Schutzfilms. Der Schutzfilm schwillt hin zu der magnetischen Aufzeichnungsplatte außerordentlich an, wodurch eine beträchtliche Verringerung des Abstandes zwischen dem MR-Film und der magnetischen Aufzeichnungsplatte verursacht wird. Als Resultat leidet der MR-Film unter einer größeren Kollisionswahrscheinlichkeit mit Hindernissen, die auf der magnetischen Aufzeichnungsplatte existieren.
Daher ist es wünschenswert, ein Aufzeichnungsmedienlaufwerk und einen Kopfgleiter vorzusehen, die zum zuverlässigen Verhindern einer Kollision zwischen einem Kopfelement und Erhebungen oder Verschmutzungen, die auf einem Aufzeichnungsmedium existieren, in der Lage sind, besonders wenn die Frequenz des Informationsdatensignals zur Aufzeichnung höher wird.
US 2001/053046 offenbart einige Typen von fliegenden Kopfgleitern. Jedoch enthält keiner dieser Gleiter Merkmale einer Vertiefung und/oder eines Schutzvorsprungs.
US-B-6424494 offenbart einen Kopfgleiter mit einer Nut, die in einer Luftlageroberfläche definiert ist. Dieses Merkmal ist jedoch nicht in Kombination mit einem Schutzvorsprungsmerkmal definiert.
US-A-5468177 offenbart eine Technik, um mehrere Gleiter gleichzeitig einem Läppprozess zu unterziehen. Die Anzahl der Gleiter (die an einem nachgiebigen Polster angebracht sind) wird einer Läppplatte angenähert und mit ihr kontaktiert. Hierin ist jedoch keine Offenbarung zum Abschleifen eines Vorsprungs enthalten.
Gemäß einer Ausführungsform eines ersten Aspektes der vorliegenden Erfindung ist ein Aufzeichnungsmedienlaufwerk vorgesehen, das umfasst: ein Aufzeichnungsmedium; einen Kopfgleiter, der mit einer dem Medium gegenüberliegenden Fläche dem Aufzeichnungsmedium gegenüberliegt und während des Fluges über dem Aufzeichnungsmedium eine vorbestimmte Flughöhe einnimmt; einen Schutzfilm, mit dem eine Fläche des nachlaufenden Endes eines Gleiterkörpers innerhalb des Kopfgleiters beschichtet ist; ein Kopfelement, das in dem Schutzfilm eingebettet ist und mit seinem vorderen Ende dem Aufzeichnungsmedium gegenüberliegt; und einen Schutzvorsprung, der auf der dem Medium gegenüberliegenden Fläche steht, die dem führenden Ende des Kopfgleiters näher als das Kopfelement ist, wobei der Schutzvorsprung mit einer Flughöhe über dem Aufzeichnungsmedium fliegt, die kleiner als eine Flughöhe ist, die durch das Kopfelement eingenommen wird, wenn in dem Schutzfilm eine thermische Ausdehnung induziert wird.
Wenn eine vorbestimmte relative Bewegung zwischen dem Aufzeichnungsmedium und dem Kopfgleiter induziert wird, kann der Kopfgleiter über der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums fliegen. Wenn die Geschwindigkeit der relativen Bewegung in den eingeschwungenen Zustand eintritt, bleibt das nachlaufende Ende des Gleiterkörpers von der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums durch eine vorbestimmte Flughöhe beabstandet. Während dieses Fluges kann das Kopfelement Informationsdaten von dem Aufzeichnungsmedium lesen und/oder in dieses schreiben.
Wenn Lese- und/oder Schreiboperationen ausgeführt werden, wird dem Kopfelement ein elektrischer Strom zugeführt. In dem Kopfelement wird als Antwort auf die Zufuhr des elektrischen Stroms Wärme erzeugt. Die erzeugte Wärme bewirkt eine thermische Ausdehnung des Schutzfilms. Der Schutzfilm schwillt hin zu der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums außerordentlich an. Das vordere Ende des Kopfelementes nähert sich der Aufzeichnungsplatte übermäßig über die dem Medium gegenüberliegende Fläche hinaus. Auf diese Weise kommt es zwischen dem Kopfelement und der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums zu einer kleineren Flughöhe. Das Kopfelement ist gezwungen, die Kreisbahn zu verfolgen, die dem Aufzeichnungsmedium näher als die Kreisbahn des nachlaufenden Endes des Gleiterkörpers ist.
Die Flughöhe des Schutzvorsprungs ist in einem Aufzeichnungsmedienlaufwerk, das einen ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung verkörpert, kleiner als die kleinere Flughöhe des Kopfelementes eingestellt. Daher kann der Schutzvorsprung eine Kreisbahn verfolgen, die dem Aufzeichnungsmedium näher als die Kreisbahn des Kopfelementes ist, auch wenn der Schutzfilm unter einer thermischen Ausdehnung leidet. Auch wenn irgendwelche Hindernisse wie etwa Erhebungen und Verschmutzungen auf der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums vorhanden sind, kollidiert nun der Schutzvor sprung anstelle des Kopfelementes mit den Hindernissen. Auf diese Weise kann eine Kollision des Kopfelementes mit Hindernissen hinter dem Schutzvorsprung zuverlässig verhindert werden.
Der obige Schutzvorsprung kann auf einer Luftlageroberfläche gebildet sein, die innerhalb der dem Medium gegenüberliegenden Fläche des Kopfgleiters definiert ist. Das vordere Ende des Kopfelementes ist an der Luftlageroberfläche gewöhnlich exponiert. Die Luftlageroberfläche kann auf einer Schiene eingerichtet sein, die in der dem Medium gegenüberliegenden Fläche gebildet ist. Zusätzlich kann eine Stufe zwischen der oberen Fläche der Schiene und dem führenden oder Einströmungsende der Luftlageroberfläche definiert sein. Ein Stützhöcker kann auch in der dem Medium gegenüberliegenden Fläche des Kopfgleiters gebildet sein. Solch ein Stützhöcker soll das obere Ende definieren, das höher als der Schutzvorsprung ist.
Der Schutzvorsprung kann in der seitlichen Richtung hin zu dem führenden Ende des Kopfgleiters kleiner werden. Speziell kann eine vordere Wandfläche an dem Schutzvorsprung definiert sein. Diese vordere Wandfläche erstreckt sich wenigstens von einer vorderen Bezugslinie, die zu der dem Medium gegenüberliegenden Fläche senkrecht ist, zu einer hinteren Bezugslinie, die zu der dem Medium gegenüberliegenden Fläche an einer Position senkrecht ist, die der Fläche des nachlaufenden Endes näher als die vordere Bezugslinie ist. Anderenfalls können erste und zweite vordere Wandflächen an dem Schutzvorsprung definiert sein. Die ersten und zweiten vorderen Wandflächen erstrecken sich jeweilig von ersten und zweiten Bezugslinien, die beide zu der dem Medium gegenüberliegenden Fläche senkrecht sind, zu einer dritten Bezugslinie, die zu der dem Medium gegenüberliegenden Fläche an einer Position senkrecht ist, die dem führenden Ende des Kopfgleiters näher als die ersten und zweiten Bezugslinien ist.
Mit Schutzvorsprüngen dieser Typen kollidieren Verschmutzungen nie mit den Wandflächen der Schutzvorsprünge in der senkrechten Richtung. Verschmutzungen können leicht gegen die vorderen Wandflächen der Schutzvorsprünge außerhalb der Kreisbahn des Kopfelementes prallen. Somit kann eine Kollision zwischen dem Kopfelement und Verschmutzungen vermieden werden. Falls eine Verschmutzung mit der vorderen Wandfläche des Schutzvorsprungs in der senkrechten Richtung kollidiert, läuft dies darauf hinaus, dass die Verschmutzung zwischen dem Kopfgleiter und der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums eingeklemmt wird. Somit ist die Tendenz zu verzeichnen, dass die Verschmutzung mit dem Kopfelement kollidiert.
Der Schutzvorsprung kann innerhalb einer Vertiefung angeordnet sein, die in einer Luftlageroberfläche über der dem Medium gegenüberliegenden Fläche definiert ist. Wenn der Kopfgleiter zum Beispiel mit dem nachlaufenden Rand des Kopfgleiters auf der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums aufkommt, kann der Schutzvorsprung die Oberfläche des Aufzeichnungsmediums vor dem Kontakt der Luftlageroberfläche mit dem Aufzeichnungsmedium kontaktieren. Der Schutzvorsprung dient dazu, den Kontakt zwischen der Luftlageroberfläche und dem Aufzeichnungsmedium zu vermeiden. Auf diese Weise kann jegliche Vergrößerung des Kontaktbereichs zwischen dem Kopfgleiter und dem Aufzeichnungsmedium verhindert werden. Zusätzlich kann der Schutzvorsprung von der Position abstehen, die niedriger als das Niveau der Luftlageroberflä che ist. Die Höhe des Schutzvorsprungs kann wesentlich vergrößert werden, ohne die Flughöhe des Kopfgleiters zu erhöhen. Dadurch soll verhindert werden, dass ein Schmiermittel oder Feuchtigkeit, die sich über die Oberfläche des Aufzeichnungsmediums ausbreiten, nach oben hin zu der Luftlageroberfläche gelangen. Somit kann die Erzeugung eines Meniskuseffektes des Schmiermittels sowie jegliche Erhöhung einer Reibungskraft zwischen dem Kopfgleiter und dem Aufzeichnungsmedium zuverlässig verhindert werden.
Weiterhin wird die Größe des Schutzvorsprungs vorzugsweise so festgelegt, um den Luftstrom, der sich auf das Kopfelement richtet, über den gesamten Bereich des Einfallswinkels des Luftstroms hinweg ausreichend zu blockieren. Der Einfallswinkel kann aufgrund der Veränderung der Flughöhe des Kopfgleiters variabel sein. In diesem Fall kann der Schutzvorsprung immer mit Hindernissen vor dem Kopfelement kollidieren, auch wenn Verschmutzungen durch einen beliebigen Einfallswinkel auf die dem Medium gegenüberliegende Fläche des Kopfgleiters gelangen. Auf diese Weise kann das Kopfelement zuverlässig vor Kollisionen geschützt werden.
Gemäß einer Ausführungsform eines zweiten Aspektes der vorliegenden Erfindung ist ein Kopfgleiter vorgesehen, der umfasst: einen Gleiterkörper; einen Schutzfilm, mit dem die Fläche des nachlaufenden Endes des Gleiterkörpers beschichtet ist; ein Kopfelement, das in dem Schutzfilm eingebettet ist und dessen vorderes Ende an einer Luftlageroberfläche exponiert ist; und einen Schutzvorsprung, der auf der Luftlageroberfläche steht, die dem führenden Ende des Gleiterkörpers näher als das Kopfelement ist, wobei der Schutzvorsprung in der seitlichen Richtung hin zu dem führenden Ende des Gleiterkörpers kleiner wird.
Gemäß einer Ausführungsform eines dritten Aspektes der vorliegenden Erfindung ist zusätzlich ein Kopfgleiter vorgesehen, der umfasst: einen Gleiterkörper; einen Schutzfilm, mit dem die Fläche des nachlaufenden Endes des Gleiterkörpers beschichtet ist; ein Kopfelement, das in dem Schutzfilm eingebettet ist und dessen vorderes Ende an einer Luftlageroberfläche exponiert ist; und einen Schutzvorsprung, der auf der Luftlageroberfläche steht, die dem führenden Ende des Gleiterkörpers näher als das Kopfelement ist, wobei eine vordere Wandfläche an dem Schutzvorsprung definiert ist, welche vordere Wandfläche sich von einer vorderen Bezugslinie, die zu der Luftlageroberfläche senkrecht ist, zu einer hinteren Bezugslinie erstreckt, die zu der Luftlageroberfläche an einer Position senkrecht ist, die der Fläche des nachlaufenden Endes näher als die vordere Bezugslinie ist.
Gemäß einer Ausführungsform eines vierten Aspektes der vorliegenden Erfindung ist des Weiteren ein Kopfgleiter vorgesehen, der umfasst: einen Gleiterkörper; einen Schutzfilm, mit dem die Fläche des nachlaufenden Endes des Gleiterkörpers beschichtet ist; ein Kopfelement, das in dem Schutzfilm eingebettet ist und dessen vorderes Ende an einer Luftlageroberfläche exponiert ist; und einen Schutzvorsprung, der auf der Luftlageroberfläche steht, die dem führenden Ende des Gleiterkörpers näher als das Kopfelement ist, wobei erste und zweite vordere Wandflächen an dem Schutzvorsprung definiert sind, welche ersten und zweiten vorderen Wandflächen sich jeweilig von ersten und zweiten Bezugslinien, die beide zu der Luftlageroberfläche senkrecht sind, zu einer dritten Bezugslinie erstrecken, die zu der Luftlageroberfläche an einer Position senkrecht ist, die dem führenden Ende des Gleiterkörpers näher als die ersten und zweiten Bezugslinien ist.
Bei jedem der obigen Kopfgleiter, die die vorliegende Erfindung verkörpern, kann zuverlässig verhindert werden, dass die Vorderfläche des Schutzvorsprungs in der senkrechten Richtung Verschmutzungen aufnimmt. Verschmutzungen können leicht gegen die vordere Wandfläche des Schutzvorsprungs außerhalb der Kreisbahn des Kopfelementes prallen. Somit kann eine Kollision zwischen dem Kopfelement und Verschmutzungen vermieden werden. Falls eine Verschmutzung mit der vorderen Wandfläche des Schutzvorsprungs in der senkrechten Richtung kollidiert, kann es dazu kommen, dass die Verschmutzung zwischen dem Kopfgleiter und der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums eingeklemmt wird. Somit ist die Tendenz zu verzeichnen, dass die Verschmutzung mit dem Kopfelement kollidiert.
Gemäß einer Ausführungsform eines fünften Aspektes der vorliegenden Erfindung ist ein Kopfgleiter vorgesehen, der umfasst: einen Gleiterkörper; einen Schutzfilm, mit dem die Fläche des nachlaufenden Endes des Gleiterkörpers beschichtet ist; ein Kopfelement, das in dem Schutzfilm eingebettet ist und dessen vorderes Ende an einer Luftlageroberfläche exponiert ist; eine Vertiefung, die in der Luftlageroberfläche an der Position definiert ist, die dem führenden Ende des Gleiterkörpers näher als das Kopfelement ist; und einen Schutzvorsprung, der in der Vertiefung auf dem Gleiterkörper steht und das vordere Ende definiert, das von dem Niveau der Luftlageroberfläche hervorsteht.
Wenn der Kopfgleiter zum Beispiel auf der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums mit dem nachlaufenden Rand des Kopfgleiters aufkommt, kann der Schutzvorsprung die Oberflä che des Aufzeichnungsmediums vor dem Kontakt der Luftlageroberfläche mit dem Aufzeichnungsmedium kontaktieren. Der Schutzvorsprung dient dazu, den Kontakt zwischen der Luftlageroberfläche und dem Aufzeichnungsmedium zu vermeiden. Auf diese Weise kann jegliche Vergrößerung des Kontaktbereichs zwischen dem Kopfgleiter und dem Aufzeichnungsmedium verhindert werden. Zusätzlich kann der Schutzvorsprung von der Position abstehen, die niedriger als das Niveau der Luftlageroberfläche ist. Die Höhe des Schutzvorsprungs kann wesentlich vergrößert werden, ohne die Flughöhe des Kopfgleiters zu erhöhen. Dies dient zum Verhindern, dass ein Schmiermittel oder Feuchtigkeit, die sich über die Oberfläche des Aufzeichnungsmediums ausbreiten, nach oben hin zu der Luftlageroberfläche gelangen. Somit kann die Erzeugung eines Meniskuseffektes des Schmiermittels sowie jegliche Erhöhung einer Reibungskraft zwischen dem Kopfgleiter und dem Aufzeichnungsmedium zuverlässig verhindert werden.
Bei jedem der obigen Kopfgleiter, die die vorliegende Erfindung verkörpern, wird die Größe des Schutzvorsprungs vorzugsweise so festgelegt, um einen Luftstrom, der sich auf das Kopfelement richtet, über den gesamten Bereich des Einfallswinkels des Luftstroms hinweg auf die oben angegebene Weise ausreichend zu blockieren. In diesem Fall kann immer der Schutzvorsprung mit Hindernissen vor dem Kopfelement kollidieren, auch wenn Verschmutzungen durch einen beliebigen Einfallswinkel auf die dem Medium gegenüberliegende Fläche des Kopfgleiters gelangen. Das Kopfelement kann vor Kollisionen zuverlässig geschützt werden.
Gemäß einer Ausführungsform eines sechsten Aspektes der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zum Herstellen eines Kopfgleiters vorgesehen, das umfasst: Bilden eines Vorsprungs auf einer einem Medium gegenüberliegenden Fläche des Kopfgleiters, welcher Vorsprung eine Höhe hat, die größer als eine vorbestimmte Höhe ist, die erreicht wird, wenn der Kopfgleiter in ein Produkt eingebaut wird; Positionieren der dem Medium gegenüberliegenden Oberfläche des Kopfgleiters gegenüber der Oberfläche einer rotierenden Schleifscheibe; und Annähern des Kopfgleiters an die Oberfläche der Schleifscheibe, wobei eine Flughöhe des Kopfgleiters kleiner als eine vorbestimmte Flughöhe eingestellt ist, die erreicht wird, wenn der Kopfgleiter in das Produkt eingebaut ist, so dass der Vorsprung aufgrund des Kontaktes zwischen dem Vorsprung und der Schleifscheibe abgeschliffen wird.
Im Allgemeinen fliegt der Kopfgleiter über der Oberfläche eines Aufzeichnungsmediums oder einer Schleifscheibe genau in einer vorbestimmten Flughöhe auf der Basis der Geschwindigkeit der relativen Bewegung zwischen dem Kopfgleiter und der Schleifscheibe. Die Flughöhe wird so festgelegt, um den Abschleifbetrag des Vorsprungs zu bestimmen. Der Vorsprung kann auf eine vorbestimmte Höhe gekürzt werden, die durch die vorbestimmte Flughöhe des Kopfgleiters aufgestellt wird. In dem Produkt kann die Flughöhe des oberen Endes des Vorsprungs auf der Basis der Differenz zwischen der vorbestimmten Flughöhe und einer Flughöhe festgelegt werden, die beim Abschleifen aufgestellt wird. Das obere Ende des Vorsprungs kann die vorbestimmte Höhe über der Oberfläche des Aufzeichnungsmediums zuverlässig einhalten.
Im Besonderen kann die Schleifscheibe während des Abschleifens des Vorsprungs mit einer Umdrehungsgeschwindigkeit rotieren, die kleiner als eine vorbestimmte Umdrehungs geschwindigkeit ist, die aufgestellt wird, wenn der Kopfgleiter in dem Endprodukt inkorporiert ist. Der Auftrieb, der auf den Kopfgleiter wirkt, kann auf der Basis der Umdrehungsgeschwindigkeit im Vergleich zu dem Fall reduziert werden, wenn der Kopfgleiter in dem Produkt inkorporiert ist. Der Kopfgleiter kann der Schleifscheibe mit einer Flughöhe gegenüberliegen, die kleiner als die Flughöhe ist, die zu erreichen ist, wenn der Kopfgleiter in dem Produkt inkorporiert ist. Auf diese Weise kann der Betrag des Abschleifens des Vorsprungs angemessen eingestellt werden.
Beispielhaft wird nun Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen genommen, in denen:
1 eine Draufsicht ist, die die Struktur eines zuvor vorgeschlagenen Festplattenlaufwerks (HDD) schematisch zeigt;
2 eine vergrößerte perspektivische Ansicht ist, die die Struktur eines fliegenden Kopfgleiters schematisch zeigt, der die vorliegende Erfindung verkörpert;
3 ein Teil der Schnittansicht längs der Linie 3-3 in 2 ist;
4 eine vergrößerte Draufsicht auf die hintere Schiene ist;
5 eine vergrößerte Draufsicht auf die hintere Schiene zum schematischen Darstellen der Beziehung zwischen einem Schutzvorsprung und einem Luftstrom ist, wenn der fliegende Kopfgleiter über der äußersten Aufzeichnungsspur positioniert ist;
6 eine vergrößerte Draufsicht auf die hintere Schiene zum schematischen Darstellen der Beziehung zwischen dem Schutzvorsprung und dem Luftstrom ist, wenn der flie gende Kopfgleiter über der innersten Aufzeichnungsspur positioniert ist;
7 eine vergrößerte partielle Seitenansicht eines fliegenden Kopfgleiters, der die vorliegende Erfindung verkörpert, zum schematischen Darstellen der thermischen Ausdehnung eines Schutzfilms ist;
8 eine Seitenansicht eines fliegenden Kopfgleiters, der die vorliegende Erfindung verkörpert, zum schematischen Darstellen des Kontaktes zwischen einer magnetischen Aufzeichnungsplatte und dem fliegenden Kopfgleiter ist, der ein Moment empfängt;
9 eine vergrößerte partielle Draufsicht auf eine Waferstange zum schematischen Darstellen des Prozesses zum Bilden der vorderen Abschnitte von Stützhöckern in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
10 eine vergrößerte partielle Draufsicht auf eine Waferstange zum schematischen Darstellen des Prozesses zum Bilden der übrigen Abschnitte von Stützhöckern in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
11 eine vergrößerte partielle Draufsicht auf eine Waferstange zum schematischen Darstellen des Prozesses zum Bilden einer Nut in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
12 eine vergrößerte partielle Draufsicht auf eine Waferstange zum schematischen Darstellen des Prozesses zum Bilden von Luftlageroberflächen in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
13 eine vergrößerte partielle Schnittansicht der Waferstange zum schematischen Darstellen des Prozesses eines sogenannten Abhebens beim Bilden des Schutzvorsprungs in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
14 eine vergrößerte partielle Schnittansicht der Waferstange zum schematischen Darstellen des Prozesses zum Bilden des Schutzvorsprungs beim Bilden der Nut in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist; und
15 eine vergrößerte partielle Seitenansicht des fliegenden Kopfgleiters zum schematischen Darstellen des Prozesses zum Einstellen der Höhe des Schutzvorsprungs in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist.
1 zeigt schematisch die innere Struktur eines zuvor vorgeschlagenen Festplattenlaufwerks (HDD) 11 als Beispiel für ein Aufzeichnungsmedienlaufwerk oder eine Speichervorrichtung. Das HDD 11 enthält ein kastenförmiges Primärgehäuse 12, das einen Innenraum zum Beispiel eines flachen Parallelepipeden definiert. Wenigstens eine magnetische Aufzeichnungsplatte 13 ist in dem Innenraum innerhalb des Primärgehäuses 12 untergebracht. Die magnetische Aufzeichnungsplatte 13 ist auf eine Antriebswelle eines Spindelmotors 14 montiert. Der Spindelmotor 14 ist dazu bestimmt, um die magnetische Aufzeichnungsplatte 13 zur Rotation mit einer vorbestimmten Umdrehungsgeschwindigkeit wie beispielsweise 7.200 U/min oder 10.000 U/min anzutreiben. Eine Abdeckung, die nicht gezeigt ist, ist mit dem Primärgehäuse 12 gekoppelt, um den geschlossenen Innenraum zwischen dem Primärgehäuse 12 und sich selbst zu definieren.
Ein Wagen 15 ist auch in dem Innenraum des Primärgehäuses 12 untergebracht. Das äußerste oder vordere Ende des Wagens 15 liegt der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 gegenüber. Der Wagen 15 enthält einen starren Schwingarm 17, der um eine Stützwelle 16 schwingen kann, und eine elastische Kopfaufhängung 19, die an dem äußersten Ende des Schwingarms 17 befestigt ist, um an dem vorderen Ende einen fliegenden Kopfgleiter 18 zu halten. Ein elektromagnetischer Betätiger 21 wie beispielsweise ein Schwingspulenmotor (voice coil motor: VCM) kann verwendet werden, um die Schwingbewegung des Schwingarmes 17 zu realisieren. Wenn der Schwingarm 17 dazu gezwungen wird, um die Stützwelle 16 zu schwingen, kann der fliegende Kopfgleiter 18 die Aufzeichnungsspuren, die auf der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 definiert sind, in der radialen Richtung der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 überqueren. Diese Radialbewegung dient dazu, den fliegenden Kopfgleiter 18 direkt über einer Aufzeichnungszielspur auf der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 zu positionieren. In dem Fall, wenn zwei oder mehr magnetische Aufzeichnungsplatten 13 im Innenraum des Primärgehäuses 12 inkorporiert sind, ist bekanntlich ein Paar der fliegenden Kopfgleiter 18, nämlich die Kopfaufhängungen 19, zwischen den benachbarten magnetischen Aufzeichnungsplatten 13 angeordnet.
2 zeigt eingehend ein spezifisches Beispiel für einen fliegenden Kopfgleiter 18, der die vorliegende Erfindung verkörpert. Der fliegende Kopfgleiter 18 enthält einen Gleiterkörper 23 beispielsweise aus einem flachen Parallelepipeden, der aus AL₂O₃-TiC hergestellt ist, und einen Schutzfilm 25 aus Al₂O₃, mit dem die Fläche des nachlaufenden oder Herausströmungsendes des Gleiterkörpers 23 beschichtet ist. Ein Lese-/Schreibkopf 24 ist in dem Schutzfilm 25 enthalten. Der Gleiterkörper 23 und der Schutzfilm 25 sind so konstruiert, um mit einer dem Medium gegenüberliegenden Fläche oder Bodenfläche 26 der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 gegenüberzuliegen. Die Bodenfläche 26 kann einen Luftstrom 27 aufnehmen, der längs der Oberfläche der rotierenden magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 erzeugt wird. Es sei erwähnt, dass die Begriffe "nachlaufend" und "Herausströmung" auf der Basis der Richtung des Luftstroms 27 definiert sind.
Eine vordere Schiene 29 ist gebildet, um auf einer flachen Basisoberfläche 28 der Bodenfläche 26 in der Nähe des führenden oder Einströmungsendes des Gleiterkörpers 26 zu stehen. Auch die Ausdrücke "führend" und "Einströmung" sind auf der Basis der Richtung des Luftstroms 27 definiert, wie oben beschrieben. Die vordere Schiene 29 ist so konstruiert, um sich in der seitlichen Richtung des Gleiterkörpers 23 parallel zu dem führenden Ende des Gleiterkörpers 23 zu erstrecken. Der Ausdruck "seitlich" definiert die Richtung, die zu der Richtung des Luftstroms 27 senkrecht ist. Die Höhe der vorderen Schiene 29 ab der Basisoberfläche 28 kann zum Beispiel ungefähr 1,5-2,0 μm betragen.
Gleichfalls ist ein Paar von hinteren Schienen 31a, 31b gebildet, um auf der Basisoberfläche 28 der Bodenfläche 26 nahe dem nachlaufenden oder Herausströmungsende des Gleiterkörpers 23 zu stehen. Die hinteren Schienen 31a, 31b sind in der seitlichen Richtung in einer Reihe angeordnet, um einen Luftstromdurchgang 32 für den Luftstrom 27 zu definieren. Die hinteren Schienen 31a, 31b sind so konstruiert, um sich stromabwärts in der rückwärtigen Richtung hin zu dem nachlaufenden Ende des Gleiterkörpers 23 zu erstrecken. Die Höhe der jeweiligen hinteren Schienen 31a, 31b ab der Basisoberfläche 28 kann sich auf eine vorbestimmte Höhe belaufen, die der obengenannten Höhe der vorderen Schiene 29 gleich ist.
Eine vordere Luftlageroberfläche 33 in Form eines Streifens ist auf der oberen Fläche der vorderen Schiene 29 definiert. Die vordere Luftlageroberfläche 33 ist so kon struiert, um sich in der seitlichen Richtung des Gleiterkörpers 23 zu erstrecken. Eine Stufe 34 ist auf der oberen Fläche der vorderen Schiene 29 an dem führenden oder Einströmungsende der vorderen Luftlageroberfläche 33 definiert. Die Stufe 34 kann über die gesamte Peripherie der vorderen Luftlageroberfläche 33 gebildet sein, abgesehen von dem nachlaufenden oder Herausströmungsende derselben. Die Stufe 34 dient dazu, eine Oberfläche mit niedrigerem Niveau 35 zu definieren, die sich über die obere Fläche der vorderen Schiene 29 auf einem Niveau erstreckt, das niedriger als die vordere Luftlageroberfläche 33 ist. Die Höhendifferenz zwischen der vorderen Luftlageroberfläche 33 und der Fläche mit niedrigerem Niveau 35 kann zum Beispiel ungefähr 200 nm betragen. Während der Rotation der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 kann der Luftstrom 27, der längs der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 erzeugt wird, entlang der Fläche mit niedrigerem Niveau 35, der Stufe 34 und der vorderen Luftlageroberfläche 33 in dieser Reihenfolge strömen. Die Stufe 34 ermöglicht die Erzeugung eines größeren Überdrucks oder Auftriebs auf der vorderen Luftlageroberfläche 33.
Erste und zweite hintere Luftlageroberflächen 36a, 36b sind jeweilig auf den oberen Flächen der hinteren Schienen 31a, 31b definiert. Eine Stufe 37 ist auf der oberen Fläche der hinteren Schiene 31a an dem führenden oder Einströmungsende der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a definiert. Gleichfalls ist eine Stufe 38 auf der oberen Fläche der hinteren Schiene 31b an dem führenden oder Einströmungsende der zweiten hinteren Luftlageroberfläche 36b definiert. Die Stufe 38 kann so gebildet sein, um sich entlang der Peripherie der zweiten hinteren Luftlageroberfläche 36b hin zu dem nachlaufenden oder Herausströmungsende der zweiten hinteren Luftlageroberfläche 36b zu erstrecken. Die Stufen 37, 38 dienen dazu, Flächen mit niedrigerem Niveau 39, 41 zu definieren, die sich über die oberen Flächen der jeweiligen hinteren Schienen 31a, 31b in einer Ebene erstrecken, die niedriger als die ersten und zweiten Luftlageroberflächen 36a, 36b ist. Die Höhendifferenz zwischen den hinteren Luftlageroberflächen 36a, 36b und den Flächen mit niedrigerem Niveau 39, 41 kann ungefähr zum Beispiel 200 nm betragen. Während der Rotation der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 kann der Luftstrom 27, der längs der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 erzeugt wird, den Oberflächen mit niedrigerem Niveau 39, 41, den Stufen 37, 38 und den ersten und zweiten hinteren Luftlageroberflächen 36a, 36b in dieser Reihenfolge entlangströmen. Die Stufen 37, 38 ermöglichen die Erzeugung eines größeren Überdrucks oder Auftriebs auf den jeweiligen ersten und zweiten Luftlageroberflächen 36a, 36b.
Ein fliegender Kopfgleiter 18 dieses Typs gestattet die Erzeugung eines größeren Überdrucks oder Auftriebs vielmehr auf der vorderen Luftlageroberfläche 33 als auf einer Kombination der ersten und zweiten Luftlageroberflächen 36a, 36b. Wenn der Gleiterkörper 23 daher über der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 fliegt, hält der Gleiterkörper 23 die Stellung eines Längsneigungswinkels α ein.
Der Längsneigungswinkel α ist als Neigungswinkel in der Richtung des Luftstroms 27, nämlich in der Längsrichtung des Gleiterkörpers 23 definiert. Zusätzlich ist die erste hintere Luftlageroberfläche 36a kleiner als die zweite hintere Luftlageroberfläche 36b gebildet, so dass ein größerer Überdruck oder Auftrieb vielmehr auf der zweiten hinteren Luftlageroberfläche 36b als auf der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a erzeugt werden kann, wenn der Luftstrom 27 auf die Bodenfläche 26 des fliegenden Kopfgleiters 18 wirkt. Wenn der Gleiterkörper 23 daher über der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 fliegt, kann der Gleiterkörper 23 die Stellung eines Querneigungswinkels β einhalten. Der Querneigungswinkel β ist als Neigungswinkel in einer Richtung definiert, die zu der Richtung des Luftstroms 27 rechtwinklig ist, nämlich in der seitlichen Richtung des Gleiterkörpers 23.
Ein Lese-/Schreibkopf 24 ist so konstruiert, dass sein vorderes Ende, nämlich der Lesespalt und der Schreibspalt an der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a, exponiert ist. In diesem Fall kann das exponierte Ende des Lese-/Schreibkopfes 24 mit einem harten Schutzüberzug, wie etwa mit einem Film aus diamantartigem Kohlenstoff (DLC) und dergleichen, auf der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a bedeckt sein. Eine Kombination aus den Längs- und Querneigungswinkeln α, β dient dazu, den Abstand zwischen dem nachlaufenden Ende der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a und der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 zu minimieren. Da der Lese-/Schreibkopf 24 näher an dem nachlaufenden Ende der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a angeordnet ist, kann der Lese-/Schreibkopf 24 magnetische Informationsdaten auf effektive Weise von der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 lesen und in diese schreiben. Der Lese-/Schreibkopf 24 kann ein Schreibelement wie etwa einen Dünnfilmmagnetkopf enthalten, der zum Beispiel ein Dünnfilmspulenmuster nutzt, und ein Leseelement, wie etwa ein Element mit gigantischem magnetoresistiven Effekt (GMR-Ele ment), ein magnetoresistives Tunnelübergangselement (TMR-Element) und dergleichen. Das Leseelement kann einen elektromagnetischen Transducerfilm enthalten, genauer gesagt, einen magnetoresistiven (MR) Film, wie beispielsweise einen Spin-Valve-Film oder Tunnelübergangsfilm, der sich längs der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a in der seitlichen Richtung erstreckt.
Ein Paar von Seitenschienen 43 ist gebildet, um auf der Basisoberfläche 28 des Gleiterkörpers 23 zu stehen. Die jeweiligen Seitenschienen 43 sind mit der vorderen Schiene 29 an ihren gegenüberliegenden Enden in der seitlichen Richtung des Gleiterkörpers 23 verbunden, um sich hin zu dem nachlaufenden Ende des Gleiterkörpers 23 zu erstrecken. Die Seitenschienen 43 sind so konstruiert, um zu verhindern, dass ein Luftstrom, der während der Rotation der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 mit der vorderen Schiene 29 kollidiert, in einen Raum hinter der vorderen Schiene 29 eindringt, auch wenn der Luftstrom um die gegenüberliegenden Enden der vorderen Schiene 29 herumströmt. Der Luftstrom 27, der über die vordere Schiene 29 hinweg quer über die vordere Luftlageroberfläche 33 strömt, wird somit in der vertikalen Richtung, die zu der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 aufrecht ist, leicht expandiert. Die Expansion des Luftstroms 27 dient dazu, einen Unterdruck hinter der vorderen Schiene 29 zu erzeugen. Der obenerwähnte Auftrieb an den Luftlageroberflächen 33, 36a, 36b wird mit dem Unterdruck ausbalanciert, um die Flughöhe des fliegenden Kopfgleiters 18 über der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 einzustellen. Aussparungen 44 sind zwischen den Seitenschienen 43 und den entsprechenden jeweiligen hinteren Schienen 31a, 31b definiert. Die Aussparungen 44 dienen dazu, den Luftstrom, der um die gegenüberliegenden Enden der vorderen Schiene 29 herumgeströmt ist, in den Luftstromdurchgang 32 zwischen den hinteren Schienen 31a, 31b zu führen. Die Seitenschienen 43 definieren jeweilig die oberen Flächen, die mit der Fläche mit niedrigerem Niveau 35 auf der vorderen Schiene 29 nivelliert oder bündig sind.
Ein Paar von vorderen Stützhöckern 45, nämlich vordere Adsorptionsverhinderungskissen, ist auf der vorderen Schiene 29 gebildet, um auf der Fläche mit niedrigerem Niveau 35 zu stehen. Die vorderen Stützhöcker 45 sind vorzugsweise so dicht wie möglich am führenden Ende des Gleiterkörpers 23 angeordnet. Die vorderen Stützhöcker 45 definieren jeweilig die äußersten Enden, die über dem Niveau der vorderen Luftlageroberfläche 33 sowie der ersten und zweiten hinteren Luftlageroberflächen 36a, 36b angeordnet sind.
Gleichfalls ist ein erster hinterer Stützhöcker 46a, nämlich ein hinteres Adsorptionsverhinderungskissen, auf der Seitenschiene 43 gebildet, die der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a näher ist. Der erste hintere Stützhöcker 46a ist so konstruiert, um auf der oberen Fläche der Seitenschiene 43 zu stehen. Zusätzlich ist ein zweiter hinterer Stützhöcker 46b, nämlich ein hinteres Adsorptionsverhinderungskissen, auf der hinteren Schiene 31b gebildet. Der zweite hintere Stützhöcker 46b ist so konstruiert, um auf der Oberfläche mit niedrigerem Niveau 41 zu stehen. Die hinteren Stützhöcker 46a, 46b sind hinter den vorderen Stützhöckern 45 an Positionen angeordnet, die von dem nachlaufenden Ende der Bodenfläche 26 beabstandet sind. Die hinteren Stützhöcker 46a, 46b definieren jeweilig die äußersten Enden, die über dem Niveau der vorderen Luftlageroberfläche 33 sowie der ersten und zweiten hinteren Luftla geroberflächen 36a, 36b angeordnet sind, genauso wie die obenerwähnten vorderen Stützhöcker 45. Die Höhe der hinteren Stützhöcker 46a, 46b kann jener der vorderen Stützhöcker 45 gleich sein.
Eine Vertiefung, nämlich eine Nut 47, ist auf der hinteren Schiene 31a hinter dem ersten hinteren Stützhöcker 46a definiert. Die Nut 47 ist so konstruiert, um sich in der seitlichen Richtung des Gleiterkörpers 23 parallel zu dem nachlaufenden oder Herausströmungsende des Gleiterkörpers 23 zu erstrecken. Die Nut 47 kann sich quer durch die gesamte erste hintere Luftlageroberfläche 36a erstrecken. Die Nut 47 ist näher als der Lese-/Schreibkopf 24 an dem führenden oder Einströmungsende des Gleiterkörpers 23 angeordnet. Gleichfalls ist eine Nut 48 auf der hinteren Schiene 31b hinter dem zweiten hinteren Stützhöcker 46b definiert. Die Nut 48 ist so konstruiert, um sich in der seitlichen Richtung des Gleiterkörpers 23 parallel zu dem nachlaufenden oder Herausströmungsende des Gleiterkörpers 23 zu erstrecken. Die Nut 48 kann sich quer durch die gesamte zweite hintere Luftlageroberfläche 36b erstrecken. Die Breite der Nut 47, 48 kann in einem Bereich zwischen 10 μm und 100 μm liegen, während die Tiefe der Nut 47, 48 beispielsweise in einem Bereich zwischen 5 nm und 10 nm liegen kann.
Ein Schutzvorsprung 49 ist in der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a an einer Position gebildet, die dem führenden Ende des Gleiterkörpers 23 näher als der Lese-/Schreibkopf 24 ist. Der Schutzvorsprung 49 ist so konstruiert, um sich von der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a zu erheben. Der Schutzvorsprung 49 ist innerhalb der Nut 47 angeordnet. Wie aus 3 ersichtlich ist, definiert der Schutzvorsprung 49 das äußere Ende, das höher als das Niveau der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a ist. Der Schutzvorsprung 49 kann von einer provisorischen Bezugsebene 51, die die erste hintere Luftlageroberfläche 36a enthält, beispielsweise mit einer Höhe Ha = 10 nm hervorstehen. Es sei erwähnt, dass die Stützhöcker 45, 46a, 46b von der provisorischen Bezugsebene 51, die die Luftlageroberflächen 33, 36a, 36b enthält, in diesem Fall mit einer Höhe Hb = 40 nm hervorstehen können.
Wie aus 4 ersichtlich ist, ist der Schutzvorsprung 49 so konstruiert, um in der seitlichen Richtung hin zu dem führenden Ende des Gleiterkörpers 23 kleiner zu werden.
Genauer gesagt: erste und zweite vordere Wandflächen 52, 53 sind an dem Schutzvorsprung 49 definiert. Die ersten und zweiten vorderen Wandflächen 52, 53 können aufrecht auf der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a stehen. Die erste vordere Wandfläche 52 ist zwischen ersten und zweiten Kämmen definiert. Der erste Kamm erstreckt sich längs einer vorderen Bezugslinie 54, die zu der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a senkrecht ist. Der zweite Kamm erstreckt sich längs einer ersten hinteren Bezugslinie 55, die zu der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a senkrecht ist, an einer Position hinter und außerhalb der vorderen Bezugslinie 54. Ähnlich ist die zweite vordere Wandfläche 53 zwischen dem ersten Kamm und einem dritten Kamm definiert. Der dritte Kamm erstreckt sich längs einer zweiten hinteren Bezugslinie 56, die zu der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a senkrecht ist, an einer Position hinter und innerhalb der vorderen Bezugslinie 54. Der Ausdruck "innerhalb" und "außerhalb" ist auf der Basis der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 definiert, wenn der fliegende Kopfgleiter 18 der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 gegenüberliegt. Die erste vordere Wandfläche 52 braucht nur eine flache Ebene zu enthalten, die sich in einer provisorischen Ebene erstreckt, die wenigstens die vordere und die erste hintere Bezugslinie 54 bzw. 55 enthält. Ähnlich braucht die zweite vordere Wandfläche 53 nur eine flache Ebene zu enthalten, die sich in einer provisorischen Ebene erstreckt, die wenigstens die vordere und die zweite hintere Bezugslinie 54 bzw. 56 enthält. Die ersten und zweiten vorderen Wandflächen 52, 53 müssen sich den gemeinsamen Kamm in der oben beschriebenen Weise nicht immer teilen.
Wenn der fliegende Kopfgleiter 18 direkt über der äußersten Aufzeichnungsspur auf der rotierenden magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 positioniert ist, wie in 5 gezeigt, überströmt der Luftstrom 58 die erste hintere Luftlageroberfläche 36a mit dem Einfallswinkel θ, der ungefähr zwischen 10 Grad und 20 Grad liegt. Hierbei ist die Größe des Schutzvorsprungs 49 groß genug, um den Luftstrom 58 vollständig zu blockieren, der direkt auf den MR-Film 59 zuströmt, der in dem Lese-/Schreibkopf 24 enthalten ist. Darüber hinaus ist der Schutzvorsprung 49 vorzugsweise so konstruiert, um den Luftstrom 58 auf der Breite W des MR-Films 59 zu blockieren, der direkt auf Regionen 61 angrenzend an den MR-Film 59 zuströmt. Der Einfallswinkel θ kann ausgehend von einer longitudinalen Bezugslinie 62, die die Längsrichtung oder die Vorder- und Hinterseiten des fliegenden Kopfgleiters 18 in der Draufsicht auf die Bodenfläche 26 definiert, im Uhrzeigersinn definiert sein.
Wie aus 5 hervorgeht, ist die erste vordere Wandfläche 52 so konstruiert, um sich über eine spezifische Ebene zu erstrecken, die an der vorderen Bezugslinie 54 eine vertikale provisorische Ebene 63 schneidet, die zu der longitudinalen Bezugslinie 62 senkrecht ist. Ein Kreuzungswinkel γ, der größer als der absolute Betrag des Einfallswinkels θ ist, existiert zwischen der spezifischen Ebene und der vertikalen provisorischen Ebene 63. Daher wird zuverlässig verhindert, dass die erste vordere Wandfläche 52 den Luftstrom 58 in der senkrechten Richtung aufnimmt, auch wenn der Luftstrom 58 über den Einfallswinkel θ, der zum Beispiel zwischen 0 Grad und 20 Grad liegt, auf die Bodenfläche 26 gelangt.
Wenn der fliegende Kopfgleiter 18 direkt über der innersten Aufzeichnungsspur auf der rotierenden magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 positioniert ist, wie in 6 gezeigt, überströmt der Luftstrom 58 die erste hintere Luftlageroberfläche 36a mit dem Einfallswinkel θ, der ungefähr zwischen -10 Grad und -20 Grad liegt. Hierbei ist die Größe des Schutzvorsprungs 49 groß genug, um den Luftstrom 58 vollständig zu blockieren, der direkt auf den MR-Film 59 zuströmt, der in dem Lese-/Schreibkopf 24 enthalten ist. Weiterhin ist der Schutzvorsprung 49 vorzugsweise so konstruiert, um den Luftstrom 58, der direkt auf Regionen 61 zuströmt, die an den MR-Film 59 angrenzen, auf der Breite W des MR-Films 59 zu blockieren. Auf diese Weise kann der Schutzvorsprung 49 den Luftstrom 58, der sich auf den MR-Film 59 und die Regionen 61 richtet, über den gesamten Bereich des Einfallswinkels θ des Luftstroms 58, nämlich beispielsweise von -20 Grad bis 20 Grad, der zu der Bodenfläche 26 gelangt, zuverlässig blockieren.
Wie aus 6 hervorgeht, ist die zweite vordere Wandfläche 53 so konstruiert, um sich über eine spezifische Ebene zu erstrecken, die an der vorderen Bezugslinie 54 die vertikale provisorische Ebene 63 schneidet, die zu der longitudinalen Bezugslinie 62 senkrecht ist. Ein Kreuzungswinkel η, der größer als der absolute Betrag des Einfallswinkels θ ist, wird zwischen der spezifischen Ebene und der vertikalen provisorischen Ebene 63 gebildet. Daher wird zuverlässig verhindert, dass die zweite vordere Wandfläche 53 den Luftstrom 58 in der senkrechten Richtung empfängt, auch wenn der Luftstrom 58 über den Einfallswinkel θ, der beispielsweise zwischen -20 Grad und 0 Grad liegt, auf die Bodenfläche 26 gelangt.
Nun wird angenommen, dass der Luftstrom längs der Oberfläche der rotierenden magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 erzeugt wird. Wenn der fliegende Kopfgleiter 18 der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 gegenüberliegt, dient der Luftstrom dazu, einen Auftrieb an dem fliegenden Kopfgleiter 18 zu bewirken. Nachdem die Rotation der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 den eingeschwungenen Zustand erreicht hat, beginnt das nachlaufende Ende oder der nachlaufende Rand des Gleiterkörpers 23 eine spezifische Kreisbahnebene 64 zu verfolgen, die zu der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 parallel ist, wie in 7 gezeigt. Solange die eingestellte Umdrehungsgeschwindigkeit bei der Rotation der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 beibehalten wird, kann die Flughöhe des Gleiterkörpers 23 über der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 konstant gehalten werden.
Dann wird dem Lese-/Schreibkopf 24 ein elektrischer Strom zum Schreiben von Signalen zugeführt. Ein Magnetfeld wird in dem Dünnfilmspulenmuster, das in dem Lese-/Schreibkopf 24 enthalten ist, als Antwort auf die Zufuhr des elektrischen Stroms induziert. Der Magnetkern dient dazu, dass das induzierte Magnetfeld aus der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a heraustreten kann. Das heraustretende Magnetfeld wird genutzt, um Informationsdaten in die magnetische Aufzeichnungsplatte 13 zu schreiben.
In diesem Fall wird Wärme an dem Dünnfilmspulenmuster als Antwort auf die Zufuhr des elektrischen Stroms erzeugt. Je höher die Frequenz der Schreibsignale wird, desto größer ist die Menge der Wärme, die an dem Dünnfilmspulenmuster erzeugt wird. Wärme, die auf diese Weise erzeugt wird, bewirkt die thermische Ausdehnung des Schutzfilms 25. Der Schutzfilm 25 schwillt hin zu der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 außerordentlich an, wie in 7 gezeigt. Das äußere Ende des Lese-/Schreibkopfes 24 gelangt jenseits der ersten hinteren Luftlageroberfläche 36a dicht an die magnetische Aufzeichnungsplatte 13. Auf diese Weise wird eine spezifische kleinere Flughöhe Hw zwischen dem Lese-/Schreibkopf 24 (insbesondere dem MR-Film) und der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 erreicht. Das äußere Ende des Lese-/Schreibkopfes 24 beginnt mit der Verfolgung einer Kreisbahn 65, die der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 näher als die Kreisbahnebene 64 für den nachlaufenden Rand ist.
Die Flughöhe Hp des Schutzvorsprungs 49 ist kleiner als die zuvor erwähnte spezifische kleinere Flughöhe Hw in dem zuvor vorgeschlagenen HDD 11, wie aus 7 ersichtlich ist. Auch wenn die thermische Ausdehnung in dem Schutzfilm 25 induziert wird, verfolgt daher die Spitze oder das obere Ende des Schutzvorsprungs 49 eine Kreisbahnebene 66, die der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 näher als die Kreisbahn 65 für den Lese-/Schreibkopf 24 ist. Selbst wenn Hindernisse wie beispielsweise Erhebungen oder Verschmutzungen auf der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 vorhanden sind, kann der Schutzvorsprung 49 mit den Hindernissen vor dem Lese-/Schreibkopf 24 kollidieren. Auf diese Weise kann zuverlässig verhindert werden, dass der Lese-/Schreibkopf 24 mit Hindernissen hinter dem Schutzvorsprung 49 kollidiert. Die Erzeugung einer thermischen Rauheit in dem MR-Film 59 wird zuverlässig verhindert.
Im Besonderen ist der Schutzvorsprung 49 so konstruiert, um den Luftstrom 58, der direkt auf den MR-Film 59 und die Regionen 61 zusteuert, über die verschiedenen Einfallswinkel θ, wie oben beschrieben, vollständig zu blockieren, auch wenn der Luftstrom 58 auf die Bodenfläche 26 gelangt. Genauer gesagt: der Schutzvorsprung 49 kollidiert auf dem gesamten Bereich des Einfallswinkels θ des Luftstroms 58 mit Hindernissen wie beispielsweise Verschmutzungen vor dem Lese-/Schreibkopf 24. Auf diese Weise kann der Lese-/Schreibkopf 24 vor Kollisionen zuverlässig geschützt werden. Gemäß einer Untersuchung durch den Erfinder wird bestätigt, dass jegliche Kollision von Hindernissen mit den Regionen 61, die an den MR-Film 59 angrenzen, den MR-Film 59 beeinträchtigt. Da der Schutzvorsprung 49 so konstruiert ist, um nicht nur den MR-Film 59 selbst, sondern auch die Regionen 61, die an den MR-Film 59 angrenzen, vor der Kollision mit Verschmutzungen zu schützen, wird der Schutz des MR-Films 59 weiter verbessert.
Auch wenn Verschmutzungen auf irgendeinem Einfallswinkel θ auf die Bodenfläche 26 gelangen, kollidieren die Verschmutzungen zusätzlich nie mit den ersten und zweiten vorderen Wandflächen 52, 53 in der senkrechten Richtung. Die ersten und zweiten vorderen Wandflächen 52, 53 empfangen Verschmutzungen immer aus anderen Richtungen als der senkrechten Richtung. Verschmutzungen können von den ersten und zweiten vorderen Wandflächen 52, 53 leicht nach innen oder außen abprallen. Somit kann eine Kollision zwischen dem Lese-/Schreibkopf 24 und Verschmutzungen vermieden werden. Falls eine Verschmutzung in der senkrechten Richtung mit der vorderen Wandfläche 52, 53 kollidiert, besteht die Tendenz, dass die Verschmutzung zwischen dem Gleiterkörper 23 und der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 eingeklemmt wird. In diesem Fall tendiert die Verschmutzung dazu, mit dem Lese-/Schreibkopf 24 zu kollidieren.
Als Nächstes wird angenommen, dass der fliegende Kopfgleiter 18 die Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 kontaktiert. Normalerweise kann der Gleiterkörper 23 durch die Stützhöcker 45, 46a, 46b auf der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 gestützt werden. Es wird verhindert, dass die Luftlageroberflächen 33, 36a, 36b die Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 kontaktieren. Im Vergleich zu dem Fall, wenn die Luftlageroberflächen 33, 36a, 36b die Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 kontaktieren, kann ein kleinerer Kontaktbereich zwischen dem Gleiterkörper 23 und der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 entstehen. Es wird verhindert, dass der Gleiterkörper 23 einem Adsorptions- oder Meniskuseffekt unterliegt, der von einem Schmiermittel- oder Ölfilm herrührt, der sich über der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 ausbreitet.
Zum Beispiel wird angenommen, dass ein Moment M im Bereich der äußeren Enden der hinteren Stützhöcker 46a, 46b auf den Gleiterkörper 23 wirkt, wie in 8 gezeigt. Das Moment M dient dazu, das führende Ende oder den führenden Rand des Gleiterkörpers 23 von der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 zu beabstanden. Falls der fliegende Kopfgleiter 18 die Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 unter dieser Bedingung kontaktiert, wird der Gleiterkörper 23 auf der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 durch die hinteren Stützhöcker 46a, 46b aufgenommen, während die vorderen Stützhöcker 45 von der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 beabstandet bleiben. Gleichzeitig wird das äußere Ende des Schutzvorsprungs 49 auf der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 hinter dem ersten hinteren Stützhöcker 46a aufgenommen. Auf diese Weise kann jegliche Vergrößerung des Kontaktbereichs zwischen dem Gleiterkörper 23 und der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 verhindert werden. Auch wenn das nachlaufende Ende oder der nachlaufende Rand der zweiten hinteren Luftlageroberfläche 36b die Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 hinter dem zweiten hinteren Stützhöcker 46b kontaktiert, dient die Nut 48 dazu, zu verhindern, dass das Schmiermittel bis hinauf auf die zweite hintere Luftlageroberfläche 36b gelangt. Somit kann die Erzeugung eines Meniskuseffektes des Schmiermittels sowie jegliche Vergrößerung einer Reibungskraft zwischen dem Gleiterkörper 23 und der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 zuverlässig verhindert werden.
Als Nächstes folgt eine kurze Beschreibung eines Verfahrens zum Herstellen des obigen fliegenden Kopfgleiters 18, das die vorliegende Erfindung verkörpert. Zuerst wird ein Wafer aus Al₂O₃-TiC vorbereitet. Ein Film aus Aluminiumoxid (Al₂O₃) wird zuvor gebildet, um die Oberfläche des Wafers zu bedecken. Über der Oberfläche des Aluminiumoxidfilms wird auf herkömmliche Weise eine Vielzahl von Lese-/ Schreibköpfen 24 gebildet. Ein Block ist für den individuellen Lese-/Schreibkopf 24 definiert. Der individuelle Block wird für den individuellen fliegenden Kopfgleiter 18 herausgeschnitten. Die gebildeten Lese-/Schreibköpfe 24 werden mit einem anderen Aluminiumoxidfilm bedeckt. Auf diese Weise wird der Aluminiumoxidfilm, der die Lese-/Schreibköpfe 24 enthält, auf dem Wafer hergestellt. Die Dicke des Aluminiumoxidfilms kann zum Beispiel ungefähr 50 μm betragen.
Wenn die Lese-/Schreibköpfe 24 auf die obige Weise auf dem Wafer hergestellt worden sind, wird aus dem Wafer eine sogenannte Waferstange herausgeschnitten. Die individuelle Waferstange ist so konstruiert, um eine Reihe der Lese-/Schreibköpfe 24 zu enthalten. Die Schnittfläche der Waferstange wird dann der Bildung der Bodenflächen 26 der fliegenden Kopfgleiter 18 für die individuellen Blöcke unterzogen. Danach wird der individuelle Block von der Waferstange als individueller fliegender Kopfgleiter 18 abgeschnitten.
Wenn die Bodenfläche 26 zu formen ist, werden die äußeren Abschnitte der Stützhöcker 45, 46a, 46b für die individuellen Blöcke 72 auf der Schnittfläche der Waferstange 71 gebildet, wie in 9 gezeigt. Vor der Bildung der äußeren Abschnitte kann ein Film aus diamantartigem Kohlenstoff (DLC) auf der Schnittfläche der Waferstange 71 aufgetragen werden. Eine Si- oder SiC-Kontaktschicht kann auf der Schnittfläche vor dem Bedecken mit dem DLC-Film aufgebracht werden. Der DLC-Film dient dazu, harte Schutzschichten über den äußeren Enden der Stützhöcker 45, 46a, 46b zu bilden.
Wenn die Stützhöcker 45, 46a, 46b gebildet werden, werden Photoresistfilme, die nicht gezeigt sind, entsprechend den Schnittformen der Stützhöcker 45, 46a, 46b auf der Schnittfläche der Waferstange 71 gebildet. Wenn die Schnitt fläche der Waferstange 71 einem reaktiven Ionenätzen (RIE) unterzogen wird, wird das Material der Waferstange 71 um die Photoresistfilme herum abgetragen. Als Resultat verbleiben die äußeren Abschnitte der Stützhöcker 45, 46a, 46b unter den Photoresistfilmen. Die Photoresistfilme werden danach entfernt.
Anschließend wird der Schutzvorsprung 49 auf der Schnittfläche der Waferstange 71 gebildet, wie in 10 gezeigt. In diesem Fall kommt ein sogenanntes Abheben zum Einsatz. Der Prozess des Abhebens wird später eingehend beschrieben.
Eine Nut 73 ist auf der Waferstange 71 definiert, wie in 11 gezeigt. Die Nut 73 ist konstruiert, um sich quer durch den Block 72 zu erstrecken. Die Nut 73 soll die Nuten 47, 48 des fliegenden Kopfgleiters 18 ergeben. Ein Photoresistfilm, der nicht gezeigt ist, ist auf der Schnittfläche der Waferstange 71 gebildet. Ein leerer Raum entsprechend der Schnittform der Nut 73 ist in dem Photoresistfilm definiert. Zusätzlich bleibt die obere Fläche des Schutzvorsprungs 49 innerhalb des leeren Raums mit dem Photoresistfilm bedeckt. Dann wird die Schnittfläche der Waferstange 71 zum Beispiel dem RIE unterzogen. Das Material der Waferstange 71 wird um den Photoresistfilm herum abgetragen. Als Resultat wird die Nut 73 am Bruch des Photoresistfilms erhalten. Der Schutzvorsprung 49 innerhalb der Nut 73 bleibt bestehen. Danach wird der Photoresistfilm entfernt.
Dann werden die Luftlageroberflächen 33, 36a, 36b über der Schnittfläche der Waferstange 71 gebildet, wie in 12 gezeigt. Photoresistfilme, die nicht gezeigt sind, entsprechend den Schnittformen der Stützhöcker 45, 46a, 46b sowie Photoresistfilme, die nicht gezeigt sind, entsprechend den Formen der Luftlageroberflächen 33, 36a, 36b werden auf der Schnittfläche der Waferstange 71 gebildet. Dann wird die Schnittfläche der Waferstange 71 zum Beispiel dem RIE unterzogen. Das Material der Waferstange 71 wird um die Photoresistfilme herum abgetragen. Als Resultat werden unter den Photoresistfilmen so die Stützhöcker 45, 46a, 46b und die Luftlageroberflächen 33, 36a, 36b erhalten. Danach werden die Photoresistfilme entfernt.
Schließlich werden die vorderen und hinteren Schienen 29, 31a, 31b auf der Schnittfläche der Waferstange 71 gebildet. Photoresistfilme, die nicht gezeigt sind, entsprechend den Schnittformen der Schienen 29, 31a, 31b werden auf der Schnittfläche der Waferstange 71 gebildet. Die Schnittfläche der Waferstange 71 wird dann zum Beispiel dem RIE unterzogen. Das Material der Waferstange 71 wird um die Photoresistfilme herum abgetragen. Als Resultat werden unter den Photoresistfilmen so die vordere Schiene 29 und die hinteren Schienen 31a, 31b erhalten. Die Luftlageroberflächen 33, 36a, 36b, die Stützhöcker 45, 46a, 46b und der Schutzvorsprung 49 dürfen auf den oberen Flächen der Schienen 29, 31a, 31b verbleiben. Danach werden die Photoresistfilme entfernt.
Wenn das Abheben ausgeführt wird, wie in 13 gezeigt, wird der Photoresistfilm 74 über der Schnittfläche der Waferstange 71 gebildet. Ein leerer Raum 75 entsprechend der Form des Schutzvorsprungs 49 ist in dem Photoresistfilm 74 definiert. In diesem Fall ist die Größe des leeren Raums 75 etwas größer als die genaue Peripherie des Schutzvorsprungs 49. Danach wird ein vorbestimmtes Material gleichförmig über der Schnittfläche der Waferstange 71 aufgetragen. Um eine Schicht aus dem Material zu bilden, kann zum Beispiel das Sputtern zum Einsatz kommen. Innerhalb des leeren Raums 75 kann ein Material 76 für den Schutzvorsprung 49 erhalten werden. Entlang der Innenfläche des leeren Raums 75 kann auch ein Grat 77 gebildet werden. Der Grat 77 soll auf der oberen Fläche des Materials 76 stehen. Danach wird der Photoresistfilm 74 entfernt. Das Material, das den Photoresistfilm 74 bedeckt, wird auch von der Waferstange 71 entfernt.
Ein Photoresistfilm 78 wird auf der oberen Fläche des Materials 76 gebildet, wie in 14 gezeigt, wenn die Nut 73 zu bilden ist. Diesmal entspricht der Photoresistfilm 78 exakt der Form des Schutzvorsprungs 49. Wenn das RIE auf die obige Weise zum Einsatz kommt, wird das Material 76 um den Photoresistfilm 78 herum entfernt. Auf diese Weise kann der Grat 77 entfernt werden. Der Schutzvorsprung 49 kann auf der Schnittfläche der Waferstange 71 verbleiben.
Der auf die obige Weise hergestellte fliegende Kopfgleiter 18 wird dann an dem vorderen Ende der Kopfaufhängung 19 angebracht. Zu diesem Zeitpunkt ist die Höhe Tr des Schutzvorsprungs 49 größer als eine vorbestimmte Höhe Tp, die vorhanden sein muss, wenn der fliegende Kopfgleiter 18 in dem HDD 11 inkorporiert wird. Der fliegende Kopfgleiter 18 wird anschließend gegenüber einer Schleifscheibe unter einer Bedingung angeordnet, die der Bedingung äquivalent ist, die besteht, wenn der fliegende Kopfgleiter 18 in dem HDD 11 inkorporiert ist.
Wenn die Schleifscheibe 79 angetrieben wird, um mit der vorbestimmten Umdrehungsgeschwindigkeit zu rotieren, die für die magnetische Aufzeichnungsplatte 13 des HDD 11 festgelegt ist, wird der fliegende Kopfgleiter 18 dazu gezwungen, mit einer vorbestimmten Flughöhe Hr, die einzurichten ist, wenn der fliegende Kopfgleiter 18 in dem HDD 11 inkorporiert ist, über der Oberfläche der Schleifscheibe 79 zu fliegen, wie in 15 gezeigt. Das nachlaufende Ende oder der nachlaufende Rand des Gleiterkörpers 23 bewegt sich, wie oben beschrieben, in der Kreisbahnebene 64 parallel zu der Oberfläche der Schleifscheibe 79. Wenn die Schleifscheibe 79 andererseits angetrieben wird, um mit einer festgelegten Umdrehungsgeschwindigkeit zu rotieren, die kleiner als die obenerwähnte vorbestimmte Umdrehungsgeschwindigkeit ist, wird der fliegende Kopfgleiter 18 gezwungen, mit einer niedrigeren Flughöhe HL, die kleiner als die obenerwähnte vorbestimmte Flughöhe Hr ist, niedrig zu fliegen. Der fliegende Kopfgleiter 18 kann näher an die Oberfläche der Schleifscheibe 79 herangelangen, so dass die Spitze oder das obere Ende des Schutzvorsprungs 49 mit der rotierenden Schleifscheibe 79 in Kontakt gebracht wird. Aufgrund des Kontaktes oder des Schleifens zwischen dem oberen Ende des Schutzvorsprungs 49 und der rotierenden Schleifscheibe 79 wird der Schutzvorsprung 49 abgeschliffen. Auf diese Weise wird der Schutzvorsprung 49 auf die vorbestimmte Höhe Tp gekürzt. Dadurch wird die Höhe des Schutzvorsprungs 49 eingestellt.
Wenn die Schleifscheibe 79 mit der festgelegten Umdrehungsgeschwindigkeit rotiert, kann der fliegende Kopfgleiter 18 über der Oberfläche der Schleifscheibe 79 genau mit der niedrigeren Flughöhe HL fliegen. Die akkurate Flughöhe HL des fliegenden Kopfgleiters 18 trägt zur Herstellung der vorbestimmten Höhe Tp des Schutzvorsprungs 49 ohne irgendwelche Maßfehler bei. Die Flughöhe des oberen Endes des Schutzvorsprungs 49 kann auf der Basis der Differenz zwischen der vorbestimmten Flughöhe Hr und der niedrigeren Flughöhe HL eingestellt werden. In dem HDD 11 kann das obere Ende des Schutzvorsprungs 49 die vorbestimmte Flughöhe Hr über der Oberfläche der magnetischen Aufzeichnungsplatte 13 zuverlässig einhalten.
Das obige Abschleifen des Schutzvorsprungs 49 kann vor der Montage des fliegenden Kopfgleiters 18 in das HDD 11 erfolgen. Es sei erwähnt, dass das obige Abschleifen innerhalb des HDD 11 vorgenommen werden kann. In letzterem Fall fungiert die magnetische Aufzeichnungsplatte 13 in dem HDD 11 als Schleifscheibe.
Der obige Schutzvorsprung 49 kann abgesehen von dem oben beschriebenen Kopfgleiter 18, der die vorliegende Erfindung verkörpert, auf beliebige Typen von fliegenden Kopfgleitern angewendet werden. Zusätzlich kann ein fliegender Kopfgleiter 18, der die vorliegende Erfindung verkörpert, in beliebige Typen von Aufzeichnungsplattenlaufwerken oder Speichervorrichtungen eingebaut werden, die ein Magnetplattenlaufwerk wie das obige HDD 11 enthalten.

Claims

Kopfgleiter mit: einem Gleiterkörper (23); einem Schutzfilm (25), mit dem eine Fläche des nachlaufenden Endes des Gleiterkörpers beschichtet ist; und einem Kopfelement (24), das in dem Schutzfilm eingebettet ist und dessen vorderes Ende an einer Luftlageroberfläche exponiert ist; einer Vertiefung (47), die in der Luftlageroberfläche an einer Position definiert ist, die einem führenden Ende des Gleiterkörpers näher als das Kopfelement ist; dadurch gekennzeichnet, dass der Kopfgleiter ferner umfasst: einen Schutzvorsprung (49), der in der Vertiefung auf dem Gleiterkörper steht und ein vorderes Ende definiert, das von einem Niveau der Luftlageroberfläche hervorsteht.
Kopfgleiter nach Anspruch 1, bei dem der Schutzvorsprung in einer seitlichen Richtung hin zu dem führenden Ende des Kopfgleiters kleiner wird.
Kopfgleiter nach Anspruch 1 oder 2, bei dem der Gleiterkörper eine einem Medium gegenüberliegende Fläche hat, die einem Aufzeichnungsmedium gegenüberliegt, und eine Wandfläche (52, 53) an dem Schutzvorsprung definiert ist, welche Wandfläche sich von einem ersten Kamm, der zu der dem Medium gegenüberliegenden Fläche senkrecht ist, zu einem zweiten Kamm erstreckt, der an einer Position, die der Fläche des nachlaufenden Endes näher als der erste Kamm ist, zu der dem Medium gegenüberliegenden Fläche senkrecht ist.
Kopfgleiter nach Anspruch 1 oder 2, bei dem der Gleiterkörper eine einem Medium gegenüberliegende Fläche hat, die einem Aufzeichnungsmedium gegenüberliegt, und erste und zweite Wandflächen (52, 53) an dem Schutzvorsprung definiert sind, welche ersten und zweiten Wandflächen sich jeweilig von ersten und zweiten Kämmen, die beide zu der dem Medium gegenüberliegenden Fläche senkrecht sind, zu einem dritten Kamm erstrecken, der an einer Position, die dem führenden Ende des Kopfgleiters näher als die ersten und zweiten Kämme ist, zu der dem Medium gegenüberliegenden Fläche senkrecht ist.
Kopfgleiter nach irgendeinem vorhergehenden Anspruch, bei dem eine Größe des Schutzvorsprungs ausreichend ist, um den Luftstrom, der sich auf das Kopfelement richtet, über einen gesamten Bereich eines Einfallswinkels des Luftstroms hinweg zu blockieren, welcher Einfallswinkel auf Grund einer Veränderung der Flughöhe des Kopfgleiters variabel ist.
Kopfgleiter nach irgendeinem vorhergehenden Anspruch, bei dem der Schutzvorsprung über dem Aufzeichnungsmedium mit einer Flughöhe fliegt, die kleiner als eine Flughöhe ist, die durch das Kopfelement eingenommen wird, wenn in dem Schutzfilm eine thermische Ausdehnung induziert wird.