DE19834261A1

DE19834261A1 - Fliegender Kopfgleiter und Aufzeichnungsplattenvorrichtung

Info

Publication number: DE19834261A1
Application number: DE19834261A
Authority: DE
Inventors: Kazuhisa Hanamoto; Masaharu Sugimoto; Masaki Kameyama
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Toshiba Storage Device Corp
Priority date: 1998-02-23
Filing date: 1998-07-30
Publication date: 1999-09-02
Also published as: JPH11306708A; KR100290105B1; CN1227385A; CN1155000C; US6301079B1; KR19990071371A

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft einen fliegenden Kopf, der in einer Aufzeichnungsplattenvorrichtung wie etwa einem Festplattenlaufwerk (HDD) verwendet wird, im besonde ren einen fliegenden Kopfgleiter mit einem Gleiterkörper, der bezüglich der Oberfläche einer Aufzeichnungsplatte gestützt wird, und einem Kopfelement, das an einer Endober fläche des Gleiterkörpers stromabwärts von dem Luftstrom; der während der Rotation der Aufzeichnungsplatte dem Glei terkörper entlangströmt, gestützt wird.

Beschreibung des Standes der Technik

Ein fliegender Magnetkopf wird zum Beispiel in einem HDD verwendet, um die Richtung des Magnetfeldes in der Oberfläche einer Magnetplatte zu verändern und zu detektie ren, ohne die Magnetplatte zu kontaktieren. Wenn die Magnet platte in solch einem HDD rotiert, dient der Luftstrom, der der Oberfläche der Magnetplatte entlangströmt, dazu, einen Kopfgleiter des Magnetkopfes über die Oberfläche der Magnet platte fliegen zu lassen. Wenn die Flughöhe des Kopfgleiters kleiner wird, nähert sich das Kopfelement an dem Magnetkopf der Oberfläche der Magnetplatte mehr an, so daß die Auf zeichnung mit hoher Dichte erkannt werden kann.

Das Magnetkopfelement in dem fliegenden Magnetkopf ist mit einer Schutzschicht bedeckt, wie sie zum Beispiel in der japanischen offengelegten Patentanmeldung Nr. 9-293223 gezeigt ist. Wenn sich die Stellung des Kopfgleiters verän dert, kommt es daher vor, daß die Schutzschicht der Oberflä che der Aufzeichnungsplatte näher kommt als das Magnetkopf element. Um eine Kollision der Schutzschicht mit der Ober fläche der Platte zu vermeiden, wenn sich die Stellung des Kopfgleiters verändert, muß in der Flughöhe des Kopfgleiters eine zusätzliche Toleranz enthalten sein, da eine übermäßige Annäherung des Kopfgleiters an die Oberfläche der Platte berücksichtigt werden sollte. Als Resultat tendiert das Magnetkopfelement dazu, von der Oberfläche der Platte ent fernt zu sein, selbst wenn der Kopfgleiter die richtige Stellung einnimmt.

ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG

Daher ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen fliegenden Kopfgleiter vorzusehen, der bewirken kann, daß sich ein Kopfelement an ihm der Oberfläche einer Auf zeichnungsplatte so weit wie möglich nähert, selbst wenn der Kopfgleiter seine Stellung verändern sollte.

Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein fliegender Kopfgleiter vorgesehen, der umfaßt: einen Gleiterkörper, dessen Stellung veränderbar ist und der hinsichtlich einer Oberfläche einer Aufzeichnungsplatte gestützt wird; ein Kopfelement, das an einer Endoberfläche des Gleiterkörpers stromabwärts von einem Luftstrom, der während der Rotation der Aufzeichnungsplatte dem Gleiterkör per entlangströmt, gestützt wird; eine Schutzschicht, die auf der Endoberfläche des Gleiterkörpers zum Bedecken des Kopfelementes gebildet ist; und eine Vertiefung, die auf einer Luftlageroberfläche der Schutzschicht stromabwärts von einer Grenze zwischen dem Gleiterkörper und der Schutz schicht gebildet ist.

Der fliegende Kopfgleiter kann ferner ein Paar von Schienen umfassen, die auf dem Gleiterkörper auf einer fliegenden Oberfläche gebildet sind, die der Oberfläche der Aufzeichnungsplatte gegenüberliegt. In diesem Fall ist die Vertiefung an einer der Schienen gebildet, die das Kopfele ment an einer Endoberfläche der Schiene innerhalb der Endoberfläche des Gleiterkörpers stützt.

Bei jedem der fliegenden Kopfgleiter kann die Schutz schicht durch die Vertiefung an einem Abschnitt, der der Platte am nächsten ist, eliminiert sein, so daß sich eine kleinere Schutzschicht unter dem Kopfelement der Oberfläche der Platte nähern kann, selbst wenn der Gleiterkörper seine Stellung verändert. Somit kann sich das Kopfelement der Oberfläche der Platte so weit wie möglich nähern, selbst wenn die Veränderung der Stellung des Gleiterkörpers berück sichtigt wird. Da außerdem die Vertiefung an der Grenze zwischen dem Gleiterkörper und der Schutzschicht endet, wird der Gleiterkörper nicht eliminiert, so daß sich ein Hub, der auf die Luftlageroberfläche wirkt, nicht verändern kann.

Vorzugsweise nimmt die Vertiefung ab einer Endoberflä che der Schutzschicht in ihrer Tiefe zu, wobei sie die Luftlageroberfläche kreuzt, während sich die Vertiefung erstreckt, um sich von dem Kopfelement zu entfernen. Der Raum zwischen der Schutzschicht und der Oberfläche der Platte wird im wesentlichen konstantgehalten, selbst wenn der Gleiterkörper um eine Achse längs des Luftstromes herum rollt.

Der Gleiterkörper kann eine Auflage umfassen, die auf der Luftlageroberfläche gebildet ist, zum Verhindern, daß der Gleiterkörper an der Oberfläche der Aufzeichnungsplatte anhaftet. Die Anordnung der Auflage erfordert eine Neigung und/oder ein Rollen des Kopfgleiters, um zu vermeiden, daß die Auflage mit der Oberfläche der Platte kollidiert. Daher erreicht die Vertiefung der Erfindung den größten Effekt, wenn die Auflage auf der Luftlageroberfläche des Gleiterkör pers gebildet ist.

Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein fliegender Kopfgleiter vorgesehen, der umfaßt: einen Gleiterkörper, dessen Stellung veränderbar ist und der bezüglich einer Oberfläche einer Aufzeichnungsplatte ge stützt wird; wenigstens ein Paar von Schienen, die auf einer fliegenden Oberfläche angeordnet sind, die der Oberfläche der Aufzeichnungsplatte gegenüberliegt; ein Kopfelement, das auf wenigstens einer der Endoberflächen der Schienen strom abwärts von einem Luftstrom, der während der Rotation der Aufzeichnungsplatte dem Gleiterkörper entlangströmt, ge stützt wird; eine Schutzschicht, die auf einer Endoberfläche des Gleiterkörpers zum Bedecken des Kopfelementes gebildet ist, welche Endoberfläche die Endoberflächen der Schienen enthält; und ein Paar von Vertiefungen, die auf einer Luft lageroberfläche der Schutzschicht an den jeweiligen Schienen stromabwärts von einer Grenze zwischen dem Gleiterkörper und der Schutzschicht gebildet sind.

Der Kopfgleiter mit der obigen Anordnung dient dazu, die Veränderung der Flughöhe auf Grund solch eines Faktors wie etwa einer Wölbung oder einer entgegengerichteten Wöl bung des Gleiterkörpers einzuschränken. Wenn zum Beispiel der Gleiterkörper von einer Wölbung in Mitleidenschaft gezogen wird, so daß die Flughöhe der äußeren Ränder in seitlicher Richtung des Gleiterkörpers größer wird, können sich die Vertiefungen über Innenoberflächen der Schienen erstrecken, welche Innenoberflächen die Luftlageroberfläche kreuzen. Die Vertiefungen dienen dazu, die Schutzschicht, die der Oberfläche der Platte am nächsten ist, unter dem Kopfelement unter dem Einfluß der Wölbung zu eliminieren, so daß sich das Kopfelement der Oberfläche der Platte so weit wie möglich nähern kann, selbst wenn eine Wölbung des Glei terkörpers berücksichtigt wird. Da die Vertiefungen des weiteren an der Grenze zwischen dem Gleiterkörper und der Schutzschicht enden, wird der Gleiterkörper nicht elimi niert, so daß ein Hub, der auf die Luftlageroberfläche wirkt, nicht verändert werden kann. Die Vertiefungen nehmen vorzugsweise ab einer Endoberfläche der Schutzschicht in ihrer Tiefe zu, wobei sie die Luftlageroberfläche kreuzen, während sich die Vertiefungen in das Innere des Gleiterkör pers erstrecken.

Wenn der Gleiterkörper andererseits von einer entgegen gerichteten Wölbung in Mitleidenschaft gezogen wird, so daß die Flughöhe der äußeren Ränder in seitlicher Richtung des Gleiterkörpers kleiner wird, können sich die Vertiefungen über Innenoberflächen der Schienen erstrecken, welche Innen oberflächen die Luftlageroberfläche kreuzen. Die Vertiefun gen dienen dazu, die Schutzschicht, die der Oberfläche der Platte am nächsten ist, unter dem Kopfelement unter dem Einfluß der entgegengerichteten Wölbung zu eliminieren, so daß sich das Kopfelement der Oberfläche der Platte so weit wie möglich nähern kann, selbst wenn eine entgegengerichtete Wölbung des Gleiterkörpers berücksichtigt wird. Da des weiteren die Vertiefungen an der Grenze zwischen dem Glei terkörper und der Schutzschicht enden, wird der Gleiterkör per nicht eliminiert, so daß ein Hub, der auf die Luftlager oberfläche wirkt, nicht verändert werden kann. Vorzugsweise nehmen die Vertiefungen ab einer Endoberfläche der Schutz schicht in ihrer Tiefe zu, wobei sie die Luftlageroberfläche kreuzen, während sich die Vertiefungen in das Innere des Gleiterkörpers erstrecken.

Das Kopfelement kann ein flexibles Spulenmuster umfas sen, das an einem Abschnitt, der der Vertiefung entspricht, hin zu einer Mitte einer Spule gebogen ist. Das flexible Spulenmuster dient dazu, die Behinderung zwischen dem Spu lenmuster und der Vertiefung zu vermeiden, so daß die Ver tiefung bis zu dem Äußersten vergrößert werden kann, ohne daß die Spule beschädigt wird. Eine größere Vertiefung kann zu einer weiteren Reduzierung der Flughöhe des fliegenden Kopfgleiters über der Oberfläche der Platte beitragen.

Jeder des oben beschriebenen fliegenden Kopfgleiters kann auf eine Aufzeichnungsplattenvorrichtung mit einer rotierenden Platte und einem Wagen zum Stützen des Kopfglei ters, dessen Stellung bezüglich der Oberfläche der Platte veränderbar ist, angewendet werden. Zum Beispiel ermöglicht es die Schwingbewegung des Wagens, daß der Gleiterkörper einen Aufzeichnungszylinder oder eine Spur auf der Oberflä che der Platte verfolgen kann. Die Aufzeichnungsplattenvor richtung kann eine Magnetplattenvorrichtung wie etwa eine Festplattenlaufwerkseinheit (HDD) und eine magnetooptische Plattenvorrichtung eines Kontakt-Start/Stopp-Typs umfassen.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Die obigen und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung gehen aus der folgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform in Verbindung mit den bei liegenden Zeichnungen hervor, in denen:

Fig. 1 die Struktur einer Festplattenlaufwerkseinheit (HDD) zeigt;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht ist, die die Struk tur eines fliegenden Kopfgleiters zeigt;

Fig. 3 eine schematische Draufsicht auf eine fliegende Oberfläche an dem fliegenden Kopfgleiter gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;

Fig. 4 eine vergrößerte Teilansicht ist, die eine Endoberfläche stromabwärts von einem Luftstrom zeigt, der dem fliegenden Kopfgleiter entlangströmt;

Fig. 5 eine vergrößerte Schnittansicht längs der Linie 5-5 in Fig. 4 ist und ein Magnetkopfelement zeigt;

Fig. 6 eine vergrößerte Draufsicht ist, die eine Spule zeigt;

Fig. 7A-7D die Veränderung der Vertiefung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen;

Fig. 8 eine schematische perspektivische Ansicht der Endoberfläche des fliegenden Kopfgleiters zum Erläutern eines Querneigungswinkels ist;

Fig. 9 eine vergrößerte Draufsicht ist, die eine Luft lageroberfläche (ABS) auf der äußeren Schiene zeigt;

Fig. 10 eine schematische Seitenansicht des fliegenden Kopfgleiters zum Erläutern eines Längsneigungswinkels ist;

Fig. 11 eine grafische Darstellung ist, die die Verän derung des untersten Niveaus der Schutzschicht zeigt, wenn der Längsneigungswinkel verändert wird und der Querneigungs winkel konstant bleibt;

Fig. 12 eine vergrößerte perspektivische Ansicht ist, die einen Wafer zeigt;

Fig. 13 eine perspektivische Ansicht ist, die einen Waferstab zeigt, der aus dem Wafer herausgeschnitten ist;

Fig. 14 die Struktur des Magnetkopfelementes zeigt, das auf dem Wafer gebildet ist;

Fig. 15A-15G den Prozeß zum Herstellen des fliegenden Kopfgleiters zeigen;

Fig. 16 eine schematische Draufsicht auf eine fliegende Oberfläche an dem fliegenden Kopfgleiter gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;

Fig. 17A-17D die Veränderung der Vertiefung gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen;

Fig. 18 eine perspektivische Ansicht der Endoberfläche des fliegenden Kopfgleiters zum Beschreiben einer Wölbung ist;

Fig. 19 eine schematische Draufsicht auf eine fliegende Oberfläche an dem fliegenden Kopfgleiter gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;

Fig. 20A-20D die Veränderung der Vertiefung gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen;

Fig. 21 eine perspektivische Ansicht der Endoberfläche des fliegenden Kopfgleiters zum Beschreiben einer entgegen gerichteten Wölbung ist; und

Fig. 22A-22D die Kombination der Vertiefungen gemäß zweiten und dritten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung zeigen.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM

Fig. 1 zeigt eine Festplattenlaufwerkseinheit (HDD) 10 als Aufzeichnungsplattenvorrichtung. Die HDD 10 ist dafür ausgelegt, Informationsdaten auf eine magnetische Aufzeich nungsplatte 12 zu schreiben und diese von ihr zu lesen, auf der Basis von Schreib-/Leseinstruktionen, die von einem Host 11 wie etwa einer CPU in einem Computer geliefert werden. Die HDD 10 kann zum Beispiel in einem Computer montiert sein oder als getrenntstehende externe Dateieinheit konstruiert sein, die mit einem Computer verbunden ist.

Die HDD 10 umfaßt einen fliegenden Kopfgleiter 15, an den ein Magnetkopfelement montiert ist. Das Magnetkopfele ment dient dazu, die Richtung des Magnetfeldes in der Ober fläche der Magnetplatte 12 bei der Schreib- und Leseopera tion für Informationsdaten zu verändern und zu detektieren. Der fliegende Kopfgleiter 15 kann in radialer Richtung der Magnetplatte 12 durch eine Schwingbewegung eines Wagens 16 angetrieben werden, so daß der Kopfgleiter 15 einen Daten aufzeichnungszylinder (eine kreisförmige Spur) 17 auf der Oberfläche der Magnetplatte 12 verfolgen kann. Die Bewegung des Wagens 16 wird durch einen Betätiger 18 gesteuert, der eine Magnetschaltung bildet.

Der fliegende Kopfgleiter 15 umfaßt, wie in Fig. 2 ge zeigt, einen Gleiterkörper 20, der bezüglich der Oberfläche der Magnetplatte 12 gestützt ist und seine Stellung ändern kann. Der Gleiterkörper 20 ist an dem vorderen Ende des Wagens 16 durch eine elastische Federplatte verbunden, die nicht gezeigt ist. Eine Schutzschicht 22 ist auf einer Endoberfläche des Gleiterkörpers 20 stromabwärts von der Rotationsrichtung R der Magnetplatte 12 gebildet. Ein Ma gnetkopfelement 21 ist in der Schutzschicht 22 eingebettet. Das Magnetkopfelement 21 kann zum Beispiel ein Magnetowider stands-(MR)-Element oder ein Element mit gigantischem Magne towiderstand (GMR) enthalten. Eine fliegende Oberfläche 25 des Kopfgleiters 15 kann durch eine Oberfläche 23 des Glei terkörpers 20, die der Oberfläche der Magnetplatte 12 gegen überliegt, und eine Oberfläche 24 der Schutzschicht 23, die der Oberfläche der Platte 12 ebenfalls gegenüberliegt, definiert sein.

Ein Paar von Schienen, nämlich eine innere Schiene 26a und eine äußere Schiene 26b sind auf der fliegenden Oberflä che 25 angeordnet. Die inneren und äußeren Schienen 26a, 26b definieren Luftlageroberflächen (ABS) 27 auf dem Gleiterkör per 20 und Luftlageroberflächen (ABS) 28, die sich an die ABS 27 anschließen, auf der Schutzschicht 22. Zwischen den inneren und äußeren Schienen 26a, 26b ist ein Flußdurchgang 30 definiert, wobei ein vergrößerter Durchgang stromabwärts von der Rotationsrichtung R der Magnetplatte 12 gebildet ist. Vier Auflagen 31 sind auf den ABS 27 gebildet, um zu verhindern, daß der Gleiterkörper 20 an der Oberfläche der Magnetplatte 12 anhaftet.

Der Kopfgleiter 15 sitzt auf der Oberfläche der Magnet platte 12 auf, wenn die Magnetplatte 12 stillsteht, und fliegt über die Oberfläche der Platte 12, wenn die Platte 12 rotiert. Wenn die Magnetplatte 12 zu rotieren beginnt, wird ein Luftstrom 32 erzeugt, um der Oberfläche der Platte 12 in der Rotationsrichtung R der Platte 12 entlangzuströmen. Der Luftstrom 32 strömt dem Gleiterkörper 20 entlang und wirkt auf die ABS 27, 28, um einen Hub für den Kopfgleiter 15 zu erzeugen. Andererseits wird ein Unterdruck in dem Flußdurch gang 30 erzeugt, wenn der Luftstrom 32, der dem Gleiterkör per 20 entlangströmt, durch den Flußdurchgang 30 strömt. Der Unterdruck in dem Flußdurchgang 30 ist mit dem Hub, der durch die ABS 27, 28 erzeugt wird, ausgeglichen, um die Flughöhe des Kopfgleiters 15 und die Stellung des Gleiter körpers 20 zu bestimmen.

In dieser Ausführungsform ist der Gleiterkörper 20 dafür ausgelegt, um eine Schrägstellung längs des Luftstro mes 32 einzunehmen, wobei die stromaufwärtige Flughöhe größer als die stromabwärtige Flughöhe ist. Solch eine Schrägstellung dient dazu zu vermeiden, daß die Auflagen 31 auf den ABS 27 mit der Oberfläche der Magnetplatte 12 kolli dieren, selbst wenn sich das Magnetkopfelement 21 an der Endoberfläche des Gleiterkörpers 20 der Oberfläche der Magnetplatte 12 stromabwärts des Luftstromes 32 nähert. Daher kann sich das Magnetkopfelement 21 der Oberfläche der Magnetplatte 12 ungeachtet des Vorhandenseins der Auflagen 31 so weit wie möglich nähern. Die Stellung des Gleiterkör pers 20 kann gesteuert werden, indem die Formen der ABS 27, 28 und des Flußdurchgangs 30 eingestellt werden.

Wenn die Magnetplatte 12 stillsteht, kontaktieren die Auflagen 31 auf den ABS 27 eine Schmierölschicht, die auf der Oberfläche der Magnetplatte 12 gebildet ist. Die Aufla gen 31 dienen dazu zu verhindern, daß die gesamten ABS 27, 28 die Schmierölschicht kontaktieren, so daß eine kleinere Adhäsionskraft von der Viskosität der Schmierölschicht auf den Kopfgleiter 15 wirkt. Daher kann der Kopfgleiter 15 von der Oberfläche der Magnetplatte 12 sofort abheben, wenn die Magnetplatte 12 zu rotieren beginnt.

Fig. 3 zeigt die eingehende Struktur des fliegenden Kopfgleiters 15 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Der Kopfgleiter 15 umfaßt eine Vertiefung 36, die auf den ABS 28 der Schutzschicht 22 stromabwärts von der Grenze 35 zwischen dem Gleiterkörper 20 und der Schutzschicht 22 in der Richtung des Luftstromes 32 gebildet ist. Die Vertiefung 36 nimmt ab der Endoberfläche 37 der Schutzschicht 22 in ihrer Tiefe d zu, wobei sie die ABS 28 kreuzt, während sich die Vertiefung 36 erstreckt, um sich von dem Spalt des Magnetkopfelementes 21 zu entfernen.

Wie aus Fig. 4 hervorgeht, ist ein Paar von Kontakt stellen 40 auf der Endoberfläche 37 der Schutzschicht 22 aufgebracht, zum Ausgeben eines Informationsdatensignals, welches das Magnetkopfelement 21 ausliest. Ein Paar von Kontaktstellen 41 ist ebenfalls auf der Endoberfläche 37 aufgebracht, zum Zuführen eines Informationsdatensignals, das aufzuzeichnen ist, zu dem Magnetkopfelement 21. Die Kontaktstellen 40, 41 sind mit Eingangs-/Ausgangskontakt stellen 44, die auf einer flexiblen gedruckten Schaltungs platte 43 gebildet sind, durch Goldkugeln 42 elektrisch verbunden.

Wie aus Fig. 5 hervorgeht, umfaßt das Magnetkopfelement 21 eine Magnetowiderstands-(MR)-Schicht 46 zum Detektieren des Magnetfeldes in der Oberfläche der Magnetplatte 12 während der Leseoperation für Informationsdaten und einen Schreibspalt 47 zum Erzeugen eines Magnetfeldes, der zu der Oberfläche der Magnetplatte 12 gerichtet ist, während der Schreiboperation für die Informationsdaten. Die MR-Schicht 46 ist zwischen einer oberen Schirmschicht 48 und einer unteren Schirmschicht 49 angeordnet. Der Schreibspalt 47 dient zum Bewirken des Magnetfeldes, das in einer oberen Magnetpolschicht 51 durch den Effekt einer Spule 50 erzeugt wird, auf der Oberfläche der Magnetplatte 12. Das Magnet kopfelement 21 ist zwischen einer Aluminiumoxid-(Al₂O₃)-Schicht 52, die auf dem Gleiterkörper 20 aus Aluminiumoxid titankarbid (Al₂O₃TiC) gebildet ist, und einer Aluminium oxidschicht 53 eingefügt, die auf der Aluminiumoxidschicht 52 gebildet ist. Die Aluminiumoxidschichten 52, 53 bilden zusammen die Schutzschicht 22.

Die Spule 50 ist, wie in Fig. 6 gezeigt, durch ein spi raliges gedrucktes Muster 56 gebildet, das sich von dem hinteren Ende eines Magnetpols 55 in der Mitte der Spule 50 nach außen erstreckt. Das gedruckte Muster 56 enthält ein flexibles Spulenmuster 57, das an einem Abschnitt, der der Vertiefung 36 entspricht, hin zu der Mitte der Spule 50 gebogen ist. Die Bereiche der oberen und unteren Schirm schichten 48, 49 haben einen Eindruck 48a, 49a, der an einem Abschnitt, der den flexiblen Spulenmuster 57 entspricht, hin zu der Mitte der Spule 50 gebogen ist. Wenn die Schutz schicht 22 zum Bilden der Vertiefung 36 teilweise wegge schnitten wird, ist es möglich zu vermeiden, daß das ge druckte Muster 56 beschädigt wird. Zusätzlich ist es möglich zu verhindern, daß die oberen und unteren Schirmschichten 48, 49 von der Schutzschicht 22 bloßgelegt werden.

Die oben beschriebene Vertiefung 36 kann eine beliebige Form haben, wie in Fig. 7A-7D gezeigt. Zum Beispiel kann die Vertiefung 36a gebildet werden, indem die äußere Schiene 26b in der Höhe des Bodens des Flußdurchgangs 30 vollständig weggeschnitten wird, wie in Fig. 7A gezeigt. Die Vertiefung 36b kann gebildet werden, indem die äußere Schiene 26b in der Höhe über dem Boden des Flußdurchgangs 30 weggeschnitten wird, wie in Fig. 7B gezeigt. Die Vertiefung 36c kann gebil det werden, indem die äußere Schiene 26b in der Höhe unter dem Boden des Flußdurchgangs 30 weggeschnitten wird, wie in Fig. 7C gezeigt. Die Vertiefung 36d kann gebildet werden, um eine Schräge zu haben, wie in Fig. 7D gezeigt.

Angenommen, der fliegende Kopfgleiter 15 nimmt eine Schrägstellung mit dem Querneigungswinkel 3 hinsichtlich der Oberfläche der Magnetplatte 12 ein. Der Ausdruck "Quernei gungswinkel" wird für einen Winkel verwendet, mit dem der Gleiterkörper 20 um eine Achse längs der Richtung des Luft stromes 32 herum rollt. Der Querneigungswinkel B zeigt sich zum Beispiel, wenn sich der Kopfgleiter 15 längs der radia len Richtung der Magnetplatte 12 bewegt, so daß der Kopf gleiter 15 den Luftstrom 32 aus verschiedenen Richtungen empfängt. Wenn das Magnetkopfelement 21 nur in der äußeren Schiene 26b eingebettet ist, ist es zusätzlich vorzuziehen, den Gleiterkörper 20 in einer Schrägstellung des Quernei gungswinkels B zu halten, so daß sich die äußere Schiene 26b der Oberfläche der Magnetplatte 12 mehr als die innere Schiene 26a nähert, da sich das Magnetkopfelement 21 der Oberfläche der Magnetplatte 12 so weit wie möglich nähern kann, während verhindert werden kann, daß die Auflagen 31, die dem am weitesten stromabwärts gelegenen Ende in dem Luftstrom 32 auf der inneren Schiene 26a am nächsten sind, mit der Oberfläche der Magnetplatte 12 kollidieren. Wenn im Gegensatz dazu ein Magnetkopfelement nur in der inneren Schiene 26a eingebettet ist, ist es möglich zuzulassen, daß sich die innere Schiene 26a der Oberfläche der Magnetplatte 12 mehr als die äußere Schiene 26b nähert. Die Steuerung des Bereiches der fliegenden Oberflächen auf den inneren und äußeren Schienen 26a, 26b ermöglicht es, irgendeine der inneren und äußeren Schienen 26a, 26b zu selektieren, die sich der Oberfläche der Magnetplatte 12 mehr nähert. Irgend eine der inneren und äußeren Schienen 26a, 26b mit einem kleineren Bereich kann sich der Oberfläche der Magnetplatte 12 mehr nähern.

Wie aus Fig. 8 hervorgeht, versteht sich, daß die Ver tiefung 36 dazu dient, die Schutzschicht 22 unter der Ebene des Magnetkopfelementes 21 zu eliminieren, verglichen mit einem Gleiterkörper mit der gestrichelten Linie in Fig. 8 nach Stand der Technik. Wenn die Flughöhe des Kopfgleiters 15 bestimmt wird, wird im allgemeinen die minimale Flughöhe für den Kopfgleiter 15 mit dem maximalen Querneigungswinkel B an der Position bestimmt, die die Schutzschicht 22 er reicht, die der Oberfläche der Magnetplatte 12 am nächsten ist. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann sich das Magnet kopfelement 21 im Vergleich zu einem Gleiterkörper nach Stand der Technik um den Eliminierungsbetrag der Schutz schicht 22 durch die Vertiefung 36 an der Position der minimalen Flughöhe mehr annähern. Als Resultat ist es mög lich, daß das Magnetkopfelement 21 der Oberfläche der Magnetplatte 12 näher kommt, ungeachtet der Größe des Quer neigungswinkels B. Die Leseempfindlichkeit des Magnetkopf elementes 21 kann verstärkt werden.

Nun wird der fliegende Kopfgleiter hergestellt, bei dem der Spalt des Magnetkopfelementes 21 um den Betrag L=150 Mikrometer von der Kante der äußeren Schiene 26b und um den Betrag D= 28 Mikrometer von der Endoberfläche 37 der Schutzschicht 22 oder der äußeren Schiene 26b einwärts positioniert ist, wie in Fig. 9 gezeigt. Die Vertiefung 36 in der äußeren Schiene 26b wird gebildet, um ab der Endober fläche der äußeren Schiene 26b die maximale Tiefe d=15 Mikrometer zu haben. Angenommen, der Kopfgleiter 15 fliegt über die Oberfläche der Magnetplatte 12, wobei er die Schrägstellung mit dem Längsneigungswinkel θ innehat, wie in Fig. 10 gezeigt. Fig. 11 zeigt die grafische Darstellung, die die Flughöhe der Schutzschicht 22 darstellt, wobei der Längsneigungswinkel θ variiert wird und der Querneigungswin kel B=3,25×10^-5 rad stabil bleibt.

In Fig. 11 ist das unterste Niveau der Schutzschicht 22 eingezeichnet, wobei das Spaltniveau des Magnetkopfelementes 21 als Nullniveau angenommen wird. Durch die obere einge zeichnete Linie wird ein fliegender Kopfgleiter nach Stand der Technik ohne Vertiefung dargestellt, während der flie gende Kopfgleiter der vorliegenden Ausführungsform mit Vertiefung durch die untere eingezeichnete Linie dargestellt wird. Wie aus Fig. 11 ersichtlich ist, wird die Differenz zwischen dem Spaltniveau des Magnetkopfelementes und dem untersten Niveau der Schutzschicht 22 größer, wenn der Längsneigungswinkel größer wird, mit anderen Worten, wenn die Schrägstellung des Gleiterkörpers 20 bei dem Kopfgleiter nach Stand der Technik stärker wird. Die Schutzschicht 22 nähert sich im Vergleich zu dem Spalt des Magnetkopfelemen tes 21 in dem Kopfgleiter nach Stand der Technik zu sehr der Oberfläche der Magnetplatte 12. Andererseits kann sich der Kopfgleiter 15 der vorliegenden Ausführungsform nicht so sehr der Oberfläche der Magnetplatte 12 nähern, im Vergleich zu dem Kopfgleiter nach Stand der Technik, wenn die Schräg stellung des Gleiterkörpers 20 bei dem Kopfgleiter der vorliegenden Ausführungsform zunimmt. Diese Tendenz wird spürbar, wenn die Schrägstellung des Gleiterkörpers 20 stärker wird. Zum Beispiel beträgt die Differenz des unter sten Niveaus der Schutzschicht zwischen dem Stand der Tech nik und der vorliegenden Ausführungsform etwa 4 nm bei dem Längsneigungswinkel von 3,10×10^-4 rad. Demzufolge kann sich das Magnetkopfelement 21 der Oberfläche der Magnetplatte 12 um den Betrag von etwa 4 nm im Vergleich zu dem Stand der Technik mehr nähern, falls die minimale Flughöhe bei dem Längsneigungswinkel von 3,10×10^-4 rad bestimmt wird.

Als nächstes wird unten ein Produktionsprozeß des flie genden Kopfgleiters 15 beschrieben. Zuerst wird ein Wafer 60 hergestellt, um eine Aluminiumoxidschicht zu haben, die auf der oberen Oberfläche einer Aluminiumoxidtitankarbidplatte gebildet wird. Wie in Fig. 12 gezeigt, ist eine Vielzahl von Gitterblöcken 62 auf der Oberfläche des Wafers 60 definiert. Wenn die Magnetkopfelemente 21 in den jeweiligen Gitterblöc ken 62 gebildet sind, wird ein Waferstab 63 aus dem Wafer 60 herausgeschnitten, so daß eine Folge der Gitterblöcke 62 in seitlicher Richtung der Kopfgleiter 15 zusammenhängt.

Fig. 14 zeigt eine Schnittansicht bei einem Gitterblock 62 längs einer Ebene, die zu der Schnittoberfläche 63a des Waferstabes 63 parallel ist. Beim Bilden des Magnetkopfele mentes 21 werden die untere Schirmschicht 49 aus FeN, die MR-Schicht 46 aus NiFe, die obere Schirmschicht 48 aus NiFe auf der Aluminiumoxidschicht 52 sequentiell gebildet. Die Spule 50 wird auf die Oberfläche der oberen Schirmschicht 48 gedruckt. Dann wird die obere Magnetpolschicht 51 aus NiFe auf einer Isolierschicht gebildet, die die Spule 50 bedeckt. Der Spalt wird entsprechend zwischen der oberen Schirm schicht 48 und der oberen Magnetpolschicht 51 gebildet. Nachdem die Bildung des Magnetkopfelementes 21 vollendet ist, wird die Aluminiumoxidschicht 53 auf der Aluminiumoxid schicht 52 zum Bedecken des Magnetkopfelementes 21 gebildet. Als Resultat definieren die Aluminiumoxidschichten 52, 53 die Schutzschicht 22. Die Dicke der Schutzschicht 22 kann zum Beispiel auf 35 Mikrometer festgelegt werden. Eine dünnere Schutzschicht 22 kann dazu tendieren, daß sie be wirkt, daß sich die Schutzschicht 22 abschält.

Wie in Fig. 15A gezeigt, wird eine Siliziumkar bid-(SiC)-Haftschicht 70 mit einer Dicke von etwa 2 nm auf der Schnittoberfläche 63a des Waferstabes 63 durch Sputtern oder Zerstäubung gebildet. Eine diamantartige Karbon-(DLC)-Schicht 71 mit einer Dicke von etwa 30 nm wird auf der SiC-Haft schicht 70 durch einen plasmagestützten CVD-(chemischen Dampfabscheidungs-)Prozeß gebildet.

Dann wird, wie in Fig. 15B gezeigt, ein Fotoresist 72 auf die DLC-Schicht 71 aufgetragen. Das Fotoresist 72 wird unter Verwendung einer Maske mit einem vorbestimmten Muster entwickelt, wie in Fig. 15C gezeigt. Nach der Entwicklung des Fotoresists 72 werden die inneren und äußeren Schienen 26a, 26b auf den jeweiligen Gitterblöcken 62 durch einen Prozeß wie etwa Ionenstrahlätzen gebildet, wie in Fig. 15D gezeigt.

Wenn die inneren und äußeren Schienen 26a, 26b gebildet worden sind, wird wieder ein Fotoresist aufgetragen, um ein Fotoresistmuster 74 für die Auflagen 31 durch Entwicklung zu bilden, wie in Fig. 15E gezeigt. Anschließend wird die DLC-Schicht 71 durch einen Prozeß wie etwa Plasmaätzen elimi niert, um die Auflagen 31 auf den inneren und äußeren Schie nen 26a, 26b zu bilden, wie in Fig. 15F gezeigt. Schließlich kann der fliegende Gleiter 15 von Fig. 2 vorgesehen werden, indem die jeweiligen Gitterblöcke 62 von dem Waferstab 63 abgeschnitten werden, wie in Fig. 15G gezeigt.

Für die Bildung der Auflagen 31 kann eine amorphe Kar bonschicht wie etwa eine Karbonschicht, eine Karbonhydrid schicht, eine Karbonschicht mit Siliziumzusatz und derglei chen, die durch einen Prozeß wie z. B. durch Sputtern oder Zerstäubung gebildet wird, anstelle der oben beschriebenen DLC-Schicht verwendet werden. Der Einsatz einer amorphen Karbonschicht dient dazu, Auflagen 31 mit hinlänglicher Verschleißbeständigkeit gegenüber dem Kontakt mit der Oberfläche der Magnetplatte 12 vorzusehen, da eine amorphe Karbonschicht eine verbesserte Härte hat. Alternativ können die Auflagen 31 eine Oxidschicht wie etwa SiO₂ und Al₂O₃ sein, da eine Oxidschicht eine hinlängliche Verschleißbeständigkeit vorsieht.

Die in Fig. 7A gezeigte Vertiefung 36a kann zu dersel ben Zeit wie die inneren und äußeren Schienen 26a, 26b gebildet werden. Falls zum Beispiel die Maske, die bei dem Prozeß von Fig. 15C verwendet wird, ein vorbestimmtes Muster hat, das einen Abschnitt eliminiert, der der Vertiefung 36a entspricht, dient die Entwicklung dazu, das Fotoresist 72 an einem Abschnitt zu eliminieren, der der Vertiefung 36a entspricht. Ein Prozeß wie das Ionenstrahlätzen nach der Entwicklung dient dazu, die äußere Schiene 26b teilweise zu eliminieren, um die Vertiefung 36a zu bilden. Da die Vertiefung 36a bei demselben Prozeß wie zum Bilden der inneren und äußeren Schienen 26a, 26b gebildet werden kann, kann die Vertiefung 36a ohne jegliche Zusatzprozesse hergestellt werden.

Die Bildung der Vertiefungen 36b, 36c, die in Fig. 7B und 7C gezeigt sind, erfordert eine zusätzliche Folge von Prozessen, wie das Auftragen von Fotoresist, das Maskieren, die Entwicklung, das Ätzen und dergleichen, da die äußere Schiene 26b in der Höhe weggeschnitten werden sollte, die sich von der Höhe des Bodens des Flußdurchgangs 30 unter scheidet. Zum Beispiel können die Vertiefungen 36b, 36c vor oder nach dem Bilden der inneren und äußeren Schienen 26a, 26b durch Auftragen von Fotoresist, Maskieren, Entwickeln und Ätzen unter Einsatz des Ionenstrahlätzens gebildet werden, um eine vorbestimmte Tiefe ab der ABS 28 zu haben. Die Vertiefung 36d in Fig. 7D kann gebildet werden, indem der Kopfgleiter 15, der von dem Waferstab 63 abgeschnitten wurde, poliert wird. Eine Kante der äußere Schiene 26b wird durch Polieren abgeschrägt, um die Vertiefung 36d vorzuse hen.

Fig. 16 zeigt die detaillierte Struktur des fliegenden Kopfgleiters 15 gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Der Kopfgleiter 15 umfaßt Vertiefun gen 70, die auf den ABS 28 der Schutzschicht 22 auf den inneren und äußeren Schienen 26a, 26b stromabwärts von der Grenze 35 zwischen dem Gleiterkörper 20 und der Schutz schicht 22 in der Richtung des Luftstromes 32 gebildet sind. Die Vertiefungen 70 hängen mit den inneren Oberflächen 71 der inneren bzw. äußeren Schienen 26a, 26b zusammen. Die inneren Oberflächen 71 sind eine Oberfläche, die die ABS 28 kreuzt, und sie definieren kooperativ den Flußdurchgang 30. Die Vertiefungen 70 nehmen ab der Endoberfläche 37 der Schutzschicht 22 in ihrer Tiefe zu, wobei sie die ABS 28 kreuzen, während sich die Vertiefungen 70 in das Innere des Gleiterkörpers 20 erstrecken. Es sei erwähnt, daß die Struk tur, die dieselbe Funktion und denselben Effekt wie bei der oben beschriebenen ersten Ausführungsform erreicht, mit gemeinsamen Bezugszahlen oder -zeichen versehen ist.

Die oben beschriebenen Vertiefungen 70 können beliebige Formen haben, wie in Fig. 17A-17D gezeigt. Zum Beispiel können die Vertiefungen 70a gebildet werden, indem die inneren und äußeren Schienen 26a, 26b in der Höhe des Bodens des Flußdurchgangs 30 vollständig weggeschnitten werden, wie in Fig. 17A gezeigt. Die Vertiefungen 70b können gebildet werden, indem die inneren und äußeren Schienen 26a, 26b in der Höhe über dem Boden des Flußdurchgangs 30 teilweise weggeschnitten werden, wie in Fig. 17B gezeigt. Die Vertie fungen 70c können gebildet werden, indem die inneren und äußeren Schienen 26a, 26b in der Höhe unter dem Boden des Flußdurchgangs 30 weggeschnitten werden, wie in Fig. 17C gezeigt. Die Vertiefungen 70d können gebildet werden, um eine Schräge zu haben, wie in Fig. 17D gezeigt. Auf jeden Fall können die Vertiefungen 70 unter Verwendung des Prozes ses gebildet werden, der auf den oben beschriebenen Kopf gleiter angewendet wird.

Angenommen, der Gleiterkörper 20 wird von einer Wölbung in Mitleidenschaft gezogen, so daß die Flughöhe der äußeren Ränder in seitlicher Richtung größer wird, wie in Fig. 18 gezeigt. In diesem Fall nähert sich das unterste Niveau 72 der Schutzschicht 22 an den inneren und äußeren Schienen 26a, 26b der Oberfläche der Magnetplatte 12 übermäßig an, im Vergleich zu dem Magnetkopfelement 21. Gemäß der vorliegen den Ausführungsform dienen die Vertiefungen 71 jedoch dazu, die Schutzschicht 22 zu eliminieren, die sich eigentlich unter der Ebene des Magnetkopfelementes 21 erstrecken sollte. Als Resultat ist es möglich, daß sich das Magnet kopfelement 21 der Oberfläche der Magnetplatte 12 durch den Betrag der eliminierten Schutzschicht 22 so weit wie möglich nähert. Die Leseempfindlichkeit des Magnetkopfelementes 21 kann verstärkt werden.

Fig. 19 zeigt die detaillierte Struktur des fliegenden Kopfgleiters 15 gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Der Kopfgleiter 15 umfaßt Vertiefun gen 75, die auf den ABS 28 der Schutzschicht 22 an den inneren und äußeren Schienen 26a, 26b stromabwärts von der Grenze 35 zwischen dem Gleiterkörper 20 und der Schutz schicht 22 in der Richtung des Luftstromes 32 gebildet sind. Die Vertiefungen 75 hängen mit den äußeren Oberflächen 76 der inneren bzw. äußeren Schienen 26a, 26b zusammen, im Gegensatz zu der oben beschriebenen zweiten Ausführungsform. Die äußeren Oberflächen 76 sind eine Oberfläche, die die ABS 28 kreuzt. Die Vertiefungen 75 nehmen ab der Endoberfläche 37 der Schutzschicht 22 in ihrer Tiefe zu, wobei sie die ABS 28 kreuzen, während sich die Vertiefungen 75 von dem Glei terkörper 20 nach außen erstrecken. Es sei erwähnt, daß die Struktur, die dieselbe Funktion und denselben Effekt wie bei der oben beschriebenen ersten Ausführungsform erreicht, mit gemeinsamen Bezugszahlen oder -zeichen versehen ist.

Die oben beschriebenen Vertiefungen 75 können beliebige Formen haben, wie in Fig. 20A-20D gezeigt. Zum Beispiel können die Vertiefungen 75a gebildet werden, indem die inneren und äußeren Schienen 26a, 26b in der Höhe des Bodens des Flußdurchgangs 30 vollständig weggeschnitten werden, wie in Fig. 20A gezeigt. Die Vertiefungen 75b können gebildet werden, indem die inneren und äußeren Schienen 26a, 26b in der Höhe über dem Boden des Flußdurchgangs 30 teilweise weggeschnitten werden, wie in Fig. 20B gezeigt. Die Vertie fungen 75c können gebildet werden, indem die inneren und äußeren Schienen 26a, 26b in der Höhe unter dem Boden des Flußdurchgangs 30 weggeschnitten werden, wie in Fig. 20C gezeigt. Die Vertiefungen 75d können gebildet werden, um eine Schräge zu haben, wie in Fig. 20D gezeigt. Auf jeden Fall können die Vertiefungen 75 unter Verwendung des Prozes ses gebildet werden, der auf den oben beschriebenen Kopf gleiter angewendet wird.

Angenommen, der Gleiterkörper 20 wird von einer ent gegengerichteten Wölbung in Mitleidenschaft gezogen, so daß die Flughöhe der äußeren Ränder in seitlicher Richtung kleiner wird, wie in Fig. 21 gezeigt. In diesem Fall nähert sich das unterste Niveau 77 der Schutzschicht 22 an den inneren und äußeren Schienen 26a, 26b der Oberfläche der Magnetplatte 12 übermäßig an, im Vergleich zu dem Magnet kopfelement 21. Gemäß der vorliegenden Ausführungsform dienen die Vertiefungen 75 jedoch dazu, die Schutzschicht 22 zu eliminieren, die sich eigentlich unter der Ebene des Magnetkopfelementes 21 erstrecken sollte. Als Resultat ist es möglich, daß sich das Magnetkopfelement 21 der Oberfläche der Magnetplatte 12 durch den Betrag der eliminierten Schutzschicht 22 so weit wie möglich nähert. Die Lese empfindlichkeit des Magnetkopfelementes 21 kann verstärkt werden.

Im allgemeinen ist es schwierig, entweder eine Wölbung oder eine entgegengerichtete Wölbung des Gleiterkörpers 20 vorherzusagen. Daher ist es vorzuziehen, die Vertiefungen 70a-70d, wie sie in Fig. 17A-17D gezeigt sind, auf den inneren Oberflächen 71 der inneren und äußeren Schienen 26a, 26b und die Vertiefungen 75a-75d, wie sie in Fig. 20A-20D gezeigt sind, auf den äußeren Oberflächen 76 der inneren und äußeren Schienen 26a, 26b auf geeignete Weise zu kombinie ren, wie in Fig. 22A-22D gezeigt.

Jeder des oben beschriebenen fliegenden Kopfgleiters kann in einer Magnetplattenvorrichtung, die nicht die HDD ist, oder in einer Aufzeichnungsplattenvorrichtung wie etwa einer magnetooptischen Plattenvorrichtung eines Kontakt- Start/Stopp-Typs eingesetzt werden.

Claims

1. Fliegender Kopfgleiter, der umfaßt:
einen Gleiterkörper, dessen Stellung veränderbar ist und der hinsichtlich einer Oberfläche einer Aufzeichnungs platte gestützt wird;
ein Kopfelement, das an einer Endoberfläche des Glei terkörpers stromabwärts von einem Luftstrom, der während der Rotation der Aufzeichnungsplatte dem Gleiterkörper entlang strömt, gestützt wird;
eine Schutzschicht, die auf der Endoberfläche des Glei terkörpers zum Bedecken des Kopfelementes gebildet ist; und
eine Vertiefung, die auf einer Luftlageroberfläche der Schutzschicht stromabwärts von einer Grenze zwischen dem Gleiterkörper und der Schutzschicht gebildet ist.

2. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 1, bei dem das Kopfelement ein flexibles Spulenmuster umfaßt, das an einem Abschnitt, der der genannten Vertiefung entspricht, hin zu einer Mitte einer Spule gebogen ist.

3. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 1, bei dem ein Paar von Schienen auf dem Gleiterkörper auf einer flie genden Oberfläche gebildet ist, die der Oberfläche der Aufzeichnungsplatte gegenüberliegt, und die Vertiefung an einer der Schienen gebildet ist, die das Kopfelement an einer Endoberfläche der Schiene innerhalb der Endoberfläche des Gleiterkörpers stützt.

4. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 3, bei dem das Kopfelement ein flexibles Spulenmuster umfaßt, das an einem Abschnitt, der der genannten Vertiefung entspricht, hin zu einer Mitte einer Spule gebogen ist.

5. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 1, bei dem die Vertiefung ab einer Endoberfläche der Schutzschicht in ihrer Tiefe zunimmt, wobei sie die Luftlageroberfläche kreuzt, während sich die Vertiefung erstreckt, um sich von dem Kopfelement zu entfernen.

6. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 5, bei dem das Kopfelement ein flexibles Spulenmuster umfaßt, das an einem Abschnitt, der der genannten Vertiefung entspricht, hin zu einer Mitte einer Spule gebogen ist.

7. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 1, bei dem der Gleiterkörper eine Auflage umfaßt, die auf der Luft lageroberfläche gebildet ist, zum Verhindern, daß der Glei terkörper an der Oberfläche der Aufzeichnungsplatte anhaf tet.

8. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 7, bei dem das Kopfelement ein flexibles Spulenmuster umfaßt, das an einem Abschnitt, der der genannten Vertiefung entspricht, hin zu einer Mitte einer Spule gebogen ist.

9. Aufzeichnungsplattenvorrichtung, die umfaßt:
eine Aufzeichnungsplatte;
einen Gleiterkörper, dessen Stellung veränderbar ist;
einen Wagen, der den Gleiterkörper bezüglich einer Oberfläche einer Aufzeichnungsplatte stützt;
ein Kopfelement, das an einer Endoberfläche des Glei terkörpers stromabwärts von einem Luftstrom, der während der Rotation der Aufzeichnungsplatte dem Gleiterkörper entlang strömt, gestützt wird;
eine Schutzschicht, die auf der Endoberfläche des Glei terkörpers zum Bedecken des Kopfelementes gebildet ist; und
eine Vertiefung, die auf einer Luftlageroberfläche der Schutzschicht stromabwärts von einer Grenze zwischen dem Gleiterkörper und der Schutzschicht gebildet ist.

10. Aufzeichnungsplattenvorrichtung nach Anspruch 9, bei der das Kopfelement ein flexibles Spulenmuster umfaßt, das an einem Abschnitt, der der genannten Vertiefung ent spricht, hin zu einer Mitte einer Spule gebogen ist.

11. Aufzeichnungsplattenvorrichtung nach Anspruch 9, bei der ein Paar von Schienen auf dem Gleiterkörper auf einer fliegenden Oberfläche gebildet ist, die der Oberfläche der Aufzeichnungsplatte gegenüberliegt, und die Vertiefung an einer der Schienen gebildet ist, die das Kopfelement an einer Endoberfläche der Schiene innerhalb der Endoberfläche des Gleiterkörpers stützt.

12. Aufzeichnungsplattenvorrichtung nach Anspruch 11, bei der das Kopfelement ein flexibles Spulenmuster umfaßt, das an einem Abschnitt, der der genannten Vertiefung ent spricht, hin zu einer Mitte einer Spule gebogen ist.

13. Fliegender Kopfgleiter, der umfaßt:
einen Gleiterkörper, dessen Stellung veränderbar ist und der bezüglich einer Oberfläche einer Aufzeichnungsplatte gestützt wird;
wenigstens ein Paar von Schienen, die auf einer flie genden Oberfläche angeordnet sind, die der Oberfläche der Aufzeichnungsplatte gegenüberliegt;
ein Kopfelement, das auf wenigstens einer der Endober flächen der Schienen stromabwärts von einem Luftstrom, der während der Rotation der Aufzeichnungsplatte dem Gleiterkör per entlangströmt, gestützt wird;
eine Schutzschicht, die auf einer Endoberfläche des Gleiterkörpers zum Bedecken des Kopfelementes gebildet ist, welche Endoberfläche die Endoberflächen der Schienen ent hält; und
ein Paar von Vertiefungen, die auf einer Luftlagerober fläche der Schutzschicht an den jeweiligen Schienen stromab wärts von einer Grenze zwischen dem Gleiterkörper und der Schutzschicht gebildet sind.

14. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 13, bei dem das Kopfelement ein flexibles Spulenmuster umfaßt, das an einem Abschnitt, der der genannten Vertiefung entspricht, hin zu einer Mitte einer Spule gebogen ist.

15. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 13, bei dem sich die Vertiefungen über Innenoberflächen der Schienen erstrecken, welche Innenoberflächen die Luftlageroberfläche kreuzen.

16. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 15, bei dem die Vertiefungen ab einer Endoberfläche der Schutzschicht in ihrer Tiefe zunehmen, wobei sie die Luftlageroberfläche kreuzen, während sich die Vertiefungen in das Innere des Gleiterkörpers erstrecken.

17. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 16, bei dem das Kopfelement ein flexibles Spulenmuster umfaßt, das an einem Abschnitt, der der genannten Vertiefung entspricht, hin zu einer Mitte einer Spule gebogen ist.

18. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 13, bei dem sich die Vertiefungen über Außenoberflächen der Schienen erstrecken, welche Außenoberflächen die Luftlageroberfläche kreuzen.

19. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 18, bei dem die Vertiefungen ab einer Endoberfläche der Schutzschicht in ihrer Tiefe zunehmen, wobei sie die Luftlageroberfläche kreuzen, während sich die Vertiefungen von dem Gleiterkörper nach außen zu erstrecken.

20. Fliegender Kopfgleiter nach Anspruch 19, bei dem das Kopfelement ein flexibles Spulenmuster umfaßt, das an einem Abschnitt, der der genannten Vertiefung entspricht, hin zu einer Mitte einer Spule gebogen ist.