DE60211253T2 - Bitleitungs-Vorabladeschaltung für Halbleiterspeicher - Google Patents

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Terufumi Nara-shi Ishida
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Description

  • 1. GEBIET DER ERFINDUNG:
  • Die Erfindung betrifft einen Halbleiterspeicher mit einer Vorladungs-/Ausgleichsfunktion zum Laden von Bitleitungen auf ein vorbestimmtes, gleiches Potential, bevor Information aus der Speicherzelle eines statischen Halbleiterspeichers, eines dynamischen Halbleitespeichers oder dergleichen gelesen wird. Die Erfindung betrifft ebenso eine Informationsvorrichtung, die einen derartigen Halbleiterspeicher verwendet.
  • 2. BESCHREIBUNG DES STANDES DER TECHNIK:
  • In den vergangenen Jahren wurde in Bezug auf Halbleiterspeicher eine Erhöhung der Speicherkapazität, eine Verkleinerung der Speichervorrichtungsgröße und eine Erhöhung der Betriebsgeschwindigkeit energisch vorangetrieben. Dies trifft ebenso auf einen statischen Halbleiterspeicher zu. Als Verfahren zum Erhöhen einer Betriebsgeschwindigkeit wurde ein Bitleitungsausgleichsverfahren für einen statischen Halbleiterspeicher mit einem Paar komplementärer Bitleitungen BIT/BIT# eingesetzt. In diesem Verfahren wird ein ausgewähltes Paar komplementärer Bitleitungen BIT/BIT# vor einem Datenlesevorgang auf ein gleiches Potential, z. B. Vcc/2 vorgeladen, wobei Vcc die Versorgungsspannung darstellt. Mit Beginn des Datenlesevorgangs nach diesem Ausgleichsvorgang wird eine geringe Potentialdifferenz durch eine Ausgabe einer Speicherzelle relativ zum vorgeladenen Potential verursacht. Diese Potentialdifferenz wird von einem Leseverstärker verstärkt, wodurch in der Speicherzelle gespeicherte Daten ausgelesen werden.
  • Selbst falls die sehr geringe Potentialdifferenz zwischen dem Paar komplementärer Bitleitungen BIT/BIT# beim Lesen von Daten verstärkt wird, ist es nicht erforderlich einen vollen Hub (d. h. es ist keine erhebliche Änderung notwendig) der Potentiale des Paars komplementärer Bitleitungen BIT/BIT# bis zum Versorgungspotential oder Massepotential zu durchlaufen. Dadurch wird die Geschwindigkeit des Datenlesevorgangs erhöht.
  • Im Allgemeinen werden die Bitleitungen bei einem Bitleitungsausgleichvorgang auf ein Zwischenpotential vorgeladen, das kleiner ist als die Versorgungsspannung Vcc, z. B. werden diese auf Vcc/2 vorgeladen. Somit muss ein Halbleiterspeicher, der den Ausgleichvorgang ausführt, eine Spannungsabsenkschaltung zum Absenken der Potentiale der Bitleitungen auf Vcc/2 beinhalten.
  • Ein Schaltungsaufbau eines herkömmlichen, gewöhnlich verwendeten statischen Halbleiterspeichers, der eine Ausgleichschaltung zum Durchführen des obigen Ausgleichvorgangs beinhaltet, ist in 8 gezeigt.
  • In 8 weist der herkömmliche statische Halbleiterspeicher 10 auf: eine Interne-Spannung-Absenkschaltung 1; einen Lasttransistor 2; ein Speicherzellenarray 3, das aus einer Vielzahl von Speicherzellen besteht; einen Zeilendecoder 4 zum Auswählen unter den Wortleitungen; eine Spaltenumschaltschaltung 5 zum Steuern des An/Aus-Zustands jeder Bitleitung; einen Spaltendecoder 6 zum Auswählen unter den Bitleitungen; einen Leseverstärker 7 zum Lesen von Speicherdaten; eine Ausgleichschaltung 8, die an einer Seite des Speicherzellenarrays 3 vorhanden ist; und eine Ausgleichschaltung 9, die an der anderen Seite des Speicherzellenarrays 3 vorhanden ist.
  • Ein Eingangsanschluss der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 ist an die Versorgungsspannung Vcc angeschlossen. Die Ausgabe der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1, Vccin, wird dem Zeilendecoder 4 und den Ausgleichsschaltungen 8 und 9 (nachfolgend als „EQ Schaltungen 8 und 9" bezeichnet) bereitgestellt und diese wird ebenso dem Speicherzellenarray 3 über den Lasttransistor 2 und Paaren von komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# bereitgestellt. Zudem wird die Ausgabe Vccin der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 über die EQ Schaltung 8 den Paaren komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# und andererseits über die EQ Schaltung 9 den Paaren komplementärer Knotenleitungen SEN1/SEN1# bis SENn/SENn# bereitgestellt.
  • Um zu verhindern, dass ein Paar komplementärer Bitleitungen in einen floatenden (potentialfreien) Zustand gebracht wird, wird dafür gesorgt, dass immer eine geringe Menge elektrischen Stroms durch den Lasttransistor 2 fließen kann. Wie in 9 gezeigt ist, enthält der Lasttransistor 2 eine Vielzahl von PMOS Transistoren P1 und P2. Um die PMOS Transistoren P1 und P2 durchgängig in einen leitfähigen Zustand zu bringen, werden die Gates der PMOS Transistoren P1 und P2 an das Massepotential angeschlossen; die Sources der PMOS Transistoren P1 und P2 werden an den Ausgang der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 angeschlossen, und die Drains der PMOS Transistoren P1 und P2 werden an die Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# und ebenso über diese Bitleitungen an die EQ Schaltung 9 angeschlossen.
  • Das Speicherzellenarray 3 enthält eine Vielzahl von Speicherzellen 3a. Die Vielzahl von Speicherzellen 3a sind an Überschneidungen der Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# mit Wortleitungen WL1 bis WLn in der Form eines Matrixmusters angeordnet.
  • Der Zeilendecoder 4 wählt sequenziell unter den Wortleitungen WL1 bis WLn basierend auf einem Decodierergebnis einer Adresse aus.
  • Die Spaltenumschaltschaltung 5 ist zwischen einem Paar komplementärer Bitleitungen BLi/BLi# und einem Paar komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi# (wobei i eine natürliche Zahl im Bereich 1 bis n kennzeichnet) vorgesehen. Die Spaltenumschaltschaltung 5 ist aus Transferschaltungen 5a und 5b aufgebaut. Die Transferschaltungen 5a und 5b steuern den Ein/Aus-Zustand der Verbindung zwischen dem Paar komplementärer Bitleitungen BLi/BLi# und dem Paar komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi#. Insbesondere enthält die Transferschaltung 5a einen PMOS Transistor P6 und einen NMOS Transistor N3, siehe 10. Als Reaktion auf ein Bitleitungsauswahlsignal von dem Spaltendecoder 6 werden der PMOS Transistor P6 und der NMOS Transistor N3 beide ein-/ausgeschaltet, wobei die Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# an den Leseverstärker 7 angeschlossen oder von diesem getrennt werden. Auf diese Weise wählt die Transferschaltung 5a unter den Bitleitungen aus.
  • Der Spaltendecoder 6 treibt jede Transferschaltung der Spaltenumschaltschaltung 5 basierend auf einem Decodierergebnis einer Adresse und steuert dieselbige.
  • Der Leseverstärker 7 verstärkt eine Potentialänderung, die bei einer Ausgabe einer Speicherzelle 3a erzeugt wird und detektiert die verstärkte Potentialänderung, wodurch Information aus der Speicherzelle 3a gelesen wird.
  • Die EQ Schaltung 8 dient dem Vorladen des Paars komplementärer Bitleitungen BLi/BLi# auf ein Ausgleichspotential sowie dem Ausgleichen der Potentiale des Paars komplementärer Bitleitungen BLi/BLi#. Ein Ausgangsanschluss der EQ Schaltung 8 und ein Ausgangsanschluss des Lasttransistors 2 sind parallel an das Paar komplementärer Bitleitungen BLi/BLi# angeschlossen.
  • Die EQ Schaltung 9 ist zwischen die Spaltenumschaltschaltung 5 und den Leseverstärker 7 geschaltet. Die EQ Schaltung 9 dient zum Vorladen und Ausgleichen des Paars komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi#, die an der Seite des Leseverstärkers 7 vorhanden sind. Ein Beispiel eines Schaltaufbaus der EQ Schaltung 9 ist in 11 gezeigt.
  • Wie in 11 gezeigt ist, enthält die EQ Schaltung 9 P-Typ MOS Transistoren P3 bis P5. Die Sources und Back-Gates der P-Typ MOS Transistoren P3 und P4 sind an den Ausgangsanschluss Vccin der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 angeschlossen. Ein Drain des P-Typ MOS Transistors P3 ist an eine Knotenleitung SENi angeschlossen, welche an einen Ausgangsanschluss der Spaltenauswahlschaltung 5 angeschlossen ist. Das Paar komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi# ist über die Spaltenauswahlschaltung 5 an das Paar komplementärer Bitleitungen BLi/BLi# angeschlossen. Um zudem das Paar komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi# auszugleichen, sind eine Source und ein Drain des P-Typ MOS Transistors P5 zwischen die komplementären Knotenleitungen SENi/SENi# geschaltet. Ein Back-Gate des P-Typ MOS Transistors P5 ist an den Ausgangsanschluss Vccin der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 angeschlossen. Zudem wird ein Ausgleichssignal EQ#, das von einer internen Zeitsteuerschaltung (nicht dargestellt in 11) ausgegeben wird, den Gates der P-Typ MOS Transistoren P3 und P5 zugeführt. Während einer Periode mit auf Low-Pegel liegendem Ausgleichssignal EQ# sind die P-Typ MOS Transistoren P3 bis P5 alle leitfähig. Folglich wird das Paar komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi# über die P-Typ MOS Transistoren P3 und P4 auf einen Spannungspegel der Ausgabe Vccin (z. B. Vcc/2) vorgeladen und die Spannungen des Paars komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi# werden über den P-Typ MOS Transistor P5 ausgeglichen.
  • Während obigem Betrieb entsprechen Leitungen, die zum Lesen von Information einer ausgewählten Speicherzelle 3a vorgeladen und ausgegli chen werden müssen, dem Paar komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# und dem Paar komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi#, die von dem Spaltendecoder 6 ausgewählt und mit den Transferschaltungen 5a und 5b der Spaltenauswahlschaltung 5 verbunden werden. In diesem in 8 gezeigten herkömmlichen Beispiel werden diese Leitungen lediglich über die Ausgabe Vccin der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 vorgeladen und ausgeglichen.
  • Zudem ist eine ähnliche Technik zum Erhöhen der Betriebsgeschwindigkeit einer Speichervorrichtung unter Verwendung einer Interne-Spannung-Absenkschaltung, die eine im Vergleich zur Versorgungsspannung kleinere Spannung erzeugt, in JP 4-252497 mit dem Titel „Nonvolatile Semiconductor Storage Device" vorgeschlagen. In 12 enthält dieser nichtflüchtige Halbleiterspeicher eine Interne-Spannung-Absenkschaltung 1, welche eine im Vergleich zur Versorgungsspannung geringere Spannung erzeugt. Die Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 legt eine niedrige Spannung an einen Lasttransistor 2 an, der an einen Leseverstärker 7 angeschlossen ist. Der Leseverstärker 7 wird zur Detektion von Potentialänderungen der Bitleitungen BL1, BL1#, ..., BLn, und BLn#, die an den Lasttransistor 2 angeschlossen sind, verwendet, wodurch Information aus einer Speicherzelle ausgelesen wird. Mit einer derartigen Anordnung kann die Empfindlichkeit eines Lesestroms aus einer Speicherzelle erhöht werden, so dass ein nichtflüchtiger Halbleiterspeicher mit erhöhter Zugriffsgeschwindigkeit erzielt werden kann.
  • Zudem wird ein weiteres Beispiel eines Halbleiterspeichers mit einer Interne-Spannung-Absenkschaltung, die in 13 und 14 gezeigt ist, in JP 8-69693, mit dem Titel „Static semiconductor Storage Device" vorgeschlagen.
  • In 13 verwendet dieser statische Halbleiterspeicher eine Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 zur Erniedrigung einer extern bereitgestellten Versorgungsspannung Vcc, so dass eine im Vergleich zur Versorgungsspannung Vcc geringere Spannung einer umgebenden Schaltung/umgebenden Schaltungen bereitgestellt wird. Folglich wird die extern bereitgestellte Versorgungsspannung Vcc direkt auf eine statische Speicherzelle übertragen, so dass die Betriebsspannung eines Speicherzellenarrays 3 vergleichsweise erhöht wird. Ist somit selbst die Menge verbrauchter elektrischer Energie gering, scheint ein Ein-Strom eines Transistors in einer Spei cherzelle erhöht zu sein. Folglich kann ein statischer Halbleiterspeicher erzielt werden, bei dem die Stabilität bezüglich eines Lesevorgangs einer Speicherzelle trotz geringer verbrauchter elektrischer Energie erhöht ist.
  • Des Weiteren wird in einer wie in 14 gezeigten statischen Halbleiterspeichervorrichtung eine Ausgabe einer Interne-Spannung-Absenkschaltung 1, d.h. eine im Vergleich zur Versorgungsspannung geringere Spannung, an eine umgebende Schaltungssektion angelegt. Zudem wird beim Lesen von Daten aus einem statischen Speicherzellenarray 3 ein im Vergleich zur Versorgungsspannung größeres Potential Vcc von einer Interne-Spannung-Erhöhungsschaltung 1A an das statische Speicherzellenarray 3 angelegt. Bei einer solchen Anordnung wird eine Betriebsspannung des Speicherzellenarrays 3 lediglich während des Lesevorgangs weiter erhöht und ein Ein-Strom eines Transistors in einer Speicherzelle scheint vergrößert zu sein. Folglich kann eine statische Halbleiterspeichervorrichtung erzielt werden, bei der die Stabilität eines Lesevorgangs aus der Speicherzelle trotz geringem Leistungsverbrauch vergrößert wird.
  • Bei oben beschriebenem bekannten Aufbau wird eine über die Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 abgesenkte niedrige Spannung an die Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# angelegt und eine Potentialänderung, die von den Paaren komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# aufgrund der Ausgabe der Speicherzelle 3a herrührt, wird unter Verwendung des Leseverstärkers 7 detektiert, wodurch Information aus der Speicherzelle 3a ausgelesen wird. Im Falle eines solchen Aufbaus muss die Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 eine solche Kapazität aufweisen, dass diese eine Spannung und einen elektrischen Strom mit einem Pegel bereitstellen kann, der zur Vorladung der Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# ausreicht und zudem erfordert diese eine Kapazität, um einen stabilen Betrieb des Leseverstärkers 7 sicherzustellen. Darüber hinaus kann während einer Vorladeperiode vorübergehend eine große Menge elektrischen Stromes fließen, um ein Paar komplementärer Bitleitungen vorzuladen und dadurch wird die Spannung vorübergehend erniedrigt. Eine übliche Maßnahme zum Verhindern einer solchen Spannungserniedrigung stellt das Verbinden eines Elements mit einer Kapazität wie einem Kondensator mit einem Ausgangsanschluss der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 dar, welche als Leistungsversorgung dient. Um folglich Stabilität im Zusammenhang mit einer vorliegenden großen elektrischen Stromlast wie bei einem Vorladevorgang sicherzustellen, ist es erforderlich ein ausreichend großes kapazitives Element vorzusehen. Um jedoch eine große Kapazität in einem derartigen kapazitiven Element zu erzielen, ist eine große Vorrichtungsfläche (Chipfläche) vorzusehen.
  • Bei dem herkömmlichen Aufbau in 8 kann während eines Lesevorgangs von Information keine korrekte Information aus einer ausgewählten Speicherzelle 3a ausgelesen werden bevor das Vorladen und Ausgleichen des Paars komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi#, die über den vom Spaltendecoder 6 ausgewählten Spaltenumschalter 5 an den Leseverstärker 7 angeschlossen sind, abgeschlossen ist. Zudem wird dieser gesamte Vorgang mittels einer von der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 bereitgestellten Spannung und eines von dieser bereitgestellten elektrischen Stroms durchgeführt. Somit beeinflusst die Spannungs-/Stromtreiberfähigkeit der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 umgekehrt herum die Dauer, die für die Vorlade- und Ausgleichvorgänge erforderlich ist, d. h. eine Erhöhung der Geschwindigkeit beim Datenlesevorgang. Wird somit die Treiberfähigkeit der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 erniedrigt, führt dies zu einer Erniedrigung der Geschwindigkeit beim Lesen von Daten aus der ausgewählten Speicherzelle 3a. Aufgrund einer solchen Korrelation muss die Schaltungsgröße der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 notwendigerweise vergrößert werden, um die Datenlesegeschwindigkeit zu erhöhen. Diese Probleme sind insbesondere in Anbetracht einer Erniedrigung der Versorgungsspannung, die in den letzten Jahren erzielt wurde, von Bedeutung.
  • US 5177707 beschreibt eine Einrichtung zum Verkürzen des Lesezyklus eines Speichers, wobei der Speicher einen Floating-Gate-Transistor und Bitleitungen zum Zugriff auf die Speicherzellen als auch eine Bitleitungsvorladungsschaltung aufweist.
  • JP 59151389 beschreibt eine LSI (large scale integrated)-Schaltung zur Erzielung einer hohen Schaltkreisintegration durch Verwenden einer im Vergleich zur extern eingeführten Versorgungsspannung niedrigeren Spannung als Spannung, die einer Datenleitung und einer Wortleitung auferlegt wird, um die Größe der ein Speicherarray darstellenden Transistoren zu reduzieren.
  • JP 2001110184 beschreibt eine Halbleitervorrichtung zur Bereitstellung einer internen Leistungsversorgungseinrichtung, die stabil und flexibel ist.
  • US 5689460 betrifft eine Halbleiterspeichervorrichtung mit einem Spannungsabwärtsumsetzer zum stabilen Erzeugen einer internen, nach unten umgesetzten Spannung.
  • EP 0318094 beschreibt einen integrierten Speicherschaltkreis mit On-Chip Versorgungsspannungssteuerung, die als interne Versorgungsspannung dient und Werte unterhalb einer extern angelegten Versorgungsspannung einnimmt.
  • ÜBERSICHT ÜBER DIE ERFINDUNG
  • Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird ein Halbleiterspeicher angegeben mit: einem Speicherzellenarray mit einer Vielzahl von Speicherzellen, wobei diese Speicherzellen mit einer Vielzahl von Paaren komplementärer Bitleitungen verbunden sind; einem Interne-Spannung-Absenkabschnitt zum Erzeugen einer vorbestimmten Spannung, die niedriger als eine Versorgungsspannung ist; und einem Ausgleichsabschnitt, an den die vorbestimmte Spannung vom Interne-Spannung-Absenkabschnitt geliefert wird und der einen Ausgleichsvorgang zum Laden der Paare komplementärer Bitleitungen auf ein vorbestimmtes, gleiches Potential ausführt, bevor Information aus den Speicherzellen auf die Paare komplementärer Bitleitungen gelesen wird, wobei der Interne-Spannung-Absenkabschnitt aus einem ersten Interne-Spannung-Absenkabschnitt und einem zweiten Interne-Spannung-Absenkabschnitt besteht; wobei der Ausgleichsabschnitt aus einem ersten Ausgleichsabschnitt, der an einer Seite des Speicherzellenarrays vorhanden ist, und einem zweiten Ausgleichsabschnitt besteht, der an der anderen Seite des Speicherzellenarrays vorhanden ist, wobei der erste Interne-Spannung-Absenkabschnitt elektrische Energie an den ersten Ausgleichsabschnitt liefert und wobei der zweite Interne-Spannung-Absenkabschnitt elektrische Leistung an den zweiten Ausgleichsabschnitt liefert, wobei vom ersten und zweiten Interne-Spannung-Absenkabschnitt nur der erste Interne-Spannung-Absenkabschnitt über eine Stabilisierschaltung mit einem Kondensator zum Liefern eines Stroms zum Stabilisieren der Spannung an einem Ausgang des ersten Interne-Spannung-Absenksabschnitts verfügt, wobei dieser Ausgang die elektrische Leistung an den ersten Ausgleichsabschnitt liefert, und wobei die Stabilisierschaltung über eine Ausgangs-Reihenschaltung zum Entnehmen einer Ausgangsspannung an einem Verbindungspunkt zwischen einem ersten Spannungsabsenktreiberabschnitt und dem Kondensator, wobei der Verbindungspunkt am Ausgang des ersten Interne-Spannung-Absenkabschnitts vorhanden ist, und einen Treibersteuerungsabschnitt verfügt, dadurch gekennzeichnet, dass der Treibersteuerungsabschnitt eine Differenzspannung zwischen der Ausgangsspannung und der Referenzspannung verstärkt und er den ersten Spannungsabsenktreiberabschnitt unter Verwendung der verstärkten Differenzspannung steuert.
  • Vorzugsweise enthält der Halbleiterspeicher ferner: einen Zeilenauswählabschnitt zum Auswählen von Speicherzellen in einer speziellen Zeile des Speicherzellenarrays entsprechend einem Zeilenauswählsignal, wobei das Speicherzellenarray die Vielzahl von Speicherzellen enthält, die mit einer Vielzahl von Paaren komplementärer Bitleitungen verbunden sind und zum Lesen von Information aus den speziellen Speicherzellen auf die Vielzahl von Paaren komplementärer Bitleitungen, und einem Spaltenauswählabschnitt zum Steuern einer Verbindung eines bestimmten Paars komplementärer Bitleitungen, das unter der Vielzahl von Paaren komplementärer Bitleitungen entsprechend einem Spaltenauswählsignal ausgewählt ist, mit einem Verstärkungsabschnitt, der zum Lesen von Information aus den Speicherzellen verwendet wird, wobei der erste Ausgleichsabschnitt zwischen dem Spaltenauswählabschnitt und dem Verstärkungsabschnitt vorhanden ist.
  • Bevorzugt weist die Stabilisierschaltung auf: einen Vorstufe-Spannungsabsenkabschnitt mit einer zweiten Ausgangsreihenschaltung zum Verwenden einer Ausgangsspannung an einem Verbindungspunkt zwischen einem zweiten Spannungsabsenktreiberabschnitt und einem Widerstandsabschnitt als Referenzspannung, und einem zweiten Treibersteuerungsabschnitt zum Verstärken der Differenzspannung zwischen der Referenzspannung und einer zweiten Referenzspannung und zum Steuern des zweiten Spannungsabsenktreiberabschnitts unter Verwendung der verstärkten Ausgangsspannung.
  • Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Kapazität eines Kondensatorabschnitts in der Stabilisierschaltung kleiner als die eines Kondensatorabschnitts im Interne-Spannung-Absenkabschnitt.
  • Bevorzugt weist der Halbleiterspeicher einen Vorstufe-Spannungsabsenkabschnitt auf mit einer zweiten Ausgangsreihenschaltung zum Verwenden einer Ausgangsspannung an einem Verbindungspunkt zwi schen einem zweiten Spannungsabsenktreiberabschnitt und einem Widerstandsabschnitt als erste Referenzspannung und einem zweiten Treibersteuerungsabschnitt zum Verstärken einer Differenzspannung zwischen der ersten Referenzspannung und einer zweiten Referenzspannung und zum Steuern des zweiten Spannungsabsenktreiberabschnitts unter Verwendung der verstärkten Ausgangsspannung.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung besteht der zweite Spannungsabsenkabschnitt aus einer ausschließlich zum Laden verwendeten Schaltung.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung weist die ausschließlich zum Laden verwendete Schaltung folgendes auf: einen dritten Spannungsabsenktreiberabschnitt zum Laden der Bitleitungen; und einen Treibersteuerungsabschnitt zum Überwachen einer durch den dritten Spannungsabsenktreiber geladenen Bitleitungsspannung und zum Steuern des dritten Spannungsabsenktreiberabschnitts in solcher Weise, dass der Ladevorgang gestoppt wird, wenn die Bitleitungsspannung eine vorbestimmte Bitleitungsspannung erreicht.
  • Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird eine Informationsvorrichtung angegeben, die einen Speicherverarbeitungsvorgang unter Verwendung des erfindungsgemäßen Halbleiterspeichers durchführt.
  • Nachfolgend wird das Funktionsprinzip mit obigem Aufbau gemäß einer Ausführungsform der Erfindung beschrieben.
  • Gemäß Ausführungsformen der Erfindung ist ein Interne-Spannung-Absenkabschnitt in zwei Leitungen von Versorgungsschaltungen unterteilt, d. h. in einen ersten Spannungsabsenkabschnitt und in einen zweiten Spannungsabsenkabschnitt. Ein Ausgleichsabschnitt ist in einen ersten Ausgleichsabschnitt, der an einer Seite des Speicherzellenarrays vorhanden ist, und in einen zweiten Ausgleichsabschnitt unterteilt, der an der anderen Seite des Speicherzellenarrays vorhanden ist. Der erste Spannungsabsenkabschnitt liefert elektrische Energie an den ersten Ausgleichsabschnitt und der zweite Spannungsabsenkabschnitt liefert elektrische Leistung an den zweiten Ausgleichsabschnitt. Bei einem derartigen Aufbau wird ein Paar von Bitleitungen über die beiden Leitungen der Versorgungsschaltungen vorgeladen und ausgeglichen. In dem ersten Spannungsabsenkab schnitt ist es lediglich erforderlich, ein Paar von Bitleitungen vorzuladen und auszugleichen, die zum Zeitpunkt des Lesens von Daten seitens eines zum Lesen von Information aus einer Speicherzelle verwendeten Spaltenauswählabschnitts ausgewählt werden. Damit ist die Menge des gelieferten elektrischen Stroms erheblich kleiner im Vergleich zu einer herkömmlichen Interne-Spannung-Absenkschaltung, obwohl es weiterhin erforderlich ist, eine Stabilisierschaltung zur Unterdrückung von Informationsrauschen vorzusehen. Zudem sind in dem zweiten Spannungsabsenkabschnitt alle Bitleitungspaare, einschließlich nicht ausgewählter Bitleitungen, vorgeladen und ausgeglichen. Es ist nicht erforderlich eine Stabilisierschaltung zum Unterdrücken von Rauschen vorzusehen, die in einer herkömmlichen Interne-Spannung-Absenkschaltung bereitgestellt ist und der zweite Spannungsabsenkabschnitt kommt lediglich mit einer ausschließlich vorgesehenen Ladeschaltung zurecht.
  • In einer herkömmlichen Interne-Spannung-Absenkschaltung werden alle Bitleitungen von nur einer einzelnen Schaltkreisleitung vorgeladen und ausgeglichen. Folglich ist die elektrische Strombelastung groß und es ist notwendig, einen großen Kondensator innerhalb der herkömmlichen Interne-Spannung-Absenkschaltung als Stabilisierschaltung zu verwenden und ebenso ist es erforderlich, ein großes Treiberelement zur Lieferung eines elektrischen Stroms einzusetzen. Jedoch kann die Schaltkreisgröße des ersten Spannungsabsenkabschnitts (insbesondere die Kapazität eines als Stabilisierschaltung verwendeten Kondensators) erfindungsgemäß erheblich reduziert werden verglichen mit einem bekannten Spannungsabsenkabschnitt. Dadurch lässt sich eine erhebliche Verkleinerung der Größe eines Halbleiterchips erzielen. Da die Kapazität des Kondensators des ersten Spannungsabsenkabschnitts erheblich reduziert wird und es nicht erforderlich ist, einen Ausgangskondensator im zweiten Spannungsabsenkabschnitt vorzusehen, kann die Geschwindigkeit beim Vorladen und Ausgleichen eines Paars von Bitleitungen erhöht werden.
  • Somit können mit der Erfindung die Vorteile erzielt werden: (1) Angeben eines statischen Halbleiterspeichers zum Erzielen eines Speicherbetriebs mit hoher Geschwindigkeit durch Vorladen und Ausgleichen eines Paars von Bitleitungen mit erhöhter Geschwindigkeit, wobei eine Zunahme der Schaltungsgröße einer Interne-Spannung-Absenkschaltung unterdrückt ist; und (2) Angeben einer Informationsvorrichtung unter Verwendung eines solchen statischen Halbleiterspeichers.
  • Dem Verständnis der Erfindung dienend werden nachfolgend spezifische Ausführungsformen derselbigen mit Bezug zu den begleitenden Abbildungen beschrieben.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ABBILDUNGEN
  • 1 zeigt ein Blockdiagramm eines beispielhaften Aufbaus eines primären Teils eines statischen Halbleiterspeichers gemäß einer Ausführungsform der Erfindung.
  • 2 zeigt ein Schaltungsdiagramm mit einem Beispiel einer Interne-Spannung-Absenkschaltung aus 1.
  • 3 zeigt ein Schaltungsdiagramm mit einem Beispiel eines Differenzverstärkers aus 2.
  • 4 zeigt ein Schaltungsdiagramm mit einem Beispiel einer Vcc Vorladeschaltung aus 1.
  • 5 zeigt ein Schaltungsdiagramm mit einem weiteren Beispiel einer Interne-Spannung-Absenkschaltung aus 1.
  • 6 zeigt ein Schaltungsdiagramm mit einem weiteren Beispiel einer Vcc Vorladeschaltung aus 1.
  • 7 zeigt ein Blockdiagramm mit einem grundlegenden Aufbau einer Informationsvorrichtung, die den statischen Halbleiterspeicher aus 1 beinhaltet.
  • 8 zeigt ein Blockdiagramm mit einem beispielhaften Aufbau eines primären Teils eines herkömmlichen Halbleiterspeichers.
  • 9 zeigt ein Schaltungsdiagramm einer Speicherzelle und umgebenden Schaltungen in einem statischen Halbleiterspeicher.
  • 10 zeigt ein Schaltungsdiagramm einer Transferschaltung einer Spaltenumschaltschaltung.
  • 11 zeigt ein Schaltungsdiagramm mit einem Beispiel einer EQ Schaltung.
  • 12 zeigt ein Blockdiagramm mit einem beispielhaften Aufbau eines primären Teils eines nichtflüchtigen Halbleiterspeichers aus JP 4-252497.
  • 13 zeigt ein Blockdiagramm mit einem beispielhaften Aufbau eines primären Teils eines statischen Halbleiterspeichers aus JP 8-69693.
  • 14 zeigt ein Blockdiagramm mit einem weiteren beispielhaften Aufbau des primären Teils des statischen Halbleiterspeichers aus JP 8-69693.
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Nachfolgend wird eine Ausführungsform der Erfindung mit Bezug zu den Abbildungen beschrieben, wobei das Prinzip der Erfindung auf einen statischen Halbleiterspeicher übertragen ist.
  • 1 zeigt ein Blockdiagramm eines primären Teils eines statischen Halbleiterspeichers gemäß einer Ausführungsform der Erfindung. In 1 werden übereinstimmende Elemente, die dieselben Auswirkungen erzielen, mit den in 8 benutzten Bezugskennzeichen versehen und auf eine detaillierte Beschreibung derselbigen wird verzichtet.
  • In 1 weist der statische Halbleiterspeicher 20 auf: eine Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 als ersten Spannungsabsenkabschnitt; eine Vcc Vorladeschaltung 12 als zweiten Spannungsabsenkabschnitt; eine Ausgleichsschaltung 13 (nachfolgend als „EQ Schaltung 13" bezeichnet) als ersten Ausgleichsabschnitt, an den ein Ausgangsanschluss der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 angeschlossen ist; und Ausgleichsschaltungen 14 (nachfolgend als „EQ Schaltungen 14" bezeichnet) als zweiten Ausgleichsabschnitt, an den ein Ausgangsanschluss der Vcc Vorladeschaltung 12 angeschlossen ist. Ein Merkmal dieser Erfindung ist darin zu sehen, dass die Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 von 8 unterteilt ist in: die Interne-Spannung-Absenkschaltung 11, welche eine im Vergleich zur Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 geringere Leistungsfähigkeit aufweist und die einen Kondensator (Stabilisierschaltung) mit einer im Vergleich zur In terne-Spannung-Absenkschaltung 1 geringeren Kapazität beinhaltet; und die Vcc Vorladeschaltung 12, die eine exklusiv zum Vorladen aller Paare komplementärer Bitleitungen verwendete Schaltung darstellt. Dieses Merkmal der Erfindung wird unten stehend detailliert erläutert.
  • Die Versorgungsspannung Vcc wird der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 zugeführt. Ein Ausgangsanschluss der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 (Ausgangsspannung bzw. Ausgabespannung Vccin) ist mit dem Lasttransistor 2, dem Zeilendecoder (Zeilendecoderabschnitt) 4, dem Speicherzellenarray 3, und der EQ Schaltung 13, die ein Paar komplementärer Knotenleitungen vorlädt und ausgleicht, verbunden.
  • Die Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 wird detailliert beschrieben. Die Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 erniedrigt die extern bereitgestellte Versorgungsspannung Vcc auf eine vorbestimmte Spannung (z. B. Vcc/2), um eine im Vergleich zur Versorgungsspannung Vcc des Ausgangsanschlusses Vccin geringere Spannung auszugeben. Zudem beinhaltet die Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 einen Kondensator C (2), der zwischen einen Ausgangsanschluss Out der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 und einen Masseanschluss geschaltet ist. Der Kondensator C dient dem Unterdrücken von Rauscherzeugung und einer Spannungsabnahme im Ausgabepegel, die von einem sogleich verbrauchten Strom herrührt, um einen stabilen Betrieb der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 zu erzielen. Dieser Kondensator C ist in der Lage, einen stabilen Betrieb der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 mit einer sehr kleinen Kapazität zu erzielen, verglichen mit der Kapazität eines Kondensators, die in einer herkömmlichen Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 zur Aufrechterhaltung eines stabilen Betriebs erforderlich wäre. Somit kann erfindungsgemäß ein Layoutnachteil in Bezug auf den Halbleiterchip erheblich verringert werden. Erfindungsgemäß wird ein Vorladestrom von der Vcc Vorladeschaltung 12 an alle Bitleitungspaare (z. B. 256 Bitleitungen) bereitgestellt, die in einer herkömmlichen Speichervorrichtung einen größten Teil des von der Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 bereitgestellten elektrischen Stromes verbrauchen. Somit muss die Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 lediglich einen Vorladestrom für eine ausgewählte Bitleitung (z. B. 1 Bitleitung) bereitstellen. Folglich kann die Stromtreiberfähigkeit erheblich reduziert werden verglichen mit derjenigen einer herkömmlichen Interne-Spannung-Absenkschaltung 1. Allgemein ist die Kapazität des Kondensators C, der zum Erzielen eines stabilen Betriebs einer Interne-Spannung- Absenkschaltung 1 erforderlich ist, proportional zur Stromtreiberfähigkeit der Interne-Spannung-Absenkschaltung. Berücksichtigt man dies, so ist eine im Vergleich zur gewöhnlichen Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 erheblich geringere Kapazität des Kondensators C für die Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 ausreichend (z. B. 1/256). Folglich lässt sich eine Layoutfläche (Chipfläche) einer Speichervorrichtung erheblich reduzieren. Eine Betriebsstabilisierschaltung wird über den Kondensator C oder über eine Schaltung einschließlich des Kondensators C ausgebildet und an einem Ausgangsanschluss der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 vorgesehen.
  • Falls die Kapazität des Kondensators C größer als 1/256 ist, kann die Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 verglichen mit der gewöhnlichen Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 auf stabilere Weise betrieben werden, selbst falls ein „Hub" einer Bitleitungsspannung vorliegt. Falls jedoch die Kapazität des Kondensators C ansteigt, nimmt die Ladegeschwindigkeit für ein Paar von Bitleitungen ab. Ein Wert der Kapazität des Kondensators C kann derart eingestellt werden, so dass dieser innerhalb eines Wertebereichs liegt, der unter Berücksichtigung des Layout des Halbleiterchips bestimmt wird. Alternativ hierzu kann ein Wert der Kapazität des Kondensators C derart eingestellt werden, dass dieser innerhalb eines Wertebereichs liegt, der im Hinblick auf die Betriebsgeschwindigkeit wie die Datenlesegeschwindigkeit bestimmt wird, so dass ein Laden eines Paars von Bitleitungen innerhalb eines kurzen Zeitintervalls abgeschlossen ist.
  • Ein besonderes Beispiel der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11A ist in 2 gezeigt. In 2 enthält eine Interne-Spannung-Absenkschaltung 11A eine Referenzspannungserzeugungsreihenschaltung 111A, eine Ausgangsreihenschaltung 112A und einen Differenzverstärker 113A (Differenzverstärkungsabschnitt AMP), der als Treibersteuerungsabschnitt dient. Die Referenzspannungsreihenschaltung 111A wird über Widerstandsabschnitte R1 und R2 ausgebildet, die zwischen der Versorgungsspannung Vcc und Masse liegen. Die Ausgangsreihenschaltung 112A ist zwischen der Versorgungsspannung Vcc und Masse vorgesehen und extrahiert eine Ausgangsspannung an einem Verbindungspunkt zwischen einem PMOS Transistor (erster Spannungsabsenkabschnitt) T1 und einem Kondensator (Kondensatorabschnitt oder Kapazitätsabschnitt) C. In dem Differenzverstärker 113A wird ein Ausgangspegel (Ausgangsspannung) eines Ausgangsanschlusses Out, der an den Verbindungspunkt zwischen dem PMOS Transistor T1 und dem Kondensator C angeschlossen ist, an einen negativen Eingangsanschluss rückgekoppelt. Eine Referenzspannung an einem Verbindungspunkt zwischen den Widerstandsabschnitten R1 und R2 (die eine von dem Ausgangsanschluss Out auszugebende Zwischenspannung Vcc/2 darstellt) wird an einen positiven Eingangsanschluss eingespeist. Ein Ausgangsanschluss des Differenzverstärkers 113A, von dem aus eine verstärkte Differenzspannung der Ausgangsspannung des Differenzverstärkers 113A und der Referenzspannung (Zwischenpotential Vcc/2) ausgegeben wird, ist mit einem Gate des PMOS Transistors T1 verbunden. In dieser Interne-Spannung-Absenkschaltung 11A wird eine über den PMOS Transistor T1 erniedrigte Ausgangsspannung von dem Ausgangsanschluss Out ausgegeben und dieser Ausgangsspannungspegel wird in den Differenzverstärker 113A rückgekoppelt. Zum Zeitpunkt, in dem die Differenz zwischen dem rückgekoppelten, tatsächlichen Spannungspegel und einem gewünschten Ausgabespannungswert (d. h. Zwischenpotential Vcc/2) verschwindet, wird der PMOS Transistor T1 über die Ausgabe des Differenzverstärkers 113A ausgeschaltet, wobei eine Erniedrigung der Ausgangsspannung von dem Ausgabeanschluss Out bei einer vorbestimmten Spannung (dem beabsichtigten Ausgangsspannungswert, d. h. Zwischenpotential Vcc/2) abgebrochen wird. Ein besonderer interner Aufbau des Differenzverstärkers 113A ist in 3 gezeigt. Bei diesem Aufbau wird ein Differenzverstärkungsvorgang als Reaktion auf ein Einschalten eines Schalttransistors (Schaltabschnitt) SW gestartet und es wird eine Differenzspannung zwischen einer Spannung, die einem positiven Eingangsanschluss eingespeist wird, und einer Spannung, die einem negativen Eingangsanschluss eingespeist wird, verstärkt und von einem Ausgangsanschluss Output ausgegeben. In dem Differenzverstärker 113A wird die von dem Ausgangsanschluss Output ausgegebene Spannung invertiert und einem Gate des PMOS Transistors T1 zugeführt.
  • Die Vcc Vorladeschaltung 12 stellt eine Ladeschaltung dar, welche die Versorgungsspannung Vcc empfängt und beispielsweise ein Zwischenpotential Vcc/2 als Ausgangsspannung ausgibt. Die Ausgangsanschlüsse der Vcc Vorladeschaltung 12 sind über die EQ Schaltungen 14 mit Paaren komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn#, die an das Speicherzellenarray 3 angeschlossen sind, verbunden. Darüber hinaus stellt die Vcc Vorladeschaltung 12 eine Schaltung dar, die exklusiv für einen Vorladebetrieb verwendet wird. Der Pegel einer Ausgangsspannung der Vcc Vorladeschaltung 12 stellt einen Pegel dar, der die Spannungsfestigkeit der Speicherzelle 3a (9) nicht übersteigt und der ausreicht, um ein fälschliches Schreiben von Daten in die Speicherzelle 3a, aus der Daten gelesen werden sollen, zu verhindern. Die Vcc Vorladeschaltung 12 weist einen erheblich einfacheren Aufbau zum Unterstützen eines Vorladevorgangs, der von der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 durchgeführt wird, auf.
  • Die Vcc Vorladeschaltung 12 lädt die Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# auf eine Vorladespannung Vpre auf, welche die Spannungsfestigkeit der Speicherzelle 3a nicht übersteigt und die ausreicht, um ein fälschliches Schreiben von Daten in die Speicherzelle 3a, aus der gelesen werden soll, zu verhindern. Falls die Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# vor dem Lesen von Daten nicht vorgeladen sind, würden Latch-Daten zum Zeitpunkt der Auswahl unter den Wortleitungen WL in einem Latch-Schaltungsabschnitt der Speicherzelle 3a (9) aufgrund einer während eines vorhergehenden Auswählens einer Wortleitung angelegten Bitleitungsspannung invertiert werden (d. h. fälschlicherweise geschrieben werden). Um ein derartiges fälschliches Schreiben in die Speicherzelle 3a zu verhindern, wird, unter Berücksichtigung, dass die Paare komplementärer Bitleitungen BLi/ BLi# zum Zeitpunkt des Vorladebetriebs bereits ausgeglichen sind, das Potential der Paare komplementärer Bitleitungen BLi/ BLi# gleich oder größer als eine Schwellenspannung eines Speicherzellentransistors eingestellt (ungefähr 0.4 V bis 0.5 V). In einem solchen Falle werden die Latch-Daten (eine Leitung des Paars von Bitleitungen liegt auf „0", die andere auf „1") in dem Latch-Schaltungsabschnitt (Inverterabschnitt) der Speicherzelle 3a nicht invertiert (d. h. fälschlicherweise geschrieben). Die Vorladespannung Vpre wird innerhalb eines Spannungsbereichs von ungefähr 0.4 V bis 2.7 V eingestellt, da diese die Spannungsfestigkeit des Speicherzellentransistors der Speicherzelle 3a (ungefähr 2.5 V bis 2.7 V) nicht übersteigen sollte. Die so eingestellte Vorladespannung Vpre wird an die Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# über die EQ-Schaltungen 14 angelegt. Als Reaktion auf ein Ausgleichssignal EQ# laden die EQ-Schaltungen alle Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/ BLn#, die an die EQ-Schaltungen 14 angeschlossen sind, auf und gleichen diese aus.
  • Ein besonderes Beispiel der Vcc Vorladeschaltung 12 wird nun beschrieben. In einer in 4 gezeigten Vorladeschaltung 12A wird ein Ausgangsanschluss Y eines Treiberabschnitts (dritter Treiberabschnitt) T121A zum Verringern einer Spannung (nachfolgend als „Spannungsabsenktreiberabschnitt T121A" bezeichnet) mit jedem der Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# über eine in einem gestrichelten Kasten X gezeigten Ausgleichsschaltung verbunden. Hierbei dient ein zum Erniedrigen einer Spannung vorgesehener einzelner Transistor (nachfolgend als „Spannungsabsenktransistor" bezeichnet) ebenso als Transistor zum Laden (nachfolgend als „Ladetransistor" bezeichnet). Der Ausgangsanschluss Y des Spannungsabsenktreiberabschnitts T121A ist ebenso mit einem Steueranschluss des Spannungsabsenktreiberabschnitts T121A über eine Zeitkonstante-Schaltung, die eine Ausgleichsschaltung Z enthält, verbunden. Die Ausgleichsschaltung Z weist eine elektrische Stromkapazität einer solchen Größe auf, die gleich (oder proportional zu) derjenigen der Ausgleichsschaltung X jedes Paars komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# ist. Die Ausgleichsschaltung Z kann aus einer Reihentransistorschaltung bestehen, die einen vorbestimmten Kapazitätswert und Widerstandswert aufweist. Bei einem solchen Aufbau wird eine Ladestrommenge, die gleich (oder proportional zu) derjenigen Ladestrommenge ist, die an die Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# angelegt wird, dem Steueranschluss des Spannungsabsenktreiberabschnitts T121A über die Zeitkonstante-Schaltung (Ausgleichsschaltung Z) zugeführt. Zum Zeitpunkt, in dem die dem Steueranschluss zugeführte Spannung eine vorbestimmte Spannung (eine Spannung zum Ausschalten eines Transistors) erreicht, wird die Leistungsversorgung vom Spannungsabsenktreiberabschnitt T121A abgestellt. In diesem Falle wird eine Zunahme einer Steuerspannung, die dem Steueranschluss eingeht, derart abgestimmt, dass der Spannungsabsenktreiberabschnitt T121A zu dem Zeitpunkt ausgeschaltet wird (oder eine Versorgung eines elektrischen Stroms unterdrückt wird), in dem die ansteigende Spannung der Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# die Vorladespannung Vpre erreicht. Mit obigem Aufbau kann die Bitleitungsspannung korrekt auf die Vorladespannung Vpre eingestellt werden. Darüber hinaus kann die Bitleitungsspannung schneller auf die Vorladespannung Vpre erhöht werden. Durch Zurücksetzen der Spannung des Steueranschlusses wird der Spannungsabsenktreiberabschnitt T121A eingeschaltet (d. h. aktiviert) und ein Vorladen aller Bitleitungen gestartet.
  • Die EQ-Schaltung 13 ist zwischen der Spaltenumschaltschaltung 5, die einen Spaltenauswählabschnitt darstellt, und dem Leseverstärker (Verstärkerabschnitt) 7 vorgesehen. Die EQ-Schaltung 13 empfängt elektrische Leistung von der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 und lädt ein Paar von Bitleitungen BLi/BLi# vor und gleicht dieses aus, wobei das Bitleitungspaar von der Spaltenumschaltschaltung 5 ausgewählt wurde, die basierend auf einem Spaltenauswahlsignal von dem Spaltendecoder 6 ein/aus geschaltet wird. Der Spaltenauswählabschnitt wird von der Spaltenumschaltschaltung 5 und dem Spaltendecoder 6 ausgebildet und der Zeilenauswählabschnitt wird von dem Zeilendecoder 4 ausgebildet. In einer solchen Anordnung wird die Spaltenumschaltschaltung 5 von einer Transferschaltung 5a ausgebildet, siehe 10. Die Sources und Drains des PMOS Transistors P6 und des NMOS Transistors N3 sind entsprechend angeschlossen. Ein Ausgang des Spaltendecoders 6 ist mit den Gates des PMOS Transistors P6 und des NMOS Transistors N3 verbunden. Falls lediglich ein Gate einer über den Spaltendecoder 6 ausgewählten Spalte auf einen hohen Spannungspegel „High" geht, werden diese Transistoren zwischen Source-Drain leitfähig. Bei einem Informationslesevorgang wird beispielsweise eine Transferschaltung 5a in einer Spaltenumschaltschaltung 5, die einer entsprechend einem Adresssignal (nicht dargestellt) ausgewählten Spalte entspricht, eingeschaltet, wobei das Paar komplementärer Bitleitungen BLi/BLi#, die an eine ausgewählte Speicherzelle 3a angeschlossen sind, mit der EQ-Schaltung 13 verbunden werden und diese werden ebenso mit beiden Eingangsanschlüssen des Leseverstärkers 7 über ein Paar komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi# verbunden.
  • Die EQ-Schaltung 14 ist zwischen der Vcc Vorladeschaltung 12 und dem Speicherzellenarray 3 vorgesehen. Die EQ-Schaltung 14 empfängt elektrische Leistung von der Vcc Vorladeschaltung 12 und lädt alle Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# vor und gleicht diese aus.
  • Der interne Aufbau von jedem der EQ-Schaltung 13 sowie der EQ-Schaltung 14 besteht jeweils aus drei PMOS Transistoren P3 bis P5. Ein Ausgleichssignal EQ# wird jedem der PMOS Transistoren P3 bis P5 zugeführt, womit eine Steuerung des Vorladens und Ausgleichens durchgeführt wird.
  • Unten stehend wird der Betrieb während eines Lesevorgangs bei obigem Aufbau erläutert.
  • Zunächst werden alle Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# vor dem Lesen von Information aus einer Speicherzelle 3a auf ein Paar komplementärer Bitleitungen BLi/BLi# auf die Vorladespannung Vpre über die Vcc Vorladeschaltung 12 vorgeladen und über die EQ-Schaltung 14 unabhängig von einer Auswahl/Nicht-Auswahl unter den Paaren komplementärer Bitleitungen ausgeglichen. Andererseits wird das Paar der komplementären Knotenleitungen SENi/SENi# und das Paar der komplementären Bitleitungen BLi/BLi# mit elektrischer Energie vorgeladen (Vorladespannung Vpre; z. B. ein Zwischenpotential Vcc/2), welche von der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 bereitgestellt wird und diese werden über die EQ-Schaltung 13 ausgeglichen. Alternativ hierzu kann lediglich ein Paar komplementärer Bitleitungen BLi/BLi#, das von der Spaltenumschaltschaltung 5 ausgewählt wurde, vorgeladen und ausgeglichen werden. Weiter können alternativ hierzu alle Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# über die Spaltenumschaltschaltung 5 vorgeladen und ausgeglichen werden, unabhängig von einer Auswahl/Nicht-Auswahl unter den Paaren komplementärer Bitleitungen.
  • Nachfolgend wird ein Decodiersignal (Zeilenauswahlsignal) vom Zeilendecoder 4 sequenziell den Wortleitungen WL1 bis WLn in selektiver Weise zugeführt. Somit wird in einer mit einer ausgewählten Wortleitung WLn verbundenen Speicherzelle 3a im Speicherzellenarray 3 gespeicherte Information auf alle Paare komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bis BLn/BLn# ausgelesen. Das Speicherzellenarray 3 enthält eine Vielzahl von Spalten (Spalten von Speicherzellen 3a) und Information, die in all den Speicherzellen 3a von einer an eine ausgewählte Wortleitung angeschlossenen Spalte gespeichert ist, wird auf jedes Paar komplementärer Bitleitungen BLi/BLi#, das sich in einer Spaltenrichtung erstreckt, ausgelesen.
  • Das Decodiersignal (Spaltenauswahlsignal) vom Spaltendecoder 6 wird der Spaltenumschaltschaltung 5 zugeführt. Die Spaltenumschaltschaltung 5 verbindet ein vorbestimmtes Paar komplementärer Bitleitungen BLi/BLi# mit einem entsprechenden Paar komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi#, so dass eine Spalte (ein Paar von Bitleitungen) unter einer Vielzahl von Spalten ausgewählt wird. Somit wird in einer speziellen Speicherzelle 3a gespeicherte Information über ein spezielles Paar komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi# ausgelesen.
  • Falls beispielsweise ein Paar komplementärer Bitleitungen BLi/BLi#, die von der Spaltenumschaltschaltung 5 ausgewählt wurden, einem Paar komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# entspricht, so ist das Paar komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# mit einem Paar komplementärer Knotenleitungen SEN1/SEN1# über die Spaltenumschaltschaltung 5 verbunden. Wie oben erläutert, wurden zu diesem Zeitpunkt bereits alle Paare komplementärer Bitleitungen, die das Paar der komplementären Bitleitungen BL1/BL1# und nicht ausgewählte Paare komplementärer Bitleitungen beinhalten, von der Vcc Vorladeschaltung 12 auf die Vorladespannung Vpre vorgeladen und ausgeglichen. Darüber hinaus wurde das Paar komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# bereits über die Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 auf die Vorladespannung Vpre vorgeladen und ausgeglichen.
  • Somit wird in einem Zustand, in dem ein fälschliches Schreiben vermieden wird, in einer speziellen Speicherzelle 3a gespeicherte Information an beide Eingänge des Leseverstärkers 7 über das Paar komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi# übertragen. Der Leseverstärker 7 verstärkt eine Differenz der Spannungen des Paars komplementärer Knotenleitungen SENi/SENi# und die verstärkte Differenz wird an eine externe Schaltung ausgegeben, womit die Information der speziellen Speicherzelle 3a ausgelesen ist.
  • Somit wird das an die ausgewählte Speicherzelle 3a angeschlossene Paar komplementärer Bitleitungen BL1/BL1# über die elektrische Leistung von zwei Leitungen, d. h. der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 und der Vcc Vorladeschaltung 12, vorgeladen und ausgeglichen. Dadurch wird die Kapazität eines als Stabilisierschaltung der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 verwendeten Kondensators erheblich reduziert im Vergleich zu einer herkömmlichen Interne-Spannung-Absenkschaltung 1, bei der ein Vorladen und Ausgleichen mit einer einzelnen Leitung einer Spannungsquelle erfolgt. Da es somit nicht erforderlich ist, einen Ausgangskondensator in der Vcc Vorladeschaltung 12 vorzusehen, werden die Vorlade- und Ausgleichsgeschwindigkeit erhöht und folglich auch die Geschwindigkeit von Betriebsvorgängen wie einem Datenlesevorgang, einem Datenschreibvorgang (einem Vorladen und Ausgleichen von Bitleitungen vor dem Schreiben von Information aus einem Paar komplementärer Bitleitungen in eine Speicherzelle), usw.
  • Zudem ist ebenso eine seitens der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 zu treibende Last erheblich geringer im Vergleich zu einer herkömmlichen Interne-Spannung-Absenkschaltung 1. Deshalb ist eine erheblich kleinere Kapazität als Kondensator ausreichend. Da es darüber hinaus nicht erforderlich ist, einen Ausgangskondensator in der Vcc Vorladeschaltung 12 vorzusehen, kann die Fläche eines Halbleiterchips, die von der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 und der Vcc Vorladeschaltung 12 beansprucht wird, erheblich reduziert werden im Vergleich zu einer her kömmlichen Interne-Spannung-Absenkschaltung 1. Wird dieser Chipflächeneinsparungseffekt genauer berechnet, so lässt sich die Chipfläche auf ungefähr 1/6 reduzieren, da die von dem Kondensator beanspruchte Fläche erheblich verkleinert wird.
  • Falls Elemente mit einer großen elektrischen Stromtreiberfähigkeit als Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 und Vcc Vorladeschaltung 12 verwendet werden, lässt sich die Betriebsgeschwindigkeit einer Speichervorrichtung bei kleiner Chipfläche im Vergleich zur Interne-Spannung-Absenkschaltung 1 vergrößern, obwohl die Chipfläche für diese Elemente verglichen mit obigem Beispiel bis zu einem bestimmten Grad vergrößert ist.
  • In der obigen Ausführungsform wird die Erfindung auf einem statischen Halbleiterspeicher (SRAM) übertragen, jedoch ist die Anwendung der Erfindung nicht auf SRAMs beschränkt. Die Erfindung kann ebenso auf einen dynamischen Halbleiterspeicher (DRAM) oder weitere Typen von Halbleiterspeichervorrichtungen übertragen werden, sofern der Aufbau dieser Erfindung verwendet werden kann: der Interne-Spannung-Absenkabschnitt aus einem ersten Spannungsabsenkabschnitt und einem zweiten Spannungsabsenkabschnitt besteht; ein Ausgleichsabschnitt aus einem ersten Ausgleichsabschnitt, der an einer Seite des Speicherzellenarrays vorhanden ist, und einem zweiten Ausgleichsabschnitt, der an der anderen Seite des Speicherzellenarrays vorhanden ist, ausgebildet ist und der erste Ausgleichsabschnitt elektrische Leistung von dem ersten Spannungsabsenkabschnitt und der zweite Ausgleichsabschnitt elektrische Leistung von dem zweiten Spannungsabsenkabschnitt erhält. Zudem wird eine Halbleiterspeichervorrichtung wie ein statischer Halbleiterspeicher oder desgleichen in einem einzelnen Chip integriert hergestellt.
  • Nun wird ein weiterer beispielhafter Aufbau der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11 obiger Ausführungsform (die in 5 gezeigte Interne-Spannung-Absenkschaltung 11B) beschrieben. Um in der Interne-Spannung-Absenkschaltung 11B einen „Hub" eines Referenzpotentials (ausgegebenes Zwischenpotential Vcc/2) oder Rauschen zu unterdrücken, wird die erste Stufe aus einem kleinen Differenzverstärker und die zweite Stufe aus einem großen Differenzverstärker ausgebildet. Insbesondere wird die Interne-Spannung-Absenkschaltung 11B aus zwei Stufen von Spannungsabsenkabschnitten ausgebildet, wobei jede hiervon aufweist: eine Ausgangsreihenschaltung, die eine Ausgangsspannung an einem Verbindungspunkt zwi schen einem Spannungsabsenktreiberabschnitt und einem Kondensatorabschnitt (Kapazitätsabschnitt) extrahiert; und einen Treibersteuerabschnitt, der eine Differenzspannung zwischen einer Ausgangsspannung der Ausgangsreihenschaltung und einer Referenzspannung (ausgegebenes Zwischenpotential Vcc/2) verstärkt und den Spannungsabsenktreiberabschnitt unter Verwendung der verstärkten Ausgangsspannung steuert. Eine Ausgabe des Vorstufe-Spannungsabsenkabschnitts wird einem Referenzspannungseingangsanschluss des Nachstufe-Spannungsabsenkabschnitts zugeführt.
  • Spezielle Verbindungen dieser Elemente werden mit Bezug auf 5 beschrieben. Die Interne-Spannung-Absenkschaltung 11B enthält: einen PMOS Transistor (erster Spannungsabsenktreiberabschnitt) T11, der zwischen der Leistungsversorgung Vcc und einer Masse liegt; eine Nachstufe-Ausgangsreihenschaltung 111B mit einem Kondensator (Kapazitätsabschnitt) C; einen Differenzverstärker (Treibersteuerabschnitt) 112B, wobei ein Verbindungspunkt zwischen dem PMOS Transistor T11 und dem Kondensator C an einen negativen Eingangsanschluss rückgekoppelt wird und wobei ein Ausgangsanschluss des Differenzverstärkers 112B an ein Gate des PMOS Transistors T11 angeschlossen ist; einen PMOS Transistor (zweiter Spannungsabsenktreiberabschnitt) T12, der zwischen der Versorgungsspannung Vcc und einer Masse liegt; eine Vorstufe-Ausgangsreihenschaltung 113B mit einem Widerstand R13; Widerstandsabschnitte R11 und R12, die zwischen der Versorgung Vcc und einer Masse liegen und zum Erzeugen einer Referenzspannung herangezogen werden; und einen Differenzverstärker (Treibersteuerabschnitt) 114B. In dem Differenzverstärker 112B wird ein Verbindungspunkt zwischen dem PMOS Transistor T11 und dem Kondensator C in einen negativen Eingangsanschluss rückgekoppelt und ein Ausgangsanschluss des Differenzverstärkers 112B ist mit einem Gate des PMOS Transistors T11 verbunden. In dem Differenzverstärker 114B ist ein Verbindungspunkt zwischen den Widerstandsabschnitten R11 und R12 mit einem positiven Eingangsanschluss verbunden. Ein positiver Eingangsanschluss des Differenzverstärkers 112B, der an einen Verbindungspunkt zwischen dem PMOS Transistor T12 und dem Widerstand R13 angeschlossen ist, wird zu einem negativen Eingangsanschluss rückgekoppelt. Ein Ausgangsanschluss des Differenzverstärkers 114B ist mit einem Gate des PMOS Transistors T12 verbunden.
  • In dieser Ausführungsform wurde als spezielles Beispiel eines Aufbaus der Vcc Vorladeschaltung 12 die in 4 gezeigte Vcc Vorladeschal tung 12A erläutert. Jedoch ist die Vcc Vorladeschaltung 12 nicht auf die Vcc Vorladeschaltung 12A beschränkt. Die Vcc Vorladeschaltung 12B kann einfacher aufgebaut sein, siehe 6. Eine Vcc Vorladeschaltung 12B in 6 zeigt eine beispielhafte Schaltung, die ausschließlich zum Laden verwendet wird und einen äußerst einfachen Aufbau aufweist. Wie in 6 gezeigt ist, weist die Vcc Vorladeschaltung 12B eine ausschließlich zum Laden verwendete Reihenschaltung auf, die aus einem Spannungsabsenktransistor (Spannungsabsenkabschnitt) 121B und einem Ladetransistor (Ladeabschnitt) 122B, der von einem Schalter gesteuert wird, ausgebildet ist. Die Vcc Vorladeschaltung 12B enthält keine wie in 4 gezeigte Zeitkonstante-Schaltung (Ausgleichsschaltung Z). Alternativ hierzu kann der Spannungsabsenktreiberabschnitt T121A von 4 aus einer ausschließlich zum Laden verwendeten Reihenschaltung bestehen, die einen Spannungsabsenktransistor 121B und einen Ladetransistor 122B enthält.
  • In dieser Ausführungsform wurde ein erfindungsgemäßer statischer Halbleiterspeicher beschrieben. Der statische Halbleiterspeicher dieser Erfindung kann in einer Informationsvorrichtung enthalten sein, wie etwa einem tragbaren Telefon, einem Computer, usw., um die Geschwindigkeit verschiedenartiger Speichervorgänge (einem Informationslesevorgang oder desgleichen) zu erhöhen, wobei gleichzeitig die Halbleiterchipfläche verkleinert wird. Beispielsweise enthält eine Informationsvorrichtung 100 in 7: einen Informationsspeicherabschnitt wie einen SRAM, einen ROM oder desgleichen; einen Bedienungseingabeabschnitt; einen Anzeigeabschnitt zur Darstellung einer Ausgangsanzeige, eines Ergebnisses der Informationsverarbeitung, usw. wie etwa eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung; und eine CPU (Zentralrecheneinheit, central processing unit), die eine Bedieneranweisung von dem Bedienungseingabeabschnitt erhält und verschiedenartige Informationsverarbeitungen durchführt, während Information in dem Informationsspeicherabschnitt basierend auf vorbestimmten Informationsverarbeitungsprogrammen oder daraus erhaltenen Daten gelesen/geschrieben wird. In der Informationsvorrichtung mit einem solchen Aufbau kann ein erfindungsgemäßer Halbleiterspeicher als SRAM des Informationsspeicherabschnitts verwendet werden.
  • Wie oben beschrieben wurde, kann die Größe einer Stabilisierschaltung, die zur Stabilisierung eines Betriebs eines ersten Spannungsabsenkabschnitts verwendet wird, d. h. die Kapazität eines Kondensators, durch den Einsatz eines Halbleiterspeichers dieser Erfindung erheblich reduziert werden. Insbesondere hält diese Stabilisierschaltung die elektrische Stromtreiberfähigkeit des ersten Spannungsabsenkabschnitts, der an einer Seite des Speicherzellenfeldes vorgesehen ist, auf einem geringen Pegel, um einen Rauscheinfluss und eine Abnahme eines Ausgangsspannungspegels aufgrund eines vorübergehenden elektrischen Stromverbrauchs zu verhindern. Da es darüber hinaus nicht erforderlich ist eine Stabilisierschaltung im zweiten Spannungsabsenkabschnitt vorzusehen, kann die Chipgröße erheblich reduziert werden. Darüber hinaus kann das Vorladen und Ausgleichen eines Paars von Bitleitungen, das an eine ausgewählte Speicherzelle angeschlossen ist, mit hoher Geschwindigkeit durchgeführt werden. Dies lässt sich mit dem erfindungsgemäßen Aufbau realisieren, wobei Paare komplementärer Bitleitungen in Spalten, die an nicht ausgewählte Speicherzellen angeschlossen sind, lediglich von einem zweiten Spannungsabsenkabschnitt geladen werden, der an der anderen Seite des Speicherzellenfeldes angeordnet ist und folglich wird die Menge elektrischen Stroms, die vorübergehend von dem zweiten Spannungsabsenkabschnitt während eines Vorlade- und Ausgleichsvorgangs verbraucht wird, reduziert.
  • Zudem wird ein Paar von Bitleitungen, das an eine ausgewählte Speicherzelle angeschlossen ist, mit zwei Leitungen vorgeladen und ausgeglichen, d. h. über den ersten Spannungsabsenkabschnitt, der an einer Seite des Speicherzellenarrays vorgesehen ist, und den zweiten Spannungsabsenkabschnitt (einer ausschließlich zum Laden verwendeten Schaltung), der an der anderen Seite des Speicherzellenarrays vorgesehen ist. Wie oben beschrieben wurde, wird die Chipgröße erheblich reduziert und damit kann die Größe elektrischer Stromtreiberelemente, die in den ersten und zweiten Spannungsabsenkabschnitten enthalten sind, vergrößert werden. Folglich kann die Betriebsgeschwindigkeit (Vorladegeschwindigkeit, Geschwindigkeit beim Lesen/Schreiben, usw.) weiter vergrößert werden.
  • Die oben beschriebenen Effekte dieser Erfindung sind insbesondere auf dem Gebiet der Halbleiterspeicher von Bedeutung, bei denen der Pegel der Versorgungsspannung insbesondere in den letzten Jahren abgenommen hat.

Claims (9)

  1. Halbleiterspeicher (20), mit: – einem Speicherzellenarray (3) mit einer Vielzahl von Speicherzellen, wobei diese Speicherzellen (3a) mit einer Vielzahl von Paaren komplementärer Bitleitungen verbunden sind; – einem Interne-Spannung-Absenkabschnitt (11, 12) zum Erzeugen einer vorbestimmten Spannung, die niedriger als eine vorbestimmte Spannung ist; und – einem Ausgleichsabschnitt (13, 14), an den die vorbestimmte Spannung vom Interne-Spannung-Absenkabschnitt (11, 12) geliefert wird und der einen Ausgleichsvorgang zum Laden der Paare komplementärer Bitleitungen auf ein vorbestimmtes, gleiches Potential ausführt, bevor Information aus den Speicherzellen (3a) auf die Paare komplementärer Bitleitungen gelesen wird; – wobei der Interne-Spannung-Absenkabschnitt aus einem ersten Interne-Spannung-Absenkabschnitt (11) und einem zweiten Interne-Spannung-Absenkabschnitt (12) besteht; – wobei der Ausgleichsabschnitt aus einem ersten Ausgleichsabschnitt (13), der an einer Seite des Speicherzellenarrays vorhanden ist, und einem zweiten Ausgleichsabschnitt (14) besteht, der an der anderen Seite des Speicherzellenarrays (3) vorhanden ist; – wobei der erste Interne-Spannung-Absenkabschnitt (11) elektrische Energie an den ersten Ausgleichsabschnitt (13) liefert; und – wobei der zweite Interne-Spannung-Absenkabschnitt (12) elektrische Leistung an den zweiten Ausgleichsabschnitt (14) liefert; – wobei vom ersten (11) und zweiten (12) Interne-Spannung-Absenkabschnitt nur der erste Interne-Spannung-Absenkab schnitt (11) über eine Stabilisierschaltung mit einem Kondensator (C) zum Liefern eines Stroms zum Stabilisieren der Spannung an einem Ausgang des ersten Interne-Spannung-Absenkabschnitts (11) verfügt, wobei dieser Ausgang die elektrische Leistung an den ersten Ausgleichsabschnitt (13) liefert; und – wobei die Stabilisierschaltung über eine Ausgangs-Reihenschaltung zum Entnehmen einer Ausgangsspannung an einem Verbindungspunkt zwischen einem ersten Spannungsabsenktreiberabschnitt (T1) und dem Kondensator (C), wobei der Verbindungspunkt am Ausgang des ersten Interne-Spannung-Absenkabschnitts vorhanden ist, und einen Treibersteuerungsabschnitt (112B) verfügt; dadurch gekennzeichnet, dass – der Treibersteuerungsabschnitt (112B) eine Differenzspannung zwischen der Ausgangsspannung und der Referenzspannung verstärkt; und – er den ersten Spannungsabsenktreiberabschnitt (T1) unter Verwendung der verstärkten Differenzspannung steuert.
  2. Halbleiterspeicher nach Anspruch 1, ferner mit: – einem Zeilenauswählabschnitt (4), entsprechend einem Zeilenauswählsignal (3a) in einer speziellen Zeile des Speicherzellenarrays (3), das die Vielzahl von Speicherzellen enthält, die mit einer Vielzahl von Paaren komplementärer Bitleitungen (BL1/BL1# – BLn/BLn#) verbunden sind, und zum Lesen von Information aus den speziellen Speicherzellen (3a) auf die Vielzahl von Paaren komplementärer Bitleitungen; und – einem Spaltenauswählabschnitt (6) zum Steuern der Verbindung eines bestimmten Paars komplementärer Bitleitungen, das unter der Vielzahl von Paaren komplementärer Bitleitungen mit einem Verstärkungsabschnitt (7), der zum Lesen von Information aus den Speicherzellen (3a) verwendet wird, – wobei der erste Ausgleichsabschnitt (13) zwischen dem Spaltenauswählabschnitt (6) und dem Verstärkungsabschnitt (7) vorhanden ist.
  3. Halbleiterspeicher (20) nach Anspruch 2, bei dem die Stabilisierschaltung Folgendes aufweist: – einen Vorstufe-Spannungsabsenkabschnitt mit: – einer zweiten Ausgangsreihenschaltung zum Verwenden einer Ausgangsspannung an einem Verbindungspunkt zwischen einem zweiten Spannungsabsenktreiberabschnitt (T12) und einem Widerstandsabschnitt (R1, R2) als Referenzspannung; und – einem zweiten Treibersteuerungsabschnitt zum Verstärken der Differenzspannung zwischen der Referenzspannung und einer zweiten Referenzspannung und zum Steuern des zweiten Spannungsabsenktreiberabschnitts (T12) unter Verwendung der verstärkten Ausgangsspannung.
  4. Halbleiterspeicher (20) nach Anspruch 1, bei dem die Kapazität eines Kondensatorabschnitts (C) kleiner als die eines Kondensatorabschnitts im Interne-Spannung-Absenkabschnitt ist.
  5. Halbleiterspeicher nach Anspruch 4, bei dem die Stabilisierschaltung Folgendes aufweist: – einen Vorstufe-Spannungsabsenkabschnitt mit – einer zweiten Ausgangsreihenschaltung zum Verwendung einer Ausgangsspannung an einem Verbindungspunkt zwischen einem zweiten Spannungsabsenktreiberabschnitt (T12) und einem Widerstandsabschnitt (R1, R2) als Referenzspannung, und einem zweiten Treibesteuerungsabschnitt zum Verstärken der Differenzspannung zwischen der Referenzspannung und einer zweiten Referenzspannung und zum Steuern des zweiten Spannungsabsenktreiberabschnitts (T12) unter Verwendung der verstärkten Ausgangsspannung.
  6. Halbleiterspeicher nach Anspruch 1, bei dem die Stabilisierschaltung Folgendes aufweist: – einen Vorstufe-Spannungsabsenkabschnitt mit – einer zweiten Ausgangsreihenschaltung zum Verwenden einer Ausgangsspannung an einem Verbindungspunkt zwischen einem zweiten Spannungsabsenktreiberabschnitt (T12) und einem Widerstandsabschnitt als Referenzspannung; – einem zweiten Treibersteuerungsabschnitt zum Verstärken der Differenzspannung und der Referenzspannung und einer zweiten Referenzspannung und zum Steuern des zweiten Spannungsabsenktreiberabschnitts (T12) unter Verwendung der verstärkten Ausgangsspannung.
  7. Halbleiterspeicher nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 4, bei dem der zweite Spannungsabsenkabschnitt (12) aus einer ausschließlich zum Laden verwendeten Schaltung besteht.
  8. Halbleiterspeicher nach Anspruch 7, bei dem die ausschließlich zum Laden verwendete Schaltung Folgendes aufweist: – einen Spannungsabsenktreiberabschnitt zum Laden der Bitleitungen; und – einen Treibersteuerungsabschnitt (112B) zum Überwachen einer durch den dritten Spannungsabsenktreiber geladenen Bitleitungsspannung und zum Steuern des dritten Spannungsabsenktreiberabschnitts in solcher Weise, dass der Ladevorgang gestoppt wird, wenn die Bitleitungsspannung eine vorbestimmte Bitleitungsspannung erreicht.
  9. Informationsvorrichtung, die eine Speicherverarbeitungsoperation ausführt und über den im Anspruch 1 genannten Halbleiterspeicher (20) verfügt.
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