DE60126881T2 - Verfahren und Vorrichtung zur Chip-Herstellung - Google Patents

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Description

  • 1. Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen. Insbesondere betrifft sie ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen, in denen Verdrahtungsplatten, die mit einer Anzahl von IC-Chips bestückt und mit Kunstharz versiegelt sind, geschnitten werden, um diese in einzelne IC-Baueinheiten zu unterteilen.
  • 2. Beschreibung des Stands der Technik
  • Die den am Nächsten kommenden Stand der Technik darstellende US-A-4 846 032 beschreibt eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Unterteilen von IC-Platten. Die Vorrichtung umfasst ein Paar Kreismesser, die einander gegenüberliegen und fluchten sowie im minimalen Abstand voneinander angeordnet sind und damit eine gabelförmige Schneidkante bilden, durch welche üblicherweise befestigte IC-Plattenabschnitte auf einer Transportvorrichtung liegend gefördert werden. Der auf die Platten ausgeübte Kontaktdruck ist auf den Druck beschränkt, mit dem die Abschnitte erfasst und gefördert werden. Die Platten werden so voneinander getrennt, ohne dass ihre Lötverbindungen oder auf ihrer Oberfläche montierte Komponenten beschädigt werden.
  • Mit der immer stärker werdenden Integration von Halbleitern wurde mit dem Einsatz von Baueinheiten begonnen, bei denen die Anschlussdrähte auf der Unterseite angeordnet sind, wie dies beispielsweise bei Microel-Ausführungen (BGA) der Fall ist. Die Herstellung einzelner IC-Baueinheiten durch Unterteilen von Verdrahtungsplatten, auf denen mit Kunstharz versiegelte IC-Chips montiert sind, ist bekannt. Es wurden bereits verschiedene Verfahren zum Schneiden von in Kunstharz versiegelten IC-Chips zu einzelnen IC-Baueinheiten vorgeschlagen. Das Unterteilen von IC-Baueinheiten mit hierauf angeordneten IC-Chips durch Schneiden mittels Diamantsäge (d.h. eines Schleifrads mit Diamantblatt) oder dergleichen ist beispielsweise eine dieser Verfahrensweisen.
  • Weiter werden vor dem Trennen von Halbleiter-Substraten Maßnahmen wie beispielsweise das rückseitige Beschichten der Halbleiter-Substrate mit einem Polyamid und Aufkleben auf ein Trennband und dergleichen durchgeführt. Außerdem ist das kreuzweise Schneiden unter Einsatz einer einzigen Schneideeinrichtung mit Änderung der Ausrichtung des die Halbleiter-Substrate tragenden Tischs ebenfalls ein bekanntes Trennverfahren. Darüber hinaus wird bei derartigen Trennprozessen vor dem Schneiden ein Filmbonden und nach dem Schneiden mit einer Reinigungsflüssigkeit eine Reinigung durchgeführt, um anhaftenden Schneidabfall zu entfernen.
  • Die konventionellen Trennprozesse sind jedoch mit verschiedenen Problemen behaftet und lassen nicht immer eine Steigerung der Produktivität zu. Was das Filmbonden anbetrifft, so kann beim Schneiden von gebondetem Material das Schneidwerkzeug zugesetzt und sein Leistungsverhalten beeinträchtigt werden mit dem Ergebnis, dass fehlerhafte Produkte anfallen.
  • Da weiterhin die Reinigung nach dem Schneiden mit Waschwasser durchgeführt wird, besteht die Gefahr, dass Schwermetalle zur Lösung gelangen, so dass eine spezielle Abwasseraufbereitung erforderlich ist, um Umweltprobleme zu verhindern, und sich somit die Kosten für das Produkt erhöhen. Das zum Reinigen eingesetzte Wasser dringt in feine Risse und abgeblätterte Bereiche aufeinandergestapelter Teile ein und verbleibt in diesen Abschnitten. Infolgedessen besteht die Gefahr, dass diese Teile korrodieren oder dass Kriechströme auftreten, so dass ein fehlerhaftes Produkt anfällt.
  • Das vorerwähnte Schneiden wird mit einer einzigen Schneideinrichtung unter taktweiser Vorschubbewegung des Tisches, welcher das zu schneidende Element wie eine Verdrahtungsplatte oder dergleichen trägt, und Änderung seiner Richtung durchgeführt, so dass der Schnitt in immer wechselnden Richtungen erfolgt. Ein gleichzeitiges Schneiden in zwei Richtungen ist mit einer einzigen Bearbeitungsvorrichtung nicht möglich. Weiter wird bei der Massenherstellung eine Fertigungslinie benutzt und die Bearbeitung in mehrere Prozesse unterteilt. Dies führt jedoch zum Einsatz von Linien, die exklusiv für zu bearbeitende spezifische Produkte benutzbar sind, so dass es einem derartigen Verfahren an Flexibilität mangelt; darüber hinaus ist ein derartiger Prozess teuer und erfordert dieser viel Raum für die Anlage.
  • Besonders in solchen Fällen, wo die Art des zu schneidenden Elements einer Verdrahtungsplatte oder dergleichen variiert, müssen teure Vorrichtungen und Werkzeuge gewechselt werden; weiter sind auch ein gewisser Grad an Erfahrung mit dem Arbeitsablauf sowie Zeit für einen solchen Wechsel erforderlich. Auch beinhalten in Fällen, wo die fertigen Produkte wieder aufgenommen und angeordnet werden müssen, die konventionellen Verfahren einen Prozess, bei dem die aus metallischem Lot bestehenden und mit gedruckten Schaltungsplatten verbundenen Lötkügelchen beim Schneiden dem Schneidwerkzeug zugewandt sein müssen. Anders ausgedrückt wird das Schneiden normalerweise mit nach oben gewandten Lötkügelchen durchgeführt. Somit werden nach dem Schneiden oder bei ihrer Wiederaufnahme die Produkte wieder umgedreht und mit den Lötkügelchen nach unten gerichtet in einem Gehäuse positioniert. Damit ist auch Zeit für dieses Anordnen erforderlich.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung ist auf der Basis dieses technischen Hintergrunds entwickelt worden und bezweckt die Erfüllung folgender Aufgaben:
    Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahrens und einer Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen, die so konzipiert sind, dass unterschiedliche Verdrahtungsplatten gleichzeitig von mehreren Schneideeinrichtungen geschnitten werden können, so dass die Produktionsleistung im Sinne der Wirtschaftlichkeit verbessert wird.
  • Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung beinhaltet die Bereitstellung eines Verfahrens und einer Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen, die so konzipiert sind, dass der in einem Schneideschritt angefallene Staub aufgefangen wird, um die elektronischen Teile beim Schneiden zu schützen und damit ihre Qualität zu verbessern.
  • Eine noch weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahrens und einer Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen, bei dem bzw. der die Positionen der geförderten Verdrahtungsplatten genau erkannt werden, so dass der Schnitt in genauen Schneidepositionen erfolgt und damit der Schneidwirkungsgrad erhöht wird.
  • Schließlich hat eine noch weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen zum Gegenstand, die so konzipiert sind, dass die geschnittenen Elektronik-Teile in einem Produkt-Anordnungsschritt gereinigt und umgedreht werden, so dass innerhalb kurzer Zeit eine wirksame Produktanordnung möglich ist.
  • Zur Lösung der vorbeschriebenen Aufgaben bedient sich die vorliegende Erfindung der folgenden Mittel:
    Das Verfahren der vorliegenden Erfindung zur Herstellung von Elektronik-Teilen umfasst die folgenden Schritte: einen Förderschritt, in welchem harzversiegelte plattenförmige Elektronik-Teile gefördert werden; einen ersten Befestigungsschritt, in welchem die plattenförmigen Elektronik-Teile positioniert und an Ort und Stelle befestigt werden; einen ersten Schneideschritt, in welchem die plattenförmigen Elektronik-Teile, die in dem ersten Befestigungsschritt positioniert und an Ort und Stelle befestigt wurden, in eine Richtung in einer Ebene bewegt werden, die diese Elektronik-Teile einschließt, und geschnitten werden; einen zweiten Befestigungsschritt, in welchem streifenförmige Elektronik-Teile, die in dem ersten Schneideschritt geschnitten wurden, gefördert, positioniert und an Ort und Stelle befestigt werden; einen zweiten Schneideschritt, in welchem die streifenförmigen Elektronik-Teile, die in dem zweiten Befestigungsschritt gefördert, positioniert und an Ort und Stelle befestigt wurden, in eine die vorstehend erwähnte Schnittrichtung kreuzende Richtung bewegt und geschnitten werden; und einen Produkt-Anordnungsschritt, in welchem einzelne Elektronik-Teile, die in dem zweiten Schneideschritt geschnitten wurden, angeordnet werden.
  • Weiter können der erste und der zweite Befestigungsschritt einen optischen Positionserkennungsschritt umfassen, in welchem die Positionen der geförderten platten- oder streifenförmigen Elektronik-Teile optisch erkannt werden.
  • Außerdem können der erste und der zweite Befestigungsschritt Druckbefestigungsschritte sein, in welchen die platten- oder streifenförmigen Elektronik-Teile durch das Ausüben von Druck von oben an Ort und Stelle befestigt werden, nachdem sie auf einem Trägertisch platziert wurden.
  • Darüber hinaus können der erste und der zweite Schneideschritt Schritte sein, in welchen das Schneiden vorgenommen wird, indem ein rotierendes Schleifrad zur Bewegung angetrieben wird.
  • Weiterhin können der erste und der zweite Schneideschritt einen Schritt umfassen, in welchem Staub oder dergleichen, der durch das Schneiden erzeugt wurde, durch Absaugen entfernt wird.
  • Weiter kann der Produkt-Anordnungsschritt einen Schritt umfassen, in welchem die in dem zweiten Schneideschritt ge schnittenen einzelnen Elektronik-Teile erfasst und umgedreht werden und die Ausrichtung der Elektronik-Teile geändert wird.
  • Außerdem kann der Produkt-Anordnungsschritt einen Schritt umfassen, in dem die geklemmten einzelnen Elektronik-Teile abgebürstet werden.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen umfasst einen Beförderungskörper, der zur Förderung der Elektronik-Teile verwendet wird; eine erste Befestigungseinrichtung, welche von dem Beförderungskörper geförderte plattenförmige Elektronik-Teile, die in Harz versiegelt sind, positioniert und befestigt; eine erste Schneideeinrichtung, welche die durch die erste Befestigungseinrichtung positionierten sowie an Ort und Stelle befestigten Elektronik-Teile in eine Richtung auf der Ebene bewegt, die die Elektronik-Teile einschließt, und diese Elektronik-Teile schneidet; eine zweite Befestigungseinrichtung, welche durch die erste Schneideeinrichtung geschnittene streifenförmige Elektronik-Teile befördert, positioniert und befestigt; eine zweite Schneideeinrichtung, welche die von der zweiten Befestigungseinrichtung geförderten, positionierten sowie an Ort und Stelle befestigten steifenförmigen Elektronik-Teile in einer Richtung bewegt, welche die vorstehend erwähnte Schnittrichtung kreuzt, und diese Elektronik-Teile schneidet; und eine Produkt-Anordnungsvorrichtung, welche die von der zweiten Schneideeinrichtung geschnittenen einzelnen Elektronik-Teile anordnet.
  • Außerdem können die erste und die zweite Befestigungseinrichtung eine Positionserkennungseinrichtung umfassen, die optisch die Positionen der geförderten platten- bzw. streifenförmigen Elektronik-Teile erkennt.
  • Weiterhin ist die Einrichtung, welche die Positionen der platten- bzw. streifenförmigen Elektronik-Teile optisch erkennt, eine Einrichtung, welche die Formen dieser Elektronik-Teile mittels einer CCD-Kamera erfasst und die Schneidepositionen bestimmt.
  • Auch können die erste und die zweite Befestigungseinrichtung Vorrichtungen sein, welche die geförderten platten- oder streifenförmigen Elektronik-Teile mittels Haltegliedern befestigen, die Druck von oben ausüben, nachdem die Elektronik-Teile auf einem Trägertisch angeordnet wurden.
  • Darüber hinaus können die erste und die zweite Befestigungseinrichtung mit Mitteln versehen sein, welche die plattenförmigen Elektronik-Teile über Vakuum-Saugkraft festlegen.
  • Weiter können in der ersten und der zweiten Befestigungseinrichtung Vorsprünge auf den Haltegliedern angeordnet sein, die zum Andrücken der platten- oder streifenförmigen Elektronik-Teile benutzt werden.
  • Außerdem können die Halteglieder zum Befestigen der platten- oder streifenförmigen Elektronik-Teile nach deren Anordnung auf einem Trägertisch Schneidenuten aufweisen, die in dem Trägertisch und in den Haltegliedern ausgebildet sind und dazu verwendet werden, den Durchgang eines Rotationswerkzeugs zum Schneiden dieser Elektronik-Teile zu ermöglichen.
  • Weiterhin können die erste und die zweite Schneideeinrichtung mit Staubsammlern ausgestattet sein, die mit Saugwirkung arbeiten, um beim Schneiden erzeugten staubförmigen Schneidabfall aufzufangen.
  • Auch lassen sich die erste und die zweite Schneideeinrichtung in der Weise ausbilden, dass sie mit Rotations-Schneidwerkzeugen ausgestattet sind sowie Vorschub- und Rückzugsbewegungen auf zwei oder mehr Achsen ausführen.
  • Darüber hinaus können die Rotationswerkzeuge Werkzeuge sein, die als zusammengesetzte Werkzeuge durch elektrolytische Abscheidung von Diamant-Schleifkörnern und CBN-Schleifkörnern (CBN = kubischkristallines Bornitrid) gebildet sind.
  • Weiter kann die Produkt-Anordnungseinrichtung eine Vorrichtung sein, welche die einzelnen Elektronik-Teile erfasst, die durch die zweite Schneideeinrichtung geschnitten wurden, diese Elektronik-Teile umdreht und die Ausrichtung dieser Elektronik-Teile ändert.
  • Schließlich kann die Produkt-Anordnungseinrichtung eine Vorrichtung aufweisen, welche die erfassten einzelnen Elektronik-Teile abbürstet.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Es zeigen:
  • 1 eine Perspektivansicht des mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung hergestellten Produkts;
  • 2 eine Darstellung der mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung hergestellten Verdrahtungsplatte, 2(a) eine Perspektivansicht der gesamten Verdrahtungsplatte, 2(b) eine teilweise im größeren Maßstab gezeichnete Ansicht von 2(a) und 2(c) eine teilweise im größeren Maßstab gezeichnete Ansicht von 2(b);
  • 3 eine Gesamtansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung, 3(a) eine den gesamten konstruktiven Aufbau darstellende Perspektivansicht und 3(b) eine der Erläuterung dienende schematische Darstellung der in der Vorrichtung enthaltenen entsprechenden Vorrichtungen in Modellform;
  • 4 eine Prinzipzeichnung, die den konstruktiven Aufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung zeigt;
  • 5 ein Prozessablaufdiagramm des Prozesses zur Herstellung der Elektronik-Teile mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung;
  • 6 ein Blockdiagramm des Steuerteils für die erfindungsgemäße Vorrichtung;
  • 7 eine Perspektivansicht, aus dem das Verhältnis zwischen dem Trägertisch und dem Halteglied der ersten Befestigungseinrichtung hervorgeht;
  • 8 eine Perspektivansicht, aus dem das Verhältnis zwischen dem Trägertisch und dem Halteglied der zweiten Befestigungseinrichtung ersichtlich ist;
  • 9 eine Perspektivansicht, welche einen Bereich mit kleinen Öffnungen im Trägertisch zeigt;
  • 10 eine Perspektivansicht der ersten Schneidevorrichtung;
  • 11 eine Perspektivansicht, aus welcher die Art der Befestigung des Rotationswerkzeugs am Kopf der Schneideeinrichtung hervorgeht;
  • 12 eine Perspektivansicht der zweiten Schneideeinrichtung;
  • 13 eine Perspektivansicht, aus welcher die Art der Befestigung des Rotationswerkzeugs am Kopf der Schneideeinrichtung hervorgeht;
  • 14 eine Perspektivansicht, welche die Ausbildung von Rippen für den Kopf der Schneideeinrichtung zeigt;
  • 15 eine Perspektivansicht der Reinigungseinrichtung;
  • 16 eine Perspektivansicht, aus welcher die Position eines Paars einander zugewandter Bürsten sowie der Durchgang einer Verdrahtungsplatte (zwischen den Bürsten) ersichtlich ist;
  • 17 eine Darstellung der Klemmelemente, 17(a) eine Perspektivansicht, welche den konstruktiven Aufbau der Einrichtung zum Erfassen der Verdrahtungsplatte zeigt, und 17(b) eine Perspektivansicht, in welcher das Umdrehen der Klemmelemente in der Einrichtung gemäß 17(a) dargestellt ist; und
  • 18 eine Darstellung des Rotationswerkzeugs, 18(a) eine Perspektivansicht des Werkzeugs als Ganzes, 18(b) eine teilweise im größeren Maßstab gezeichnete Ansicht von
  • 18(a) und 18(c) eine teilweise im größeren Maßstab gezeichnete Ansicht von 18(b).
  • BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • (Ausführungsform 1)
  • Es folgt eine Beschreibung der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen. 1 zeigt einen mittels der erfindungsgemäßen Schneideeinrichtungen zugeschnittenen Objekt-IC-Chip, nämlich ein durch abschließendes Zuschneiden hergestelltes Bauteil. 2 stellt Elektronik-Teile in Form von plattenförmigen Verdrahtungsplatten vor dem Schneiden, 2(a) die Gesamtform der Verdrahtungsplatte, 2(b) eine teilweise in einem größeren Maßstab gezeichnete Ansicht der 2(a) und 2(c) eine teilweise im größeren Maßstab gezeichnete Ansicht der 2(b) dar. Einzelheiten werden nachfolgend beschrieben.
  • Das Produkt 1 hat die äußere Form des mittels der erfindungsgemäßen Schneideeinrichtungen zugeschnittenen Endprodukts. Es wird allgemein als IC-Baueinheit bezeichnet, wobei ein IC-Chip 2 im Inneren dieser Baueinheit angeordnet ist. Die Verdrahtungsplatte 3 ist im Zustand vor dem Schneiden dargestellt, indem sich eine Anzahl der Produkte 1 vor dem Trennen derselben in der Platte befinden. Die Verdrahtungsplatte 3 ist ein Ganzes mit einer Anzahl von hierauf montierten IC-Chips 2 und wird für die elektrische Verbindung elektrischer Drähte mit Lötkügelchen 7 auf der Unterseite der Verdrahtungsplatte 3 benutzt.
  • Die gesamte Oberseite der Verdrahtungsplatte 3 ist mit einer aufgepressten Schutzschicht 8 aus Kunstharz abgedeckt, um die IC-Chips 2 zu schützen. Somit bildet die Verdrahtungsplatte 3 in der vorliegenden erfindungsgemäßen Ausführungsform eine Vielzahl sogenannter IC-Baueinheiten. Diese IC-Baueinheiten werden durch Unterteilen dieser Verdrahtungsplatte 3 in IC-Chip-Module 2 hergestellt. In den letzten Jahren hat sich jedoch die Integration von IC-Chips 2 in solchen IC-Baueinheiten immer weiter verstärkt, so dass sich die Größenzunahme dieser Baueinheiten beschleunigt hat.
  • Aber auch die Technologie der IC-Baueinheiten selbst wurde weiterentwickelt mit dem Ziel, die Außenmaße der Bauelemente zu verringern. Ein Beispiel hierfür ist die sogenannte Microel-Ausführung (BGA), die in Mobiltelefonen oder dergleichen eingesetzt wird. Bei einer derartigen Microel-Ausführung ist die Baugröße verringert durch Erzielen eines engen Elektrodenabstands, d.h. einer hohen Elektrodendichte, wobei die Leitungen in Bereichsgruppierungen auf der Unterseite der IC-Baueinheit angeordnet sind.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen sind auch im Falle der vorgenannten Microel-Ausführungen anwendbar. Sie beinhalten eine Herstellungstechnik, mit der solche IC-Baueinheiten als Produkte 1 aus einer Verdrahtungsplatte 3 herausgeschnitten werden. Als Nächstes folgt eine Beschreibung solcher IC-Baueinheiten. Die Verdrahtungsplatte 3 ist ein Laminat aus mehreren (im vorliegenden Beispiel drei) gebondeten dünnen Folien 6 aus hitzehärtbarem Kunstharz wie Epoxy-Harz oder dergleichen.
  • Zuleitungsdrähte 10 aus Metall wie Kupfer oder dergleichen sind so verschaltet, dass sie sich zwischen den dünnen Folien 6 nicht kreuzen; weiter sind die Drahtverbindungen durch Stitchbonden der oberen, mittleren und unteren Folien 6, 6a und 6b hergestellt. Die IC-Chips 2 sind in einer Anzahl von Reihen in Form eines Gitters mit der Oberfläche dieser Schicht 6 verbunden. Anschlüsse in Form mit den IC-Chips 2 verbundener Lötkügelchen 7 befinden sich auf der Unterseite der IC-Baueinheiten, in denen diese IC-Chips platziert sind.
  • Diese Lötkügelchen 7 weisen eine halbkugelige Form auf und bestehen aus einem Lötmetall, das bekanntermaßen einen einfachen Zusammenbau von gedruckten Schaltungen usw. ermöglicht. Weiter sind die Oberseiten der IC-Chips 2 (einschließlich der Verbindungsdrähte 9) mit einer auf gepressten Schicht 8 zum Schutz der IC-Chips 2 abgedeckt. Dieser Schutzüberzug 8 ist als dünne Folie aus hitzehärtbarem Kunstharz vorgesehen. Die Verbindungsdrähte 9 sind als Leiter von den IC-Chips 2 angeschlossen.
  • Die Verdrahtungsplatte 3 ist ein aus einer Vielzahl von IC-Baueinheiten bestehendes Ganzes und zwischen den IC-Einheiten mit Ausnehmungen versehen. Die Verdrahtungsplatte 3 ähnelt ihrem äußeren Erscheinungsbild nach einem Schokoladenriegel und stellt sich dar als ein einzelnes plattenförmiges Teil, das durch Laminieren der Schichten 6, 6a und 6b hergestellt ist. Weiter sind erste Schneidpositionsmarken 4 und 5 für das Erkennen der Schneidpositionen durch eine (später zu beschreibende) Positionserkennungseinrichtung in die Verdrahtungsplatte 3 eingraviert bzw. auf diese aufgedruckt. Es folgt nunmehr eine detaillierte Beschreibung der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
  • (Gesamtsystem der Herstellungsvorrichtung)
  • 3 ist eine Außenansicht, die den Gesamtaufbau der Vorrichtung S zur Herstellung von Elektronik-Teilen nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung in Modellform zeigt. 3(a) ist eine Außenansicht, in welcher die entsprechenden Einrichtungen in Form von Kästchen dargestellt sind, und 3(b) eine schematische Darstellung der im Innern der Vorrichtung gemäß 3(a) eingebauten Einrichtungen in Modellform. 4 ist eine zur Erläuterung dienende Prinzipzeichnung, aus welcher der gesamte konstruktive Aufbau dieser Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen ersichtlich ist. 5 ist eine der Veranschaulichung dienende schematische Darstellung, welche die Herstellungsschritte bis zu dem Punkt, wo die Verdrahtungsplatte 3 durch Schneiden in einzelne IC-Baueinheiten unterteilt wird, aufzeigt.
  • Generell umfasst die Vorrichtung S zur Herstellung von Elektronik-Teilen einen Förderteil 11, einen Bearbeitungsteil 12 und einen Anordnungsteil 13. Der Förderteil 11 dient dem Transport der Verdrahtungsplatten 3. Der Arbeitsteil 12 weist auf eine Erkennungseinrichtung, die zum Erkennen der Schneidepositionen der zu unterteilenden Verdrahtungsplatten 3 eingesetzt wird, zwei Schneideeinrichtungen zum Unterteilen der Verdrahtungsplatten 3, einen Staubsammler zum Auffangen von durch das Schneiden freigesetztem Staub sowie eine Reinigungseinrichtung zum Säubern der zugeschnittenen IC-Baueinheiten. Der Anordnungsteil 13 wird zum Anordnen der fertigen Produkte benutzt.
  • In 3 werden die Verdrahtungsplatten 3 von der linken Seite der 3(b) aus über den Förderteil 11 transpor tiert. Der Mittelbereich in 3(b) ist der Bearbeitungsteil 12; dieser Bearbeitungsteil 12 weist zwei Arbeitsbereiche auf, nämlich einen am ersten Schnitt beteiligten Bearbeitungsteil 12A und einen am zweiten Schnitt mitwirkenden zweiten Bearbeitungsteil 12B.
  • Als in die Schneideprozesse eingebundene entsprechende Einrichtungen sind eine erste und eine zweite CCD-Kamera, die Erkennungseinrichtungen darstellen und deren Einbaupositionen und Formen an anderer Stelle noch zu beschreiben sein werden, die Verdrahtungsplatten aufnehmenden Trägertische 21 und 31, Halteglieder 22 und 32, eine erste Schneideeinrichtung 23 und eine zweite Schneideeinrichtung 33, Staubsammler 24 und 34, und eine Bürstenwalze 25 installiert. Weiter ist im oberen Bereich des Bearbeitungsteils 12 eine Steuereinrichtung 14 angeordnet, welche die Arbeitsabläufe der jeweiligen Einrichtungen steuert.
  • Der Anordnungsteil 13, welcher bezogen auf die Ausrichtung gemäß 3(b) auf der rechten Seite angeordnet ist, besteht aus einer Produkt-Austrageinrichtung 80 (siehe 4) und einem Produkt-Anordnungskasten 81. Weiter sind Staubsammler 24 und 34 unter dem Arbeitsteil 23 vorgesehen, die nach dem Schneiden den anfallenden Staub auffangen.
  • Als Nächstes folgt eine detaillierte Beschreibung des konstruktiven Gesamtaufbaus mit Bezug auf 4 und 5. Eine erste Fördereinrichtung 41 ist bezogen auf die Ausrichtung in 4 und 5 am linken Ende angeordnet; diese Fördereinrichtung 41 trägt Verdrahtungsplatten 3 und fördert diese nach rechts. Die als Erkennungseinrichtung dienende erste CCD-Kamera 20 ist in der Weise angeordnet, dass sie in die Verdrahtungsplatten 3 eingravierte erste Erkennungspositionsmarken erkennt.
  • Bei der ersten Schneideeinrichtung 23 handelt es sich um eine Vorrichtung, welche die Verdrahtungsplatten 3 in einer Richtung in separate Teile schneidet. Durch dieses Schneiden werden die Verdrahtungsplatten 3 in rechteckige Plattenabschnitte 3a (siehe 5) unterteilt. Nach dem Schneiden werden diese rechteckigen Plattenabschnitte 3a verschoben und mittels der zweiten Fördereinrichtung 42 der zweiten Schneideeinrichtung 33 zugeführt. Hierbei werden die zweiten Schneidpositionsmarken 5 von der zweiten CCD-Kamera 30, die eine zweite Erkennungseinrichtung bildet, erfasst. Die zweite Schneideeinrichtung 33 ist in ihrer Ausrichtung relativ zur Ausrichtung der ersten Schneideeinrichtung 23 um 90° verändert und in der Nähe der ersten Schneideeinrichtung 23 angeordnet, so dass sie die Plattenabschnitte 3a unterteilen kann.
  • Die rechteckigen Verdrahtungsplatten 3a werden zu je zwei Abschnitten aus der ersten Schneideeinrichtung 23 ohne jede Richtungsänderung durch die erste und die zweite Fördereinrichtung 41, 43 an die zweite Schneideeinrichtung übergeben. Entsprechend den Pfeilen in 4 und 5 bewegt sich die zweite Fördereinrichtung 42 senkrecht in Verschieberichtung, um die rechteckigen zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a zu fördern. Die übergebenen geschnittenen Verdrahtungsplatten 3a haben die Form langer schlanker Streifen und werden durch die zweite Fördereinrichtung 43 in Längsrichtung eingetragen. Nach Erfassen der zweiten Schneidepositionsmarken 5 durch die zweite CCD-Kamera in einer Zwischenposition werden die Verdrahtungsplatten 3a an Ort und Stelle befestigt und durch die zweite Schneideeinrichtung 33 geschnitten, wobei die Schneidrichtung relativ zur ersten Schneidrichtung um 90° verändert ist.
  • Die aus dieser Schneidebearbeitung hervorgehenden einzelnen Verdrahtungsplatten 3b stellen die IC-Baueinheiten in ihrer Originalform dar. Die geschnittenen und aus der zweiten Schneideeinrichtung 33 zugeführten Verdrahtungsplatten 3b treten in eine Reinigungsphase ein, in welcher sie von einer Bürstenwalze 25 abgebürstet werden. Nach erfolgten Bürsten in diesem Reinigungsprozess werden die Verdrahtungsplatten 3b umgedreht und als fertige IC-Baueinheiten im Produkt-Anordnungsteil 81 aufgenommen. Nach der vorliegenden Erfindung werden also mit nur einer einzigen Vorrichtung eine Reihe systematischer Arbeitsabläufe voll automatisiert und ausgeführt.
  • (Steuereinrichtung 14)
  • 6 ist ein Blockdiagramm, welches die Systemsteuerung der durch die erfindungsgemäße Herstellungsvorrichtung S ausgeführten Schneideschritte zeigt. Die Steuereinrichtung 14 übernimmt die betriebliche Steuerung der Prozessabläufe des Förderteils 11, des Bearbeitungsteils 12 und des Anordnungsteils 13 in der Weise, dass das Schneiden der Verdrahtungsplatten 3 organisch ablaufen kann. Die Zentraleinheit 101 ist ein Steuerelement, das die Basis der Bearbeitungsanlage bildet. Der Festspeicher 102 (ROM) ist ein Speicherteil, in dem die Basisprogramme der Schneideschritte der erfindungsgemäßen Herstellungsvorrichtung S abgelegt sind.
  • Der Direktzugriffsspeicher 102 (RAM) ist ein Speicherteil, in dem Daten und dergleichen gespeichert sind; bei Ände rung der Einstellbedingungen lassen sich diese Daten über ein Bedienungspult oder dergleichen neu schreiben. Der Anzeigebereich 104 besteht aus einem Bildschirmgerät oder dergleichen und zeigt den Inhalt von Programmen sowie Daten an. Die Steuerelemente der einzelnen Einrichtungen sind organisch (mit diesem Anzeigebereich) verbunden und es werden die Stellglieder der entsprechenden Einrichtungen (unter Benutzung des Anzeigebereichs) betätigt.
  • Der Steuerbereich 105 dient zur Steuerung des Fördererteils, der Steuerbereich 106 zur Steuerung des Arbeitsbetriebs des Bearbeitungsteils und der Steuerbereich 107 zur Steuerung des Anordnungsbetriebs des Anordnungsteils. Der weitere Steuerbereich 108 ist beispielsweise zur Steuerung des Betriebs anderer Förderelemente und dergleichen vorgesehen. Der allgemeine konstruktive Aufbau des Steuersystems für die erfindungsgemäße Herstellungsvorrichtung ist wie vorbeschrieben.
  • In solchen Fällen, wo beispielsweise die Geschwindigkeiten der Fördereinrichtungen, Rotationswerkzeuge oder dergleichen oder aber die Einstellpositionen geändert werden, lassen sich diese Änderungen unter Beobachtung des Bildschirms des vorerwähnten Anzeigebereichs 104 vornehmen. Es folgt nunmehr eine detaillierte Beschreibung der einzelnen Einrichtungen.
  • (Förderteil 11)
  • Die von außerhalb der Vorrichtung eingesetzten Verdrahtungsplatten 3 werden in vorgegebenen Positionen platziert und durch die Ladevorrichtung 47a der ersten Fördereinrichtung 41 transportiert, wobei die Fläche mit den Lötkügelchen 7 nach oben gerichtet ist. Diese erste Fördereinrichtung 41 dient auch als Anordnungskammer, in welcher eine Anzahl von Verdrahtungsplatten 3 angeordnet werden. Zum Zeitpunkt des Schnitts werden die Verdrahtungsplatten 3 durch die Ladevorrichtung 41a einzeln den Schneideeinrichtungen zugeführt. Die Ladevorrichtung 41a arbeitet zweidimensional, nämlich senkrecht und in Förderrichtung.
  • Die Position der Ladevorrichtung 41a wird durch eine auf der Basis installierte lineare Führung (in den Zeichnungen nicht dargestellt) reguliert. Bei dieser linearen Führung handelt es sich um eine handelsübliche Linearführung, so dass von einer Beschreibung derselben an dieser Stelle abgesehen wird. Weiter bewegt sich beim Einsetzen von Verdrahtungsplatten 3 diese Ladevorrichtung 41a, um andere Platten 3 auszustoßen.
  • (Bearbeitungsteil 12)
  • Dieser Bearbeitungsteil 12 besteht aus einer ersten CCD-Kamera 20 und einer zweiten CCD-Kamera 30, welche zum Positionieren der geförderten Verdrahtungsplatten 3 auf dem Trägertisch 21 benutzt werden, einer ersten Schneideeinrichtung 23 und einer zweiten Schneideeinrichtung 33 zum Unterteilen der befestigten Verdrahtungsplatten 3, zweiten Fördereinrichtungen 42 und 43, welche die Verdrahtungsplatten 3 von der ersten Schneideeinrichtung 23 zur zweiten Schneideeinrichtung 33 transportieren sowie die Platten positionieren und befestigen, Staubsammlern 24 und 34 zum Auffangen des von der ersten und der zweiten Schneideeinrichtung 23, 33 erzeugten Staubs, einer Reinigungseinrichtung 70 zum Reinigen der von der zwei ten Schneideeinrichtung 33 geschnittenen Verdrahtungsplattenprodukte usw.
  • a. Trägertische 21 und 22
  • Es folgt eine Beschreibung der Trägertische 21 und 22 in der Hauptsache mit Bezug auf 7 und 9, wobei jedoch auch auf 4 und 5 Bezug genommen ist. Die geförderten Verdrahtungsplatten 3 werden auf den Trägertisch 21 abgelegt. Dieser Trägertisch 21 besitzt eine in Längsrichtung gesehen gestreckte Form. Im mittleren Teil des Trägertischs 21 ist eine Schneidenut 21a vorgesehen, die von oben nach unten verlaufend über den gesamten Trägertisch 21 hinweg ausgebildet ist. Diese Schneidenut 21a ermöglicht den Durchgang eines Rotations-Schneidwerkzeugs 63. Ein Schlauch 24a ist zum Auffangen von beim Schneiden erzeugtem Staub an das untere Ende dieser Schneidenut 21a angeschlossen.
  • Ein Staubsammler 24 ist an der Spitze dieses Schlauchs 24a angeordnet. Somit wird der beim Schneiden unterhalb des Trägertischs 21 anfallende staubförmige Schneidabfall über den Schlauch 24a in den Staubsammler 24a gesaugt und gesammelt. Weiter sind eine Anzahl kleiner Öffnungen 21b entlang der Schneidenut 21a des Trägertischs 21 durch den Letzteren verlaufend vorgesehen. Diese kleinen Öffnungen 21b dienen dazu, die Verdrahtungsplatte 3 durch die Saugwirkung des Staubsammlers 24 über diese Löcher hinweg auf dem Trägertisch 21 zu halten.
  • Da der beim Schneiden erzeugte Staub gleichzeitig abgesaugt wird, ist die die Verdrahtungsplatte 3 auf dem Träger tisch 21 haltende Saugkraft keine starke Kraft und lediglich leistungsunterstützend vorgesehen. Um einen sicheren Halt zu gewährleisten, erfolgt die Befestigung durch Saugwirkung über eine vom Staubsammler 24 unabhängige spezielle Einrichtung. Im Falle relativ großer und schwerer Verdrahtungsplatten 3 ist eine derartige Haltefunktion mittels Saugkraft nicht erforderlich. Ein solches Verfahren ist im Falle kleiner und leichter Verdrahtungsplatten 3 wirksam.
  • Vor dem Platzieren auf den Trägertisch 21 laufen die Verdrahtungsplatten 3 an der Unterseite der Erkennungseinrichtung, d.h. die erste CCD-Kamera 20, vorbei. Diese erste CCD-Kamera 20 erkennt graphisch die Positionen der Lötkügelchen 7 auf den Verdrahtungsplatten 3 bzw. die vorher auf den Platten 3 vorgesehenen ersten Schneidemarken 4 und bestimmt die Positionen für den Schnitt.
  • Da das lagemäßige Verhältnis zwischen der ersten CCD-Kamera 20 und dem Trägertisch 21 festliegt, erfolgt beim Auflegen der Verdrahtungsplatten 3 auf den Trägertisch 21 betrieblich eine genaue Positionierung relativ zum Schneidwerkzeug. Als Nächstes werden die genau platzierten Verdrahtungsplatten 3 durch das oberhalb der Platten in Wartestellung befindliche Halteglied 22 an Ort und Stelle fixiert. Die Konstruktion dieses Halteglieds 22 ist ähnlich der des Trägertischs 21, auf dem die Verdrahtungsplatten 3 festgelegt werden, wobei die Platten 3 zwischen dem Halteglied 22 und dem Trägertisch 21 fixiert werden.
  • Im Einzelnen wird das Halteglied 22 in Richtung der auf dem Trägertisch 21 liegenden Verdrahtungsplatte 3 abgesenkt, so dass die Platte 3 zwischen dem Halteglied 22 und dem Trä gertisch 21 eingeklemmt wird. Weiter ist eine Schneidenut 22a genau wie bei dem vorbeschriebenen Trägertisch 21 in dem Halteglied 22 vorgesehen, welche den Durchgang eines Schneidwerkzeugs gestattet. Auf der Unterseite des Halteglieds 22 befindet sich ein Vorsprungsteil 22b. Dieser Vorsprung 22b verhindert ein Aufladen mit bzw. den Durchgang von elektrischem Strom und ist aus Gummi, einem elastischen Kunstharz usw. hergestellt. Der Vorsprung 22b ist beispielsweise durch Kleben oder dergleichen an der Unterseite des Halteglieds 22 befestigt.
  • Durch diesen Vorsprung 22b ist ein Verwerfen der Verdrahtungsplatten 3 zum Zeitpunkt der Befestigung unmöglich; weiter wird ein Verstreuen von staubförmigem Schneidabfall in die Umgebung verhindert.
  • b. Erste Schneideeinrichtung 23 und Staubsammler 24
  • Es folgt eine Beschreibung der ersten Schneideeinrichtung in der Hauptsache mit Bezug auf 10, 11, 12, 13 und 14, wobei jedoch auch auf 4 und 5 Bezug genommen ist. Nach dem Klemmen und lagemäßigen Fixieren einer Verdrahtungsplatte 3 durch das Halteglied 22 wird diese durch die erste Schneideeinrichtung 23 zerteilt. Für die Beschreibung dieser ersten Schneideeinrichtung 23 gilt 10. Die Basis 60 der ersten Schneideeinrichtung 23 ist auf dem Endbereich der ersten Fördereinrichtung 41 befestigt. Auf dem oberen Teil der Basis 60 ist eine Führung angeordnet, die von einem Sattel 61 der ersten Schneideeinrichtung 23 überspannt wird und den Vorschub und Rückzug des Sattels in vertikaler Richtung (Y) ermöglicht.
  • Ein Führungselement (nicht dargestellt) befindet sich auch auf der seitlichen Oberfläche des Sattels 61, wobei ein Kopfteil 62 dieses Führungselement überspannt und so geführt wird, dass es in der Eintragrichtung (X) vorgeschoben und zurückgezogen werden kann. Damit ist der Kopf 62 in der hier beschriebenen Ausführungsform in zwei axialen Richtungen, d.h. entlang der X- und der Y-Achse, bewegbar. Die Verdrahtungsplatten 3 werden in jeweils einer Reihe parallel zur Ausrichtung der Z-Achse zugeführt. Nachdem die ersten Schneidepositionsmarken 4 von der ersten CCD-Kamera erkannt worden sind und somit die Position jeder Verdrahtungsplatte 3 bestimmt sowie die Platte 3 auf dem Trägertisch 21 fixiert wurde, wird die Verdrahtungsplatte 3 durch die Bewegung des Kopfes in Richtung der X- und der Y-Achse geschnitten.
  • Weiter erfolgt die Führung dieses Kopfes 62 in Richtung X-Achse mittels eines linearen Lagers (nicht dargestellt). Das Gleiche gilt für die Führung des Sattels 61 in Richtung Y-Achse relativ zur Basis 60. Durch den Einsatz linearer Lager wird eine problemlose Führung mit geringer Belastung sichergestellt. Bei der hier beschriebenen Ausführungsform werden zwei Achsrichtungen benutzt, nämlich die der X- und der Y-Achse, doch ist auch eine Konstruktion einsetzbar, welche eine Bewegung in drei Achsrichtungen, d.h. entlang der X-, der Y- und der Z-Achse, ermöglicht. Weiter sind die für diese Führungsoperationen erforderlichen Antriebskörper nicht in den Zeichnungen dargestellt, können aber in Form von Servomotoren oder dergleichen vorgesehen werden, wobei ein geführter Antrieb über Kugelumlaufspindeln erfolgt.
  • Ein Rotations-Schneidwerkzeug 63 ist frei drehbar in den vorbeschriebenen Kopf 62 eingesetzt. Dieses Rotations-Schneidwerkzeug 63 ist normalerweise ein scheibenförmiges Schneidrad, das auf einer Spindel 62a angeordnet ist. Die Spindel 62a ist im Kopf 62 gelagert und rotiert mit hoher Geschwindigkeit. Bei der hier beschriebenen Ausführungsform ist der Kopf 62 außen winkelförmig ausgebildet.
  • Durch den Kopf 62 verlaufende Lüftungsöffnungen 62b befinden sich in den vier Ecken des Kopfes 62. Diese Konstruktion ermöglicht das Absaugen des beim Schneiden anfallenden Staubs über diese Lüftungsöffnungen 62b. Der so abgesaugte Staub wird im Staubsammler 62 aufgefangen. Der Kopf 62 ist außen winkelförmig, doch können bei einem zylindrisch ausgebildeten Kopf die den Lüftungsöffnungen 62b entsprechenden Teile in Form von Rohren vorgesehen sein. Bei Verwendung solcher Rohre können diese mittels einer winkligen Trennabdeckung auf dem vorderen Teil des Kopfes 62 gelagert sein. Hierbei lässt sich die gleiche Wirkung erzielen wie mit einem winkligen Kopf 62. Durch diese Winkelform wird eine leicht zu kühlende Konstruktion bereitgestellt; außerdem können weitere Einrichtung an diesem Kopf angebracht werden.
  • Weiter ist das Rotations-Schneidwerkzeug 63 mittels eines Bolzens 65 über einen Flansch 64 auf der Spindel 62a befestigt und ist eine Werkzeugabdeckung 66 auf dem Kopf 62 angeordnet, welche den Schneidbereich um das Schneidwerkzeug herum abdeckt (siehe 13). Der in dieser Werkzeugabdeckung 66 anfallende Staub wird über die Lüftungsöffnungen 62b im Staubsammler 24 aufgefangen.
  • Da weiterhin das Rotationswerkzeug 63 mit nach unten weisendem Blatt rotiert, ist der Schneidvorgang so beschaffen, dass der Schneidabfall nach unten abgeführt wird und nicht nach oben entweichen kann. Auch besteht die Gefahr, dass beim Zurückziehen des Werkzeugs Schneidabfall nach oben gezogen wird; um dies zu vermeiden, wird das Werkzeug sanft im Schneidzustand zurück gezogen. Sind die Bedingungen aber günstig insofern, als das Werkzeug nach dem Freisetzen nach oben zurückgezogen werden kann, so ergibt sich hierdurch eine kürzere Rückzugszeit.
  • Wie aus 13 ersichtlich, ist ein Anschlusskasten 67 am hinteren Ende des Kopfes 62 angebracht und ein Motor 68 an diesem Kasten 67 befestigt (siehe 10). Ein Riemen, eine Kupplung oder dergleichen befinden sich als Motor-Anschlusselemente im Innern des Kastens 67. Sind weiterhin Kühlrippen außen am Kopf 62 vorgesehen, so ergibt sich hierdurch eine Kühlwirkung für den Kopf 62. Eine ähnliche Wirkung lässt sich erzielen, wenn die Lüftungsöffnungen 62b in Sternform 69a (siehe 14) mit Rippen versehen sind.
  • c. Zweite Fördereinrichtungen zum Fördern, Positionieren und Befestigen
  • Es folgt eine Beschreibung dieser Einrichtungen in der Hauptsache mit Bezug auf 8, wobei jedoch auch auf 4 und 5 Bezug genommen ist. Die von der ersten Schneideeinrichtung 23 zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a werden aus ihrem Befestigungszustand gelöst und an die zweiten Fördereinrichtungen 42 und 43 übergeben. Diese zweiten Fördereinrichtungen 42 und 43 weisen grundsätzlich die gleiche Konstruktion wie die erste Fördereinrichtung 41 auf. Die zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a sind lange, schlanke streifenförmige Teile, in welchen IC-Einheiten in Reihen angeordnet sind.
  • Der Transport zur zweiten Schneideeinrichtung 33 wird durchgeführt, während die zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a mit Unterdruck in einem Roboter 42a eingespannt sind. Dieser Roboter 42a arbeitet biaxial, nämlich in der senkrechten Richtung und in der Zufuhrrichtung. Die zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a werden eingespannt und gehoben sowie an den Trägertisch 31 der zweiten Schneideeinrichtung 33 übergeben.
  • Bei der hier beschriebenen Ausführungsform werden zwei zugeschnittene Verdrahtungsplatten 3a von der zweiten Fördereinrichtung 43 auf den Trägertisch 31 gegeben. Vorher haben diese zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a die zweite CCD-Kamera 30, d.h. die zweite Erkennungseinrichtung, passiert, so dass die Schneidepositionen erfasst worden sind. Diese Erkennungsmethode ist ähnlich der vorbeschriebenen; die zweiten Schneidepositionsmarken 5 werden erfasst und es werden durch entsprechende Verarbeitung die genauen Schneidepositionen bestimmt.
  • Die Verfahrensweise zum Befestigen in den genauen Positionen ist die gleiche wie die zum Festklemmen durch die Halteglieder 22 auf dem Trägertisch 21. Die Ausrichtung des Trägertischs 31 ist gegenüber der Ausrichtung des Trägertischs 21 um 90° geändert. Werden die beiden streifenförmig zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a in ihrer Längsrichtung auf den Trägertisch 31 gegeben und positioniert, so fährt ein Halteglied 32 vor und klemmt die Platten 3a.
  • Der vor diesem Trägertisch 31 liegende Abschnitt bildet einen Hilfsträgertisch 31a. Der Grund hierfür ist darin zu sehen, dass der Trägertisch 31 eine lange schlanke Einrichtung von geringer Breite ist und die zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a nicht allein aufnehmen kann, wenn diese groß sind. Somit ist dieser Hilfsträgertisch 31a für den Transport der zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a vorgesehen. Wie beim Trägertisch 21 auch ist ein Ende eines zum Absaugen von Staub eingesetzten Schlauchs 34a am unteren Teil des Trägertischs 31 befestigt, um den beim Schneiden erzeugten Schneidabfall durch den Staubsammler 34 über diesen Schlauch 34a einzufangen.
  • Dieser Staubsammler 34 ist identisch mit dem Staubsammler 24, welcher den von der ersten Schneideeinrichtung erzeugten Schneidabfall sammelt; beide Staubsammler nehmen den während der zwei Schneideoperationen erzeugten Schneidabfall auf. Da kleine Öffnungen 21b (31b) in den Trägertischen 21 (31) vorgesehen sind, werden die zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a in der gleichen Weise wie vorbeschrieben durch Saugwirkung auf dem Trägertisch 31 gehalten.
  • c. Zweite Schneideeinrichtung
  • Es folgt eine Beaschreibung der zweiten Schneideeinrichtung in der Hauptsache mit Bezug auf 12, wobei jedoch auch auf 4 und 5 Bezug genommen wird. Sind die zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a durch das Halteglied 32 auf dem Trägertisch 31 befestigt, so werden die beiden platzierten Verdrahtungsplatten 3a gleichzeitig von der zweiten Schneideeinrichtung 33 geschnitten. Diese zweite Schneideeinrichtung 33 ist so angeordnet, dass ihre Ausrichtung um 90° von derjenigen der ersten Schneideeinrichtung abweicht, während die Grundkonstruktion der zweiten Schneideeinrichtung 33 mit derjenigen der ersten Schneideeinrichtung 23 identisch ist.
  • Beim Schnitt schneidet das Rotationswerkzeug die zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a, indem es die vorerwähnten Schneidenuten 21a, 32a in deren Längsrichtung durchfährt. Nach Beendigung des Schnitts wird der Kopf 62 nach oben gezogen und in seine Ausgangsposition zurück geführt. Wird die Befestigung der zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a durch das Halteglied 32 gelöst, so werden die zugeschnittenen Platten 3a durch die zweite Fördereinrichtung 43 nach vorne ausgeschoben. Während in der vorliegenden Ausführungsform ein Verfahren beschrieben wurde, bei dem die zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a in Richtung der Schnittebene positioniert und geschnitten werden, lassen sie sich auch in der vertikalen Richtung positionieren sowie bewegen und schneiden.
  • Der Schneidvorgang wird so wiederholt, wobei die zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a voneinander getrennt werden und schließlich als Verdrahtungsplatten 3b anfallen, welche die Originalformen der jeweiligen IC-Baueinheiten darstellen. Beim Schneiden auch durch diese zweite Schneideeinrichtung 33 wird der Schnitt in der gleichen Weise wiederholt wie im Falle der ersten Schneideeinrichtung 23 und erfolgt der Schnitt durch beide Schneideeinrichtungen gleichzeitig. Durch den gleichzeitigen Betrieb beider Schneideeinrichtungen lässt sich die Bearbeitungszeit für den Schnitt weitgehend verkürzen.
  • d. Reinigungsvorrichtung 70
  • Es folgt eine Beschreibung der Reinigungsvorrichtung 70 in der Hauptsache mit Bezug auf 15, 16 und 17, wobei je doch auch auf 4 und 5 Bezug genommen ist. Die Reinigungsvorrichtung 70 umfasst eine Bürste 71, einen Staubsammelschlauch 72, einen Schaber 73 und eine Abdeckung 74. Die Bürste 71 ist zylindrisch und mit radial verlaufenden feinen Borsten versehen. Da es sich bei dem zu reinigenden Objekt um Verdrahtungsplatten 3b handelt, ist die Bürste 71 aus einem weichen Material hergestellt. Das Abbürsten der Verdrahtungsplatten 3b erfolgt durch Rotation der Bürste 71, so dass den Platten 3b anhaftender Staub entfernt wird.
  • Der Schaber 73 ist ein kammförmiges (gabelförmiges) Teil und kontaktiert die vorerwähnte Bürste 71 über einen Erdleiter, so dass jede Aufladung der Bürste 71 durch statische Elektrizität abgeleitet wird. Es ist eine Abdeckung 74 vorgesehen, welche die Bürste 71 und den Schaber 73 überdeckt, wobei an einem ihrer Enden der vorerwähnte Staubsammelschlauch 72 befestigt ist. Dieser Staubsammelschlauch 72 dient der Abführung des Staubs in den Staubsammler 34 nach dem Reinigen.
  • Die in 16 dargestellte Reinigungsvorrichtung 70 weist zwei Bürsten 71 auf, die einander gegenüberliegend angeordnet sind. Die Reinigungsvorrichtung 70 ist nicht unbedingt erforderlich. Wenn Staub oder dergleichen im Schneideprozess vollständig entfernt wird, so dass keine Gefahr für ein Anhaften an den Verdrahtungsplatten 3 besteht, kann dieser Reinigungsschritt entfallen.
  • In Kombination mit der Reinigungsvorrichtung 70 sind Klemmglieder 75 vorgesehen, die zum Klemmen der von der zweiten Schneideeinrichtung 33 zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3b dienen. Diese Klemmglieder sind stangenförmig ausgebildet und einander gegenüberliegend angeordnet, so dass sie synchron vorgeschoben und zurückgezogen werden können. Die Klemmglieder 75 werden zusammenwirkend rotiert. Die Spitzenendabschnitte der Klemmglieder 75 weisen Abflachungen 76 auf, wobei Klauenteile in Form V-förmiger Nuten in den Stirnbereichen der Abflachungen 76 vorgesehen sind. Diese beiden einander zugewandten Klauenteile werden durch ein Zylinderpaar synchron vorgeschoben und zurückgezogen.
  • Die zugeschnittenen und geförderten Verdrahtungsplatten 3b haben eine im Wesentlichen rechteckige Form. Die Klauenteile der Klemmglieder 75 sind so angeordnet, dass sie einander zugewandt sind und die Endabschnitte der im Wesentlichen rechteckigen Verdrahtungsplatten 3b einklemmen. Die Verdrahtungsplatten 3b werden einzeln nacheinander von den Klauenteilen der Klemmglieder 75 erfasst. Die Klemmglieder 75 mit den festgeklemmten Verdrahtungsplatten 3b werden zwischen die beiden gegenüberliegenden Bürsten 71 geführt. Hierbei werden die Ober- und die Unterseite jeder Verdrahtungsplatte 3b gleichzeitig abgebürstet. Während dieses Bürstschritts werden die beiden einander gegenüberliegenden Klemmglieder 75 in eine Halbdrehung von 180° versetzt, so dass die Ober- und Unterseite einer jeden Verdrahtungsplatte 3b umgekehrt werden.
  • Hierdurch wird die Oberfläche mit den Lötkügelchen 7 nach unten gedreht. Durch dieses Umdrehen der Verdrahtungsplatten 3b während des Fördervorgangs wird Zeit gespart gegenüber dem Fall, in dem die in einer festen Position befindlichen Produkte im Rahmen üblicher Verfahrensweisen nachträglich gedreht werden. Zwar wurde der Arbeitsablauf vorstehend nur für eine einzelne Verdrahtungsplatten-Einheit 3b beschrieben, doch lässt sich selbstverständlich die Arbeitszeit verkürzen, wenn mehrere Verdrahtungsplatten 3b mit dem gleichen Mechanismus bearbeitet werden.
  • (Produkt-Anordnungskasten 81)
  • Hierbei handelt es sich um eine Einrichtung, welche die fertig gereinigten Verdrahtungsplatten 3b als IC-Baugruppen-Produkt aufnimmt. Wenngleich in den Zeichnungen nicht dargestellt, wird die Klemmung der Verdrahtungsplatten 3b durch die Klemmglieder 75 gelöst und werden die Verdrahtungsplatten durch die Fördereinrichtung 80 geordnet in den Produkt-Anordnungskasten 81 eingebracht. Dieser Fördervorgang wird dreidimensional durch einen Roboter der Fördereinrichtung 80 abgewickelt. Mehrere Produkt-Aufnahmekästen 81 sind bereitgestellt, wobei der jeweils volle Kasten ausgefördert wird; der nächste Produkt-Anordnungskasten wird sodann in eine vorbestimmte Position gesetzt und es wird der gleiche Arbeitsablauf fortgesetzt.
  • Nachdem vorstehend die konstruktiven Merkmale der vorliegenden Erfindung beschrieben wurde, folgt nunmehr eine Beschreibung der erfindungsgemäßen Arbeitsweise. Eine mit nach oben weisenden Lötkügelchen 7 zugeführte Verdrahtungsplatte 3 wird auf den Trägertisch 21 gegeben, nachdem die Schneidepositionsmarken 4, welche die Schnittpositionen darstellen, durch die erste CCD-Kamera 20 erkannt wurden. Als Nächstes wird das in einer oberen Wartestellung befindliche Halteglied 22 abgesenkt, so dass die Verdrahtungsplatte 3 an Ort und Stelle fixiert wird. Die Festlegung erfolgt durch den Vorsprung auf der Unterseite des Halteglieds 22.
  • Nach erfolgter Befestigung wird die erste Schneideeinrichtung 23 durch die Schneidenuten im Trägertisch 21 und dem Halteglied bewegt und wird die Verdrahtungsplatte 3 in lange, schlanke streifenförmige Platten 3a unterteilt. Ohne jede Änderung ihrer Ausrichtung werden die geschnittenen Verdrahtungsplatten 3a auf dem Trägertisch 31 der zweiten Schneideeinrichtung 33 platziert, nachdem die zweiten Schneidpositionsmarken 5 von der zweiten CCD-Kamera 30 erfasst worden sind.
  • Sodann wird das Halteglied 32 nach unten gefahren, so dass die geschnittenen Verdrahtungsplatten 3a an Ort und Stelle festgelegt werden. Nach dem Befestigen werden die zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3a durch die zweite Schneideeinrichtung 33 geschnitten. Dieser Schnitt erfolgt gleichzeitig an zwei eingetragenen Streifen. Die zugeschnittenen Verdrahtungsplatten 3b werden von den stangenförmigen Klemmgliedern 75 erfasst und durch die Reinigungsvorrichtung geführt. Während dieses Förderschritts werden die Verdrahtungsplatten 3b umgedreht. Schließlich werden die Verdrahtungsplatten 3b, die gereinigt sind und deren Oberfläche mit den Lötkügelchen 7 nach unten gedreht wurde, als Endprodukte von dem Produkt-Anordnungskasten aufgenommen.
  • (Sonstige Ausführungsformen)
  • (Rotierendes Schleifrad 63)
  • Die rotierenden Schleifräder 63 der Schneideeinrichtungen wurden in der vorliegenden Ausführungsform als scheibenförmige Diamantwerkzeuge beschrieben, doch sind auch CBN-Schleifräder (Schleifräder aus kubischkristallinem Bornitrid) einsetzbar, wie sie bei Schneidbearbeitungen weitgehende Ver wendung finden. Da diese CBN-Schleifräder allgemein bekannt sind, wird von einer Beschreibung ihrer Eigenschaften usw. an dieser Stelle abgesehen. Diese CBN- oder Borazon-Schleifräder sind in folgender Hinsicht wirksam einsetzbar:
    Im Einzelnen sind in den zu schneidenden Verdrahtungsplatten 3, deren Material als Harz bezeichnet werden kann, harte Bestandteile wie Siliziumoxid oder dergleichen einem hitzehärtbaren Harz wie Epoxyharz oder dergleichen zugemischt. Weiter wird ein relativ weiches Metall wie Kupfer oder dergleichen für die Verdrahtungen verwendet. Werden solche Materialien mit einem Diamantwerkzeug geschnitten, so lassen sich die Harzbereiche problemlos schneiden, so dass diesbezüglich kein Problem besteht.
  • Werden jedoch die vorerwähnten Weichmetallbereiche geschnitten, so bilden die Spitzenenden des Diamantblatts einen stumpfen Winkel und wird aufgrund des Schneidens mit hoher Drehgeschwindigkeit das Blatt durch die extreme Hitze verbrannt und abgerundet. Dies hat zur Folge, dass der Schneidewiderstand zunimmt und die Gefahr besteht, dass wegen des niedrigen Schmelzpunkts von Weichmetallen wie Kupfer oder dergleichen diese Weichmetalle schmelzen und die Schleifkörner einer Diamant-Schleifscheibe zusetzen, so dass ein Schneiden unmöglich wird.
  • Borazon-Schleifscheiben besitzen eine geringere Härte als Diamant-Schleifscheiben, doch erfolgt im Falle der Borazon-Schleifscheiben beim Erreichen ihrer Schleifgrenzen (Schneidgrenzen) bei einigen Schleifkörnern eine Selbstzerstörung und Ablösung, so dass diese Schleifkörner durch frische ersetzt werden. Damit wird das Blatt ständig metabolisiert und werden die Schleifeigenschaften erhalten. Das Ablösen von Schleifkörnern findet nur unter ganz bestimmten Bedingungen statt, so dass kein Verschleiß der Schleifscheibe entsteht.
  • Treten also bei den Verdrahtungsplatten 3 derartige Bedingungen ein, so lässt sich ein konstanter Schneidezustand erhalten und ein Zusetzen durch Weichmetalle reduzieren mit dem Ergebnis, dass die Produktqualität verbessert wird. Unter Berücksichtigung der jeweiligen Vorteile von Diamant- und Borazon-Schleifscheiben ist auch der Einsatz von zusammengesetzten Werkzeugen möglich. 18 zeigt ein Beispiel eines solchen zusammengesetzten Werkzeugs. In dieser Zeichnung sind 18(b) eine teilweise im größeren Maßstab gezeichnete Ansicht von 18(a) und 18(c) eine teilweise im größeren Maßstab gezeichnete Ansicht von 18(b).
  • Diese Schleifscheibe ist so aufgebaut, dass in einigen Bereichen des Blatts einer Rotations-Scheidwerkzeugs 63 zahnartige Ausnehmungen (Talbereiche) 63a vorgesehen sind. Diamant-Schleifkörner 63c und CBN-Schleifkörner 63d werden durch elektrolytische Abscheidung auf die Spitzenbereiche 63b des Blatts aufgebracht. Die Mengenanteile an Diamant-Schleifkörnern 63c und CBN-Schleifkörnern 63d sowie die Größe der entsprechenden Schleifkörner 63d werden nach Erfahrung gewählt.
  • Bei der vorliegenden Ausführungsform wurden der Anteil der CBN-Schleifkörner 63d im Bereich von 30% bis 70% und deren Größe mit der ein- bis zweifachen Größe der Diamant-Schleifkörner gewählt; weiter wurde die Konzentration (Dispersionsdichte) der Schleifkörner reduziert. Hierdurch lassen sich die vorbeschriebenen Probleme ausschalten. Besonders beim Schneiden weicher Metalle wurde Kupfer oder dergleichen, das während des Schnitts mit den Schleifkörnern 63c verschmolzen war, mit fortschreitendem Schneideprozess von den Spitzenbereichen 63b der Schleifscheibe in die Ausnehmungen (Talbereiche) geschoben, wobei es bei Erreichen der Talbereiche von der Schleifscheibe gelöst war.
  • Um diese Wirkung zu verstärken sollten die Spitzenbereiche 63b so eng wie möglich innerhalb des unter dem Gesichtspunkt der Stärke bzw. Festigkeit zulässigen Bereichs liegen. Bei größerer Dicke der rotierenden Schleifscheibe 63 besteht die Tendenz, dass beim Schneiden Wärme erzeugt wird. Ist andererseits die Dicke gering, so sind aus Erwägungen der Festigkeit heraus Grenzen gesetzt und besteht eine Tendenz zu Rissbildungen. Die Dicke ist mit dem für die jeweiligen Bedingungen der zu schneidenden Verdrahtungsplatten optimalen Wert einzustellen.
  • (Vorteile der Erfindung)
  • Im Rahmen der vorstehend in ihren Einzelheiten beschriebenen vorliegenden Erfindung sind eine Reihe von Schneidevorgängen, bei denen der Schnitt gleichzeitig durch zwei Schneideeinrichtungen erfolgt, in einer einzigen Vorrichtung konzentriert und Peripherieeinrichtungen vorgesehen, so dass eine kompakte Konstruktion bereitgestellt wird. Damit ist eine wirtschaftliche und hochwirksame Herstellung möglich.
  • Weiterhin wird der konventionelle Schritt des Filmbondens und der Bearbeitung in diesem Zustand überflüssig. Hierdurch wird der zur Herstellung erforderliche Arbeitsaufwand weitgehend reduziert. Da auch keine Reinigung mit Wasser er folgt, besteht keine Notwendigkeit mehr für eine zum Schutze der Umwelt erforderliche Aufbereitung des Wassers, das Kupfer oder dergleichen enthält.
  • Außerdem besteht bei den eingesetzten Schneidwerkzeugen keinerlei Tendenz des Zusetzens, so dass ein langzeitiger stabiler Schneidbetrieb möglich ist und Produkte von gleichmäßiger Qualität hergestellt werden können.

Claims (19)

  1. Verfahren zur Herstellung von Elektronik-Teilen, umfassend die folgenden Schritte: einen Förderschritt, in welchem plattenförmige Elektronik-Teile (3) gefördert werden; einen ersten Befestigungsschritt, in welchem die plattenförmigen Elektronik-Teile (3) positioniert und an Ort und Stelle befestigt werden; einen ersten Schneideschritt, in welchem die plattenförmigen Elektronik-Teile (3), die in dem ersten Befestigungsschritt positioniert und an Ort und Stelle befestigt wurden, in einer Ebene bewegt werden, die die plattenförmigen Elektronik-Teile (3) einschließt, und geschnitten werden; dadurch gekennzeichnet, dass die plattenförmigen Elektronik-Teile (3) in Harz versiegelt werden, und dass auf den ersten Schneideschritt ein zweiter Befestigungsschritt folgt, in welchem die rechteckigen Elektronik-Teile (3a), die in dem ersten Schneideschritt geschnitten wurden, gefördert, angeordnet und an Ort und Stelle befestigt werden; sowie ein zweiter Schneideschritt, in welchem die rechteckigen Elektronik-Teile (3a), die in dem zweiten Befestigungsschritt befördert, angeordnet und an Ort und Stelle befestigt wurden, in einer Richtung bewegt werden, die die vorstehend erwähnte Schneiderichtung kreuzt, und geschnitten werden; und ein Produkt-Anordnungsschritt, in welchem einzelne Elektronik-Teile (3b), die in dem zweiten Schneideschritt geschnitten wurden, angeordnet werden.
  2. Verfahren zur Herstellung von Elektronik-Teilen (3) gemäß Anspruch 1, bei welchem der erste Befestigungsschritt und der zweite Befestigungsschritt einen Positionserkennungsschritt umfassen, in welchem die Positionen der rechteckigen Elektronik-Teile oder der geförderten rechteckigen Elektronik-Teile (3a) optisch erkannt werden.
  3. Verfahren zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 1 oder Anspruch 2, bei welchem der erste Befestigungsschritt und der zweite Befestigungsschritt Druckbefestigungsschritte sind, in welchen die plattenförmigen Elektronik-Teile (3) oder die rechteckigen Elektronik-Teile (3a) an Ort und Stelle durch Ausübung von Druck von oben befestigt werden, nachdem die Elektronik-Teile (3, 3a) auf einem Trägertisch (21, 31) angeordnet wurden.
  4. Verfahren zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 1 oder Anspruch 2, bei welchem der erste Schneideschritt und der zweite Schneideschritt Schritte sind, in welchen das Schneiden durchgeführt wird, indem ein rotierendes Schleifrad (63) zur Bewegung angetrieben wird.
  5. Verfahren zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 1 oder Anspruch 2, in welchem der erste Schneideschritt und der zweite Schneideschritt einen Schritt umfassen, in welchem Staub oder dergleichen, der durch das Schneiden erzeugt wird, durch Saugen entfernt wird.
  6. Verfahren zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 1 oder Anspruch 2, in welchem der Produkt-Anordnungsschritt einen Schritt umfasst, in welchem die einzelnen Elektronik-Teile (3b), die in dem zweiten Schneideschritt geschnitten wurden, erfasst und umgedreht werden, und die Ausrichtung der einzelnen Elektronik-Teile (3b) geändert wird.
  7. Verfahren zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 1 oder Anspruch 2, in welchem der Produkt-Anordnungsschritt einen Schritt umfasst, in welchem die erfassten einzelnen Elektronik-Teile (3b) abgebürstet werden.
  8. Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen, umfassend: einen Beförderungskörper, der zur Beförderung plattenförmiger Elektronik-Teile (3) verwendet wird; eine erste Befestigungseinrichtung, welche plattenförmige Elektronik-Teile (3) positioniert und befestigt, welche durch den Beförderungskörper befördert werden; eine erste Schneideeinrichtung (23), die die plattenförmigen Elektronik-Teile (3), die durch die erste Befestigungseinrichtung positioniert und an Ort und Stelle befestigt wurden, in einer Richtung auf der Ebene bewegt, welche die plattenförmigen Elektronik-Teile einschließt, und die plattenförmigen Elektronik-Teile (3) schneidet; gekennzeichnet durch eine zweite Befestigungseinrichtung, welche rechteckige Elektronik-Teile (3a), die durch die erste Schneideeinrichtung (23) geschnitten wurden, befördert, positioniert und befestigt; eine zweite Schneideeinrichtung (33), die die rechteckigen Elektronik-Teile (3a), die durch die zweite Befestigungseinrichtung (33) befördert, positioniert und an Ort und Stelle befestigt wurden, in einer Richtung bewegt, welche die vorstehend erwähnte Schneiderichtung kreuzt, und die rechteckigen Elektronik-Teile (3a) schneidet; und eine Produkt-Anordnungsvorrichtung, welche die einzelnen Elektronik-Teile (3b), die durch die zweite Schneideeinrichtung (33) geschnitten wurden, anordnet, wobei die plattenförmigen Elektronik-Teile (3) in Harz versiegelt sind.
  9. Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 8, bei welcher die erste Befestigungseinrichtung und die zweite Befestigungseinrichtung eine Positionserkennungseinrichtung enthalten, die optisch die Positionen der plattenförmigen Elektronik-Teile oder der rechteckigen Elektronikteile (3) erkennt, welche gefördert wurden.
  10. Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 9, bei welcher die Einrichtung, die die Positionen der plattenförmigen Elektronik-Teile oder der rechteckigen Elektronik-Teile (3a) erkennt, eine Einrichtung ist, welche die Formen der plattenförmigen Elektronik-Teile (3) oder der rechteckigen Elektronik-Teile (3a) mittels einer CCD-Kamera (20) erkennt und die Schneidepositionen bestimmt.
  11. Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 8, bei welcher die erste Befestigungseinrichtung und die zweite Befestigungseinrichtung Einrichtungen sind, welche die geförderten plattenförmigen Elektronik-Teile (3) oder die rechteckigen Elektronik-Teile (3a) mittels Haltegliedern (22, 32) befestigen, welche Druck von oben ausüben, nachdem die Elektronik-Teile (3) auf einem Trägertisch (21) angeordnet wurden.
  12. Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 11, bei welcher die erste druckausübende Befestigungseinrichtung und die zweite Befestigungseinrichtung zusätzlich mit Mitteln zur Befestigung der rechteckigen Elektronik-Teile (3) oder der rechteckigen Elektronik-Teile (3a) mittels einer Vakuum-Saugkraft versehen sind.
  13. Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 11, bei welcher in der ersten druckausübenden Befestigungseinrichtung und in der zweiten Befestigungseinrichtung Vorsprungsteile (22b), die zum Drücken der plattenförmigen Elektronik-Teile (3) oder der rechteckigen Elektronik-Teile (3a) verwendet werden, auf den Haltegliedern (22, 23) angeordnet sind.
  14. Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 11, bei welcher die Halteglieder (22, 23), die die plattenförmigen Elektronik-Teile (3) oder die rechteckigen Elektronik-Teile (3a) befestigen, nachdem die Elektronik-Teile (3, 3a) auf einem Trägertisch (21, 31) angeordnet wurden, Schneidenuten (21a, 32a) aufweisen, die in dem Trägertisch (21, 31) und in den Haltegliedern (22, 32) ausgebildet sind und dazu verwendet werden, den Durchgang eines Rotationswerkzeugs zum Schneiden der plattenförmigen Elektronik-Teile (3) und der rechteckigen Elektronik-Teile (3a) zu ermöglichen.
  15. Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 8, in welcher die erste Schneideeinrichtung (23) und die zweite Schneideeinrichtung (33) mit Staubsammlern (24) ausgestattet sind, die Saugwirkung zur Aufnahme des staubförmigen Schneidabfalls verwenden, der beim Schneiden erzeugt wird.
  16. Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 8, bei welcher die erste Schneideinrichtung (23) und die zweite Schneideinrichtung (33) Einrichtungen mit Rotations-Schneidwerkzeugen (63) sind und welche Vorschub- und Rückzugsbewegungen auf zwei oder mehr Achsen ausführen.
  17. Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 16, bei welcher die Rotations-Schneidwerkzeuge (63) Werkzeuge sind, die als zusammengesetzte Werkzeuge durch elektrolytische Abscheidung von Diamant-Schleifkörnern und CBN-Schleifkörnern gebildet werden.
  18. Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 8, bei welcher die Produkt-Anordnungseinrichtung eine Einrichtung ist, die die einzelnen Elektronik-Teile (3b) erfasst, die durch die zweite Schneideinrichtung (33) geschnitten sind, diese Elektronik-Teile (3b) umdreht und die Ausrichtung dieser Elektronik-Teile (3b) ändert.
  19. Vorrichtung zur Herstellung von Elektronik-Teilen gemäß Anspruch 8, bei welcher die Produkt-Anordnungseinrichtung eine Einrichtung ist, die die erfassten einzelnen Elektronik-Teile (3b) abbürstet.
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