KR100777090B1 - 와이어 본더용 히터 블록 세척장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 와이어 본더용 히터블록 세척장치를 개시한다.

본 발명의 와이어 본더용 히터블록 세척장치는, 외체를 형성하는 것으로 전면 일측에 개구부가 형성되는 케이스와, 상기 케이스의 내부로 히터블록이 수용되는 트레이를 선택적으로 이동시키는 것으로 트레이의 일측에 결합되어 연동되는 액츄에이터와, 상기 케이스의 내부 상측에 설치되어 승강 실런더를 구비한 승강수단에 연결되어 선택적으로 하강하는 것으로 모터에 구동력을 전달받아 회전하는 브러시를 구비한 브러시 수단과, 상기 트레이의 저면에 결합되며 직교 배치되는 한쌍의 실린더를 구비하여 트레이를 전·후·좌·우 방향으로 가동시키는 요동수단으로 구성된다. 상기와 같이 구성되는 와이어 본더용 히터블록 세척장치는, 숙련도에 관계없이 히터블록에 대한 균일한 세척을 자동으로 실시할 수 있도록 하여 세척작업의 표준화와 효율성을 높일 수 있는 이점을 제공한다. 특히, 히터블록이 수납된 트레이의 상면으로 브러시를 하강하여 마찰에 의한 표면세척을 실시함과 동시에 요동수단을 통해 트레이를 평면상에서 요동 운동시켜 세정액에 의한 세척이 이루어지도록 하여 복합적인 세척과정을 통하 세척효율의 향상을 높일 수 있는 효과가 있다.

반도체, 히터블록, 세척, 요동

Description

와이어 본더용 히터 블록 세척장치{WASHING DEVICE OF HEATER BLOCK FOR WIRE BONDERS}

도 1은 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치를 나타낸 외관 사시도,

도 2는 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 트레이의 인출 상태를 나타낸 측면 구성도,

도 3은 도 2에서 트레이의 내부 수납 상태를 나타낸 측면 구성도,

도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 트레이 이동 구조를 설명하기 위한 요부 사시도,

도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 브러시 수단을 설명하기 위한 정면 구성도,

도 8은 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 브러시 수단의 요부 구성을 나타낸 구성도,

도 9는 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 요동수단의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도,

도 10은 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 요동수단의 요부 구성을 나타낸 사시도,

도 11 및 도 12는 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 요동수단의 동작을 설명하기 위한 여러 측면에서 바라본 구성도,

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 세척장치 10 : 케이스

11 : 개구부 12 : 투시창

13 : 입출력 표시부 20 : 트레이

20a : 외부 트레이 20b : 내부 트레이

21 : 액츄에이터 22 : 로드리스 실린더

23 : 이동부재 30 : 승강수단

31 : 승강 실린더 33 : 승강로드

34 : 부싱 35 : 수평프레임

40 : 브러시 수단 41 : 모터

43 : 승강 프레임 45 : 브러시

50 : 요동수단 51 : 브라켓트

52 : 제1가이드 로드 53 : 이동부재

54 : 제1실린더 55 : 제2가이드 로드

56 : 제2실린더 57 : 가동축

b : 나사부재

본 발명은 반도체 후처리 공정에 사용되는 와이어 본더(wire bonder)용 히터 블록(heater block)의 세척장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 히터블록을 세정액에 침지시킨 상태에서 브러시의 마찰 회전과 요동 동작에 의한 세척효율성을 향상시킨 와이어 본더용 히터블록 세척장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 패키지 제조를 위해서 다이 본딩과 와이어 본딩 과정을 거치게 되는데, 통상 주로 사용되는 와이어 본딩은 접착된 다이 위에 반도체 칩의 입출력 단자패드와 리드 프레임의 각 단자들에 연결하는 과정을 말한다.

즉, 반도체 제조 공정 중 와이어 본딩은 반도체 칩과 리드프레임을 골드와이어(Gold Wire)를 이용하여 전기적으로 연결해 주는 공정이며 이는 반도체 와이어 본딩 장치에서 진행된다.

여기서, 와이어 본딩시에 본딩 패드에 머리카락 두께보다 얇은 금선 와이어가 결합되려면 적어도 200 ℃ 이상의 온도가 본딩 패드에 전달되어야 하는데 이 때에 사용되는 예열수단으로서 히터 블록이 사용된다.

상기 히터블록은 상면에 반도체칩이 장착될 수 있도록 요입된 형태의 홈부가 형성되며, 상기 홈부에는 다수의 미세한 구멍이 등 간격을 두고 형성되고, 이들 구멍을 통해 진공흡착 작용을 하여 반도체 칩을 고정시키게 된다.

그러나, 상기 히터블록은 오염시 작업자가 수작업에 의해 세척을 실시하므로 작업시간이 많이 소요될 뿐만 아니라 많은 작업인력을 필요로 하는 폐단이 있었다. 특히, 작업자마다 세척 상태가 균일하지 못하여 세척작업의 신뢰성이 저하될 뿐만 아니라 세척 불량에 의해 결과적으로 와이어 본딩의 불량을 초래하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 숙련도에 관계없이 히터블록에 대한 자동 세척을 가능하게 하여 세척작업의 표준화를 도모할 수 있는 와이어 본더용 히터블록 세척장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 히터블록이 수납된 트레이의 상면으로 브러시를 하강하여 표면 세척을 실시함과 동시에 요동수단을 통해 트레이를 평면상에서 요동운동시켜 세척 효율의 향상을 도모할 수 있는 와이어 본더용 히터블록 세척장치를 제공하는데 있다.

상기의 목적을 실현하기 위한 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치는, 외체를 형성하는 것으로 전면 일측에 개구부가 형성되는 케이스와; 상기 케이스의 내부로 히터블록이 수용되는 트레이를 선택적으로 이동시키는 것으로 트레이의 일측에 결합되어 연동되는 액츄에이터와; 상기 케이스의 내부 상측에 설치되어 승강 실런더를 구비한 승강수단에 연결되어 선택적으로 하강하는 것으로 모터에 구동력을 전달받아 회전하는 브러시를 구비한 브러시 수단과; 상기 트레이의 저 면에 결합되며 직교 배치되는 한쌍의 실린더를 구비하여 트레이를 전·후·좌·우 방향으로 가동시키는 요동수단으로 구성되는 것을 그 특징으로 한다.

본 발명의 바람직한 한 특징으로서, 상기 케이스는, 상기 개구부의 상측에 내부의 동작상태를 확인하기 위한 투명판이 부착된 투시창과, 작업자의 조작력을 입력받는 조작패널 및 디스플레이부로 구성되는 입출력 표시부를 더 포함하여 구성되는 것에 있다.

본 발명의 바람직한 다른 특징으로서, 상기 트레이는, 상기 액츄에이터에 하측면이 연결되어 일체로 연동되는 것으로 상면이 개방된 상자 형상을 갖는 외부 트레이와, 상기 외부 트레이 내측에 감소된 크기로 구비되어 요동수단에 연동되는 것으로 상면이 개방되고 내부에 히터블록이 탑재되는 내부 트레이를 포함하여 구성되는 것에 있다.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 액츄에이터는 상기 케이스에 내부 바닥면에 일단이 설치되고 타단은 개구부를 통해 외부에 연장 설치되는 것으로, 내부에는 작동압 공급에 의해 선택적으로 전·후 이동하며 트레이와 자기력으로 결합상태를 유지하는 이동부재를 구비하는 로드리스 실린더인 것에 있다.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 승강수단은, 상기 케이스의 내부 상측에 수평 설치되는 것으로 상면에는 승강 실린더가 로드를 상향 출몰되게 고정 설치되는 수평 프레임과, 상기 승강 실린더의 로드 끝단에 일단이 연결되어 일체로 승강 연동되게 구비되며 타단은 수평 프레임을 통과하여 하향 연장되어 브러시 수단의 일측에 결합되는 승강로드를 포함하여 구성되는 것에 있다.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 승강수단의 수평 프레임은 승강로드의 일단이 통과되는 관통구멍이 형성되고, 이 관통구멍에는 부싱이 설치되는 것에 있다.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 브러시 수단은, 상기 케이스의 내부에 승강 가능하게 설치되는 것으로 수평 배치되는 승강 프레임과, 상기 승강 프레임의 일측에 설치되며 출력축에 구동풀리가 결합된 모터와, 상기 승강 프레임에 수직하게 배치되어 회전 가능하게 설치되는 다수의 브러시 및 이들 브러시의 일단이 각각 결합되는 종동풀리와, 상기 구동풀리와 종동풀리를 연결하는 벨트를 포함하여 구성되는 것에 있다.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 요동수단은, 상기 트레이의 저면에 결합되는 것으로 상호 간격을 두고 배치되는 한쌍의 브라켓트와, 상기 한쌍의 브라켓트 사이를 연결하는 제1가이드 로드와, 상기 제1가이드 로드를 따라 이동되게 구비되는 이동체와, 상기 한쌍의 브라켓트 중 어느 하나의 브라켓트 외측에 설치되어 상기 이동체를 전·후진 이동시키는 제1실린더와, 상기 제1가이드 로드에 직교되게 이동체를 통과 배치되는 제2가이드 로드를 구비하는 제2실린더와, 상기 이동체를 관통한 제2가이드 로드의 끝단에 결합되어 일체로 연동되는 것으로 상향 돌출되어 트레이의 저면에 연결되는 가동축을 포함하여 구성되는 것에 있다.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 요동수단의 브라켓트는 트레이의 저면에 나사부재로 결합 구성되고, 상기 트레이는 저면에 가동축이 끼움되는 끼움홈을 형성하는 것에 있다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

이하, 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치를 나타낸 외관 사시도로서, 외체를 형성하는 케이스(10)의 전면 하측에는 개구부(11)가 형성되며, 이 입구를 통해 액츄에이터(21)에 의해 진출입되는 것으로 히터블록을 탑재하는 트레이(20)를 나타내고 있다.

도 2는 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 트레이의 인출 상태를 나타낸 측면 구성도이고, 도 3은 도 2에서 트레이의 내부 수납 상태를 나타낸 측면 구성도로서, 케이스(10)의 내부에 트레이(20)를 전·후 안내하는 액츄에이터(21)와 승강수단(30)에 의해 승강되는 브러시 수단(40)이 구성되는 것을 나타내고 있다.

도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 트레이 이동 구조를 설명하기 위한 요부 사시도로서, 케이스(10)의 설치판(15)에 액츄에이터(21)가 설치되고, 상기 액츄에이터(21)에 구동력을 받아 개구부(11)를 통해 케이스(10) 내외부로 안내 이송되는 외부 트레이(20a)와 내부 트레이(20b)로 구성되는 트레이(20)를 나타내고 있다.

도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 브러시 수단을 설명하기 위한 정면 구성도이고, 도 8은 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 브러시 수단의 요부 구성을 나타낸 구성도로서, 승강수단(30)의 승강 실린더(31)에 승강 연동되는 브러시 수단(40)과, 브러시 수단(40)을 구성하는 모터(41) 및 이에 연동하여 회전하는 다수의 브러시를 나타내고 있다.

도 9는 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 요동수단의 구성을 개략적으로 나타낸 구성도이고,도 10은 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 요동수단의 요부 구성을 나타낸 사시도이며, 도 11 및 도 12는 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치에서 요동수단의 동작을 설명하기 위한 여러 측면에서 바라본 구성도로서, 트레이(20)를 구성하는 내부 트레이(20b)에 끼움되어 수평 방향에서 전·후·좌·우 방향으로 가동시키는 요동수단을 나타내고 있다.

이들 도면을 참조하여 본 발명의 와이어 본더용 히터블록 세척장치를 구성하는 각 구성요소에 대해 상세하게 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 본 발명의 와이어 본더용 히터블록 세척장치(1)는 크게 외체를 형성하는 케이스(10)와, 세정을 위한 히터블록이 탑재되는 트레이(20) 그리고 상기 트레이(20)를 케이스(10)의 내부 및 외부로 이송하기 위한 액츄에이터(21)와, 상기 케이스(10)의 내부에 설치되어 승강력을 생성하는 승강수단(30) 및 이 승강수단(30)에 연동하여 승강되는 브러시 수단(40) 그리고 상기 트레이(20)를 수평방향에서 전·후·좌·우 평면 이동시켜 요동작용을 수행하는 요동수단(50)으로 구성된다.

상기 케이스(10)는 외체를 형성하는 것으로 내부에는 각종 구성품이 내장될 수 있게 소정의 공간을 형성하는 것으로, 전면 일측에 소정 크기의 개구부(11)가 형성되는 구성이며, 이 개구부(11)의 전방으로는 케이스(10) 내부의 바닥면에서 연장되는 설치판(15)이 설치되는 구성이다.

이러한, 케이스(10)는 상기 개구부(11)의 상측으로 내부에 설치되는 각종 구성품에 의해 실시되는 세척상태를 작업자가 용이하게 확인할 수 있도록 하기 위한 투명판이 부착 설치되는 투시창(12)이 구성되며, 이외에도 작업자의 조작력을 입력받기 위한 조작패널과 조작 및 작업상태를 모니터링 하기 위한 디스플레이부로 구성되는 입출력 표시부(13)가 설치된다.

한편, 상기 케이스(10)는 도면에 나타내지는 않았으나 내부에 설치되는 각종 전장품에 전원을 공급하기 위한 통상의 전원 공급부가 부가 구성될 수 있으며 이러한 전원공급부는 통상의 공지된 기술에 의해 실시되어도 무방하므로 상세한 설명은 생략한다.

트레이(20)는 후술할 액츄에이터(21)에 의해 상기 케이스(10)의 내부에서 외부로 또는 외부에서 내부로 이동될 수 있게 구비되는 것으로 상면이 개방된 상자 형태로 구비된다.

즉, 상기 트레이(20)는 외부에 구비되는 외부 트레이(20a)와, 상기 외부 트레이(20a)의 내부에 수용되어 평면상으로 전·후·좌·우 방향으로 이동 가능하게 작은 크기로 구비되며 세정액이 채워지는 내부 트레이(20b)로 구성된다.

이러한 구성의 트레이(20)에서 내부 트레이(20b)는 실질적으로 히터블록이 탑재되는 세정공간을 제공하는 것으로, 이때의 트레이(20)의 구조는 종전의 기술에 의해 실시되는 것이므로 상세한 설명은 생략한다.

액츄에이터(21)는 상술한 트레이(20)를 케이스(10)의 내부 및 외부로 이동시키기 위한 이동수단으로서, 통상의 유공압실린더에 의해 실시되어도 무방하나, 본 발명에서는 바람직하게 로드리스 실린더(22)로 구성되는 것을 제안한다.

상기 로드리스 실린더(22)는 일단이 상기 케이스(10)의 내부 바닥면에 고정 설치되고 타단은 개구부(11)를 통해 케이스(10)의 외부에 위치하는 설치판(15)에 고정 설치되는 관형상을 갖는 부재로서, 유압 또는 공기압으로 된 작동압을 공급받아 그 내부에 구비되는 이동부재(23)를 전·후 이동시킨다.

여기서 상기 이동부재(23)는 자력을 갖는 통상의 마그네트가 사용되며, 상술한 금속재로 된 트레이(20)의 저면에 자력으로 결합 상태를 유지한다.

한편, 상기 액츄에이터(21)는 도면에서 보는 바와 같이 트레이(20)의 안정된 이송을 실시할 수 있도록 소정의 간격을 두고 한쌍으로 구비되는 것이 바람직하다.

승강수단(30)은 상기 케이스(10)의 내부로 진입되는 트레이(20)의 히터블록에 대하여 세척을 실시하는 브러시 수단(40)을 승강시키기 위한 승강력을 제공하는 구동원이다.

이러한 승강수단(30)은 크게 상기 케이스(10)의 내부 상측에 수평 설치되는 수평 프레임(35)과, 이 수평 프레임(35)에 설치되는 승강 실린더(31) 그리고 상기 승강 실린더(31)의 로드에 연결되어 후술할 브러시 수단(40)에 승강력을 전달하는 승강로드(33)로 구성된다.

즉, 상기 수평 프레임(35)은 상술한 케이스(10)의 내부 상측에 수평 설치되는 부재로서, 그 상면에는 승강 실린더(31)가 설치되며, 이때의 상기 승강 실린더(31)는 수직하게 설치되어 그 출력축인 로드가 상방향으로 출몰되게 배치된다. 그리고 상기 승강 실린더(31)의 로드 끝단에는 하방향으로 연장되게 승강로드(33)가 연결 구성되며, 이때의 상기 승강로드(33)는 그 일단이 상기 수평 프레임(35)을 통과하여 후술할 브러시 수단(40)의 일측에 결합되는 구성이다.

여기서, 상기 수평 프레임(35)은 상기 승강로드(33)의 일단이 통과할 수 있도록 소정크기의 관통구멍(미부호)이 형성되며, 이 관통구멍에는 상기 승강로드(33)의 원활한 이동을 위해 베어링의 일종인 부싱(34)이 끼움 결합되어 구비되는 구성이다.

이러한 구성의 승강수단(30)은 선택적으로 후술할 브러시 수단(40)을 상·하 방향으로 수직 이동시킨다.

브러시 수단(40)은 상기 케이스(10)의 내부에 승강 가능하게 설치되는 것으로 상술한 승강수단(30)의 승강로드(33)에 연결되는 승강 프레임(43)을 구비한다.

그리고 상기 승강 프레임(43)의 일측에는 외부로부터 전원을 공급받아 선택적으로 회전 구동력을 생성하는 것으로 통상의 감속기를 포함하여 구성되는 모터(41)가 설치되는 구성이며, 이 모터(41)의 출력축에는 구동풀리(41a)가 일체로 결합 구성되는 구조이다.

또한, 상기 모터(41)와 위치간섭을 일으키지 않는 승강 프레임(43) 상에는 다수개의 브러시(45)가 회전 가능하게 설치되며, 이들 브러시(45)의 일단에는 종동풀리(45a)가 일체로 결합되는 구성이며, 상기 구동풀리(41a)와 벨트(47)로 연결되어 구동력을 전달받는 구성이다.

이러한 구성의 브러시 수단(40)은 상기 모터(41)의 회전에 의해 구동풀리(41a)가 일방향 회전을 실시하게 되면 이 구동풀리(41a)와 벨트(47)로 연결된 종동풀리(45a)가 연동하여 회전을 하게 됨에 따라 결과적으로 브러시(45)가 일방향 회전을 하여 세척 대상물인 히터블록에 대한 세척을 실시하게 된다.

요동수단(50)은 상기 트레이(20)를 평면상에서 전·후·좌·우 방향으로 이동시켜 요동운동에 의한 세척효율을 향상시키기 위한 구동원으로서, 크게 브라켓트(51)와 제1가이드 로드(51)와 이동체(53)와 제1실린더(54) 그리고 제2실린더(56)와 가동축(57)으로 구성된다.

상기 브라켓트(51)는 장방형의 형상을 갖는 부재로서 상기 외부 트레이(20a)의 저면에 다수의 나사부재(b)를 이용하여 결합 구성되며, 소정의 간격을 두고 한쌍으로 구비된다.

상기 제1가이드 로드(51)는 상기 한쌍의 브라켓트(51) 사이를 연결하는 일종의 축으로서, 후술할 이동체(53)를 이송시키기 위한 역할을 한다.

상기 이동체(53)는 대략 사각형상을 갖는 부재로서 상기 제1가이드 로드(51)를 따라 직진 이동을 하는 부재이다.

상기 제1실린더(54)는 상기 한쌍의 브라켓트(51) 중 어느 하나의 브라켓트 외측에 결합 설치되며 선택적으로 로드를 출몰시켜 그 끝단에 연결된 이동체(53)를 전·후 방향으로 이동시킨다.

상기 제2실린더(56)는 상기 제1가이드 로드(51)에 직교 되는 방향으로 배치 설치되며 출력축인 제2가이드 로드(55)를 구비하며, 이때의 상기 제2가이드 로드(55)는 이동체(53)를 통과 배치되는 구성이다.

상기 가동축(57)은 상기 이동체(53)를 통과한 제2가이드 로드(55)의 끝단에 결합되어 연동 구성되는 것으로서, 도면에서 보는 바와 같이 상기 외부 트레이(20a)의 하면에 형성된 구멍을 통과하여 내부 트레이(20b)의 저면측에 형성된 끼움홈(21a)에 끼움 결합되는 구조이다.

이러한 구성의 요동수단(50)은 브라켓트(51)측에 설치된 제1실린더(54)가 동작을 실시하게 되면, 이에 연동하여 이동체(53)가 제1가이드 로드(51)를 따라 이동을 하면서 가동축(57) 역시 트레이와 일체로 연동하게 된다. 또한, 상기 제2실린더(56)가 동작을 실시하게 되면, 이 제2실린더(56)의 제2가이드 로드(55)가 출몰되는 것에 의해 상기 가동축(57)이 트레이(20)와 함께 상기 제1가이드 로드(51)에 대해 직교되는 방향으로 이동을 하게 된다.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 와이어 본더용 히터블록 세척장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 1에서 보는 바와 같이 트레이(20)가 케이스(10)의 외부로 노출되게 구비된 상태에서 작업자가 상기 트레이(20)에 히터블록을 올려 놓는다.

이어서 액츄에이터(21)를 동작시키면, 액츄에이터(21)를 구성하는 이동부재(23)가 상기 트레이(20)와 함께 케이스(10) 내부측으로 이동하게 된다.

이와 같은 상태에서 상기 트레이(20)가 케이스(10) 내부로 완전 이동된 상태에서는 승강수단(30)이 동작을 실시하여 브러시 수단(40)을 하강시킨다.

즉, 상기 승강수단(30)을 구성하는 승강 실린더(31)가 상향 돌출된 로드를 하강시키면, 상기 로드에 연결된 승강로드(33)가 연동하여 하강하게 되어 결과적으로 상기 승강로드(33)의 끝단에 결합된 브러시 수단(40)의 승강판(21)이 하강하게 된다. 이때, 상기 브러시 수단(40)은 모터(41)를 구동시켜 다수의 브러시(45)를 일방향 회전시킨다.

여기서, 상기 승강수단(30)이 브러시 수단(40)을 세정 대상물인 히터블록에 근접하게 이동 완료한 상태에서 정지하면 상기 브러시(45)는 세정 대상물에 대해 세척을 실시하게 되는 것이다.

한편, 상기 브러시 수단(40)이 다수의 브러시(45)를 이용하여 히터블록에 대해 세척을 실시함과 동시에 요동수단(50)이 선택적으로 동작을 실시할 수 있다.

즉, 상기 요동수단(50)은 제1실린더(54)가 동작을 실시하면 이에 연동하여 이동체(53)가 제1가이드 로드(51)를 따라 이동을 하면서 가동축(57)이 트레이(20) 와 일체로 연동하게 되고, 상기 제2실린더(56)가 동작을 실시하면 이 제2실린더(56)의 제2가이드 로드(55)가 출몰되는 것에 의해 상기 가동축(57)이 트레이(20)와 함께 상기 제1가이드 로드(51)에 대해 직교되는 방향으로 이동을 하게 된다. 따라서 이들 제1실린더(54)와 제2실린더(56)를 선택적으로 동작시키거나 또는 동시에 동작시키는 것에 의해 트레이(20)를 요동 운동시킬 수 있게 됨에 따라 그 내부에 구비된 히터블록에 대한 세척효율을 높일 수 있게 된다.

본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.

상기와 같이 구성되고 작용되는 와이어 본더용 히터블록 세척장치는, 숙련도에 관계없이 히터블록에 대한 균일한 세척을 자동으로 실시할 수 있도록 하여 세척작업의 표준화와 효율성을 높일 수 있는 이점을 제공한다.

특히, 히터블록이 수납된 트레이의 상면으로 브러시를 하강하여 마찰에 의한 표면세척을 실시함과 동시에 요동수단을 통해 트레이를 평면상에서 요동 운동시켜 세정액에 의한 세척이 이루어지도록 하여 복합적인 세척과정을 통하 세척효율의 향상을 높일 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

1. 외체를 형성하는 것으로 전면 일측에 개구부가 형성되는 케이스와;

   상기 케이스의 내부로 히터블록이 수용되는 트레이를 선택적으로 이동시키는 것으로 트레이의 일측에 결합되어 연동되는 액츄에이터와;

   상기 케이스의 내부 상측에 설치되어 승강 실런더를 구비한 승강수단에 연결되어 선택적으로 하강하는 것으로 모터에 구동력을 전달받아 회전하는 브러시를 구비한 브러시 수단과;

   상기 트레이의 저면에 결합되며 직교 배치되는 한쌍의 실린더를 구비하여 트레이를 전·후·좌·우 방향으로 가동시키는 요동수단;

   으로 구성되는 것을 특징으로 하는 와이어 본더용 히터블록 세척장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 케이스는,

   상기 개구부의 상측에 내부의 동작상태를 확인하기 위한 투명판이 부착된 투시창과,

   작업자의 조작력을 입력받는 조작패널 및 디스플레이부로 구성되는 입출력 표시부;

   를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 와이어 본더용 히터블록 세척장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 트레이는, 상기 액츄에이터에 하측면이 연결되어 일체로 연동되는 것으로 상면이 개방된 상자 형상을 갖는 외부 트레이와;

   상기 외부 트레이 내측에 감소된 크기로 구비되어 요동수단에 연동되는 것으로 상면이 개방되고 내부에 히터블록이 탑재되는 내부 트레이;

   를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 와이어 본더용 히터블록 세척장치.
4. 제 1항에 있어서, 상기 액츄에이터는 상기 케이스에 내부 바닥면에 일단이 설치되고 타단은 개구부를 통해 외부에 연장 설치되는 것으로, 내부에는 작동압 공급에 의해 선택적으로 전·후 이동하며 트레이와 자기력으로 결합상태를 유지하는 이동부재를 구비하는 로드리스 실린더인 것을 특징으로 하는 와이어 본더용 히터블록 세척장치.
5. 제 1항에 있어서, 상기 승강수단은,

   상기 케이스의 내부 상측에 수평 설치되는 것으로 상면에는 승강 실린더가 로드를 상향 출몰되게 고정 설치되는 수평 프레임과;

   상기 승강 실린더의 로드 끝단에 일단이 연결되어 일체로 승강 연동되게 구비되며 타단은 수평 프레임을 통과하여 하향 연장되어 브러시 수단의 일측에 결합되는 승강로드;

   를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 와이어 본더용 히터블록 세척장 치.
6. 제 5항에 있어서, 상기 승강수단의 수평 프레임은 승강로드의 일단이 통과되는 관통구멍이 형성되고, 이 관통구멍에는 부싱이 설치되는 것을 특징으로 하는 와이어 본더용 히터블록 세척장치.
7. 제 1항에 있어서, 상기 브러시 수단은,

   상기 케이스의 내부에 승강 가능하게 설치되는 것으로 수평 배치되는 승강 프레임과;

   상기 승강 프레임의 일측에 설치되며 출력축에 구동풀리가 결합된 모터와;

   상기 승강 프레임에 수직하게 배치되어 회전 가능하게 설치되는 다수의 브러시 및 이들 브러시의 일단이 각각 결합되는 종동풀리와;

   상기 구동풀리와 종동풀리를 연결하는 벨트;

   를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 와이어 본더용 히터블록 세척장치.
8. 제 1항에 있어서, 상기 요동수단은,

   상기 트레이의 저면에 결합되는 것으로 상호 간격을 두고 배치되는 한쌍의 브라켓트와;

   상기 한쌍의 브라켓트 사이를 연결하는 제1가이드 로드와;

   상기 제1가이드 로드를 따라 이동되게 구비되는 이동체와;

   상기 한쌍의 브라켓트 중 어느 하나의 브라켓트 외측에 설치되어 상기 이동체를 전·후진 이동시키는 제1실린더와;

   상기 제1가이드 로드에 직교되게 이동체를 통과 배치되는 제2가이드 로드를 구비하는 제2실린더와;

   상기 이동체를 관통한 제2가이드 로드의 끝단에 결합되어 일체로 연동되는 것으로 상향 돌출되어 트레이의 저면에 연결되는 가동축;

   을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 와이어 본더용 히터블록 세척장치.
9. 제 8항에 있어서, 상기 요동수단의 브라켓트는 트레이의 저면에 나사부재로 결합 구성되고, 상기 트레이는 저면에 가동축이 끼움되는 끼움홈을 형성하는 것을 특징으로 하는 와이어 본더용 히터블록 세척장치.

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