CN209708952U - 用于晶圆浸泡槽中的晃动机构 - Google Patents
用于晶圆浸泡槽中的晃动机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209708952U CN209708952U CN201920590240.XU CN201920590240U CN209708952U CN 209708952 U CN209708952 U CN 209708952U CN 201920590240 U CN201920590240 U CN 201920590240U CN 209708952 U CN209708952 U CN 209708952U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ball screw
- subcomponent
- wafer
- servo
- servo ball
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
为了解决现有技术中晶圆浸泡时间长的技术问题，本实用新型提供了包括拉杆组件和驱动机构的用于晶圆浸泡槽中的晃动机构。拉杆组件包括夹持件、连接件、外管件和内拉杆件，外管件套装在内拉杆件的外部，夹持件与外管件固连，连接件与内拉杆件铰接，夹持件和连接件均与晶舟或者提篮铰接；驱动机构包括第一伺服滚珠丝杆副组件和第二伺服滚珠丝杆副组件，第一伺服滚珠丝杆副组件带动晶圆离开或者没入化学品中，第一伺服滚珠丝杆副组件通过提高或者降低内拉杆件的高度从而调整晶圆的倾斜的角度，第一伺服滚珠丝杆副组件不停反复运动实现了晶圆在浸泡槽内的反复晃动，被搅动的化学品不停冲击晶圆表面，加速了晶圆表面杂质的剥离速度。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆清洗设备技术领域，特别是指用于晶圆浸泡槽中的晃动机构。
背景技术
半导体产品的加工过程主要包括晶圆制造(前道)和封装(后道)测试，随着先进封装技术的渗透，出现介于晶圆制造和封装之间的加工环节，称为中道。在这三道加工环节中最复杂的是晶圆制造和封装。
晶圆生产线可以分成7个独立的生产区域：扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、抛光、金属化。在这几个生产区都放置有若干的晶圆清洗设备，以满足不同工艺过程中的清洗要求。在某些工艺制程中因特殊的工艺要求,需将晶圆浸泡在化学品里面一段时间，然后取出进行下一步的工艺。目前，晶圆在浸泡槽内的浸泡时间大约为30分钟，如果可以缩短晶圆的浸泡时间，将会大幅提高晶圆的清洗效率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：如何缩短晶圆的浸泡时间。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案如下：
用于晶圆浸泡槽中的晃动机构，包括用于吊装晶舟或者提篮的拉杆组件和带动所述拉杆组件升降的驱动机构；所述拉杆组件包括夹持件、连接件、外管件和内拉杆件，所述外管件套装在所述内拉杆件的外部，所述夹持件与所述外管件固连，所述连接件与所述内拉杆件铰接，所述夹持件和所述连接件均与晶舟或者提篮铰接；所述驱动机构包括第一伺服滚珠丝杆副组件和第二伺服滚珠丝杆副组件，两个伺服滚珠丝杆副组件中的丝杆均竖直放置，所述第一伺服滚珠丝杆副组件带动所述外管件升降，所述第二伺服滚珠丝杆副组件带动所述内拉杆件升降；所述第一伺服滚珠丝杆副组件的轴套上安装有基座，所述第二伺服滚珠丝杆副组件固定在所述基座上。
在一个实施例中，所述夹持件具有两个对称的与所述晶舟或者提篮铰接的连接部。
在一个实施例中，所述基座上固设有两个上下放置的轴承座，这两个轴承座之间安装有一根带有侧面开口的螺杆套筒，所述第二伺服滚珠丝杆副组件中的丝杆安装在所述螺杆套筒中，滚珠轴套安装在所述螺杆套筒的外部，所述滚珠轴套的内壁设置有与所述丝杆啮合连接的凸块。
在一个实施例中，所述驱动机构包括固定座，所述固定座设置有两个上下放置的轴承座，所述第一伺服滚珠丝杆副组件的丝杆安装在这两个轴承座之间；所述固定座上设置有导轨，所述基座通过滑块与所述导轨连接。
在一个实施例中，所述固定座上设置有监测第二伺服滚珠丝杆副组件位置高度的位置传感器，所述基座上设置有监测所述内拉杆件高度的位置传感器。
在一个实施例中，第一伺服滚珠丝杆副组件中的伺服电机通过皮带轮组件与丝杆连接。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1.本实用新型中的第一伺服滚珠丝杆副组件带动晶圆离开或者没入化学品中，第一伺服滚珠丝杆副组件通过提高或者降低内拉杆件的高度从而调整晶圆的倾斜的角度，第一伺服滚珠丝杆副组件不停反复运动实现了晶圆在浸泡槽内的反复晃动，被搅动的化学品不停冲击晶圆表面，加速了晶圆表面杂质的剥离速度，缩短了晶圆的浸泡时间；
2.本实用新型在第二伺服滚珠丝杆副组件中增加的螺杆套筒，让螺杆在其内部转动时，滚珠轴套上下移动且没有间隙位移发生，实现了内拉杆件的高精度运动，可确保晶圆在反复改变倾斜角度的过程中不发生抖动，且晶圆不会从晶舟或者提篮中滑出造成损伤。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1是实施例中公开的用于晶圆浸泡槽中的晃动机构的结构图；
图2是实施例中公开的用于晶圆浸泡槽中的晃动机构的结构图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例
图1和2中所示的用于晶圆浸泡槽中的晃动机构，包括用于吊装晶舟或者提篮的拉杆组件10和带动拉杆组件升降的驱动机构。
拉杆组件包括夹持件11、连接件12、外管件13和内拉杆件14，外管件13套装在内拉杆件14的外部，夹持件11与外管件13固连，连接件12与内拉杆件14铰接，夹持件11和连接件12均与晶舟或者提篮铰接。夹持件11具有两个对称的与晶舟或者提篮铰接的连接部，连接件12具有一个与晶舟或者提篮铰接的连接部，这三个连接部之间构成了一等腰三角形。
驱动机构包括固定座20、第一伺服滚珠丝杆副组件和第二伺服滚珠丝杆副组件，这两个伺服滚珠丝杆副组件中的丝杆均竖直放置。第一伺服滚珠丝杆副组件由伺服电机31、丝杆32和滚珠轴套33组成，固定座设置有两个上下放置的轴承座34，丝杆安装在这两个轴承座之间，伺服电机31通过皮带轮组件35与丝杆32连接；滚珠轴套33上安装有基座36，固定座上设置有导轨，基座通过滑块38与导轨连接，外管件13通过一连接臂50与基座固连。第二伺服滚珠丝杆副组件包括伺服电机41、丝杆42和滚珠轴套43，基座上固设有两个上下放置的轴承座44，这两个轴承座之间安装有一根带有侧面开口的螺杆套筒45，丝杆安装在螺杆套筒中，滚珠轴套43安装在螺杆套筒的外部，滚珠轴套的内壁设置有与丝杆啮合连接的凸块固定在基座上，内拉杆件14通过一连接臂60与滚珠轴套固连。第一伺服滚珠丝杆副组件带动晶圆离开或者没入化学品中，第一伺服滚珠丝杆副组件通过提高或者降低内拉杆件14的高度从而调整晶圆的倾斜的角度，第一伺服滚珠丝杆副组件不停反复运动实现了晶圆在浸泡槽内的反复晃动，被搅动的化学品不停冲击晶圆表面，加速了晶圆表面杂质的剥离速度，缩短了晶圆的浸泡时间。
固定座上设置有监测第二伺服滚珠丝杆副组件位置高度的位置传感器70，基座上设置有监测内拉杆件14高度的位置传感器80。
以上所述实施例仅表达了本申请的几的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (6)
1.用于晶圆浸泡槽中的晃动机构，其特征在于，包括用于吊装晶舟或者提篮的拉杆组件和带动所述拉杆组件升降的驱动机构；所述拉杆组件包括夹持件、连接件、外管件和内拉杆件，所述外管件套装在所述内拉杆件的外部，所述夹持件与所述外管件固连，所述连接件与所述内拉杆件铰接，所述夹持件和所述连接件均与晶舟或者提篮铰接；所述驱动机构包括第一伺服滚珠丝杆副组件和第二伺服滚珠丝杆副组件，两个伺服滚珠丝杆副组件中的丝杆均竖直放置，所述第一伺服滚珠丝杆副组件带动所述外管件升降，所述第二伺服滚珠丝杆副组件带动所述内拉杆件升降；所述第一伺服滚珠丝杆副组件的轴套上安装有基座，所述第二伺服滚珠丝杆副组件固定在所述基座上。
2.根据权利要求1所述的用于晶圆浸泡槽中的晃动机构，其特征在于，所述夹持件具有两个对称的与所述晶舟或者提篮铰接的连接部。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆浸泡槽中的晃动机构，其特征在于，所述基座上固设有两个上下放置的轴承座，这两个轴承座之间安装有一根带有侧面开口的螺杆套筒，所述第二伺服滚珠丝杆副组件中的丝杆安装在所述螺杆套筒中，滚珠轴套安装在所述螺杆套筒的外部，所述滚珠轴套的内壁设置有与所述丝杆啮合连接的凸块。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆浸泡槽中的晃动机构，其特征在于，所述驱动机构包括固定座，所述固定座设置有两个上下放置的轴承座，所述第一伺服滚珠丝杆副组件的丝杆安装在这两个轴承座之间；所述固定座上设置有导轨，所述基座通过滑块与所述导轨连接。
5.根据权利要求4所述的用于晶圆浸泡槽中的晃动机构，其特征在于，所述固定座上设置有监测第二伺服滚珠丝杆副组件位置高度的位置传感器，所述基座上设置有监测所述内拉杆件高度的位置传感器。
6.根据权利要求1所述的用于晶圆浸泡槽中的晃动机构，其特征在于，第一伺服滚珠丝杆副组件中的伺服电机通过皮带轮组件与丝杆连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920590240.XU CN209708952U (zh) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 用于晶圆浸泡槽中的晃动机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920590240.XU CN209708952U (zh) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 用于晶圆浸泡槽中的晃动机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209708952U true CN209708952U (zh) | 2019-11-29 |
Family
ID=68650500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201920590240.XU Expired - Fee Related CN209708952U (zh) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | 用于晶圆浸泡槽中的晃动机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209708952U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117012684A (zh) * | 2023-09-18 | 2023-11-07 | 上海普达特半导体设备有限公司 | 调节式晶圆搬运机构 |
-
2019
- 2019-04-26 CN CN201920590240.XU patent/CN209708952U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117012684A (zh) * | 2023-09-18 | 2023-11-07 | 上海普达特半导体设备有限公司 | 调节式晶圆搬运机构 |
| CN117012684B (zh) * | 2023-09-18 | 2023-12-08 | 上海普达特半导体设备有限公司 | 调节式晶圆搬运机构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN209708952U (zh) | 用于晶圆浸泡槽中的晃动机构 | |
| CN107934427A (zh) | 一种液晶面板精准抓取及放置转移系统 | |
| CN107818935A (zh) | 晶圆片去胶机 | |
| CN113539907A (zh) | 晶圆涂覆清洗装置 | |
| CN206584956U (zh) | 一种蓝膜取晶固晶机构 | |
| CN110148573B (zh) | 一种半导体设备工艺腔的晶圆升降装置 | |
| CN114335253A (zh) | 一种硅片取放装置及取放方法 | |
| CN111439418B (zh) | 一种晶圆分离装盒机及其使用方法 | |
| CN101630650B (zh) | 传送工具 | |
| CN106952848A (zh) | 固晶机及其拾取键合装置 | |
| CN108163460A (zh) | 一种led灯生产用上料装置 | |
| JP2009246238A (ja) | リフトピンユニット及びそれを具備したｘｙステージ装置 | |
| CN206758414U (zh) | 固晶机及其拾取键合装置 | |
| CN108807237A (zh) | 一种固晶工艺结构、固晶机及固晶控制方法 | |
| CN116246838A (zh) | 一种汽车线束包胶装置 | |
| CN215418117U (zh) | 晶圆涂覆清洗装置 | |
| JP3217323B2 (ja) | 半導体材料の遠心処理装置 | |
| CN213601849U (zh) | 一种晶圆盒自动开盒送料装置 | |
| CN210701512U (zh) | 一种基于新型等离子清洗机的移送机构 | |
| CN112599461A (zh) | 一种晶圆盒自动开盒送料装置 | |
| CN209057409U (zh) | 一种免焊压接电子产品的拨出治具 | |
| CN217429928U (zh) | 一种新型可升降的洗涤甩干桶 | |
| CN206040596U (zh) | 模组组装制程主动对焦装置 | |
| CN218602394U (zh) | 一种多轴联动机械手 | |
| CN218602393U (zh) | 一种具有多轴联动机械手的晶圆自动传输装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20191129 Termination date: 20210426 |