CN219267604U - 一种一拖二摆臂走线机构优化结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种一拖二摆臂走线机构优化结构，包括工作台、旋转驱动机构、固定安装架、摆臂Z轴驱动结构、摆臂结构和线路总成，所述工作台上竖直安装设置有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构输出端固定连接有固定安装架，所述摆臂Z轴驱动结构安装在固定安装架的两侧位置，所述摆臂Z轴驱动结构输出端固定安装有摆臂结构，摆臂结构上设置有用于吸附半导体芯片的真空吸嘴，所述线路总成穿过固定安装架与摆臂Z轴驱动结构电连接，且所述线路总成与固定安装架接触面之间设置有转动部件。本实用新型线路总成与活动轴承接触面处不会发生相对转动，避免了对线路总成造成摩擦从而对线路总成造成摩擦损耗，延长产品的使用寿命。

Description

一种一拖二摆臂走线机构优化结构

技术领域

本实用新型涉及芯片固晶机设备领域，尤其涉及一种一拖二摆臂走线机构优化结构。

背景技术

由于半导体芯片通常是由供应厂商集中粘在晶环薄膜上，因此首先是顶针机构将指定半导体芯片从晶环薄膜上顶起，然后通过固晶机构的固晶摆臂水平旋转到指定半导体芯片正上方再上下运动吸取晶环薄膜上的指定半导体芯片并将其搬运至已点胶的支架指定位置，所述固晶摆臂再上下运动完成固晶作业。这种工作方式，由于一次只能吸取、搬运一个半导体芯片，从而工作效率低、固晶速度慢。并且对于大尺寸的支架的固晶，传统固晶方式往往需要增加摆臂的长度及重量来满足固晶需求，摆臂长度及重量的增加会使其运动过程中的惯性量增加，进而带来速度及精度的下降。

现有固晶设备的摆臂结构的线缆与安装板面的接触部位多次旋转摩擦后会对线缆造成磨损，从而影响线缆的使用寿命。

现需要一种新型的摆臂走线机构优化结构，能够解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种一拖二摆臂走线机构优化结构，通过对现有固晶机摆臂结构进行技术改造，解决了现有摆臂结构的线缆与安装板面的接触部位多次旋转摩擦后会对线缆造成磨损，影响使用效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种一拖二摆臂走线机构优化结构，包括工作台、旋转驱动机构、固定安装架、摆臂Z轴驱动结构、摆臂结构和线路总成，所述工作台上竖直安装设置有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构输出端固定连接有固定安装架，所述摆臂Z轴驱动结构安装在固定安装架的两侧位置，所述摆臂Z轴驱动结构输出端固定安装有摆臂结构，所述摆臂Z轴驱动结构用于驱动摆臂结构在竖直方向上运动，摆臂结构上设置有用于吸附半导体芯片的真空吸嘴，所述真空吸嘴通过真空吸管与设置在工作台外部的真空泵相连；

所述线路总成穿过固定安装架与摆臂Z轴驱动结构电连接，且所述线路总成与固定安装架接触面之间设置有转动部件。

优选的，所述转动部件为活动轴承，所述固定安装架上开设有竖直方向的线路槽位，所述线路总成穿过线路槽位设置，所述线路槽位上沿位置处设置有活动轴承，所述活动轴承外圈固定安装在固定安装架上，活动轴承内圈与线路总成抵触设置。

优选的，所述摆臂Z轴驱动结构包括音圈驱动电机、摆臂安装板和滑轨，所述固定安装架上固定安装有竖直方向上的滑轨，所述滑轨上活动安装有摆臂安装板，且所述固定安装架上还安装设置有音圈驱动电机，所述音圈驱动电机输出端与摆臂安装板驱动连接，所述摆臂安装板下端位置固定安装有摆臂结构。

优选的，所述固定安装架上位于摆臂Z轴驱动结构的音圈驱动电机侧面位置安装设置有光栅尺传感器，所述线路总成与光栅尺传感器电连接。

优选的，所述摆臂安装板和固定安装架之间连接设置有减震弹簧组件。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型通过旋转驱动机构带动固定安装架旋转，带动摆臂Z轴驱动结构及摆臂结构在水平面内左右旋转摆动，且当旋转到一定角度时，一侧的摆臂结构上的真空吸嘴吸取料盘上的半导体芯片，另一侧的摆臂结构移动到固晶工位上方，通过摆臂Z轴驱动结构驱动摆臂结构进行上下运动，取料工位一侧的摆臂结构真空吸嘴吸取半导体芯片后，另一侧的固晶工位上的摆臂结构的真空吸嘴释放半导体芯片进行固晶，通过旋转驱动机构带动摆臂结构旋转180°，交替进行吸取半导体芯片和放置半导体芯片的工作。

本实用新型在固定安装架上设置有线路槽位，线路总成穿过线路槽位设置，且所述线路总成与线路槽位接触面处安装有活动轴承，在旋转驱动机构带动固定安装架旋转时，活动轴承的外圈旋转，但是线路总成与活动轴承的内圈抵触设置，线路总成与活动轴承接触面处不会发生相对转动，避免了对线路总成造成摩擦从而对线路总成造成摩擦损耗，延长产品的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型结构图；

图2是本实用新型转动部件安装位置示意图；

图3是本实用新型摆臂Z轴驱动结构位置示意图；

图4为本实用新型摆臂Z轴驱动结构及光栅尺传感器与线路总成连接示意图；

附图标号说明：工作台1、旋转驱动机构2、固定安装架3、线路槽位31、摆臂Z轴驱动结构4、音圈驱动电机41、摆臂安装板42、滑轨43、摆臂结构5、线路总成6、真空吸嘴7、转动部件8、活动轴承81、光栅尺传感器9、减震弹簧组件10。

具体实施方式

下面结合附图和实施例来详细说明本实用新型的具体内容。

请参阅图1-4所示，本实用新型提供了一种一拖二摆臂走线机构优化结构，包括工作台1、旋转驱动机构2、固定安装架3、摆臂Z轴驱动结构4、摆臂结构5和线路总成6，所述工作台1上竖直安装设置有旋转驱动机构2，所述旋转驱动机构2输出端固定连接有固定安装架3，所述摆臂Z轴驱动结构4安装在固定安装架3的两侧位置，所述摆臂Z轴驱动结构4输出端固定安装有摆臂结构5，所述摆臂Z轴驱动结构4用于驱动摆臂结构5在竖直方向上运动，摆臂结构5上设置有用于吸附半导体芯片的真空吸嘴7，所述真空吸嘴7通过真空吸管与设置在工作台1外部的真空泵相连；

所述线路总成6穿过固定安装架3与摆臂Z轴驱动结构4电连接，且所述线路总成6与固定安装架3接触面之间设置有转动部件8。

进一步地，为了实现转动部件8能够避免线路总成6摩擦固定安装架3，所述转动部件8为活动轴承81，所述固定安装架3上开设有竖直方向的线路槽位31，所述线路总成6穿过线路槽位31设置，所述线路槽位31上沿位置处设置有活动轴承81，所述活动轴承81外圈固定安装在固定安装架3上，活动轴承81内圈与线路总成6抵触设置。

进一步地，为了实现摆臂Z轴驱动结构4能够带动摆臂结构5上下活动，所述摆臂Z轴驱动结构4包括音圈驱动电机41、摆臂安装板42和滑轨43，所述固定安装架3上固定安装有竖直方向上的滑轨43，所述滑轨43上活动安装有摆臂安装板42，且所述固定安装架3上还安装设置有音圈驱动电机41，所述音圈驱动电机41输出端与摆臂安装板42驱动连接，所述摆臂安装板42下端位置固定安装有摆臂结构5。

进一步地，为了检测摆臂结构5上下运动的精度，所述固定安装架3上位于摆臂Z轴驱动结构4的音圈驱动电机41侧面位置安装设置有光栅尺传感器9，所述线路总成6与光栅尺传感器9电连接。光栅尺传感器9用于检测摆臂安装板42的运动位移精度。

进一步地，为了实获得更好的减震缓冲效果，保证固晶过程的稳定性，所述摆臂安装板42和固定安装架3之间连接设置有减震弹簧组件10。

固晶工作包括以下步骤：真空吸嘴7吸取半导体芯片-音圈驱动电机41带动摆臂结构5上升-旋转驱动机构2旋转-音圈驱动电机41带动摆臂结构5下降-真空吸嘴7放置芯片。

本实施例通过旋转驱动机构2带动固定安装架3旋转，带动摆臂Z轴驱动结构4及摆臂结构5在水平面内左右旋转摆动，且当旋转到一定角度时，一侧的摆臂结构5上的真空吸嘴7吸取料盘上的半导体芯片，另一侧的摆臂结构5移动到固晶工位上方，通过摆臂Z轴驱动结构4驱动摆臂结构5进行上下运动，取料工位一侧的摆臂结构5真空吸嘴7吸取半导体芯片后，另一侧的固晶工位上的摆臂结构5的真空吸嘴7释放半导体芯片进行固晶，通过旋转驱动机构2带动摆臂结构5旋转180°，交替进行吸取半导体芯片和放置半导体芯片的工作。

本实施例在固定安装架3上设置有线路槽位31，线路总成6穿过线路槽位31设置，且所述线路总成6与线路槽位31接触面处安装有活动轴承81，在旋转驱动机构2带动固定安装架3旋转时，活动轴承81的外圈旋转，但是线路总成6与活动轴承81的内圈抵触设置，线路总成6与活动轴承81接触面处不会发生相对转动，避免了对线路总成6造成摩擦从而对线路总成6造成摩擦损耗，延长产品的使用寿命。

最后说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应作广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

Claims (5)

1.一种一拖二摆臂走线机构优化结构，其特征在于，包括工作台、旋转驱动机构、固定安装架、摆臂Z轴驱动结构、摆臂结构和线路总成，所述工作台上竖直安装设置有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构输出端固定连接有固定安装架，所述摆臂Z轴驱动结构安装在固定安装架的两侧位置，所述摆臂Z轴驱动结构输出端固定安装有摆臂结构，所述摆臂Z轴驱动结构用于驱动摆臂结构在竖直方向上运动，摆臂结构上设置有用于吸附半导体芯片的真空吸嘴，所述真空吸嘴通过真空吸管与设置在工作台外部的真空泵相连；

所述线路总成穿过固定安装架与摆臂Z轴驱动结构电连接，且所述线路总成与固定安装架接触面之间设置有转动部件。

2.根据权利要求1所述的一种一拖二摆臂走线机构优化结构，其特征在于，所述转动部件为活动轴承，所述固定安装架上开设有竖直方向的线路槽位，所述线路总成穿过线路槽位设置，所述线路槽位上沿位置处设置有活动轴承，所述活动轴承外圈固定安装在固定安装架上，活动轴承内圈与线路总成抵触设置。

3.根据权利要求1所述的一种一拖二摆臂走线机构优化结构，其特征在于，所述摆臂Z轴驱动结构包括音圈驱动电机、摆臂安装板和滑轨，所述固定安装架上固定安装有竖直方向上的滑轨，所述滑轨上活动安装有摆臂安装板，且所述固定安装架上还安装设置有音圈驱动电机，所述音圈驱动电机输出端与摆臂安装板驱动连接，所述摆臂安装板下端位置固定安装有摆臂结构。

4.根据权利要求3所述的一种一拖二摆臂走线机构优化结构，其特征在于，所述固定安装架上位于摆臂Z轴驱动结构的音圈驱动电机侧面位置安装设置有光栅尺传感器，所述线路总成与光栅尺传感器电连接。

5.根据权利要求3所述的一种一拖二摆臂走线机构优化结构，其特征在于，所述摆臂安装板和固定安装架之间连接设置有减震弹簧组件。

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