CN214956783U - 绑头固晶装置及固晶机 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种绑头固晶装置及固晶机；绑头固晶装置包括两套固晶绑头、驱动两套固晶绑头分别升降的固晶升降模块、驱动两套固晶绑头纵向移动的固晶纵移模块、驱动固晶纵移模块横向移动的固晶横移模块和支撑固晶横移模块的固晶支座。本申请通过设置两套固晶绑头，通过固晶升降模块驱动固晶绑头升降，而固晶纵移模块驱动两套固晶绑头纵向移动，两套固晶绑头分别通过升降模块驱动，从而也可以分别取放固晶，以提升固晶效率，并外，两套固晶绑头可以实现晶片的取放接力，以缩短每个固晶绑头的移动距离，提升效率，保证固晶精度；另外，使用固晶横移模块驱动固晶纵移模块横向移动，进而可以带动两套固晶绑头横向移动，以进一步提升效率。

Description

绑头固晶装置及固晶机

技术领域

本申请属于半导体固晶技术领域，更具体地说，是涉及一种绑头固晶装置及固晶机。

背景技术

固晶一般是使用点胶机对支架上安装晶片的位置进行点胶。然后移送到固晶位，固晶绑头从扩膜供晶机构上吸取晶片，再放置到支架上，以实现固晶。当前固晶装置一般是使用多个线性模块组成三轴移动平台，以驱动一个固晶绑头升降、横移、纵移，再升降，以取放晶片，然后复位。在每次效率较低，特别是晶片移动距离较长时，还需要控制好固晶绑头的移动速度，会导致固晶效率再次下降。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种绑头固晶装置及固晶机，以解决现有技术中存在的固晶绑头使用三轴移动平台驱动，特别是移动距离较长时，效率低的问题。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：提供一种绑头固晶装置，包括两套固晶绑头、驱动两套所述固晶绑头分别升降的固晶升降模块、驱动两套所述固晶绑头纵向移动的固晶纵移模块、驱动所述固晶纵移模块横向移动的固晶横移模块和支撑所述固晶横移模块的固晶支座，所述固晶纵移模块滑动安装于所述固晶支座上，所述固晶升降模块安装于所述固晶纵移模块上，各所述固晶绑头支撑于所述固晶纵移模块上。

在一个可选实施例中，所述固晶升降模块包括分别与各套所述固晶绑头相连的固晶动子、分别支撑各所述固晶绑头的滑板和驱动各所述固晶动子升降的固晶直线定子，各所述固晶动子安装于所述固晶直线定子中，两套所述固晶绑头分别沿竖直方向滑动安装于两个所述滑板上，所述固晶纵移模块用于分别驱动两个所述固晶动子于所述固晶直线定子中纵向移动，各所述滑板分别与所述固晶纵移模块相连。

在一个可选实施例中，所述固晶纵移模块包括分别驱动两个所述滑板纵向移动的两个直线驱动模块，两个所述滑板分别与两个所述直线驱动模块相连。

在一个可选实施例中，两个所述直线驱动模块分别为用于驱动一个所述滑板纵向移动的纵移直线电机和用于驱动另一个所述滑板纵向移动的丝杆传送模组，所述纵移直线电机和所述丝杆传送模组滑动支撑于所述固晶支座上，所述纵移直线电机和所述丝杆传送模组分别与所述固晶横移模块相连。

在一个可选实施例中，所述固晶纵移模块包括分别与两个所述滑板相连的两个直线动子和驱动两个所述直线动子纵向移动的纵向直线定子，所述纵向直线定子与所述固晶横移模块相连。

在一个可选实施例中，所述绑头固晶装置还包括用于对所述固晶纵移模块的运动方向起缓冲作用的对冲组件，所述对冲组件与所述固晶纵移模块分别设于所述固晶支座的相对两侧。

在一个可选实施例中，所述固晶绑头包括吸嘴组件、支撑所述吸嘴组件的支撑座、驱动所述支撑座升降的升降驱动器、与所述固晶升降模块相连的绑头座和连接所述支撑座与所述绑头座的弹片，所述升降驱动器安装于所述绑头座上。

在一个可选实施例中，所述升降驱动器为音圈电机。

在一个可选实施例中，所述支撑座的上下两端分别通过所述弹片与所述绑头座相连。

本申请实施例的另一目的在于提供一种固晶机，包括如上任一实施例所述的绑头固晶装置。

本申请实施例提供的绑头固晶装置及固晶机的有益效果在于：与现有技术相比，本申请，通过设置两套固晶绑头，通过固晶升降模块驱动固晶绑头升降，而固晶纵移模块驱动两套固晶绑头纵向移动，两套固晶绑头分别通过升降模块驱动，从而也可以分别取放固晶，以提升固晶效率，并外，两套固晶绑头可以实现晶片的取放接力，以缩短每个固晶绑头的移动距离，提升效率，保证固晶精度；另外，使用固晶横移模块驱动固晶纵移模块横向移动，进而可以带动两套固晶绑头横向移动，以进一步提升效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的绑头固晶装置的结构示意图一；

图2为本申请实施例提供的绑头固晶装置的结构示意图二；

图3为本申请实施例提供的绑头固晶装置的结构示意图三；

图4为本申请实施例提供的固晶绑头的结构示意图。

其中，图中各附图主要标记：

100-绑头固晶装置；

11-固晶支座；12-固晶绑头；121-吸嘴组件；122-支撑座；123-升降驱动器；124-绑头座；125-弹片；13-固晶升降模块；131-固晶动子；132-固晶直线定子；133-滑板；14-固晶纵移模块；141-纵移直线电机；142-丝杆传送模组；15-固晶横移模块；16-对冲组件。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请说明书中描述的参考“一个实施例”、“一些实施例”或“实施例”意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。此外，在一个或多个实施例中，可以以任何合适的方式组合特定的特征、结构或特性。

为了方便描述，定义空间上相互垂直的三个坐标轴分别为X轴、Y轴和Z轴，同时，沿X轴的方向为横向，沿Y轴的方向为纵向，沿Z轴方向为竖向；其中X轴与Y轴为同一水平面相互垂直的两个坐标轴，Z轴为竖直方向的坐标轴；X轴、Y轴和Z轴位于空间相互垂直有三个平面分别为XY面、YZ面和XZ面，其中，XY面为水平面，XZ面和YZ面均为竖直面，且XZ面与YZ面垂直。空间中三轴为X轴、Y轴和Z轴，沿空间上三轴移动指沿空间上相互垂直的三轴移动，特指在空间上沿X轴、Y轴和Z轴移动；而平面移动，则为在XY面移动。

请参阅图1和图2，现对本申请提供的绑头固晶装置100进行说明。所述绑头固晶装置100，包括两套固晶绑头12、固晶升降模块13、固晶纵移模块14、固晶横移模块15和固晶支座11，固晶纵移模块14滑动安装于固晶支座11上，固晶升降模块13安装于固晶纵移模块14上，各固晶绑头12支撑于固晶纵移模块14上。固晶升降模块13驱动两套固晶绑头12分别升降，即固晶升降模块13驱动两套固晶绑头12分别沿Z轴移动，以调节各套固晶绑头12的高度。固晶纵移模块14分别驱动两套固晶绑头12纵向移动，即固晶纵移模块14分别驱动两套固晶绑头12沿Y轴移动。固晶横移模块15驱动固晶纵移模块14横向移动，即固晶横移模块15驱动固晶纵移模块14沿X轴移动，进而驱动固晶绑头12沿X轴移动。通过固晶升降模块13、固晶纵移模块14和固晶横移模块15，可以实现驱动固晶绑头12沿空间上相互垂直的三轴移动，以调节固晶绑头12在空间上的位置，以便固晶绑头12精准取放晶片。使用两套固晶绑头12，效率高，如在一些固晶机中，可以使用两套固晶绑头12分别取放晶片，以提升效率。而且可以一套固晶绑头12可以用来从扩膜供晶机构中吸取晶片，再放置到中转台上；另一套固晶绑头12用来从中转台上吸取晶片，再安装到支架上，实现晶片吸取接力，各固晶绑头12移动距离短，效率更高，也可以提升晶片的吸取与安装精准性。

本申请提供的绑头固晶装置100，与现有技术相比，本申请通过设置两套固晶绑头12，通过固晶升降模块13驱动固晶绑头12升降，而固晶纵移模块14驱动两套固晶绑头12纵向移动，两套固晶绑头12分别通过升降模块驱动13，从而也可以分别取放固晶，以提升固晶效率，并外，两套固晶绑头12可以实现晶片的取放接力，以缩短每个固晶绑头12的移动距离，提升效率，保证固晶精度；另外，使用固晶横移模块15驱动固晶纵移模块14横向移动，进而可以带动两套固晶绑头12横向移动，以进一步提升效率。

在一个实施例中，请参阅图1、图2和图3，固晶升降模块13包括两个固晶动子131、两个滑板133和固晶直线定子132，两个固晶动子131分别与两套固晶绑头12相连，以分别带动两套固晶绑头12升降移动。两个固晶动子131均安装在固晶直线定子132中，通过各固晶动子131与固晶直线定子132形成直线电机，以实现分别驱动两个固晶动子131升降移动。两个固晶绑头12分别安装在两个滑板133上，通过两个滑板133来支撑两个固晶绑头12，并且各固晶绑头12滑动安装在对应滑板133上，即各固晶绑头12可以在对应滑板133上升降滑动。各滑板133分别与固晶纵移模块14相连，从而可以通过固晶纵移模块14分别驱动各滑板133纵向移动，进而可以带动相应固晶动子131在固晶直线定子132中纵向移动，并且也可以带动相应固晶绑头12纵向移动。使用一个固晶直线定子132来驱动两个固晶动子131升降，并且固晶动子131可以在固晶直线定子132中纵向移动，可以简化结构，提高集成度，降低成本，缩小体积。在一些实施例中，也可以使用两个线性模块，以分别驱动两个固晶绑头12升降移动。

在一个实施例中，请参阅图1、图2和图3，固晶纵移模块14包括两个直线驱动模块，两个滑板133分别与两个直线驱动模块相连，通过两个直线驱动模块分别驱动两个滑板133纵向移动。

在一个实施例中，请参阅图1、图2和图3，两个直线驱动模块分别为纵移直线电机141和丝杆传送模组142，纵移直线电机141和丝杆传送模组142滑动支撑于固晶支座11上，纵移直线电机141和丝杆传送模组142分别与固晶横移模块15相连。纵移直线电机141用于驱动一个滑板133纵向移动，进而驱动对应固晶绑头12纵向移动。丝杆传送模组142用于驱动另一个滑板133纵向移动，进而驱动对应固晶绑头12纵向移动。使用纵移直线电机141和丝杆传送模组142配合，来分别驱动两个固晶绑头12移动，精确度高，成本低。如可以使用丝杆传送模组142驱动一个固晶绑头12从扩膜供晶机构40中吸取晶片，再放置到中转台，以便精准取放晶片。使用纵移直线电机141驱动另一个固晶绑头12从中转台吸取晶片，再安装到支架上，移动位置与距离固定，成本低。在其它一些实施例中，固晶纵移模块14也可以使用两套线性模块分别驱动两套固晶绑头12纵向移动。

在一些实施例中，固晶纵移模块14可以包括一个沿纵向设置的纵向直线定子和两个直线动子，纵向直线定子与固晶横移模块相连，两个直线动子分别安装在一个纵向直线定子中，两个直线动子分别与两个滑板133相连，以实现两个直线动子共用一个纵向直线定子，通过纵向直线定子来驱动两个直线动子纵向移动，进而带动两个滑板133纵向移动，以提升集成度，降低成本，缩小体积。

在一个实施例中，固晶横移模块15为丝杆传动机构，固晶横移模块15具有较大的推力，以平稳驱动固晶纵移模14带动固晶升降模块13和固晶绑头12横向移动。当然，其它实施例中，固晶横移模块15也可以为齿轮齿条机构、直线电机等线性模块。

在一个实施例中，请参阅图1和图2，绑头固晶装置10还包括对冲组件16，对冲组件16与固晶纵移模块14分别设于固晶支座11的相对两侧，对冲组件16用于对固晶纵移模块14的运动方向起缓冲作用，即固晶纵移模块14驱动固晶绑头12纵向移动时，对冲组件16与固晶纵移模块14反向同步运动，以起到对冲缓冲作用，以减小振动，保证固晶绑头12平稳移动。

在一个实施例中，固晶纵移模块14包括两个直线驱动模块时，对冲组件16主要用来缓冲靠近固晶位202的一个直线驱动模块的运行，即对冲组件16主要用来缓冲驱动向支架上安装晶片的固晶绑头12对应的直线驱动模块的运行，以保证固晶的准确性。如本实施例中，固晶纵移模块14包括纵移直线电机141和丝杆传送模组142时，对冲组件16主要用来缓冲纵移直线电机141的运行。

在一个实施例中，可以使用固晶纵移模块14驱动两套固晶绑头12同步纵向移动，这样可以降低成本，缩小体积。这样可以通过对冲组件16对两个固晶绑头12的纵向移动进行缓冲，以降低固晶绑头12纵向移动的振动，以使固晶绑头12可以更平稳移动。

在一个实施例中，对冲组件16和固晶纵移模块14分别设于固晶支座11的相对两角处，以更好的对固晶纵移模块14的运行起到缓冲作用。

在一个实施例中，请参阅图3和图4，固晶绑头12包括吸嘴组件121、支撑座122、升降驱动器123、绑头座124和弹片125，升降驱动器123安装于绑头座124上，以通过绑头座124来支撑升降驱动器123。吸嘴组件121用于吸取晶片。吸嘴组件121安装在支撑座122上，通过支撑住来支撑吸嘴组件121。弹片125连接支撑座122与绑头座124，以通过弹片125支撑住支撑座122，进而支撑吸嘴组件121。支撑座122与升降驱动器123相连，以通过升降驱动器123驱动支撑座122升降，进而驱动吸嘴组件121升降，进而保证吸嘴组件121精准吸取晶片，防止吸嘴组件121压坏晶片。使用弹片125连接支撑座122与绑头座124，可以起到弹性复位的作用，并弹性支撑吸嘴组件121与支撑座122，减小升降驱动器123驱动支撑座122升降的驱动力，以更灵活驱动支撑座122升降，以精准控制支撑座122与吸嘴组件121的高度。

在一个实施例中，升降驱动器123为音圈电机，以便精确、高速、平稳驱动吸嘴组件121升降移动。在取放晶片时，固晶动子131驱动对应固晶绑头12下降到一定高度，以使吸嘴组件121吸取晶片。然后由于吸嘴组件121在下降到这个高度时可能没有碰到晶片或者过度挤压晶片，这时候就需要微调，以防止过度挤压晶片导致晶片和吸嘴组件121的损害。若没有碰到晶片则音圈电机驱动吸嘴组件121向下运动吸取晶片，若过度挤压晶片则驱动吸嘴组件121向上运动，并反馈至控制系统。

在一个实施例中，支撑座122的上下两端分别通过弹片125与绑头座124相连，以更稳定地支撑住支撑座122与吸嘴组件121。

本申请实施例还提供一种固晶机，包括如上任一实施例所述的绑头固晶装置。该固晶机使用了上述绑头固晶装置，晶片取放快速度，固晶效率高，其具有上述绑头固晶装置的技术效果，在此不再赘述。

以上所述仅为本申请的可选实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种绑头固晶装置，其特征在于，包括两套固晶绑头(12)、驱动两套所述固晶绑头(12)分别升降的固晶升降模块(13)、驱动两套所述固晶绑头(12)纵向移动的固晶纵移模块(14)、驱动所述固晶纵移模块(14)横向移动的固晶横移模块(15)和支撑所述固晶横移模块(15)的固晶支座(11)，所述固晶纵移模块(14)滑动安装于所述固晶支座(11)上，所述固晶升降模块(13)安装于所述固晶纵移模块(14)上，各所述固晶绑头(12)支撑于所述固晶纵移模块(14)上。

2.如权利要求1所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述固晶升降模块(13)包括分别与各套所述固晶绑头(12)相连的固晶动子(131)、分别支撑各所述固晶绑头(12)的滑板(133)和驱动各所述固晶动子(131)升降的固晶直线定子(132)，各所述固晶动子(131)安装于所述固晶直线定子(132)中，两套所述固晶绑头(12)分别沿竖直方向滑动安装于两个所述滑板(133)上，所述固晶纵移模块(14)用于分别驱动两个所述固晶动子(131)于所述固晶直线定子(132)中纵向移动，各所述滑板(133)分别与所述固晶纵移模块(14)相连。

3.如权利要求2所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述固晶纵移模块(14)包括分别驱动两个所述滑板(133)纵向移动的两个直线驱动模块，两个所述滑板(133)分别与两个所述直线驱动模块相连。

4.如权利要求3所述的绑头固晶装置，其特征在于：两个所述直线驱动模块分别为用于驱动一个所述滑板(133)纵向移动的纵移直线电机(141)和用于驱动另一个所述滑板(133)纵向移动的丝杆传送模组(142)，所述纵移直线电机(141)和所述丝杆传送模组(142)滑动支撑于所述固晶支座(11)上，所述纵移直线电机(141)和所述丝杆传送模组(142)分别与所述固晶横移模块(15)相连。

5.如权利要求2所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述固晶纵移模块(14)包括分别与两个所述滑板(133)相连的两个直线动子和驱动两个所述直线动子纵向移动的纵向直线定子，所述纵向直线定子与所述固晶横移模块(15)相连。

6.如权利要求1-5任一项所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述绑头固晶装置还包括用于对所述固晶纵移模块(14)的运动方向起缓冲作用的对冲组件(16)，所述对冲组件(16)与所述固晶纵移模块(14)分别设于所述固晶支座(11)的相对两侧。

7.如权利要求1-5任一项所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述固晶绑头(12)包括吸嘴组件(121)、支撑所述吸嘴组件(121)的支撑座(122)、驱动所述支撑座(122)升降的升降驱动器(123)、与所述固晶升降模块(13)相连的绑头座(124)和连接所述支撑座(122)与所述绑头座(124)的弹片(125)，所述升降驱动器(123)安装于所述绑头座(124)上。

8.如权利要求7所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述升降驱动器(123)为音圈电机。

9.如权利要求7所述的绑头固晶装置，其特征在于：所述支撑座(122)的上下两端分别通过所述弹片(125)与所述绑头座(124)相连。

10.一种固晶机，其特征在于：包括如权利要求1-9任一项所述的绑头固晶装置(100)。

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