CN217306466U - 一种用于定位物体的移动机构和固晶摆臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种用于定位物体的移动机构和固晶摆臂，该移动机构包括第一驱动装置、载物平台、第二驱动装置和第三驱动装置，第一驱动装置包括第一动子和第一定子，第一动子能相对第一定子沿第一方向移动，第一动子和第一定子均与第二驱动装置连接，第二驱动装置驱动第一动子和第一定子沿第二方向移动，第三驱动装置驱动第一动子沿第三方向移动，第一方向、第二方向和第三方向相互垂直；载物平台与第一动子连接；该固晶摆臂包括上述移动机构。本实用新型能提高载物平台的移动速度，并能在预设方向上增大载物平台的移动距离。

Description

一种用于定位物体的移动机构和固晶摆臂

技术领域

本实用新型涉及移动机构领域，具体是涉及一种用于定位物体的移动机构和固晶摆臂。

背景技术

固晶一般是使用点胶机对托架上安装晶片的位置进行点胶，然后移动到固晶位，固晶摆臂从供晶平台上吸取晶片，再旋转并放置到托架上，以实现固晶。固晶摆臂将晶片放置在托架上时，由于固晶摆臂的自身移动距离限制，固晶摆臂将多个晶片排列成一列后，需要依靠托架下方的输送机构移动托架，使得托架上待放置晶片的位置移动至固晶摆臂的工作范围内，方便后续晶片的摆放。由于晶片体积小，对应地托架的单次移动距离也很小，因此对托架的位置精度要求较高，依靠输送机构移动托架很难达到该精度要求。

实用新型内容

本实用新型的第一目的是提供一种能提高移动速度并能在预设方向上增大移动距离的用于定位物体的移动机构。

本实用新型的第二目的是提供一种包含上述移动机构的固晶摆臂。

为了实现上述的第一目的，本实用新型提供的一种用于定位物体的移动机构，包括第一驱动装置、载物平台、第二驱动装置和第三驱动装置，第一驱动装置包括第一动子和第一定子，第一动子能相对第一定子沿第一方向移动，第一动子和第一定子均与第二驱动装置连接，第二驱动装置驱动第一动子和第一定子沿第二方向移动，第三驱动装置驱动第一动子沿第三方向移动，第一方向、第二方向和第三方向两两相交；载物平台与第一动子连接。

由上述方案可见，通过设置第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置用于分别驱动第一动子沿第一方向、第二方向和第三方向移动；通过设置第一定子与第二驱动装置连接，用于驱动第一定子沿第二方向移动，使得第一定子与第一动子能同步沿第二方向移动，有利于增大第一动子在第二方向上的移动距离；本实施例的第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置均采用动子与定子的配合实现驱动作用，由于动子与定子之间不直接接触，即定子的负载不会转移至动子上，有利于减轻动子的负载和摩擦力，提高动子和载物平台的移动速度。

进一步的方案是，第一方向、第二方向和第三方向相互垂直，或者，第一方向与第二方向垂直，且第一方向与第三方向垂直。

进一步的方案是，在第二方向上，第一动子和第一定子能同步移动，第一动子与第一定子之间设置有预设距离，第一动子在第二方向上的移动距离大于或等于预设距离。

由上述方案可见，第一动子的移动距离不再受第一动子与第一定子之间的预设距离限制。

又进一步的方案是，第一定子沿第一方向延伸，第一动子至少一端与第一定子相邻设置。

进一步的方案是，第二驱动装置包括第二动子和第二定子，所述第二定子沿第二方向延伸，第二动子至少一端与第二定子相邻布置,第二动子能相对第二定子沿第二方向移动。

又进一步的方案是，第二驱动装置在第二动子的一端设置有第一支架和第二支架，第一支架与第一定子固连，第二支架驱动第一动子沿第二方向移动。

由上述方案可见，通过设置第一支架和第二支架，用于分别驱动第一定子和第一动子移动，具有结构简单、操作方便的优点。

进一步的方案是，第三驱动装置包括第三动子和第三定子，第三定子沿第三方向延伸，第三动子至少一端与第三定子相邻布置，第三动子能相对第三定子沿第三方向移动。

又进一步的方案是，第一驱动装置在第一动子的一端连接有第一移动架；第三驱动装置在第三动子的一端连接有第二移动架，第一移动架沿第一方向滑动地连接在第二移动架上，第二支架沿第三方向滑动地连接在第二移动架上。

进一步的方案是，第二驱动装置和第一定子之间还设置有第一导向固定架，第一导向固定架沿第二方向延伸，第一支架与第一导向固定架滑动连接；第二驱动装置和第二移动架之间还设置有第二导向固定架，第二导向固定架沿第二方向延伸，第二支架与第二导向固定架滑动连接。

进一步的方案是，第二驱动装置和第三驱动装置均设置在第一驱动装置的同一侧，第三驱动装置设置在第一支架和第二支架之间，或者，第三驱动装置设置在第一支架和第二支架的同一侧。

由上述方案可见，通过将第二驱动装置和第三驱动装置均设置在第一驱动装置的同一侧，有利于减小移动机构的自身体积。

为了实现上述的第二目的，本实用新型提供的一种固晶摆臂，包括旋转臂、取晶片组件和上述的移动机构，移动机构设置在旋转臂上，取晶片组件设置在移动机构的载物平台上。

由上述方案可见，将移动机构应用于固晶机的固晶摆臂上，有利于增大取晶片组件的工作范围，方便固晶摆臂在支架上放置多列晶片形成矩形阵后，支架才移动一次，一方面有利于减少支架的移动次数，提高放置晶片的效率，另一方面支架的移动距离比现有技术中的移动距离大，方便支架自身的定位，有利于提高其定位精度。

附图说明

图1是本实用新型移动机构第一实施例的结构图。

图2是本实用新型移动机构第二实施例的结构图。

以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明。

具体实施方式

移动机构第一实施例：

参见图1，本实施例提供的一种用于定位物体的移动机构，包括第一驱动装置、载物平台3、第二驱动装置和第三驱动装置，第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置相当于线性马达。

第一驱动装置包括第一动子1和第一定子2，第一动子1能相对第一定子2沿第一方向移动。第一动子1设为缠绕有多个线圈的线圈支架，第一定子2设为具有多个永久性磁铁的磁铁支架，或者，第一动子1设为具有多个永久性磁铁的磁铁支架，第一定子2设为缠绕有多个线圈的线圈支架。线圈支架上的线圈通电后产生电磁场，电磁场与磁铁支架相互作用，以驱动第一动子1沿第一方向相对第一定子2移动。

第一动子1和第一定子2均与第二驱动装置连接，第二驱动装置驱动第一动子1和第一定子2沿第二方向移动。第三驱动装置驱动第一动子1沿第三方向移动，第一方向、第二方向和第三方向两两相交。具体地，第一方向、第二方向和第三方向相互垂直，或者，第一方向与第二方向垂直，且第一方向与第三方向垂直，此时第二方向与第三方向可垂直，也可不垂直，本实施例优选为第一方向、第二方向和第三方向相互垂直。载物平台3与第一动子1连接，以实现载物平台3在第一方向、第二方向和第三方向上移动。为了方便说明，本实施例将第一方向设为Z向，将第二方向设为X向，将第三方向设为Y向,Y向为图1中垂直纸面的方向。

在X向上，第一动子1和第一定子2同步移动。第一定子2设为“U”形结构，第一定子2内开设有第一安装槽21，第一安装槽21沿Z向延伸，第一安装槽21朝下开设第一槽口。第一动子1的一端平行地设置在第一安装槽21内，第一动子1的另一端凸出第一安装槽21外，载物平台3连接在第一动子1凸出第一安装槽21外的一端。

在X向上，第一动子1的两侧表面分别与第一安装槽21的槽壁平行且相邻布置，且第一动子1的表面到第一安装槽21的槽壁之间设置有第一预设距离，第一动子1和第一定子2在X向上的移动距离大于或等于第一预设距离，即第一动子1和第一定子2在X向上的移动距离不受该第一预设距离影响。

第二驱动装置包括第二动子4和第二定子5，第二动子4能相对第二定子5沿X向移动。第二动子4设为缠绕有多个线圈的线圈支架，第二定子5设为具有多个永久性磁铁的磁铁支架，或者，第二动子4设为具有多个永久性磁铁的磁铁支架，第二定子5设为缠绕有多个线圈的线圈支架。线圈支架上的线圈通电后产生电磁场，电磁场与磁铁支架相互作用，驱动第二动子4沿X向相对第二定子5移动。第二定子5沿X向布置，第二定子5设为“U”形结构，第二定子5内开设有第二安装槽51，第二安装槽51沿X向延伸，第二安装槽51朝向第一定子2的一端开设有第二槽口，或者，第二安装槽51背向第一定子2的一端开设有第二槽口，本实施例优选为前者。第二动子4的一端平行地插装在第二安装槽51内，且第二动子4的两侧槽壁分别与第二安装槽51的槽壁平行且相邻布置；第二动子4的另一端凸出第二安装槽51外。

第二驱动装置在第二动子4凸出第二安装槽51外的一端设置有第一支架6和第二支架7，第一支架6和第二支架7分别连接在第二动子4的两侧，第一支架6直接与第一定子2固连，第二支架7用于驱动第一动子1沿X向移动。

第三驱动装置包括第三动子8和第三定子9，第三动子8能相对第三定子9沿Y向移动。第三定子9沿Y向延伸，即第三定子9垂直于第一定子2的延伸方向，或者，第三定子9平行于第一定子2的延伸方向，本实施例优选为前者。第三动子8设为缠绕有多个线圈的线圈支架，第三定子9设为具有多个永久性磁铁的磁铁支架，或者，第三动子8设为具有多个永久性磁铁的磁铁支架，第三定子9设为缠绕有多个线圈的线圈支架。线圈支架上的线圈通电后产生电磁场，电磁场与磁铁支架相互作用，驱动第三动子8沿Y向相对第三定子9移动。第三定子9设为“U”形结构，第三定子9内开设有第三安装槽91，第三安装槽91沿Y向延伸，第三安装槽91开设有第二槽口，第三动子8的一端平行地插装在第三安装槽91内，且第三动子8的两侧表面分别与第三安装槽91的槽壁平行且相邻布置，第三动子8的另一端凸出第三安装槽91外。

第一驱动装置在第一动子1凸出第一安装槽21的一端设置有第一移动架12，第一移动架12和载物平台3分设在第一动子1的两侧。

第三驱动装置在第三动子8凸出第三安装槽91的一端设置有第二移动架13，第二移动架13设置在第一移动架12和第二支架7之间，第二移动架13沿Z向延伸。具体地，第一移动架12沿X向滑动地连接在第二移动架13的第一侧，第二支架7的一端沿Y向滑动地连接在第二移动架13的第二侧,使得第二动子4能驱动第一动子1沿X向移动，且第三动子8能驱动第一动子1沿Y向移动。

为了确保第一支架6能准确地沿X向滑动，第二动子4和第一定子2之间还设置有第一导向固定架10，第一导向固定架10沿X向延伸，第一支架6与第一导向固定架10滑动连接。第一导向固定架10优选为第一导轨，第一支架6上设置有第一滑块，第一滑块与第一导轨配合连接。

为了确保第二支架7能准确地沿X向滑动，第二驱动装置和第二移动架13之间还设置有第二导向固定架11，第二导向固定架11沿X向延伸，第二支架7与第二导向固定架11滑动连接。第二导向固定架11优选为第二导轨，第二支架7上设置有第二滑块，第二滑块与第二导轨配合连接。

本实施例中，第二驱动装置和第三驱动装置均设置在第一驱动装置的同一侧，第三驱动装置设置在第一支架6和第二支架7之间，或者，第三驱动装置设置在第一支架6和第二支架7的同一侧，本实施例优选为前者，以减少移动机构的体积。

本实施例中，第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置均采用动子与定子的配合实现驱动作用，由于动子与定子之间不直接接触，即定子的负载不会转移至动子上，有利于减轻动子的负载和摩擦力，提高动子和载物平台3的移动速度。

移动机构第二实施例：

参见图2，在上述移动机构第一实施例的基础和原理上，本实施例的第一定子2a、第二定子5a和第三定子9a还可进行适当变形。

第一定子2a设为平板型结构，第一定子2a沿Z向延伸，第一动子1的第一端与第一定子2a平行且相邻设置，第一动子1第一端表面到第一定子2a表面之间具有第一预设距离，该第一预设距离以能实现第一动子1相对第一定子2a沿Z向移动为准。第一动子1的第二端超出第一定子2a的端部，载物平台3连接在第一动子1的第二端上。本实施例中，第一动子1的两端处于同一直线上，在其它实施例中，第一动子1的第二端能与其第一端夹角相交或平行设置。

第二定子5a设为平板型结构，第二定子5a沿X向延伸，第二动子4的第一端与第二定子5a平行且相邻设置，第二动子4第二端表面到第二定子5a表面之间具有第二预设距离，该第二预设距离以能实现第二动子4相对第二定子5a沿X向移动为准。第二动子4的第二端超出第二定子5a的端部，用于分别与第一支架6和第二支架7连接。

第三定子9a设为平板型结构，第三定子9a沿Y向延伸，且第三定子9a垂直于第一定子2a，或第三定子9a平行于第一定子2a。第三动子8的第一端与第三动子8平行且相邻设置，第三动子8第二端表面到第三定子9a表面之间具有第三预设距离，该第三预设距离以能实现第三动子8相对第三定子9a沿Y向移动为准。第三动子8的第二端超出第三定子9a的端部，用于与第二移动架13连接。

上述移动机构第一实施例和移动机构第二实施例只是其中两种可行的实施方式，在其它实施例中，“U”形结构的定子和平板型结构的定子可设置在同一实施例的不同驱动装置中，以实现带动载物平台沿X/Y/Z向移动，在此不再赘述。

固晶摆臂实施例：

本实施例还提供的一种用于固晶机的固晶摆臂，固晶机包括供晶平台、输送机构、托架和固晶摆臂，托架设置在输送机构上，输送机构驱动托架沿X向移动，托架上设置有固晶位。固晶摆臂的第一端能在固晶位和供晶平台之间来回移动。

固晶摆臂包括旋转臂、取晶片组件和上述实施例的移动机构，旋转臂的第一端能绕其自身第二端旋转，移动机构设置在旋转臂的第一端上，取晶片组件设置在移动机构的载物平台上，旋转臂带动移动机构旋转过程中，移动机构带动取晶片组件在X/Y/Z方向上移动，实现取晶片和放晶片操作。

本实施例将移动机构应用于固晶机的固晶摆臂上，有利于增大取晶片组件在X向上的工作范围，方便固晶摆臂在托架上放置多列晶片形成矩形阵后，托架才沿X向移动一次，一方面有利于增大托架的单次移动距离，减少托架的移动次数，提高放置晶片的效率，另一方面托架的单次移动距离比现有技术中的移动距离大，方便托架自身的定位，有利于提高其定位精度。

本实施例中托架沿X向移动，与移动机构中增大载物平台的移动距离方向一致，有利于配合晶片的放置动作。

在其它实施例中，托架可沿Y向或Z向移动，此时可通过上述结构和原理增大载物平台在Y向或Z向上的移动距离，以配合晶片的放置动作，在此不再赘述。

综上可见，本实用新型通过设置第一驱动装置、第二驱动装置和第三驱动装置用于驱动第一动子沿第一方向、第二方向和第三方向移动；通过设置第一定子与第二驱动装置连接，用于驱动第一定子沿第二方向移动，使得第一定子与第一动子能同步沿第二方向移动，有利于增大第一动子在第二方向上的移动距离。

最后需要强调的是，以上仅为本实用新型的优选实施例，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种变化和更改，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种用于定位物体的移动机构，其特征在于：包括第一驱动装置、载物平台、第二驱动装置和第三驱动装置，所述第一驱动装置包括第一动子和第一定子，所述第一动子能相对所述第一定子沿第一方向移动，所述第一动子和所述第一定子均与所述第二驱动装置连接，所述第二驱动装置驱动所述第一动子和所述第一定子沿第二方向移动，所述第三驱动装置驱动所述第一动子沿第三方向移动，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两相交；

所述载物平台与所述第一动子连接。

2.根据权利要求1所述的移动机构，其特征在于：

第一方向、第二方向和第三方向相互垂直，或者，第一方向与第二方向垂直，且第一方向与第三方向垂直。

3.根据权利要求1所述的移动机构，其特征在于：

在第二方向上，所述第一动子和所述第一定子同步移动，所述第一动子与所述第一定子之间设置有预设距离，所述第一动子在第二方向上的移动距离大于或等于所述预设距离。

4.根据权利要求3所述的移动机构，其特征在于：

所述第一定子沿第一方向延伸，所述第一动子至少一端与所述第一定子相邻设置。

5.根据权利要求1所述的移动机构，其特征在于：

所述第二驱动装置包括第二动子和第二定子，所述第二定子沿第二方向延伸，所述第二动子至少一端与所述第二定子相邻布置,所述第二动子能相对所述第二定子沿第二方向移动。

6.根据权利要求5所述的移动机构，其特征在于：

所述第二驱动装置在所述第二动子的一端设置有第一支架和第二支架，所述第一支架与所述第一定子固连，所述第二支架驱动所述第一动子沿第二方向移动。

7.根据权利要求6所述的移动机构，其特征在于：

所述第三驱动装置包括第三动子和第三定子，所述第三定子沿第三方向延伸，所述第三动子至少一端与所述第三定子相邻布置，所述第三动子能相对所述第三定子沿第三方向移动。

8.根据权利要求7所述的移动机构，其特征在于：

所述第一驱动装置在所述第一动子的一端连接有第一移动架；

所述第三驱动装置在所述第三动子的一端连接有第二移动架，所述第一移动架沿第一方向滑动地连接在所述第二移动架上，所述第二支架沿第三方向滑动地连接在所述第二移动架上。

9.根据权利要求8所述的移动机构，其特征在于：

所述第二驱动装置和所述第一定子之间还设置有第一导向固定架，所述第一导向固定架沿第二方向延伸，所述第一支架与所述第一导向固定架滑动连接；

所述第二驱动装置和所述第二移动架之间还设置有第二导向固定架，所述第二导向固定架沿第二方向延伸，所述第二支架与所述第二导向固定架滑动连接。

10.根据权利要求6所述的移动机构，其特征在于：

所述第二驱动装置和所述第三驱动装置均设置在所述第一驱动装置的同一侧，所述第三驱动装置设置在所述第一支架和所述第二支架之间，或者，所述第三驱动装置设置在所述第一支架和所述第二支架的同一侧。

11.固晶摆臂，其特征在于：包括旋转臂、取晶片组件和上述权利要求1至10任一项所述的移动机构，所述移动机构设置在所述旋转臂上，所述取晶片组件设置在所述移动机构的载物平台上。

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