CN220400557U - 一种轮盘式固晶装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种轮盘式固晶装置，包括底座、设于底座上的承载组件和固晶组件、以及用于驱动承载组件和固晶组件的动力机构；动力机构包括设于承载组件上的第一驱动组件和设于固晶组件上的第二驱动组件；承载组件包括承片台以及连接承片台和底座的第一支架；固晶组件包括转动件、设于转动件外周的若干吸附件、以及用于连接转动件和第二驱动组件的第二支架；晶圆设于承片台，第一驱动组件带动承片台靠近或远离吸附件，第二驱动组件带动转动件转动以使吸附件由吸芯位置转动至固芯位置。本实用新型通过将吸附件固定于转动件的外周，转动件转动1/4周，即可完成由吸芯位置转动至固芯位置，行程较短，所需时间也较短，提高了工作效率。

Description

一种轮盘式固晶装置

技术领域

本实用新型涉及半导体封装设备技术领域，具体涉及一种轮盘式固晶装置。

背景技术

固晶又称为Die Bond或装片。固晶即通过胶体或共晶的方式把晶片粘结在支架的指定区域，形成热通路或电通路，为后序的打线连接提供条件的工序。

目前，固晶是半导体封测的一道关键工序，将芯片从晶圆上吸取后使用传动装置转移芯片，并将芯片固定在引线支架上。常规的小信号器件的固晶机构通常有两种，分别是平面摆臂式和平面直臂式。平面直臂式中，吸臂在吸芯位置做下降-吸芯-上升运动，随后移动到固芯位置重复下降-固芯-上升运动；平面摆臂式中，摆臂需要在吸芯位置和固芯位置之间做扇形摆动。

然而，无论是平面摆臂式还是平面直臂式的固晶方式，吸臂在固晶的过程中，往复运动的行程都较长，花费时间较长，导致工作效率较低。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的是提供一种轮盘式固晶装置，旨在解决目前平面摆臂式和平面直臂式的两种固晶方式，吸臂在固晶的过程中，往复运动的行程都较长，花费时间较长，导致工作效率较低。

为实现上述目的，本实用新型通过如下技术方案来实现：一种轮盘式固晶装置，包括底座、设于所述底座上的承载组件和固晶组件、以及用于驱动所述承载组件和所述固晶组件的动力机构；

动力机构，所述动力机构包括设于所述承载组件上的第一驱动组件和设于所述固晶组件上的第二驱动组件；

承载组件，所述承载组件包括承片台以及连接所述承片台和所述底座的第一支架；

固晶组件，所述固晶组件包括转动件、设于所述转动件外周的若干吸附件、以及用于连接所述转动件和所述第二驱动组件的第二支架；

其中，晶圆设于所述承片台，所述第一驱动组件带动所述承片台靠近或远离所述吸附件，所述第二驱动组件带动所述转动件转动以使所述吸附件由吸芯位置转动至固芯位置。

综上，根据本实用新型提出的一种轮盘式固晶装置，通过将吸附件固定于转动件的外周，转动件转动1/4周，即可完成由吸芯位置转动至固芯位置，行程较短，所需时间也较短，提高了工作效率。进一步的，第一驱动组件可带动承片台靠近转动件，当吸附件转动至水平位置时，第一驱动组件带动承片台上的晶圆贴近吸附件以使吸附件吸附晶圆上的芯片，并通过第二驱动组件带动转动件转动，以将吸附有芯片的吸附件转动至固芯位置，吸芯位置和固芯位置仅距离四分之一转动件圆周的长度，减少了吸芯到固芯的时间。更进一步，在转动件外周可设置多个吸附件，极大地提高了工作效率和机器产能。

进一步的，所述底座上设有导轨，所述第一驱动组件驱动所述承片台于所述导轨上线性移动。

进一步的，所述第一驱动组件包括设于所述第一支架远离所述承片台一端的线性电机和设于所述承片台远离所述转动件一侧的推动件，所述推动件的一端穿设进所述承片台内。

进一步的，所述线性电机包括第一电机和第二电机，所述第一电机带动所述承片台沿垂直于所述转动件的方向线性移动，所述第二电机带动所述承片台沿垂直于所述底座的方向纵向移动。

进一步的，所述推动件包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部固定于所述底座，所述第二连接部固定于所述承片台内部，所述第二连接部与所述推动件活动连接。

进一步的，所述转动件的内部设有加强支架，所述第二支架的一端固定于所述加强支架，另一端连接至所述第二驱动组件。

进一步的，所述第二驱动组件包括设于所述第二支架上的电机本体，所述电机本体包括电机本体与转动轴，所述转动轴连接至所述第二支架远离所述转动件的一端。

进一步的，所述电机本体设于固定座上，所述固定座远离所述电机本体的一端固定至底座。

进一步的，所述吸附件等距间隔设于所述转动件的外周。

进一步的，所述第一支架和所述第二支架均垂直设于所述底座。

本实用新型的附加方面与优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述与/或附加的方面与优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显与容易理解，其中：

图1为本使用新型一实施例中轮盘式固晶装置的主视图；

图2为轮盘式固晶装置的侧视图。

附图元器件符号说明：

底座100，导轨110，轨道120，承片台210，第一支架220，转动件310，加强支架311，吸附件320，第二支架330，推动件410，第一连接部411，第二连接部412，电机本体510，转动轴520，固定座600。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、特征与优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造与操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定与限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的与所有的组合。

请结合图1-2，所示为本实用新型一实施例当中提供的一种轮盘式固晶装置的结构示意图，包括底座100、设于所述底座100上的承载组件和固晶组件、以及用于驱动所述承载组件和所述固晶组件的动力机构，其中：

为了使所述承载组件和固晶组件可相互配合使用，在所述底座100上设有导轨110和轨道120。所述动力机构驱动所述承载组件远离或靠近所述固晶组件，以实现吸芯操作。所述动力机构包括设于所述承载组件上的第一驱动组件和设于所述固晶组件上的第二驱动组件。所述第一驱动组件用于控制所述承载组件在所述底座100上方进行X、Y、Z三个方向的移动，以使设于晶圆上的芯片能够更好的地被吸取。

所述承载组件包括承片台210以及连接所述承片台210和所述底座100的第一支架210；所述第一驱动组件包括设于所述第一支架210远离所述承片台210一端的线性电机和设于所述承片台210远离所述转动件310一侧的推动件410，所述线性电机又包括第一电机和第二电机，所述第一电机用于带动所述承片台210沿轨道110垂直转动件310的方向线性移动，所述第二电机带动所述承片台210沿垂直所述底座100方向纵向移动。所述推动件410包括第一连接部411和第二连接部412，所述第一连接部411固定于所述底座100，所述第二连接部412固定于所述承片台210内部，所述第二连接部412与所述推动件410活动连接。

当所述固晶组件转动至水平位置需要吸附设于所述承片台210上晶圆上的芯片时，第一电机和第二电机控制所述承片台210于所述导轨110上移动，以使所述承片台210在X和Z方向线性移动，使得晶圆上的芯片移动至与所述固晶组件的对应位置。随后控制所述推动件410，使所述第二连接部412朝向靠近固晶组件的方向移动，进而使得固晶组件吸附住晶圆上的芯片，完成吸芯操作，然后第二连接部412退回原点。

所述固晶组件包括转动件310、设于所述转动件310外周的若干吸附件320、以及用于连接所述转动件310和所述第二驱动组件的第二支架330；所述转动件310的内部设有加强支架311，所述第二支架330的一端固定于所述加强支架311，另一端连接至所述第二驱动组件。所述第二驱动组件包括设于所述第二支架330上的电机本体510和由所述电机本体510延伸而出的转动轴520，所述转动轴520连接至所述第二支架330远离所述转动件310的一端。所述电机本体510设于固定座600上，所述固定座600远离所述电机本体510的一端固定至底座100，所述第一支架220可从设于其中的轨道120线性移动以使晶圆靠近芯片，完成吸附。

本实施例中，所述加强支架311为一十字型支架，所述十字型支架连接至所述转动件310内周，以加强所述转动件310的稳定性。所述吸附件320均匀地间隔设于所述转动件310外周，当所述电机本体510通过转动轴520带动所述转动件310转动时，吸附件320随着转动件310转动至吸芯位置，即为承片台210上晶圆设有芯片处，此时吸附芯片的吸附件320处于水平位置；当吸附芯片后，跟随转动件310转动至固芯位置，此时设有芯片的吸附件320处于所述转动件310的最低点。所述吸芯位置和所述固芯位置仅相差四分之一所述转动件310圆周的长度，相比于之前平面摆臂式和平面直臂式的固晶方式，本实用新型的吸附件320的行程较短，大大减少了固晶所需时间，提高了固晶效率。

值得说明的是，所述转动件310上的吸附件320可设置4个、6个甚至8个以此来提高机台的产能，由于大幅缩短了吸芯、固芯的行程，而且单一行程即可完成一次吸芯固芯动作，从而大幅提升固晶的速度。

综上，根据本实用新型提出的一种轮盘式固晶装置，通过将吸附件固定于转动件的外周，转动件转动1/4周，即可完成由吸芯位置转动至固芯位置，行程较短，所需时间也较短，提高了工作效率。进一步的，第一驱动组件可带动承片台靠近转动件，当吸附件转动至水平位置时，第一驱动组件带动承片台上的晶圆贴近吸附件以使吸附件吸附晶圆上的芯片，并通过第二驱动组件带动转动件转动，以将吸附有芯片的吸附件转动至固芯位置，吸芯位置和固芯位置仅距离四分之一转动件圆周的长度，减少了吸芯到固芯的时间。更进一步，在转动件外周可设置多个吸附件，极大地提高了工作效率和机器产能。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体与详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形与改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种轮盘式固晶装置，其特征在于，包括底座、设于所述底座上的承载组件和固晶组件、以及用于驱动所述承载组件和所述固晶组件的动力机构；

动力机构，所述动力机构包括设于所述承载组件上的第一驱动组件和设于所述固晶组件上的第二驱动组件；

承载组件，所述承载组件包括承片台以及连接所述承片台和所述底座的第一支架；

固晶组件，所述固晶组件包括转动件、设于所述转动件外周的若干吸附件、以及用于连接所述转动件和所述第二驱动组件的第二支架；

其中，晶圆设于所述承片台，所述第一驱动组件带动所述承片台靠近或远离所述吸附件，所述第二驱动组件带动所述转动件转动以使所述吸附件由吸芯位置转动至固芯位置。

2.根据权利要求1所述的轮盘式固晶装置，其特征在于，所述底座上设有导轨，所述第一驱动组件驱动所述承片台于所述导轨上线性移动。

3.根据权利要求2所述的轮盘式固晶装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括设于所述第一支架远离所述承片台一端的线性电机和设于所述承片台远离所述转动件一侧的推动件，所述推动件的一端穿设进所述承片台内。

4.根据权利要求3所述的轮盘式固晶装置，其特征在于，所述线性电机包括第一电机和第二电机，所述第一电机带动所述承片台沿垂直于所述转动件的方向线性移动，所述第二电机带动所述承片台沿垂直于所述底座的方向纵向移动。

5.根据权利要求4所述的轮盘式固晶装置，其特征在于，所述推动件包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部固定于所述底座，所述第二连接部固定于所述承片台内部，所述第二连接部与所述推动件活动连接。

6.根据权利要求1所述的轮盘式固晶装置，其特征在于，所述转动件的内部设有加强支架，所述第二支架的一端固定于所述加强支架，另一端连接至所述第二驱动组件。

7.根据权利要求6所述的轮盘式固晶装置，其特征在于，所述第二驱动组件包括设于所述第二支架上的电机本体，所述电机本体包括电机本体与转动轴，所述转动轴连接至所述第二支架远离所述转动件的一端。

8.根据权利要求7所述的轮盘式固晶装置，其特征在于，所述电机本体设于固定座上，所述固定座远离所述电机本体的一端固定至底座。

9.根据权利要求8所述的轮盘式固晶装置，其特征在于，所述吸附件等距间隔设于所述转动件的外周。

10.根据权利要求1所述的轮盘式固晶装置，其特征在于，所述第一支架和所述第二支架均垂直设于所述底座。