CN208173570U - 自动取放装置及半导体加工生产线 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种自动取放装置及半导体加工生产线。该自动取放装置包括垂直多轴驱动机构和取放机构；取放机构包括取放头、旋转驱动杆、旋转驱动组件和缓冲组件，旋转传动杆与旋转驱动组件的输出端连接，取放头固定于旋转传动杆的底部；取放缓冲组件包括缓冲杠杆、缓冲弹簧和杠杆支撑件，杠杆支撑件的第一端与缓冲杠杆的中间部位活动连接，杠杆支撑件的第二端与位置调节架固定连接，缓冲杠杆的第一端与旋转传动杆的第一端连接，缓冲杠杆的第二端通过缓冲弹簧与杠杆支撑件的第二端连接。如此，提高了自动取放装置运动的灵活性，取放位置的调整也更加简便且易于实现，整体上提升了工作效率，具有较强的实用性。

Description

自动取放装置及半导体加工生产线

技术领域

本实用新型属于半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种自动取放装置半导体加工生产线。

背景技术

随着电子技术的高速发展与创新，集成电路在各行各业已经得到广泛的应用，极大推动了整个半导体行业的健康发展，如今半导体行业的加工技术已经比较成熟，因此在半导体生产加工的后道工序中，市场上出现了很多标准型的自动化设备，这些自动化设备已经广泛应用于集成电路各道加工工序中，并逐步向自动化和智能化发展。

与其他行业有所不同，集成电路加工的自动化设备有其特殊性。集成电路在封装前通常以晶片或晶粒的形式存在，体积小、重量轻，而且对加工环境的洁净度也有一定的要求，通常要在净化车间中进行生产加工。所以集成电路加工的自动化设备要求精度高、速度快、无二次污染等特点。集成电路加工的自动化设备中都离不开取放机构，目前大量应用的取放机构主要分为几大类：第一类是气缸驱动的取放方式，这种方式的缺点是执行动作比较慢并且取放的位置不方便调整；第二类摆臂的方式，这种方式速度最快，但是行程有限且无法调整，并且也存在无法准确调整取放位置的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种自动取放装置，旨在解决现有技术中的取放装置取放产品操作不便且取放位置无法准确调整的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种自动取放装置，包括安装架、垂直多轴驱动机构和用于取放产品的取放机构，垂直多轴驱动机构安装于安装架上；取放机构包括安装底座、位置调节架、旋转驱动组件、旋转传动杆、取放头和缓冲组件；安装底座固定连接于垂直多轴驱动机构的驱动端，位置调节架固定于安装底座上，旋转驱动组件安装于位置调节架上，旋转传动杆呈竖直状穿设于位置调节架并与旋转驱动组件的输出端连接，取放头固定于旋转传动杆的底部；取放缓冲组件包括缓冲杠杆、缓冲弹簧和支撑缓冲杠杆的杠杆支撑件，杠杆支撑件的第一端与缓冲杠杆的中间部位活动连接，杠杆支撑件的第二端与位置调节架固定连接，缓冲杠杆的第一端与旋转传动杆的第一端连接，缓冲杠杆的第二端通过缓冲弹簧与杠杆支撑件的第二端连接。

进一步地，旋转驱动组件包括旋转电机、主动轮、从动轮以及绕设于主动轮与从动轮之间的同步带，旋转电机安装于位置调节架上，主动轮与旋转电机的输出端驱动连接，从动轮可转动地安装于位置调节架上，且旋转传动杆的顶部与从动轮固定连接。

进一步地，垂直多轴驱动机构包括：用于驱动取放机构作垂直升降运动的第一驱动机构，第一驱动机构包括第一驱动电机和第一传动组件，第一驱动电机安装于安装架上，取放机构通过第一传动组件与第一驱动电机的动力输出轴驱动连接；用于驱动取放机构作水平运动的第二驱动机构，第二驱动机构包括第二驱动电机和第二传动组件，第二驱动电机安装于安装架上，取放机构通过第二传动组件与第二驱动电机的动力输出轴驱动连接；以及连接于第一驱动机构与取放机构之间的辅助连接机构，第一传动组件通过辅助连接机构与取放机构活动连接，辅助连接机构包括第一连接件和第二连接件，第一连接件的第一端与第一传动组件的第二端活动连接，第一连接件的第二端与第二连接件的第一端活动连接，第二连接件的第二端与取放机构固定连接。

进一步地，第一连接件与安装架相接触的部位设置有用于使第一连接件相对安装架平行滑动的第一滑动连接结构，第一滑动连接结构包括第一导轨和卡设于第一导轨上并与第一导轨滑动配合的第一滑槽块，第一导轨设置于安装架上并沿第一连接件相对于安装架的运动方向布置，第一滑槽块设置于第一连接件上；位置调节架与安装底座相接触的部位设置有用于使位置调节架相对安装底座平行滑动的第二滑动连接结构，第二滑动连接结构包括第二导轨和卡设于第二导轨上并与第二导轨滑动配合的第二滑槽块，第二导轨设置于安装底座上并沿位置调节架相对于安装底座的运动方向布置，第二滑槽块设置于位置调节架上。

进一步地，安装底座与安装架相接触的部位设置有用于使安装底座相对安装架平行滑动的第三滑动连接结构，第三滑动连接结构包括第三导轨和卡设于第三导轨上并与第三导轨滑动配合的第三滑槽块，第三导轨设置于安装架上并沿安装底座相对于安装架的运动方向布置，第三滑槽块设置于安装底座上；第二连接件与第一连接件相接触的部位设置有用于使第二连接件相对第一连接件平行滑动的第四滑动连接结构，第四滑移结构包括第四导轨和卡设于第四导轨上并与第四导轨滑动配合的第四滑槽块，第四导轨设置于第一连接件上并沿第二连接件相对于第一连接件的运动方向布置，第四滑槽块设置于第二连接件上。

进一步地，第一传动组件包括第一丝杆和与第一丝杆螺接配合的第一丝杆螺母，第一丝杆螺母固定于第一连接件的第一端，且第一连接件的第一端上还开设有第一过孔，第一丝杆的第一端与第一驱动电机的旋转输出轴驱动连接，第一丝杆的第二端依次穿过第一丝杆螺母和第一过孔。

进一步地，第二传动组件包括第二丝杆和与第二丝杆螺接配合的第二丝杆螺母，第二丝杆螺母固定于安装底座上，且安装底座上还开设有第二过孔，第二丝杆的第一端与第二驱动电机的旋转输出轴驱动连接，第二丝杆的第二端依次穿过第二丝杆螺母和第二过孔。

进一步地，旋转传动杆设有内部空腔，内部空腔内设有气管，取放头为与气管相连通的真空吸嘴，真空吸嘴通过气管与外界气源装置连接。

进一步地，自动取放装置还包括控制模块，垂直多轴驱机构的电动部件和旋转驱动组件的电动部件均与控制模块电性连接。

本实用新型的有益效果：本实用新型的自动取放装置，包括用于取放产品的取放机构和用于驱动该取放机构运动的垂直多轴取放机构，工作时，该垂直多轴驱动机构能够驱动取放机构在水平方向和竖直方向上移动，以取放不同位置的产品；并且，该取放机构包括取放头和驱动该取放头旋转运动的旋转驱动组件，当垂直多轴驱动机构驱动取放头运动至某一位置时，打开旋转驱动机构，能够进一步的调整取放头的取放位置，能够更进一步的提高取放位置的准确度；此外，取放机构还设置有用于缓冲取放头的取放位置的取放缓冲组件，当取放位置略高于取放头时，该取放缓冲组件能够对缓冲头的高度进行调整，以保证产品和取放头不会因受压力而损坏，同时也能保证每次取放动作和取放位置的一致性和准确性。在垂直多轴驱动的基础上增设旋转驱动组件和取放缓冲组件，自动取放装置可以实现快速的多轴(至少三轴)联动，如此，不仅提高了整个自动取放装置运动的灵活性，并且也使得取放位置的调整更加简便且易于实现，整体上提升了自动取放装置执行取放动作的工作效率，具有较强的实用性。

本实用新型采用的另一技术方案是：一种半导体加工生产线，包括上述的自动取放装置。

本实用新型的半导体加工生产线，由于包括了上述的自动取放装置，工作时，能够实现对待加工半导体产品的准确及灵活取放，显著提高了待加工产品进入下一道工序的速度，提高了半导体加工生产线的生产和加工效率，节省了加工时间和加工成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型第一实施例提供的自动取放机构的结构示意图一；

图2为本实用新型第一实施例提供的自动取放机构的结构示意图二；

图3为图1中A的放大图；

图4为本实用新型第二实施例提供的操作系统示意图。

其中，图中各附图标记：

10—安装架 20—取放机构 21—安装底座

22—位置调节架 23—取放头 24—旋转驱动组件

25—取放缓冲组件 30—第一驱动机构 31—第一驱动电机

32—第一传动组件 40—第二驱动机构 41—第二驱动电机

42—第二传动组件 50—辅助连接机构 51—第一连接件

52—第二连接件 53—第一滑动连接结构 54—第二滑动连接结构

55—第三滑动连接结构 56—第四滑动连接结构 60—控制中心

61—操控台 62—显示单元 63—电机控制单元

64—取放控制单元 211—第二过孔 241—旋转传动杆

242—旋转电机 243—主动轮 244—从动轮

245—同步带 251—缓冲杠杆 252—缓冲弹簧

253—杠杆支撑件 321—第一丝杆 322—第一丝杆螺母

421—第二丝杆 422—第二丝杆螺母 531—第一导轨

532—第一滑槽块 541—第二导轨 542—第二滑槽块

551—第三导轨 552—第三滑槽块 561—第四导轨

562—第四滑槽块。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图1～4描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

如图1～3所示，本实用新型实施例一提供了一种自动取放装置，包括安装架10、垂直多轴驱动机构和用于取放产品的取放机构20，垂直多轴驱动机构安装于安装架10上；取放机构包括安装底座21、位置调节架22、旋转驱动组件 24、旋转传动杆241、取放头23和取放缓冲组件25；安装底座21固定连接于垂直多轴驱动机构的驱动端，位置调节架22固定于安装底座21上，旋转驱动组件24安装于位置调节架22上，旋转传动杆241呈竖直状穿设于位置调节架 22并与旋转驱动组件24的输出端连接，取放头23固定于旋转传动杆241的底部；取放缓冲组件25包括缓冲杠杆251、缓冲弹簧252和支撑缓冲杠杆251的杠杆支撑件253，杠杆支撑件253的第一端与缓冲杠杆251的中间部位活动连接，杠杆支撑件253的第二端与位置调节架22固定连接，缓冲杠杆251的第一端与旋转传动杆241的第一端连接，缓冲杠杆251的第二端通过缓冲弹簧252与杠杆支撑件253的第二端连接。

具体地，当本实施例的自动取放装置启动运行并用于取放产品时，上述的垂直多轴驱动机构能够驱动取放头23在水平方向和竖直方向上运动，当取放头 23移动至某一取放位置时，打开旋转驱动组件24，旋转驱动组件24旋转并带动旋转传动杆241同步旋转，从而调整取放头23的取放位置进一步地实现取放头23的精准定位；同时，设置上述的取放缓冲组件25，该取放缓冲组件25固定于位置调节架22上并用于拉动旋转传动杆241相对位置调节架22上下垂直运动以调整取放头23的取放高度，即，当待取产品的取放位置略高于取放头23 的位置时，由于旋转传动杆241可以相对位置调节架22作上下垂直运动，因此，当取放头23接触物件后，取放头23便可以将缓冲弹簧252向下压缩，以保持正常的取放位置，完成取放动作后，取放机构20向上运行，此时缓冲弹簧252 可以将取放头23弹回原来的位置，使取放头23恢复到初始状态，以便保持下一步取放动作位置的一致性。

本实用新型的自动取放装置，设置有用于取放产品的取放机构20和用于驱动该取放机构20运动的垂直多轴驱动机构，工作时，该垂直多轴驱动机构能够驱动取放机构20在水平方向和竖直方向上移动，以取放不同位置的产品；并且，该取放机构20包括取放头23和驱动该取放头23旋转运动的旋转驱动组件24，当垂直多轴驱动机构驱动取放头23运动至某一位置时，启动旋转驱组件24，以进一步的调整取放头23的取放位置，从而能够更进一步的提高取放位置的准确度；此外，取放机构20还设置有用于缓冲取放头23的取放位置的取放缓冲组件25，当取放位置略高于取放头23时，该取放缓冲组件25能够对取放头23的高度进行调整，以保证产品和取放头23不会因受压力而损坏，同时也能保证每次取放动作和取放位置的一致性和准确性。在垂直多轴驱动的基础上增设旋转驱动组件24和取放缓冲组件25，自动取放装置可以实现快速的多轴(至少三轴) 联动；如此，不仅提高了整个自动取放装置运动的灵活性，并且也使得取放位置的调整更加简便且易于实现，整体上提升了取放装置执行取放动作的工作效率，同时，本实用新型的自动取放装置的机械机构相对简单、开发周期更短其制作成本相对较低，具有较强的实用性。

在本实施例中，如图3所示，上述位置调节架22的两端部之间还开设有若干用于调节取放头23位置的固定孔(未示出)，通过将取放头23与不同的固定孔固定连接从而达到单独调整取放头23位置的目的，取放头23安装操作灵活且方便。

在本实施例中，如图1和图3所示，旋转驱动组件24包括旋转电机242、主动轮243、从动轮244以及绕设于主动轮243与从动轮244之间的同步带245，旋转电机242安装于位置调节架22上，主动轮243与旋转电机242的旋转输出轴驱动连接，从动轮244可转动地安装于位置调节架22上，且旋转传动杆241 的顶部与从动轮244固定连接。通过设计旋转驱动组件24可以进一步地实现对取放头23的精准定位，具体地，旋转电机242旋转并带动主动主动轮243旋转，继而主动轮243通过同步带245带动从动轮244同步旋转，并带动旋转传动杆 241旋转以改变取放头23的角度及朝向；也就是说，启动旋转电机242就能够使取放头23旋转改变取放角度。因此，在第一驱动机构30和第二驱动机构40 的基础上增加驱动取放头23旋转的旋转驱动组件24，使取放头23在任意角度取放产品，能够起到修正第一驱动机构30以及第二驱动机构40位置调整的误差的作用，从而更好的保证产品取放的精确度。因此，在垂直多轴驱动的基础上增设上述的旋转驱动组件24，自动取放装置可以实现快速的多轴(至少三轴) 联动进一步的提高了取放头23位置的可调性，提高了取放头23取放产品时位置及角度控制的精准度，有效的提高了取放产品的可靠程度。

具体地，上述的旋转驱动组件24选用同步带245进行旋转动力传输，能有效的防止加减速过程中出现打滑现象，避免因打滑而出现角度偏差；此外，上述的旋转驱动电机优选为重量较轻且控制简单的小型步进电机，以便更好的控制取放头23的旋转动作。

在本实施例中，如图1和2所示，上述的垂直驱动机构包括用于驱动取放机构20作垂直升降运动的第一驱动机构30，第一驱动机构30包括第一驱动电机31和第一传动组件32，第一驱动电机31安装于安装架10上，取放机构20 通过第二传动组件与第二驱动电机的动力输出轴驱动连接，取放机构20通过第一传动组件32与第一驱动电机30的动力输出轴驱动连接；垂直驱动机构还包括用于驱动取放机构20作水平运动的第二驱动机构40，第二驱动机构40包括第二驱动电机41和第二传动组件42，第二驱动电机41安装于安装架10上，取放机构20通过第二传动组件42与第二驱动电机41的动力输出轴驱动连接，取放机构20活动连接于第二传动组件42的第二端；垂直驱动机构还包括连接于第一驱动机构30与取放机构20之间的辅助连接机构50，第二传动组件42的第二端通过辅助连接机构50与取放机构20活动连接，辅助连接机构50包括第一连接件51和第二连接件52，第一连接件51的第一端与第一传动组件32的第二端活动连接，第一连接件51的第二端与第二连接件52的第一端活动连接，第二连接件52的第二端与取放机构20固定连接。

具体地，当本实施例的自动取放装置启动运行并用于取放产品时，启动第一驱动电机31高速旋转，第一传动组件32将第一驱动电机31的旋转运动转化成使取放机构20沿垂直方向上下运动的直线运动，这样，取放机构20便可以灵活的上下调整位置以取放不同高度的产品；而当需要取放水平方向上不同位置处的产品时，只需打开第二驱动电机41并通过第二传动组件42将其旋转运动转化成使取放机构20水平运动的直线运动即可，如此，便可以快速的调整取放机构20再水平方向上的位置，并顺利的取放不同位置处的产品。

更具体地，如图1所示，当需要同时调整取放机构20的高度和水平位置时，可以通过依序启动第一驱动电机31和第二驱动电机41，即先将取放机构20移动到指定高度再改变水平位置，或者也可以先启动第二驱动电机41将取放机构 20移动到相对应的位置，再启动第一驱动机构30将其移动到产品所在的高度即可。

更具体地，设计连接于第一驱动机构30与取放机构20之间的辅助连接机构50，能够实现取放机构20水平方向和垂直方向上的同步联动。其中，辅助连接件包括第一连接件51和第二连接件52，第一连接件51的第一端与第一传动组件32的第二端活动连接，第二连接件52的第一端与取放机构20固定连接，第二连接件52的第二端与第一连接件51的第二端活动连接；当启动第一驱动电机31旋转运动时，第一连接件51能够相对第一传动组件32产生垂直方向的位移，而当启动第二驱动电机41时，第二连接件52能够相对第一连接件51产生水平方向的位移；如此，当需要同时调整取放机构20的水平位置和高度位置时，只需要同时启动第一驱动电机31和第二驱动电机41，取放机构20便可在辅助连接机构50的作用下同时进行水平方向运动和处置方向运动，即使取放机构20能够作圆弧运动，取放机构20在拐角处实现平滑过渡，使得整体取放动作的调节过程更加灵活、快速和可靠，并且位置移动过程中产生的噪声也更小，更适宜高速应用。

因此，通过设置驱动取放机构20作垂直升降运动的第一驱动机构30和驱动该取放机构20作水平运动的第二驱动机构40，不仅能够实现取放机构20在水平或竖直方向上的单一运动过程；同时，由于在第一驱动机构30和取放机构 20还设置有辅助连接机构50，通过设置该辅助连接机构50，也能够使取放机构 20同时进行水平方向上和垂直方向上的移动，即能够使取放机构20作圆弧形运动，进而提高了本实施例的自动取放装置运动的灵活性，取放位置的调整更加简便且易于实现，整体上提升了自动取放装置执行取放动作的工作效率。

在本实施例中，如图1和图2所示，第一连接件51与安装架10相接触的部位设置有用于使第一连接件51相对安装架10平行滑动的第一滑动连接结构 53，第一滑动连接结构53包括第一导轨531和卡设于第一导轨531上并与第一导轨531滑动配合的第一滑槽块532，第一导轨531设置于安装架10上并沿第一连接件51相对于安装架10的运动方向布置，第一滑槽块532设置于第一连接件51上；位置调节架22与安装底座21相接触的部位设置有用于使位置调节架22相对安装底座21平行滑动的第二滑动连接结构54，第二滑动连接结构54包括第二导轨541和卡设于第二导轨541上并与第二导轨541滑动配合的第二滑槽块542，第二导轨541设置于安装底座21上并沿位置调节架22相对于安装底座21的运动方向布置，第二滑槽块542设置于位置调节架22上。

具体地，当启动第一驱动电机31驱动取放机构20作垂直升降运动时，第一传动组件32便会在第一连接件51的第一端施加推力或者拉力，在此拉力或者推力的作用下，第一连接件51上的第一滑槽块532便会相对固定设置在安装架10上的第一导轨531作滑移运动；与此同时，上述的拉力或者推力又会经第二连接件52传递至位置调节架22，上述设置于位置调节架22上的第二滑槽块 542便会相对固定设置在安装底座21上的第二导轨541作同向的滑移运动，以使取放机构20远离或靠近第一驱动电机31；当上述的第一滑槽块532和第二滑槽块542滑动远离第一驱动电机31时，取放机构20作垂直向下的运动，当第一滑槽块532和第二滑槽块542滑动靠近第一驱动电机31时，取放机构20作垂直向上的运动。

在本实施例中，如图1和图2所示，安装底座21与安装架10相接触的部位设置有用于使安装底座21相对安装架10平行滑动的第三滑动连接结构55，第三滑动连接结构55包括第三导轨551和卡设于第三导轨551上并与第三导轨 551滑动配合的第三滑槽块552，第三导轨551设置于安装架10上并沿安装底座21相对于安装架10的运动方向布置，第三滑槽块552设置于安装底座21上；第二连接件52与第一连接件51相接触的部位设置有用于使第二连接件52相对第一连接件51平行滑动的第四滑动连接结构56，第四滑移结构包括第四导轨561和卡设于第四导轨561上并与第四导轨561滑动配合的第四滑槽块562，第四导轨561设置于第一连接件51上并沿第二连接件52相对于第一连接件51的运动方向布置，第四滑槽块562设置于第二连接件52上。

具体地，当启动第二驱动电机41驱动取放机构20作水平运动时，第二传动组件42便会作用给取放机构20一个水平推力或者拉力，在此拉力或者推力的作用下，取放机构20的安装底座21上的第三滑槽块552便会相对固定设置在安装架10上的第三导轨551作滑移运动；与此同时，上述设置于第二连接件 52上的第四滑槽块562便会相对固定设置在第一连接件51上的第四导轨561作同向的滑移运动，以使取放机构20远离或靠近第二驱动电机41。

在本实施例中，如图1和图2所示，第一传动组件32包括第一丝杆321和与第一丝杆321螺接配合的第一丝杆螺母322，第一丝杆螺母322固定于第一连接件51的第一端，且第一连接件51的第一端上还开设有第一过孔，第一丝杆 321的第一端与第一驱动电机31的旋转输出轴驱动连接，第一丝杆321的第二端依次穿过第一丝杆螺母322和第一过孔。上述的第一驱动电机31带动第一丝杆321旋转并相对第一丝杆螺母322旋进或旋出，从而拉动或推动上述的第一连接件51、第二连接件52以及取放机构20整体朝向或远离第一驱动电机31作垂直升降运动。

在本实施例中，如图1和图2所示，第二传动组件42包括第二丝杆421和与第二丝杆421螺接配合的第二丝杆螺母422，第二丝杆螺母422固定于安装底座21上，且安装底座21上还开设有第二过孔211，第二丝杆421的第一端与第二驱动电机41的旋转输出轴驱动连接，第二丝杆421的第二端依次穿过第二丝杆螺母422和第二过孔211。上述的第二驱动电机41带动第二丝杆421旋转并相对第二丝杆螺母422旋进或旋出，从而拉动或推动取放机构20整体朝向或远离第二驱动电机41作水平运动。即在第二丝杆421、第三滑移结构以及第四滑移结构三者的配合作用下，能够使取放机构20完成水平方向的左右平移运动。

优选地，上述的第一驱动电机31和第二驱动电机41均为伺服电机，以便更好的控制旋转速度，提高取放机构20位置调整的精度。

在本实施例中，如图3所示，旋转传动杆241设有内部空腔，内部空腔内设有气管(未示出)，取放头23为与气管相连通的真空吸嘴，真空吸嘴通过气管与外界气源装置(未示出)连接以完成真空吸嘴对产品的吸取和吹离放置动作。

在本实施例中，自动取放装置还包括控制模块(未示出)，上述垂直驱动机构的电动部件和旋转驱动组件的电动部件均与控制模块电性连接。将各个驱动机构的的电动部件的启闭开关和操作系统集成于一个控制模块内，可以更加快速方便的对各个驱动机构进行操作，可以进一步的减少人工成本，以提高本实用新型实施例的自动取放装置的机械化程度。

实施例二：

本实用新型实施例二提供了一种半导体加工生产线，其包括上述的自动取放装置。其中，此处的半导体加工生产线是一种流水线式的半导体加工生产线，其有多个现有的半导体产品自动化加工设备依序连接排列而成。而本实施例的半导体加工生产线还包括上述的自动取放装置。

本实用新型实施例一提供的半导体加工成产线，由于包括了上述的自动取放装置，工作时，能够实现对待加工半导体产品的准确及灵活取放，显著提高了待加工产品进入下一道工序的速度，提高了半导体加工生产线的生产和加工效率，节省了加工时间和加工成本。

实施例三：

如图4所示，本实用新型实施例三提供了一种操作上述自动取放装置的控制系统。如图4所示，该控制系统主要由控制中心60、操控台61、显示单元62、电机控制单元63以及取放控制单元64等部分组成。其中，控制中心60与操控台61、显示单元62。电机控制单元63和取放控制单元64通讯连接；且控制中心60是整个控制系统的核心部分，负责整合各个部分的通讯信号，并按照设定的程序发出控制信号，从而控制各个单元执行相应的操作动作。

控制系统的工作原理如下：操控台61负责接收用户设置的参数和动作指令，显示单元62则负责显示各个部分的工作状态及辅助用户设置系统参数；控制中心60收到用户的动作指令后，会按照内部程序设定，发出动作执行信号。由控制中心60发出的控制信号主要有两大类，分别是取放控制信号和电机控制信号；其中取放控制主要负责控制真空吸嘴内部的状态，当真空吸嘴运行到吸取位置时，控制中心60控制气源控制部打开外界气源装置，此时真空吸嘴上的物体在真空负压的作用下吸附到真空吸嘴上，当真空吸嘴到达放置位置后，关闭气源装置的真空系统，同时打开气源装置的吹气系统，使物体快速脱离真空吸嘴，完成一次取放操作。而真空传感器则负责实时监测真空吸嘴内的真空状态，控制中心60通过真空传感器的状态信息完成取放动作控制。电机控制单元63主要包括电机控制信号、电机驱动、第一驱动电机、第二驱动电机以及旋转电机，用于控制真空吸嘴的运行位置，如水平移动、垂直移动及旋转运动。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种自动取放装置，其特征在于，包括安装架、垂直多轴驱动机构和用于取放产品的取放机构，所述垂直多轴驱动机构安装于所述安装架上；

所述取放机构包括安装底座、位置调节架、旋转驱动组件、旋转传动杆、取放头和缓冲组件；所述安装底座固定连接于所述垂直多轴驱动机构的驱动端，所述位置调节架固定于所述安装底座上，所述旋转驱动组件安装于所述位置调节架上，所述旋转传动杆呈竖直状穿设于所述位置调节架并与所述旋转驱动组件的输出端连接，所述取放头固定于所述旋转传动杆的底部；

所述取放缓冲组件包括缓冲杠杆、缓冲弹簧和支撑所述缓冲杠杆的杠杆支撑件，所述杠杆支撑件的第一端与所述缓冲杠杆的中间部位活动连接，所述杠杆支撑件的第二端与所述位置调节架固定连接，所述缓冲杠杆的第一端与所述旋转传动杆的第一端连接，所述缓冲杠杆的第二端通过所述缓冲弹簧与所述杠杆支撑件的第二端连接。

2.根据权利要求1所述的自动取放装置，其特征在于：所述旋转驱动组件包括旋转电机、主动轮、从动轮以及绕设于所述主动轮与所述从动轮之间的同步带，所述旋转电机安装于所述位置调节架上，所述主动轮与所述旋转电机的输出端驱动连接，所述从动轮可转动地安装于所述位置调节架上，且所述旋转传动杆的顶部与所述从动轮固定连接。

3.根据权利要求1所述的自动取放装置，其特征在于，所述垂直多轴驱动机构包括：

用于驱动所述取放机构作垂直升降运动的第一驱动机构，所述第一驱动机构包括第一驱动电机和第一传动组件，所述第一驱动电机安装于所述安装架上，所述取放机构通过所述第一传动组件与所述第一驱动电机的动力输出轴驱动连接；

用于驱动所述取放机构作水平运动的第二驱动机构，所述第二驱动机构包括第二驱动电机和第二传动组件，所述第二驱动电机安装于所述安装架上，所述取放机构通过所述第二传动组件与所述第二驱动电机的动力输出轴驱动连接；

连接于所述第一驱动机构与所述取放机构之间的辅助连接机构，所述第一传动组件通过所述辅助连接机构与所述取放机构活动连接，所述辅助连接机构包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件的第一端与所述第一传动组件的第二端活动连接，所述第一连接件的第二端与所述第二连接件的第一端活动连接，所述第二连接件的第二端与所述取放机构固定连接。

4.根据权利要求3所述的自动取放装置，其特征在于：

所述第一连接件与所述安装架相接触的部位设置有用于使所述第一连接件相对所述安装架平行滑动的第一滑动连接结构，所述第一滑动连接结构包括第一导轨和卡设于所述第一导轨上并与所述第一导轨滑动配合的第一滑槽块，所述第一导轨设置于所述安装架上并沿所述第一连接件相对于所述安装架的运动方向布置，所述第一滑槽块设置于所述第一连接件上；

所述位置调节架与所述安装底座相接触的部位设置有用于使所述位置调节架相对所述安装底座平行滑动的第二滑动连接结构，所述第二滑动连接结构包括第二导轨和卡设于所述第二导轨上并与所述第二导轨滑动配合的第二滑槽块，所述第二导轨设置于所述安装底座上并沿所述位置调节架相对于所述安装底座的运动方向布置，所述第二滑槽块设置于所述位置调节架上。

5.根据权利要求3所述的自动取放装置，其特征在于：

所述安装底座与所述安装架相接触的部位设置有用于使所述安装底座相对所述安装架平行滑动的第三滑动连接结构，所述第三滑动连接结构包括第三导轨和卡设于所述第三导轨上并与所述第三导轨滑动配合的第三滑槽块，所述第三导轨设置于所述安装架上并沿所述安装底座相对于所述安装架的运动方向布置，所述第三滑槽块设置于所述安装底座上；

所述第二连接件与所述第一连接件相接触的部位设置有用于使所述第二连接件相对所述第一连接件平行滑动的第四滑动连接结构，所述第四滑移结构包括第四导轨和卡设于所述第四导轨上并与所述第四导轨滑动配合的第四滑槽块，所述第四导轨设置于所述第一连接件上并沿所述第二连接件相对于所述第一连接件的运动方向布置，所述第四滑槽块设置于所述第二连接件上。

6.根据权利要求3或4所述的自动取放装置，其特征在于：所述第一传动组件包括第一丝杆和与所述第一丝杆螺接配合的第一丝杆螺母，所述第一丝杆螺母固定于所述第一连接件的第一端，且所述第一连接件的第一端上还开设有第一过孔，所述第一丝杆的第一端与所述第一驱动电机的旋转输出轴驱动连接，所述第一丝杆的第二端依次穿过所述第一丝杆螺母和所述第一过孔。

7.根据权利要求3～5任一项所述的自动取放装置，其特征在于：所述第二传动组件包括第二丝杆和与所述第二丝杆螺接配合的第二丝杆螺母，所述第二丝杆螺母固定于所述安装底座上，且所述安装底座上还开设有第二过孔，所述第二丝杆的第一端与所述第二驱动电机的旋转输出轴驱动连接，所述第二丝杆的第二端依次穿过所述第二丝杆螺母和所述第二过孔。

8.根据权利要求1～5任一项所述的自动取放装置，其特征在于：所述旋转传动杆设有内部空腔，所述内部空腔内设有气管，所述取放头为与所述气管相连通的真空吸嘴，所述真空吸嘴通过所述气管与外界气源装置连接。

9.根据权利要求1～5任一项所述的自动取放装置，其特征在于：所述自动取放装置还包括控制模块，所述垂直多轴驱机构的电动部件和所述旋转驱动组件的电动部件均与所述控制模块电性连接。

10.一种半导体加工生产线，其特征在于：包括权利要求1～9任一项所述自动取放装置。