JPH0964068A - ダイ移送装置 - Google Patents
ダイ移送装置Info
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- JPH0964068A JPH0964068A JP7232111A JP23211195A JPH0964068A JP H0964068 A JPH0964068 A JP H0964068A JP 7232111 A JP7232111 A JP 7232111A JP 23211195 A JP23211195 A JP 23211195A JP H0964068 A JPH0964068 A JP H0964068A
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
-
- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67144—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
-
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- H01L21/52—Mounting semiconductor bodies in containers
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- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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- H01L21/67721—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrates to be conveyed not being semiconductor wafers or large planar substrates, e.g. chips, lead frames
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- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S414/00—Material or article handling
- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Die Bonding (AREA)
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- Branching, Merging, And Special Transfer Between Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ダイ移送時間の短縮が図れ、生産性が向上す
る。 【解決手段】スライドレール５１に上下動可能に設けら
れたスライダ５２と、スライダ５２と共に上下動する吸
着ノズル５４と、スライドレール５１を水平移動させる
送りねじ１６と、スライドレール５１が水平移動する時
のスライダ５２の上昇上限位置を規制する移送用ガイド
シャフト４４と、ピックアップ位置５側及びプレイスメ
ント位置６側にそれぞれ回動可能に設けられ、スライダ
５２を上下動させる２個の上下用スイングレバー４１
と、上下用スイングレバー４１を回動させる上下駆動用
カム２９とを備え、２個の上下用スイングレバー４１の
支軸４０は、移送用ガイドシャフト４４の伸びた方向と
直角な水平方向でそれぞれ内側に設けられている。
る。 【解決手段】スライドレール５１に上下動可能に設けら
れたスライダ５２と、スライダ５２と共に上下動する吸
着ノズル５４と、スライドレール５１を水平移動させる
送りねじ１６と、スライドレール５１が水平移動する時
のスライダ５２の上昇上限位置を規制する移送用ガイド
シャフト４４と、ピックアップ位置５側及びプレイスメ
ント位置６側にそれぞれ回動可能に設けられ、スライダ
５２を上下動させる２個の上下用スイングレバー４１
と、上下用スイングレバー４１を回動させる上下駆動用
カム２９とを備え、２個の上下用スイングレバー４１の
支軸４０は、移送用ガイドシャフト４４の伸びた方向と
直角な水平方向でそれぞれ内側に設けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダイボンデイング
装置、テープボンデイング装置等のボンデイング装置に
おけるダイ移送装置に関する。
装置、テープボンデイング装置等のボンデイング装置に
おけるダイ移送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ダイボンデイング装置等のボンデイング
装置に用いる試料は、複数個のダイがＸＹ方向に整列し
てウエハーシートに粘着され、ウエハーシートの外周部
にウエハーリングに貼り付けられており、突き上げ装置
にセットされる。突き上げ装置のピックアップ位置にお
いては、ダイが粘着されたウエハーシートを突き上げ装
置の吸着体で吸着保持した状態で、ダイを突き上げ針で
突き上げ、この突き上げられたダイを吸着ノズルで吸着
してウエハーシートより分離する。そして、ダイを吸着
保持した吸着ノズルは上昇した後にボンデイングステー
ジ又はダイ位置決めステージ等のプレイスメントステー
ジの上方のプレイスメント位置に移送する。その後、吸
着ノズルが下降してダイをプレイスメントステージ上の
リードフレームにボンデイング又はプレイスメントステ
ージに載置する。プレイスメントステージがダイ位置決
めステージの場合は、ダイ位置決めステージに載置され
たダイは、位置決め手段で位置決めした後、別の吸着ノ
ズルで吸着して移送し、ボンデイングステージ上のリー
ドフレームにボンデイングする。
装置に用いる試料は、複数個のダイがＸＹ方向に整列し
てウエハーシートに粘着され、ウエハーシートの外周部
にウエハーリングに貼り付けられており、突き上げ装置
にセットされる。突き上げ装置のピックアップ位置にお
いては、ダイが粘着されたウエハーシートを突き上げ装
置の吸着体で吸着保持した状態で、ダイを突き上げ針で
突き上げ、この突き上げられたダイを吸着ノズルで吸着
してウエハーシートより分離する。そして、ダイを吸着
保持した吸着ノズルは上昇した後にボンデイングステー
ジ又はダイ位置決めステージ等のプレイスメントステー
ジの上方のプレイスメント位置に移送する。その後、吸
着ノズルが下降してダイをプレイスメントステージ上の
リードフレームにボンデイング又はプレイスメントステ
ージに載置する。プレイスメントステージがダイ位置決
めステージの場合は、ダイ位置決めステージに載置され
たダイは、位置決め手段で位置決めした後、別の吸着ノ
ズルで吸着して移送し、ボンデイングステージ上のリー
ドフレームにボンデイングする。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ボンデイン
グ装置においては、生産性を高めるために装置のスピー
ド化が強く要望されている。しかるに、上記従来技術
は、ピックアップ位置では、ダイをピックアップして上
昇した後に水平移動してプレイスメント位置に位置し、
その後に下降するので、移送動作に時間がかかる。
グ装置においては、生産性を高めるために装置のスピー
ド化が強く要望されている。しかるに、上記従来技術
は、ピックアップ位置では、ダイをピックアップして上
昇した後に水平移動してプレイスメント位置に位置し、
その後に下降するので、移送動作に時間がかかる。
【０００４】本発明の課題は、ダイ移送時間の短縮が図
れ、生産性が向上するダイ移送装置を提供することにあ
る。
れ、生産性が向上するダイ移送装置を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の手段は、ガイド面が垂直に配設されたスライ
ドレールと、このスライドレールに上下動可能に設けら
れたスライダと、このスライダにノズル取付レバーを介
して取付けられた吸着ノズルと、前記吸着ノズルをピッ
クアップ位置からプレイスメント位置に移動させるよう
に前記スライドレールを水平移動させる水平駆動手段
と、前記スライドレールが水平移動する時の前記スライ
ダの上昇上限位置を規制するように水平に配設された移
送用ガイド部材と、前記ピックアップ位置側及び前記プ
レイスメント位置側にそれぞれ回動可能に設けられ、前
記スライダを上下動させる２個の上下用スイングレバー
と、この２個の上下用スイングレバーを回動させる上下
駆動手段とを備え、前記２個の上下用スイングレバーの
支軸は、前記移送用ガイド部材の伸びた方向と直角な水
平方向でそれぞれ内側に設けられていることを特徴とす
る。
の本発明の手段は、ガイド面が垂直に配設されたスライ
ドレールと、このスライドレールに上下動可能に設けら
れたスライダと、このスライダにノズル取付レバーを介
して取付けられた吸着ノズルと、前記吸着ノズルをピッ
クアップ位置からプレイスメント位置に移動させるよう
に前記スライドレールを水平移動させる水平駆動手段
と、前記スライドレールが水平移動する時の前記スライ
ダの上昇上限位置を規制するように水平に配設された移
送用ガイド部材と、前記ピックアップ位置側及び前記プ
レイスメント位置側にそれぞれ回動可能に設けられ、前
記スライダを上下動させる２個の上下用スイングレバー
と、この２個の上下用スイングレバーを回動させる上下
駆動手段とを備え、前記２個の上下用スイングレバーの
支軸は、前記移送用ガイド部材の伸びた方向と直角な水
平方向でそれぞれ内側に設けられていることを特徴とす
る。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１及び図
２により説明する。ガイド面が垂直に配設されたスライ
ドレール５１には、スライダ５２が上下動可能に設けら
れ、スライダ５２にはノズル取付レバー５３を介して吸
着ノズル５４が取付けられている。吸着ノズル５４をピ
ックアップ位置５からプレイスメント位置６に移動させ
るように、スライダ５２を水平移動させる水平駆動手段
は、移送用モータ１９によって回転させられる送りねじ
１６と、この送りねじ１６によって移動させるボールス
ライド１５とからなっている。スライドレール５１が水
平移動する時のスライダ５２の上昇上限位置は、水平に
配設された移送用ガイドシャフト４４によって規制され
る。
２により説明する。ガイド面が垂直に配設されたスライ
ドレール５１には、スライダ５２が上下動可能に設けら
れ、スライダ５２にはノズル取付レバー５３を介して吸
着ノズル５４が取付けられている。吸着ノズル５４をピ
ックアップ位置５からプレイスメント位置６に移動させ
るように、スライダ５２を水平移動させる水平駆動手段
は、移送用モータ１９によって回転させられる送りねじ
１６と、この送りねじ１６によって移動させるボールス
ライド１５とからなっている。スライドレール５１が水
平移動する時のスライダ５２の上昇上限位置は、水平に
配設された移送用ガイドシャフト４４によって規制され
る。
【０００７】ピックアップ位置５側及びプレイスメント
位置６側には、それぞれ吸着ノズル５４を上下動させる
吸着ノズル上下駆動手段２５Ａ、２５Ｂが配設されてい
る。吸着ノズル上下駆動手段２５Ａ、２５Ｂは、前記ス
ライダ５２を上下動させる２個の上下用スイングレバー
４１と、この上下用スイングレバー４１をそれぞれ回動
させる上下駆動用カム２９と、この上下駆動用カム２９
を回転させる上下駆動用モータ３０とからなっている。
また前記２個の上下用スイングレバー４１の回動中心で
あるそれぞれの支軸４０は、前記移送用ガイドシャフト
４４の伸びた方向（Ｘ方向）と直角な水平方向（Ｙ方
向）に配設され、かつ内側に設けられている。
位置６側には、それぞれ吸着ノズル５４を上下動させる
吸着ノズル上下駆動手段２５Ａ、２５Ｂが配設されてい
る。吸着ノズル上下駆動手段２５Ａ、２５Ｂは、前記ス
ライダ５２を上下動させる２個の上下用スイングレバー
４１と、この上下用スイングレバー４１をそれぞれ回動
させる上下駆動用カム２９と、この上下駆動用カム２９
を回転させる上下駆動用モータ３０とからなっている。
また前記２個の上下用スイングレバー４１の回動中心で
あるそれぞれの支軸４０は、前記移送用ガイドシャフト
４４の伸びた方向（Ｘ方向）と直角な水平方向（Ｙ方
向）に配設され、かつ内側に設けられている。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図１０に
より説明する。図１に示すように、ダイ１が粘着された
ウエハーシート２は、吸着体３によって吸着された状態
でダイ１が突き上げ針４により突き上げられる。この突
き上げ針４の垂直線上のピックアップ位置５より離れた
位置には、プレイスメント位置６が有り、プレイスメン
ト位置６には、図示しないリードフレームが位置決め載
置されるボンデイングステージ又はダイ位置決めステー
ジ等のプレイスメントステージ７が設けられている。以
上は周知の構成である。
より説明する。図１に示すように、ダイ１が粘着された
ウエハーシート２は、吸着体３によって吸着された状態
でダイ１が突き上げ針４により突き上げられる。この突
き上げ針４の垂直線上のピックアップ位置５より離れた
位置には、プレイスメント位置６が有り、プレイスメン
ト位置６には、図示しないリードフレームが位置決め載
置されるボンデイングステージ又はダイ位置決めステー
ジ等のプレイスメントステージ７が設けられている。以
上は周知の構成である。
【０００９】次にピックアップ位置５よりプレイスメン
トステージ７にダイ１を移送するダイ移送装置の構造に
ついて説明する。以下、ピックアップ位置５とプレイス
メント位置６を結ぶ平面方向をＸ方向、Ｘ方向に直角な
平面方向をＹ方向と呼ぶ。図１及び図２に示すように、
ピックアップ位置５及びプレイスメント位置６の側方に
は、支持ブロック１１Ａ、１１Ｂが配設され、支持ブロ
ック１１Ａ、１１Ｂ間にも支持ブロック１２が配設され
ている。支持ブロック１１Ａ、１１Ｂ、１２は、図４乃
至図６に示すように、装置の固定部１３に固定され、支
持ブロック１１Ａ、１１Ｂ、１２の底面には断面がほぼ
Ｕ字状でＸ方向に伸びたレール１４が固定され、レール
１４上には雌ねじ部を有するボールスライド１５が摺動
自在に設けられている。レール１４とボールスライド１
５とは組になっており、ＮＳＫ株式会社の商品名「モノ
キャリア」を使用した。
トステージ７にダイ１を移送するダイ移送装置の構造に
ついて説明する。以下、ピックアップ位置５とプレイス
メント位置６を結ぶ平面方向をＸ方向、Ｘ方向に直角な
平面方向をＹ方向と呼ぶ。図１及び図２に示すように、
ピックアップ位置５及びプレイスメント位置６の側方に
は、支持ブロック１１Ａ、１１Ｂが配設され、支持ブロ
ック１１Ａ、１１Ｂ間にも支持ブロック１２が配設され
ている。支持ブロック１１Ａ、１１Ｂ、１２は、図４乃
至図６に示すように、装置の固定部１３に固定され、支
持ブロック１１Ａ、１１Ｂ、１２の底面には断面がほぼ
Ｕ字状でＸ方向に伸びたレール１４が固定され、レール
１４上には雌ねじ部を有するボールスライド１５が摺動
自在に設けられている。レール１４とボールスライド１
５とは組になっており、ＮＳＫ株式会社の商品名「モノ
キャリア」を使用した。
【００１０】ボールスライド１５の雌ねじ部にはＸ方向
に配設された送りねじ１６が螺合している。図１及び図
２に示すように、送りねじ１６の一端は、支持ブロック
１１Ｂに回転自在に支承され、送りねじ１６の他端は、
レール１４の端面に固定された支持板１７に回転自在に
支承されている。支持板１７には、モータ取付板１８が
固定されており、モータ取付板１８には移送用モータ１
９が固定されている。そして、前記送りねじ１６の端部
に固定されたプーリ２０と移送用モータ１９の出力軸に
固定されたプーリ２１にはベルト２２が掛けられてい
る。
に配設された送りねじ１６が螺合している。図１及び図
２に示すように、送りねじ１６の一端は、支持ブロック
１１Ｂに回転自在に支承され、送りねじ１６の他端は、
レール１４の端面に固定された支持板１７に回転自在に
支承されている。支持板１７には、モータ取付板１８が
固定されており、モータ取付板１８には移送用モータ１
９が固定されている。そして、前記送りねじ１６の端部
に固定されたプーリ２０と移送用モータ１９の出力軸に
固定されたプーリ２１にはベルト２２が掛けられてい
る。
【００１１】前記支持ブロック１１Ａ、１１Ｂには、図
１、図２、図４、図５、図８乃至図１０に示すように、
吸着ノズル上下駆動手段２５Ａ、２５Ｂが設けられてい
る。吸着ノズル上下駆動手段２５Ａと２５Ｂは、左右対
称で同じ構造となっているので、以下、同じ又は相当部
材には同一番号を付して説明する。支持ブロック１１
Ａ、１１Ｂには、上下方向及び対向する内側側面が開放
した支持ブロック２６が固定されている。支持ブロック
２６にはＹ方向に伸びたカム軸２７が回転自在に支承さ
れており、カム軸２７にはプーリ２８と上下駆動用カム
２９とが固定されている。前記支持ブロック１２には上
下駆動用モータ３０が固定され、上下駆動用モータ３０
の出力軸にはプーリ３１が固定されている。また支持ブ
ロック１２にはプーリ３１の両側に配設されたテンショ
ン用ローラ３２、３３が回転自在に支承されている。そ
して、プーリ２８、３１、テンション用ローラ３２、３
３には、ベルト３４が掛けられている。
１、図２、図４、図５、図８乃至図１０に示すように、
吸着ノズル上下駆動手段２５Ａ、２５Ｂが設けられてい
る。吸着ノズル上下駆動手段２５Ａと２５Ｂは、左右対
称で同じ構造となっているので、以下、同じ又は相当部
材には同一番号を付して説明する。支持ブロック１１
Ａ、１１Ｂには、上下方向及び対向する内側側面が開放
した支持ブロック２６が固定されている。支持ブロック
２６にはＹ方向に伸びたカム軸２７が回転自在に支承さ
れており、カム軸２７にはプーリ２８と上下駆動用カム
２９とが固定されている。前記支持ブロック１２には上
下駆動用モータ３０が固定され、上下駆動用モータ３０
の出力軸にはプーリ３１が固定されている。また支持ブ
ロック１２にはプーリ３１の両側に配設されたテンショ
ン用ローラ３２、３３が回転自在に支承されている。そ
して、プーリ２８、３１、テンション用ローラ３２、３
３には、ベルト３４が掛けられている。
【００１２】前記支持ブロック２６の内側の下方（吸着
ノズル上下駆動手段２５Ａは右側、吸着ノズル上下駆動
手段２５Ｂは左側）には、レバー支持部２６ａが設けら
れ、レバー支持部２６ａにはＹ方向に配設された支軸４
０が回転自在に支承されている。支軸４０には上下駆動
用カム２９の下方でＸ方向に伸びた上下用スイングレバ
ー４１が固定されており、上下用スイングレバー４１に
は上下駆動用カム２９に対応してローラ４２が回転自在
に支承されている。そして、ローラ４２が上下駆動用カ
ム２９に圧接するように、支持ブロック２６と上下用ス
イングレバー４１にはばね４３が掛けられている。前記
支持ブロック１１Ａ、１１Ｂには、上下用スイングレバ
ー４１の側方に位置するようにＸ方向に配設された移送
用ガイドシャフト４４の両端が固定されている。
ノズル上下駆動手段２５Ａは右側、吸着ノズル上下駆動
手段２５Ｂは左側）には、レバー支持部２６ａが設けら
れ、レバー支持部２６ａにはＹ方向に配設された支軸４
０が回転自在に支承されている。支軸４０には上下駆動
用カム２９の下方でＸ方向に伸びた上下用スイングレバ
ー４１が固定されており、上下用スイングレバー４１に
は上下駆動用カム２９に対応してローラ４２が回転自在
に支承されている。そして、ローラ４２が上下駆動用カ
ム２９に圧接するように、支持ブロック２６と上下用ス
イングレバー４１にはばね４３が掛けられている。前記
支持ブロック１１Ａ、１１Ｂには、上下用スイングレバ
ー４１の側方に位置するようにＸ方向に配設された移送
用ガイドシャフト４４の両端が固定されている。
【００１３】図１乃至図４及び図７に示すように、前記
ボールスライド１５には、移動板５０が固定されてお
り、移動板５０の前面には、垂直にスライドレール５１
が固定され、スライドレール５１にはスライダ５２が上
下摺動自在に嵌挿されている。スライダ５２にはノズル
取付レバー５３が固定され、ノズル取付レバー５３には
ピックアップ位置５又はプレイスメント位置６に位置す
るように吸着ノズル５４が固定されている。吸着ノズル
５４の上端には図示しないパイプの一端が接続され、パ
イプの他端は図示しない真空ポンプに接続されている。
スライダ５２の上方部にはＹ方向に配設されたローラ軸
５５が固定されており、ローラ軸５５には前記上下用ス
イングレバー４１及び前記移送用ガイドシャフト４４の
下面にそれぞれ対応してローラ５６、５７が回転自在に
支承されている。そして、ローラ５６、５７が上下用ス
イングレバー４１及び移送用ガイドシャフト４４にそれ
ぞれ圧接するように、移動板５０とスライダ５２にはば
ね５８が掛けられている。
ボールスライド１５には、移動板５０が固定されてお
り、移動板５０の前面には、垂直にスライドレール５１
が固定され、スライドレール５１にはスライダ５２が上
下摺動自在に嵌挿されている。スライダ５２にはノズル
取付レバー５３が固定され、ノズル取付レバー５３には
ピックアップ位置５又はプレイスメント位置６に位置す
るように吸着ノズル５４が固定されている。吸着ノズル
５４の上端には図示しないパイプの一端が接続され、パ
イプの他端は図示しない真空ポンプに接続されている。
スライダ５２の上方部にはＹ方向に配設されたローラ軸
５５が固定されており、ローラ軸５５には前記上下用ス
イングレバー４１及び前記移送用ガイドシャフト４４の
下面にそれぞれ対応してローラ５６、５７が回転自在に
支承されている。そして、ローラ５６、５７が上下用ス
イングレバー４１及び移送用ガイドシャフト４４にそれ
ぞれ圧接するように、移動板５０とスライダ５２にはば
ね５８が掛けられている。
【００１４】次に作用について説明する。図１、図２、
図３の実線及び図８に示すように、ノズル取付レバー５
３がピックアップ位置５で、かつピックアップするダイ
１の上方に位置した状態から作動する。まず上下駆動用
モータ３０が正回転してプーリ３１が図１に示す矢印Ｄ
方向に回転する。これにより、ベルト３４が矢印Ｅ方向
に移動し、吸着ノズル上下駆動手段２５Ａ、２５Ｂの上
下駆動用カム２９が１８０°回転する。上下駆動用カム
２９が１８０°回転すると、上下駆動用カム２９の上昇
プロフィルによって上下用スイングレバー４１は支軸４
０を中心として、吸着ノズル上下駆動手段２５Ａの上下
用スイングレバー４１は矢印Ｆ方向（反時計方向）に回
動し、吸着ノズル上下駆動手段２５Ｂの上下用スイング
レバー４１は矢印Ｆ方向と反対方向の矢印Ｇ方向（時計
方向）に回動する。
図３の実線及び図８に示すように、ノズル取付レバー５
３がピックアップ位置５で、かつピックアップするダイ
１の上方に位置した状態から作動する。まず上下駆動用
モータ３０が正回転してプーリ３１が図１に示す矢印Ｄ
方向に回転する。これにより、ベルト３４が矢印Ｅ方向
に移動し、吸着ノズル上下駆動手段２５Ａ、２５Ｂの上
下駆動用カム２９が１８０°回転する。上下駆動用カム
２９が１８０°回転すると、上下駆動用カム２９の上昇
プロフィルによって上下用スイングレバー４１は支軸４
０を中心として、吸着ノズル上下駆動手段２５Ａの上下
用スイングレバー４１は矢印Ｆ方向（反時計方向）に回
動し、吸着ノズル上下駆動手段２５Ｂの上下用スイング
レバー４１は矢印Ｆ方向と反対方向の矢印Ｇ方向（時計
方向）に回動する。
【００１５】吸着ノズル上下駆動手段２５Ａの上下用ス
イングレバー４１が矢印Ｆ方向に回動すると、図８の状
態より図９に示すように、スライダ５２に設けられたロ
ーラ５６を押し下げる。即ち、移動板５０は吸着ノズル
上下駆動手段２５Ａ側に位置しており、吸着ノズル上下
駆動手段２５Ｂの上下用スイングレバー４１にはローラ
５６は存在しないので、吸着ノズル上下駆動手段２５Ｂ
の上下用スイングレバー４１は単に矢印Ｇ方向に回動す
るのみである。
イングレバー４１が矢印Ｆ方向に回動すると、図８の状
態より図９に示すように、スライダ５２に設けられたロ
ーラ５６を押し下げる。即ち、移動板５０は吸着ノズル
上下駆動手段２５Ａ側に位置しており、吸着ノズル上下
駆動手段２５Ｂの上下用スイングレバー４１にはローラ
５６は存在しないので、吸着ノズル上下駆動手段２５Ｂ
の上下用スイングレバー４１は単に矢印Ｇ方向に回動す
るのみである。
【００１６】図９に示すように、カム軸２７が押し下げ
られると、スライダ５２がスライドレール５１に沿って
下降し、吸着ノズル５４がダイ１に当接し、吸着ノズル
５４の真空が吸引されてダイ１を吸着する。次に突き上
げ針４が上昇すると同時に、上下駆動用モータ３０が逆
回転及び移送用モータ１９が正回転する。上下駆動用モ
ータ３０が逆回転すると、前記と逆方向に上下駆動用カ
ム２９は回転し、上下駆動用カム２９の下降プロフィル
によって吸着ノズル上下駆動手段２５Ａの上下用スイン
グレバー４１は矢印Ｆ’方向に回動する。また移送用モ
ータ１９が正回転すると、ベルト２２が矢印Ｈ方向に移
動し、送りねじ１６が正回転する。これにより、ボール
スライド１５、移動板５０及びスライドレール５１は矢
印Ｉ方向に移動する。
られると、スライダ５２がスライドレール５１に沿って
下降し、吸着ノズル５４がダイ１に当接し、吸着ノズル
５４の真空が吸引されてダイ１を吸着する。次に突き上
げ針４が上昇すると同時に、上下駆動用モータ３０が逆
回転及び移送用モータ１９が正回転する。上下駆動用モ
ータ３０が逆回転すると、前記と逆方向に上下駆動用カ
ム２９は回転し、上下駆動用カム２９の下降プロフィル
によって吸着ノズル上下駆動手段２５Ａの上下用スイン
グレバー４１は矢印Ｆ’方向に回動する。また移送用モ
ータ１９が正回転すると、ベルト２２が矢印Ｈ方向に移
動し、送りねじ１６が正回転する。これにより、ボール
スライド１５、移動板５０及びスライドレール５１は矢
印Ｉ方向に移動する。
【００１７】即ち、スライドレール５１にはスライダ５
２が上下動可能に設けられ、スライダ５２はばね５８の
付勢力で上下用スイングレバー４１に圧接しているの
で、上下用スイングレバー４１の矢印Ｆ’方向の移動と
移動板５０及びスライドレール５１の矢印Ｉ方向の移動
の組合せにより、ローラ５６は上下用スイングレバー４
１に沿って上昇しながら矢印Ｊ方向に移動する。従っ
て、突き上げ針４と吸着ノズル５４とは同期して上昇
し、吸着ノズル５４はダイ１をウエハーシート２からピ
ックアップする。
２が上下動可能に設けられ、スライダ５２はばね５８の
付勢力で上下用スイングレバー４１に圧接しているの
で、上下用スイングレバー４１の矢印Ｆ’方向の移動と
移動板５０及びスライドレール５１の矢印Ｉ方向の移動
の組合せにより、ローラ５６は上下用スイングレバー４
１に沿って上昇しながら矢印Ｊ方向に移動する。従っ
て、突き上げ針４と吸着ノズル５４とは同期して上昇
し、吸着ノズル５４はダイ１をウエハーシート２からピ
ックアップする。
【００１８】前記したように吸着ノズル５４が上昇しな
がら矢印Ｊ方向に移動し、ローラ５７が移送用ガイドシ
ャフト４４に当接して上昇上限が規制され、その後はボ
ールスライド１５、移動板５０及びスライドレール５１
の前記した矢印Ｉ方向の移動により、ローラ５７は移送
用ガイドシャフト４４に沿って移動する。ローラ５７が
移送用ガイドシャフト４４に沿って移動する途中で上下
駆動用モータ３０は再び１８０°正回転する。これによ
り、前記したように上下駆動用カム２９の上昇プロフィ
ルによって吸着ノズル上下駆動手段２５Ｂの上下用スイ
ングレバー４１は支軸４０を中心として時計方向に回動
し、図１０の状態となる。また吸着ノズル５４が上昇す
ると、ウエハーシート２がＸＹ方向に駆動され、次にピ
ックアップするダイ１がピックアップ位置５に位置決め
される。
がら矢印Ｊ方向に移動し、ローラ５７が移送用ガイドシ
ャフト４４に当接して上昇上限が規制され、その後はボ
ールスライド１５、移動板５０及びスライドレール５１
の前記した矢印Ｉ方向の移動により、ローラ５７は移送
用ガイドシャフト４４に沿って移動する。ローラ５７が
移送用ガイドシャフト４４に沿って移動する途中で上下
駆動用モータ３０は再び１８０°正回転する。これによ
り、前記したように上下駆動用カム２９の上昇プロフィ
ルによって吸着ノズル上下駆動手段２５Ｂの上下用スイ
ングレバー４１は支軸４０を中心として時計方向に回動
し、図１０の状態となる。また吸着ノズル５４が上昇す
ると、ウエハーシート２がＸＹ方向に駆動され、次にピ
ックアップするダイ１がピックアップ位置５に位置決め
される。
【００１９】前記したように、ローラ５７が移送用ガイ
ドシャフト４４に沿って矢印Ｊ方向に移動し、ローラ５
６が上下用スイングレバー４１に当接すると、その後は
ローラ５６が上下用スイングレバー４１に沿って移動す
る。即ち、吸着ノズル５４は矢印Ｊ方向に移動しながら
下降し、吸着ノズル５４に吸着されたダイ１がプレイス
メントステージ７に載置された図示しないリードフレー
ム又はプレイスメントステージ７に当接すると、移送用
モータ１９は停止する。その後、移送用モータ１９は逆
回転し、吸着ノズル５４は前記と逆の動作を行ない、図
１、図２、図３の実線及び図８の状態となる。これによ
り、一連のダイ１の移送動作が完了する。以後、前記し
た一連の動作を繰り返す。
ドシャフト４４に沿って矢印Ｊ方向に移動し、ローラ５
６が上下用スイングレバー４１に当接すると、その後は
ローラ５６が上下用スイングレバー４１に沿って移動す
る。即ち、吸着ノズル５４は矢印Ｊ方向に移動しながら
下降し、吸着ノズル５４に吸着されたダイ１がプレイス
メントステージ７に載置された図示しないリードフレー
ム又はプレイスメントステージ７に当接すると、移送用
モータ１９は停止する。その後、移送用モータ１９は逆
回転し、吸着ノズル５４は前記と逆の動作を行ない、図
１、図２、図３の実線及び図８の状態となる。これによ
り、一連のダイ１の移送動作が完了する。以後、前記し
た一連の動作を繰り返す。
【００２０】このように、吸着ノズル５４は、ピックア
ップ位置５でダイ１を吸着して上昇しながらプレイスメ
ント位置６の方に移動し、またプレイスメント位置６に
位置する前に移動しながら下降し、更にプレイスメント
ステージ７にダイ１を移送した後は、上昇しながらピッ
クアップ位置５の方に移動する動作を行なうので、ダイ
移送の時間の短縮が図れ、生産性が向上する。
ップ位置５でダイ１を吸着して上昇しながらプレイスメ
ント位置６の方に移動し、またプレイスメント位置６に
位置する前に移動しながら下降し、更にプレイスメント
ステージ７にダイ１を移送した後は、上昇しながらピッ
クアップ位置５の方に移動する動作を行なうので、ダイ
移送の時間の短縮が図れ、生産性が向上する。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、ガイド面が垂直に配設
されたスライドレールと、このスライドレールに上下動
可能に設けられたスライダと、このスライダにノズル取
付レバーを介して取付けられた吸着ノズルと、前記吸着
ノズルをピックアップ位置からプレイスメント位置に移
動させるように前記スライドレールを水平移動させる水
平駆動手段と、前記スライドレールが水平移動する時の
前記スライダの上昇上限位置を規制するように水平に配
設された移送用ガイド部材と、前記ピックアップ位置側
及び前記プレイスメント位置側にそれぞれ回動可能に設
けられ、前記スライダを上下動させる２個の上下用スイ
ングレバーと、この２個の上下用スイングレバーを回動
させる上下駆動手段とを備え、前記２個の上下用スイン
グレバーの支軸は、前記移送用ガイド部材の伸びた方向
と直角な水平方向でそれぞれ内側に設けられているの
で、ダイ移送時間の短縮が図れ、生産性が向上する。
されたスライドレールと、このスライドレールに上下動
可能に設けられたスライダと、このスライダにノズル取
付レバーを介して取付けられた吸着ノズルと、前記吸着
ノズルをピックアップ位置からプレイスメント位置に移
動させるように前記スライドレールを水平移動させる水
平駆動手段と、前記スライドレールが水平移動する時の
前記スライダの上昇上限位置を規制するように水平に配
設された移送用ガイド部材と、前記ピックアップ位置側
及び前記プレイスメント位置側にそれぞれ回動可能に設
けられ、前記スライダを上下動させる２個の上下用スイ
ングレバーと、この２個の上下用スイングレバーを回動
させる上下駆動手段とを備え、前記２個の上下用スイン
グレバーの支軸は、前記移送用ガイド部材の伸びた方向
と直角な水平方向でそれぞれ内側に設けられているの
で、ダイ移送時間の短縮が図れ、生産性が向上する。
【図１】本発明のダイ移送装置の一実施例を示す正面図
である。
である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図２の要部抜粋を示す平面図である。
【図４】図２のＡーＡ線断面図である。
【図５】図２の右側面図である。
【図６】図２のＢーＢ線断面図である。
【図７】図４のＣーＣ線断面図である。
【図８】吸着ノズルがピックアップ位置の上方に位置し
た状態の始動前の説明図である。
た状態の始動前の説明図である。
【図９】ダイのピックアップ動作を示す説明図である。
【図１０】ダイをプレイスメントステージに移送する動
作を示す説明図である。
作を示す説明図である。
１ ダイ ２ ウエハーシート ４ 突き上げ針 ５ ピックアップ位置 ６ プレイスメント位置 ７ プレイスメントステージ １４ レール １５ ボールスライド １６ 送りねじ １９ 移送用モータ ２２ ベルト ２５Ａ、２５Ｂ 吸着ノズル上下駆動手段 ２９ 上下駆動用カム ３０ 上下駆動用モータ ３４ ベルト ４０ 支軸 ４１ 上下用スイングレバー ４４ 移送用ガイドシャフト ５０ 移動板 ５１ スライドレール ５２ スライダ ５３ ノズル取付レバー ５４ 吸着ノズル
Claims (1)
- 【請求項１】 ガイド面が垂直に配設されたスライドレ
ールと、このスライドレールに上下動可能に設けられた
スライダと、このスライダにノズル取付レバーを介して
取付けられた吸着ノズルと、前記吸着ノズルをピックア
ップ位置からプレイスメント位置に移動させるように前
記スライドレールを水平移動させる水平駆動手段と、前
記スライドレールが水平移動する時の前記スライダの上
昇上限位置を規制するように水平に配設された移送用ガ
イド部材と、前記ピックアップ位置側及び前記プレイス
メント位置側にそれぞれ回動可能に設けられ、前記スラ
イダを上下動させる２個の上下用スイングレバーと、こ
の２個の上下用スイングレバーを回動させる上下駆動手
段とを備え、前記２個の上下用スイングレバーの支軸
は、前記移送用ガイド部材の伸びた方向と直角な水平方
向でそれぞれ内側に設けられていることを特徴とするダ
イ移送装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23211195A JP3235012B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | ダイ移送装置 |
| TW085103471A TW326023B (en) | 1995-08-18 | 1996-03-22 | Chip transport device |
| US08/699,235 US5823418A (en) | 1995-08-18 | 1996-08-19 | Die transporting device |
| KR1019960034163A KR100217285B1 (ko) | 1995-08-18 | 1996-08-19 | 다이이송장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23211195A JP3235012B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | ダイ移送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0964068A true JPH0964068A (ja) | 1997-03-07 |
| JP3235012B2 JP3235012B2 (ja) | 2001-12-04 |
Family
ID=16934185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23211195A Expired - Fee Related JP3235012B2 (ja) | 1995-08-18 | 1995-08-18 | ダイ移送装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5823418A (ja) |
| JP (1) | JP3235012B2 (ja) |
| KR (1) | KR100217285B1 (ja) |
| TW (1) | TW326023B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100888825B1 (ko) * | 2007-10-01 | 2009-03-17 | 주식회사 여의시스템 | 다이 소터의 픽커 구동장치 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030002654A (ko) * | 2001-06-29 | 2003-01-09 | 메카텍스 (주) | 칩 픽 엔 플레이스장치 |
| KR100992176B1 (ko) * | 2010-05-06 | 2010-11-04 | 주식회사 세미라인 | 캠 승강장치 및 이를 구비한 칩 분류장치 |
| KR101010024B1 (ko) * | 2010-05-06 | 2011-01-21 | 주식회사 세미라인 | 칩 분류장치 |
| CN112875245B (zh) * | 2021-01-19 | 2022-11-08 | 淄博爱科工矿机械有限公司 | 胶管生产线翻转装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4042128A (en) * | 1975-11-26 | 1977-08-16 | Airco, Inc. | Substrate transfer apparatus for a vacuum coating system |
| GB2198413B (en) * | 1986-11-20 | 1990-01-17 | Shimizu Construction Co Ltd | Transporting robot for semiconductor wafers |
| NL9201825A (nl) * | 1992-10-21 | 1994-05-16 | Od & Me Bv | Inrichting voor het vervaardigen van een matrijs voor een schijfvormige registratiedrager. |
| US5516732A (en) * | 1992-12-04 | 1996-05-14 | Sony Corporation | Wafer processing machine vacuum front end method and apparatus |
-
1995
- 1995-08-18 JP JP23211195A patent/JP3235012B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-03-22 TW TW085103471A patent/TW326023B/zh not_active IP Right Cessation
- 1996-08-19 KR KR1019960034163A patent/KR100217285B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-08-19 US US08/699,235 patent/US5823418A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100888825B1 (ko) * | 2007-10-01 | 2009-03-17 | 주식회사 여의시스템 | 다이 소터의 픽커 구동장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970013147A (ko) | 1997-03-29 |
| TW326023B (en) | 1998-02-01 |
| US5823418A (en) | 1998-10-20 |
| KR100217285B1 (ko) | 1999-09-01 |
| JP3235012B2 (ja) | 2001-12-04 |
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| JP2002057168A (ja) | ボンディング装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010816 |
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