DE3925895A1 - Fluessige lichtempfindliche harzzusammensetzung - Google Patents
Fluessige lichtempfindliche harzzusammensetzungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine flüssige,
lichtempfindliche Harzzusammensetzung und insbesondere eine
licht- und wärmehärtbare, lichtempfindliche, flüssige
Harzzusammensetzung, die zur Herstellung einer permanenten
Schutzmaske, wie z. B. eines Lötresists oder dergleichen,
die zur Herstellung von gedruckten Schalttafeln (printed
circuit boards bzw. printed wiring boards) eingesetzt
werden soll, verwendet werden kann, eine hohe
Empfindlichkeit und eine hohe Auflösung für ultraviolette
Strahlung besitzt und durch Härtung einen trockenen Film
liefert, der ausgezeichnete elektrische und mechanische
Eigenschaften aufweist.
Harzzusammensetzungen, die bislang auf dem Gebiet der
gedruckten Schaltkreise für permanente Schutzmasken, wie
z. B. Lötresiste, chemische Galvanisierungsresiste usw.,
eingesetzt worden sind, enthalten ein hitzehärtbares
Harz, wie z. B. ein Epoxyharz, ein Melaminharz oder
dergleichen, als Hauptkomponenete und die Mustererzeugung
unter Verwendung dieser Zusammensetzungen wird sehr
häufig durch das Siebdruckverfahren bewerkstelligt. Ein
Hauptzweck von Lötresists ist es, eine Barriere gegen die
Lötbereiche zu schaffen, um die Erzeugung von Lötbrücken
und die Korrosion zu Leitern hin zu verhindern und
weiterhin über lange Zeit eine elektrische Isolierung
zwischen den Leitern aufrechtzuerhalten.
Aufgrund der jüngsten Fortschritte in der Hochdicht-Fixierung,
wie z. B. der Integration im sehr großen Maßstab
(LSI) oder dergleichen, ist jedoch eine Verringerung des
Raums zwischen den Leitern erforderlich geworden, an die
elektrische Isolation zwischen den Leitern werden strenge
Anforderungen gestellt und Lötresiste und dergleichen
müssen ausgezeichnete Dimensionspräzision aufweisen.
Andererseits weist das Siebdruckverfahren im wesentlichen
eine niedrige Auflösungskraft auf und führt zu
verschiedenartigen Phänomenen, wie z. B. Schleierbildung
und feine Löcher (im Falle von hochviskosen Druckfarben)
oder Bluten, Verfließen und zuviel Spielraum (im Fall von
Druckfarben mit geringer Viskosität). Das
Siebdruckverfahren konnte deshalb dem scharfen Anstieg in
der Fixierungsdichte von gedruckten Schalttafeln nicht
gerecht werden.
Unter diesen Umständen wird lichtempfindlichen
Harzzusammensetzungen, die eine Mustererzeugung unter
Verwendung der Photographie (Bilderzeugung durch sich an
die bildweise Belichtung anschließende Entwicklung)
ermöglichen, eine große Empfindlichkeit und ein hohes
Auflösungsvermögen besitzen und nicht nur hinsichtlich
der Haftung auf einem Substrat, sondern auch hinsichtlich
der elektrischen und mechanischen Eigenschaften nach der
Härtung zu trockenen Filmen ausgezeichnet sind, großes
Interesse entgegengebracht.
Weiterhin sind in jüngerer Zeit lichtempfindliche
Harzzusammensetzungen erwünscht, die mit wäßrigen
Alkalilösungen oder Wasser entwickelt werden können, um
die Arbeitsbedingungen zu verbessern, die
Wasserverschmutzung einzudämmen usw.
Entwickelbare, lichtempfindliche Harzzusammensetzungen
vom trockenen Film- oder Flüssigtyp sind als permanente
Schutzmasken für gedruckte Schalttafeln, die durch
Photographie erzeugte Muster aufweisen, entwickelt worden.
Was lichtempfindliche Harzzusammensetzungen vom trockenen
Filmtyp betrifft, so beschreibt die JP-A-57-55 914
(entsprechend der US-PS 44 99 163) Filme, die
Urethandi(meth)acrylat(e), lineare hochmolekulare
Verbindungen und Photosensibilisierungsmittel enthalten,
während die JP-A-62-2 47 353 Filme beschreibt, die
spezifizierte, mit (Meth)acrylverbindung(en) modifizierte
Epoxyharze vom Novolaktyp und Photosensibilisierungsmittel
umfassen.
Im allgemeinen neigen die lichtempfindlichen
Harzzusammensetzungen vom trockenen Filmtyp jedoch dazu,
nach der Haftung durch Heißpressen Blasen zu erzeugen und
auch ihre Wärmebeständigkeit und Haftfähigkeit sind
fraglich. Obwohl die JP-A-52-52 703 (entsprechend der
US-PS 41 01 364) eine spezielles Verfahren beschreibt,
das die Stufe der Heißpreßhaftung unter vermindertem
Druck einschließt, mit der Absicht, dadurch diese Probleme
zu lösen, ist auch dieses Verfahren nicht in der Lage,
eine vollständige Wärmebeständigkeit und Haftfähigkeit zu
garantieren.
Andererseits wird eine entwickelbare, lichtempfindliche,
flüssige Harzzusammensetzung unmittelbar vor der Verwendung
als solche in flüssigem Zustand direkt auf eine gedruckte
Schalttafel aufgetragen, wodurch die Zahl der Stufen
verringert wird. Zusätzlich kann diese
Harzzusammensetzung, da sie flüssig ist, auf einer
gedruckten Schalttafel ein Bild von hoher Qualität liefern,
selbst wenn die Oberfläche der Tafel rauh ist, und ist am
besten geeignet, z. B. für eine lichtempfindliche
Harzzusammensetzung, eine permanente Schutzmaske für eine
gedruckte Schalttafel mit wenig Raum zwischen den Leitern
herzustellen.
Eine flüssige, lichtempfindliche Harzzusammensetzung
dieses Typs hat jedoch den Nachteil, daß wenn die
Belichtung nach dem Auftragen auf eine gedruckte
Schalttafel so erfolgt, daß die Mustermaske in direktem
Kontakt mit der Oberfläche des gebildeten Films ist, die
Mustermaske verschmutzt wird.
Um das Problem der Verschmutzung der Mustermaske zu
umgehen, wurde z. B. in der JP-A-57-1 64 595 ein spezielles
Verfahren vorgeschlagen, bei dem eine Mustermaske so
angeordnet wird, daß sich zwischen der Mustermaske und
einer aufgetragenen, aber nicht getrockneten
lichtempfindlichen Harzzusammensetzung ein Zwischenraum
befindet, die Zusammensetzung durch optische Belichtung
gehärtet wird und der ungehärtete Teil der Zusammensetzung
entfernt wird. Dadurch unterscheidet sich dieses Verfahren
von den allgemeinen Verfahren, bei denen eine flüssige
lichtempfindliche Harzzusammensetzung auf eine gedruckte
Schalttafel aufgetragen und die Zusammensetzung unter
Bildung eines trockenen Filmes getrocknet wird. Dieses
Naßverfahren ist jedoch ebenfalls mit Schwierigkeiten
verbunden. Da ein Zwischenraum zwischen der aufgetragenen
flüssigen lichtempfindlichen Zusammensetzung und der
Mustermaske vorhanden sein muß (die Zusammensetzung wird
im ersten Schritt nicht in einen trockenen Film
umgewandelt) wird die Auflösung verschlechtert, das
Verfahren wird kostspielig, da eine spezielle Ausrüstung
erforderlich wird, usw.
Ein weiteres Verfahren zur Herstellung von Lötresisten
ist z. B. in der JP-A-58-24 144 und JP-A-59-2 049 beschrieben.
In diesem Verfahren wird eine flüssige lichtempfindliche
Harzzusammensetzung in gleichmäßiger Dicke auf einen
flexiblen Träger oder eine Mustermaske, die für aktive
Strahlen durchlässig sind, aufgetragen und unmittelbar
darauf wird der flexible Träger bzw. die Mustermaske so
bewegt, daß die Oberfläche der aufgetragenen
Zusammensetzung in Kontakt mit der Oberfläche einer
gedruckten Schalttafel gelangt. Die aufgetragene
Zusammensetzung wird unter einem bestimmten Druck gegen
die gedruckte Schalttafel gepreßt, wodurch die flüssige
lichtempfindliche Harzzusammensetzung in gleichmäßiger
Dicke laminiert wird, und daraufhin wird belichtet und
der flexible Träger oder die Mustermaske werden abgezogen,
worauf dann die Entwicklung stattfindet. Bei diesem
Verfahren werden einige Fragen aufgeworfen. Da aufgrund
der Unebenheiten der gedruckten Schalttafel im Laminat
Luft eingefangen wird, wenn die gleichmäßig auf den
transparenten flexiblen Träger oder die Mustermaske
aufgetragene Harzzusammensetzung gegen die gedruckte
Schalttafel gepreßt wird, bilden sich in dem entwickelten
Bild eine große Zahl von Blasen. Außerdem sind
Hitzebeständigkeit und Haftfähigkeit fraglich und das
Verfahren ist sehr teuer, da eine spezielle Ausrüstung
erforderlich ist, usw.
Ein weiteres Verfahren zur Herstellung von Lötresisten
ist in den JP-A-61-1 02 652 und 62-27 736 beschrieben.
Dieses Verfahren umfaßt das Auftragen einer flüssigen
lichtempfindlichen Zusammensetzung auf eine gedruckte
Schalttafel, das Pressen eines transparenten flexiblen
Trägers oder einer Mustermaske gegen die aufgetragene
Zusammensetzung unter einem bestimmten Druck, die
Belichtung der Zusammensetzung durch die Mustermaske, das
Abziehen des flexiblen Trägers oder der Mustermaske und
die Entwicklung der belichteten Beschichtung. Auch in
diesem Verfahren ist für das Pressen des flexiblen Trägers
oder der Mustermaske unter einem definierten Druck und
die Belichtung eine spezielle Ausrüstung erforderlich,
was die Kosten in die Höhe treibt.
Weiterhin wird in den oben beschriebenen Verfahren eine
flüssige lichtempfindliche Zusammensetzung als solche
ohne Trocknung gemäß einem Resistmuster belichtet, was
das Problem nach sich zieht, daß diese Verfahren den
allgemein üblichen hinsichtlich verschiedener Eigenschaften
der resultierenden Lötresiste, wie z. B. Säurebeständigkeit,
chemische Beständigkeit usw., unterlegen sind, da die
flüssige lichtempfindliche Zusammensetzung ein flüssiges
Präpolymeres, das eine große Zahl reaktiver Monomerer
enthält, verwendet.
Als Beispiel für eine lichtempfindliche
Harzzusammensetzung, die in Verfahren zur Herstellung von
Lötresisten verwendet werden soll, in denen ein flüssiges
lichtempfindliches Harz aufgetragen, durch Wärme
getrocknet, in engen Kontakt mit einer Mustermaske
gebracht, belichtet und entwickelt wird, kann die flüssige
Resist-Lackzusammensetzung, die in der JP-A-61-2 43 869
beschrieben ist, erwähnt werden. Diese Zusammensetzung
enthält eine Verbindung, die erhalten wurde durch Umsetzung
eines Epoxyharzes vom Novolaktyp, einer ungesättigten
Monocarbonsäure und eines Anhydrids einer mehrbasigen
Säure. Ein weiteres Beispiel ist die in der JP-A-62-1 87 772
beschriebene flüssige Harzzusammensetzung, die als eine
Hauptkomponente ein Epoxyharz vom Bisphenoltyp mit
ungesättigten Gruppen und Carboxylgruppen enthält.
Diese flüssigen lichtempfindlichen Harzzusammensetzungen
haben jedoch mehrere Nachteile. Da die
photopolymerisierenden Verbindungen, die erhalten werden,
indem man das darin als eine Hauptkomponente enthaltene
Epoxyharz der Umsetzung unterwirft, eine geringere
Empfindlichkeit aufweisen als gewöhnliche
photopolymerisierbare Monomere, wird für die Belichtung
eine längere Zeit benötigt, wodurch die Arbeitseffizienz
erniedrigt oder die Photomaske aufgrund des Ansteigens
der Temperatur während des Belichtungsschritts beschädigt
wird.
Ein Ziel der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, die
oben beschriebenen üblichen technischen Probleme zu lösen
und eine flüssige lichtempfindliche Harzzusammensetzung
zur Verfügung zu stellen, die eine blasenfreie,
lichtempfindliche Harzschicht mit gleichmäßiger Dicke auf
einer gedruckten Schalttafel bilden kann, die Belichtung
in einem Zustand ermöglicht, bei dem die getrocknete
Oberfläche des Überzugs aus der Zusammensetzung und eine
Mustermaske miteinander in Kontakt sind, indem man der
Oberfläche der Beschichtung aus der Zusammensetzung ihre
Klebrigkeit durch Erhitzen vor der Belichtung der auf die
gedruckte Schalttafel aufgetragenen lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung nimmt, die sowohl durch Licht als
auch durch Wärme gehärtet werden kann, eine hohe
Lichtempfindlichkeit zeigt und mit einer wäßrigen
Alkalilösung entwickelt werden kann. Nach einer
anfänglichen Wärmehärtung bleibt die Zusammensetzung in
einer wäßrigen Alkalilösung löslich und wird erst bei
Belichtung unlöslich.
Das obige Ziel wird erreicht durch eine flüssige
lichtempfindliche Harzzusammensetzung, die als
Hauptkomponenten enthält
- (A) eine photopolymerisierbare Verbindung, hergestellt
durch Umsetzung einer Epoxyverbindung vom Novolaktyp
mit, der Reihe nach, mindestens einer ungesättigten
Monocarbonsäure, die durch die allgemeinen Formeln (I)
und/oder (II) dargestellt wird, und mindestens einem
Anhydrid einer gesättigten oder ungesättigten
mehrbasigen Säure;
worin
R für H oder CH₃ steht; R¹, R² und R³ jeweils unabhängig voneinander unsubstituierte oder substituierte Alkylengruppen mit 1 bis 10, vorzugsweise 2 bis 6 Kohlenstoffatomen, unsubstituierte oder substituierte Arylengruppen mit 6 bis 12, vorzugsweise 6 bis 10 Kohlenstoffatomen unsubstituierte oder substituierte Aralkylengruppen mit 7 bis 21, vorzugsweise 7 bis 15 Kohlenstoffatomen darstellen; und X -COO-, -OCO- oder -O- bedeutet; - (B) eine photopolymerisierbare Verbindung mit wenigstens einer ethylenisch ungesättigten Doppelbindung;
- (C) eine Epoxyverbindung mit wenigstens einer Epoxygruppe;
- (D) einen Photopolymerisationsinitiator;
- (E) einen Hitzehärtungskatalysator, der Epoxygruppen zu einer thermischen Reaktion veranlassen kann; und
- (F) ein organisches Lösungsmittel.
Bezüglich der Formeln (I) und (II) stellt R¹ vorzugsweise
eine Gruppe der Formeln -CH₂-CH₂-, -CH₂-CH(CH₃)- oder
-CH₂-CH₂-CH₂-CH₂-CH₂- dar, während R² vorzugsweise für
-CH₂-CH₂- oder -CH₂-CH(CH₃)- steht und R³ vorzugsweise
-CH₂-CH₂,
ist.
Die erfindungsgemäße flüssige lichtempfindliche
Harzzusammensetzung enthält als wesentliche Komponente
eine photopolymerisierbare Verbindung, die hergestellt
wurde durch Umsetzen einer Epoxyverbindung vom Novolaktyp,
mit der Reihe nach, wenigstens einer ungesättigten
Monocarbonsäure und wenigstens einem Anhydrid einer
gesättigten oder ungesättigten mehrbasigen Säure.
Repräsentativ für Epoxyverbindungen vom Novolaktyp, die
erfindungsgemäß eingesetzt werden können, sind Epoxyharze
vom Phenol-Novolaktyp, Kresol-Novolaktyp und halogenierten
Phenol-Novolaktyp, die erhalten werden können, indem man
zuerst Harze vom Novolaktyp durch Umsetzung von Aldehyden
mit Phenolen, Kresolen bzw. halogenierten Phenolen in
Anwesenheit von sauren Katalysatoren herstellt und
daraufhin die phenolischen Hydroxygruppen der Harze vom
Novolaktyp mit Epichlorhydrin in Anwesenheit von Alkali
umsetzt. Bevorzugte Epoxyharze sind solche mit Phenol-Novolaktyp
und Kresol-Novolaktyp.
Geeignete Beispiele für ungesättigte Monocarbonsäuren,
die erfindungsgemäß eingesetzt werden können, sind z. B.
ein Dimeres von Acrylsäure oder Methacrylsäure, Produkte,
die erhalten wurden durch Umsetzung von Acrylsäure oder
Methacrylsäure mit cyclischen Säureanhydriden oder Estern,
wie z. B. Caprolacton, Produkte, die erhalten wurden durch
Umsetzung von Hydroxyalkylestern von Acrylsäure oder
Methacrylsäure mit Anhydriden zweibasiger Säuren und
Produkte, die erhalten wurden durch Umsetzung von
Hydroxyalkylestern von Acrylsäure oder Methacrylsäure mit
Halogen-enthaltenden Carbonsäureverbindungen.
Zusätzliche Beispiele von verwendbaren ungesättigten
Monocarbonsäuren sind die im Handel erhältlichen
ungesättigten Monocarbonsäuren, z. B. Aronix M-5300
M-5500 (CH₂=CHCOOC₂H₄OOCC₂H₄COOH) und M-5600
hergestellt von Toa Gosei
Chemical Industry Co. Ltd., NK Ester CB-1 und CBX-1,
hergestellt von Shin Nakamura Kagaku Kogyo K. K., HOA-mP
und HOA-MS, hergestellt von Kyoeisha Oil Chemical Ind.
Co. Ltd. und Biskote #2100, hergestellt von Osaka Yuki
Kagaku K. K.
Typische repräsentative Säureanhydride, die erfindungsgemäß
eingesetzt werden können, sind z. B. Anhydride von
zweibasigen Säuren, wie z. B.
Bernsteinsäureanhydrid,
Methylbernsteinsäureanhydrid,
2,3-Dimethylbernsteinsäureanhydrid,
2,2-Dimethylbernsteinsäureanhydrid,
Ethylbernsteinsäureanhydrid,
Dodecenylbernsteinsäureanhydrid,
Nonenylbernsteinsäureanhydrid, Maleinsäureanhydrid,
Methylmaleinsäureanhydrid, 2,3-Dimethylmaleinsäureanhydrid,
2-Chlormaleinsäureanhydrid, 2,3-Dichlormaleinsäureanhydrid,
Brommaleinsäureanhydrid, Itaconsäureanhydrid,
Citraconsäureanhydrid, Aconitsäureanhydrid,
Phthalsäureanhydrid, Tetrahydrophthalsäureanhydrid,
Tetrachlorphthalsäureanhydrid,
Tetrabromphthalsäureanhydrid, Hexahydrophthalsäureanhydrid,
Methyltetrahydrophthalsäureanhydrid,
Methylhexahydrophthalsäureanhydrid,
Endomethylentetrahydrophthalsäureanhydrid,
Methylendomethylentetrahydrophthalsäureanhydrid,
Het-säureanhydrid und
5-(2,5-Dioxotetrahydrofuryl)-3-methyl-3-cyclohexan-1,2-dicarbonsäure-anhydrid;
und Anhydride mehrbasiger Säuren, wie z. B. Trimellitsäureanhydrid,
3,3′,4,4′-Benzophenontetracarbonsäureanhydrid etc.
Unter diesen Säureanhydriden werden die Anhydride von zweibasigen Säuren bevorzugt.
Bernsteinsäureanhydrid,
Methylbernsteinsäureanhydrid,
2,3-Dimethylbernsteinsäureanhydrid,
2,2-Dimethylbernsteinsäureanhydrid,
Ethylbernsteinsäureanhydrid,
Dodecenylbernsteinsäureanhydrid,
Nonenylbernsteinsäureanhydrid, Maleinsäureanhydrid,
Methylmaleinsäureanhydrid, 2,3-Dimethylmaleinsäureanhydrid,
2-Chlormaleinsäureanhydrid, 2,3-Dichlormaleinsäureanhydrid,
Brommaleinsäureanhydrid, Itaconsäureanhydrid,
Citraconsäureanhydrid, Aconitsäureanhydrid,
Phthalsäureanhydrid, Tetrahydrophthalsäureanhydrid,
Tetrachlorphthalsäureanhydrid,
Tetrabromphthalsäureanhydrid, Hexahydrophthalsäureanhydrid,
Methyltetrahydrophthalsäureanhydrid,
Methylhexahydrophthalsäureanhydrid,
Endomethylentetrahydrophthalsäureanhydrid,
Methylendomethylentetrahydrophthalsäureanhydrid,
Het-säureanhydrid und
5-(2,5-Dioxotetrahydrofuryl)-3-methyl-3-cyclohexan-1,2-dicarbonsäure-anhydrid;
und Anhydride mehrbasiger Säuren, wie z. B. Trimellitsäureanhydrid,
3,3′,4,4′-Benzophenontetracarbonsäureanhydrid etc.
Unter diesen Säureanhydriden werden die Anhydride von zweibasigen Säuren bevorzugt.
In den aufeinanderfolgenden Umsetzungen eines Epoxyharzes
vom Novolaktyp mit diesen Komponenten zwecks Herstellung
einer photopolymerisierbaren Verbindung liegt der Anteil
der Carboxygruppen der ungesättigten Carbonsäure, die an
der Umsetzung teilnehmen, vorzugsweise bei 0,8 bis 1,2
Äquivalenten, besonders bevorzugt 0,9 bis 1,1 Äquivalenten,
pro Äquivalent Epoxygruppen des Epoxyharzes vom
Novolaktyp und der Anteil des Anhydrids der mehrbasigen
Säure ist vorzugsweise 0,1 bis 1,0 Äquivalente,
insbesondere 0,3 bis 1,0 Äquivalente, pro 1 Äquivalent
Epoxygruppen des Epoxyharzes vom Novolaktyp.
Die photopolymerisierbare Verbindung wird vorzugsweise in
einer Menge von 10 bis 60 Gewichtsteilen, insbesondere 20
bis 50 Gewichtsteilen, pro 100 Gewichtsteile der festen
Bestandteile in der flüssigen lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung (der verbleibenden
Gesamtzusammensetzung mit Ausnahme des organischen
Lösungsmittels) eingesetzt.
Als Beispiele für eine photopolymerisierbare Verbindung
mit wenigstens einer ethylenisch ungesättigten
Doppelbindung, die erfindungsgemäß verwendet wird, können
aus einwertigen oder mehrwertigen Alkoholen und Acrylsäure
oder Methacrylsäure hergestellte Ester genannt werden.
Geeignete Beispiele für einwertige Alkohole, die zur
Herstellung der Acrylsäure- oder Methacrylsäureester
herangezogen werden können, sind Methanol, Ethanol,
Propanol, Isopropanol, n-Butanol, Isobutanol, t-Butanol,
Cyclohexylalkohol, Benzylalkohol, Octylalkohol,
2-Ethylhexanol, Laurylalkohol, n-Decanol, Undecanol,
Hexadecylalkohol, Stearylalkohol, Methoxyethylalkohol,
Ethoxyethylalkohol, Butoxyethylalkohol,
Polyethylenglykolmonomethylalkohol,
Polyethylenglykolmonoethylalkohol, 2-Hydroxy-3-chlorpropan,
Dimethylaminoalkohol, Diethylaminoalkohol, Glycidol,
2-Trimethoxysilylethanol, Ethylenchlorhydrin,
Ethylenbromhydrin, 2,3-Dibrompropanol, Allylalkohol,
Oleylalkohol, Epoxystearylalkohol, Phenol, Naphthol, usw.
Geeignete Beispiele für mehrwertige Alkohole, die
eingesetzt werden können, sind Ethylenglykol,
1,2-Propandiol, 1,3-Propandiol, 1,4-Butandiol,
1,5-Pentandiol, Hexandiol, Heptandiol, Octandiol,
Nonandiol, Dodecandiol, Neopentylgykol, 1,10-Decandiol,
2-Buten-1,4-diol, 2-n-Butyl-2-ethylpropandiol,
Cycloheptandiol, 1,4-Cyclohexandimethanol,
3-Cyclohexen-1,1-diethanol, Polyethylenglykol (z. B.
Diethylenglykol, Triethylenglykol), Polypropylenglykol,
(z. B. Dipropylenglykol, Tripropylenglykol),
Polystyroloxidglykol, Polytetrahydrofuranglykol,
Xylylendiol, Bis(β-hydroxyethoxy)benzol,
3-Chlor-1,2-propandiol, 2,2-Dimethyl-1,3-propandiol,
2,2-Diethyl-1,3-propandiol, 2,2-Diphenyl-1,3-propandiol,
Decalindiol, 1,5-Dihydroxy-1,2,3,4-tetrahydronaphthalin,
2,5-Dimethyl-2,5-hexandiol, 2-Ethyl-1,3-hexandiol,
2-Ethyl-2-(hydroxymethyl)-1,3-propandiol,
2-Ethyl-2-methyl-1,3-propandiol, 3-Hexen-2,5-diol,
Hydroxybenzylalkohol, 2-Methyl-1,4-butandiol,
2-Methyl-2,4-pentandiol, 1-Phenyl-1,2-ethandiol,
2,2,4,4-Tetramethyl-1,3-cyclobutandiol,
2,3,5,6-Tetramethyl-p-xylol-α,α′diol,
1,1,4,4-Tetraphenyl-2-buten-1,4-diol, 1,1′-Bi-2-naphthol,
Dihydroxynaphthalin, 1,1′-Methylendi-2-naphthol, Biphenol,
2,2-Bis(4-hydroxyphenyl)butan,
1,1-Bis(4-hydroxyphenyl)cyclohexan,
Bis(hydroxyphenyl)methan, Katechin, Resorcin,
2-Methylresorcin, 4-Chlorresorcin, Pyrogallol,
a-(1-Aminoethyl)-p-hydroxybenzylalkohol,
2-Amino-2-methyl-1,3-propandiol,
2-Amino-2-ethyl-1,3-propandiol, 3-Amino-1,2-propandiol,
N-(3-Aminopropyl)diethanolamin, N,N-Bis(2-hydroxyethyl)piperazin,
1,3-Bis(hydroxymethyl)harnstoff,
1,2-Bis(4-pyridyl)-1,2-ethandiol, N-n-Butyldiethanolamin,
Diethanolamin, N-Ethyldiethanolamin,
3-Mercapto-1,2-propandiol, 3-Piperizin-1,2-propandiol,
2-(2-Pyridyl)-1,3-propandiol,
α-(1-Aminoethyl)-p-hydroxybenzylalkohol, Glycerin,
Trimethylolethan, Trimethylolpropan, Pentaerythrit,
Dipentaerythrit, Tripentaerythrit, Sorbit, Glucose,
α-Mannit, Butantriol, 1,2,6-Trihydroxyhexan,
1,2,4-Benzoltriol, Triethanolamin,
2,2-Bis(hydroxymethyl)-2,2′,2′′-nitrilotriethanol usw.
Bevorzugt unter diesen Acrylsäure- oder
Methacrylsäureestern von einwertigen oder mehrwertigen
Alkoholen sind Ethylenglykoldiacrylat,
Ethylenglykoldimethacrylat, Polyethylenglykoldiacrylat,
Polyethylenglykoldimethacrylat, Pentaerythrittriacrylat,
Pentaerythrittrimethacrylat, Pentaerythrittetraacrylat,
Pentaerythrittetramethacrylat, Dipentaerythrithexaacrylat,
Dipentaerythrithexamethacrylat,
Dipentaerythritpentaacrylat,
Dipentaerythritpentamethacrylat, Glycerintriacrylat,
Glycerintrimethacrylat, Trimethylolpropantriacrylat,
Trimethylolpropantrimethacrylat,
Trimethylolethantriacrylat, Trimethylolethantrimethacrylat,
Neopentylglykoldiacrylat, Neopentylglykoldimethacrylat,
Sorbithexaacrylat, Sorbithexamethacrylat,
Sorbitpentaacrylat, Sorbitpentamethacrylat und dergleichen.
Zusätzlich können Acrylamide oder Methacrylamide von
Monoaminen oder Polyaminen eingesetzt werden. Als
Beispiele für Monoamine, die verwendet werden können,
können erwähnt werden Monoalkylamine, wie z. B. Ethylamin,
Butylamin, Amylamin, Hexylamin, Octylamin, Cyclohexylamin,
9-Aminodecalin, usw.; Monoalkenylamine, wie z. B.
Allylamin, Methallylamin, Benzylamin, etc.; und
aromatische Amine, wie z. B. Anilin, Toluidin,
p-Aminostyrol, usw. Beispiele für Polyamine, die hier
Verwendung finden können, sind Ethylendiamin,
Trimethylendiamin, Tetramethylendiamin, Hexamethylendiamin,
Octamethylendiamin, Hexamethylenbis(2-aminopropyl)amin,
Diethylentriamin, Triethylentetramin, Polyethylenpolyamin,
Tri(2-aminoethyl)amin, 4,4′-Methylenbis(cyclohexylamin),
N,N′-Bis(2-aminoethyl)-1,3-propandiamin,
N,N′-Bis(3-aminopropyl)-1,4-butandiamin,
N,N′-Bis(3-aminopropyl)ethylendiamin,
N,N′-Bis(3-aminopropyl)-1,3-propandiamin,
1,3-Cyclohexanbis(methylamin), Phenylendiamin,
Xylylendiamin, β-(4-Aminophenyl)ethylamin, Diaminotoluol,
Diaminoanthracen, Diaminonaphthalin, Diaminostyrol,
Methylendianilin, 2,4-Bis(4-aminobenzyl)anilin,
Aminophenylether und dergleichen.
Eingesetzt werden können weiterhin Allylverbindungen,
wie z. B. Mono- oder Polyallylester von Mono- oder
Polycarbonsäuren, wie z. B. Ameisensäure, Essigsäure,
Propionsäure, Buttersäure, Laurinsäure, Benzoesäure,
Chlorbenzoesäure, Malonsäure, Oxalsäure, Glutarsäure,
Adipinsäure, Sebacinsäure, Phthalsäure, Terephthalsäure,
Hexahydrophthalsäure, Het-säure, Trimellitsäure, usw.
Polyallylester von Mono- oder Polysulfonsäuren, wie z. B.
Benzoldisulfonsäure, Naphthalindisulfonsäure, usw.;
Diallylamin, N,N′-Diallyloxalsäurediamid,
1,3-Diallylharnstoff, Diallylether, Triallylisocyanurat,
etc.
Weiterhin können auch Polyvinylverbindungen Verwendung
finden, wie z. B. Divinylbenzol, p-Allylstyrol,
p-Isopropenylstyrol, Divinylsulfon,
Ethylenglykoldivinylether, Glycerintrivinylether,
Divinylsuccinat, Divinylphthalat, Divinylterephthalat,
usw.; und Esterverbindungen von ionische Gruppen
enthaltenden Acrylsäuren oder Methacrylsäuren, wie z. B.
2-Hydroxy-3-methacryloyloxypropyltrimethylammoniumchlorid,
Methacryloyloxyphenyltrimethylammoniumchlorid, usw.
Darüber hinaus können im Handel erhältliche
photopolymerisierbare Monomere und Oligomere eingesetzt
werden, wie z. B. Acrylatmonomere, z. B. Aronix
hergestellt von Toa Gosei Chemical Industry Co. Ltd.;
Acrylat- oder Methacrylat-Monomere, z. B. NK Ester ABPE-4
U-4HA, CB-1 und
CBX-1, hergestellt von Shin Nakamura Kagaku Kogyo K. K.,
KAYARAD R604
PCA-30 und DCPA-66, KAYAMER PM-1
und PM-2
hergestellt von
Nippon Kayaku Co. Ltd., und Photomer 4061 und 5007,
hergestellt von San Nopco Co. Ltd.; Epoxyacrylate, wie
z. B. Ripoxy VR60, VR90 und SP1509, hergestellt von Showa
Highpolymer Co. Ltd.; und Spiropyranharze mit
Spiroacetalstruktur und Acryl- oder Methacrylgruppen, wie
z. B. Spilak E-4000X und U3000, hergestellt von Showa
Highpolymer Co. Ltd.
Diese Verbindungen können alleine oder als Mischungen von
zwei oder mehreren verwendet werden und sie sind
vorzugsweise in einer Menge von 1 bis 40 Gewichtsteilen,
insbesondere 2 bis 30 Gewichtsteilen, pro 100 Gewichtsteile
der festen Bestandteile in der flüssigen lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung enthalten.
Geeignete Beispiele für Photopolymerisationsinitiatoren,
die erfindungsgemäß eingesetzt werden können, sind
α-Diketone, wie z. B. Benzil, Diacetyl, usw., Acyloine, wie
z. B. Benzoin, usw., Acyloinether, wie z. B.
Benzoinmethylether, Benzoinethylether,
Benzoinisopropylether, usw.; Thioxanthone, wie z. B.
Thioxanthon, 2,4-Diethylthioxanthon,
Thioxanthon-1-sulfonsäure, Thioxanthon-4-sulfonsäure,
usw.; Benzophenone, wie z. B. Benzophenon,
4,4′-Bis(dimethylamino)benzophenon,
4,4′-Bis(diethylamino)benzophenon, usw.; Acetophenone,
wie z. B. Acetophenon, p-Dimethylaminoacetophenon,
α,α′-Dimethoxyacetoxyacetophenon,
2,2′-Dimethoxy-2-phenylacetophenon, p-Methoxyacetophenon,
2-Methyl[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-1-propan,
usw.; Chinone, wie z. B. Anthrachinon, 1,4-Naphthochinon,
usw.; halogenierte Verbindungen, wie z. B. Phenacylchlorid,
Tribrommethylphenylsulfon, Tris(trichlormethyl)-s-triazin,
usw.; Peroxide, wie z. B. Di-tert-butylperoxid, usw.
Diese Photopolymerisationsinitiatoren können allein oder
als Mischungen von zwei oder mehreren davon eingesetzt
werden und sie sind vorzugsweise in einer Menge von 0,1
bis 20 Gewichtsteilen, insbesondere 0,2 bis
10 Gewichtsteile, pro 100 Gewichtsteile der festen
Bestandteile in der flüssigen lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung enthalten.
Als Beispiele für Verbindungen mit wenigstens einer
Epoxygruppe, die in der vorliegenden Erfindung Verwendung
finden können, können erwähnt werden Epoxyverbindungen
vom Glycidylethertyp, wie z. B. Glycidylether von Alkoholen
mit 2 bis 20 Kohlenstoffatomen, z. B. Butylglycidylether,
Octylglycidylether, Decylglycidylether, Arylglycidylether,
Phenylglycidylether, etc., Polyglycidylether von Polyolen,
z. B. Polyethylenglykoldiglycidylether,
Polypropylenglykoldiglycidylether,
Ethylenglykoldiglycidylether,
Propylenglykoldiglycidylether,
Neopentylglykoldiglycidylether,
1,6-Hexandioldiglycidylether,
Dibromneopentylglykoldiglycidylether,
Glycerintriglycidylether,
Trimethylolpropantriglycidylether,
Diglycerintetraglycidylether,
Polyglycerinpolyglycidylether, usw.;
2,6-Diglycidylphenylglycidylether,
2,6,2′,6′-Tetramethyl-4,4′-biphenylglycidylether,
Epoxyharze vom Bisphenol A-Typ, Epoxyharze vom hydrierten
Bisphenol A-Typ, Epoxyharze vom Bisphenol F-Typ, Epoxyharze
vom hydrierten Bisphenol F-Typ, Epoxyharze vom
Bisphenol S-Typ, Epoxyharze vom hydrierten Bisphenol S-Typ,
Epoxyharze vom Phenol-Novolaktyp, Epoxyharze vom
Kresol-Novolaktyp, Epoxyharze vom halogenierten
Phenol-Novolaktyp, bromierte Epoxyharze, etc.;
alicyclische Epoxyverbindungen, wie z. B. alicyclische
Diepoxyacetale, alicyclisches Diepoxyadipat, alicyclisches
Diepoxydiadepat, Vinylcyclohexandioxid, usw.;
Epoxyverbindungen vom Glycidylestertyp, wie z. B.
Glycidylester von ungesättigten Säuren, beispielsweise
Glycidylacrylat, Glycidylmethacrylat,
Tetrahyrdrophthalsäurediglycidylester,
Sorbinsäureglycidylester, Ölsäureglycidylester,
Linolensäureglycidylester, usw.; Glycidylester von
Alkylcarbonsäuren, beispielsweise Butylglycidylester,
Octylglycidylester, Hexahydrophthalsäurediglycidylester,
Dimersäureglycidylester, usw.; Glycidylester von
aromatischen Carbonsäuren, beispielsweise
Benzoesäureglycidylester, o-Phthalsäureglycidylester,
Diglycidyl-p-hydroxybenzoat, usw.; Epoxyverbindungen vom
Glycidylamintyp, beispielsweise
Tetraglycidyldiaminodiphenylmethan,
Triglycidyl-p-aminophenol, Triglycidyl-M-aminophenol,
Diglycidylanilin, Diglycidyltoluidin,
Tetraglycidyl-m-xylylendiamin, Diglycidyltribromanilin,
Tetraglycidylbisaminomethylcyclohexan, usw.; und
heterocyclische Epoxyverbindungen, wie z. B.
Diglycidylhydantoin, Glycidylglycidoxyalkylhydantoin,
Triglycidylisocyanurat, usw.
Diese Verbindungen werden vorzugsweise in einer Menge von
1 bis 40 Gewichtsteilen, insbesondere 5 bis
30 Gewichtsteilen, pro 100 Gewichtsteile der festen
Bestandteile in der flüssigen lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung verwendet.
Als geeignete Beispiele für Hitzehärtungskatalysatoren,
die Epoxygruppen zu einer thermischen Reaktion veranlassen
können, seien erwähnt die bekannten
Epoxyhärtungsbeschleuniger, wie z. B. Aminverbindungen,
einschließlich der aliphatischen primären Amine, wie z. B.
Polyamine, z. B. Diethylentriamin, Triethylentriamin,
Tetraethylenpentamin, Iminobispropylamin (Dipropylamin),
Bis(hexamethylen)triamin, 1,3,6-Trisaminomethylhexan
usw.; Polymethylendiamine, z. B.
Trimethylhexamethylendiamin, Polyetherdiamine,
Diethylaminopropylamin, usw.; und alicyclische Polyamine,
z. B. Menthendiamin, Isophorondiamin,
Bis(4-amino-3-methylcyclohexyl)methan,
N-Aminoethylpiperazin, usw.; aromatische primäre Amine,
wie z. B. m-Phenylendiamin, Diaminophenylmethan,
Diaminophenylsulfon, und eutektische Mischungen von
aromatischen Diaminen, modifizierte Amine, wie z. B.
Polyamin-Epoxyharz-Addukte, Polyamin-Ethylenoxid-Addukte,
Polyamin-Propylenoxid-Addukte, cyanoethylierte Polyamine
und Ketoimine, sekundäre Amine, wie z. B. Piperizin,
Piperazin und Morpholin, und tertiäre Amine, wie z. B.
Tetramethylguanidin, Triethanolamin, Benzyldimethylamin
und 2,4,6-Tris(dimethylaminomethyl)phenol; Säureanhydride,
wie z. B. aromatische Anhydride, z. B. Phthalsäureanhydrid,
Trimellitsäureanhydrid.
Ethylenglykolbis(anhydrotrimellitat),
Glycerintris(anhydrotrimellitat), Pyromellitsäureanhydrid,
3,3′,4,4′-Benzophenontetracarbonsäureanhydrid, usw.,
alicyclische Säureanhydride, z. B. Maleinsäureanhydrid,
Bernsteinsäureanhydrid, Tetrahydrophthalsäureanhydrid,
Methyltetrahydrophthalsäureanhydrid,
Endomethylentetrahydrophthalsäureanhydrid,
Methylendomethylentetrahydrophthalsäureanhydrid,
Alkenylbernsteinsäureanhydrid,
Hexahydrophthalsäureanhydrid,
Methylhexahydrophthalsäureanhydrid,
Methylcyclohexentetracarbonsäureanhydrid, usw.;
aliphatische Säureanhydride, z. B. Polyadipinsäureanhydrid,
Polyazelainsäureanhydrid, Polysebacinsäureanhydrid, usw.;
und halogenierte Säureanhydride, z. B. Het-Säureanhydrid,
Tetrabromphthalsäureanhydrid, usw.; Imidazolverbindungen,
wie z. B. 2-Methylimidazol, 2-Ethyl-4-methylimidazol,
2-Undecylimidazol, 2-Heptadecylimidazol, 2-Phenylimidazol,
1-Benzyl-2-methylimidazol, 1-Cyanoethyl-2-methylimidazol,
1-Cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazol,
1-Cyanoethyl-2-undecylimidazol,
1-Cyanoethyl-2-undecylimidazoliumtrimellitat,
1-Cyanoethyl-2-phenylimidazoliumtrimellitat,
2-Methylimidazoliumisocyanurat,
2-Phenylimidazoliumisocyanurat,
2,4-Di-amino-6-[2-methylimidazol-(1-)]-ethyl-s-triazin,
2,4-Diamino-6-[2-ethyl-4-methylimidazol-(1-)]-ethyl-s-triazin,
2,4-Diamino-6-[2-undecylimidazol-(1-)]-ethyl-s-triazin,
2-Phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazol,
2-Phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazol,
1-Cyanoethyl-2-phenyl-4,5-di(cyanoethoxymethyl)imidazol,
1-Dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazoliumchlorid und
1,3-Dibenzyl-2-methylimidazoliumchlorid; Phenole, wie
z. B. Phenolharze vom Novolaktyp, Phenolharze vom Kresoltyp,
Phenolharze vom Resorcintyp und Polyvinylphenol;
Lewis-Säure-Aminkomplexe, wie z. B.
Bortrifluorid-Aminkomplex, Borpentafluorid-Aminkomplex
und Arsenpentafluorid-Aminkomplex; Dicyandiamidderivate,
wie z. B. Dicyandiamin, o-Tolylbiguanid, Phenylbiguanid
und α-2,5-Dimethylguanid; organische Säurehydrazide,
wie z. B. Bernsteinsäurehydrazid, Adipinsäurehydrazid,
Isophthalsäurehydrazid und p-Hydroxybenzoesäurehydrazid,
Diaminomaleonitrilderivate, wie z. B. Diaminomaleonitril
und Benzyldiaminomaleonitril; Melaminderivate, wie z. B.
Melamin und N,N-Diallylmelamin; Aminimidderivate;
Polymercaptane; etc.
Diese Hitzehärtungskatalysatoren werden vorzugsweise in
einer Menge von 0,01 bis 10 Gewichtsteilen, insbesondere
0,05 bis 5 Gewichtsteilen, pro 100 Gewichtsteile der festen
Bestandteile in der flüssigen lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung eingesetzt.
Als geeignete Beispiele für organische Lösungsmittel, die
Verwendung finden können, wären zu erwähnen Ketone, wie
z. B. Methylethylketon, Cyclohexanon, etc.; aromatische
Kohlenwasserstoffe, wie z. B. Toluol, Xylol, etc.;
Cellosolve-Produkte, wie z. B. Cellosolve, Butylcellosolve,
etc.; Carbitole, wie z. B. Carbitol, Butylcarbitol, etc.;
Essigsäureester, wie z. B. Ethylacetat, Butylacetat,
Cellosolveacetat, Butylcellosolveacetat, Carbitolacetat,
Butylcarbitolacetat, etc.; usw.
Diese organischen Lösungsmittel werden vorzugsweise in
einer Menge von 10 bis 50 Gewichtsteilen, insbesondere 20
bis 40 Gewichtsteilen, pro 100 Gewichtsteile der flüssigen
lichtempfindlichen Harzzusammensetzung eingesetzt.
Bei der Compoundierung der flüssigen lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung wird vorzugsweise ein
Thermopolymerisationsinhibitor zugesetzt, um die
Polymerisation während der Trocknung zu verhindern. Als
Beispiele für Thermopolymerisationsinhibitoren, die
vorzugsweise für den obigen Zweck verwendet werden,
können erwähnt werden aromatische Hydroxyverbindungen,
wie z. B. Hydrochinon, p-Methoxyphenyl,
p-tert-Butylkatechol, 2,6-di-t-Butyl-p-kresol, β-Naphthol,
Pyrogallol, etc.; Chinone, wie z. B. Benzochinon,
p-Toluchinon, etc.; Amine, wie z. B. Naphthylamin, Pyridin,
p-Toluidin, Phenothiazin, etc.; Aluminium- oder
Ammoniumsalze von N-Nitrosophenylhydroxylamin, Chloranil,
Nitrobenzol, usw.
Gegebenenfalls können der erfindungsgemäßen
Harzzusammensetzung auch Hilfsstoffe (Additive) zugesetzt
werden, wie z. B. Klebrigmacher, Haftungsbeschleuniger,
Dispergiermittel, Weichmacher, Verlaufsinhibitoren (slack
inhibitors), Egalisiermittel, Mittel zur Verhinderung des
Schäumens, Flammverzögerungsmittel, Aufheller, Färbemittel,
usw.
Als Beispiele für Klebrigmacher und Haftungsbeschleuniger,
die eingesetzt werden können, sollen erwähnt werden
Alkylphenol/Formaldehyd-Novolakharze, Polyvinylethylether,
Polyvinylisobutylether, Polyvinylbutyral, Polyisobutylen,
Styrol-Butadien-Copolymere, Butylkautschuke, Vinylchlorid-Vinylacetat-Copolymere,
chlorierte Kautschuke,
Klebrigmacher vom Acrylharz-Typ, Petroleumharze vom
aromatischen, aliphatischen oder alicyclischen Typ, usw.
Der Zusatz eines Klebrigmachers oder eines
Haftungsbeschleunigers kann die Haftung zwischen dem
lichtempfindlichen Harz und dem Schichtträger nach der
Nachhärtung erhöhen. Besonders vorteilhaft macht sich
dies bemerkbar, wenn eine gedruckte Schalttafel aus
Kupfer und eine gedruckte Löt-Schalttafel (solder printed
circuit board) verwendet werden.
Ein Dispergiermittel wird z. B. eingesetzt, um die
Dispergierbarkeit und die Lagerstabilität der flüssigen
lichtempfindlichen Zusammensetzung zu verbessern. Ob es
des Zusatzes eines Weichmachers, eines Verlaufsinhibitors,
eines Egalisiermittels und eines Mittels zur Verhinderung
des Schäumens bedarf, hängt von der Verwendung der
flüssigen lichtempfindlichen Harzzusammensetzung oder der
Art des Schäumens eines trockenen Films aus der flüssigen
lichtempfindlichen Harzzusammensetzung ab und die Art und
die Menge dieser Additive kann in geeigneter Weise gewählt
werden.
Einige der obigen Hilfs-Zusatzmittel zeigen nicht nur
eine Art von Eigenschaften (z. B. Dispergierbarkeit,
Plastizität oder eine das Verlaufen verhindernde, eine
egalisierende oder eine das Schäumen verhindernde Wirkung),
sondern können eine mehrfache Wirkung haben. Zum Beispiel
können einige Dispergiermittel als Weichmacher,
Egalisiermittel und als Mittel zur Verhinderung des
Schäumens für die flüssige lichtempfindliche
Harzzusammensetzung wirken und einige Dispergiermittel,
Mittel zur Verhinderung des Verlaufens, Egalisiermittel
und Mittel zur Verhinderung des Schäumens können bei der
lichtempfindlichen Harzzusammensetzung nach dem Schritt
der Nach-Lichthärtung einen Einfluß auf den Seidenglanz
haben, d. h., sie können als Aufheller wirken.
Beispiele für Dispergiermittel, die verwendet werden
können, sind Fluor-enthaltende hochmolekulare Verbindungen,
Tenside, modifiziertes Lecithin, nicht-Silicium-langkettige
Carbonsäureaminsalze, organischer Montmorrilonit, usw.
Beispiele für verwendbare Weichmacher sind Glykolester,
wie z. B. Ethylenglykoldiphthalat,
Diethylenglykoldiphthalat, Ethylenglykoldicaprinsäureester,
Diethylenglykoldicaprinsäureester, usw.; Phthalsäureester,
wie z. B. Dimethylphthalat, Diethylphthalat,
Dibutylphthalat, Dioctylphthalat, Diarylphthalat,
Butylbenzylphthalat, usw.; Phosphorsäureester, wie z. B.
Triphenylphosphat, Trikresylphosphat, usw.;
Diethylmaleat, Dibutyladipat, Triethylcitrat, Ethyllaurat,
usw.
Beispiele für Verlaufsinhibitoren, die eingesetzt werden
können, sind feine Pulver aus anorganischen Substanzen,
wie z. B. Talcum, Glimmer, Siliciumdioxid, Titandioxid,
Calciumcarbonat, Magnesiumcarbonat, Bariumcarbonat,
Calciumsulfat, Magnesiumsulfat, Bariumsulfat, usw.
Beispiele für einsetzbare Färbeemittel sind anorganische
Pigmente, wie z. B. Titanoxid, Ruß, Eisenoxid, usw.;
organische Farbstoffe, wie z. B. Methylenblau,
Kristallviolett, Rhodamin B, Fuchsin, Auramin,
Azofarbstoffe, Anthrachinonfarbstoffe, usw.; und
organische Pigmente vom Phthalocyanin- oder vom Azotyp,
wie z. B. Phthalocyaninblau, Phthalocyaningrün, usw.
Beispiele für Flammverzögerungsmittel zum Einsatz in den
erfindungsgemäßen Zusammensetzungen sind anorganische
Flammverzögerungsmittel, wie z. B. Antimontrioxid,
Zirkoniumhydroxid, Bariummetaborat, Magnesiumhydroxid,
Aluminiumhydroxid usw.; Halogen-enthaltende
Flammverzögerungsmittel, wie z. B. Tetrabrombisphenol A,
chloriertes Paraffin, Perchlorpentacyclodecan,
Tetrabrombenzol, chloriertes Biphenyl, usw.; und
Phosphor-enthaltende Flammverzögerungsmittel, wie z. B.
Phosphornitrilchloridderivate, Vinylphosphat,
Allylphosphat, Tris(β-chlorethyl)phosphat,
Trikresylphosphat, Ammoniumphosphat, usw.
Bei der Bilderzeugung unter Verwendung der so hergestellten
flüssigen lichtempfindlichen Harzzusammensetzung wird die
erfindungsgemäße Zusammensetzung auf einen Schichtträger
aufgetragen, durch Erwärmen gehärtet, um die Oberfläche
des Überzugs nicht-klebrig zu machen, in Oberflächen-auf-Oberflächen-Kontakt
mit einer Mustermaske gebracht,
belichtet und daraufhin mit einer wäßrigen Alkalilösung
entwickelt, um damit die nicht-gehärtete Beschichtung
abzulösen.
Die erfindungsgemäße Harzzusammensetzung kann auf beliebige
Weise auf den Schichtträger aufgebracht werden, wie z. B.
durch Sprühen, Tauchen, Bürsten, Walzenbeschichtung,
Fließbeschichten, Florstreichen, Siebdruck, usw. Unter
diesen Verfahren wird das Walzenbeschichten, das
Florstreichen und das Siebdrucken besonders dann bevorzugt,
wenn gedruckte Schalttafeln, dünne Metallfilme und
dergleichen beschichtet werden sollen.
Die erfindungsgemäße Harzzusammensetzung kann sowohl
durch Wärme als auch durch Licht gehärtet werden. Wenn
die Zusammensetzung als Photoresist verwendet wird, wird
die Klebrigkeit der Oberfläche der Beschichtung zum
Verschwinden gebracht, indem man vor der Belichtung mit
aktiver Strahlung eine Wärmehärtung durchführt. Dabei
ist es wünschenswert, die Wärmehärtung für eine Zeitspanne
von 5 bis 30 Minuten bei einer Temperatur von 70 bis
120°C durchzuführen. Als Ergebnis der soeben beschriebenen
Wäremhärtung erhält man eine Oberfläche der gehärteten
Beschichtung, die ausreichend nicht-klebrig ist, um eine
Belichtung zu gestatten, bei der der gehärtete Überzug
und die Mustermaske in direkten Kontakt miteinander
gebracht werden.
Beispiele für Belichtungs-Lichtquellen, die zur
Lichthärtung der flüssigen lichtempfindlichen
Harzzusammensetzung der vorliegenden Erfindung eingesetzt
werden können, sind Quecksilber-Niederdrucklampen,
Quecksilber-Mitteldrucklampen, Quecksilber-Hochdrucklampen,
Quecksilber-Ultrahochdrucklampen, Xenonlampen,
Metallhalogenidlampen und Laserstrahlen. Unter diesen
Lichtquellen werden Belichtungsvorrichtungen, die mit
einer Quecksilber-Hochdrucklampe, einer Quecksilber-Ultrahochdrucklampe
oder einer Metallhalogenidlampe, die
ultraviolette Strahlung im Wellenlängenbereich von ungefähr
300 nm bis ungefähr 400 nm emittiert, ausgerüstet sind,
bevorzugt.
Die erfindungsgemäße Harzzusammensetzung kann mit einer
wäßrigen Alkalilösung entwickelt werden. Zum Beispiel
kann als Entwicklungslösung eine 0,1- bis
10gewichtsprozentige wäßrige Lösung von Natriumhydroxid,
Kaliumhydroxid, Lithiumhydroxid, Natriumcarbonat,
Kaliumcarbonat, Lithiumcarbonat, Ammoniak oder dergleichen
eingesetzt werden. Zusätzlich können in Abhängigkeit von
den Umständen Amine eingesetzt werden. Beispiele für
solche Amine sind primäre Amine, wie z. B. Butylamin,
Hexylamin, Benzylamin, Allylamin, usw.; sekundäre Amine,
wie z. B. Diethylamin, Benzylethylamin, usw.; tertiäre
Amine, wie z. B. Triethylamin, usw.; Hydroxylamine, wie
z. B. Ethanolamin, Diethanolamin, Triethanolamin,
2-Amino-1,3-propandiol, usw.; cyclische Amine, wie z. B.
Morpholin, Pyridin, Piperazin, Piperizin, usw.; Polyamine,
wie z. B. Hydrazin, Ethylendiamin, Hexamethylendiamin,
usw.; basische Salze dieser Amine, wie z. B. Sulfate,
Carbonate, Hydrogencarbonate, Alkalimetallphosphate,
Pyrophosphate, usw.; Hydroxysalze, wie z. B.
Tetramethylammoniumhydroxid; Chloride, usw.
Weiter kann die erfindungsgemäße Harzzusammensetzung
gegebenenfalls nach der Bilderzeugung erhitzt werden, um
eine Nachhärtung zu bewirken, wodurch ein gehärteter
Film erhalten wird, der hinsichtlich der Wärmebeständigkeit
verbessert ist.
Die dabei verwendbare Erwärmungszeit liegt z. B. bei 10
bis 60 Minuten bei einer Temperatur von 120 bis 170°C.
Die Wärmebehandlung zwecks Härtung vor der Belichtung und
zwecks Nachhärtung nach der Bilderzeugung kann mit einer
beliebigen Erwärmungsvorrichtung bewirkt werden, wie z. B.
einem Trocknungsofen mit zirkulierender Heißluft oder
einem Trocknungsofen mit (fernem) Infrarotlicht und
dergleichen.
Die folgenden Beispiele sollen die vorliegende Erfindung
veranschaulichen, ohne sie zu beschränken. Soweit nicht
anders angegeben, sind Teile Gewichtsteile.
Zu einem wie in der Tabelle 1 angegebenen Epoxyharz und
einer ungesättigten Monocarbonsäure wurden
Benzyltriethylammoniumchlorid (1 Molprozent, bezogen auf
die Epoxygruppen) und Hydrochinon (700 ppm) gegeben. Die
resultierende Mischung wurde 5 Stunden bei 100°C gerührt.
Zum Reaktionsprodukt wurde ein wie in Tabelle 1 angegebenes
Anhydrid einer Säure zugegeben und das Rühren wurde für
weitere 4 Stunden bei 100°C fortgesetzt.
Daraufhin wurde Carbitolacetat zugegeben und das
Reaktionssystem wurde in eine 70%ige wäßrige Lösung
formuliert. So wurden die gewünschten Carboxyl-modifizierten
Epoxyharze (Nr. 1 bis Nr. 9) hergestellt.
Die Komponenten M₁ bis M₉ und die Komponenten N₁ wurden
unter Verwendung der Carboxyl-modifizierten Epoxyharze 1
bis 9, die im Herstellungsbeispiel beschrieben sind,
hergestellt.
(Komponente M) | |
Carboxyl-modifiziertes Epoxyharz von Tabelle 1 | |
350 Teile | |
Flowlen [AC-300] (Anti-Schaummittel, hergestellt von Kyoeisha Oil Chemical Ind. Co. Ltd.) | 15 Teile |
Phthalocyaningrün | 7,5 Teile |
Irgacure 907 (Photopolymerisationsinitiator, hergestellt von Ciba Geigy Co. Ltd.) | 27,5 Teile |
Kieselgel | 5 Teile |
Bariumsulfat | 90 Teile |
1-Benzyl-2-methylimidazol | 10 Teile |
insgesamt | 500 Teile |
(Komponente N₁) | |
Triglydicylisocyanurat | |
100 Teile | |
Dipentaerythrithexaacrylat | 36 Teile |
Talcum | 14 Teile |
Cellosolveacetat | 50 Teile |
insgesamt | 200 Teile |
Die oben beschriebenen Komponenten M₁ bis M₉ und N₁
wurden separat in einer Walzenmühle geknetet, um
Lackproben herzustellen.
Dann wurde jede dieser Lackproben M₁ bis M₉ zusammen mit
der Lackprobe N₁ geknetet, um eine flüssige
lichtempfindliche Harzzusammensetzung (Beispiele 1 bis 7
und Vergleichsbeispiele 1 und 2) herzustellen.
Eine Komponente N₂ wurde gemäß der folgenden Formulierung
hergestellt.
(Komponente N₂) | |
2,6,2′,6′-Tetramethyl-4,4′-biphenyldiglycidylether | |
66 Teile | |
Dipentaerythrithexaacrylat | 34 Teile |
Bariumsulfat | 52 Teile |
Cellosolveacetat | 48 Teile |
insgesamt | 200 Teile |
Nach der Knetung der oben beschriebenen Komponenten
zwecks Herstellung eines Lacks wurde der Lack mit jeder
der Komponenten M₁, M₃, M₆, M₇ und M₉, die in den
Beispielen 1, 3, 6 und 7 und im Vergleichsbeispiel 2
hergestellt wurden, geknetet, um flüssige lichtempfindliche
Harzzusammensetzungen (Beispiele 8 bis 11 und
Vergleichsbeispiel 3) zu erhalten. Die Eigenschaften der
so erhaltenen Zusammensetzungen wurden auf die folgende
Weise beurteilt.
Die unter verschiedenen Bedingungen hergestellten
flüssigen lichtempfindlichen Harzzusammensetzungen
wurden gemäß dem Siebdruckverfahren auf die gesamten
Oberflächen von getrennten Kupfer-beschichteten
Laminaten aufgetragen, die einer Vorbehandlung,
einschließlich Polieren, Waschen und Entfernung von
Feuchtigkeit, unterzogen worden waren. Dann wurden
die Laminate in einen Trockenofen mit zirkulierender
Heißluft gegeben und 30 Minuten bei 70°C unter
Bildung trockener Filme getrocknet.
Jeder trockene Film wurde unter den folgenden
Bedingungen entwickelt und die Zeit, zu der der
trockene Film sich in dem Entwickler aufgelöst
hatte, wurde gemessen.
Entwickler: 1% wäßrige Natriumcarbonatlösung;
Temperatur des Entwicklers: 25°C;
Sprühdruck: 1,8 kg/cm².
Temperatur des Entwicklers: 25°C;
Sprühdruck: 1,8 kg/cm².
Ein Stufenkeil mit einer Differenz von 0,15
(ausgedrückt als Δ log E) im Dichtegrad wurde mit
jedem trockenen Film in Berührung gebracht, mit
einer Lichtstärke von 1000 mJ/cm² mit Hilfe einer
Quecksilber-Ultrahochdrucklampe (5 kW) belichtet und
dann für das Doppelte der Zeitspanne entwickelt, die
der nicht-belichtete trockene Filme benötigte, um
sich aufzulösen, wodurch man ein dem Keil
entsprechendes negatives Bild erhielt. Die
Stufenzahl, bei der der entsprechende Teil des
trockenen Films vollkommen abgelöst wurde (klare
Stufenzahl) wurde bestimmt. Eine höhere Stufenzahl
entspricht einer höheren Empfindlichkeit.
Die gesamte Oberfläche eines jeden trockenen Films
wurde einer Belichtung ausgesetzt, der der klaren
Stufenzahl 12 entsprach, und die Entwicklung wurde
unter denselben Bedingungen wie unter (3) beschrieben
durchgeführt. Daraufhin wurde der resultierende
Film 50 Minuten bei 140°C in einem Trockenofen mit
zirkulierender Heißluft getrocknet. Die Härte eines
jeden Films wurde gemäß JIS-K-5400 6-14 bestimmt.
Belichtung, Entwicklung und Nachhärtung wurden auf
dieselbe Art und Weise wie bei der Beurteilung der
Bleistifthärte bewerkstelligt und daraufhin wurde
ein Kreuzschnitt-Haftfähigkeitsrest gemäß
JIS-K-5400 6-15 durchgeführt.
Belichtung, Entwicklung und Nachhärtung wurden auf
dieselbe Weise wie bei der Beurteilung der
Bleistifthärte bewerkstelligt, außer daß ein auf
beiden Seiten mit Kupfer beschichtetes Laminat mit
dem IPC-B-25-Testmuster verwendet wurde, und der
Widerstandswert nach Anlegen einer Gleichspannung
von 500 V wurde gemäß JIS-Z-3197 bestimmt, wobei ein
Gerät "TR-8601", hergestellt von Advantest Co.,
Verwendung fand.
Belichtung, Entwicklung und Nachhärtung wurden auf
dieselbe Weise wie bei der Behandlung der
Bleistifthärte durchgeführt und jede Probe wurde
dann für 1 Stunde in 1,1,1-Trichlorethan (20°C)
eingeweicht. Daraufhin wurde die Haftfähigkeit der
resultierenden Filme insgesamt beurteilt.
Belichtung, Entwicklung und Nachhärtung wurden auf
dieselbe Weise wie bei der Beurteilung der
Bleistifthärte bewerkstelligt und jede Probe wurde
dann 30 Minuten bei 20°C in eine 10molprozentige
wäßrige Schwefelsäurelösung getaucht. Daraufhin
wurde die Haftfähigkeit der resultierenden Filme
insgesamt beurteilt.
Jeder trockene Film wurde unter Verwendung eines
Maskenmusters (Linie/Freiraum = 1/1) einer der
klaren Stufenzahl 12 entsprechenden bildweisen
Belichtung ausgesetzt, worauf eine Entwicklung unter
Bildung eines Resistmusters durchgeführt wurde. Das
resultierende Resistmuster wurde mit Hilfe eines
Mikroskops (100fache Vergrößerung) begutachtet, um
die Linienbreite des von jedem Resist getrennt
gebildeten Maskenmusters zu bestimmen.
Die Ergebnisse der Beurteilungen für die flüssigen
Harzzusammensetzungen der Beispiele 1 bis 11 und
Vergleichsbeispiele 1 bis 3 sind den Tabellen 2 und 3 zu
entnehmen.
Da die Oberfläche des Films aus der flüssigen
lichtempfindlichen Harzzusammensetzung gemäß der
vorliegenden Erfindung, die auf eine gedruckte Schalttafel
aufgetragen wurde, durch die Hitzetrocknung nach der
Auftragung ihre Klebrigkeit verliert, kann die Belichtung
so durchgeführt werden, daß man eine Mustermaske in
direkten Kontakt mit der Filmoberfläche bringt. Zusätzlich
hat die erfindungsgemäße Zusammensetzung eine hohe
Empfindlichkeit und kann mit einer wäßrigen Alkalilösung
entwickelt werden.
Weiterhin führt die erfindungsgemäße Zusammensetzung
durch die Wärmebehandlung nach der Entwicklung zu einem
Film mit ausgezeichneten elektrischen und mechanischen
Eigenschaften und einer ausgezeichneten chemischen
Widerstandsfähigkeit. Deshalb kann der Film als permanente
Schutzmaske für gedruckte Schalttafeln verwendet werden.
Claims (12)
1. Flüssige, licht- und wärmeempfindliche
Harzzusammensetzung, dadurch gekennzeichnet, daß sie
als Hauptbestandteile enthält (A) eine
photopolymerisierbare Verbindung, hergestellt durch
Umsetzung einer Epoxyverbindung vom Novolaktyp mit,
der Reihe nach, mindestens einer ungesättigten
Monocarbonsäure, die durch wenigstens eine der Formeln
(I) und (II) dargestellt wird, und wenigstens einem
Anhydrid einer gesättigten oder ungesättigten
mehrbasigen Säure, (B) eine photopolymerisierbare
Verbindung mit wenigstens einer ethylenisch
ungesättigten Doppelbindung, (C) eine Epoxyverbindung
mit wenigstens einer Epoxygruppe, (D) einen
Photopolymerisationsinitiator, (E) einen
Hitzehärtungskatalysator, der Epoxyruppen zu einer
thermischen Reaktion veranlassen kann und (F) ein
organisches Lösungsmittel;
in welchen
R für H oder CH₃ steht; R¹, R² und R³ jeweils eine unsubstituierte oder substituierte Alkylengruppe, eine unsubstituierte oder substituierte Arylengruppe oder eine unsubstituierte oder substituierte Aralkylengruppe darstellen und X -COO-, -OCO- oder -O- bedeutet.
R für H oder CH₃ steht; R¹, R² und R³ jeweils eine unsubstituierte oder substituierte Alkylengruppe, eine unsubstituierte oder substituierte Arylengruppe oder eine unsubstituierte oder substituierte Aralkylengruppe darstellen und X -COO-, -OCO- oder -O- bedeutet.
2. Harzzusammensetzung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß R für H oder CH₃ steht; R¹, R²
und R³ jeweils eine unsubstituierte oder substituierte
Alkylengruppe mit 1 bis 10 Kohlenstoffatomen, eine
unsubstituierte oder substituierte Arylengruppe mit
6 bis 12 Kohlenstoffatomen oder eine unsubstituierte
oder substituierte Aralkylengruppe mit 7 bis 21
Kohlenstoffatomen darstellen.
3. Harzzusammensetzung nach irgendeinem der Ansprüche 1
und 2, dadurch gekennzeichnet, daß R für H oder CH₃
steht; R¹, R² und R³ jeweils eine unsubstituierte
oder substituierte Alkylengruppe mit 2 bis 6
Kohlenstoffatomen, eine unsubstituierte oder
substituierte Arylengruppe mit 6 bis 10
Kohlenstoffatomen oder eine unsubstituierte oder
substituierte Aralkylengruppe mit 7 bis 15
Kohlenstoffatomen darstellt.
4. Harzzusammensetzung nach irgendeinem der Ansprüche 1
bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die mit dem
Epoxyharz vom Novolaktyp umgesetzte ungesättigte
Carbonsäure in einer solchen Menge eingesetzt wird,
daß pro Äquivalent Epoxygruppen des Epoxyharzes vom
Novolaktyp 0,8 bis 1,2 Äquivalente Carboxylgruppen
anwesend sind und daß pro Äquivalent Epoxygruppen
des Epoxyharzes vom Novolaktyp 0,1 bis 1,0
Äquivalente Anhydrid der mehrbasigen Säure umgesetzt
werden.
5. Harzzusammensetzung nach irgendeinem der Ansprüche 1
bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Menge an mit
Epoxyharz vom Novolaktyp umgesetzter ungesättigter
Carbonsäure derart ist, daß pro Äquivalent
Epoxygruppen des Epoxyharzes 0,9 bis 1,1 Äquivalente
Carboxylgruppen anwesend sind und daß pro Äquivalent
Epoxygruppen des Epoxyharzes 0,3 bis 1,0 Äquivalente
Anhydrid der mehrbasigen Säure umgesetzt werden.
6. Harzzusammensetzung nach irgendeinem der Ansprüche 1
bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die
photopolymerisierbare Verbindung 10 bis
60 Gewichtsteile pro 100 Gewichtsteile der festen
Bestandteile in der Harzzusammensetzung ausmacht.
7. Harzzusammensetzung nach irgendeinem der Ansprüche 1
bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die
Photopolymerisationsinitiatoren in einer Menge von
0,1 bis 20 Gewichtsteilen pro 100 Gewichtsteile der
festen Bestandteile in der Harzzusammensetzung
eingesetzt werden.
8. Harzzusammensetzung nach irgendeinem der Ansprüche 1
bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die
Epoxyverbindungen in einer Menge von 1 bis 40
Gewichtsteilen pro 100 Gewichtsteile der festen
Bestandteile in der Harzzusammensetzung eingesetzt
werden.
9. Harzzusammensetzung nach irgendeinem der Ansprüche 1
bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die
Hitzehärtungskatalysatoren in einer Menge von 0,01
bis 10 Gewichtsteilen pro 100 Gewichtsteile der
festen Bestandteile in der Harzzusammensetzung
eingesetzt werden.
10. Verfahren zur Erzeugung eines Bildes, dadurch
gekennzeichnet, daß es umfaßt die Beschichtung eines
Schichtträgers mit einer Harzzusammensetzung nach
irgendeinem der Ansprüche 1 bis 9, die ausreichende
Härtung des Überzugs durch Hitze, um die Oberfläche
des Überzugs nicht-klebrig zu machen; das
Kontaktieren der Oberfläche einer Mustermaske mit der
Oberfläche der aufgetragenen Zusammensetzung; das
Belichten der aufgetragenen Zusammensetzung durch
die Mustermaske, um die Harzzusammensetzung zu
härten und sie im Vergleich zur nicht-gehärteten
Zusammensetzung in einer wäßrigen Alkalilösung
unlöslich zu machen, und die anschließende
Entwicklung mit einer wäßrigen Alkalilösung, um die
ungehärtete Beschichtung abzulösen.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die Hitzehärtung bei 70 bis 120°C 5 bis 10
Minuten lang durchgeführt wird.
12. Verfahren nach irgendeinem der Ansprüche 10 und 11,
dadurch gekennzeichnet, daß die Harzzusammensetzung
nach der Erzeugung des Bildes erhitzt wird, um eine
Nachhärtung zu bewirken.
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8141 | Disposal/no request for examination |