JP2554276B2 - 液状感光性樹脂組成物 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、液状感光性樹脂組成物に関し、さらに詳し
くは、印刷配線板製造用のソルダーレジスト等の永久保
護マスクの形成に使用可能な、紫外線露光に対して高感
度で、しかも硬化後の塗膜の電気特性や耐薬品性にも優
れた、光硬化および熱硬化がともに可能な液状感光性樹
脂組成物に関する。

（従来の技術） 従来、印刷配線板業界において、ソルダーレジスト、
化学めっき用レジスト等の永久保護マスクに使用されて
いる樹脂組成物はエポキシ樹脂、メラミン樹脂等の熱硬
化性樹脂を主成分としたものであり、パターン形成に
は、スクリーン印刷法が多く用いられてきた。ソルダー
レジストの主な目的はハンダ付け時のハンダ付け領域を
限定し、ハンダブリッジ等を防ぐこと、導体の腐食を防
止すること、さらに長期にわたって導体間の電気絶縁性
を保持することにある。

しかしながら、近年、超LSI等の高密度実装化に伴っ
て、導体間隔の縮小化が要求され、また導体間の電気絶
縁性の要求も厳しく、ソルダーレジスト等も寸法精度の
優れたものが要求されるようになっているが、ススリー
ン印刷法は本質的に低解像度であり、カスレ、ピンホー
ル（高粘度インキの場合）あるいはブリード、にじみ、
だれ（低粘度の場合）といった現象が発生し、印刷配線
板の高密度化に対応できなくなってきている。

そこで、写真法（像露光に続く現像により画像を形
成）でパターンを形成でき、高感度、高解像度でかつ、
基板との密着性に優れ、しかも硬化後の塗膜の電気特性
や機械的特性にも優れた感光性樹脂組成物が、現在注目
されている。

また、近年、作業環境、大気および水質汚濁等の問題
から、アルカリ性水溶液または水で現像できる感光性樹
脂組成物が望まれている。

写真法により、パターン形成される印刷配線板用の永
久保護マスクとして、ドライフィルム型あるいは液状の
現像可能な感光性樹脂組成物が開発されている。

ドライフィルム型の感光性樹脂組成物として、例え
ば、特開昭57−55914号公報等にウレタンジ（メタ）ア
クリレート、線状高分子化合物および光増感剤からなる
感光性樹脂組成物が、また、特開昭62−247353号公報に
特定のノボラックエポキシ樹脂の（メタ）アクリル変性
樹脂と光増感剤からなる感光性樹脂組成物が開示されて
いる。

しかしながら、一般的に、ドライフィルム型の感光性
樹脂組成物の場合、加熱圧着の際に気泡を生じ易く、耐
熱性や密着性にも不安があり、それらの問題を解決する
為に、特開昭52−52703号公報等に開示されたように、
減圧下で加熱圧着等の特殊な工程を必要とし、さらに
は、この様な工程を用いても、完全な耐熱性や密着性は
保証されない。

一方、液状の現像可能な感光性樹脂組成物は、使用直
前に印刷配線板に液状のまま直接塗布されるため工程数
が少なく、また液状であるため、凹凸の激しい印刷配線
板に対しても優れた画像を形成でき、例えば、導体間隔
の狭い印刷配線板のための永久保護マスク用感光性樹脂
組成物として好適である。

しかしながら、この液状感光性樹脂組成物も、印刷配
線板上に塗布した後、直接パターンマスクを塗膜面に密
着させて露光するとパターンマスクが汚れるという欠点
を有する。

このパターンマスクの汚れを解決する方法として、特
開昭57−164595号公報に開示されているように、印刷配
線板に液状感光性樹脂組成物を塗布した後、乾燥して造
膜する通常の方法とは異なり、乾燥せず液状のままパタ
ーンマスクを間隔を開けて配置し、露光硬化させ、未硬
化の液状感光性樹脂組成物を除去するという特殊な方法
がある。しかし、乾燥造膜しないため、被覆された液状
感光性組成物表面とパターンマスクとの間隔を開ける必
要がありその分だけ解像度が悪くなり、また特殊な装置
を装備するため高価になるなど難点がある。

また、特開昭58−24144、59−2049号公報等には、活
性光線を透過する透明な可撓性支持体またはパターンマ
スク上に液状感光性樹脂組成物を均一な厚さに塗布し、
直ちに、可撓性支持体またはパターンマスクを移動し液
状感光性樹脂組成物の塗布面を印刷配線板に向け一定圧
で押圧することにより、印刷配線板上に液状感光性樹脂
組成物を一定厚に積層し、次いで、露光し、可撓性支持
体またはパターンマスクを剥離し現像することによるソ
ルダーレジストの製造方法が開示されている。この方法
では、透明な可撓性支持体またはパターンマスクに液状
感光性樹脂組成物を均一な厚さで塗布した後、印刷配線
板に向けて一定圧で押圧するときに、印刷配線板に凹凸
があるため気泡の巻き込みを生じ、画像中に気泡が少な
からず生じ、耐熱性や密着性に不安があり、さらに、特
定の装置を必要とし高価になるなどの問題がある。

さらに、特開昭61−102652、62−27736号公報には、
印刷配線板上に液状感光性組成物を塗布した後、透明な
可撓性支持体またはパターンマスクを一定圧で押圧し、
パターンマスクを介して露光し、可撓性支持体またはパ
ターンマスクを剥離した後で現像することによるソルダ
ーレジストの製造方法が開示されている。これらの方法
においても可撓性支持体またはパターンマスクを一定圧
で押圧し、露光するための特定の装置を必要とし高価に
なるなどの問題がある。

さらに、上記に示した液状感光性組成物を乾燥させず
に、そのままレジストパターンに従って露光する方法に
おいて、液状感光性組成物は、多数の反応性モノマーを
含む液状プレポリマーを使用するため、耐酸性、耐薬品
性等の特性が通常の方法に較べて劣るという問題もあ
る。

液状感光性樹脂を塗布後、加熱乾燥し、パターンマス
クを密着させて露光し、現像することにより、ソルダー
レジストを形成する方法としては、特開昭61−243869等
に開示されているような、ノボラック型エポキシ化合
物、不飽和モノカルボン酸および多塩基酸無水物を反応
して得られる化合物を含む液状レジストインキ組成物、
特開昭62−187722等に開示されているような、不飽和基
とカルボキシル基を有するビスフェノール型エポキシ樹
脂を主成分とする液状樹脂組成物がある。

しかし、これらの液状感光性樹脂組成物も、感度、お
よび硬化後の塗膜の電気特性、耐薬品性等の特性が不十
分である。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明の目的は、前記従来の技術的課題を解決し、印
刷配線板上に気泡のない均一な厚みの感光性樹脂層を形
成することができ、また、感光性樹脂を塗布した印刷配
線板を露光前に加熱することにより、感光性樹脂塗膜表
面の粘着性をなくして塗膜表面とパターンマスクとを密
着して露光することができる、光硬化および熱硬化がと
もに可能で、高感度であり、硬化後の塗膜の電気特性、
機械的特性、耐薬品性に優れ、しかもアルカリ性水溶液
により現像可能な液状感光性樹脂組成物を提供すること
にある。

（問題点を解決する為の手段） 本発明者等は、次の様な液状感光性樹脂組成物を用い
ることにより、上記の問題点を解決できることを見出
し、本出願に到った。

（Ａ）下記一般式（Ｉ）の繰り返し単位を有する高分子
重合体、同一分子中にカルボキシル基とエチレン性不飽
和二重結合を有する化合物、および飽和あるいは不飽和
多塩基酸無水物を順次反応して得られる変性ポリスチレ
ン樹脂 一般式（Ｉ） （式中、Ｒは水素、またはメチル基、Arはフェニレン、
または置換フェニレンを意味する。） （Ｂ）少なくとも１個のエチレン性不飽和二重結合を有
する重合性化合物 （Ｃ）少なくとも１個のエポキシ基を有するエポキシ化
合物 （Ｄ）光重合開始剤または光重合開始剤系 （Ｅ）エポキシ基を熱反応させる熱硬化性触媒 （Ｆ）有機溶剤 を含有する液状感光性樹脂組成物。

本発明の、液状感光性樹脂組成物の各成分について以
下に説明する。

（Ａ）の変性ポリスチレン樹脂は、一般式（Ｉ）の繰り
返し単位を有する高分子重合体、同一分子中にカルボキ
シル基とエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、お
よび飽和あるいは不飽和多塩基酸無水物を順次反応させ
ることにより得られる。

一般式（Ｉ）の繰り返し単位を有する高分子重合体と
しては、４−ビニルフェニルグリシジルエーテル、４−
イソプロペニルフェニルグリシジルエーテル、２−エチ
ル−４−ビニルフェニルグリシジルエーテル、２−イソ
プロピル−４−ビニルフェニルグリシジルエーテル、2,
6−ジイソプロピル−４−ビニルフェニルグリシジルエ
ーテル、2,6−ジ−ｔ−ブチル−４−ビニルフェニルグ
リシジルエーテル、2,6−ジ−ｔ−ブチル−４−イソプ
ロペニルフェニルグリシジルエーテル、ブロム化−４−
ビニルフェニルグリシジルエーテル、ブロム化４−イソ
プロペニルフェニルグリシジルエーテル等の単独ビニル
重合体、またはこれらと共重合可能なビニル単量体との
ビニル共重合体が挙げられる。また、これらの化合物
は、４−ビニルフェノール、４−イソプロペニルフェノ
ール、２−エチル−４−ビニルフェノール、２−イソプ
ロピル−４−ビニルフェノール、2,6−ジイソプロピル
−４−ビニルフェノール、2,6−ジ−ｔ−ブチル−４−
ビニルフェノール、2,6−ジ−ｔ−ブチル−４−イソプ
ロペニルフェノール、ブロム化−４−ビニルフェノー
ル、ブロム化４−イソプロペニルフェノール等の単独重
合体、またはこれらと共重合可能な単量体との共重合体
をアルカリ存在下でエピクロルヒドリンを反応せしめて
得ることができる。これらの内、特に好ましい具体例と
しては４−ビニルフェニルグリシジルエーテルのビニル
重合体、４−イソプロペニルフェニルグリシジルエーテ
ルのビニル重合体が挙げられる。

また、同一分子中にカルボキシル基とエチレン性不飽
和二重結合を有する化合物としては、アクリル酸、メタ
クリル酸、アクリル酸の２量体や３量体以上の多量体、
アクリル酸またはメタクリル酸とカプロラクトン等の環
状酸無水物との反応生成物、アクリル酸またはメタクリ
ル酸のヒドロキシアルキルエステルと二塩基酸無水物と
の反応生成物、アクリル酸またはメタクリル酸のヒドロ
キシアルキルエステルとハロゲン含有カルボン酸との反
応生成物、ビニル安息香酸等が挙げられる。

さらに、市販品としては、東亜合成化学工業（株）製
のアロニックスＭ−5300、Ｍ−5400、Ｍ−5500およびＭ
−5600、新中村化学工業（株）製のNKエステルCB−１お
よびCBX−１、共栄社油脂化学工業（株）製のHOA−MPお
よびHOA−MS、大阪有機化学工業（株）製のビスコート
♯2100などを用いることができる。

これらの内、特に好ましい具体例としては、アクリル
酸、メタクリル酸、アクリル酸の２量体や３量体以上の
多量体が挙げられる。

また、飽和あるいは不飽和多塩基酸無水物としては、無
水コハク酸、無水メチルコハク酸、無水2,3−ジメチル
コハク酸、無水2,2−ジメチルコハク酸、無水エチルコ
ハク酸、無水ドデセニルコハク酸、無水ノネニルコハク
酸、無水マレイン酸、無水メチルマレイン酸、無水2,3
−ジメチルマレイン酸、無水２−クロロマレイン酸、無
水2,3−ジクロロマレイン酸、無水ブロモマレイン酸、
無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水シスアコット
酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、テトラ
クロロ無水フタル酸、テトラブロモ無水フタル酸、ヘキ
サヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル
酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、エンドメチレン
テトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテト
ラヒドロ無水フタル酸、無水クロレンド酸および５−
（2,5−ジオキソテトラヒドロフリル）−３−メチル−
３−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物などの
二塩基酸無水物、無水トリメリット酸、3,3′,4,4′−
ベンゾフェノンテトラカルボン酸等の多塩基酸無水物な
どが使用できる。これらの内、上記の二塩基酸無水物が
好ましく、特に無水コハク酸、テトラヒドロ無水フタル
酸が好ましい。

それぞれを順次反応させて、変性ポリスチレン樹脂を
得るが、それらを反応させる比率は、一般式（Ｉ）の繰
り返し単位を有する高分子重合体のエポキシ基１当量に
対して、同一分子中にカルボキシル基とエチレン性不飽
和二重結合を有する化合物0.5〜1.2当量、好ましくは、
0.8〜1.1当量であり、多塩基酸無水物0.1〜1.1当量、好
ましくは、0.3〜1.0当量である。同一分子中にカルボキ
シル基とエチレン性不飽和二重結合を有する化合物が0.
5当量未満では感度が低下し、1.2当量を越えると粘着性
の問題が生ずる。また、多塩基酸無水物が0.1当量未満
では、現像性の低下、樹脂のゲル化が起こり、1.1当量
を越えると粘着性や、結晶の析出等の問題が生ずる。

これらの変性ポリスチレン樹脂は単独で、または２種
以上混合して用いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固
形分100重量部に対して、10〜60重量部が好ましく、特
に20〜50重量部用いることが好ましい。10重量部未満で
は現像性、硬化膜の強度が低下し、60重量部を越えると
液粘度が高く作業性が低下する。

本発明に用いられる少なくとも１個のエチレン性不飽
和二重結合を有する重量性化合物としては、まず１価ま
たは多価アルコールのアクリル酸またはメタクリル酸の
エステルが挙げられる。

１価または多価アルコールのアクリル酸またはメタク
リル酸のエステルにおける１価アルコールとしては、例
えばメタノール、エタノール、プロパノール、イソプロ
パノール、ｎ−ブタノール、イソブタノール、ｔ−ブタ
ノール、シクロヘキシルアルコール、ベンジルアルコー
ル、オクチルアルコール、２−エチルヘキサノール、ラ
ウリルアルコール、ｎ−デカノール、ウンデカノール、
セチルアルコール、ステアリルアルコール、メトキシエ
チルアルコール、エトキシエチルアルコール、ブトキシ
エチルアルコール、ポリエチレングリコールモノメチル
アルコール、ポリエチレングリコールモノエチルアルコ
ール、２−ヒドロキシ−３−クロロプロパン、ジメチル
アミノアルコール、ジエチルアミノアルコール、グリシ
ドール、２−トリメトキシシリルエタノール、エチレン
クロロヒドリン、エチレンブロモヒドリン、2,3−ジブ
ロムプロパノール、アリルアルコール、オレイルアルコ
ール、エポキシステアリルアルコール、フェノール、ナ
フトール等が挙げられる。また多価アルコールとして
は、例えばエチレングリコール、1,2−プロパンジオー
ル、1,3−プロパンジオール、1,4−ブタンジオール、1,
5−ペンタンジオール、ヘキサンジオール、ヘプタンジ
オール、オクタンジオール、ノナンジオール、ドデカン
ジオール、ネオペンチルグリコール、1,10−デカンジオ
ール、２−ブテン−1,4−ジオール、２−ｎ−ブチル−
２−エチルプロパンジオール、シクロヘプタンジオー
ル、1,4−シクロヘキサンジメタノール、３−シクロヘ
キセン−1,1−ジエタノール、ポリエチレングリコール
（ジエチレングリコール、トリエチレングリコール
等）、ポリプロピレングリコール（ジプロピレングリコ
ール、トリプロピレングリコール等）、ポリスチレンオ
キシドグリコール、ポリテトラヒドロフラングリコー
ル、キシリレンジオール、ビス（β−ヒドロキシエトキ
シ）ベンゼン、３−クロル−1,2−プロパンジオール、
2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオール、2,2−ジエチ
ル−1,3−プロパンジオール、2,2−ジフェニル−1,3−
プロパンジオール、デカリンジオール、1,5−ジヒドロ
キシ−1,2,3,4−テトラヒドロナフタレン、2,5−ジメチ
ル−2,5−ヘキサンジオール、２−エチル−1,3−ヘキサ
ンジオール、２−エチル−２−（ヒドロキシメチル）−
1,3−プロパンジオール、２−エチル−２−メチル−1,3
−プロパンジオール、３−ヘキセン−2,5−ジオール、
ヒドロキシベンジルアルコール、２−メチル−1,4−ブ
タンジオール、２−メチル−2,4−ペンタンジオール、
１−フェニル−1,2−エタンジオール、2,2,4,4−テトラ
メチル−1,3−シクロブタンジオール、2,3,5,6−テトラ
メチル−ｐ−キシレン−α，α′−ジオール、1,1,4,4
−テトラフェニル−２−ブチン−1,4−ジオール、1,1′
−ビ−２−ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、1,
1′−メチレン−ジ−２−ナフトール、ビフェノール、
2,2−ビス（４−ヒドロキシフェニル）ブタン、1,1−ビ
ス（４−ヒドロキシフェニル）シクロヘキサン、ビス
（ヒドロキシフェニル）メタン、カテコール、レゾルシ
ノール、２−メチルレゾルシノール、４−クロロレゾル
シノール、ピロガロール、α−（１−アミノエチル）−
ｐ−ヒドロキシベンジルアルコール、２−アミノ−２−
メチル−1,3−プロパンジオール、２−アミノ−２−エ
チル−1,3−プロパンジオール、３−アミノ−1,2−プロ
パンジオール、Ｎ−（３−アミノプロピル）−ジエタノ
ールアミン、N,N−ビス（２−ヒドロキシエチル）ピペ
ラジン、1,3−ビス（ヒドロキシメチル）ウレア、1,2−
ビス（４−ピリジル）−1,2−エタンジオール、Ｎ−ｎ
−ブチルジエタノールアミン、ジエタノールアミン、Ｎ
−エチルジエタノールアミン、３−メルカプト−1,2−
プロパンジオール、３−ピペリジン−1,2−プロパンジ
オール、２−（２−ピリジル）−1,3−プロパンジオー
ル、α−（１−アミノエチル）−ｐ−ヒドロキシベンジ
ルアルコール、グリセリン、トリメチロールエタン、ト
リメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペン
タエリスリトール、トリペンタエリスリトール、ソルビ
トール、グリコース、α−マンニトール、ブタントリオ
ール、1,2,6−トリヒドロキシヘキサン、1,2,4−ベンゼ
ントリオール、トリエタノールアミン、2,2−ビス（ヒ
ドロキシメチル）−2,2′,2″−ニトリロトリエタノー
ル等が挙げられる。これらの１価または多価アルコール
のアクリル酸またはメタクリル酸のエステルのうち、エ
チレングリコールジアクリレート、エチレングリコール
ジメタクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレ
ート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ペン
タエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラ
アクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジ
ペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ジペンタ
エリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリ
トールペンタメタクリレート、グリセリントリアクリレ
ート、グリセリントリメタクリレート、トリメチロール
プロパントリアクリレート、トリメチロールプロパント
リメタクリレート、トリメチロールエタントリアクリレ
ート、トリメチロールエタントリメタクリレート、ネオ
ペンチルグリコールジアクリレート、ネオペンチルグリ
コールジメタクリレート、ソルビトールヘキサアクリレ
ート、ソルビトールヘキサメタクリレート、ソルビトー
ルペンタアクリレート、ソルビトールペンタメタクリレ
ート等が好ましい。

また、モノアミンもしくはポリアミンのアクリルアミ
ドまたはメタクリルアミドも使用することができる。こ
こにおけるモノアミンとしては、例えばエチルアミン、
ブチルアミン、アミルアミン、ヘキシルアミン、オクチ
ルアミン、シクロヘキシルアミン、９−アミノデカリン
等のモノアルキルアミン、アリルアミン、メタアリルア
ミン、ベンジルアミン等のモノアルケニルアミン、およ
びアニリン、トルイジン、ｐ−アミノスチレン等の芳香
族アミンが挙げられる。またポリアミンとしては、例え
ばエチレンジアミン、トリメチレンジアミン、テトラメ
チレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、オクタメチ
レンジアミン、ヘキサメチレンビス（２−アミノプロピ
ル）アミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテト
ラアミン、ポリエチレンポリアミン、トリス（２−アミ
ノエチル）アミン、4,4′−メチレンビス（シクロヘキ
シルアミン）、N,N′−ビス（２−アミノエチル）−1,3
−プロパンジアミン、N,N′−ビス（３−アミノプロピ
ル）−1,4−ブタンジアミン、N,N′−ビス（３−アミノ
プロピル）エチレンジアミン、N,N′−ビス（３−アミ
ノプロピル）−1,3−プロパンジアミン、1,3−シクロヘ
キサンビス（メチルアミン）、フェニレンジアミン、キ
シリレンジアミン、β−（４−アミノフェニル）エチル
アミン、ジアミノトルエン、ジアミノアントラセン、ジ
アミノナフタレン、ジアミノスチレン、メチレンジアニ
リン、2,4−ビス（４−アミノベンジル）アニリン、ア
ミノフェニルエーテル等が挙げられる。

さらに、アリル化合物、例えばギ酸、酢酸、プロピオ
ン酸、酪酸、ラウリン酸、安息香酸、クロル安息香酸、
マロン酸、シュウ酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシ
ン酸、フタル酸、テレフタル酸、ヘキサヒドロフタル
酸、クロレンド酸およびトリメリット酸等のモノまたは
ポリカルボン酸のモノまたはポリアリルエステル、ベン
ゼンジスルホン酸、ナフタレンジスルホン酸等のモノま
たはポリスルホン酸のモノまたはポリアリルエステル、
ジアリルアミン、N,N′−ジアリルシュウ酸ジアミド、
1,3−ジアリル尿素、ジアリルエーテル、トリアリルイ
ソシアヌレート等も用いることができる。

また、例えばジビニルベンゼン、ｐ−アリルスチレ
ン、ｐ−イソピロペニルスチレン、ジビニルスルホン、
エチレングリコールジビニルエーテル、グリセロールト
リビニルエーテル、ジビニルスフシネート、ジビニルフ
タレート、ジビニルテレフタレート等のポリビニル化合
物、２−ヒドロキシ−３−メタクリロイルオキシプロピ
ルトリメチルアンモニウムクロリド、メタクリロイルオ
キシフェニルトリメチルアンモニウムクロリド等のイオ
ン性基を有するアクリル酸またはメタクリル酸のエステ
ル化合物も用いることができる。

さらに、市販の重合性モノマーまたはオリゴマー、例
えば東亜合成化学工業社製アロニックスM5700、M6100、
M8030、M152、M205、M215、M315、M325等のアクリレー
ト系モノマー、新中村化学工業社製のNKエステルABPE−
４、Ｕ−4HA、CB−１、CBX−１、日本化薬社製KAYARAD
R604、DPCA−30、DPCA−60、KAYAMAR PM−１、PM−２、
サンノプコ社製フォトマー4061、5007等のアクリレート
またはメタクリレート系モノマー、昭和高分子社製リポ
キシVR60、VR90、SP1509等のエポキシアクリレート、同
社製スピラックＥ−4000X、U3000等のスピロアセタール
構造とアクリル基またはメタクリル基とを有するスピラ
ン樹脂等も用いることができる。

これらの化合物は単独で、または２種以上混合して用
いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固形分100重量部
に対して、１〜40重量部が好ましく、特に２〜30重量部
用いることが好ましい。１重量部未満では感度が低下
し、40重量部を越えると硬化膜の電気的特性、機械的特
性が低下する。

本発明に用いられる少なくとも１個のエポキシ基を有
する化合物としては、例えばブチルグリシジルエーテ
ル、オクチルグリシジルエーテル、デシルグリシジルエ
ーテル、アリールグリシジルエーテル、フェニルグリシ
ジルエーテル等の炭素数２〜20のアルコールのグリシジ
ルエーテル類、ポリエチレングリコールジグリシジルエ
ーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルテーテ
ル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピ
レングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグ
リコールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオー
ルジグリシジルエーテル、ジブロモネオペンチルグリコ
ールジグリシジルエーテル、グリセロールトリグリシジ
ルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエ
ーテル、ジグリセロールテトラグリシジルエーテル、ポ
リグリセロールポリグリシジルエーテル等の、ポリオー
ルのポリグリシジルエーテル類、2,6−ジグリシジルフ
ェニルグリシジルエーテル、2,6,2′,6′−テトラメチ
ル−4,4′−ビフェニルジグリシジルエーテル、ビスフ
ェノールＡ型エポキシ樹脂、水素添加型ビスフェノール
Ａ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、
水素添加型ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェ
ノールＳ型エポキシ樹脂、水素添加型ビスフェノールＳ
型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹
脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ハロゲン化
フェノールノボラック型エポキシ樹脂および臭素化エポ
キシ樹脂等のグリシジルエーテル型エポキシ化合物、ア
リサイクリックジエポキシアセタール、アリサイクリッ
クジエポキシアジペイト、アリサイクリックエポキシア
ジペートおよびビニルシクロヘキセンジオキサイド等の
環式脂肪族エポキシ化合物、グリシジルアクリレート、
グリシジルメタクリレート、テトラヒドロキシフタル酸
ジグリシジルエステル、ソルビン酸グリシジルエステ
ル、オレイン酸グリシジルエステルおよびリノレイン酸
グリシジルエステル等の不飽和酸グリシジルエステル
類、ブチルグリシジルエステル、オクチルグリシジルエ
ステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエステルお
よびダイマー酸グリシジルエステル等のアルキルカルボ
ン酸グリシジルエステル類および安息香酸グリシジルエ
ステル、ｏ−フタル酸ジグリシジルエステルおよびジグ
リシジルｐ−オキシ安息香酸等の芳香族カルボン酸グリ
シジルエステル類等のグリシジルエステル型エポキシ化
合物、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、ト
リグリシジル−ｐ−アミノフェノール、トリグリシジル
−ｍ−アミノフェノール、ジグリシジルアニリン、ジグ
リシジルトルイジン、テトラグリシジル−ｍ−キシリレ
ンジアミン、ジグリシジルトリブロムアニリンおよびテ
トラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサン等のグ
リシジルアミン型エポキシ化合物、ジグリシジルヒダン
トイン、グリシジルグリシドオキシアルキルヒダントイ
ンおよびトリグリシジジルイソシアヌレート等の複素環
式エポキシ化合物等が挙げられる。これらの内、2,6,
2′,6′−テトラメチル−4,4′−ビフェニルジグリシジ
ルエーテル、ノボラック型エポキシ樹脂、複素環式エポ
キシ化合物が好ましい。

これらのエポキシ化合物は単独または２種以上混合し
て用いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固形分100重
量部に対して、１〜40重量部が好ましく、特に５〜30重
量部使用することが好ましい。１重量部未満では硬化膜
の強度、耐薬品性、電気的特性が不足し、40重量部を越
えると液の安定性が低下する。

本発明に用いられる光重合開始剤としては、例えばベ
ンジル、ジアセチル等のα−ジケトン類、ベンゾイン等
のアシロイン類、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等
のアシロインエーテル類、チオキサントン、2,4−ジエ
チルチオキサントン、チオキサントン−１−スルホン
酸、チオキサントン−４−スルホン酸等のチオキサント
ン類、ベンゾフェノン、4,4′−ビス（ジメチルアミ
ノ）ベンゾフェノン、4,4′−ビス（ジエチルアミノ）
ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、アセトフェノ
ン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、α，α′−ジ
メトキシアセトキシアセトフェノン、2,2′−ジメトキ
シ−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−メトキシアセト
フェノン、２−メチル−〔４−（メチルチオ）フェニ
ル〕−２−モルフォリノ−１−プロパノン等のアセトフ
ェノン類およびアントラキノン、1,4−ナフトキノン等
のキノン類、フェナシルクロライド、トリブロモメチル
フェニルスルホン、トリス（トリクロロメチル）−ｓ−
トリアジン等のハロゲン化合物、ジ−ｔ−ブチルパーオ
キサイド等の過酸化物などが挙げられる。

これらの光重合開始剤は単独または２種以上混合して
用いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固形分100重量
部に対して、0.1〜20重量部が好ましく、特に0.2〜10重
量部使用することが好ましい。0.1重量部未満では感度
が低下し、20重量部を越えると結晶の析出、下部の硬化
不足等が起こる。

エポキシ基を熱反応させる熱硬化性触媒としては、ジ
エチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラ
エチレンペンタミン、イミノビスプロピルアミン（ジプ
ロピルトリアミン）、ビス（ヘキサメチレン）トリアミ
ン、1,3,6−トリスアミノメチルヘキサン等のポリアミ
ン類、トリメチルヘキサメチレンジアミン、ポリエーテ
ルジアミン、ジエチルアミノプロピルアミン等のポリメ
チレンジアミン類、メンセンジアミン、イソフォロンジ
アミン、ビス（４−アミノ−３−メチルシクロヘキシ
ル）メタンおよびＮ−アミノエチルピペラジン等の脂環
族ポリアミン類等の脂肪族第一アミン、メタフェニレン
ジアミン、ジアミノフェニルメタン、ジアミノフェニル
スルフォンおよび芳香族ジアミン共融混合物等の芳香族
第一アミン類、ポリアミンエポキシ樹脂アダクト、ポリ
アミン−エチレンオキシドアダクト、ポリアミン−プロ
ピレンオキシドアダクト、シアノエチル化ポリアミン、
ケトイミン等の変性アミン、ピペリジン、ピペラジン、
モルフォリン等の第二アミン、および、テトラメチルグ
アニジン、トリエタノールアミン、ベンジルジメチルア
ミン、2,4,6−トリス（ジメチルアミノメチル）フェノ
ール等の第三アミン等のアミン化合物類、無水フタル
酸、無水トリメリット酸、エチレングリコールビス（ア
ンヒドロトリメリテート）、グリセリントリス（アンヒ
ドロトリメリテート）、無水ピロメリット酸、3,3′,4,
4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物等の芳香
族酸無水物、無水マレイン酸、無水コハク酸、テトラヒ
ドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、
エンドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエン
ドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、アルケニル無水
コハク酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒ
ドロ無水フタル酸、メチルシクロヘキセンテトラカルボ
ン酸無水物等の環状脂肪族酸無水物、ポリアジピン酸無
水物、ポリアゼライン酸無水物、ポリセバシン酸無水物
等の脂肪族酸無水物、および、クロレンド酸無水物、テ
トラブロモ無水フタル酸等のハロゲン化酸無水物等の酸
無水物類、２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−
メチルイミダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２
−ヘプタデシルイミダゾール、２−フェニルイミダゾー
ル、１−ベンジル−２−メチルイミダゾール、１−シア
ノエチル−２−メチルイミダゾール、１−シアノエチル
−２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエ
チル−２−ウンデシルイミダゾール、１−シアノエチル
−２−ウンデシルイミダゾリウム・トリメリテート、１
−シアノエチル−２−フェニルイミダゾリウム・トリメ
リテート、２−メチルイミダゾリウム・イソシアヌレー
ト、２−フェニルイミダゾリウム・イソシアヌレート、
2,4−ジアミノ−６−〔２−メチルイミダゾリル−
（１）〕−エチル−Ｓ−トリアジン、2,4−ジアミノ−
６−〔２−エチル−４−メチルイミダゾリル−（１）〕
−エチル−Ｓ−トリアジン、2,4−ジアミノ−６−〔２
−ウンデシルイミダゾリル−（１）〕−エチル−Ｓ−ト
リアジン、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシ
メチルイミダゾール、２−フェニル−4,5−ジヒドロキ
シメチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニ
ル−4,5−ジ（シアノエトキシメチル）イミダゾール、
１−ドデシル−２−メチル−３−ベンジルイミダゾリウ
ム・クロライドおよび1,3−ジベンジル−２−メチルイ
ミダゾリウム・クロライド等のイミダゾール化合物類、
ノボラック型フェノール樹脂、クレゾール型フェノール
樹脂、レゾルシノール型フェノール樹脂およびポリビニ
ルフェノール等のフェノール類、三フッ化ホウ素−アミ
ン錯体、五フッ化ホウ素−アミン錯体および五フッ化ヒ
素−アミン錯体等のルイス酸−アミン錯体類、ジシアン
ジアミド、ｏ−トリルビグアニド、フェニルビグアニド
およびα−2,5−ジメチルビグアニド等のジシアンジア
ミド誘導体、コハク酸ヒドラジド、アジピン酸ヒドラジ
ド、イソフタル酸ヒドラジドおよびｐ−オキシ安息香酸
ヒドラジド等の有機酸ヒドラジド類、ジアミノマレオニ
トリルおよびベンジルジアミノマレオニトリル等のジア
ミノマレオニトリル誘導体、メラミンおよびN,N−ジア
リルメラミン等のメラミン誘導体、アミンイミド誘導
体、ポリメルカプタン類等の公知のエポキシ硬化促進剤
を用いることができる。

これらの熱硬化触媒は単独または２種以上混合して用
いてもよく、液状感光性樹脂組成物の固形分100重量部
に対して、0.01〜10重量部が好ましく、特に0.05〜５重
量部使用することが好ましい。0.01重量部未満では硬化
膜の強度が不足し、10重量部を越えると結晶の析出、液
の安定性の低下が起こる。

本発明に用いられる有機溶剤としては、メチルエチル
ケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、トルエン、キ
シレン等の芳香族炭化水素類、セロソルブ、ブチルセロ
ソルブ等のセロソルブ類、カルビトール、ブチルカビト
ール等のカルビトール類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セ
ロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カ
ルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート
等の酢酸エステル類などがある。

これらの有機溶剤は、液状感光性樹脂組成物100重量部
に対して、10〜50重量部が好ましく、特に20〜40重量部
使用することが好ましい。10重量部未満では液粘度が高
く、50重量部を越えると液粘度が低くいずれも作業性が
低下する。

本発明の液状感光性樹脂組成物には、乾燥時の重合防
止のために熱重合防止剤を配合することが好ましい。熱
重合防止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メ
トキシフェノール、ｐ−ｔ−ブチルカテコール、2,6−
ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、β−ナフトール、ピ
ロガロール等の芳香族ヒドロキシ化合物、ベンゾキノ
ン、ｐ−トルキノン等のキノン類、ナフチルアミン、ピ
リジン、ｐ−トルイジン、フェノチアジン等のアミン
類、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシルアミンのアルミ
ニウム塩またはアンモニウム塩、フロラニール、ニトロ
ベンゼン等が挙げられる。

さらに、本発明の液状感光性樹脂組成物には、粘着付
与剤、密着促進剤、分散剤、可塑剤、垂れ防止剤、レベ
リング剤、消泡剤、難燃化剤、光沢剤、着色剤等の補助
的添加剤を必要に応じて配合してもよい。

粘着付与剤または密着促進剤としては、例えばアルキ
ルフェノール／ホルムアルデヒドノボラック樹脂、ポリ
ビニルエチルエーテル、ポリビニルイソブチルエーテ
ル、ポリビニルブチラール、ポリイソブチレン、スチレ
ン−ブタジエン共重合体ゴム、ブチルゴム、塩化ビニル
−酢酸ビニル共重合体、塩化ゴム、アクリル樹脂系粘着
剤、芳香族系、脂肪族系または脂環族系の石油樹脂等が
挙げられる。

粘着付与剤または密着促進剤の添加により、光硬化後
の感光性樹脂の基板との密着性が高まり、特に、銅印刷
配線板および半田印刷配線板に使用する際にその効果が
大きく発揮される。

分散剤は液状感光性組成物の分散性、保存安定性等を
向上させるために使用される。可塑剤、垂れ防止剤、レ
ベリング剤および消泡剤の配合の必要性は、液状感光性
樹脂組成物の使用方法、すなわち液状感光性樹脂組成物
の塗膜の作成方法に依存し、使用する種類と量は適宜選
択される。

これらの補助的添加剤は、単一の化合物が一種類の性
質（分散性、可塑性、垂れ防止性、レベリング性または
消泡性）を示すのみではなく、複数の添加効果を示すこ
とがある。例えば、分散剤は、液状感光性樹脂組成物の
可塑剤、レベリング剤および消泡剤としても働くことが
あり、また分散剤、垂れ防止剤、レベリング剤および消
泡剤は、光硬化後の感光性樹脂組成物の光沢性にも効果
を示し、光沢剤として働くこともある。

分散剤としては、例えばフッ素含有高分子化合物、界
面活性剤、改質レシチン、非シリコン系の長鎖カルボン
酸アミン塩、有機モントモリライトなどが用いられる。

可塑剤としては、例えばエチレングリコールジフタレ
ート、ジエチレングリコールジフタレート、エチレング
リコールジカプリン酸エステル、ジエチレングリコール
ジカプリン酸エステル等のグリコールエステル類、ジメ
チルフタレート、ジエチルフタレート、ジブチルフタレ
ート、ジオクチルフタレート、ジアリールフタレート、
ブチルベンジルフタレート等のフタル酸エステル類、ト
リフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート等
のリン酸エステル類、ジエチルマレート、ジブチルアジ
ペート、クエン酸トリエチル、ラウリル酸エチル等が用
いられる。

垂れ防止剤としては、例えばタルク、マイカ、二酸化
ケイ素、二酸化チタン、炭酸カルシウム、炭酸マグネシ
ウム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウ
ム、硫酸バリウム等の無機質の微粉末が用いられる。

着色剤としては、例えば酸化チタン、カーボンブラッ
ク、酸化鉄などの無機顔料、メチレンブルー、クリスタ
ルバイオレット、ローダミンＢ、フクシン、オーラミ
ン、アゾ系染料、アントラキノン系染料等の有機染料、
フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン等のフ
タロシアニン系またはアゾ系有機顔料が用いられる。

また難燃化剤としては、例えば三酸化アンチモン、水
酸化ジルコニウム、メタホウ酸バリウム、水酸化マグネ
シウム、水酸化アルミニウム等の無機系難燃化剤、テト
ラブロモビスフェノールＡ、塩素化パラフィン、パーク
ロロペンタシクロデカン、テトラブロモベンゼン、塩素
化ジフェニル等のハロゲン系難燃化剤、および塩化ホス
フォニトリル誘導体、ビニルホスフォネート、アリルホ
スフォネート、トリス（β−クロロエチル）ホスフォネ
ート、トリクレジルホスフォネート、リン酸アンモミウ
ム等のリン系難燃化剤が用いられる。

このようにして得られる本発明の液状感光性樹脂組成
物を用いて画像を形成するに際しては、この液状感光性
樹脂組成物を基板に塗布後、加熱硬化して表面を非粘着
性とし、次いで硬化塗膜にパターンマスクを密着させて
露光しアルカリ性水溶液により現像し、未硬化膜を溶出
し、画像を得る。

本発明の液状感光性樹脂組成物を基板上に塗布する方
法としては、たとえば、スプレー法、ディップ法、はけ
塗り法、ローラー塗装法、フローコーター法、カーテン
コート法、スクリーン印刷法等が挙げられ、特に印刷配
線板や薄膜金属等に塗布するには、ローラー塗装法、カ
ーテンコート法、スクリーン印刷法等が好ましい。

本発明の液状感光性樹脂組成物は、熱および光のいず
れを用いても硬化することができ、特にホトレジストと
して用いる際には、活性光線を照射する前に、塗膜を加
熱硬化して塗膜表面の粘着性を消失させる。この際の加
熱硬化の条件は、例えば70〜120℃で５〜30分が好まし
い。このように加熱硬化する結果、非粘着性となり、硬
化塗膜にパターンマスクを密着させて露光することが可
能となる。

本発明の液状感光性樹脂組成物の光硬化に用いられる
露光光源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドラ
ンプおよびレーザー光線等が挙げられるが、300nm〜400
nm付近の紫外線を放射する高圧水銀灯、超高圧水銀灯ま
たはメタルハライドランプを光源とした露光装置を用い
ることが好ましい。

本発明の液状感光性樹脂組成物は、アルカリ水溶液に
より現像することができる。現像液としては、例えば水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、炭
酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、アンモニ
ア等の0.1〜10重量％の水溶液を用いることができる
が、しかし場合によっては、アミン類、例えばブチルア
ミン、ヘキシルアミン、ベンジルアミン、アリルアミン
等の１級アミン、ジエチルアミン、ベンジルエチルアミ
ン等の２級アミン、トリエチルアミン等の３級アミン、
エタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノー
ルアミン、２−アミノ−1,3−プロパンジオール等のヒ
ドロキシルアミン、モルホリン、ピリジン、ピペラジ
ン、ピペリジン等の環状アミン、ヒドラジン、エチレン
ジアミン、ヘキサメチレンジアミン等のポリアミン、前
記アミンの硫酸塩、炭酸塩、重炭酸塩、アルカリ金属リ
ン酸塩、ピロリン酸塩等の塩基性塩、テトラメチルアン
モニウムヒドロキシド、コリン等の４級アンモニウム塩
ヒドロキシド等を使用することもできる。

また、本発明の液状感光性樹脂組成物は、画像形成
後、必要に応じて加熱処理により後硬化することによっ
て、耐熱性のより向上した硬化膜とすることもできる。
この際の条件は、例えば、120〜170℃で10〜60分が好ま
しい。

露光前の硬化および画像形成後の後硬化における加熱
処理は、熱風循環式乾燥炉、遠赤外線乾燥炉など加熱装
置をもちいることが出来る。

以下、本発明を実施例に基づいて更に詳細に説明する
が、本発明はこの実施例によって限定されるものではな
い。なお、他にことわりのない限り「部」は「重量部」
を表す。

（合成例−１） ４−ビニルフェニルグリシジルエーテルのビニル重合
体100部、メタクリル酸51.3部、フェノチアジン0.11部
をカルビトールアセテート101.7部に溶解し、ベンジル
トリエチルアンモニウムクロライド1.3部を加え、80℃
で12時間攪拌する。

この反応物に、テトラヒドロ無水フタル酸84.6部を加
え、80℃で４時間攪拌することにより、変性ポリスチレ
ン樹脂１を得た。

（合成例−２） 合成例−１のカルビトールアセテート101.7部を89.3
部に、テトラヒドロ無水フタル酸84.6部を無水コハク酸
55.7部に変更する他は合成例−１と同様にして変性ポリ
スチレン樹脂２を得た。

（合成例−３） エピクロンＮ−673（大日本インキ（株）製 クレゾ
ールノボラック型エポキシ樹脂 エポキシ当量210）100
部、アクリル酸35.7部、ハイドロキノン0.07部をカルビ
トールアセテート88.8部に溶解し、ベンジルトリエチル
アンモニウムクロライド1.07部を加え、80℃で12時間攪
拌する。

この反応物に、テトラヒドロ無水フタル酸70.4部を加
え、80℃で４時間攪拌することにより、重合性樹脂３を
得た。

（合成例−４） 合成例−３のカルビトールアセテート88.8部を78.4部
に、テトラヒドロ無水フタル酸70.4部を無水コハク酸4
6.2部に変更する他は合成例−３と同様にして重合性樹
脂４を得た。

（実施例−１） ＜成分Ｍ＞ 合成例−１で得た変性ポリスチレン樹脂１ 350部 フローレン「AC−300」 15部 （共栄社油脂化学工業（株）製の消泡剤） フタロシアニン・グリーン 2.5部 イルガキュア907 27.5部 （チバガイギー社製の光重合開始剤） シリカ ５部 硫酸バリウム 90部 １−ベンジル−２−メチルイミダゾール 10部 成分 Ｍ 合計 500部 ＜成分Ｎ＞ トリグリシジル 100部 イソシアヌレート ジペンタエリスリトール 36部 ヘキサアクリレート タルク 14部 セロソルブアセテート 50部 成分 Ｎ 合計 200部 上記成分Ｍ、Ｎを、それぞれ別々にロールミルにより
混練してインキを調整した。

次いで、成分Ｍと成分Ｎを混練し、液状感光性樹脂組
成物を得た。

（比較例−１） 実施例−１の変性ポリスチレン樹脂１の代わりに、合
成例−３で得た重合性樹脂３を用いる他は実施例−１と
同様にして、液状感光性樹脂組成物を得た。

（実施例−２） 実施例−１の変性ポリスチレン樹脂１の代わりに、合
成例−２で得た変性ポリスチレン樹脂２を用いる他は実
施例−１と同様にして、液状感光性樹脂組成物を得た。

（比較例−２） 実施例−１の変性ポリスチレン樹脂１の代わりに、合
成例−４で得た重合性樹脂４を用いる他は実施例−１と
同様にして、液状感光性樹脂組成物を得た。

これらの液状感光性樹脂組成物の性能を、以下の方法
により、評価した結果を表−１に示す。

、塗膜の形成 銅張積層板を、研磨、洗浄、水分除去により前処理を
行う。前処理した銅張積層板上に各種条件で調整した液
状感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法により全面に塗
布し、熱風循環式乾燥炉中において70℃で30分間乾燥
し、塗膜を得た。

、現像性の評価 下記の条件にて塗膜を現像し、塗膜が溶解する時間を
測定した。

、感度の評価 濃度の段差0.15（ΔlogE）の階段ウェッジを塗膜に密
着させ、5KW超高圧水銀灯で1000mj/cm²露光し、塗膜が
溶解する時間の２倍の時間で現像してウェッジに対応す
る陰画像を得、画像が完全に溶出した段数（クリア段
数）を調べた。

、鉛筆硬度の評価 クリア段数が12段になる露光量でベタ露光し、と同
様に現像した後、熱風乾燥炉中において140℃で50分間
後硬化し、JIS K 5400 6−14に準じて測定した。

、密着性の評価 鉛筆硬度の評価と同様に、露光・現像・後硬化を行
い、JIS K 5400 6−15に準じて、碁盤目試験を行った。

、絶縁抵抗の評価 IPC−Ｂ−25テストパターンを形成した両面銅張積層
板を用いた以外は、鉛筆硬度の評価方法と同様に、露光
・現像・後硬化を行い、JIS Z 3197に従って、絶縁抵抗
を、アドバンテスト（株）製の「TR−8601」を用いて、
DC500V印加後、１分での抵抗値を調べた。

、耐溶剤性の評価 絶縁抵抗の評価と同様に、露光・現像・後硬化を行
い、試料を1,1,1−トリクロロエタン中に、20℃で１時
間浸漬させたのち、塗膜の状態と密着性を総合的に判定
した。

、耐酸性の評価 耐溶剤性と同様に、露光・現像・後硬化を行い、試料
を10vol％の硫酸水溶液中に、20℃で30分間浸漬させた
のち、塗膜の状態と密着性 を総合的に判定した。

（発明の効果） 上記の実施例から明らかなように、本発明の液状感光
性樹脂組成物は、印刷配線板に塗布後、加熱による乾燥
により塗膜表面の粘着性をなくしパターンマスクを密着
させて露光することができ、高感度であり、アルカリ性
水溶液により現像が可能である。

さらに、現像後、熱硬化により電気特性、機械的特性
および耐薬品性に優れた組成物であり、印刷配線板の永
久保護マスクとして使用可能な液状感光性樹脂組成物で
ある。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭49−2601（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−11930（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−278052（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−6014（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−203424（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−43551（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−166452（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−294371（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】（Ａ）下記一般式（Ｉ）の繰り返し単位を
   有する高分子重合体、同一分子中にカルボキシル基とエ
   チレン性不飽和二重結合を有する化合物、および飽和あ
   るいは不飽和多塩基酸無水物を順次反応して得られる変
   性ポリスチレン樹脂 一般式（Ｉ） （式中、Ｒは水素、またはメチル基、Arはフェニレン、
   または置換フェニレンを意味する。） （Ｂ）少なくとも１個のエチレン性不飽和二重結合を有
   する重合性化合物 （Ｃ）少なくとも１個のエポキシ基を有するエポキシ化
   合物 （Ｄ）光重合開始剤または光重合開始剤系 （Ｅ）エポキシ基を熱反応させる熱硬化性触媒 （Ｆ）有機溶剤 を含有する液状感光性樹脂組成物。