JPH03122646A - 光重合性化合物の合成方法、及び液状感光性樹脂組成物 - Google Patents
光重合性化合物の合成方法、及び液状感光性樹脂組成物Info
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- Macromonomer-Based Addition Polymer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、液状感光性樹脂組成物に関する。さらに詳し
くは、印刷配線板製造用のソルダーレジスト等の永久保
護マスクの形成に使用可能な、紫外線露光に対して高感
度で、アルカリ性水溶液による現像性に優れ、しかも硬
化後の塗膜の電気特性、機械的特性、耐薬品性にも優れ
た液状感光性樹脂組成物に関する。
くは、印刷配線板製造用のソルダーレジスト等の永久保
護マスクの形成に使用可能な、紫外線露光に対して高感
度で、アルカリ性水溶液による現像性に優れ、しかも硬
化後の塗膜の電気特性、機械的特性、耐薬品性にも優れ
た液状感光性樹脂組成物に関する。
(従来の技術)
従来、印刷配線板業界において、ソルダーレジスト、化
学めっき用レジスト等の永久保護マスクに使用されてい
る樹脂組成物はエポキシ樹脂、メラミン樹脂等の熱硬化
性樹脂を主成分としたものであり、パターン形成には、
スクリーン印刷法が多く用いられてきた。ソルダーレジ
ストの主な目的はハンダ付は時のハンダ付は領域を限定
し、ハンダブリッジ等を防ぐこと、導体の腐食を防止す
ること、さらに長期にわたって導体間の電気絶縁性を保
持することにある。
学めっき用レジスト等の永久保護マスクに使用されてい
る樹脂組成物はエポキシ樹脂、メラミン樹脂等の熱硬化
性樹脂を主成分としたものであり、パターン形成には、
スクリーン印刷法が多く用いられてきた。ソルダーレジ
ストの主な目的はハンダ付は時のハンダ付は領域を限定
し、ハンダブリッジ等を防ぐこと、導体の腐食を防止す
ること、さらに長期にわたって導体間の電気絶縁性を保
持することにある。
近年、超LSI等の高密度実装化に伴って、導体間隔の
縮小化が要求され、また導体間の電気絶縁性の要求も厳
しく、ソルダーレジスト等も寸法精度の優れたものが要
求されるようになっている。
縮小化が要求され、また導体間の電気絶縁性の要求も厳
しく、ソルダーレジスト等も寸法精度の優れたものが要
求されるようになっている。
しかしながら、スクリーン印刷法は本質的に低解像度で
あり、カスレ、ピンホール(高粘度インキの場合)ある
いはブリード、にじみ、だれく低粘度の場合)といった
現象が発生し、印刷配線板の高密度化に対応できなくな
ってきている。
あり、カスレ、ピンホール(高粘度インキの場合)ある
いはブリード、にじみ、だれく低粘度の場合)といった
現象が発生し、印刷配線板の高密度化に対応できなくな
ってきている。
そこで、写真法(像露光に続く現像により画像を形成)
でパターンを形成でき、高感度、高解像度で、しかも硬
化後の塗膜の電気特性や機械的特性にも優れた感光性樹
脂組成物が、現在注目されている。
でパターンを形成でき、高感度、高解像度で、しかも硬
化後の塗膜の電気特性や機械的特性にも優れた感光性樹
脂組成物が、現在注目されている。
写真法により、パターン形成される印刷配線板用の永久
保護マスクとして、ドライフィルム型あるいは液状の現
像可能な感光性樹脂組成物が開発されている。
保護マスクとして、ドライフィルム型あるいは液状の現
像可能な感光性樹脂組成物が開発されている。
ドライフィルム型の感光性樹脂組成物として、例えば、
特開昭57−56914号公報等にウレタンジ(メタ)
アクリレート、線状高分子化合物および光増感剤からな
る感光性樹脂組成物が、また、特開昭62−24735
3号公報に特定のノボラックエポキシ樹脂の(メタ)ア
クリル変性樹脂と光増感剤からなる感光性樹脂組成物が
開示されている。
特開昭57−56914号公報等にウレタンジ(メタ)
アクリレート、線状高分子化合物および光増感剤からな
る感光性樹脂組成物が、また、特開昭62−24735
3号公報に特定のノボラックエポキシ樹脂の(メタ)ア
クリル変性樹脂と光増感剤からなる感光性樹脂組成物が
開示されている。
しかしながら、−船釣に、ドライフィルム型の感光性樹
脂組成物の場合、加熱圧着の際に気泡を生じ易く、耐熱
性や密着性にも不安がある。そこでそれらの問題を解決
する為に、特開昭52−52703号公報等に開示され
たように、減圧下で加熱圧着等の特殊な工程を必要とす
るが、この様な工程を用いても、完全な耐熱性や密着性
は保証されない。
脂組成物の場合、加熱圧着の際に気泡を生じ易く、耐熱
性や密着性にも不安がある。そこでそれらの問題を解決
する為に、特開昭52−52703号公報等に開示され
たように、減圧下で加熱圧着等の特殊な工程を必要とす
るが、この様な工程を用いても、完全な耐熱性や密着性
は保証されない。
一方、液状の現像可能な感光性樹脂組成物は、使用直前
に印刷配線板に液状のまま直接塗布されるため工程数が
少なく、また液状であるため、凹凸の激しい印刷配線板
に対しても優れた画像を形成でき、例えば、導体間隔の
狭い印刷配線板のための永久保護マスク用感光性樹脂組
成物として好適である。
に印刷配線板に液状のまま直接塗布されるため工程数が
少なく、また液状であるため、凹凸の激しい印刷配線板
に対しても優れた画像を形成でき、例えば、導体間隔の
狭い印刷配線板のための永久保護マスク用感光性樹脂組
成物として好適である。
しかしながら、この液状感光性樹脂組成物も、印刷配線
板上に塗布した後、直接パターンマスクを塗膜面に密着
させて露光するとパターンマスクが汚れるという欠点を
有する。
板上に塗布した後、直接パターンマスクを塗膜面に密着
させて露光するとパターンマスクが汚れるという欠点を
有する。
このパターンマスクの汚れを解決する方法として、特開
昭57−164595号公報等に開示されているように
、塗膜面とパターンマスクを間隔を開けて配置し、露光
硬化させ、未硬化の液状感光性樹脂組成物を除去すると
いう特殊な方法がある。しかし、塗膜面とパターンマス
クとの間隔を開けた結果、解像度が悪くなり、また特殊
な装置を装備するため高価になるなど難点がある。
昭57−164595号公報等に開示されているように
、塗膜面とパターンマスクを間隔を開けて配置し、露光
硬化させ、未硬化の液状感光性樹脂組成物を除去すると
いう特殊な方法がある。しかし、塗膜面とパターンマス
クとの間隔を開けた結果、解像度が悪くなり、また特殊
な装置を装備するため高価になるなど難点がある。
また、特開昭58−24144、同59−2049、同
61−102852、同82−27736号公報には、
透明な可撓性支持体またはパターンマスクを用いるソル
ダーレジストの製造方法が開示されている。しかしこれ
らの方法においても特定の装置を必要とし高価になるな
どの問題かある。
61−102852、同82−27736号公報には、
透明な可撓性支持体またはパターンマスクを用いるソル
ダーレジストの製造方法が開示されている。しかしこれ
らの方法においても特定の装置を必要とし高価になるな
どの問題かある。
さらに、上記に示した液状感光性組成物を乾燥させずに
、そのままレジストパターンに従って露光する方法にお
いて、液状感光性組成物は、多数の反応性モノマーを含
む液状プレポリマーを使用するため、耐酸性、耐薬品性
等の特性が通常の方法に較べて劣るという問題もある。
、そのままレジストパターンに従って露光する方法にお
いて、液状感光性組成物は、多数の反応性モノマーを含
む液状プレポリマーを使用するため、耐酸性、耐薬品性
等の特性が通常の方法に較べて劣るという問題もある。
そこで通常は液状感光性樹脂を塗布後、加熱乾燥し、パ
ターンマスクを密着させて露光し、現像することにより
、ソルダーレジストを形成する方法が用いられている。
ターンマスクを密着させて露光し、現像することにより
、ソルダーレジストを形成する方法が用いられている。
この様な例としては、特開昭62−187722等に開
示されているような、不飽和基とカルボキシル基を有す
るビスフェノール型エポキシ樹脂を主成分とする液状樹
脂組成物がある。
示されているような、不飽和基とカルボキシル基を有す
るビスフェノール型エポキシ樹脂を主成分とする液状樹
脂組成物がある。
また、近年、作業環境、大気および水質汚濁等の問題か
ら、アルカリ性水溶液または水で現像できる感光性樹脂
組成物が望まれている。この様な例としては、特開昭6
1−243869、同63−258975号公報等に開
示されているような、ノボラック型エポキシ化合物、不
飽和モノカルボン酸および多塩基酸無水物を反応して得
られる光重合性化合物を含む液状レジストインキ組成物
がある。
ら、アルカリ性水溶液または水で現像できる感光性樹脂
組成物が望まれている。この様な例としては、特開昭6
1−243869、同63−258975号公報等に開
示されているような、ノボラック型エポキシ化合物、不
飽和モノカルボン酸および多塩基酸無水物を反応して得
られる光重合性化合物を含む液状レジストインキ組成物
がある。
しかし、これらの液状感光性樹脂組成物は、主成分であ
るエポキシ樹脂を反応させて得られた光重合性化合物が
通常の光重合性モノマーと比較すると感度が低いため、
露光時間がかかり作業性が低下する。あるいは、露光時
の温度上昇により、フォトマスクを損傷するなどの問題
がある。
るエポキシ樹脂を反応させて得られた光重合性化合物が
通常の光重合性モノマーと比較すると感度が低いため、
露光時間がかかり作業性が低下する。あるいは、露光時
の温度上昇により、フォトマスクを損傷するなどの問題
がある。
また、これらの液状感光性樹脂組成物は、アルカリ性水
溶液または水での現像性を向上させようとすると、吸湿
による絶縁抵抗の低下(以下、低下の大小を耐湿性の尺
度とする)を引き起こす。
溶液または水での現像性を向上させようとすると、吸湿
による絶縁抵抗の低下(以下、低下の大小を耐湿性の尺
度とする)を引き起こす。
そこで、これらの問題点を解決するために本発明者等は
先に、特願平1−135178号においてノボラック型
エポキシ化合物、二塩基酸のヒドロキシ基を有する(メ
タ)アクリレート半エステル化物、および多塩基酸無水
物を順次反応して得られる光重合性化合物を用いる液状
感光性樹脂組成物を提案している。しかし、これらの光
重合性化合物は、合成時または経時により高分子量化が
進行する場合があり、その為、これらの光重合性化合物
を用いた液状感光性樹脂組成物は現像性に劣る場合があ
る。
先に、特願平1−135178号においてノボラック型
エポキシ化合物、二塩基酸のヒドロキシ基を有する(メ
タ)アクリレート半エステル化物、および多塩基酸無水
物を順次反応して得られる光重合性化合物を用いる液状
感光性樹脂組成物を提案している。しかし、これらの光
重合性化合物は、合成時または経時により高分子量化が
進行する場合があり、その為、これらの光重合性化合物
を用いた液状感光性樹脂組成物は現像性に劣る場合があ
る。
また、これらの液状感光性樹脂組成物においても硬化膜
の耐薬品性が不十分である。
の耐薬品性が不十分である。
(発明が解決しようとする問題点)
本発明の目的は、前記従来の技術的r1.題を解決し、
合成時及び/又は経時による高分子化を抑制できる光重
合性化合物の合成方法、及び該光重合性化合物を用いた
、紫外線露光に対して高感度であり、アルカリ性水溶液
による現像性に優れ、しかも硬化後の塗膜の電気特性、
機械的特性、耐薬品性、耐湿性にも優れた液状感光性樹
脂組成物を提供することにある。
合成時及び/又は経時による高分子化を抑制できる光重
合性化合物の合成方法、及び該光重合性化合物を用いた
、紫外線露光に対して高感度であり、アルカリ性水溶液
による現像性に優れ、しかも硬化後の塗膜の電気特性、
機械的特性、耐薬品性、耐湿性にも優れた液状感光性樹
脂組成物を提供することにある。
(問題点を解決する為の手段)
本発明者等は、次の様な光重合性化合物の合成方法によ
り合成時及び/又は経時による高分子化を抑制できるこ
とを見いだし、本発明に至った。
り合成時及び/又は経時による高分子化を抑制できるこ
とを見いだし、本発明に至った。
即ち本発明の目的は、l)ノボラック型エポキシ化合物
、二塩基酸のヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレー
ト半エステル化物、および多塩基酸無水物を順次反応さ
せる光重合性化合物の合成方法において、該二塩基酸の
ヒドロキン基を有する(メタ)アクリレート半エステル
化物を反応させる際、及び/又は該多塩基酸無水物を反
応させた後にヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレー
トを添加することを特徴とする光重合性化合物の合成方
法、及び、2)少なくとも、■上記の方法で合成された
光重合性化合物、■光重合開始剤、を含有することを特
徴とする液状感光性樹脂組成物、により達成された。
、二塩基酸のヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレー
ト半エステル化物、および多塩基酸無水物を順次反応さ
せる光重合性化合物の合成方法において、該二塩基酸の
ヒドロキン基を有する(メタ)アクリレート半エステル
化物を反応させる際、及び/又は該多塩基酸無水物を反
応させた後にヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレー
トを添加することを特徴とする光重合性化合物の合成方
法、及び、2)少なくとも、■上記の方法で合成された
光重合性化合物、■光重合開始剤、を含有することを特
徴とする液状感光性樹脂組成物、により達成された。
本発明の組成物で使用する光重合性化合物は、ノボラッ
ク型エポキシ化合物、二塩基酸のヒドロキシ基を有する
(メタ)アクリレート半エステル化物、および多塩基酸
無水物を順次反応させることにより得られる。
ク型エポキシ化合物、二塩基酸のヒドロキシ基を有する
(メタ)アクリレート半エステル化物、および多塩基酸
無水物を順次反応させることにより得られる。
この際、従来の合成方法では高分子量の副生成物が生成
し、これが液状感光性樹脂組成物の現像性を悪化させて
いるが、本発明の合成方法では目的とする光重合性化合
物を現像性に支障の無い分子量で得ることができるため
と思われる。
し、これが液状感光性樹脂組成物の現像性を悪化させて
いるが、本発明の合成方法では目的とする光重合性化合
物を現像性に支障の無い分子量で得ることができるため
と思われる。
本発明の合成方法において、該光重合性化合物の反応率
は100%とはならないので、該副生成物の生成は、経
時でも進行していると考えられる。
は100%とはならないので、該副生成物の生成は、経
時でも進行していると考えられる。
従って、該ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレート
を、多塩基酸無水物を反応させた後で添加しても該副生
成物の生成を抑制する効果が得られる。
を、多塩基酸無水物を反応させた後で添加しても該副生
成物の生成を抑制する効果が得られる。
ただし、副生成物の生成を抑制する効果はノボラック型
エポキシ化合物と二塩基酸のヒドロキシ基を有する(メ
タ)アクリレート半エステル化物を反応させる際にヒド
ロキシ基を有する(メタ)アクリレートを共存させる方
が大きく、この段階で添加する方がより好ましい。
エポキシ化合物と二塩基酸のヒドロキシ基を有する(メ
タ)アクリレート半エステル化物を反応させる際にヒド
ロキシ基を有する(メタ)アクリレートを共存させる方
が大きく、この段階で添加する方がより好ましい。
また、いずれの工程を利用しても未反応のヒドロキシ基
を有する(メタ)アクリレートが幾分か残留するものと
思われる。
を有する(メタ)アクリレートが幾分か残留するものと
思われる。
ノボラック型エポキシ化合物として代表的なものには、
フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボ
ラック型エポキシ樹脂およびハロゲン化フェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂等がある。これらはそれぞれフェ
ノール、クレゾールおよびハロゲン化フェノール等とア
ルデヒドとを酸触媒の存在下に反応させて得られるノボ
ラック型樹脂のフェノール性水酸基にアルカリ存在下で
エピクロルヒドリンを反応せしめて得られる。
フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボ
ラック型エポキシ樹脂およびハロゲン化フェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂等がある。これらはそれぞれフェ
ノール、クレゾールおよびハロゲン化フェノール等とア
ルデヒドとを酸触媒の存在下に反応させて得られるノボ
ラック型樹脂のフェノール性水酸基にアルカリ存在下で
エピクロルヒドリンを反応せしめて得られる。
二塩基酸のヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレート
半エステル化物は、例えば二塩基酸またはその無水物と
ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレートの等モル反
応生成物として得られる。
半エステル化物は、例えば二塩基酸またはその無水物と
ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレートの等モル反
応生成物として得られる。
二塩基酸またはその無水物としてはコハク酸、メチルコ
ハク酸、2,3−ジメチルコハク酸、2゜2−ジメチル
コハク酸、エチルコハク酸、ドデセニルコハク酸、ノネ
ニルコハク酸、マレイン酸、メチルマレイン酸、2,3
−ジメチルマレイン酸、2−クロロマレイン酸、2,3
−ジクロロマレイン酸、ブロモマレイン酸、イタコン酸
、シトラコン酸、シスアコット酸、フタル酸、テトラヒ
ドロフタル酸、テトラクロロフタル酸、テトラブロモフ
タル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフ
タル酸、メチルへキサヒドロフタル酸、エンドメチレン
テトラヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒ
ドロフタル酸、クロレンド酸および5−(2,5−ジオ
キソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘ
キセン−1゜2−ジカルボン酸等およびこれらの無水物
が挙げられる。ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレ
ートとしては、ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート
、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒ
ドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキ
シプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチ
ル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ
)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−クロロプロピル
(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールモノ(メ
タ)アクリレート、2−メタクリロイルオキシエチル−
2−ヒドロキシプロピルフタレート、2−ヒドロキシ−
3−フェニルオキシプロピル(メタ)アクリレート、グ
リセリンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロ
パンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールト
リ(メタ)アクリレート等が挙げらる。さらに、二塩基
酸のヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレート半エス
テル化物の市販品としては、東亜合成化学工業(株)製
のアロニックスM−5400、M−5500、共栄社油
脂化学工業(株)製のライトエステルHO−MPおよび
HO−MS、大阪有機化学工業(株)製のビスコート#
2100などを用いることができる。これらの内、特に
好ましい具体例としては無水コハク酸と2−ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレートとの等モル反応生成物、無
水フタル酸と2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
トとの等モル反応生成物、無水コハク酸と2−ヒドロキ
シプロピル(メタ)アクリレートとの等モル反応生成物
が挙げられる。
ハク酸、2,3−ジメチルコハク酸、2゜2−ジメチル
コハク酸、エチルコハク酸、ドデセニルコハク酸、ノネ
ニルコハク酸、マレイン酸、メチルマレイン酸、2,3
−ジメチルマレイン酸、2−クロロマレイン酸、2,3
−ジクロロマレイン酸、ブロモマレイン酸、イタコン酸
、シトラコン酸、シスアコット酸、フタル酸、テトラヒ
ドロフタル酸、テトラクロロフタル酸、テトラブロモフ
タル酸、ヘキサヒドロフタル酸、メチルテトラヒドロフ
タル酸、メチルへキサヒドロフタル酸、エンドメチレン
テトラヒドロフタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒ
ドロフタル酸、クロレンド酸および5−(2,5−ジオ
キソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘ
キセン−1゜2−ジカルボン酸等およびこれらの無水物
が挙げられる。ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレ
ートとしては、ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート
、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒ
ドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキ
シプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチ
ル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ
)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−クロロプロピル
(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールモノ(メ
タ)アクリレート、2−メタクリロイルオキシエチル−
2−ヒドロキシプロピルフタレート、2−ヒドロキシ−
3−フェニルオキシプロピル(メタ)アクリレート、グ
リセリンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロ
パンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールト
リ(メタ)アクリレート等が挙げらる。さらに、二塩基
酸のヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレート半エス
テル化物の市販品としては、東亜合成化学工業(株)製
のアロニックスM−5400、M−5500、共栄社油
脂化学工業(株)製のライトエステルHO−MPおよび
HO−MS、大阪有機化学工業(株)製のビスコート#
2100などを用いることができる。これらの内、特に
好ましい具体例としては無水コハク酸と2−ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレートとの等モル反応生成物、無
水フタル酸と2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
トとの等モル反応生成物、無水コハク酸と2−ヒドロキ
シプロピル(メタ)アクリレートとの等モル反応生成物
が挙げられる。
また、多塩基酸無水物としては、無水コハク酸、無水メ
チルコハク酸、無水2,3−ジメチルコハク酸、無水2
,2−ジメチルコハク酸、無水エチルコハク酸、無水ド
デセニルコハク酸、無水ノネニルコハク酸、無水マレイ
ン酸、無水メチルマレイン酸、無水2,3−ジメチルマ
レイン酸、無水2−クロロマレイン酸、無水2,3−ジ
クロロマレイン酸、無水ブロモマレイン酸、無水イタコ
ン酸、無水シトラコン酸、無水シスアコット酸、無水フ
タル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、テトラクロロ無水
フタル酸、テトラブロモ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無
水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチル
へキサヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒド
ロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無
水フタル酸、無水クロレンド酸および5−(2,5−ジ
オキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロ
ヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物などの二塩基酸
無水物、無水トリメリット酸、3.3’4゜4′−ベン
ゾフェノンテトラカルボン酸等の多塩基酸無水物などが
使用できる。これらの内、好ましいものは上記の内の二
塩基酸無水物であり、特に無水コハク酸、テトラヒドロ
無水フタル酸が好ましい。
チルコハク酸、無水2,3−ジメチルコハク酸、無水2
,2−ジメチルコハク酸、無水エチルコハク酸、無水ド
デセニルコハク酸、無水ノネニルコハク酸、無水マレイ
ン酸、無水メチルマレイン酸、無水2,3−ジメチルマ
レイン酸、無水2−クロロマレイン酸、無水2,3−ジ
クロロマレイン酸、無水ブロモマレイン酸、無水イタコ
ン酸、無水シトラコン酸、無水シスアコット酸、無水フ
タル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、テトラクロロ無水
フタル酸、テトラブロモ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無
水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチル
へキサヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒド
ロ無水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無
水フタル酸、無水クロレンド酸および5−(2,5−ジ
オキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロ
ヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物などの二塩基酸
無水物、無水トリメリット酸、3.3’4゜4′−ベン
ゾフェノンテトラカルボン酸等の多塩基酸無水物などが
使用できる。これらの内、好ましいものは上記の内の二
塩基酸無水物であり、特に無水コハク酸、テトラヒドロ
無水フタル酸が好ましい。
それぞれを順次反応させて、光重合性化合物を得るが、
それらを反応させる比率は、ノボラック型エポキシ化合
物のエポキシ基1当量に対して二塩基酸のヒドロキシ基
を有する(メタ)アクリレート半エステル化物0. 5
〜1.2当量、好ましくは、0.8〜1.1当量であり
、多塩基vI無水物0. 1〜1.1当量、好ましくは
、0.3〜1゜0当量である。二塩基酸のヒドロキシ基
を有する(メタ)アクリレート半エステル化物が0.
5当量未満では感度の低下や樹脂のゲル化が起こり、1
.2当量を越えると粘着性の問題が生ずる。また、多塩
基酸無水物が0. 1当量未満では現像性の低下が起こ
り、1.1当量を越えると粘着性や、結晶の析出等の問
題が生ずる。
それらを反応させる比率は、ノボラック型エポキシ化合
物のエポキシ基1当量に対して二塩基酸のヒドロキシ基
を有する(メタ)アクリレート半エステル化物0. 5
〜1.2当量、好ましくは、0.8〜1.1当量であり
、多塩基vI無水物0. 1〜1.1当量、好ましくは
、0.3〜1゜0当量である。二塩基酸のヒドロキシ基
を有する(メタ)アクリレート半エステル化物が0.
5当量未満では感度の低下や樹脂のゲル化が起こり、1
.2当量を越えると粘着性の問題が生ずる。また、多塩
基酸無水物が0. 1当量未満では現像性の低下が起こ
り、1.1当量を越えると粘着性や、結晶の析出等の問
題が生ずる。
これらの光重合性化合物は単独で、または2種以上混合
して用いてもよい。
して用いてもよい。
ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレートとしては、
ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピ
ル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メ
タ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アク
リレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート
、2−ヒドロキシ−3−クロロプロピル(メタ)アクリ
レート、ジエチレングリコールモノ(メタ)アクリレー
ト、2−(メタ)アクリロイルオキシエチル−2−ヒド
ロキシプロピルフタレート、2−ヒドロキシ−3−フェ
ニルオキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセリン
ジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパノン(
メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ
)アクリレート等が挙げらる。用いるヒドロキシ基を有
する(メタ)アクリレートとしては、光重合性化合物の
原料として用いた二塩基酸のヒドロキシ基を有する(メ
タ)アクリレート半エステル化物の相当するヒドロキシ
基を有する(メタ)アクリレートが好ましいが異なるも
のを用いても良く、または2種以上混合して用いてもよ
い。
ヒドロキシメチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピ
ル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メ
タ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アク
リレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート
、2−ヒドロキシ−3−クロロプロピル(メタ)アクリ
レート、ジエチレングリコールモノ(メタ)アクリレー
ト、2−(メタ)アクリロイルオキシエチル−2−ヒド
ロキシプロピルフタレート、2−ヒドロキシ−3−フェ
ニルオキシプロピル(メタ)アクリレート、グリセリン
ジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパノン(
メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ
)アクリレート等が挙げらる。用いるヒドロキシ基を有
する(メタ)アクリレートとしては、光重合性化合物の
原料として用いた二塩基酸のヒドロキシ基を有する(メ
タ)アクリレート半エステル化物の相当するヒドロキシ
基を有する(メタ)アクリレートが好ましいが異なるも
のを用いても良く、または2種以上混合して用いてもよ
い。
このヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレートは光重
合性化合物の原料として用いたノボラック型手ボキシ化
合物のエポキシ基1当量に対して0.01〜0.5当量
が好ましく、特に0.05〜0. 3当量使用すること
が好ましい。0,01当量未満では高分子量化の抑制効
果が小さく、0゜5当量を越えると硬化不足等が起こる
。
合性化合物の原料として用いたノボラック型手ボキシ化
合物のエポキシ基1当量に対して0.01〜0.5当量
が好ましく、特に0.05〜0. 3当量使用すること
が好ましい。0,01当量未満では高分子量化の抑制効
果が小さく、0゜5当量を越えると硬化不足等が起こる
。
光重合開始剤としては、例えばベンジル、ジアセチル等
のα−ジケトン類、ベンゾイン等のアシロイン類、ベン
ゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベ
ンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル
類、チオキサントン、2.4−ジエチルチオキサントン
、チオキサントン−1−スルホン酸、チオキサントン−
4−スルホン酸等のチオキサントン類、ベンゾフェノン
、4.4′−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、
4,4′−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等の
ベンゾフェノン類、アセトフェノン、p−ジメチルアミ
ノアセトフェノン、α、α1ジメトキシアセトキシアセ
トフェノン、2,2′−ジメトキシ−2−フェニルアセ
トフェノン、p−メトキシアセトフェノン、2−メチル
−〔4−(メチルチオ)フェニルツー2−モルフォリノ
−1−プロパノン等のアセトフェノン類およびアントラ
キノン、】、4−ナフトキノン等のキノン類、フェナシ
ルクロライド、トリブロモメチルフェニルスルホン、ト
リス(トリクロロメチル)−9−トリアジン等のハロゲ
ン化合物、ジ−t−ブチルパーオキサイド等の過酸化物
などが挙げられる。
のα−ジケトン類、ベンゾイン等のアシロイン類、ベン
ゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベ
ンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル
類、チオキサントン、2.4−ジエチルチオキサントン
、チオキサントン−1−スルホン酸、チオキサントン−
4−スルホン酸等のチオキサントン類、ベンゾフェノン
、4.4′−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、
4,4′−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等の
ベンゾフェノン類、アセトフェノン、p−ジメチルアミ
ノアセトフェノン、α、α1ジメトキシアセトキシアセ
トフェノン、2,2′−ジメトキシ−2−フェニルアセ
トフェノン、p−メトキシアセトフェノン、2−メチル
−〔4−(メチルチオ)フェニルツー2−モルフォリノ
−1−プロパノン等のアセトフェノン類およびアントラ
キノン、】、4−ナフトキノン等のキノン類、フェナシ
ルクロライド、トリブロモメチルフェニルスルホン、ト
リス(トリクロロメチル)−9−トリアジン等のハロゲ
ン化合物、ジ−t−ブチルパーオキサイド等の過酸化物
などが挙げられる。
これらの光重合間始剤は単独または2種以上混合して用
いてもよく、光重合性化合物に対して、0.08〜28
.5重量部が好ましく、特に0゜15〜14.2重量部
使用することが好ましい。
いてもよく、光重合性化合物に対して、0.08〜28
.5重量部が好ましく、特に0゜15〜14.2重量部
使用することが好ましい。
0.08重量部未満では感度が低下し、28.5重量部
を越えると結晶の析出、下部の硬化不足等が起こる。
を越えると結晶の析出、下部の硬化不足等が起こる。
本発明の液状感光性樹脂組成物は前述の光重合性化合物
、光重合開始剤およびヒドロキシ基を有する(メタ)ア
クリレートのほかに、少なくとも1個のエチレン性不飽
和二重結合を有する重合性化合物、少なくとも1個のエ
ポキシ基を有する化合物、エポキシ基を熱反応させる熱
硬化性触媒、有機溶剤、熱重合防止剤等を配合する事が
好ましい。
、光重合開始剤およびヒドロキシ基を有する(メタ)ア
クリレートのほかに、少なくとも1個のエチレン性不飽
和二重結合を有する重合性化合物、少なくとも1個のエ
ポキシ基を有する化合物、エポキシ基を熱反応させる熱
硬化性触媒、有機溶剤、熱重合防止剤等を配合する事が
好ましい。
少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する重
合性化合物としては、まず1価または多価アルコールの
アクリル酸またはメタクリル酸のエステルが挙げられる
。
合性化合物としては、まず1価または多価アルコールの
アクリル酸またはメタクリル酸のエステルが挙げられる
。
1価または多価アルコールのアクリル酸またはメタクリ
ル酸のエステルにおける1価アルコールとしては、例え
ばメタノール、エタノール、プロパツール、イソプロパ
ツール、n−ブタノール、イソブタノール、t−ブタノ
ール、シクロヘキシルアルコール、ベンジルアルコール
、オクチルアルコール、2−エチルヘキサノール、ラウ
リルアルコール、n−デカノール、ウンデカノール、セ
チルアルコール、ステアリルアルコール、メトキシエチ
ルアルコール、エトキシエチルアルコール、ブトキシエ
チルアルコール、ポリエチレングリコールモノメチルエ
ーテル、ポリエチレングリコールモノエチルエーテル、
2−ヒドロキシ−3−クロロプロパン、ジメチルアミノ
エチルアルコール、ジエチルアミノエチルアルコール、
グリシドール、2−トリメトキシシリルエタノール、エ
チレンクロロヒドリン、エチレンブロモヒドリン、2,
3−ジブロムプロパノール、フリルアルコール、オレイ
ルアルコール、エポキシステアリルアルコール、フェノ
ール、ナフトール等が挙げられる。また多価アルコール
としては、例えばエチレングリコール、1,2−プロパ
ンジオール、1,3−プロパンジオール、1,4−ブタ
ンジオール、1゜5−ベンタンジオール、ヘキサンジオ
ール、ヘプタンジオール、オクタンジオール、ノナンジ
オール、ドデカンジオール、ネオペンチルグリコール、
1.10−デカンジオール、2−ブテン−1,4−ジオ
ール、2−n−ブチル−2−エチルプロパンジオール、
シクロへブタンジオール、1,4−シクロヘキサンジメ
タツール、3−シクロヘキセン−1,1−ジェタノール
、ポリエチレングリコール(ジエチレングリコール、ト
リエチレングリコール等)、ポリプロピレングリコール
(ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール
等)、ポリスチレンオキシドグリコール、ポリテトラヒ
ドロフラングリコール、キシリレンジオール、ビス(β
−ヒドロキシエトキシ)ベンゼン、3−クロル−1,2
−プロパンジオール、2,2−ジメチル−1,3−プロ
パンジオール、2,2−ジエチル−1,3−プロパンジ
オール、2,2−ジフェニル−1,3−プロパンジオー
ル、デカリンジオール、1,5−ジヒドロキシ−1,2
,3゜4−テトラヒドロナフタレン、2,5−ジメチル
−2,5−ヘキサンジオール、2−エチル−1゜3−ヘ
キサンジオール、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル
)−1,3−プロパンジオール、2−エチル−2−メチ
ル−1,3−プロパンジオール、3−ヘキセン−2,5
4−ジオール、ヒドロキシベンジルアルコール、2−メ
チル−1,4−ブタンジオール、2−メチル−2,4−
ベンタンジオール、1−フェニル−1,2−エタンジオ
ール、2、 2. 4. 4−テトラメチル−1,3−
シクロブタンジオール、2. 3. 5. 6−テトラ
メチル−p−キシレン−α、α2−ジオール、1,1゜
4.4−テトラフェニル−2−ブチン−1,4−ジオー
ル、l、1′−と−2−ナフトール、ジヒドロキシナフ
タレン、1.I′−メチレン−ジー2−ナフトール、ビ
フェノール、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)
ブタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シク
ロヘキサン、ビス(ヒドロキシフェニル)メタン、カテ
コール、レゾルシノール、2−メチルレゾルシノール、
4−クロロレゾルシノール、ピロガロール、α−(1−
アミノエチル)−p−ヒドロキシベンジルアルコール、
2−アミノ−2−メチル−1,3−プロパンジオール、
2−アミノ−2−エチル−1゜3−プロパンジオール、
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、N−(3−ア
ミノプロピル)−ジェタノールアミン、N、 N−ビ
ス(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1,3−ビス
(ヒドロキシメチル)ウレア、1.2−ビス(4−ピリ
ジル)−1,2−エタンジオール、N−n−ブチルジェ
タノールアミン、ジェタノールアミン、N−エチルジェ
タノールアミン、3−メルカプト−1゜2−プロパンジ
オール、3−ピペリジン−1,2−プロパンジオール、
2−(2−ピリジル)−1゜3−プロパンジオール、α
−(1−アミノエチル)−p−ヒドロキシベンジルアル
コール、グリセリン、トリメチロールエタン、トリメチ
ロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリ
スリトール、トリペンタエリスリトール、ソルビトール
、グルコース、α−マンニトール、ブタントリオール、
1. 2. 8−)リヒドロキシヘキサン、1、 2.
4−ベンゼントリオール、トリエタノールアミン、2
,2−ビス(ヒドロキシメチル)−2,2’、2”−ニ
トリロトリエタノール等が挙げられる。これらの1価ま
たは多価アルコールのアクリル酸またはメタクリル酸の
エステルのうち、エチレングリコールジアクリレート、
エチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレング
リコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジメ
タクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート
、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエ
リスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトー
ルテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールへキ
サアクリレート、ジペンタエリスリトールへキサメタク
リレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート
、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、グリ
セリントリアクリレート、グリセリントリメタクリレー
ト、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメ
チロールプロパントリメタクリレート、トリメチロール
エタントリアクリレート、トリメチロールエタントリメ
タクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート
、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ソルビト
ールへキサアクリレート、ソルビトールへキサメタクリ
レート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトー
ルペンタメタクリレート等が好ましい。
ル酸のエステルにおける1価アルコールとしては、例え
ばメタノール、エタノール、プロパツール、イソプロパ
ツール、n−ブタノール、イソブタノール、t−ブタノ
ール、シクロヘキシルアルコール、ベンジルアルコール
、オクチルアルコール、2−エチルヘキサノール、ラウ
リルアルコール、n−デカノール、ウンデカノール、セ
チルアルコール、ステアリルアルコール、メトキシエチ
ルアルコール、エトキシエチルアルコール、ブトキシエ
チルアルコール、ポリエチレングリコールモノメチルエ
ーテル、ポリエチレングリコールモノエチルエーテル、
2−ヒドロキシ−3−クロロプロパン、ジメチルアミノ
エチルアルコール、ジエチルアミノエチルアルコール、
グリシドール、2−トリメトキシシリルエタノール、エ
チレンクロロヒドリン、エチレンブロモヒドリン、2,
3−ジブロムプロパノール、フリルアルコール、オレイ
ルアルコール、エポキシステアリルアルコール、フェノ
ール、ナフトール等が挙げられる。また多価アルコール
としては、例えばエチレングリコール、1,2−プロパ
ンジオール、1,3−プロパンジオール、1,4−ブタ
ンジオール、1゜5−ベンタンジオール、ヘキサンジオ
ール、ヘプタンジオール、オクタンジオール、ノナンジ
オール、ドデカンジオール、ネオペンチルグリコール、
1.10−デカンジオール、2−ブテン−1,4−ジオ
ール、2−n−ブチル−2−エチルプロパンジオール、
シクロへブタンジオール、1,4−シクロヘキサンジメ
タツール、3−シクロヘキセン−1,1−ジェタノール
、ポリエチレングリコール(ジエチレングリコール、ト
リエチレングリコール等)、ポリプロピレングリコール
(ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール
等)、ポリスチレンオキシドグリコール、ポリテトラヒ
ドロフラングリコール、キシリレンジオール、ビス(β
−ヒドロキシエトキシ)ベンゼン、3−クロル−1,2
−プロパンジオール、2,2−ジメチル−1,3−プロ
パンジオール、2,2−ジエチル−1,3−プロパンジ
オール、2,2−ジフェニル−1,3−プロパンジオー
ル、デカリンジオール、1,5−ジヒドロキシ−1,2
,3゜4−テトラヒドロナフタレン、2,5−ジメチル
−2,5−ヘキサンジオール、2−エチル−1゜3−ヘ
キサンジオール、2−エチル−2−(ヒドロキシメチル
)−1,3−プロパンジオール、2−エチル−2−メチ
ル−1,3−プロパンジオール、3−ヘキセン−2,5
4−ジオール、ヒドロキシベンジルアルコール、2−メ
チル−1,4−ブタンジオール、2−メチル−2,4−
ベンタンジオール、1−フェニル−1,2−エタンジオ
ール、2、 2. 4. 4−テトラメチル−1,3−
シクロブタンジオール、2. 3. 5. 6−テトラ
メチル−p−キシレン−α、α2−ジオール、1,1゜
4.4−テトラフェニル−2−ブチン−1,4−ジオー
ル、l、1′−と−2−ナフトール、ジヒドロキシナフ
タレン、1.I′−メチレン−ジー2−ナフトール、ビ
フェノール、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)
ブタン、1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)シク
ロヘキサン、ビス(ヒドロキシフェニル)メタン、カテ
コール、レゾルシノール、2−メチルレゾルシノール、
4−クロロレゾルシノール、ピロガロール、α−(1−
アミノエチル)−p−ヒドロキシベンジルアルコール、
2−アミノ−2−メチル−1,3−プロパンジオール、
2−アミノ−2−エチル−1゜3−プロパンジオール、
3−アミノ−1,2−プロパンジオール、N−(3−ア
ミノプロピル)−ジェタノールアミン、N、 N−ビ
ス(2−ヒドロキシエチル)ピペラジン、1,3−ビス
(ヒドロキシメチル)ウレア、1.2−ビス(4−ピリ
ジル)−1,2−エタンジオール、N−n−ブチルジェ
タノールアミン、ジェタノールアミン、N−エチルジェ
タノールアミン、3−メルカプト−1゜2−プロパンジ
オール、3−ピペリジン−1,2−プロパンジオール、
2−(2−ピリジル)−1゜3−プロパンジオール、α
−(1−アミノエチル)−p−ヒドロキシベンジルアル
コール、グリセリン、トリメチロールエタン、トリメチ
ロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリ
スリトール、トリペンタエリスリトール、ソルビトール
、グルコース、α−マンニトール、ブタントリオール、
1. 2. 8−)リヒドロキシヘキサン、1、 2.
4−ベンゼントリオール、トリエタノールアミン、2
,2−ビス(ヒドロキシメチル)−2,2’、2”−ニ
トリロトリエタノール等が挙げられる。これらの1価ま
たは多価アルコールのアクリル酸またはメタクリル酸の
エステルのうち、エチレングリコールジアクリレート、
エチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレング
リコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジメ
タクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート
、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエ
リスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトー
ルテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールへキ
サアクリレート、ジペンタエリスリトールへキサメタク
リレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート
、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、グリ
セリントリアクリレート、グリセリントリメタクリレー
ト、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメ
チロールプロパントリメタクリレート、トリメチロール
エタントリアクリレート、トリメチロールエタントリメ
タクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート
、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、ソルビト
ールへキサアクリレート、ソルビトールへキサメタクリ
レート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトー
ルペンタメタクリレート等が好ましい。
また、モノアミンもしくはポリアミンのアクリルアミド
またはメタクリルアミドも使用することができる。ここ
におけるモノアミンとしては、例えばエチルアミン、ブ
チルアミン、アミルアミン、ヘキシルアミン、オクチル
アミン、シクロヘキシルアミン、9−アミノデカリン等
のモノアルキルアミン、アリルアミン、メタアリルアミ
ン、ベンジルアミン等のモノアルケニルアミン、および
アニリン、トルイジン、p−アミノスチレン等の芳香族
アミンが挙げられる。またポリアミンとしては、例えば
エチレンジアミン、トリメチレンジアミン、テトラメチ
レンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、オクタメチレ
ンジアミン、ヘキサメチレンビス(2−アミノプロピル
)アミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラ
アミン、ポリエチレンポリアミン、トリス(2−アミノ
エチル)アミン、4,49−メチレンビス(シクロヘキ
シルアミン)、N、N’−ビス(2−アミノエチル)−
1,3−プロパンジアミン、N、N’ビス(3−アミノ
プロピル)−1,4−ブタンジアミン、N、N’−ビス
(3−アミノプロピル)エチレンジアミン、N、N’−
ビス(3−アミノプロピル)−1,3−プロパンジアミ
ン、1.3−シクロヘキサンビス(メチルアミン)、フ
ェニレンジアミン、キシリレンジアミン、β−(4−ア
ミノフェニル)エチルアミン、ジアミノトルエン、ジア
ミノアントラセン、ジアミノナフタレン、ジアミノスチ
レン、メチレンジアニリン、2,4−ビス(4−アミノ
ベンジル)アニリン、アミノフェニルエーテル等が挙げ
られる。
またはメタクリルアミドも使用することができる。ここ
におけるモノアミンとしては、例えばエチルアミン、ブ
チルアミン、アミルアミン、ヘキシルアミン、オクチル
アミン、シクロヘキシルアミン、9−アミノデカリン等
のモノアルキルアミン、アリルアミン、メタアリルアミ
ン、ベンジルアミン等のモノアルケニルアミン、および
アニリン、トルイジン、p−アミノスチレン等の芳香族
アミンが挙げられる。またポリアミンとしては、例えば
エチレンジアミン、トリメチレンジアミン、テトラメチ
レンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、オクタメチレ
ンジアミン、ヘキサメチレンビス(2−アミノプロピル
)アミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラ
アミン、ポリエチレンポリアミン、トリス(2−アミノ
エチル)アミン、4,49−メチレンビス(シクロヘキ
シルアミン)、N、N’−ビス(2−アミノエチル)−
1,3−プロパンジアミン、N、N’ビス(3−アミノ
プロピル)−1,4−ブタンジアミン、N、N’−ビス
(3−アミノプロピル)エチレンジアミン、N、N’−
ビス(3−アミノプロピル)−1,3−プロパンジアミ
ン、1.3−シクロヘキサンビス(メチルアミン)、フ
ェニレンジアミン、キシリレンジアミン、β−(4−ア
ミノフェニル)エチルアミン、ジアミノトルエン、ジア
ミノアントラセン、ジアミノナフタレン、ジアミノスチ
レン、メチレンジアニリン、2,4−ビス(4−アミノ
ベンジル)アニリン、アミノフェニルエーテル等が挙げ
られる。
さらに、アリル化合物、例えばギ酸、酢酸、プロピオン
酸、酪酸、ラウリン酸、安息香酸、クロル安息香酸、マ
ロン酸、シュウ酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン
酸、フタル酸、テレフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、
クロレンド酸およびトリメリット酸等のモノまたはポリ
カルボン酸のモノまたはポリアリルエステル、ベンゼン
ジスルホン酸、ナフタレンジスルホン酸等のモノまたは
ポリスルホン酸のモノまたはポリアリルエステル、ジア
リル尿素ム N、N’−ジアリルシュウ酸ジアミド、1
,3−ジアリル尿素、ジアリルエーテル、トリアリルイ
ソシアヌレート等も用いることができる。
酸、酪酸、ラウリン酸、安息香酸、クロル安息香酸、マ
ロン酸、シュウ酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン
酸、フタル酸、テレフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、
クロレンド酸およびトリメリット酸等のモノまたはポリ
カルボン酸のモノまたはポリアリルエステル、ベンゼン
ジスルホン酸、ナフタレンジスルホン酸等のモノまたは
ポリスルホン酸のモノまたはポリアリルエステル、ジア
リル尿素ム N、N’−ジアリルシュウ酸ジアミド、1
,3−ジアリル尿素、ジアリルエーテル、トリアリルイ
ソシアヌレート等も用いることができる。
また、例えばジビニルベンゼン、p−アリルスチレン、
p−イソプロペニルスチレン、ジビニルスルホン、エチ
レングリコールジビニルエーテル、グリセロールトリビ
ニルエーテル、ジビニルフタレート、ジビニルフタレー
ト、ジビニルテレフタレート等のポリビニル化合物、2
−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオキシプロピルトリ
メチルアンモニウムクロリド、メタクリロイルオキシフ
ェニルトリメチルアンモニウムクロリド等のイオン性基
を有するアクリル酸またはメタクリル酸のエステル化合
物も用いることができる。
p−イソプロペニルスチレン、ジビニルスルホン、エチ
レングリコールジビニルエーテル、グリセロールトリビ
ニルエーテル、ジビニルフタレート、ジビニルフタレー
ト、ジビニルテレフタレート等のポリビニル化合物、2
−ヒドロキシ−3−メタクリロイルオキシプロピルトリ
メチルアンモニウムクロリド、メタクリロイルオキシフ
ェニルトリメチルアンモニウムクロリド等のイオン性基
を有するアクリル酸またはメタクリル酸のエステル化合
物も用いることができる。
さらに、市販の重合性モノマーまたはオリゴマー 例え
ば東亜合成化学工業社製アロニックスM5700、M6
100、M8O30、M152、M2O6、M215、
M315、M325等のアクリレート系モノマー 新中
村化学工業社製のNKエステルABPE−4、U−4H
A、CB−1、CBX−1、日本化薬社製KAYARA
D R604、DPCA−30、DPCA−60、K
AYAMARPM−1、PM−2、サンノブコ社製フォ
トマー4061.5007等のアクリレートまたはメタ
クリレート系モノマー 昭和高分子社製リポキシVR6
0、VR90,5P1509等のエポキシアクリレート
、同社製スピラックE−4000X、U3000等のス
ピロアセタール構造とアクリル基またはメタクリル基と
を有するスピラン樹脂等も用いることができる。
ば東亜合成化学工業社製アロニックスM5700、M6
100、M8O30、M152、M2O6、M215、
M315、M325等のアクリレート系モノマー 新中
村化学工業社製のNKエステルABPE−4、U−4H
A、CB−1、CBX−1、日本化薬社製KAYARA
D R604、DPCA−30、DPCA−60、K
AYAMARPM−1、PM−2、サンノブコ社製フォ
トマー4061.5007等のアクリレートまたはメタ
クリレート系モノマー 昭和高分子社製リポキシVR6
0、VR90,5P1509等のエポキシアクリレート
、同社製スピラックE−4000X、U3000等のス
ピロアセタール構造とアクリル基またはメタクリル基と
を有するスピラン樹脂等も用いることができる。
これらの化合物は単独で、または2種以上混合して用い
てもよい。
てもよい。
少なくとも1個のエポキシ基を有する化合物としては、
例えばブチルグリシジルエーテル、オクチルグリシジル
エーテル、デシルグリシジルエーテル、アリールグリシ
ジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル等の炭素数
2〜20のアルコールのグリシジルエーテル類、ポリエ
チレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレ
ングリコールジグリシジルエーテル、エチレングリコー
ルジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリ
シジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジル
エーテル、1,6−ヘキサンシオールジグリシジルエー
テル、ジブロモネオペンチルグリコールジグリシジルエ
ーテル、グリセロールトリグリシジルエーテル、トリメ
チロールプロパントリグリシジルエーテル、ジグリセロ
ールテトラグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリ
グリシジルエーテル等の、ポリオールのポリグリシジル
エーテル類、2,6−シブリシジルフェニルグリシジル
エーテル、2. 6. 2’、 6’ −テトラメチ
ル−4,4′−ビフェニルジグリシジルエーテル、ビス
フェノールA型エポキシ樹脂、水素添加型ビスフェノー
ルA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂
、水素添加型ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフ
ェノールS型エポキシ樹脂、水素添加型ビスフェノール
S型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹
脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ハロゲン化
フェノールノボラック型エポキシ樹脂および臭素化エポ
キシ樹脂等のグリシジルエーテル型エポキシ化合物、ア
リサイクリックジェポキシアセタール、アリサイクリッ
クジェポキシアジベートおよびビニルシクロヘキセンジ
オキサイド等の環式脂肪族エポキシ化合物、グリシジル
アクリレート、グリシジルメタクリレート、テトラヒド
ロキシフタル酸ジグリシジルエステル、ソルビン酸グリ
シジルエステル、オレイン酸グリシジルエステルおよび
リルイン酸グリシジルエステル等の不飽和酸グリシジル
エステル類、ブチルグリシジルエステル、オクチルグリ
シジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエ
ステルおよびダイマー酸グリシジルエステル等のアルキ
ルカルボン酸グリシジルエステル類および安息香酸グリ
シジルエステル、0−フタル酸ジグリシジルエステルお
よびジグリシジルp−オキシ安息香酸等の芳香族カルボ
ン酸グリシジルエステル類等のグリシジルエステル型エ
ポキシ化合物、テトラグリシジルジアミノジフェニルメ
タン、トリグリシジル−p−アミノフェノール、トリグ
リシジル−m−アミノフェノール、ジグリシジルアニリ
ン、ジグリシジルトルイジン、テトラグリシジル−m−
キシリレンジアミン、ジグリシジルトリブロムアニリン
およびテトラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサ
ン等のグリシジルアミン型エポキシ化合物、ジグリシジ
ルヒダントイン、グリシジルグリシドオキシアルキルヒ
ダントインおよびトリグリシジジルイソシアヌレート等
の複素環式エポキシ化合物等が挙げられる。これらの内
、2. 6. 2’、 6−テトラメチル−4,4′
−ビフエニルジグリシジルエーテル、ノボラック型エポ
キシ樹脂、複素環式エポキシ化合物が好ましい。
例えばブチルグリシジルエーテル、オクチルグリシジル
エーテル、デシルグリシジルエーテル、アリールグリシ
ジルエーテル、フェニルグリシジルエーテル等の炭素数
2〜20のアルコールのグリシジルエーテル類、ポリエ
チレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレ
ングリコールジグリシジルエーテル、エチレングリコー
ルジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリ
シジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジル
エーテル、1,6−ヘキサンシオールジグリシジルエー
テル、ジブロモネオペンチルグリコールジグリシジルエ
ーテル、グリセロールトリグリシジルエーテル、トリメ
チロールプロパントリグリシジルエーテル、ジグリセロ
ールテトラグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリ
グリシジルエーテル等の、ポリオールのポリグリシジル
エーテル類、2,6−シブリシジルフェニルグリシジル
エーテル、2. 6. 2’、 6’ −テトラメチ
ル−4,4′−ビフェニルジグリシジルエーテル、ビス
フェノールA型エポキシ樹脂、水素添加型ビスフェノー
ルA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂
、水素添加型ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフ
ェノールS型エポキシ樹脂、水素添加型ビスフェノール
S型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹
脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ハロゲン化
フェノールノボラック型エポキシ樹脂および臭素化エポ
キシ樹脂等のグリシジルエーテル型エポキシ化合物、ア
リサイクリックジェポキシアセタール、アリサイクリッ
クジェポキシアジベートおよびビニルシクロヘキセンジ
オキサイド等の環式脂肪族エポキシ化合物、グリシジル
アクリレート、グリシジルメタクリレート、テトラヒド
ロキシフタル酸ジグリシジルエステル、ソルビン酸グリ
シジルエステル、オレイン酸グリシジルエステルおよび
リルイン酸グリシジルエステル等の不飽和酸グリシジル
エステル類、ブチルグリシジルエステル、オクチルグリ
シジルエステル、ヘキサヒドロフタル酸ジグリシジルエ
ステルおよびダイマー酸グリシジルエステル等のアルキ
ルカルボン酸グリシジルエステル類および安息香酸グリ
シジルエステル、0−フタル酸ジグリシジルエステルお
よびジグリシジルp−オキシ安息香酸等の芳香族カルボ
ン酸グリシジルエステル類等のグリシジルエステル型エ
ポキシ化合物、テトラグリシジルジアミノジフェニルメ
タン、トリグリシジル−p−アミノフェノール、トリグ
リシジル−m−アミノフェノール、ジグリシジルアニリ
ン、ジグリシジルトルイジン、テトラグリシジル−m−
キシリレンジアミン、ジグリシジルトリブロムアニリン
およびテトラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサ
ン等のグリシジルアミン型エポキシ化合物、ジグリシジ
ルヒダントイン、グリシジルグリシドオキシアルキルヒ
ダントインおよびトリグリシジジルイソシアヌレート等
の複素環式エポキシ化合物等が挙げられる。これらの内
、2. 6. 2’、 6−テトラメチル−4,4′
−ビフエニルジグリシジルエーテル、ノボラック型エポ
キシ樹脂、複素環式エポキシ化合物が好ましい。
これらのエポキシ化合物は単独または2種以上混合して
用いてもよい。
用いてもよい。
エポキシ基を熱反応させる熱硬化性触媒としては、ジエ
チレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエ
チレンペンタミン、イミノビスプロピルアミン(ジエチ
レントリアミン)、ビス(ヘキサメチレン)トリアミン
、1. 3. 6−)リスアミノメチルヘキサン等のポ
リアミン類、トリメチルへキサメチレンジアミン、ポリ
エーテルジアミン、ジエチルアミノプロピルアミン等の
ポリメチレンジアミン類、メンセンジアミン、イソフォ
ロンジアミン、ビス(4−アミノ−3−メチルシクロヘ
キシル)メタンおよびN−アミノエチルピペラジン等の
脂環族ポリアミン類等の脂肪族第一アミン、メタフェニ
レンジアミン、ジアミノフェニルメタン、ジアミノフェ
ニルスルフォンおよび芳香族ジアミン共融混合物等の芳
香族第一アミン類、ポリアミンエポキシ樹脂アダクト、
ポリアミン−エチレンオキシドアダクト、ポリアミン−
プロピレンオキシドアダクト、シアノエチル化ポリアミ
ン、ケトイミン等の変性アミン、ピペリジン、ピペラジ
ン、モルフォリン等の第三アミン、および、テトラメチ
ルグアニジン、トリエタノールアミン、ベンジルジメチ
ルアミン、2. 4. 6−トリス(ジメチルアミノメ
チル)フェノール等の第三アミン等のアミン化合物類、
無水フタル酸、無水トリメリット酸、エチレングリコー
ルビス(アンヒドロトリメリテート)、グリセリントリ
ス(アンヒドロトリメリテート)、無水ピロメリット酸
、3. 3’ 4. 4’−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸無水物等の芳香族酸無水物、無水マレイン酸、
無水コハク酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテト
ラヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無
水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フ
タル酸、アルケニル無水コハク酸、ヘキサヒドロ無水フ
タル酸、メチルへキサヒドロ無水フタル酸、メチルシク
ロヘキセンテトラカルボン酸無水物等の環状脂肪族酸無
水物、ポリアジピン酸無水物、ポリアゼライン酸無水物
、ポリセバシン酸無水物等の脂肪族酸無水物、および、
クロレンド酸無水物、テトラブロモ無水フタル酸等のハ
ロゲン化酸無水物等の酸無水物類、2−メチルイミダゾ
ール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−ウン
デシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、
2−フェニルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチル
イミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾ
ール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミ
ダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾ
ール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウ
ム・トリメリテート、1−シアノエチル−2−フェニル
イミダゾリウム・トリメリテート、2−メチルイミダゾ
リウム・イソシアヌレート、2−フェニルイミダゾリウ
ム・イソシアヌレート、2,4−ジアミノ−6−〔2−
メチルイミダゾリル−(1)〕−〕エチルー8−トリア
ジン2.4−ジアミノ−6−〔2−エチル−4−メチル
イミダゾリル−(1)〕−〕エチルー5−リアジン、2
,4−ジアミノ−6−〔2−ウンデシルイミダゾリル−
(1)〕−〕エチルー8−トリアジン2−フェニル−4
−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フ
ェニルー4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、1
−シアノエチル−2−フェニル−4,5−ジ(シアノエ
トキシメチル)イミダゾール、l−ドデシル−2−メチ
ル−3−ベンジルイミダゾリウム・クロライドおよび1
,3−ジベンジル−2−メチルイミダゾリウム・クロラ
イド等のイミダゾール化合物類、ノボラック型フェノー
ル樹脂、クレゾール型フェノール樹脂、レゾルシノール
型フェノール樹脂およびポリビニルフェノール等のフェ
ノール類、三フッ化ホウ素−アミン錯体、五フッ化ホウ
素−アミン錯体および五フッ化ヒ素−アミン錯体等のル
イス酸−アミン錯体類、ジシアンジアミド、0−)リル
ビグアニド、フェニルビグアニドおよびα−2,5−ジ
メチルビグアニド等のジシアンジアミド誘導体、コハク
酸ヒドラジド、アジピン酸ヒドラジド、イソフタル酸ヒ
ドラジドおよびp−オキシ安息香酸ヒドラジド等の有機
酸ヒドラジド類、ジアミノマレオニトリルおよびベンジ
ルジアミノマレオニトリル等のジアミノマレオニトリル
誘導体、メラミンおよびN、 N−ジアリルメラミン
等のメラミン誘導体、アミンイミド誘導体、ポリメルカ
プタン類等の公知のエポキシ硬化促進剤を用いることが
できる。
チレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエ
チレンペンタミン、イミノビスプロピルアミン(ジエチ
レントリアミン)、ビス(ヘキサメチレン)トリアミン
、1. 3. 6−)リスアミノメチルヘキサン等のポ
リアミン類、トリメチルへキサメチレンジアミン、ポリ
エーテルジアミン、ジエチルアミノプロピルアミン等の
ポリメチレンジアミン類、メンセンジアミン、イソフォ
ロンジアミン、ビス(4−アミノ−3−メチルシクロヘ
キシル)メタンおよびN−アミノエチルピペラジン等の
脂環族ポリアミン類等の脂肪族第一アミン、メタフェニ
レンジアミン、ジアミノフェニルメタン、ジアミノフェ
ニルスルフォンおよび芳香族ジアミン共融混合物等の芳
香族第一アミン類、ポリアミンエポキシ樹脂アダクト、
ポリアミン−エチレンオキシドアダクト、ポリアミン−
プロピレンオキシドアダクト、シアノエチル化ポリアミ
ン、ケトイミン等の変性アミン、ピペリジン、ピペラジ
ン、モルフォリン等の第三アミン、および、テトラメチ
ルグアニジン、トリエタノールアミン、ベンジルジメチ
ルアミン、2. 4. 6−トリス(ジメチルアミノメ
チル)フェノール等の第三アミン等のアミン化合物類、
無水フタル酸、無水トリメリット酸、エチレングリコー
ルビス(アンヒドロトリメリテート)、グリセリントリ
ス(アンヒドロトリメリテート)、無水ピロメリット酸
、3. 3’ 4. 4’−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸無水物等の芳香族酸無水物、無水マレイン酸、
無水コハク酸、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテト
ラヒドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無
水フタル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フ
タル酸、アルケニル無水コハク酸、ヘキサヒドロ無水フ
タル酸、メチルへキサヒドロ無水フタル酸、メチルシク
ロヘキセンテトラカルボン酸無水物等の環状脂肪族酸無
水物、ポリアジピン酸無水物、ポリアゼライン酸無水物
、ポリセバシン酸無水物等の脂肪族酸無水物、および、
クロレンド酸無水物、テトラブロモ無水フタル酸等のハ
ロゲン化酸無水物等の酸無水物類、2−メチルイミダゾ
ール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−ウン
デシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、
2−フェニルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチル
イミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾ
ール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミ
ダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾ
ール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウ
ム・トリメリテート、1−シアノエチル−2−フェニル
イミダゾリウム・トリメリテート、2−メチルイミダゾ
リウム・イソシアヌレート、2−フェニルイミダゾリウ
ム・イソシアヌレート、2,4−ジアミノ−6−〔2−
メチルイミダゾリル−(1)〕−〕エチルー8−トリア
ジン2.4−ジアミノ−6−〔2−エチル−4−メチル
イミダゾリル−(1)〕−〕エチルー5−リアジン、2
,4−ジアミノ−6−〔2−ウンデシルイミダゾリル−
(1)〕−〕エチルー8−トリアジン2−フェニル−4
−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フ
ェニルー4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、1
−シアノエチル−2−フェニル−4,5−ジ(シアノエ
トキシメチル)イミダゾール、l−ドデシル−2−メチ
ル−3−ベンジルイミダゾリウム・クロライドおよび1
,3−ジベンジル−2−メチルイミダゾリウム・クロラ
イド等のイミダゾール化合物類、ノボラック型フェノー
ル樹脂、クレゾール型フェノール樹脂、レゾルシノール
型フェノール樹脂およびポリビニルフェノール等のフェ
ノール類、三フッ化ホウ素−アミン錯体、五フッ化ホウ
素−アミン錯体および五フッ化ヒ素−アミン錯体等のル
イス酸−アミン錯体類、ジシアンジアミド、0−)リル
ビグアニド、フェニルビグアニドおよびα−2,5−ジ
メチルビグアニド等のジシアンジアミド誘導体、コハク
酸ヒドラジド、アジピン酸ヒドラジド、イソフタル酸ヒ
ドラジドおよびp−オキシ安息香酸ヒドラジド等の有機
酸ヒドラジド類、ジアミノマレオニトリルおよびベンジ
ルジアミノマレオニトリル等のジアミノマレオニトリル
誘導体、メラミンおよびN、 N−ジアリルメラミン
等のメラミン誘導体、アミンイミド誘導体、ポリメルカ
プタン類等の公知のエポキシ硬化促進剤を用いることが
できる。
これらの熱硬化触媒は単独または2種以上混合して用い
てもよい。
てもよい。
有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサ
ノン等のケトン類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化
水素類、セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ
類、カルピトール、ブチルカビトール等のカルピトール
類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、
ブチルセロソルブアセテート、カルピトールアセテート
、ブチルカルピトールアセテート等の酢酸エステル類な
どがある。
ノン等のケトン類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化
水素類、セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ
類、カルピトール、ブチルカビトール等のカルピトール
類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、
ブチルセロソルブアセテート、カルピトールアセテート
、ブチルカルピトールアセテート等の酢酸エステル類な
どがある。
これらの有機溶剤は単独または2種以上混合して用いて
もよい。
もよい。
熱重合防止剤としては、例えば、ハイドロキノン、p−
メトキシフェノール、p−t−ブチルカテコール、2.
6−ジーt−ブチル−p−クレゾール、β−ナフトール
、ピロガロール等の芳香族ヒドロキシ化合物、ベンゾキ
ノン、p−)ルキノン等のキノン類、ナフチルアミン、
ピリジン、p−トルイジン、フェノチアジン等のアミン
類、Nニトロソフェニルヒドロキシルアミンのアルミニ
ウム塩またはアンモニウム塩、フロラニール、ニド自ベ
ンゼン等が挙げられる。
メトキシフェノール、p−t−ブチルカテコール、2.
6−ジーt−ブチル−p−クレゾール、β−ナフトール
、ピロガロール等の芳香族ヒドロキシ化合物、ベンゾキ
ノン、p−)ルキノン等のキノン類、ナフチルアミン、
ピリジン、p−トルイジン、フェノチアジン等のアミン
類、Nニトロソフェニルヒドロキシルアミンのアルミニ
ウム塩またはアンモニウム塩、フロラニール、ニド自ベ
ンゼン等が挙げられる。
さらに、本発明の液状感光性樹脂組成物には、粘着付与
剤、密着促進剤、分散剤、可塑剤、垂れ防止剤、レベリ
ング剤、消泡剤、難燃化剤、光沢剤、着色剤等の補助的
添加剤を必要に応じて配合してもよい。
剤、密着促進剤、分散剤、可塑剤、垂れ防止剤、レベリ
ング剤、消泡剤、難燃化剤、光沢剤、着色剤等の補助的
添加剤を必要に応じて配合してもよい。
粘着付与剤または密着促進剤としては、例えばアルキル
フェノール/ホルムアルデヒドノボラック樹脂、ポリビ
ニルエチルエーテル、ポリビニルイソブチルエーテル、
ポリビニルブチラール、ポリイソブチレン、スチレン−
ブタジェン共重合体ゴム、ブチルゴム、塩化ビニル−酢
酸ビニル共重合体、塩化ゴム、アクリル樹脂系粘着剤、
芳香族系、脂肪族系または脂環族系の石油樹脂等が挙げ
られる。
フェノール/ホルムアルデヒドノボラック樹脂、ポリビ
ニルエチルエーテル、ポリビニルイソブチルエーテル、
ポリビニルブチラール、ポリイソブチレン、スチレン−
ブタジェン共重合体ゴム、ブチルゴム、塩化ビニル−酢
酸ビニル共重合体、塩化ゴム、アクリル樹脂系粘着剤、
芳香族系、脂肪族系または脂環族系の石油樹脂等が挙げ
られる。
粘着付与剤または密着促進剤の添加により、光硬化後の
感光性樹脂の基板との密着性が高まり、特に、銅印刷配
線板および半田印刷配線板に使用する際にその効果が大
きく発揮される。
感光性樹脂の基板との密着性が高まり、特に、銅印刷配
線板および半田印刷配線板に使用する際にその効果が大
きく発揮される。
分散剤は液状感光性組成物の分散性、保存安定性等を向
上させるために使用される。可塑剤、垂れ防止剤、レベ
リング剤および消泡剤の配合の必要性は、液状感光性樹
脂組成物の使用方法、すなわち液状感光性樹脂組成物の
塗膜の作成方法に依存し、使用する種類と量は適宜選択
される。
上させるために使用される。可塑剤、垂れ防止剤、レベ
リング剤および消泡剤の配合の必要性は、液状感光性樹
脂組成物の使用方法、すなわち液状感光性樹脂組成物の
塗膜の作成方法に依存し、使用する種類と量は適宜選択
される。
これらの補助的添加剤は、単一の化合物が一種類の性質
(分散性、可塑性、垂れ防止性、レベリング性または消
泡性)を示すのみではなく、複数の添加効果を示すこと
がある。例えば、分散剤は、液状感光性樹脂組成物の可
塑剤、レベリング剤および消泡剤としても働くことがあ
り、また分散剤、垂れ防止剤、レベリング剤および消泡
剤は、光硬化後の感光性樹脂組成物の光沢性にも効果を
示し、光沢剤として働くこともある。
(分散性、可塑性、垂れ防止性、レベリング性または消
泡性)を示すのみではなく、複数の添加効果を示すこと
がある。例えば、分散剤は、液状感光性樹脂組成物の可
塑剤、レベリング剤および消泡剤としても働くことがあ
り、また分散剤、垂れ防止剤、レベリング剤および消泡
剤は、光硬化後の感光性樹脂組成物の光沢性にも効果を
示し、光沢剤として働くこともある。
分散剤としては、例えばフッ素含有高分子化合物、界面
活性剤、改質レシチン、非シリコン系の長鎖カルボン酸
アミン塩、有機モントモリライトなどが用いられる。
活性剤、改質レシチン、非シリコン系の長鎖カルボン酸
アミン塩、有機モントモリライトなどが用いられる。
可塑剤としては、例えばエチレングリコールシフタレー
ト、ジエチレングリコールシフタレート、エチレングリ
コールシカプリン酸エステル、ジエチレングリコールジ
カブリン酸エステル等のグリコールエステル類、ジメチ
ルフタレート、ジエチルフタレート、ジブチルフタレー
ト、ジオクチルフタレート、ジアリールフタレート、ブ
チルベンジルフタレート等のフタル酸エステル類、トリ
フェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート等の
リン酸エステル類、ジエチルマレート、ジブチルアジペ
ート、クエン酸トリエチル、ラウリル酸エチル等が用い
られる。
ト、ジエチレングリコールシフタレート、エチレングリ
コールシカプリン酸エステル、ジエチレングリコールジ
カブリン酸エステル等のグリコールエステル類、ジメチ
ルフタレート、ジエチルフタレート、ジブチルフタレー
ト、ジオクチルフタレート、ジアリールフタレート、ブ
チルベンジルフタレート等のフタル酸エステル類、トリ
フェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート等の
リン酸エステル類、ジエチルマレート、ジブチルアジペ
ート、クエン酸トリエチル、ラウリル酸エチル等が用い
られる。
垂れ防止剤としては、例えばタルク、マイカ、二酸化ケ
イ素、二酸化チタン、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウ
ム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム
、硫酸バリウム等の無機質の微粉末が用いられる。
イ素、二酸化チタン、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウ
ム、炭酸バリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム
、硫酸バリウム等の無機質の微粉末が用いられる。
着色剤としては、例えば酸化チタン、カーボンブラック
、酸化鉄などの無機顔料、メチレンブルー クリスタル
バイオレット、ローダミンB、ツクシン、オーラミン、
アゾ系染料、アントラキノン系染料等の有機染料、フタ
ロシアニンブルーフタロシアニングリーン等のフタロシ
アニン系またはアゾ系有機顔料が用いられる。
、酸化鉄などの無機顔料、メチレンブルー クリスタル
バイオレット、ローダミンB、ツクシン、オーラミン、
アゾ系染料、アントラキノン系染料等の有機染料、フタ
ロシアニンブルーフタロシアニングリーン等のフタロシ
アニン系またはアゾ系有機顔料が用いられる。
また難燃化剤としては、例えば二酸化アンチモン、水酸
化ジルコニウム、メタホウ酸バリウム、水酸化マグネシ
ウム、水酸化アルミニウム等の無機系難燃化剤、テトラ
ブロモビスフェノールA、塩素化パラフィン、パークロ
ロペンタシクロデカン、テトラブロモベンゼン、塩素化
ジフェニル等のハロゲン系難燃化剤、および塩化ホスフ
ォニトリル誘導体、ビニルホスフォネート、アリルホス
フォネート、トリス(β−クロロエチル)ホスフォネー
ト、トリクレジルホスフォネート、リン酸アンモニウム
等のリン系難燃化剤が用いられる。
化ジルコニウム、メタホウ酸バリウム、水酸化マグネシ
ウム、水酸化アルミニウム等の無機系難燃化剤、テトラ
ブロモビスフェノールA、塩素化パラフィン、パークロ
ロペンタシクロデカン、テトラブロモベンゼン、塩素化
ジフェニル等のハロゲン系難燃化剤、および塩化ホスフ
ォニトリル誘導体、ビニルホスフォネート、アリルホス
フォネート、トリス(β−クロロエチル)ホスフォネー
ト、トリクレジルホスフォネート、リン酸アンモニウム
等のリン系難燃化剤が用いられる。
このようにして得られる本発明の液状感光性樹脂組成物
を用いて画像を形成するに際しては、この液状感光性樹
脂組成物を基板に塗布後、加熱硬化して表面を非粘着性
とし、次いで硬化塗膜にパターンマスクを密着させて露
光しアルカリ性水溶液により現像し、未硬化膜を溶出し
、画像を得る。
を用いて画像を形成するに際しては、この液状感光性樹
脂組成物を基板に塗布後、加熱硬化して表面を非粘着性
とし、次いで硬化塗膜にパターンマスクを密着させて露
光しアルカリ性水溶液により現像し、未硬化膜を溶出し
、画像を得る。
本発明の液状感光性樹脂組成物を基板上に塗布する方法
としては、たとえば、スプレー法、デイツプ法、はけ塗
り法、ローラー塗装法、フローコーター法、カーテンコ
ート法、スクリーン印刷法等が挙げられ、特に印刷配線
板や薄膜金属等に塗布するには、ローラー塗装法、カー
テンコート法、スクリーン印刷法等が好ましい。
としては、たとえば、スプレー法、デイツプ法、はけ塗
り法、ローラー塗装法、フローコーター法、カーテンコ
ート法、スクリーン印刷法等が挙げられ、特に印刷配線
板や薄膜金属等に塗布するには、ローラー塗装法、カー
テンコート法、スクリーン印刷法等が好ましい。
本発明の液状感光性樹脂組成物は、活性光線を照射する
前に、塗膜を加熱硬化して塗膜表面の粘着性を消失させ
る事が好ましい。このように加熱硬化する結果、非粘着
性となり、硬化塗膜にパターンマスクを密着させて露光
することが可能となる。
前に、塗膜を加熱硬化して塗膜表面の粘着性を消失させ
る事が好ましい。このように加熱硬化する結果、非粘着
性となり、硬化塗膜にパターンマスクを密着させて露光
することが可能となる。
本発明の液状感光性樹脂組成物の光硬化に用いられる露
光光源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯
、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドラン
プおよびレーザー光線等が挙げられるが、300nm〜
400nm付近の紫外線を放射する高圧水銀灯、超高圧
水銀灯またはメタルハライドランプを光源とした露光装
置を用いることが好ましい。
光光源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯
、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドラン
プおよびレーザー光線等が挙げられるが、300nm〜
400nm付近の紫外線を放射する高圧水銀灯、超高圧
水銀灯またはメタルハライドランプを光源とした露光装
置を用いることが好ましい。
本発明の液状感光性樹脂組成物は、アルカリ水溶液によ
り現像することができる。現像液としては、例えば水酸
化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、炭酸
ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、アンモニア
等の0. 1〜10重量%の水溶液を用いることができ
るが、しかし場合によっては、アミン類、例えばブチル
アミン、ヘキシルアミン、ベンジルアミン、アリルアミ
ン等の1級アミン、ジエチルアミン、ベンジルエチルア
ミン等の2級アミン、トリエチルアミン等の3級アミン
、エタノールアミン、ジェタノールアミン、トリエタノ
ールアミン、2〜アミノ−1,3−プロパンジオール等
のヒドロキシルアミン、モルホリン、ピリジン、ピペラ
ジン、ピペリジン等の環状アミン、ヒドラジン、エチレ
ンジアミン、ヘキサメチレンジアミン等のポリアミン、
前記アミンの硫酸塩、炭酸塩、重炭酸塩、アルカリ金属
リン酸塩、ビロリン酸塩等の塩基性塩、テトラメチルア
ンモニウムヒドロキシド、コリン等の4級アンモニウム
塩ヒドロキシド等を使用することもできる。
り現像することができる。現像液としては、例えば水酸
化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、炭酸
ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、アンモニア
等の0. 1〜10重量%の水溶液を用いることができ
るが、しかし場合によっては、アミン類、例えばブチル
アミン、ヘキシルアミン、ベンジルアミン、アリルアミ
ン等の1級アミン、ジエチルアミン、ベンジルエチルア
ミン等の2級アミン、トリエチルアミン等の3級アミン
、エタノールアミン、ジェタノールアミン、トリエタノ
ールアミン、2〜アミノ−1,3−プロパンジオール等
のヒドロキシルアミン、モルホリン、ピリジン、ピペラ
ジン、ピペリジン等の環状アミン、ヒドラジン、エチレ
ンジアミン、ヘキサメチレンジアミン等のポリアミン、
前記アミンの硫酸塩、炭酸塩、重炭酸塩、アルカリ金属
リン酸塩、ビロリン酸塩等の塩基性塩、テトラメチルア
ンモニウムヒドロキシド、コリン等の4級アンモニウム
塩ヒドロキシド等を使用することもできる。
また、本発明の液状感光性樹脂組成物は、画像形成後、
必要に応じて加熱処理により後硬化を行ってもよい。
必要に応じて加熱処理により後硬化を行ってもよい。
露光前の硬化および画像形成後の後硬化における加熱処
理は、熱風循環式乾燥炉、遠赤外線乾燥炉など加熱装置
を用いることが出来る。
理は、熱風循環式乾燥炉、遠赤外線乾燥炉など加熱装置
を用いることが出来る。
以下、本発明を実施例に基づいて更に詳細に説明するが
、本発明はこの実施例によって限定されるものではない
。なお、他にことわりのない限り1部」は「重量部」を
表す。
、本発明はこの実施例によって限定されるものではない
。なお、他にことわりのない限り1部」は「重量部」を
表す。
(合成例−1)
エポキシ当量180のフェノールノボラック型エポキシ
樹脂(ダウ、ケミカル社製り、 E、 N。
樹脂(ダウ、ケミカル社製り、 E、 N。
43B)50部、無水フタル酸/2−ヒドロキシエチル
アクリレート等モル反応生成物77.1部(エポキシ基
に対して、1.05当量)、2−ヒドロキシエチルアク
リレート6.5部(エポキシ基に対して、0.2当量)
、ベンジルトリエチルアンモニウムクロライド0.63
部、ハイドロキノン0.089部をカルピトールアセテ
ート75゜3部に溶解し、80℃で8時間攪拌した。
アクリレート等モル反応生成物77.1部(エポキシ基
に対して、1.05当量)、2−ヒドロキシエチルアク
リレート6.5部(エポキシ基に対して、0.2当量)
、ベンジルトリエチルアンモニウムクロライド0.63
部、ハイドロキノン0.089部をカルピトールアセテ
ート75゜3部に溶解し、80℃で8時間攪拌した。
この反応物に、テトラヒドロフタル酸無水物41.4部
(エポキシ基に対して、0.98当量)を加え、さらに
80℃で2.5時間攪拌することにより、光重合性化合
物1の溶液を得た。
(エポキシ基に対して、0.98当量)を加え、さらに
80℃で2.5時間攪拌することにより、光重合性化合
物1の溶液を得た。
この光重合性化合物の重量平均分子量はポリスチレン換
算で6180であった。
算で6180であった。
(合成例−2)
合成例−1の2−ヒドロキシエチルアクリレート6.5
部を除き、カルピトールアセテート75゜3部を72.
5部とする他は合成例−1と同様にして光重合性化合物
2の溶液を得た。
部を除き、カルピトールアセテート75゜3部を72.
5部とする他は合成例−1と同様にして光重合性化合物
2の溶液を得た。
この光重合性化合物の重量平均分子量はポリスチレン換
算で27440であった。
算で27440であった。
(合成例−3)
エポキシ当量176のフェノールノボラック型エポキシ
樹脂(大日本インキ社製エビクロンN−73O3)50
部、無水フタル酸/2−ヒドロキシエチルアクリレート
等モル反応生成物78.8部(エポキシ基に対して、1
.05当量)、2−ヒドロキシエチルアクリレート6.
6部(エポキシ基に対して、0. 2当量)、ベンジル
トリエチルアンモニウムクロライド0.65部、ハイド
ロキノン0.09部をカルピトールアセテート76゜5
部に溶解し、合成例−1と同様にして光重合性化合物3
の溶液を得た。
樹脂(大日本インキ社製エビクロンN−73O3)50
部、無水フタル酸/2−ヒドロキシエチルアクリレート
等モル反応生成物78.8部(エポキシ基に対して、1
.05当量)、2−ヒドロキシエチルアクリレート6.
6部(エポキシ基に対して、0. 2当量)、ベンジル
トリエチルアンモニウムクロライド0.65部、ハイド
ロキノン0.09部をカルピトールアセテート76゜5
部に溶解し、合成例−1と同様にして光重合性化合物3
の溶液を得た。
この光重合性化合物の重量平均分子量はポリスチレン換
算で2110であった。
算で2110であった。
(合成例−4)
合成例−3の2−ヒドロキシエチルアクリレート666
部を除き、カルピトールアセテート76゜6部を73.
7部とする他は合成例−3と同様にして光重合性化合物
4の溶液を得た。
部を除き、カルピトールアセテート76゜6部を73.
7部とする他は合成例−3と同様にして光重合性化合物
4の溶液を得た。
この光重合性化合物の重量平均分子量はポリスチレン換
算で2470であった。
算で2470であった。
(実施例および比較例)
実施例1〜2、比較例1〜2
下記の処方により、合成例で示した光重合性化合物1〜
4を用いた感光性液Ml−M4、熱硬化性液Nを作成し
た。
4を用いた感光性液Ml−M4、熱硬化性液Nを作成し
た。
く感光性液 M〉
光重合性化合物の70重量%カルピトールアセテート溶
液 350部フローレンrAC−3
00J 15部(共栄社油脂化学工業(株)製
の消泡剤)フタロシアニン・グリーン 2.5部
イルガキュア907 27.5部(チバガイ
ギー社製の光重合開始剤) シリカ 5部硫酸バリウム
90部1−ベンジル−2−メチ
ルイミダゾール10部 +−−一−−−−−−−−−−−−−−−−+感光性液
M 合計 500部 く熱硬化性液 N〉 トリグリシジル 100部イソシアヌ
レート ジペンタエリスリトール 36部へキサアク
リレート タルク 14部セロソ
ルブアセテ−) 50部十−−−−−−
−−−−−−−−−−−+−−+熱硬化性液 N 合
計 200部上記感光性液M、熱硬化性液Nを、そ
れぞれ別々にロールミルにより混練してインキを調整し
た。
液 350部フローレンrAC−3
00J 15部(共栄社油脂化学工業(株)製
の消泡剤)フタロシアニン・グリーン 2.5部
イルガキュア907 27.5部(チバガイ
ギー社製の光重合開始剤) シリカ 5部硫酸バリウム
90部1−ベンジル−2−メチ
ルイミダゾール10部 +−−一−−−−−−−−−−−−−−−−+感光性液
M 合計 500部 く熱硬化性液 N〉 トリグリシジル 100部イソシアヌ
レート ジペンタエリスリトール 36部へキサアク
リレート タルク 14部セロソ
ルブアセテ−) 50部十−−−−−−
−−−−−−−−−−−+−−+熱硬化性液 N 合
計 200部上記感光性液M、熱硬化性液Nを、そ
れぞれ別々にロールミルにより混練してインキを調整し
た。
次いで、感光性液Mと熱硬化性液Nを混練し、液状感光
性樹脂創成物を得た。
性樹脂創成物を得た。
これらの液状感光性樹脂組成物の性能を、以下の方法に
より、評価した結果を表−1に示す。
より、評価した結果を表−1に示す。
1、塗膜の形成
銅張積層板を、研磨、洗浄、水分除去により前処理を行
った。前処理した銅張積層板上に各種条件で調整した液
状感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法により全面に塗
布し、熱風循環式乾燥炉中において70℃で30分間乾
燥し、塗膜を得た。
った。前処理した銅張積層板上に各種条件で調整した液
状感光性樹脂組成物をスクリーン印刷法により全面に塗
布し、熱風循環式乾燥炉中において70℃で30分間乾
燥し、塗膜を得た。
2、現像性の評価
下記の条件にて塗膜を現像し、塗膜が溶解する時間を測
定した。
定した。
現像液・・・・・1%炭酸ナトリウム水溶液液温度・・
・・・25℃ スプレー圧・・・1.8Kg/cm2 3、感度の評価 濃度の段差0.15(Δ1ogE)の階段ウェッジを塗
膜に密着させ、6KW超高圧水銀灯で10100O/a
m2露光し、塗膜が溶解する時間の2倍の時間で現像し
てウェッジに対応する陰画像を得、画像が完全に溶出し
た段数(クリア段数)を調べた。
・・・25℃ スプレー圧・・・1.8Kg/cm2 3、感度の評価 濃度の段差0.15(Δ1ogE)の階段ウェッジを塗
膜に密着させ、6KW超高圧水銀灯で10100O/a
m2露光し、塗膜が溶解する時間の2倍の時間で現像し
てウェッジに対応する陰画像を得、画像が完全に溶出し
た段数(クリア段数)を調べた。
4、鉛筆硬度の評価
クリア段数が12段になる露光量でベタ露光し、3と同
様に現像した後、熱風乾燥炉中において140℃で50
分間後硬化し、JIS K 5400 6−14に
準じて測定した。
様に現像した後、熱風乾燥炉中において140℃で50
分間後硬化し、JIS K 5400 6−14に
準じて測定した。
5、密着性の評価
鉛筆硬度の評価と同様に、露光・現像・後硬化を行い、
JIS K 5400 6−15に準じて、基盤目
試験を行った。
JIS K 5400 6−15に準じて、基盤目
試験を行った。
6、絶縁抵抗の評価
IPC−B−25テストパターンを形成した両面鋼張積
層板を用いた以外は、鉛筆硬度の評価方法と同様に、露
光・現像・後硬化を行い、JrSZ 3197に準じ
て、アトパンテスト(株)製(7)rTR−8601J
を用イテ、DC500V印加し、1分後の抵抗値を調べ
た。
層板を用いた以外は、鉛筆硬度の評価方法と同様に、露
光・現像・後硬化を行い、JrSZ 3197に準じ
て、アトパンテスト(株)製(7)rTR−8601J
を用イテ、DC500V印加し、1分後の抵抗値を調べ
た。
7、吸湿後の絶縁抵抗の評価
絶縁抵抗の評価と同様に、露光・現像・後硬化を行い、
40℃、相対湿度90%の雰囲気下4日間経時させた後
、絶縁抵抗の評価と同様にして抵抗値を調べた。
40℃、相対湿度90%の雰囲気下4日間経時させた後
、絶縁抵抗の評価と同様にして抵抗値を調べた。
8、耐溶剤性の評価
絶縁抵抗の評価と同様に、露光・現像・後硬化を行い、
試料を1.1.1−トリクロロエタン中に、20°Cで
1時間浸漬させたのち、塗膜の状態と密着性を総合的に
判定した。
試料を1.1.1−トリクロロエタン中に、20°Cで
1時間浸漬させたのち、塗膜の状態と密着性を総合的に
判定した。
9、耐酸性の評価
耐溶剤性と同様に、露光・現像・後硬化を行い、試料を
10vo1%の硫酸水溶液中に、20’Cで30分間浸
漬させたのち、塗膜の状態と密着性を総合的に判定した
。
10vo1%の硫酸水溶液中に、20’Cで30分間浸
漬させたのち、塗膜の状態と密着性を総合的に判定した
。
(発明の効果)
上記の実施例から明らかなように、本発明の液状感光性
樹脂組成物は、紫外線露光に対して高感度で、アルカリ
性水溶液による現像性に優れ、しかも硬化後の塗膜の電
気特性、機械的特性、耐薬品性に優れ、吸湿による絶縁
抵抗の低下の少ない組成物であり、印刷配線板の永久保
護マスクとして有用な液状感光性樹脂組成物である。
樹脂組成物は、紫外線露光に対して高感度で、アルカリ
性水溶液による現像性に優れ、しかも硬化後の塗膜の電
気特性、機械的特性、耐薬品性に優れ、吸湿による絶縁
抵抗の低下の少ない組成物であり、印刷配線板の永久保
護マスクとして有用な液状感光性樹脂組成物である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)ノボラック型エポキシ化合物、二塩基酸のヒドロキ
シ基を有する(メタ)アクリレート半エステル化物、お
よび多塩基酸無水物を順次反応させる光重合性化合物の
合成方法において、該二塩基酸のヒドロキシ基を有する
(メタ)アクリレート半エステル化物を反応させる際、
及び/又は該多塩基酸無水物を反応させた後にヒドロキ
シ基を有する(メタ)アクリレートを添加することを特
徴とする光重合性化合物の合成方法。 2)少なくとも、 [1]ノボラック型エポキシ化合物と二塩基酸のヒドロ
キシ基を有する(メタ)アクリレート半エステル化物を
ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレートの存在下で
反応させた後、更に多塩基酸無水物を反応させて得られ
る光重合性化合物、 [2]光重合開始剤、 を含有することを特徴とする液状感光性樹脂組成物。 3)少なくとも、 [1]ノボラック型エポキシ化合物と二塩基酸のヒドロ
キシ基を有する(メタ)アクリレート半エステル化物、
及び多塩基酸無水物を順次を反応させた後、更にヒドロ
キシ基を有する(メタ)アクリレートを添加して得られ
る光重合性化合物、 [2]光重合開始剤、 を含有することを特徴とする液状感光性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26054089A JPH03122646A (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | 光重合性化合物の合成方法、及び液状感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26054089A JPH03122646A (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | 光重合性化合物の合成方法、及び液状感光性樹脂組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03122646A true JPH03122646A (ja) | 1991-05-24 |
Family
ID=17349385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26054089A Pending JPH03122646A (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 | 光重合性化合物の合成方法、及び液状感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03122646A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03182755A (ja) * | 1989-12-12 | 1991-08-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液状感光性樹脂組成物 |
WO2010007859A1 (ja) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | Dic株式会社 | エポキシ樹脂組成物、その硬化物、硬化物の製造方法、光半導体封止材、及び光半導体装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01253729A (ja) * | 1988-04-03 | 1989-10-11 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 感光性樹脂の製造法および感光性樹脂組成物 |
JPH01253728A (ja) * | 1988-04-03 | 1989-10-11 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 感光性樹脂の製造方法および感光性樹脂組成物 |
-
1989
- 1989-10-05 JP JP26054089A patent/JPH03122646A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01253729A (ja) * | 1988-04-03 | 1989-10-11 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 感光性樹脂の製造法および感光性樹脂組成物 |
JPH01253728A (ja) * | 1988-04-03 | 1989-10-11 | Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The | 感光性樹脂の製造方法および感光性樹脂組成物 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03182755A (ja) * | 1989-12-12 | 1991-08-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 液状感光性樹脂組成物 |
WO2010007859A1 (ja) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | Dic株式会社 | エポキシ樹脂組成物、その硬化物、硬化物の製造方法、光半導体封止材、及び光半導体装置 |
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