DE2848475A1 - Die aufloesung von metallen - Google Patents

Die aufloesung von metallen

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DE2848475A1 DE19782848475 DE2848475A DE2848475A1 DE 2848475 A1 DE2848475 A1 DE 2848475A1 DE 19782848475 DE19782848475 DE 19782848475 DE 2848475 A DE2848475 A DE 2848475A DE 2848475 A1 DE2848475 A1 DE 2848475A1
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  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)

Description

PATENTANWÄLTE
Dlpl.-lng. P. WIRTH ■ Dr. V. SCHMIED-KOWARZIK
Dipl.-lng.X3. DANNENBERG · Dr. R WEINHOLD · Dr. D. GUDEL
335024 SIEGFRIEDSTRASSE 8
TELEFON: C089) ^^ 8QQQ MÖNCHEN 40
RC-14 H-MO 37
DART Industries Inc.
8480 Beverly Boulevard Los Angeles, CaI. 90048/USA
Die Auflösung von Metallen
909819/0963
■χ-
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Auflösung von Metallen in einem wässerigen ßad, das Schwefelsäure und Wasserstoffperoxyd enthält, insbesondere auf eine neue Zusammensetzung eines Bades, das eine Auflösung bei hohen Geschwindigkeiten bewirkt. Eine besondere Ausführungsform der Erfindung betrifft das Ätzen von Kupfer bei der Herstellung von gedruckten Schaltungen.
Es ist dem Fachmann bekannt, daß bei der Herstellung von gedruckten Schaltungen Kupferschichtstoffe und ein ätzbeständiges Material, gewöhnlich Kunststoff, verwendet werden. Eine gebräuchliche Methode» mit der man die Schaltungen erhält, ist das Maskieren des gewünschten Musters auf der Kupferoberflache des Schichtstoffes mit einem abdeckenden Schutzmaterial, das gegenüber der Wirkung der Ätzlösung undurchdringlich ist. Bei einem nachfolgenden Schritt des Ätzens werden die ungeschützten Flächen an Kupfer weggeäzt, während die maskierten Flächen intakt bleiben, die dann die erwünschte Schaltung auf dem Kunststoffträger bilden. Das Schutzmaterial kann ein Kunststoff, eine Farbe ("ink") oder ein Lötmaterial (Bindemittel) sein.
In den letzten Jahren hat sich die Industrie mehr und mehr dem Wasserstoffperoxyd/Schwefelsäure-System für das Ätzen von gedruckten Schaltungenx) zugewendet, da diese Ätzlösung geringe Kosten verursacht und das Kupfermaterial relativ leicht aus der verbrauchten Ätzlösung wiedergewonnen werden kann. Im Zusammenhang mit der Verwendung von Wasserstoffperoxyd als Bestandteil des Ätzmittels bestehen jedoch viele Probleme. Es ist bekannt, daß die Stabilität von Wasserstoffperoxyd in einer Schwefelsäure-Wasserstoffperoxyd-Lösung durch die Anwesenheit von Schwermetal1-Ionen wie den Kupferionen nachteilig beeinflußt wird. Wenn der Ätzprozeß fortschreitet und der Gehalt an Kupferionen im Ätzmittel dadurch ansteigt, sinkt die Ätzwirksamkeit beträchtlich ab, was auf dem Zerfall des Wasserstoffperoxyds im Ätzbad beruht, und diese wird sich bald erschöpfen. Um die Leistungsfähigkeit dieser Ätzmittel zu verbessern, wurden verschiedene Stabilisatoren vorgeschlagen und mit gewissem Erfolg zur Verminderung des Wasserstoffperoxydzerfalls aufgrund der Anwesenheit von Kupferionen eingesetzt«
x) (''electronic circuit boards")
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Zum Beispiel werden in der U.S. Patentschrift 3 597 290 gesättigte, aliphatische niedere Alkohole wie: Methanol, Äthanol, Propan und Butanol als wirksame stabilisierende Zusatzmittel für angesäuerte (bzw. saure) Wasserstoffperoxyd-Kupfer-Lösungen beschrieben. Ein Nachteil dieser stabilisierten Lösungen besteht darin, daß sie äußerst empfindlich gegenüber der Anwesenheit von Chlorid- oder ßromid-Ionen reagieren; daher müssen Vorkehrungen getroffen werden, diese Ionen aus dem Ätzsystem vor der Verwendung zu entfernen, z. &. durch Entionisieren oder durch Füllung der Ionenverunreinigungen z. B. mit einem Silbersalz. Auch sind die Alkohole im allgemeinen bei den erforderlichen erhöhten Temperaturen des Ätzverfahrens stark flüchtig; daher treten während des Verfahrens wesentliche Verluste an Stabilisatoren auf.
Eine andere Verbindung, die dafür bekannt ist, daß sie saure Wasserstoffperoxydlösungen stabilisiert, die bei Metal lauf lösungsverfahren wie z. B. Beizen mit Kupfer (siehe US.Patentschrift 3 537 895) und Ätzen (siehe U.S. Patentschrift 3 773 577) verwendet wird, ist Äthylenglykol entweder in monomere»* oder polymere»' Form. Zusätzlich zu dem StabiIiserungseffekt hat Äthylenglykol auch andere Vorteile wie sie in den genannten Patentschriften dargestellt werden» und zwar: eine relativ niedrige Flüchtigkeit bei normalen Verfahrenstemperaturen wodurch die Ätz- und Beizwirksamkeit etwas verbessert wird. Oedoch sind diese Ätzgeschwindigkeiten für viele Metal 1 auf lösungsverfahren noch immer nicht rasch genug; auch bleibt das Problem der Chlorid- und Bromidempfindlichkeit bei diesen stabilisierten Metallbehandlungslösungen bestehen.
Wenn auch eine beträchtliche Verzögerung des Zerfalls des Wasserstoffperoxyds, der durch Metallionen hervorgerufen wird, durch den Zusatz geeigneten Stabilisatoren erreicht werden kann, sind die Ätzgeschwindigkeiten der stabilisierten Wasserstoffperoxyd-Schwefelsäure-Ätzmittel im allgemeinen sehr niedrig und bedürfen der Verbesserung besonders bei hohen Konzentrationen an Kupferionen. Es ist daher vorgeschlagen worden, einen Katalysator oder Aktivator zuzugeben, um die Ätzgeschwindigkeit zu erhöhen. Besondere Beispiele solcher Katalysatoren sind Metallionen, wie
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sic in U.S. Patentschrift 3 597 ?90 beschrieben worden, ζ« Β.: Silber-, Quecksilber-, Palladium-, Gold- und Pl ati η ionon, die alle citi niedrig» es Oxyclationspotent ial besitzen als das des Kupfers. Andoic Beispiele umfassen jene wie in U,S, Patentschrift 3 293 U'j3 beschrieben, und zwar; PIk nar etin, SuIf atiii arol und Silberion oder die verschiedenen IVoriLri η ationeu obiger drei Komponenten mit /weil·;·'.. i:.chen Spuren wie in HS.. Patentschrift 3 341 beschrieben oder· rail ['hen;,11 - Hants tot f verb indungen oder [ienzolsäiiren wie in U.S. Pot ontschri \t 3 407 141 oder uit harnstoff- und Tliiüh.n r.sfüii-Verbindungen v:ic in U.S. Patentschrift. 3 668 131 böselir i eben .
Obwohl daher Silberionen eine Uni versa]lösung für die oben bci.chr i ebeiii'ii Probleme niedr i eier fitzgeschvitridi yke i t vne auch für jene, die dui ch die Anwesenheit freier Chlorid- und [Ir or.i dionen verurs'iclit werden ?u (»ieten sclieipen, bestehet1, doch noch einige Nachteile, wurm Si Iborior.en bei uer ßereitun.fj von Wosserstoffpevroxyd-Sc Ir.vf f c-1 säure-Atz 1 ösungen verwendet werden. Liner dieser Nachteile ist der hohe Preis für Silber, ein weiterer, daß die Silberionen die /^geschwindigkeit noch nicht, in dem Ausmaße fördern, wie dies Wünschenwert wäre.
Auf gabe der vorliegenden F.rf i ηduηg ist es daher, eine neuartige, in hohem MaRe wirksame wässerige Zusammensetzung fur die Auflösung von Metallen zu schaffen.
Eine weitere Aufgabe ist die Schaffung eines verbesserten Verfahrens für die Auflösung von Metallen wie z. B. Kupfer oder Kupferlegierungen mit hohen Geschwindigkeiten.
Aufgabe der Erfindung ist weiterhin die Schaffung einer Zusammensetzung und eines Verfahrens zum Ä"tzen von Kupfer, wobei die Ätzgeschwindigkeit durch die Anwesenheit von Chlorid- oder Bromidionen relativ unbeeiflußt bleibt.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist eine Zusammensetzung, die dadurch gekennzeichnet ist, daß sie eine wässerige Lösung
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BAD ORIGINAL
- jtf -
- 28A847S
von etwa 0,2 bis etwa 4,-5 g-Mol/1 Schwefelsäure-, von etwa Ο,2ί> bis etwa 8 g-Mol/1 Wasser:stoffpc-roxyd und eine wirksame Menge eines Aktivators aus der Gruppe
a) Monohydroxy- oder -Dihydroxy- subs ti uierte Zykloparaffine mit 5-7 Kohl enstoff a Lomes im Ring
und
b) Md.bq hydroxy- oder Dihydroxy-substituierte Alkyl-ZykioparBffine mit 5-7 Kohlenstoffatomen im Ring, wobei jede Alkyl gruppe zwischen 1 bis 4 Kohl ens toi f atomen enthält und nn ein imsubstiuiertes Kohl en stoff a torn im Fling gebunden ist,
umfaßt,
Die Konzentration der Schwefelsäure in <k-r Lösung soll zwi schon etv/a 0,2 und etwa 4,5 g-Mol/1 gehalten werden, vorzugsweise /wischen etwa 0,3 und etwa 4 g-ίία] }·γο Liter. Die Konzentration des Viassyrstoffperoxyds in der Lösuny c»oll al 1 y^^iiin im Hereicli von etwa 0,25 bis 'etwa 8 g-Mol/1 licit -n, vorzniiswc ise auf 1 bis '; n-Mol/3 begrenzt sein. Geeignete Hydroxy-subo ti tu ier L': Zyk loparaf ί i ne, die erfindungsgemäß verwendet werden, sind z. B. 7yklopentanol, Zyklohexanol, Zyk loheptanol, 1, 2-Zyk lopen t.itid iol, 1, 3-Zyk lopen tandiol, 1,2-Zyklo hexandiol , 1,3-Zyklohexandiol, 1,4 Zyklohexandiol „ 1,2-Zykloheptandiol, 1,3-Zyklolieptandiol , 1,4-Zykl oheptancl i öl wie auch verschiedene andere Alkohole und Diole von C1- C,-Alkylsubstituierten Zykloparaff inen wie z. C. Methylzykloliexanol a. Bevorzugte Verbindungen sind solche, die keine Alkyl substi tueiiLen in der Ringstruktur aufweisen.
Die obigen Verbindungen werden der Lösung in wirksamen Mengen zugegeben, die gewöhnlich mindestens etwa 0,01 y-Mol/1, vorzugsweise zwischen etwa 0,05 und eLwa 0,5 g-Mol/l befragen.
Um den restlichen Teil de» I ul.uikj ίι Γ/π ι u ] 1 en , wird W, isser verwendet, t's ist keine besondere üeh.iri«! I ung er f order 1 i ι Ii, um die freien Chloride oder Bromide aus der Lösung zu entfernen, da die
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BAD ORIGINAL
Anwesenheit der zyklischen Alkohole oder Diole gegenüber diesen Verunreini (jungen ausreichende ünetnpf in dl ichkei t verleiht, die sonst ein beträchtliches. Absinken der fttzgeschwindigkeit verursacht flatten.
Die Lösungen können auch verschiedene andere Bestandteile enthalten wie z. B. bekannte Stabilisatoren, uv, dem Zerfall von wasserstoff peroxy I en t (je ;j en ζ ir./ i rken , der durch die Schwermotäl 1 ionen verursacht wird. [;ei sp iele geeigneter Stabilisatoren umfassen jene, die in U. S. Patentschriften 3 53/ 895, 3 597 290, 3 619 194, 3 «01 512 und 3 9-Ii) 305 beschrieben werden. Auf die Offenbarung dieser gc-narmten Patentschriften wird hier ausdrücklich verwiesen.
Mit glciclu-üi Vorteil können c'uch verschiedene andere Verbindungen, die ei im; s tab i 1 i siereüd?- Wirkung auf saure WassersLoffperoxyd-Ilet al 1 behänd 1 uii'js Ki sun j<-n haben, verwende L werden . Gegebenenfalls können nuch /.u-,,t/c verwendet werden, die einen Unterschnitt verb ΐ.κΚ τη, d. Ii. -.eitiichc, bzw. laterales Ätzen. Beispiele solcher Verbindungen sind die 5tirkstoffverbindungen, die in U.S. l'atenfschr i iUn 3 197 ?U0 und 3 773 5/7 beschr iül»»>n werden, auf deren Ul ι i-nharung hier ausri/ci, 1 i cn verwiesen wird. Erf indungsn-;rijB ir. L jedoch die /Wiwendunj 'olchor Zusätze nicht notwendig, da nian aufgrund di.-r [ i nbez i ►"'fünig von Mono- oder f) ihydroxy-subst i tu it.'i-ten 7 yk lopcraf f inen als Aktivatoren in die Ätzzusaiiimeir.ot .aing » a sch ο Atz;i<T,chwii)d \qk<: i ten er hai t.
Die Lb'siincji'ii sind beii;i chenischen HahUti ("milling") und Ätzen von Ku[ifi:r und Ku ρ f er 1 ei i uumyen besonders wirksam; es können aber auch andere Metalle und Metallegierungen mit den erfindunysyeiiiaßen Lu^ungen auf gelost werden, /., B. Eisen, Nickel, Zink und Stah 1.
Wenn die Lo-jUiihh /ur Auflösung cirii;:» Netalls verwendet werden, werden die konvi η I ion<-1 !rii Vcrf übt en j tied i ngungcii für dd<, jeweilige Metall .mg. wt ·η.'(· L . ίΐ.-.Ίϊ-η t-,ρΐ t ( tit-n«l sullen beim ntzen von Kupfer feiiipci 11 ur en /wi-ebfn c-t.wa 40 b i:, etwa 6(J C aufrechterhalten werden, vor/incwe i se soll die Verf ahrens temperatur zwisclu-n
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BAD ORiQiNAL
49 1L und etwa ü/ I. liegen
Die Lösungen sind außer or de nt 1 i c Ii gut als Ätzmittel bei T au cn- oder Sprühätzverfahren geeignet. Die Ätzyeschwindigkeit, die mit diesen erfindungsgemäßen Zusammensetzungen erreicht wird, ist sehr schnell, d. h. Ätzzeiten in der Größenordnung von 1 bis etwa 1, ί> Min. sind typisch, wenn Uupf er schi clitstof f e geäzt werden, die
2
Ü,Ü3 g Kupfer pro cm enthalten. Wegen dieser hohen Ätzgeschindigkeit sind diese Zusammensetzungen als Ätzmittel bei der Herstellung von gedruckten Schaltungen sehr attraktiv, wobei es erforderlich ist, daß eine relativ große Anzahl von Werkstücken pro Zeiteinheit aus ökonomischen Gründen bearbeitet wird wie auch aus Gründen der Verminderung unerwünschten lateralen Ätzens oder Unterschnitts der Ränder unter dem Schutzmaterial, tin anderer, wichtiger Vorteil der Erfindung besteht darin, daß saubere Ätzungen erreicht werden. Ein weiterer Vorteil ist es, daß die Anwesenheit von freiem Chlorid oder Bromid, z. B. in Konzentrationen von über 2 TpM bis zu bO TpM in der Lösung toleriert werden kann, ohne daß dadurch der geringste Verlust an Ätzgeschwindigkeit eintritt. Daher kann bei diesen Lösungen gewöhnliches Leitungswasser verwendet werden. Weiterhin wurde gefunden, daß die erfindungsgemäßen zyklischen Alkohol- und Diöl-Aktivatoren eine stabilisierende Wirkung auf Wasserstoffperoxyd ausüben, wodurch die Notwendigkeit zur Verwendung zusätzlicher Wasserstoffperoxyd-Stabi1isatoren entfallen kann. Auch bleiben bei relativ hohen Kupferanreicherungen die Ätzgeschwindigkeiten der Lösungen relativ unbeeiflußt.
Die folgenden Beispiele dienen der näheren Beschreibung der Erfindung.
Beispiele 1 - 13
In der Reihe vergleichender Versuche wurden Kupferschichtstoffe
2 (~5 x 5 cm) mit einem überzug von 0,03 g Kupfer/cm in einer gerührten Lösung durch Eintauchen geäzt, die bei 540C gehalten wurde. Jede der Lösungen von 800 ml enthielt 15 Vol% Schwefelsäure (66° Baume) (2.7 g-Mol/1), 15 Vol.% (50 Gew./Gew.%) Wasserstoffperoxyd (2,6 g-Mol/1) und 70 VoI .% entionisiertes oder
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destilliertes Wasser. Die Lösungen wurden mit 2,5 g Natriumphenol suol fonat/1 stabilisiert. Ohne Katalysator und ohne die Anwesenheit von Chloridionen (Beispiel ]) betrug die Zeit, die erforderlicii war, um das Kupfer von einem Schichtstoff völlig zu entfernen, 2 70 Sekunden (entionisiertes Hasser) bzw. 190 Sekunden (destilliertes Wasser).
Die Ätzlosungen der Beispiele 2-13 waren von gleicher Zusammensetzung wie in Beispiel 1 mit der Ausnahme, daß sie noch verschiedene Hydroxy-substituierte Zykloparaffirr-Verbindungen enthielten, wie dies in Tabelle 1 aufgezeigt wird. Die Ergebnisse der Ätzversuche der Beispiele 2-10 zeigten, daß alle erfindungsgemäß zugegebenen Zusätze eine dramatische Auswirkung in Bezug auf die Verbesserung der fitzzeit hatten, die zum völligen Entfernen des Kupfers von der Unterseite des Trägers erforderlich war, und dies wowohl in Abwesenbiet von Chloridionen als auch in Anwesenheit beträchtlicher Mengen von diesen, z. B. 45 TpM an hinzugefügten Chloridionen.
Das entscheidene Merkmal der Erfindung wird durch die Ergebnisse demonstriert, die in Beispielen 11-13 erhalten wurden, wobei Zusätze verwendet wurden, die nicht den erfindungsgemäßen Anforderungen entsprechen.
/ 1 \ Tabell Zusätze Name _ e I ·. Ätzzeit in Sekunden
11 i Cyclopentanol ohne mit Cl"
Beispiel 12U) Cyclohexanol ml/1(g/l) . Cl" (4 5 ppm)
Nr. 13 Cycloheptanol 270(190)
Ja, 2-Methy!cyclohexanol 20 90 ' 125
3Q) 3-Methy!cyclohexanol 20 100 130
4a 4-Me thy1cy clohe xanol 20 95 115
5U) 1,2-Cyclohexand i ο 1 20 95 150
1,3-Cyclohexandi öl 20 100 140
7 ' ' 1,4-Cyclohexandiol 20 110 175
8 ' Cyclooktanol (10) 90 130
9 1-Mothy Icyclohexanol (10) 90 135
Mesoinosit (20) 95 130.
20 125 350
20 85 300
(20) 190
(1) Für die Herstellung der Lösung wurde destilliertes Wasser verwendet.
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Es soll besonders erwähnt werden, daß durchweg bessere Resultate mit den erfindungsgemäßen Lösungen auch bei Verfahren größeren Umfanges wie z. B. den Sprühätzverfahren erreicht werden. Besonders die höhere Ätzgeschwindigkeit im Vergleich zu der einer Vergleichslösung tritt wesentlich deutlicher hervor, und auch die tatsächlichen Ätzzeiten sind wesentlich kurzer, und zwar in der Größenordnung von 1/3 bis 2/3 der Werte, die man bei der in kleinerem Umfang durchgeführten Ätzung durch Eintauchen erhalt wie sie oben beschrieben wurde.
Beispiele 14 - 16
Um die Stabilisierungswirkung zu zeigen, die mit den erfindungsgemäßen Hydroxy-substi tuierten Zykloparaf f iri-Akti vatoren erreicht wurde, wurde eine Vergleichslösung (Beispiel 14) bereitet, die die gleiche Zusammensetzung wie in Beispiel 1 hatte und zusätzlich 38,2 g Kupferionen/l enthielt, die in Form von 150 g Kupfer-Il-sulfat-Pentahydrat zugegeben wurden. Die Lösung wurde bei 540C gehalten und 24 Stunden lang konstant gerührt. Die Peroxydkonzentration wurde am Anfang und dann periodisch während der Versuchszeit gemessen.
Beispiele 15 und 16 wurden in genau gleicher Art und Weise durchgeführt mit der Ausnahme, daß der Lösung noch Zyklohexanol und 1,4-Zyklohexandiol zugegeben wurden. Die Zugabe dieser Aktivatoren bewirkte, daß das Wasserstoffperoxyd während der gesamten Versuchsperiode im wesentlichen erhalten blieb. Die entsprechenden Daten sind in Tabelle II zusammengefaßt.
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BAD ORIGINAL
TabelIeII
Bei spie] Stabilisator hinzugefüg te 0_ Std.
■'■ II. 		VoI
2_		 Std.2
■ ■ ι ι — 		3 (50 Gew.
Z 20 Std.		 /Gew.;
24		 / \
Nr. Menge
ml/1 (n/1 		\ ο 1
Std
keiner ; 14 .8 10 .4 0.3 O.
O 14 Cyclohexanol 15
15		 .1
.1		 13
* 13		 .9
.8		 7.0
5.5		 6.
4.		 2
CO
CO		 15 1,4-Cyclohexandiol in 1
5 ·
19/09 16 (20)
■frcn
Beispiele 17 - 19
In einer Sprühätzvorrichtung vorn Typ DEA-30 wurden Ätzversuche mit Wasserstoffperoxyd/Schwefelsäure-Ätzmitteln durchgeführt.
2 Kupferschichtstoffe mit einem überzug von 0,03 g Kupfer/cm
wurden bei 1250C mit den Ätzmitteln behandelt.
Die Vergleichs-Ätzlösung (Beispiel U) enthielt 20 Vol.% Schwefelsäure (66° Baume) (3,5 g-Mol/1), 10 Vol.% 50-prozentiges Wasserstoffperoxyd (1,8 g-Mol/1; und 70 Vol.% entionisiertes Wasser, Zusätzlich enthielt die Lösung 30 g Kupfersulfat-Pentahydrat/1 und IgN triumphenolsulfonat/1. Die Ätzzeit, das ist die Zeit, in der das Kupfer völlig von dem Träger weggeäzt wurde, betrug bei der Vergleichslösung aus Beispiel 17 11 Minuten.
Beispiel 18 wurde genau wie Beispiel 17 durchgeführt mit der Ausnahme, daß zu der Vergleichslösung 1 Vol.% Zyklohexanol zugefügt wurde. Die Zugabe von Zyklohexanol zu der Ätzlösung hatte ein dramatisches Absinken der Ätzzeit von 11 Minuten auf etwa 43 Sekunden zur Folge, d. h.: die Ätzgeschwindigkeit wurde etwa 13-f3ch erhöht. Die gleiche niedrige Ätzgeschwindigkeit wurde bei Beispiel 19 beobachtet, wobei der Vergleichs-Ätzlösung 2 Vol.% Zyklohexanol zugegeben wurden.
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Claims (15)

Patentansprüche
1. Verfahren zur Auflösung von Metallen, dadurch gekennzeichnet, daß ein Metall mit einer wässrigen Lösung in Berührung gebracht wird, die von etwa 0,2 bis etwa 4,5 g-Mol/1 Schwefelsäure, von etwa 0,25 bis etwa 8 g-Mol/1 Kasserstoffperoxid und eine wirksame Menge eines Aktivators aus der Gruppe
a) Monohydroxy- oder Dihydroxy-substituierte Zykloparaffine mit 5-7 Kohlenstoffatomen im Ring,
bzw.
b) Monohydroxy- oder Dihydroxy-substituierte Alkylzykloparaffine mit 5-7 Kohlenstoffatomen im Ring, wobei jede Alkylgruppe zwischen 1-4 Kohlenstoffatome enthält und an ein unsubstituiertes Kohlenstoffatom im Ring gebunden ist, enthält.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Aktivator in einer Konzentration im Bereich von mindestens etwa 0,01 g-Mol/1, insbesondere von etwa 0,05 bis etwa 0,5 g*-Mol/l, verwendet wird. \
3. Verfahren nach Anspruch 1-2, dadurch gekennzeichnet, daß die wässrige Lösung Natriumphenolsulfonat als Stabilisator enthält.
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4. Verfahren nach Anspruch 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß die Konzentration an Wasserstoffperoxid zwischen etwa 1 bis et v/a 4 g-Mol/1 gehalten wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwefelsäure-Konzentration zwischen etwa 0,3 und etwa 4 g-Mol/1 gehalten wird.
6.Verfahren nach Anspruch 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß Zyklopentanol, Zyklohexanol, Zykloheptanol, 1,2-Zyklohexandiol, 1,3-Zyklohexandiol bzw. 1,4-Zyklohexandiol als Aktivatoren verwendet werden.
7. Verfahren nach Anspruch 1-6, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall Kupfer oder eine Kupferlegierung ist.
8. Verfahren nach Anspruch 1-7, dadurch gekennzeichnet, daß dieses in Anwesenheit von Chlorid- oder Bromidionen von mehr als etwa 2 TpM bis zu etwa 50 TpM durchgeführt wird,
9. Zusammensetzung zur Auflösung von Metallen, dadurch gekennzeichnet, daß diese eine wässrige Lösung von etwa 0,2 bis etwa 4,5 g-Mol Schwefelsäure pro Liter, etwa 0,25 bis etwa 8 g-Mol Wasserstoffperoxid pro Liter und eine wirksame Menge eines Aktivators aus der Gruppe
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a) Moriohydroxy- oder Dihydroxy-substituierte Zykloparaffine mit 5-7 Kohlenstoffatomen im Ring
bzw.
b) Monohydroxy- oder Dihydroxy-substituierte Alkylzyklo-•paraffine mit 5-7 Kohlenstoffatomen im Ring, wobei jede Alkylgruppe 1-4 Kohlenstoffatome enthält und an ein unsubstituiertes Kohlenstoffatom im Ring gebunden ist, umfaßt.
10. Zusammensetzung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Aktivator in einer Konzentration von wenigstens etwa 0,01 g-Mol/1, insbesondere im Bereich von etwa 0,05 bis etwa 0,5 g-Mol/1 vorliegt.
11. Zusammensetzung nach Anspruch 9-10, dadurch gekennzeichnet, daß diese zusätzlich Natriumphenolsulfonat als Stabilisator enthält.
12. Zusammensetzung nach Anspruch 9-111 dadurch gekennzeichnet, daß die Wasserstoffperoxid-Konzentration zwischen etwa 1 bis etwa 4 g-Mol/1 liegt.
13,Zusammensetzung nach Anspruch 9-12, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwefelsäure-Konzentration zwischen etwa 0,3 und etwa 4 g-Mol/1 liegt.
14.Zusammensetzung nach Anspruch 9-13, dadurch gekennzeichnet,
daß der Aktivator Zyklopentanol, Zyklohexanol, Zykloheptanol, ■1,2~Zyklohexandiol, 1,3-Zyklohexandiol bzw. 1,4-Zyklohexandiol
ist· 909819/0963
15. Zusammensetzung nach Anspruch 9-14, dadurch gekennzeichnet, daß diese freie Chlorid- oder Broraidionen von mehr als 2 TpM bis etwa 50 TpM enthält.
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