DE2445086A1 - Fuer die herstellung eines kondensators geeigneter keramikkoerper und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents
Fuer die herstellung eines kondensators geeigneter keramikkoerper und verfahren zu seiner herstellungInfo
- Publication number
- DE2445086A1 DE2445086A1 DE19742445086 DE2445086A DE2445086A1 DE 2445086 A1 DE2445086 A1 DE 2445086A1 DE 19742445086 DE19742445086 DE 19742445086 DE 2445086 A DE2445086 A DE 2445086A DE 2445086 A1 DE2445086 A1 DE 2445086A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layers
- ceramic
- platelets
- heat
- thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/101—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by casting or moulding of conductive material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
- H01G4/30—Stacked capacitors
- H01G4/302—Stacked capacitors obtained by injection of metal in cavities formed in a ceramic body
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1258—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by using a substrate provided with a shape pattern, e.g. grooves, banks, resist pattern
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0272—Adaptations for fluid transport, e.g. channels, holes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/12—Using specific substances
- H05K2203/128—Molten metals, e.g. casting thereof, or melting by heating and excluding molten solder
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/30—Details of processes not otherwise provided for in H05K2203/01 - H05K2203/17
- H05K2203/308—Sacrificial means, e.g. for temporarily filling a space for making a via or a cavity or for making rigid-flexible PCBs
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/107—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by filling grooves in the support with conductive material
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
- H05K3/4626—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials
- H05K3/4629—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials laminating inorganic sheets comprising printed circuits, e.g. green ceramic sheets
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
Description
DIPL.-CHEM. DR. DEUFEL · DI PH.-C HE M. DR. SCHÖN
PATENTANWÄLTE 9 Zt A 5 Π 8 6
17. Januar 1975
K/N 18-17
NL Industries, Inc.
111 Broadway
New York, N.Y. 10006
USA
New York, N.Y. 10006
USA
Für die Herstellung eines Kondensators geeigneter Keramikkörper und Verfahren zu seiner Herstellung.
Die Erfindung betrifft einen einheitlichen, gesinterten, für die Herstellung eines Kondensators geeigneten Keramikkörper und ein
Verfahren zu seiner Herstellung.
Der erfindungsgemäße Keramikkörper umfaßt jeweils eine Vielzahl
übereinanderliegender dünner Schichten aus einem geeigneten Keramikmaterial, die über mehrere Randbereiche miteinander verbunden
sind, und wobei wesentliche Bereiche ihrer sich gegenüberliegenden Oberflächen voneinander getrennt sind und eine Vielzahl
dazwischenliegender, im wesentlichen hindernisfreier Hohlräume bilden, wobei die Schichten nur von den miteinander verbundenen
Randbereichen getragen werden und die Körper eine in jeden Hohlraum zwischen benachbarten Schichten führende öffnung aufweisen.
Durch Einführen eines
509822/0578
geeigneten leitenden Materials, vorzugsweise eines Metalls, in die Hohlräume zwischen den Schichten der Keramikkörper
und Anbringen geeigneter"elektrischer Verbindungsleitungen
können Kondensatoren und Schaltkreisplatten, wie sie für integrierte Hybridsehaltungen und dgl. verwendet werden, gebildet
werden.
Insbesondere ist die Erfindung auf einen einheitlichen, gesinterten,
für die Herstellung eines Kondensators geeigneten Keramikkörper gerichtet.
In seiner einfachsten Form besteht ein Keramikkondensator aus einem relativ dünnen Plättchen der gewünschten Form und Größe,
das durch Brennen einer dielektrischen Keramikzusammensetzung hergestellt wurde, und das auf seinen gegenüberliegenden Oberflächen
Elektroden trägt. In vielen Fällen sind jedoch Kondensatoren erwünscht, die einen einheitlichen oder monolithischen
Körper umfassen, der aus einer Vielzahl Von dielektrischen Schichten und einer Vielzahl von alternierend zu den dielektrischen
Schichten angeordneten leitenden Schichten aufgebaut ist, wobei die aufeinanderfolgenden leitenden Schichten bis zu verschiedenen
Randbereichen des Kondensators herangeführt und dort elektrisch, z. B. über Abschlußelektroden, miteinander verbunden
sind.
Bei einem typischen Verfahren zur Herstellung eines derartigen monolithischen Keramikkondensators wird eine Elektroden bildende
Paste aus einem Edelmetall wie Platin oder Palladium auf die obere
Oberfläche eines kleinen, üblicherweise gegossenen, dünnen Plättchens aus einer geeigneten dielektrischen Keramikzusammensetzung,
die mit einem temporären organischen Bindemittel verbunden ist, aufgetragen, wobei der Auftrag in der Weise erfolgt, daß die
Abscheidung der Elektrodenpaste sich bis zu einem Rand des Plättchens
hin erstreckt, jedoch auf den übrigen drei Seiten des
Plättchens einen Rand frei läßt. Dann wird eine Vielzahl der mit
509822/0578
der Elektrodenpaste beschichteten kleinen Plättchen aufeinander gestapelt, wobei das jeweils nächste Plättchen um eine durch
die Ebene des Plättchens senkrecht verlaufende Achse gedreht ' wird, - was zur Folge hat, daß die aufeinanderfolgenden Abscheidungen
der Elektrodenpaste jeweils bis zu den gegenüberliegenden Randbereichen des Stapels hingeführt sind. Dann wird
der Stapel der mit der Paste beschichteten Plättchen verfestigt
und erhitzt, um die organischen Bindemittel des Keramikplättchens und der die Elektroden bildenden Paste zu vertreiben
oder zu zersetzen, und die dielektrische Keramikzusammensetzung zu einem einheitlichen, mehrschichtigen Körper zusammenzusintern,
dessen aufeinanderfolgende Elektroden jeweils auf den
gegenüberliegenden Seiten des Körpers enden. Dann werden die Elektroden einer jeden Seite in bekannter Weise mit einer Abschlußelektrode
elektrisch miteinander verbunden.
Wegen der Notwendigkeit, in dem beschriebenen Verfahren innere Elektroden aus Edelmetall zu verwenden, sind monolithische Keramikkondensatoren
kostspielig. Billigere Silberelektroden, wie sie üblicherweise für andere keramische Kondensatoren verwendet
werden, sind im allgemeinen für monolithische Kondensatoren ungeeignet, da das in Form einer Elektroden bildenden Paste aufgetragene
Silber während des Brennens der Keramik einer hohen Temperatur ausgesetzt werden muß und hierdurch geschädigt wird.
Demzufolge besteht ein Bedürfnis für ein Verfahren zur Herstellung von monolithischen Kondensatoren, bei dem es nicht erforderlich
ist, Edelmetalleoder sehr kostspielige Metalle einzusetzen.
Ein Verfahren dieser Art ist in der US-PS 3 679 950 beschrieben. In dieser Patentschrift wird eine Reihe von Verfahrensmaßnahmen angegeben, die die Bildung von Keramikmatrices, die
alternierend angeordnete Schichten aus dichtem dielektrischem' Material und porösem Keramikmaterial umfassen, und die Abscheidung
eines leitenden Materials, wozu man billige Metalle verwenden kann, in den porösen Schichten umfassen. Dann werden unter
509822/0578
Bildung der monolithischen Kondensatoren Abschlußelektroden angebracht,
die jeweils alternierend die in dieser Weise gebildeten leitenden Schichten miteinander verbinden.
Obwohl nach den in der genannten Patentschrift angegebenen Methoden
sehr zufriedenstellende, relativ billige, monolithische Keramikkondensatoren hergestellt werden können, stellt sich in
gewissen Fällen das Problem,die Kontinuität des Metalls in den inneren Elektroden aufrechtzuerhalten. Weiterhin ist es erwünscht,
insbesondere wenn Kondensatoren für Hochfrequenzanwendungen hergestellt werden sollen, den Elektrodenwiderstand so
niedrig wie möglich zu halten, so daß ein ununterbrochener Metallfilm erwünscht ist.
Demzufolge ist es ein Ziel der Erfindung, eine Verbesserung der in der genannten Patentschrift angegebenen Verfahrensweisen
anzugeben, die zur Bildung von Keramikmatrices führt, in %den®n
durch Einführen eines leitenden Materials, wie eines Metalls, innere Elektroden ausgebildet werden können, wodurch man ohne
weiteres Kondensatoren erhält, die nicht unterbrochene Elektroden und 'niedrige Elektrodenwiderstände aufweisen, und bei
denen es nicht erforderlich ist, poröse Keramikschichten anzuwenden.
Das genannte Ziel wird dadurch erreicht, daß man als Matrix Keramikkörper vorsieht, die eine Vielzahl dünner Lagen oder
Schichten aus dichtem dielektrischem Material umfassen, wobei zwischen benachbarten Schichten dünne, im wesentlichen hindernisfreie
und im wesentlichen planare, an einem Randbereich offene Hohlräume oder Zwischenräume vorliegen. In dieser Weise besteht
nur ein minimaler Widerstand gegen die Einführung des leitenden Materials in die dünnen oder planaren Hohlräume,
wodurch ein Körper gebildet wird, der durchgehende leitende Schichten aufweist, die alternierend zwischen dielektrischen
Schichten vorliegen, und es besteht hierdurch nicht die Notwendigkeit, eine verträgliche, poröse Keramikzusammensetzung
509822/0578
anzuwenden. Genauer betrifft die Erfindung einen Kondensator, zu dessen Herstellung ein leitendes Material, vorzugsweise"
ein Metall, in einen oder mehrere dünne, im wesentlichen planar e Hohlräume, die zwischen dünnen Schichten aus dichtem dielektrischem
Material in einem einheitlichen, gesinterten Keramikkörper vorliegen,.eingeführt wird, wobei die Schichten über
eine,Vielzahl von Randbereichen integral miteinander verbunden
sind und vor der Einführung des leitenden Materials nur über die Randbereiche abgestützt werden und in dieser Weise einen
oder mehrere hindernisfreie Hohlräume bilden. Hierdurch erhält man einen Kondensator, dessen Elektroden einen niedrigen Widerstand
aufweisen, da die Hohlräume zwischen den dielektrischen Schichten im wesentlichen ausschließlich mit Elektrodenmaterial
ausgefüllt sind. Die Erfindung betrifft ferner die Bildung ähnlicher Keramikbauteile mit inneren Leitern, wie mehrschichtigen
Schaltkreisstrukturen, die nach einem ähnlichen Verfahren hergestellt werden. Sowohl die Herstellung der Kondensatoren als
auch der mehrschichtigen Schaltkreisstrukturen umfaßt die Verwendung von Pseudoleitern, die aus einem sich in der Hitze verflüchtigenden
Material gebildet werden, das beim Brennen der Keramik entfernt wird, wodurch die Hohlräume oder Kanäle gebildet
werden, in die dann das leitende Material eingeführt wird. Die Form, Größe und Anordnung der Leiter und/oder Elektroden
entsprechen im wesentlichen denen des durch sie ersetzten pseudoleitenden Materials in dem ungebrannten Körper.
Gegenstand der Erfindung ist daher ein einheitlicher, gesinterter,
für die Herstellung eines Kondensators geeigneter Keramikkörper, der gekennzeichnet ist durch eine Vielzahl dünner, übereinander
lieg ender Schichten aus dichtem dielektrischem Material, wobei wesentliche Bereiche der einander gegenüberliegenden Oberflächen
von mindestens zwei dieser Schichten voneinander ge-^
trennt sind und einen dazwischenliegenden dünnen, im wesentlichen hindernisfreien Hohlraum bilden,.wobei die oberhalb und
unterhalb dieses Hohlraums liegenden Schichten über mehrere Randbereiche integral miteinander verbunden sind und außer über
508822/0578
diese Randbereiche im wesentlichen nicht miteinander in Verbindung
stehen; und eine in den Hohlraum führende Öffnung in dem Körper.
Erfindungsgemäß werden die monolithischen Kondensatoren und mehrschichtigen Schaltkreisstrukturen dadurch gebildet, daß
man (1) auf einer Vielzahl von dünnen Plättchen oder Blättern aus fein verteiltem Keramikmaterial, das mit einem sich in der
Hitze verflüchtigenden temporären Bindemittel gebunden ist, Überzüge aufträgt, die dünne, ausgewählte Bereiche aus pseudoleitenden
Schichten oder Linien bilden, die aus einem sich in der Hitze verflüchtigenden Material bestehen; (2) aus einer
Vielzahl der beschichteten Plättchen oder Blätter einen verfestigten Stapel bildet; (3) den erhaltenen Block brennt, um
das sich in der Hitze verflüchtigende Material zu beseitigen und das Keramikmaterial zu einem monolithischen Körper zusammenzusintern,
in dem im wesentlichen hindernisfreie dünne Hohlräume oder Kanäle vorliegen; (4) ein leitendes Material, vorzugsweise
ein Metall, in die Hohlräume oder Kanäle einführt, um die sich in der Hitze verflüchtigenden Pseudoleiter zu ersetzen;
und (5) die leitenden Schichten oder Linien mit geeigneten elektrischen Verbindungen versieht.
Weitere Ausführungsformen, Gegenstände und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung, den Beispielen
und den Zeichnungen.
In der Fig. 1 ist eine Schnittansicht eines erfindungsgemäß hergestellten Kondensators gezeigt, während
die Fig. 2 eine Schnittansicht längs der Linie 2-2 der Fig. 1 durch diesen Kondensator wiedergibt.
In der Fig. 3 ist eine vergrößerte perspektivische Ansicht einer Vielzahl von Plättchen aus einer gebundenen, dielektrischen
Keramikzusammensetzung gezeigt, wobei jedes Plättchen eine Schicht aus einem sich in der Hitze verflüchtigenden Mate-
509822/0578
_ 7 —
rial trägt.
Die Fig. 4 ist eine Teildraufsicht auf ein gebundenes Plättchen
oder Blatt aus einer dielektrischen Keramikzusammensetzung,
auf «das in Form eines Musters eine Schicht aus einem sich in der Hitze verflüchtigenden Material aufgebracht ist.
Die Fig. 5 zeigt in noch stärker vergrößerter Form eine Teilschnittansicht
eines erfindungsgemäßen Keramikkörpers nach dem Zusammenfügen, Verfestigen und'Sintern einer Vielzahl der in
der Fig. 3 dargestellten beschichteten Plättchen.
In der Fig. 6 ist eine vergrößerte Schnittansicht einer mehrschichtigen
Keramikschaltkreisstruktur der erfindungsgemäßen Art wiedergegeben, während
die Fig. 7 eine Explosionsansicht mehrerer Keramikplättchen
wiedergibt, die mit Pseudoleitern versehen sind und für die Bildung der in der Fig. 6 wiedergegebenen Struktur dienen.
Es versteht sich, daß in den Zeichnungen gewisse relative Abmessungen übertrieben wiedergegeben sind.
Erfindungsgeraäß kann ein Kondensator wie folgt hergestellt
werden.
Man stellt unter Anwendung eines geeigneten, sich in der Hitze verflüchtigenden Bindematerials, beispielsweise eines Harzes
oder eines Cellulosederivats, eine Vielzahl dünner Plättchen, aus einer feinverteilten Keramikzusammensetzung her, die beim
Sintern eine dichte dielektrische Schicht bildet. Solche, an sich bekannte Zusammensetzungen, enthalten Bariumtitanat, das
gegebenenfalls mit Mitteln zum Modifizieren der Dielektrizitätskonstante und/oder anderen Eigenschaften vermischt ist, sowie
viele andere Arten von Keramikzusammensetzungen. Auf jedes Plättchen der Vielzahl von Plättchen wird dann eine dünne
Schicht aus einem sich in der Hitze verflüchtigenden Material aufgetragen. Diese Schichten können vorgebildet sein, werden
jedoch vorzugsweise dadurch gebildet, daß man z. B. durch Aufmalen · oder nach dem Siebdruckverfahren eine flüssige oder pa-
509822/0578
stenförmige Zusammensetzung auf die Plättchen aufbringt. Das
sich in der Hitze verflüchtigende Material, aus dem die Schichten aufgebaut sind, kann ein geeignetes brennbares und/oder
flüchtiges filmbildendes Material sein, besteht jedoch vorzugsweise
aus einer Mischung aus feinen, brennbaren und/oder flüchtigen Teilchen, die mit einem solchen filmbildenden Material
verbunden sind.
Die Schichten aus dem sich in der Hitze verflüchtigenden Material
(die auch als Pseudoleiter bezeichnet werden) besitzen eine geringere Flächenausdehnung und sind vorzugsweise dünner als
die Plättchen, auf die sie aufgetragen werden, wobei die Schichten eine solche Form besitzen, daß die auf dem Plättchen vorliegende
Schicht um den überwiegenden Anteil ihres Umfangs herum einen Rand freiläßt, während ein Teil des Umfangs sich bis zu
dem Rand oder der Kante des Plättchens hin erstreckt, auf das die Schicht aufgetragen ist. Vorzugsweise sind die Schichten
von gleicher Größe.
Dann wird eine Vielzahl der Plättchen aus der gebundenen Keramikzusammensetzung
aufeinander gestapelt, wobei sich die in der Hitze .verflüchtigenden Schichten dazwischen befinden, und
verfestigt. Das Verfestigen kann mit für die besonderen verwendeten Materialien geeigneten Maßnahmen erreicht werden und
kann die Anwendung von Druck, Hitze und/oder eines Lösungsmittels einschließen. Die Plättchen und die sich in der Hitze
verflüchtigenden Schichten in dem Stapel sind so angeordnet, daß aufeinanderfolgende Schichten sich bis zu verschiedenen
Randbereichen des verfestigten Stapels hin erstrecken, wobei jedoch ein überwiegender Anteil der Ränder eines jeden Plättchens
mit den Rändern des benachbarten Plättchens des Stapels in Berührung steht. Der verfestigte Stapel aus den Plättchen
und den dazwischen liegenden Schichten wird dann gebrannt, um die sich in der Hitze verflüchtigenden Materialien zu entfernen
und die Keramikzusammensetzung zu sintern. Hierdurch wird ein
509822/0578
einheitlicher gesinterter Keramikkörper gebildet, der eine Vielzahl
dünner Blätter oder Schichten aus dichtem dielektrischem Material aufweist, wobei die benachbarten Blätter oder Schichten
über wesentliche Bereiche ihrer einander gegenüberliegenden Oberflächen voneinander getrennt sind und nur über ihre Randbereiche
miteinander verbunden sind.
An den Randbereichen des gesinterten Körpers, bis zu denen die Schichten des sich in der Hitze verflüchtigenden Materials herangeführt
worden sind befinden sich öffnungen, die in die Hohlräume zwischen den gegenüberliegenden Schichten führen, über
diese öffnungen kann ein leitendes Material, wie ein Metall, in geeigneter Weise in die Hohlräume eingeführt werden, wozu
man beispielsweise eines der in der US-PS 3 679 950 angegebenen Verfahren anwendet. Als Ergebnis erhält man einen Körper, an den
unter Anwendung beliebiger Verfahrensweisen Abschlußelektroden angebracht werden können, so daß man einen Kondensator erhält,
der gewünschtenfalls nach dem Anbringen von Leitungsdrähten an die Abschlußelektroden in geeigneter Weise eingekapselt werden
kann.
Es versteht sich jedoch, daß verschiedene Modifizierungen und Abänderungen des obigen Verfahrens angewandt werden können,
von denen einige im folgenden angegeben sind.
Obwohl, wie bereits angegeben, eine Reihe von Abänderungen und Modifizierungen möglich sind, ist das zur. Herstellung weniger,
relativ großer monolithischer Kondensatoren bevorzugte Verfahren das oben beschriebene. Eine detailliertere Erläuterung
dieses Verfahrens ist in dem folgenden Beispiel angegeben.
Durch 4-stündiges Vermählen einer Mischung aus 400 g eines
dielektrischen Pulvers (96 Gewichtsteile BaTiO.,; 4 Gewichtsteile CeO-^ZrO2; durchschnittliche Teilchengröße 1 bis 2 μπι) ,
509822/0 57 8
4 g Diäthylenglykollaurat, 30 g Butylbenzylphthalat und 120 ml
Toluol in einer Kugelmühle stellt man eine Dispersion her. Nach dem Vermählen gibt man die Dispersion unter Rühren, um ein
gutes Durchmischen zu erreichen, zu einer Lösung von 37 g Äthylcellulose
in 180 ml Toluol. Dann entlüftet man die Mischung und bildet auf einer glatten Glasplatte mittels einer Rakel
einen Film aus der Mischung, der die Abmessungen von etwa 100 mm χ 1500 mm besitzt. Der Film, der nach dem Trocknen eine-Dicke
von etwa 0,045 mm aufweist, wird abgezogen und in kleine, rechteckige Blätter oder Plättchen mit einer Breite von etwa 10 mm
und einer Länge von etwa 2 0 mm zerschnitten.
Man kann eine sich in der Hitze verflüchtigende Zusammensetzung,
die als Pseudoleiter auf die in der obigen Weise hergestellten Plättchen aufgetragen werden kann dadurch herstellen, daß man
beispielsweise 25 g fein verteilten Kohlenstoff mit 50 g einer 50 %igen Lösung eines phenolmodifizierten Kolophoniumesterharzes
(PENTALYN'^858) in einem hochsiedenden, aliphatischen Erdölnaphtha
mit einer Kauri-Butanol-Zahl von 33,8 (Lösungsmittel Nr. 460) auf einer 3-Walzenmühle vermischt.'Die Viskosität der
Zusammensetzung wird durch Einmischen zusätzlichen Naphthalösungsmittels
auf einen für den Siebdruck geeigneten Wert gebracht. Für ein Sieb mit einer lichten Maschenweite von 0,044 mm
(325 mesh) sind etwa 2,5 ml erforderlich. Diese Zusammensetzung oder Druckfarbe, wie sie auch häufig bezeichnet wird, wird
nach dem Siebdruckverfahren auf eine Seite eines jedes Plättchens aus der dielektrischen Zusammensetzung in Form einer Schicht
aufgetragen, die in trockenem Zustand eine Dicke von etwa 0,01 mm aufweist. Es ist zu beachten, daß nur solche Bestandteile
in diesen Zusammensetzungen verwendet werden sollten, die das in den Plättchen aus dem dielektrischen Material enthaltene
Bindematerial nicht lösen oder in unzulässiger Weise erweichen. Vorzugsweise verwendet man als Lösungsmittel aliphatische
Erdölnaphthas mit einer niedrigen Kauri-Butanol-Zahl (von etwa 35) und einer Verdampfungsgeschwindigkeit, die so
niedrig liegt, daß die Druckfarbe das Drucksieb zwischen den Druckzyklen nicht verstopft. Die sich in der Hitze verflüchti-
509822/0578
gende, pseudoleitende Schicht wird derart auf jedes der Plättchen oder Blätter aus dem gebundenen dielektrischen Material
aufgetragen, daß die Schicht sich bis zu einem Rand des Plättchens hin erstreckt, jedoch an ihren anderen Rändern einen
Rand freiläßt.
Die bedruckten Plättchen werden dann ausgerichtet und in Gruppen a 10 Stück derart aufeinandergestapelt, daß bei alternierenden
Plättchen der Gruppe die Ränder der Plättchen, bis zu denen die aufgedruckten Schichten sich erstrecken, übereinanderzuliegen
kommen und die dazwischenliegenden Plättchen horizontal um 180° verdreht sind, so daß die darauf aufgedruckten Schichten
bis zu dem gegenüberliegenden Endbereich des Stapels hin sich erstrecken. Dann werden auf und unter den Stapel nicht
bedruckte Plättchen aufgelegt. Der Stapel wird dann verfestigt, indem man während 1 Minute bei einer Temperatur von etwa 800C
einen Druck von etwa 104 kg/cm2 auf den Stapel ausübt, wodurch man einen kohärenten , ungebrannten Körper oder Chip,
wie diese Körper häufig bezeichnet werden, erhält. Die Chips werden dann erhitzt, um die darin enthaltenen, sich in der
Hitze verflüchtigenden Materialien zu beseitigen und die Keramikzusammensetzung
zu sintern.
Um eine mögliche Zerstörung der Chips während des Brennens zu
vermeiden, werden sie zunächst langsam an der Luft erhitzt, um die sich in der Hitze verflüchtigenden Materialien zu beseitigen
und werden anschließend bei höheren Temperaturen gebrannt, wodurch man kleine, kohärente, gesinterte Matrices oder
Chips erhält, von denen jeder eine Vielzahl dünner Schichten aus dichtem, dielektrischem Material aufweist, die integral
miteinander über mehrere Randbereiche jedoch so verbunden sind, daß zwischen den Schichten dünne, im wesentlichen hindernisfreie
und im wesentlichen planare Hohlräume oder Zwischenräume gebildet werden, deren Höhe, verglichen mit der Oberfläche,
sehr klein ist. Jeder der Hohlräume besitzt an einem der Randbereiche des Chips eine öffnung, da jede der aufge^·
B09822/0578
druckten, sich in der Hitze verflüchtigenden Schichten bei der Bildung des ungebrannten Chips bis'zu einem Rand eines Plättchens
aus der dielektrischen Zusammensetzung herangeführt worden war. Da die bedruckten Plättchen so aufeinandergestapelt worden sind,
daß die alternierend angeordneten, sich in der Hitze verflüchtigenden Schichten bis zu den gleichen Randbereich des Stapels
hinerstrecken, liegen die öffnungen von benachbarten Hohlräumen
in dem gesinterten Chip auf gegenüberliegenden Endbereichen des gesinterten Chips.
Ein geeignetes Aufheizschema zur Entfernung der sich in der
Hitze verflüchtigenden Materialien ist im folgenden angegeben:
bis 16O0C 2 Stunden,
160 bis 22O0C 10 Stunden,
220 bis 225°C 12 Stunden,
225 bis 3100C 20 Stunden,
310 bis 3140C 4 Stunden,
bei 4000C 1 Stunde,
bei 5000C 1 Stunde,
bei 6000C 1 Stunde.
Nach Durchlaufen des obigen AufheizSchemas wird die Temperatur
auf 13700C gesteigert und während 1,25 Stunden aufrechterhalten,
um die Chips zu sintern. ■
Nach dem Abkühlen der gesinterten Chips werden die darin vorhandenen
Hohlräume mit einem leitenden Material, vorzugsweise einem Metall, gefüllt, wozu man irgendeine der in der obigen
US-Patentschrift angegebenen Methoden anwenden kann. Dann werden in geeigneter und an sich bekannter Weise Abschlußelektroden
angebracht. Alternativ können zunächst die Endanschlüsse angebracht und dann die Hohlräume mit einem Metall gefüllt werden,
wie es in der Patentanmeldung P 23 23 921.6
.. entsprechend der US-Patentanmeldung Serial No. 274 668) beschrieben ist.
509822/0578
- 13 - 24A5086
Iri den Fig. 1 und 2 der Zeichnungen ist in vergrößertem und. übertriebenem
Maßstab ein nach dem obigen Verfahren gebildeter monolithischer Kondensator dargestellt. Die Bezugsziffer 11 steht
für diesen Kondensator, der Schichten 13 aus keramischem dielektrischem
Material und dazwischenliegende Schichten 15 aus einem leitenden Material umfaßt, die als innere Elektroden dienen. Die
letzteren Schichten sind als Ergebnis der Größe und der Anordnung der Hohlräume, in die das leitende Material eingeführt worden
ist, so ausgebildet, daß alternierend angeordnete Schichten sich bis zu der gleichen Endfläche des Kondensators hin erstrecken.
Die auf jeder Endfläche freiliegende Gruppe von Elektroden wird dann mit Abschlußelektroden 17 elektrisch miteinander verbunden.
Wenn kein dazwischenliegendes leitendes Material vorliegt, sind die dielektrischen Schichten in der Weise miteinander verbunden,
wie es die Bezugsziffer 19 verdeutlicht.
In der Fig. 3 sind in vergrößertem Maßstab zwei dünne Blätter oder Plättchen 31 und 33 aus keramischem, dielektrischem Material
, das mit einem sich in der Hitze verflüchtigenden Bindemittel verbunden ist, dargestellt, die jeweils eine Schicht 35 aus einem
sich in der Hitze verflüchtigenden Material tragen. Es ist zu erkennen, daß die auf dem Plättchen 31 vorliegende
Schicht 35 sich bis zu dem vorderen Rand des Plättchens erstreckt, jedoch an den Seiten und dem hinteren Rand einen Rand freiläßt,
während die Schicht 35 auf dem Plättchen 33 sich bis zu dem hinteren Rand des Plättchens erstreckt und um die Seitenränder und
den vorderen Rand einen Rand freiläßt. Wenn nun eine Vielzahl der Plättchen 31 und 33 mit den darauf vorliegenden Schichten
35 alternierend aufeinandergestapelt, verfestigt und gebrannt
werden, befinden sich die öffnungen der Hohlräume, die durch das Entfernen der Schichten 35 aus dem sich in der Hitze verflüchtig
genden Material in dem erhaltenen gesinterten Körper gebildet haben,alternierend auf gegenüberliegenden Enden des Körpers.
Die Fig. 5 gibt in noch stärker vergrößertem Maßstab die Struktur eines erfindungsgemäß hergestellten gebrannten Keramikkörpers
oder Chips wieder, der als Matrix für die Herstellung eines mono-
509822/0578
lithischen Kondensators geeignet ist. Die Schichten 37 bestehen aus dielektrischem Material, während die dazwischen vorliegenden
Hohlräume oder Zwischenräume 39 sich durch die Entfernung der in der Hitze sich verflüchtigenden, pseudoleitenden Schichten 35
gebildet haben und im wesentlichen frei von Hindernissen sind.
Es versteht sich, daß die erfindungsgemäßen monolithischen Kondensatoren
in der obigen Weise einzeln hergestellt werden können. Es ist jedoch bevorzugt, wenn eine erhebliche Anzahl der Kondensatoren
hergestellt werden soll, oder wenn die einzelnen Kondensatoren sehr klein sind, ein Verfahren anzuwenden, gemäß dem eine
Vielzahl von ungebrannten Chips gleichzeitig gebildet und gleichzeitig gesintert wird. Ein Verfahren dieser Art ist in dem folgenden
Beispiel erläutert.
Nach der in dem vorhergehenden Beispiel beschriebenen Weise werden unter Anwendung der dort eingesetzten dielektrischen
Keramikzusammensetzung und des dafür verwendeten temporären Bindemittels Plät'tchen bzw. Blätter mit den Abmessungen 50 mm χ
75 mm hergestellt, die nach dem Trocknen eine Dicke von etwa 0,05 mm aufweisen. Unter Einsatz der in Beispiel 1 zur Herstellung
der sich in der Hitze verflüchtigenden Schichten verwendeten sich in der Hitze verflüchtigenden Zusammensetzung oder
Druckfarbe wird ein sich wiederholendes Muster auf jedes der Blätter oder Plättchen aufgetragen, wozu man vorzugsweise das
Siebdruckverfahren anwendet. Nach dem Trocknen der Abscheidung, wobei sich ein Film mit einer Dicke von etwa 0,01 mm ergibt,
werden die bedruckten Blätter oder Plättchen ausgerichtet und in Gruppen von 10 derart aufeinandergestapelt, daß das
aufgedruckte Filmmuster auf dem jeweils nächsten Plättchen oder Blatt mit Hinsicht auf das Muster des vorhergehenden Plättchen
oder Blattes verschoben angeordnet wird. Dann werden durch Verfestigen der aufgestapelten Plättchen oder Blätter Blöcke ge
bildet g wobei vorzugsweise ein oder mehrere unbedruckte Blätter
B09822/0578
oder Plättchen auf und unter den Stapel gelegt werden, wobei das Verfestigen dadurch erfolgt, daß man während etwa 1 Minute bei
einer Temperatur von etwa 85°C einen Druck von etwa 104 kg/cm2
auf den Stapel ausübt. In dieser Weise erhält man einen
ungebrannten, festen Block, der mittels geeigneter Geräte,
wie Messer, zu kleineren ungebrannten Blöcken oder Chips zerteilt oder zerschnitten wird.
Die Weise, in der dies erfolgt, ergibt sich genauer aus der Fig. 4 der beigefügten Zeichnungen. In dieser Fig. steht die
Bezugsziffer 51 für ein (etwas vergrößert und schematisch dargestelltes) großes Blatt oder Plättchen aus einem dielektrischen
Keramikmaterial, das temporär mit einem sich in der Hitze verflüchtigenden Bindemittel gebunden ist. Die darauf vorliegenden,
im Abstand angeordneten, rechteckigen Elemente 53 sind Schichten oder Filme aus dem sich in der Hitze verflüchtigenden
Material, die beispielsweise'nach dem Siebdruckverfahren auf dem Blatt oder Plättchen abgeschieden worden sind.
Beim Zusammenstellen eines Stapels aus solchen bedruckten Blättern oder Plättchen, der dann zu einem großen Block verfestigt
wird, werden'sämtliche Blätter oder Plättchen so ausgerichtet, daß die darauf vorhandenen Elemente 53 vertikal längs zwei gegenüberliegender
Kanten angeordnet werden, wobei jedoch die Elemente von aufeinanderfolgenden Plättchen oder Blättern verschoben
sind, so daß nur die Elemente 53 von alternierend angeordneten Blättern oder Plättchen vertikal übereinanderzuliegen
kommen. Dies ist in der Fig. 4 durch die (gestrichelt dargestellten) Bereiche 55 wiedergegeben, die für die verschobenen
Bereiche der Elemente 53 auf den Blättern oder Plättchen 51 stehen, die sich oberhalb und unterhalb des gezeigten Blattes
oder Plättchens 51 befinden. Nach dem Verfestigen der bedruckten Blätter oder Plättchen zu einem (nicht dargestellten) ungebrannten
großen Block, wird der Block beispielsweise durch Zerschneiden längs der Linien 57 und 59 zu einer Vielzahl von kleineren, ungebrannten
Keramikblöcken oder Chips zerteilt, bei denen die Elemente 53 alternierend bis zu den gegenüberliegenden Enden der
Chips herangeführt sind.
509822/0578
Diese Chips werden dann in der in Beispiel 1 beschriebenen Weise
erhitzt, um die sich in der Hitze verflüchtigenden Materialien zu entfernen und die dielektrische Zusammensetzung eines jeden
Chips zu einem einheitlichen Körper zusammenzusintern, der dünne dielektrische Keramikschichten und dazwischenliegende planare
Hohlräume aufweist. Dann wird unter Anwendung geeigneter Verfahrensweisen ein leitendes Material, vorzugsweise ein Metall,
in die Hohlräume oder Zwischenräume eingebracht und werden an beiden Enden Abschlußelektroden vorgesehen, die die dort freiliegenden
leitenden Schichten elektrisch miteinander verbinden. In dieser Weise erhält man sehr zufriedenstellende monolithische
Kondensatoren.
Ein modifiziertes Verfahren zur gleichzeitigen Herstellung einer
Vielzahl von Chips ist in dem folgenden Beispiel erläutert.
Man wendet die gleichen Materialien und Verfahrensmaßnahmen, wie die in Beispiel 2 zur Bildung von Blöcken an, die aus Plättchen
oder Blättern aus einer dielektrischen Zusammensetzung aufgebaut sind, die dünne Filme oder Elemente aus sich in der Hitze
verflüchtigenden Materialien tragen. Dann wird der gesamte Block, statt in einer Vielzahl von ungebrannten Chips zerteilt zu werden,
erhitzt, um das sich in der Hitze verflüchtigende Material zu entfernen und das Keramikmaterial zu sintern. Die Aufheiz- und
Sinterbedingungen können im wesentlichen den oben angegebenen entsprechen. Wegen der größeren Masse der großen Blöcke kann
jedoch eine etwas längere Behandlungszeit erforderlich sein, um ein genügendes Sintern zu erreichen. Nachdem die Blöcke gesintert
sind, werden sie beispielsweise mit Hilfe einer Diamantsäge zu den gewünschten Keramikmatrixchips zerteilt, indem man
sie längs der den Linien 57 und 59 der Fig. 4 entsprechenden Linien zerschneidet.
Obwohl die in den vorhergehenden Beispielen verwendeten dielektrischen
Materialien modifizierte Bariumtitanatzusammensetzungen
509822/0578
sind, versteht es sich, daß man auch viele andere dielektrische Keramikzusammensetzungen verwenden kann. Beispielsweise kann
man TiCUr Glas, Steatit und Bariumstrontiumniobat oder auch Bariumtitanat
allein verwenden, wobei in an sich bekannter Weise die Brennmaßnahmen und dgl. abgeändert werden, um ein zufriedenstellendes
Sintern zu erzielen. Offensichtlich variiert die Kapazität der erhaltenen Kondensatoren als Ergebnis der Anwendung
von Materialien mit höheren oder niedrigeren Dielektrizitätskonstanten.
Die erfindungsgemäßen Kondensatoren können unterschiedlichste
Größen aufweisen. Beispielsweise können ohne weiteres Kondensatoren mit den Abmessungen 2,0 mm χ 3,0 mm χ 0,9 mm hergestellt
werden, die 20 dielektrische Schichten mit einer Dicke von etwa 0,03 mm und 19 innere Elektroden mit einer Dicke von
etwa 0,01 mm aufweisen, obwohl natürlich auch größere Kondensatoren gebildet werden können. Es können jedoch nicht
nur die Abmessungen des Kondensators verändert, sondern auch die Anzahl und die Dicke der darin enthaltenen Schichten variiert
werden. Erfindungsgemäß kann man Kondensatoren der gewünschten Kapazität duscht geeignete Auswahl des dielektrischen Materials
und der Größe, der Dicke und der Anzahl der Schichten und der dazwischenliegenden pseudoleitenden Schichten herstellen. Im
allgemeinen ist es erwünscht, die dielektrischen Schicht und die Elektroden so dünn wie möglich zu machen, da dann eine geringere
Menge des kostspieligen dielektrischen Materials nötig ist und die Kapazität der Kondensatoren pro Volumeneinheit gesteigert
wird, was den Raumbedarf dieser Kondensatoren in den Schaltkreisen vermindert. Es versteht sich jedoch, daß die Dünnheit
der dielektrischen Schicht durch die Notwendigkeit begrenzt wird, daß diese Schichten fest und nicht porös sein müssen und
eine Dicke aufweisen müssen, die der bei der Benutzung angewandten Spannung zu widerstehen vermag. Obwohl Unregelmäßigkeiten
der Oberfläche oder der Dicke der plättchen oder Blätter aus dem dielektrischen Material Probleme bei der Bildung der
509822/0578
Kondensatoren ergeben können, wenn extrem dünne Schichten oder Filme aus pseudoleitendem Material aufgetragen werden, da einer
oder mehrere Hohlräume zwischen solchen unregelmäßigen Plättchen oder Blättern nach dem Brennen blockiert sein können, ist es im
allgemeinen bevorzugt, die Elektroden oder die leitenden Schichten dünner zu machen als die dielektrischen Schichten. Es versteht
s.ich ferner, daß auf und/oder unterhalb des Stapels aus alternierend angeordneten dielektrischen Plättchen oder Blättern
und sich in der Hitze verflüchtigenden Schichten ein oder mehrere zusätzliche dielektrische Plättchen oder Blätter aufgebracht
werden können. Dies wird häufig dazu angewandt, den Kondensatoren eine zusätzliche mechanische Festigkeit zu verleihen und/oder
ihre Dicke anzupassen. Es können unbedruckte Plättchen aus einer dielektrischen Keramikzusammensetzung verwendet werden. Jedoch
ist die Anwesenheit einer sich in der Hitze verflüchtigenden Abscheidung auf dem obersten dielektrischen Film oder
Plättchen eines solchen Stapels im allgemeinen unschädlich.
Das Brennen der ungebrannten Keramikblöcke, Einheiten oder Chips, um diese zu einheitlichen oder monolithischen
Körpern zusammenzusintern, wird vorzugsweise in einer oxidierenden Atmosphäre, wie Luft, in einem Ofen durchgeführt. Vorzugsweise
verwendet man einen elektrisch beheizten Tunnelofen, obwohl man auch andere öfen oder Heizeinrichtungen anwenden,
kann. Die Brenntemperatur und die Brennzeit hängen von den verwendeten Keramikzusammensetzungen ab. Der Fachmann ist
jedoch, wie bereits erwähnt, mit diesen Details und auch mit der Tatsache vertraut, daß die Sinterzeit der Temperatur umgekehrt
proportional ist. Der hierin verwendete Ausdruck "Sintertemperatur" steht für die Temperatur, die erforderlich ist, um dem
Körper oder den Körpern die gewünschten Keramikeigenschaften zu verleihen. Wie bereits erwähnt, ist zur Entfernung der sich
in der Hitze verflüchtigenden Materialien in den Plättchen und
den Pseudoleitern eine längere Heizdauer bei relativ niedrigen Temperaturen bevorzugt. Die Beseitigung der sich in der Hitze
509822/0 578
verflüchtigenden Materialien aus den Plättchen und den abgeschiedenen
Schichten sollte so langsam erfolgen, daß die Ausdehnung der bei der Zersetzung oder der Verflüchtigung der Materialien
gebildeten Gase keinen Bruch der Chips zur Folge hat.
In der allgemeinen Beschreibung und den Beispielen sind die Plättchen aus dem isolierenden oder dielektrischen Material,
die sich in der Hitze verflüchtigenden Schichten oder Abscheidungen
und die damit hergestellten Kondensatoren oder mehrschichtigen Schaltkreisstrukturen als rechteckig angegeben. Die Erfindung
schließt jedoch auch Kondensatoren und Schaltkreisstrukturen anderer Form ein. In diesen Fällen können offensichtlich
die alternierend vorliegenden dünnen Hohlräume und die darin eingeführten Elektroden oder Leiter nicht auf gegenüberliegenden
Randflächen frei zutageliegen. Demzufolge versteht es sich, daß der in den Ansprüchen verwendete Ausdruck
"Randbereich" in dem Sinn verwendet wird, daß er einen Bereich auf einer Oberfläche eines Körpers beliebiger Form, der in der
angegebenen Weise hergestellt ist, umfaßt, die einen oder mehrere planare Hohlräume oder Zwischenräume in dem Körper berührt oder
die Ebenen dieser -Hohlräume schneidet.
In der Fig. 6 ist eine typische keramische Schaltkreisstruktur 81 wiedergegeben, wie sie für integrierte Hybridschaltungen verwendet
wird. Die Struktur oder der Körper 81 umfaßt eine Keramikmatrix 83 und eine Vielzahl von Leitern 85, die sich-in und/oder
durch die Matrix hindurch erstrecken. Die Dicke sowohl der Leiter als auch der Matrix ist der besseren Anschaulichkeit halber
in der Fig. 6 übertrieben wiedergegeben. Bislang konnten solche Strukturen nur mittels kostspieliger Verfahren hergestellt
werden, die normalerweise darin bestehen, daß man auf eine Vielzahl von temporär gebundenen Blättern der gewünschten
Dicke aus einem elektrisch isolierenden Keramikmaterial, wie · einem feinen AluminiumQxidpulver, eine Metallelektroden bildende
Paste, die ein Edelmetall wie Palladium oder Platin, enthält,
50982 2/0578
mit dem gewünschten Leitungsmuster nach dem Siebdruckverfahren aufdruckt, die verschiedenen bedruckten Blätter oder Plättchen
aufeinanderstapelt, mit einem unbedruckten Blatt oder Plättchen
bedeckt und verfestigt und die verfestigten Blätter oder Plättchen zu einem einheitlichen Körper zusammensintert.
Wie bereits erwähnt, können solche keramischen, mehrschichtigen Schaltkreisstrukturen mittels Verfahren hergestellt werden, die
im wesentlichen ähnlich jenen Verfahren sind, die für die Herstellung der Kondensatoren angegeben sind, wodurch die Notwendigkeit
vermieden wird, kostspielige Edelmetalle als Leiter zu verwenden. Die Bildung einer Struktur, wie sie in der Fig. 6
wiedergegeben ist, nach dem erfindungsgemäßen Verfahren sei kurz unter Bezugnahme auf die Fig. 7 erläutert. Es versteht
sich jedoch, daß das beschriebene Verfahren nur ein Beispiel ist und auch andere Verfahrensweisen angewandt werden können,
z. B. die Bildung großer Keramikblöcke nach der in Beispiel 2 angegebenen Weise, die dann unter Bildung einzelner Schaltkreisstrukturkörper
zerteilt werden können.
Die in der Fig. 7 wiedergegebenen Blätter oder Plättchen A,
B und C werden mit der gewünschten Größe, Form und Dicke dadurch hergestellt, daß man eine gewünschte, elektrisch isolierende
Keramikzusammensetzung, z. B. feinverteiltes Aluminiumoxid, unter Verwendung eines sich in der Hitze verflüchtigenden
Materials, wie eines Harzes, Ä'thylcellulose oder dgl., als temporäres Bindemittel für das Material vergießt, formt oder in
anderer Weise bearbeitet. Dann werden nach dem Siebdruckverfahren unter Verwendung einer sich in der Hitze verflüchtigenden
Siebdruckmasse oder Druckfarbe sich in der Hitze verflüchtigende Pseudoleiter 87, die den Mustern der gewünschten Leiter 85 der
in der in der Fig. 6 dargestellten Struktur folgen, auf die Blätter oder Plättchen B und C aufgebracht. Es versteht sich,
daß die wiedergegebenen Muster der Pseudoleiter 87 lediglich beispielhaft sind,und daß Muster beliebiger Art angewandt werden
können. Die bedruckten Blätter oder Plättchen werden dann aufeinandergestapelt, mit einem oder mehreren nicht bedruckten
509822/0578
Deckblättern oder -plättchen bedeckt und dann wird der Stapel in geeigneter Weise verfestigt und erhitzt, um die sich in der
Hitze verflüchtigenden Materialien zu entfernen und das Keramikmaterial
in den Plättchen oder Blättern zu einem einheitlichen Körper zusammenzusintern, wobei im wesentlichen die
Maßnahmen angewandt werden, die oben für die Herstellung von Kondensatoren beschrieben worden sind- Wie im Fall der Kondensatoren
umfaßt die durch das Brennen gebildete einheitliche oder monolithische Matrix einen dichten Körper aus der isolierenden
Keramikzusammensetzung, in dem Hohlräume oder Kanäle vorhanden sind, die im wesentlichen über ihre ganze Länge hinweg
nicht unterbrochen sind. Jeder der Kanäle steht mit mindestens einem Bereich auf einer Fläche, z. B. einer Handfläche, des
Körpers in Verbindung. Dann werden durch Einführen eines geeigneten leitenden Materials, vorzugsweise eines Metalls, in die
Kanäle Leiter gebildet, die in die Körper hinein und durch diese hindurchführen.
Es versteht sich, daß abgesehen von der Tatsache, daß die in dieser
Weise gebildete Matrix statt eines einzigen leeren Hohlraumes zwischen zwei benachbarten Schichten aus nicht leitendem
Keramikmateriai eine Anzahl hohler Kanäle aufweisen kann, die Struktur im wesentlich die gleiche ist wie die der bereits beschriebenen
Matrices für die Kondensatoren. In beiden Fällen umfassen die in ungebranntem Zustand vorliegenden Körper Plättchen
oder Blätter aus nicht leitendem Keramikmaterial, das ein sich in der Hitze verflüchtigendes temporäres Bindemittel enthält,
wobei sich zwischen diesen Blättern oder Plättchen Abscheidungen oder Schichten befinden, die als Pseudoleiter dienen
und aus einem sich in der Hitze verflüchtigenden Material bestehen, wobei die Matrices nach dem Sintern dichte, im wesentlichen
parallele Schichten aufweisen, zwischen denen sich im wesentlichen hindernisfreie, höhle Bereiche befinden, in die
ein leitendes Material, wie ein Metall, eingeführt werden kann. Wegen der möglichen Variation der für die Herstellung der Körper
verwendeten sich in der Hitze verflüchtigenden Materialien
50982 27 0578'
und Keramikmaterialien ändern sich auch die Heiz- und Sinter-Maßnahmen.
Es versteht sich jedoch, daß der Fachmann zufriedenstellende Brennzeiten und -temperaturen auswählen kann.
Zur Einführung eines leitenden Materials kann ein geeignetes Verfahren der oben angegebenen Art angewandt werden. In geeigneter
Weise können dann Leitungsdrähte an ausgewählten freiliegenden Leitern oder Abschlußelektroden, wenn diese verwendet
werden, befestigt werden, und an vorbestimmten Stellen können kleine Bauteile, wie Transistoren, Dioden etc. festgelötet
werden, wobei die damit verbundenen Leitungsdrähte gewünschtenfalls
über Löcher oder öffnungen 89, die an den gewünschten Bereichen in einer oder mehreren der isolierenden Keramikschichten
vorgesehen sind, zu darunterliegenden Leitern 85 geführt werden können. Diese Löcher können, wenn sie ein leitendes
Material enthalten, auch dazu dienen, die Leiter von zwei oder mehreren Ebenen der Schaltkreisplatte elektrisch miteinander
zu verbinden.
Es versteht sich, daß bei der erfindungsgemäßen Herstellung von mehrschichtigen Schaltkreisstrukturen eine beliebige Anzahl von
Blättern oder Plättchen aus der temporär gebundenen, isolierenden Keramikzusammensetzung verwendet werden kann/ die mit
dem gewünschten Muster der sich in der Hitze verflüchtigenden Pseudoleiter bedruckt oder in anderer Weise versehen sind. Somit
können Strukturen gebildet werden, die auf einer Reihe unterschiedlicher Ebenen oder Schichten Leiter aufweisen. Die
Dicke der Keramikschichten und der pseudoleitenden überzüge können innerhalb eines relativ weiten Bereiches variieren. Im
allgemeinen besitzen die Schichten oder Plättchen eine Dicke im Bereich von etwa 0,05 mm bis etwa 0,25 mm, während die Pseudoleiter
eine Dicke von etwa 0,007 bis etwa 0,04 mm aufweisen.
Hieraus ist zu erkennen, daß relativ dünne Strukturen viele Leiter enthalten können. Die Breite der Pseudoleiter und damit
der Kanäle für das leitende Material kann ebenfalls beliebig variiert werden. Jedoch besitzen diese Kanäle in im wesentlichen
509822/0578
sämtlichen Fällen Querschnitte, die, verglichen mit dem Matrixkörper
klein sind und verlaufen im allgemeinen senkrecht zu der Richtung, in der der Körper am dünnsten ist. Wegen der relativen
Dünnheit der Kanäle, gegenüber ihrer Breite und Länge, können sie als planare Hohlräume angesehen werden.
Wie bereits erwähnt, sind verschiedene Abänderungen und/oder Modifizierungen des in den Beispielen 1 und 2 angegebenen Verfahren
möglich. Zum Beispiel kann man statt eine Schicht aus einem sich in der Hitze verflüchtigenden Material auf kleinen
gebundenen Keramikplättchen, wie den in Beispiel 1 verwendeten, nach dem Siebdruckverfahren aufzudrucken, kleine Plättchen aus
einem geeigneten, vorgebildeten, in der Hitze zersetzbaren Kunststoff ilm geeigneter Größe und Form, der ein feines brennbares
Material enthält, in geeigneter Weise zwischen die Plättchen einbringen, wenn ein Plättchenstapel aufgebaut wird. Andererseits
können die Schichten aus dem sich in der Hitze verflüchtigenden Material gewünschtenfalls auch durch Aufmalen oder Aufsprühen
aufgebracht werden. Als weiteres Alternativverfahren kann eine aus dem sich in der Hitze verflüchtigenden Material
bestehende Schicht in geeigneter Weise auf beiden Seiten eines Plättchens aus einem gebundenen dielektrischen oder isolierenden
Keramikmaterial aufgetragen werden, so daß es nicht erforderlich ist, beim Aufstapeln der Plättchen solche Schichten
auf die Plättchen oberhalb und unterhalb dieser Schicht aufzubringen. Um den dünnen Chips einen physikalischen Schlitz
zu verleihen und ihre Bruchbeständigkeit zu erhöhen, können ein oder mehrere Extraplättchen ohne Schichten oder Abscheidungen
aus dem sich in der Hitze verflüchtigenden Material in den gebildeten Stapel eingebaut werden. Obwohl bei der Bildung
der mehrschichtigen Schaltkreisstrukturen die Leitermuster im allgemeinen in den verschiedenen Ebenen unterschiedlich
sein können und üblicherweise auch sind, ist es im allgemeinen erwünscht, daß bei den erfindungsgemäß hergestellten Kondensatoren
sämtliche inneren Elektroden im wesentlichen die gleiche Größe und Form aufweisen. Diese Einheitlichkeit erleichtert
die Produktion und hilft sicherstellen, daß die erhaltenen Pro-
50 9 822/0 5.7 8
dukte eine einheitliche Kapazität besitzen.
Es versteht sich, daß die Zusammensetzungen in einem weiten Bereich verändert werden können, die zur Bildung der dielektrischen
oder isolierenden Plättchen und der Pseudoleiter verwendet werden, die bei der erfindungsgemäßen Bildung der Keramikmatrices
eingesetzt werden. Weiter oben sind bereits eine Reihe von geeigneten Keramikmaterialien angegeben. Ebenso ist eine
große Anzahl von Medien oder Trägermaterialien vorhanden, die als sich in der Hitze verflüchtigende Bindematerialien für diese
Keramikmaterialien eingesetzt werden können. Viele Produkte dieser Art sind im Handel erhältlich oder können ohne weiteres
von dem Fachmann hergestellt werden. Im wesentlichen besteht der Zweck dieser Medien und Trägermaterialien darin, die zur
Bildung der Plättchen und/oder Schichten verwendeten Teilchen zu suspendieren und dispergieren und ein temporäres, sich:
in der Hitze verflüchtigendes Bindemittel dafür während der Herstellung der Plättchen und/oder Schichten und der Herstellung
der ungebrannten Keramikkörper aus einer Vielzahl von solchen Plättchen und Schichten zu stellen. Aus den
gesinterten Keramikkörpern ist das temporäre Bindemittel verschwunden. Demzufolge wird.das Medium und/oder das Trägermittel
insbesondere im Hinblick auf die Zugänglichkeit und die Bequemlichkeit ausgewählt.
Da der Zweck der pseudoleitenden Schicht darin besteht, eine Stütze für die keramikhaltigen Plättchen oder Schichten zu
bilden oder diese zu trennen, bis sie selbsttragend sind, so daß die gewünschten Hohlräume oder Kanäle nach dem zur Beseitigung
der sich in der Hitze verflüchtigenden Materialien durchgeführten Heizzyklus in den gesinterten Matrices zurückbleiben,
sollten die Pseudoleiter die temporär gebundenen Keramikblätter oder Plättchen nicht in nachteiliger Weise angreifen und sollten
so lange vorhanden bleiben, bis die Plastizität der Blätter oder Plättchen in einem solchen Ausmaß abgenommen hat, daß die Blätter
oder Plättchen steif sind und sich nicht verformen oder
509822/0578
durchhängen, wodurch die Hohlräume oder Kanäle verschlossen werden
könnten. Wenn das zum Aufdrucken der Pseudoleiter verwendete filmbildende Material diesem Erfordernis nicht entspricht, ist
es notwendig, ein teilchenförmiges, sich in der Hitze verflüchtigendes Material, das diesen Erfordernissen entspricht,
zuzusetzen, wobei eine solche Menge dieses Materials zu der pseudoleitenden Zusammensetzung zugesetzt wird, daß sich das
gewünschte Ergebnis einstellt. Bei der Auswahl eines solchen teilchenförmigen, sich in der Hitze verflüchtigenden Materials,
ist es jedoch von Bedeutung, jene Materialien zu vermeiden, die beim Verbrennen merkliche Mengen Asche hinterlassen, die
Elemente enthält, die für die dielektrische oder isolierende Zusammensetzung in den Keramikplättchen oder -schichten schädlich
sind- Im allgemeinen sind für diesen Zweck feine Teilchen aus Kohlenstoff oder einem verkohlbaren Material, wie beispielsweise
Stärke oder Cellulose, geeignet. Unter der großen Anzahl von sich in der Hitze verflüchtigenden, filmbildenden
Materialien, die zusammen mit derartigen teilchenförmigen Materialien zur Bildung der sich in der Hitze verflüchtigenden Schichten
oder Abscheidungen eingesetzt werden können, sind insbesondere zu erwähnen Äthylcellulose, Acryloidharze und Polyvinylalkohol.
Ein für das filmbildende Material geeignetes Lösungsmittel wird in einer solchen Menge verwendet, daß die Zusammensetzung
die gewünschte Viskosität annimmt.
Wie bereits erwähnt, können in gewissen Fällen die Hohlräume oder Kanäle zwischen den Keramikschichten durch die Verwendung
vorgebildeter, sich in der Hitze verflüchtigender Filme gebildet werden, wozu man einen dünnen Harzfilm verwenden kann, der
beispielsweise feine Kohlenstoffteilchen enthält. Für diesen Zweck kann man auch eine dünne Abscheidung aus einer Mischung
aus feinem, körnigem, brennbarem Material, wie Kohlenstoff, die kein Bindemittel enthält, verwenden und die mit dem gewünschten
Muster auf den Keramikplättchen oder -blättern aufgebracht ist. Der hierin verwendete Ausdruck "sich in der Hitze verflüchtigendes"
Material umfaßt ein Material, das sich unter den angegebenen
509822/0578
-Zb —
Verfahrensbedingungen verflüchtigt oder vollständig, gegebenenfalls
im Rahmen einer Oxidation, zu sich verflüchtigenden Produkten umgewandelt wird. .
Wie bereits angegeben, ist das bei der Herstellung der Kondensatoren
zur Bildung der inneren Elektroden in die dünnen Hohlräume oder zur Bildung der Leiter in den Schaltkreisstrukturen
in die Kanäle eingeführte leitende Material vorzugsweise ein Metall. Dieser Ausdruck umfaßt die reinen Metalle und auch Legierungen
und kann in gewissen Fällen auch Halbmetalle oder Metalloide, z. B. Germanium, einschließen. Geeignete Metalle
umfassen Blei, Zinn, Zink, Aluminium, Silber und Kupfer. Das verwendete Metall sollte einen Schmelzpunkt haben, der niedriger
liegt als die beim Sintern der Keramik der Matrix verwendete maximale Temperatur und sollte auch nicht in schädlicher Weise
mit den Bestandteilen der Matrix reagieren.
Der hierin verwendete Ausdruck "dicht" bedeutet, daß das Material im wesentlichen kein Wasser absorbiert, wenn es in Wasser
eingetaucht wird. Das Wort "dünn" ist ein relativer Begriff, der im Hinblick auf beispielsweise die Keramikschichten für
eine Dicke im Bereich von 0,5 mm oder weniger steht. Solche Schichten können jedoch für bestimmte Zwecke dicker sein.
Die Ausdrücke "oberer", "unterer", "Oberseite", "Unterseite", "rechts", "links", "oberhalb", "unterhalb" und ähnliche Ausdrücke
der Anordnung und/oder Richtung, wie sie hierin in bezug auf die beigefügten Zeichnungen verwendet wurden, dienen nur der
Erleichterung des Verständnisses und sollen in keiner Weise eine Beschränkung der Erfindung herbeiführen.
In der obigen Beschreibung und den folgenden Ansprüchen sind alle Teile und Prozentteile auf das Gewicht bezogen.
509822/0578
Claims (13)
- . 4- 4JDR. MÜLLER-BORE · DIPL.-ING. GROENING 2445086 DIPIi.-CHEM. DR. DEUFEL · DIPL-CHEM. DR. SCHÖN DIPL.-PHYS. HERTEIiPATEN TANWÄLT E17. Januar 1975NL Industries, Inc.Κ/Ν 18-17PatentansprücheΓ 1 Λ Einheitlicher, gesinterter, für die Herstellung eines Kondensators geeigneter Keramikkörper, gekennzeichnet durch eine Vielzahl dünner übereinander liegender Schichten aus dichtem dielektrischem Material, wobei wesentliche Bereiche der einander gegenüberliegenden Oberflächen von mindestens zwei dieser Schichten voneinander getrennt sind und einen dazwischenliegenden dünnen, im wesentlichen hindernisfreien Hohlraum bilden, wobei die oberhalb und unterhalb dieses Hohlraums liegenden Schichten über mehrere Randbereiche integral miteinander verbunden sind und außer über diese Randbereiche im wesentlichen nicht miteinander in Verbindung stehen; und eine in den Hohlraum führende öffnung in dem Körper.
- 2. Keramikkörper nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, daß sich die öffnung in einem Randbereich des Körpers befindet.
- 3. Keramikkörper nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl getrennter dielektrischer Schichten vorliegt, die eine Vielzahl dünner, im wesentlichen• 509822/0578hindernisfreier Hohlräume zwischen wesentlichen Bereichen der daran angrenzenden Oberflächen bilden und der Körper eine in jeden der Hohlräume führende öffnung aufweist.
- 4. Keramikkörper nach Anspruch 3, dadurch gekennz eichnet, daß sich mindestens einer der öffnungen in einem Randbereich des Körpers befindet.
- 5. Keramikkörper nach Anspruch 3, dadurch gekennz e.i c h η e t, daß eine Vielzahl der öffnungen in Randbereichen des Körpers vorliegt und die benachbarten öffnungen der Vielzahl von öffnungen in unterschiedlichen Randbereichen vorliegen.
- 6. Keramikkörper nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einige der Hohlräume dunner sind als mindestens eine der Schichten.
- 7. Keramikkörper nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Flächen der Hohlräume im wesentlichen gleich groß sind.
- 8. Keramikkörper nach Anspruch 3f dadurch geke.nnz eichnet, daß die dielektrischen Schichten ein Titanat enthalten.
- 9. Keramikkörper nach Anspruch 8, dadurch geken η zeichnet, daß die dielektrischen Schichten Bariumtitanat enthalten.
- 10. Verfahren zur Herstellung des Keramikkörper nach den Ansprüchen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß man eine Vielzahl von dünnen Plättchen aus einer feinyerteilten Keramikzusammensetzung, die mit einem sich in der Hitze verflüchtigenden Bindemittel gebunden ist und beim Brennen auf Sintertemperaturen eine dichte, dielektrische Schicht bildet, herstellt; einen verfestigten Stapel bildet,509822/0578der aus einer Vielzahl der Plättchen besteht, wobei zwischen mindestens zwei der Plättchen eine dünne Schicht eingeschoben ist, die aus einem sich in der Hitze verflüchtigenden Material besteht und eine geringere Fläche aufweist, als die daran angrenzenden Plättchen, wobei die Plättchen derart angeordnet sind, daß der überwiegende Anteil der Ränder der an die Schicht angrenzenden Plättchen miteinander in Berührung steht und die Schicht sich bis zu einem Randbereich des verfestigten Stapels erstreckt; den verfestigten Stapel unter geeigneten Bedingungen bei Temperaturen brennt, die so hoch liegen, daß die sich in der Hitze verflüchtigenden Materialien entfernt und die Keramikzusammensetzung gesintert werden, wodurch ein einheitlicher, gesinterter Keramikkörper gebildet wird, der eine Vielzahl dünner Schichten aus dichtem dielektrischem Material aufweist, wobei wesentliche Bereiche der gegenüberliegenden Oberflächen von mindestens zwei der Schichten voneinander getrennt sind und einen dazwischenliegenden, im wesentlichen ununterbrochenen Hohlraum bilden, und wobei die getrennten Schichten lediglich über ihre Randbereiche miteinander verbunden sind.
- 11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl zwischen einem Paar benachbarter Plättchen liegender dünner Schichten gebildet wird, die eine kleinere Fläche aufweisen als die daran angrenzenden Plättchen, wobei die Plättchen so angeordnet sind, daß der überwiegende Anteil der Ränder der an die Schichten angrenzenden Plättchen einander berührt und aufeinanderfolgende Schichten sich bis zu unterschiedlichen Randbereichen des verfestigten Stapels hin erstrecken, wodurch beim Sintern ein einheitlicher, gesinterter Keramikkörper gebildet wird, der eine Vielzahl dünner Schichten aus. dichtem dielektrischem Material umfaßt, die voneinander getrennt sind und dazwischenliegende, im wesentlichen hindernisfreie Hohlräume ergeben, und wobei die Schichten lediglich über ihre Randbereiche miteinander, verbunden sind..5 09822/0578 .
- 12. Verfahren zur Herstellung von Keramikkörpern nach den
Ansprüchen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß man eine Vielzahl von dünnen Blättern aus einer• feinverteilten Keramikzusaromensetzung, die mit einem sich
in der Hitze verflüchtigenden Bindemittel gebunden ist und zu einer dichten, dielektrischen Schicht gesintert werden
kann, herstellt; auf einer Vielzahl von Bereichen auf jedem der Blätter der Vielzahl einen Überzug aufträgt, der aus
einem sich in der Hitze verflüchtigenden Material besteht; einen Stapel bildet, der eine Vielzahl der beschichteten
Blätter aufweist, wobei mindestens gewisse der in Form einer Schicht aufgetragenen Bereiche auf den beschichteten Blättern teilweise übereinander zu liegen kommen; den Stapel verfestigt; den verfestigten Stapel unter geeigneten
Bedingungen bei Temperaturen brennt, die so hoch liegen,
daß die sich in der Hitze verflüchtigenden Materialien
entfernt und die Keramikzusammensetzung zu einem monolithischen Block gesintert werden; und den Block in kleinere
Körper aufteilt, die jeweils eine Vielzahl dünner Schichten aus dichtem dielektrischem Material aufweisen, wobei
wesentliche Bereiche der benachbarten Oberflächen einer Vielzahl der Schichten voneinander getrennt sind und dazwischenliegende, im wesentlichen hinternisfreie Hohlräume bilden, wobei jeder der Hohlräume sich bis zu einem Randbereich
des Körpers erstreckt und ein davon verschiedener Hohlraum sich zu einem Randbereich einer Vielzahl verschiedener
Randbereiche hin erstreckt. - 13. Verfahren zur Herstellung von Keramikkörpern nach den
Ansprüchen 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß man eine Vielzahl von dünnen Blättern aus einer feinverteilten Keramikzusammensetzung, die mit einem sich
in der Hitze verflüchtigenden Bindemittel· gebunden ist und zu einer dichten, dielektrischen Schicht gesintert werden
kann, herstellt; auf einer Vielzahl von Bereichen eines
jeden Blattes der Vielzahl von Blättern einen Überzug auftragt, der aus einem sich in der Hitze verflüchtigenden509822/0578-s-Material besteht; einen Stapel bildet, der eine Vielzahl der beschichteten Blätter aufweist, wobei mindestens gewisse der beschichteten Bereiche auf den beschichteten Blättern teilweise übereinanderliegen; den Stapel zu einem ungebrannten Block verfestigt; den ungebrannten Block durch vertikale Schnitte zu einer Vielzahl von kleinen Körpern oder Chips zerteilt, bei denen mindestens einer der beschichteten Bereiche auf einem der Vielzahl der Randbereiche frei zutageliegt; die Chips unter geeigneten Bedingungen bei Temperaturen brennt, die so hoch liegen, daß die sich in der Hitze verflüchtigenden Materialien entfernt und die Keramikzusammensetzung gesintert werden, wodurch einheitliche, gesinterte Keramikchips gebildet werden, von denen jeder eine Vielzahl dünner Schichten aus dichtem, dielektrischem Material umfaßt, wobei wesentliche Bereiche der einander gegenüberliegenden Oberflächen einer Vielzahl der Schichten in jedem Chip voneinander getrennt sind und dazwischenliegende, im wesentlichen hindernisfreie Hohlräume bilden, die sich bis zu den Endbereichen des Chips hin erstrecken, und wobei die getrennten Schichten lediglich über ihre Randbereiche miteinander verbunden sind.509822/0578
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US40024273A | 1973-09-24 | 1973-09-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2445086A1 true DE2445086A1 (de) | 1975-05-28 |
DE2445086C2 DE2445086C2 (de) | 1985-11-21 |
Family
ID=23582798
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2461997A Expired DE2461997C2 (de) | 1973-09-24 | 1974-09-20 | Verfahren zur Herstellung eines Keramikschichtkondensators |
DE2461995A Expired DE2461995C3 (de) | 1973-09-24 | 1974-09-20 | Mehrschichtige Schaltkreisstruktur und Verfahren zu ihrer Herstellung |
DE2445086A Expired DE2445086C2 (de) | 1973-09-24 | 1974-09-20 | Verfahren zur Herstellung eines für die Herstellung eines Kondensators geeigneten Keramikkörpers |
DE19742461996 Pending DE2461996A1 (de) | 1973-09-24 | 1974-09-20 | Mehrschichtige schaltkreisstrukturmatrix und verfahren zu ihrer herstellung |
Family Applications Before (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2461997A Expired DE2461997C2 (de) | 1973-09-24 | 1974-09-20 | Verfahren zur Herstellung eines Keramikschichtkondensators |
DE2461995A Expired DE2461995C3 (de) | 1973-09-24 | 1974-09-20 | Mehrschichtige Schaltkreisstruktur und Verfahren zu ihrer Herstellung |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19742461996 Pending DE2461996A1 (de) | 1973-09-24 | 1974-09-20 | Mehrschichtige schaltkreisstrukturmatrix und verfahren zu ihrer herstellung |
Country Status (18)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6258124B2 (de) |
AR (1) | AR216889A1 (de) |
AU (1) | AU500529B2 (de) |
BE (1) | BE820287A (de) |
BR (1) | BR7407820D0 (de) |
CH (1) | CH586994A5 (de) |
DE (4) | DE2461997C2 (de) |
ES (3) | ES430301A1 (de) |
FR (1) | FR2245063B1 (de) |
GB (1) | GB1486308A (de) |
IE (1) | IE40174B1 (de) |
IL (1) | IL45512A (de) |
IN (1) | IN143579B (de) |
IT (1) | IT1022218B (de) |
NL (1) | NL162504C (de) |
NO (1) | NO743408L (de) |
SE (4) | SE7411924L (de) |
ZA (1) | ZA745838B (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2829038A1 (de) * | 1977-07-01 | 1979-01-11 | Lucas Industries Ltd | Vorrichtung zur anzeige des ladezustands einer batterie |
DE3015356A1 (de) * | 1980-04-22 | 1981-10-29 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Freitragende schichten sowie verfahren zur herstellung freitragender schichten, insbesondere fuer sensoren fuer brennkraftmaschinen |
DE3613958A1 (de) * | 1985-04-25 | 1986-10-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo, Kyoto | Schichtweise aufgebauter keramikkondensator und verfahren zu seiner herstellung |
WO1993000713A1 (de) * | 1991-06-28 | 1993-01-07 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum herstellen einer freitragenden dickschichtstruktur |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53210A (en) * | 1976-06-23 | 1978-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | Ceramic multiilayer structures and manufacture |
JPS6057212B2 (ja) * | 1976-07-29 | 1985-12-13 | タム セラミツクス インコ−ポレイテツド | 単一焼結セラミック体およびその製造方法 |
US4289719A (en) * | 1976-12-10 | 1981-09-15 | International Business Machines Corporation | Method of making a multi-layer ceramic substrate |
GB2103422B (en) * | 1981-07-30 | 1985-02-27 | Standard Telephones Cables Ltd | Ceramic capacitors |
JP3980801B2 (ja) * | 1999-09-16 | 2007-09-26 | 株式会社東芝 | 三次元構造体およびその製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2939059A (en) * | 1955-03-21 | 1960-05-31 | Clevite Corp | Capacitor of high permittivity ceramic |
DE1141719B (de) * | 1955-03-21 | 1962-12-27 | Clevite Corp | Keramischer Kondensator und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE2218170A1 (de) * | 1971-04-16 | 1972-11-30 | Nl Industries Inc | Monolithischer Kondensator |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL294447A (de) * | 1964-06-22 |
-
1974
- 1974-08-21 IL IL45512A patent/IL45512A/en unknown
- 1974-09-13 ZA ZA00745838A patent/ZA745838B/xx unknown
- 1974-09-16 IN IN2052/CAL/74A patent/IN143579B/en unknown
- 1974-09-17 IE IE1929/74A patent/IE40174B1/xx unknown
- 1974-09-17 AU AU73375/74A patent/AU500529B2/en not_active Expired
- 1974-09-20 DE DE2461997A patent/DE2461997C2/de not_active Expired
- 1974-09-20 BR BR7820/74A patent/BR7407820D0/pt unknown
- 1974-09-20 DE DE2461995A patent/DE2461995C3/de not_active Expired
- 1974-09-20 DE DE2445086A patent/DE2445086C2/de not_active Expired
- 1974-09-20 DE DE19742461996 patent/DE2461996A1/de active Pending
- 1974-09-21 JP JP49109444A patent/JPS6258124B2/ja not_active Expired
- 1974-09-23 ES ES430301A patent/ES430301A1/es not_active Expired
- 1974-09-23 IT IT27592/74A patent/IT1022218B/it active
- 1974-09-23 NO NO743408A patent/NO743408L/no unknown
- 1974-09-23 SE SE7411924A patent/SE7411924L/xx unknown
- 1974-09-23 CH CH1282774A patent/CH586994A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1974-09-23 FR FR7432066A patent/FR2245063B1/fr not_active Expired
- 1974-09-24 AR AR255732A patent/AR216889A1/es active
- 1974-09-24 GB GB41564/74A patent/GB1486308A/en not_active Expired
- 1974-09-24 NL NL7412599.A patent/NL162504C/xx not_active IP Right Cessation
- 1974-09-24 BE BE148847A patent/BE820287A/xx unknown
-
1976
- 1976-06-30 ES ES449379A patent/ES449379A1/es not_active Expired
- 1976-06-30 ES ES449378A patent/ES449378A1/es not_active Expired
-
1978
- 1978-01-02 SE SE7800027A patent/SE7800027L/xx unknown
- 1978-01-02 SE SE7800028A patent/SE7800028L/xx unknown
- 1978-01-02 SE SE7800026A patent/SE7800026L/xx unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2939059A (en) * | 1955-03-21 | 1960-05-31 | Clevite Corp | Capacitor of high permittivity ceramic |
DE1141719B (de) * | 1955-03-21 | 1962-12-27 | Clevite Corp | Keramischer Kondensator und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE2218170A1 (de) * | 1971-04-16 | 1972-11-30 | Nl Industries Inc | Monolithischer Kondensator |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Radio-Mentor 34. Jg. (1968) Heft 3, S. 160-161 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2829038A1 (de) * | 1977-07-01 | 1979-01-11 | Lucas Industries Ltd | Vorrichtung zur anzeige des ladezustands einer batterie |
DE3015356A1 (de) * | 1980-04-22 | 1981-10-29 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Freitragende schichten sowie verfahren zur herstellung freitragender schichten, insbesondere fuer sensoren fuer brennkraftmaschinen |
DE3613958A1 (de) * | 1985-04-25 | 1986-10-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd., Nagaokakyo, Kyoto | Schichtweise aufgebauter keramikkondensator und verfahren zu seiner herstellung |
US4771520A (en) * | 1985-04-25 | 1988-09-20 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of producing laminated ceramic capacitors |
WO1993000713A1 (de) * | 1991-06-28 | 1993-01-07 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum herstellen einer freitragenden dickschichtstruktur |
US5458911A (en) * | 1991-06-28 | 1995-10-17 | Robert Bosch Gmbh | Method of producing a self-suporting thick-film structure |
Also Published As
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2264943C3 (de) | Mehrlagiger Schaltungsaufbau und Verfahren zur Herstellung desselben | |
DE3738343C2 (de) | ||
DE1903819A1 (de) | Aus Keramik und Metall zusammengesetztes Verbundgebilde | |
DE2631054C2 (de) | Verfahren zur Herstellung monolithischer Kondensatoren mit einer Dielektrizitätskonstanten von mindestens 1000 und einem dielektrischen Verlustfaktor von nicht über 5% | |
DE3841131A1 (de) | Verbesserter varistor oder kondensator und verfahren zu seiner herstellung | |
DE2451236C2 (de) | Verfahren zum Herstellen keramischer Substrate | |
DE1291674B (de) | Edelmetallpaste zur Herstellung von keramischen Mehrfachkondensatoren | |
DE2445087A1 (de) | Fuer die herstellung eines kondensators geeigneter keramikkoerper und verfahren zu seiner herstellung | |
DE4108535A1 (de) | Varistoren | |
DE1281601B (de) | Verfahren zum Herstellen einer Magnetelementmatrix | |
DE2420438A1 (de) | Kondensator und seine herstellung | |
DE4108471A1 (de) | Varistoranordnungen | |
DE3226623A1 (de) | Verfahren zur herstellung von vielschicht-keramik-kondensatoren | |
DE2445086A1 (de) | Fuer die herstellung eines kondensators geeigneter keramikkoerper und verfahren zu seiner herstellung | |
DE3428259C2 (de) | ||
DE1514021A1 (de) | Verfahren zum Herstellen von insbesondere in mikroelektronischen Vorrichtungen zu verwendenden Kondensatoren | |
DE2657338A1 (de) | Kondensator mit einer elektrode, die nickel enthaelt | |
DE1301378B (de) | Verfahren zur Herstellung vielschichtiger elektrischer Schaltungselemente auf keramischer Basis | |
DE2462008C3 (de) | Mehrschichtige Schaltkreisstruktur und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE2301277A1 (de) | Verfahren zum herstellen mehrschichtiger verbindungskonstruktionen, z.b. fuer integrierte halbleiterschaltkreise | |
DE2462006C3 (de) | Mehrschichtige Schaltkreisstrukturmatrix und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE2462007C2 (de) | Einstückiger Schichtkondensator und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE2323921C3 (de) | Gesinterter, einheitlicher keramischer Körper und Verfahren zur Herstellung desselben | |
DE2218170C3 (de) | Monolithischer Kondensator und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE2323921A1 (de) | Keramischer, dielektrischer oder isolierender koerper |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OGA | New person/name/address of the applicant | ||
D2 | Grant after examination | ||
AH | Division in |
Ref country code: DE Ref document number: 2461997 Format of ref document f/p: P |
|
8364 | No opposition during term of opposition |