DE112008001350T5

DE112008001350T5 - Kalibrieren von Phasenschwankungen

Info

Publication number: DE112008001350T5
Application number: DE112008001350T
Authority: DE
Inventors: Ronald A. Andover Sartschev; Ernest P. Weston WALKER; Li Westlake Village Huang
Original assignee: Teradyne Inc
Current assignee: Teradyne Inc
Priority date: 2007-05-18
Filing date: 2008-05-16
Publication date: 2010-06-10
Anticipated expiration: 2028-05-17
Also published as: CN101682431A; JP2010528266A; US7991046B2; US20080285636A1; JP5319665B2; CN101682431B; TW200905227A; DE112008001350B4; WO2008144486A1; TWI418824B

Abstract

Verfahren zum Kalibrieren von Phasenschwankungen in einem Kommunikationskanal zwischen einer Testeinrichtung und einer Verbindung zu einer zu testenden Baugruppe (DUT), mit folgenden Verfahrensschritten:
Abtasten von Testdaten in dem Kommunikationskanal im Bereich eines Punktes der Verbindung, um Abtastdaten zu erzeugen, wobei die Testdaten mit einer ersten Rate durch den Kommunikationskanal wandern und die Testdaten mit einer zweiten Abtastrate abgetastet werden, die niedriger als die erste Rate ist;
Bestimmen einer ersten Phasenschwankungsmenge in den Abtastdaten im Verhältnis zu den Testdaten; und
Bestimmen einer zweiten Phasenschwankungsmenge im Bereich des Punktes der Verbindung auf der Basis der ersten Phasenschwankungsmenge.

Description

Technisches Gebiet
Diese Patentanmeldung bezieht sich allgemein auf das Kalibrieren von Phasenschwankungen und insbesondere auf das Kalibrieren von Phasenschwankungen in einem Kommunikationskanal.
Hintergrund
Der Begriff automatische Testeinrichtung (ATE) bezieht sich auf eine automatisierte, im Allgemeinen rechnergestützte Herangehensweise an Testeinrichtungen wie beispielsweise Halbleiter, elektronische Schaltungen und gedruckte Schaltungsanordnungen. Eine durch eine ATE getestete Einrichtung wird als Baugruppe im Test (device under test: DUT) bezeichnet.
Bei einer Testmöglichkeit fügt die ATE einem Testsignal Phasenschwankungen hinzu und beobachtet die Reaktion der DUT auf die Phasenschwankung. Tests dieser Art zeigen an, wie tolerant die DUT gegenüber Phasenschwankungen ist. Probleme ergeben sich jedoch aufgrund von Phasenschwankungen, die entlang des Kommunikationspfades zwischen der ATE und der DUT in das Testsignal eingefügt werden. Genauer gesagt resultiert aus der Phasenschwankung, die entlang des Kommunikationspfades in das Testsignal eingefügt wurde, dass die Phasenschwankung in dem Testsignal an einer Verbindung zur DUT anders ist als die Phasenschwankung, von dem die ATE annimmt, dass sie in dem Testsignal sei, d. h. die Phasenschwankung, die die ATE dem Testsignal hinzugefügt hat. Diese Diskrepanz zwischen der tatsächlich auftretenden Phasenschwankung und der erwarteten Phasenschwankung kann das durch die ATE durchgeführte Testen ungünstig beeinflussen.
Zusammenfassung
Diese Patenanmeldung beschreibt das Kalibrieren von Phasenschwankungen in einem Kommunikationskanal zwischen einer Testeinrichtung und einer zu testenden Baugruppe (DUT).
Im Allgemeinen beschreibt diese Patenanmeldung ein Verfahren zum Kalibrieren von Phasenschwankungen in einem Kommunikationskanal zwischen einer Testeinrichtung und einer Verbindung zu einer zu testenden Baugruppe (DUT). Das Verfahren weist folgende Schritte auf: Abtasten von Testdaten in dem Kommunikationskanal im Bereich eines Punktes der Verbindung, um Abtastdaten zu erzeugen. Die Testdaten wandern mit einer ersten Rate durch den Kommunikationskanal, und die Testdaten werden mit einer zweiten Abtastrate abgetastet, die niedriger als die erste Rate ist. Das Verfahren enthält auch das Bestimmen einer ersten Phasenschwankungsmenge in den Abtastdaten im Verhältnis zu den Testdaten und das Bestimmen einer zweiten Phasenschwankungsmenge, auf der Basis der ersten Phasenschwankungsmenge, im Bereich des Punktes der Verbindung. Das Verfahren kann auch eines oder mehrere der folgenden Merkmale enthalten, und zwar einzeln oder in Kombination.
Die erste Phasenschwankungsmenge kann eine dritte Phasenschwankungsmenge enthalten, die während der Abtastung eingeführt wird. Das Bestimmen der zweiten Phasenschwankungsmenge kann die Verarbeitung der ersten Phasenschwankungsmenge einschließen, um die Wirkung der dritten Phasenschwankungsmenge im Wesentlichen zu entfernen.
Die dritte Phasenschwankungsmenge (J₃) kann eine Phasenschwankung (J₄) enthalten, die durch eine Einrichtung zur Abtastung eingeführt wird, und eine Phasenschwankung (J₅), die durch einen Abtastimpuls zur Taktung der Einrichtung eingeführt wird. Die zweite Phasenschwankungsmenge (J₂) kann wie folgt bestimmt werden: J2 = √(J1 2 – J4 2 – J5 2),hierbei entspricht J₁ der ersten Phasenschwankungsmenge.
Die dritte Phasenschwankungsmenge (J₃) kann eine Phasenschwankung (J₄) enthalten, die durch eine Einrichtung zur Abtastung eingeführt wird. Die zweite Phasenschwankungsmenge (J₂) kann wie folgt bestimmt werden: J2 = √(J1 2 – J4 2),hierbei entspricht J₁ der ersten Phasenschwankungsmenge.
Die Einrichtung zur Abtastung kann einen verriegelten Komparator und/oder ein D-Flip-Flop enthalten. Das Verfahren kann außerdem das Hinzufügen von Phasenschwankungen zu den Testdaten einschließen. Die Phasenschwankungen können mindestens eine der beiden enthalten: periodische Phasenschwankungen oder deterministische Phasenschwankungen.
Im Allgemeinen beschreibt diese Patenanmeldung auch ein System zum Kalibrieren von Phasenschwankungen in einem Kommunikationskanal. Das System enthält folgende Merkmale: eine Abtasteinrichtung zum Abtasten von Testdaten in dem Kommunikationskanal zur Erzeugung von Abtastdaten. Die Abtasteinrichtung kann zum Abtasten der Testdaten im Bereich eines Punktes der Verbindung zwischen der zu testenden Baugruppe (DUT) und dem Kommunikationskanal eingerichtet sein. Die Testdaten wandern mit einer ersten Rate durch den Kommunikationskanal und die Testdaten werden mit einer zweiten Abtastrate abgetastet, die niedriger als die erste Rate ist. Das System enthält außerdem einen Prozessor, der Folgendes ausführt: Bestimmen einer ersten Phasenschwankungsmenge in den Abtastdaten im Verhältnis zu den Testdaten und Bestimmen einer zweiten Phasenschwankungsmenge im Bereich des Punktes der Verbindung auf der Basis der ersten Phasenschwankungsmenge. Das System kann auch eines oder mehrere der folgenden Merkmale enthalten, und zwar einzeln oder in Kombination.
Die erste Phasenschwankungsmenge kann eine dritte Phasenschwankungsmenge enthalten, die während der Abtastung eingeführt wird. Das Bestimmen der zweiten Phasenschwankungsmenge kann die Verarbeitung der ersten Phasenschwankungsmenge einschließen, um die Wirkung der dritten Phasenschwankungsmenge im Wesentlichen zu entfernen.
Die dritte Phasenschwankungsmenge (J₃) kann eine Phasenschwankung (J₄) enthalten, die durch eine Einrichtung zur Abtastung eingeführt wird, und eine Phasenschwankung (J₅), die durch einen Abtastimpuls zur Taktung der Einrichtung eingeführt wird. Die zweite Phasenschwankungsmenge (J₂) kann wie folgt bestimmt werden: J2= √(J1 2 – J4 2 – J5 2),hierbei entspricht J₁ der ersten Phasenschwankungsmenge.
Die dritte Phasenschwankungsmenge (J₃) kann eine Phasenschwankung (J₄) enthalten, die durch eine Einrichtung zur Abtastung eingeführt wird. Die zweite Phasenschwankungsmenge (J₂) kann wie folgt bestimmt werden: J2 = √(J1 2 – J4 2),hierbei entspricht J₁ der ersten Phasenschwankungsmenge.
Die Abtasteinrichtung kann einen verriegelten Komparator und/oder ein D-Flip-Flop enthalten. Das System kann eine Prüfeinrichtung enthalten, um den Testdaten Phasenschwankungen hinzuzufügen. Die Phasenschwankungen können mindestens eine der beiden enthalten: periodische Phasenschwankungen oder deterministische Phasenschwankungen.
Die Abtasteinrichtung kann zum Abtasten der Testdaten in Übereinstimmung mit einem Taktsignal eingerichtet sein. Das System kann eine Taktverteilereinrichtung zum Empfang des Taktsignals und zum Liefern des Taktsignals an die Abtasteinrichtung enthalten.
Im Allgemeinen beschreibt diese Patenanmeldung auch eine automatische Testeinrichtung (ATE) mit folgenden Merkmalen: eine Baugruppen-Schnittstellenkarte mit einer Schnittstellenverbindung zum Verbinden mit der zu prüfenden Baugruppe (DUT), Anschlusselektronik zum Erzeugen von Testdaten zur Übertragung über einen Kommunikationskanal an die Schnittstellenverbindung, wobei die Testdaten Phasenschwankungen aufweisen, und eine mit der Schnittstellenverbindung verbundene Einrichtung anstelle der zu prüfenden Baugruppe (DUT). Die Einrichtung ist dazu ausgebildet, die Testdaten unter Benutzung der Unterratenabtasttechnik abzutasten, um Abtastdaten zu erzeugen. Ein Prozessor ist dazu ausgebildet (d. h. programmiert) die Abtastdaten zu benutzen, um eine Phasenschwankungsmenge in den Testdaten im Bereich eines der Schnittstellenverbindung entsprechenden Punktes zu bestimmen. Die automatische Testeinrichtung (ATE) kann auch eines oder mehrere der folgenden Merkmale enthalten, und zwar einzeln oder in Kombination.
Der Prozessor kann dazu ausgebildet sein, die Phasenschwankungsmenge durch Entfernen mindestens einer durch die Einrichtung erzeugten Phasenschwankung zu bestimmen und durch ein Taktsignal, das durch die Einrichtung zum Abtasten der Testdaten benutzt wird. Die Unterratenabtsttechnik kann eine schreitende Abtastung (walking strobe) aufweisen, bei der die Testdaten mit einer ersten Frequenz abgetastet werden, die niedriger als eine zweite Frequenz von Testdaten ist, wobei die erste Frequenz kein Vielfaches der zweiten Frequenz ist. Die Einrichtung kann mindestens einen der beiden enthalten: einen verriegelten Komparator oder ein D-Flip-Flop und/oder eine Taktverteilereinrichtung zum Empfang eines Taktsignals und zum Liefern des Taktsignals an die Einrichtung. Die Einrichtung kann dazu ausgebildet sein, die Abtastung in Übereinstimmung mit dem Taktsignal durchzuführen.
Details von einem oder mehreren Beispielen sind in den beigefügten Zeichnungen und der nachfolgenden Beschreibung dargestellt. Weitere Merkmale, Aspekte und Vorteile der Erfindung gehen aus der Beschreibung, den Zeichnungen und den Ansprüchen hervor.
Beschreibung der Zeichnungen
1 ist ein Blockdiagramm einer automatischen Testeinrichtung (ATE) für das Prüfen von Einrichtungen.
2 ist ein Blockdiagramm einer Testvorrichtung, wie sie in der ATE verwendet wird.
3 ist eine grafische Darstellung, die angibt, wie Phasenschwankungen ein Signal beeinflussen.
4 ist ein Blockdiagramm einer Schaltung, wie sie in einem Prozess zum Messen tatsächlich in einem Signal auftretender Phasenschwankungen etwa an einer Schnittstelle zu einer DUT verwendet wird.
5 ist eine grafische Darstellung, die das Walking-Strobe-Abtasten darstellt.
6 ist eine grafische Darstellung eines mit Hilfe von Walking-Strobe-Abtasten rekonstruierten Signals.
Gleiche Bezugszahlen in unterschiedlichen Figuren bezeichnen gleiche Elemente.
Detaillierte Beschreibung
In 1 enthält ein ATE-System 10 zum Testen einer Baugruppe im Test (DUT) 18, beispielsweise einer Halbleitereinrichtung, einen Tester 12. Um den Tester 12 zu steuern, enthält das System 10 ein Computersystem 14, das über eine Drahtverbindung 16 eine Schnittstelle mit dem Tester 12 besitzt. Generell sendet das Computersystem 14 Befehle an den Tester 12, um die Ausführung von Routineabläufen und Funktionen zum Testen der DUT 18 zu initiieren. Solche Durchführungstest-Routineabläufe können das Generieren und Übertragen von Testsignalen an die DUT 18 initiieren und Reaktionen von der DUT sammeln. Es können unterschiedliche Arten von DUTs durch das System 10 getestet werden. Beispielsweise kann es sich bei den DUTs um Halbleitereinrichtungen wie Chips mit integrierten Schaltungen (IC) handeln (z. B. um Speicherchips, Mikroprozessoren, Analog/Digital-Konverter, Digital/Analog-Konverter usw.)
Um Testsignale zu liefern und Reaktionen von der DUT anzunehmen, ist der Tester 12 mit einem oder mehreren Verbindungsstiften versehen, die eine Schnittstelle für die interne Schaltungsanordnung der DUT 18 darstellen. Zum Testen einiger DUTs können zum Beispiel bis zu vierundsechzig oder einhundertachtundzwanzig Verbindungsstifte (oder mehr) als Schnittstelle zum Tester 12 vorgesehen sein. Zur Illustration ist in diesem Beispiel der Halbleitereinrichtungstester 12 mit einem Verbindungsstift der DUT 18 über eine Drahtverbindung verbunden. Ein Leiter 20 (z. B. ein Kabel) ist mit dem Stift 22 verbunden und wird dazu benutzt, Testsignale (z. B. PMU DC-Testsignale, PE AC-Testsignale usw.) an die interne Schaltung einer DUT 18 zu liefern. Als Reaktion auf Testsignale, die vom Halbleitereinrichtungstester 12 geliefert wurden, tastet der Leiter 20 ebenfalls Signale am Stift 22 ab. Beispielsweise kann ein Spannungssignal oder ein Stromsignal am Stift 22 als Reaktion auf ein Testsignal abgetastet werden, das über den Leiter 20 zur Analyse an den Tester 12 gegeben wurde. Solche Einzelanschlusstests können auch an anderen Stiften, die in der DUT 18 enthalten sind, durchgeführt werden. Beispielsweise kann der Tester 12 Testsignale an andere Stifte liefern und zugehörige Signale, die über Leiter (die die ausgesendeten Signale übertragen) reflektiert werden, sammeln. Beim Sammeln der reflektierten Signale können die Eingangsimpedanz der Stifte sowie andere Einzelanschluss-Testeigenschaften festgestellt werden. In anderen Testaufbauten kann ein Digitalsignal über den Leiter 20 an den Stift 22 gegeben werden, um einen Digitalwert in der DUT 18 zu speichern. Ist er einmal gespeichert, kann über einen Zugriff auf die DUT 18 der gespeicherte Digitalwert wieder ausgelesen und über den Leiter 20 an den Tester 12 gesendet werden. Der wiederausgelesene Digitalwert kann dann identifiziert werden, um festzustellen, ob der richtige Wert in der DUT 18 gespeichert wurde.
Gemeinsam mit einer Messung an einem Anschluss kann auch ein Test an zwei Anschlüssen mit dem Halbleitereinrichtungstester 12 durchgeführt werden. Beispielsweise kann ein Testsignal über den Leiter 20 auf den Stift 22 gegeben werden und ein Antwortsignal von einem oder von mehreren anderen Stiften der DUT 18 entgegengenommen werden. Dieses Antwortsignal wird dem Halbleitereinrichtungstester 12 zugeleitet, um Quantitäten wie beispielsweise Verstärkungsverhalten, Phasenreaktion und andere Durchleitungsmessquantitäten festzustellen.
In 2 ist dargestellt, dass der Halbleitereinrichtungstester 12 eine Schnittstellenkarte 24 enthält, die mit zahlreichen Stiften kommunizieren kann, um Testsignale von einer Mehrzahl von Verbinderstiften einer DUT (oder einer Mehrzahl von DUTs) zu senden oder aufzunehmen. Beispielsweise kann die Schnittstellenkarte 24 Testsignale an zum Beispiel 32, 64 oder 128 Stifte übermitteln und entgegen nehmen. Jede Kommunika tionsverbindung an einen Stift wird üblicherweise als ein Kanal bezeichnet und indem Testsignale auf eine große Anzahl von Kanälen gegeben wird, wird die Testzeit reduziert, weil eine Mehrzahl von Tests gleichzeitig durchgeführt werden kann. Indem viele Kanäle auf einer Schnittstellenkarte zur Verfügung stehen und dann noch eine Mehrzahl von Schnittstellenkarten im Tester 12 enthalten ist, erhöht sich die Gesamtzahl der Kanäle, was die Testzeit weiter verkürzt. In diesem Beispiel sind zwei zusätzliche Schnittstellenkarten 26 und 28 gezeigt, um zu zeigen, dass eine Mehrzahl von Schnittstellenkarten in dem Tester 12 vorhanden sein kann.
Jede Schnittstellenkarte enthält einen zugeordneten Chip mit integrierter Schaltung (IC-Chip) (z. B. mit einer applikationsspezifischen integrierten Schaltung (ASIC) zum Durchführen besonderer Testfunktionen). Beispielsweise enthält die Schnittstellenkarte 24 ein IC-Chip 30 zum Durchführen parametrischer Messeinheiten-Tests (PMU-Tests) und Stiftelektronik-Tests (PE-Tests). Das IC-Chip 30 weist eine PMU-Stufe 32 auf, die eine Schaltungsanordnung zum Durchführen von PMU-Tests enthält, und eine PE-Stufe 34, die eine Schaltungsanordnung zum Durchführung von PE-Tests enthält. Zusätzlich enthalten die Schnittstellenkarten 26 bzw. 28 IC-Chips 36 und 38, die PMU- und PE-Schaltungsanordnungen enthalten. Üblicherweise erfordert das PMU-Testen das Zuführen eines Gleichspannungs- oder Gleichstromsignals an die DUT, um solche Quantitäten wie Eingangs- und Ausgangsimpedanz, Leckstrom und andere Arten von Gleichstrom-Leistungscharakteristika zu bestimmen. Zum PE-Testen gehört das Senden von Wechselstrom-Testsignalen oder Wellenformen an eine DUT (z. B. DUT 18) und das Empfangen von Reaktionen, um die Leistung der DUT noch weiter zu charakterisieren. Zum Beispiel kann der IC-Chip 30 (an die DUT) Wechselstrom-Testsignale übermitteln, die einen Vektor binärer Werte zum Speichern auf der DUT darstellen. Sind diese Binärwerte einmal gespeichert, kann auf die DUT vom Tester 12 zugegriffen werden, um festzustellen, ob die korrekten Binärwerte gespeichert wurden. Da Digitalsignale üblicherweise abrupte Spannungsübergänge enthalten, arbeitet die Schaltungsanordnung in der PE-Stufe 34 auf dem IC-Chip 30 mit einer verhältnismäßig hohen Geschwindigkeit im Vergleich zu der Schaltungsanordnung in der PMU-Stufe 32. Das PE-Testen kann auch das Hinzufügen von Phasenschwankungen zu Testsignalen und das Beobachten des DUT-Betriebs bei vorhandenen Phasenschwankungen beinhalten.
Um sowohl Gleichstrom- als auch Wechselstrom-Testsignale von der Schnittstellenkarte 24 zur DUT 18 zu leiten, verbindet eine Leitspur 40 den IC-Chip 30 mit einer Schnittstel lenkartenverbindung 42, die es Signalen ermöglicht, auf die Schnittstellenkarte 24 geleitet zu werden und von dort fort geleitet zu werden. Die Schnittstellenkartenverbindung 42 ist ebenfalls mit einem Leiter 44 verbunden, der mit einer Schnittstellenverbindung 46 verbunden ist, die es ermöglicht, dass Signale zum Tester 12 und von dort durchgelassen werden. In diesem Beispiel ist der Leiter 20 mit einer Schnittstellenverbindung 46 zum bidirektionalen Signaldurchlass zwischen Tester 12 und Stift 22 der DUT 18 verbunden. In einigen Anordnungen kann die Schnittstelleneinrichtung dazu verwendet werden, einen oder mehrere Leiter vom Tester 12 mit der DUT zu verbinden. Beispielsweise kann die DUT (z. B. DUT 18) auf einer Einrichtungsschnittstellenkarte (Device Interface Board: DIB) angeordnet sein, um Zugang zu jedem DUT-Stift zu bieten. In einer solchen Anordnung kann der Leiter 20 mit dem DIB verbunden sein, um Testsignale an den geeigneten Stift oder die Stifte (z. B. Stift 22) der DUT anzulegen.
In diesem Beispiel verbinden nur die Leitspur 40 bzw. der Leiter 44 den IC-Chip 30 und die Schnittstellenkarte 24 zum Abgeben und Annehmen von Signalen. IC-Chip 30 weist jedoch (wie IC-Chips 36 und 38) üblicherweise eine Mehrzahl von Stiften auf (z. B. acht, sechzehn usw.), die auf entsprechende Weise mit einer Mehrzahl von Leitspuren und entsprechenden Leitern verbunden sind, um Signale von der DUT (über ein DIB) zu liefern und zu sammeln. Zusätzlich kann in einigen Anordnungen der Tester 12 mit zwei oder mehr DIBs verbunden sein, um als Schnittstelle für die Kanäle zu dienen, die durch die Schnittstellenkarten 24, 26 und 28 für eine oder eine Mehrzahl von Baueinheiten im Test zur Verfügung gestellt werden.
Um das durch die Schnittstellenkarten 24, 26 und 28 durchgeführte Testen zu initiieren und zu steuern, enthält der Tester 12 eine PMU-Steuerschaltungsanordnung 48 und PE-Steuerschaltungsanordnung 50, die Testparameter liefern (z. B. Testsignal-Spannungspegel, Testsignal-Strompegel, Digitalwerte usw.), um Testsignale zu erzeugen und DUT-Reaktionen zu analysieren. Für die Implementierung der PMU-Steuerschaltungsanordnung und PE-Steuerschaltungsanordnung kann eine oder können mehrere Verarbeitungseinrichtungen verwendet werden. Zu den Beispielen für Verarbeitungseinrichtungen gehören ein Mikroprozessor, eine Mikrosteuerung, programmierbare Logik (z. B. eine feldprogrammierbare Gate-Anordnung) und/oder Kombinationen daraus; diese Beispiele bilden keine Einschränkung. Der Tester 12 enthält ebenfalls eine Computerschnittstelle 52, die es dem Computersystem 14 ermöglicht, die vom Tester 12 durchgeführten Arbeitsvorgänge zu steuern, und Daten (z. B. Testparameter, DUT-Reaktionen usw.) zwischen Tester 12 und Computersystem 14 passieren zu lassen.
Nachfolgend werden Kalibrierungsschwankungen in einem Kommunikationskanal zwischen einer DUT und einer ATE, wie sie in den 1 und 2 gezeigt sind, beschrieben. Es wird jedoch darauf hingewiesen, dass der Kalibrierungsprozess nicht auf die Verwendung der in 1 und 2 gezeigten ATE begrenzt ist, sondern zur Kalibrierung von Phasenschwankungen im Kommunikationskanal jeder Art von Einrichtung angewendet werden kann.
Wie oben erläutert, werden während einer Art des Testens einem Testsignal von der ATE Phasenschwankungen hinzugefügt und es wird beobachtet, wie die DUT auf die Phasenschwankungen reagiert. Tests wie diese sagen etwas über die Toleranz der DUT gegenüber Phasenschwankungen aus. Für die Zwecke dieser Anmeldung können Phasenschwankungen definiert werden als – und können sie enthalten – eine Variation einer Signalflanke aus ihrer Idealposition in der Zeit. Dazu kann Zeitverschiebung und/oder Verlängerung der Signale gehören. In 3 ist als Beispiel gezeigt, dass Position 54 der Idealposition eines Signals entspricht und Position 55 der verschobenen Position des Signals bei vorhandener Phasenschwankung.
Die ATE kann unterschiedliche Arten von Phasenschwankungen in das Testsignal einfügen. In dieser Hinsicht können Phasenschwankungen allgemein in zwei Arten eingeteilt werden: deterministische Phasenschwankungen (deterministic jitter: DJ) und zufällige Phasenschwankungen (random jitter: RJ). DJ kann mit bekannten Quellen in Verbindung gebracht werden und in zwei Teile aufgeteilt werden: periodische Phasenschwankungen (PJ) und datenabhängige Phasenschwankungen (DDJ). PJ sind periodisch, was bedeutet, dass sie sich im Laufe der Zeit wiederholen, während DDJ im Wesentlichen konstant sind, was bedeutet, dass die Verschiebung über unterschiedliche Signalflanken verhältnismäßig gleichbleibend ist. PJ kann durch eine beliebige Anzahl von Quellen oder Faktoren erzeugt werden und folgt, was der Name andeutet, keinem festen Muster.
In 4 ist eine Kalibrierungseinrichtung 57 gezeigt, die im nachfolgend beschriebenen Prozess zur Kalibrierung von Phasenschwankungen in einem Kommunikationskanal verwendet werden kann. Die Kalibrierungseinrichtung 57 ist elektrisch an die ATE anzuschließen. Zum Beispiel kann die Kalibrierungseinrichtung 57 an einer Schnittstel lenverbindung einer Einrichtungsschnittstellenkarte DIB anstelle der Schnittstellenverbindung einer DUT angeordnet sein. Die Kalibrierungseinrichtung 57 enthält eine Abtasteinrichtung 59 und eine Taktverteilungseinrichtung 60. Bei der Abtasteinrichtung 59 kann es sich um jede beliebige Art von Schaltung handeln, die eine digitale Wellenform, die von der ATE über einen Kommunikationskanal 61 geschickt wird, abtasten kann. Zum Beispiel kann die Abtasteinrichtung 59 einen D-Flip-Flop (D-FF) und/oder einen verriegelten Komparator enthalten. Die Abtasteinrichtung 59 führt das Abtasten in Übereinstimmung mit einem Taktsignal 62 (Strobe-Eingang) von der ATE durch. Die Taktverteilungseinrichtung 60 verteilt das Taktsignal an die unterschiedlichen Abtasteinrichtungen, eingeschlossen die Abtasteinrichtung 59 der Einrichtungsschnittstellenkarte DIB. Hierzu wird bemerkt, dass eine einzige Kalibrierungseinrichtung eine Mehrzahl von Abtasteinrichtungen zum Abtasten von Testdaten auf einer Mehrzahl von Kanälen enthalten kann. Alternativ kann eine einzige Kalibrierungseinrichtung pro Kommunikationskanal angeordnet sein und nur zur Kalibrierung der Phasenschwankungsmenge auf dem entsprechenden Kommunikationskanal verwendet werden. In einer Ausführungsform sind sechs Kalibrierungseinrichtungen auf einem DIB angeordnet, um sechs entsprechende Kommunikationskanäle zu kalibrieren.
Die Abtasteinrichtung 59 tastet Testdaten des Kommunikationskanals ab, um abgetastete Daten zu erzeugen. In dieser Ausführung tastet die Abtasteinrichtung 59 die Testdaten mit einer geringeren Rate ab als die Testdaten durch den Kommunikationskanal befördert werden. Das wird als Unterratenabtasten (undersampling) bezeichnet. Haben beispielsweise die Testdaten eine Frequenz von 1 Gigahertz (GHz) und damit eine Periode von 1 Nanosekunde (ns), dann hat das Taktsignal beispielsweise eine Frequenz von 100 Megahertz (MHz) und eine Periode von 10 ns, was zu einer Abtastung pro jedem zehnten Datenbit führt. Für Doppel-Daten-Ratendaten, wo die Daten sowohl an der aufsteigenden als auch an der abfallenden Flanke eines Taktes abgetastet werden, kann das Taktsignal in einem Beispiel eine Frequenz von 50 MHz und eine Periode von 20 ns haben.
In einer Ausführungsform beträgt die Abtastperiode nicht ein genaues Mehrfaches der Testdatenperiode. Eine Unterratenabtast-Technik, bei der die Abtastperiode kein genaues Mehrfaches der Testdatenperiode ist, ist als schreitende Abtastung (walking strobe) bekannt. Ein Beispiel für eine schreitende Unterratenabtastung ist im U. S. Patent Nr. 6.609.077 beschrieben, deren Inhalt hiermit durch Bezug vollständig in dieser Anmeldung enthalten ist.
Die 5 und 6 illustrieren die schreitende Abtastung. In 5 wird dargestellt, dass die Abtasteinrichtung 59 die Testdaten 63 entsprechend einem schreitenden Takt T_ws 64 (der durch die ATE generiert sein kann) abtastet. Der schreitende Takt hat eine Frequenz, die anders ist (z. B. geringer) als die Frequenz der Testdaten (dem Phasenschwankungssignal), was dazu führt, dass die Testdaten während jedes der aufeinander folgenden Abtastzyklen 65, 66 usw. mit einer kleinen Abweichung abgetastet werden, wie in 5 gezeigt. Das bedeutet, dass die Abtasteinrichtung 59 mit einer Frequenz zum Abtasten eingerichtet („strobed”) ist, die sich von der des zu messenden Signals unterscheidet, was dazu führt, dass der schreitende Takt über das Signal mit bekannten Abweichungen fortschreitet. Beispielsweise tastet der der schreitende Takt während eines ersten Zyklus das Testsignal 63 an den Punkten 0, 1, 2 und 3 (65) ab. Während des nächsten Zyklus ist der der schreitende Takt geringfügig verschoben, was zu einer Abtastung an den Punkten 4, 5, 6 und 7 (66) führt, und so weiter. Die sich ergebenden Beispiele, d. h. die eingefangenen Datenbits, können zur Rekonstruktion der Testdaten (des Phasenschwankungssignals) verwendet werden, wie es in 6 gezeigt ist.
In dieser Ausführung sind die Phasenschwankungsmengen, die von der Abtasteinrichtung 59 und dem Taktsignal eingefügt wurden, im Vergleich zur Phasenschwankungsmenge in den Testdaten verhältnismäßig klein. Das ist so, um die Einwirkungen der Abtasteinrichtung und des Taktsignals auf den Testprozess zu verringern. Beispielsweise kann die Phasenschwankung in den Testdaten im Bereich von 100 ± 10% Pikosekunden (ps) liegen. Die Menge an Phasenschwankung, die durch die Abtasteinrichtung hinzugefügt wird, kann im Bereich von 1/10^tel ps liegen. Ein Teil, das zur Implementierung der Abtasteinrichtung 59 verwendet werden kann, wird von Inphi^® als Teil Nr. 25706PP hergestellt. Die Menge an Phasenschwankung, die vom Taktsignal hinzugefügt wird, kann im Bereich von weniger als (<) 1 ps liegen. Beispielsweise kann die von Teradyne^®, Inc., hergestellte PicoClock^TM zum Erzeugen des Taktsignals eingesetzt werden, das zum Abtasten der mit Phasenschwankungen versehenen Testdaten verwendet wird.
Die von der Abtasteinrichtung ausgegebenen abgetasteten Daten werden an eine Verarbeitungseinrichtung weitergeleitet, die der ATE zugeordnet ist. Zum Beispiel können die abgetasteten Daten einem mit der ATE assoziierten Computersystem 14 oder Mikroprozessor, Mikrocontroller oder einer mit der ATE assoziierten programmierbaren Logik zur Verfügung gestellt werden. Die Verarbeitungseinrichtung rekonstruiert das Phasenschwankungssignal aus den abgetasteten Daten (siehe zum Beispiel 6) und bestimmt die Menge an Phasenschwankung in dem rekonstruierten Signal durch, zum Beispiel, einen Vergleich des rekonstruierten Signals mit den Testdaten, die ursprünglich auf dem Kommunikationskanal ausgegeben wurden.
In dieser Hinsicht können Phasenschwankungen durch den Kommunikationskanal eingeführt werden, wobei die Phasenschwankung an etwa dem Kontaktpunkt zur DUT anders ausgeführt wird als die Vorhersage (z. B. die durch die ATE in die Testdaten eingeführte Phasenschwankung). Dementsprechend besteht ein Zweck des hier beschriebenen Kalibrierungsprozesses darin, die Menge an Phasenschwankung festzustellen, die etwa an dem Kontaktpunkt zur DTU vorhanden ist. Jedoch enthält die Phasenschwankung im rekonstruierten Signal, das vom Kontaktpunkt bis zur DUT gemessen wird, ebenfalls Phasenschwankungen, die durch das Taktsignal und die Abtasteinrichtung eingeführt wurden. Auch wenn die durch das Taktsignal und die Abtasteinrichtung eingeführte Phasenschwankung verhältnismäßig klein ist (wie oben beschrieben wurde), kann sie doch die Kalibrierung der Testeinrichtung beeinflussen. Dementsprechend kann die Phasenschwankung in dem rekonstruierten Signal weiter bearbeitet werden, um einen Wert zu erzeugen, der im Wesentlichen der Phasenschwankungsmenge entspricht, die etwa am Kontaktpunkt zur DUT vorhanden ist. Das heißt, die durch das Taktsignal und die Abtasteinrichtung eingeführte Phasenschwankung kann zumindest zum größten Teil aus der Phasenschwankung im rekonstruierten Signal entfernt werden.
Genauer gesagt, es sei angenommen, dass J₂ die Menge an Phasenschwankung ist, die im Wesentlichen der Menge an Phasenschwankung entspricht, die etwa am Kontaktpunkt zur DUT festgestellt wird. Dabei sei angenommen, dass J₁ die Menge an Phasenschwankung im rekonstruierten Signal ist, J₄ die Menge an Phasenschwankung, die durch die Abtasteinrichtung 59 eingeführt wird, und J₅ die Menge an Phasenschwankung, die durch das Taktsignal (z. B. den Strobe, der zum Takten der Abtasteinrichtung verwendet wird) eingeführt wird. Die Verarbeitungseinrichtung bestimmt die Menge an Phasenschwankung, die etwa am Kontaktpunkt zur DUT (J₂) herrscht, wie folgt: J2 = √(J1 2 – J4 2 – J5 2).
In einer alternativen Ausführung wird die Ausgabe der abgetasteten Daten durch die Abtasteinrichtung 59 an die der ATE zugeordneten Verarbeitungseinheit weitergeleitet. Wie oben beschrieben, rekonstruiert die Verarbeitungseinrichtung das Phasenschwankungssignal aus den abgetasteten Daten (siehe zum Beispiel 6) und bestimmt die Menge an Phasenschwankung in dem rekonstruierten Signal durch, zum Beispiel, Vergleichen des rekonstruierten Signals mit den ursprünglichen Testdaten mit hinzugefügten Phasenschwankungen. In dieser Ausführung ist das Taktsignal, das zum Abtasten von der Abtasteinrichtung 59 verwendet wird, jedoch das tatsächliche Taktsignal, das während des Betriebs von der ATE verwendet wird, und nicht ein Taktsignal mit reduzierter Phasenschwankung, wie es in der oben beschriebenen Ausführung der Fall war. Dementsprechend ermöglicht diese Implementierung der ATE, die Menge an Phasenschwankungen festzustellen, die etwa im Bereich des Kontaktpunktes zur DUT während der tatsächlichen Testbedingungen auftritt.
In diesem Fall kann die Phasenschwankung, die durch die Abtasteinrichtung 59 eingeführt wurde, mindestens zum größten Teil aus der Phasenschwankung des rekonstruierten Signals entfernt werden. Die durch das Taktsignal erzeugte Phasenschwankung wird jedoch nicht entfernt. Dementsprechend bestimmt die Verarbeitungseinrichtung die Menge an Phasenschwankung, die etwa am Kontaktpunkt zur DUT auftritt, wie folgt: J2 = √(J1 2 – J4 2)
Wobei J₁, J₂ und J₄ den oben beschriebenen Variablen entsprechen. Daraus ergibt sich, dass die Verarbeitungseinrichtung die Menge an Phasenschwankung bestimmt, die eine DUT erfahren würde, wenn sie mit der ATE verbunden wäre, wenn sie z. B. anstelle der Kalibrierungseinrichtung 57 angeordnet wäre.
Der oben beschriebene Kalibrierungsprozess (nachfolgend als „der Kalibrierungsprozess” bezeichnet) bietet zahlreiche Vorteile. Beispielsweise kann der Kalibrierungsprozess dazu verwendet werden, die ATE zu kalibrieren, um SERialisierungs-/DESerialisierungs-Einrichtungen (SERDES), Hochleistungsspeichereinrichtungen und Datenbusse wie einen PCI-Express zu testen. Es wird jedoch darauf hingewiesen, dass der Kalibrierung sprozess nicht auf das solcher Einrichtung zugeordnete Testen beschränkt ist und dazu verwendet werden kann, die ATE zu kalibrieren, um jede Art von Test an allen Arten von Einrichtungen durchzuführen.
Der Kalibrierungsprozess ist nicht auf die Verwendung der oben beschriebenen Hardware und Software beschränkt. Der Kalibrierungsprozess kann unter Verwendung jeder Hardware und/oder Software ausgeführt werden. Beispielsweise kann der Kalibrierungsprozess oder können Abschnitte daraus zumindest teilweise ausgeführt werden, indem digitale elektronische Schaltungsanordnungen oder Computer-Hardware, Firmware, Software oder Kombinationen daraus angewendet werden.
Der Kalibrierungsprozess (zum Beispiel die durch die Verarbeitungseinrichtung durchgeführten Funktionen) kann zumindest teilweise über ein Computerprogrammprodukt ausgeführt werden, d. h. über ein Computerprogramm, das materiell auf einem Informationsträger vorhanden ist, zum Beispiel in einem oder mehreren maschinenlesbaren Medien oder in einem sich fortpflanzendem Signal, um den Betrieb von datenverarbeitenden Geräten, z. B. von einem programmierbaren Prozessor, einem Computer oder einer Mehrzahl von Computern, durchzuführen oder zu ihn zu steuern. Ein Computerprogramm kann in jeder Art von Programmiersprache geschrieben sein, eingeschlossen Compiler-Sprache oder Interpreter-Sprache, und es kann in jeder Form angeordnet sein, auch als ein Einzelprogramm oder als ein Modul, eine Komponente, eine Subroutine oder eine andere Einheit, die zur Verwendung in einer Computerumgebung geeignet ist. Ein Computerprogramm kann so angeordnet sein, dass es auf einem Computer auszuführen ist oder auf einer Mehrzahl von Computern, die an einem Einsatzort oder an einer Mehrzahl von Einsatzorten verteilt und durch ein Kommunikationsnetzwerk verbunden ist.
Aktionen, die der Durchführung des Kalibrierungsprozesses zugeordnet sind, können durch einen oder mehrere programmierbare Prozessoren durchgeführt werden, die ein oder mehrere Computerprogramme ausführen, um die Funktionen des Kalibrierungsprozesses auszuführen. Die ganze ATE oder ein Teil davon kann als logische Schaltungsanordnung für diesen speziellen Zweck ausgeführt sein, beispielsweise als FPGA (field programmable gate array) und/oder als applikationsspezifische integrierte Schaltung (application-specific integrated circuit: ASIC).
Zu den Prozessoren, die für die Ausführung eines Computerprogramms geeignet sind, gehören beispielsweise sowohl allgemeine Mikroprozessoren und solche, die für spezielle Zwecke ausgelegt sind, als auch einer oder mehrere Prozessoren beliebiger Art von digitalem Computer. Im Allgemeinen empfängt ein Prozessor Instruktionen und Daten von einem Read-Only-Speicher oder einem Random-Access-Speicher oder von beiden. Zu den Elementen eines Computers gehört ein Prozessor zur Ausführung von Instruktionen und eine oder mehrere Speichereinrichtungen zum Speichern von Befehlen und Daten.
Elemente unterschiedlicher hierin beschriebener Ausführungsformen können kombiniert werden, um weitere Ausführungsformen zu bilden, die im voraufgehenden Text nicht speziell beschrieben wurden. Weitere Ausführungsformen, die hierin nicht besonders beschrieben wurden, befinden sich ebenfalls innerhalb des Bereiches der nachfolgenden Ansprüche.
Zusammenfassung
Kalibrieren von Phasenschwankungen in einem Kommunikationskanal zwischen einer Testeinrichtung und einer Verbindung zu einer zu testenden Baugruppe (DUT), mit folgenden Verfahrensschritten: Abtasten von Testdaten in dem Kommunikationskanal im Bereich eines Punktes der Verbindung, um Abtastdaten zu erzeugen, wobei die Testdaten mit einer ersten Rate durch den Kommunikationskanal wandern und die Testdaten mit einer zweiten Abtastrate abgetastet werden, die niedriger als die erste Rate ist; Bestimmen einer ersten Phasenschwankungsmenge in den Abtastdaten im Verhältnis zu den Testdaten und Bestimmen einer zweiten Phasenschwankungsmenge im Bereich des Punktes der Verbindung auf der Basis der ersten Phasenschwankungsmenge.

Claims

Verfahren zum Kalibrieren von Phasenschwankungen in einem Kommunikationskanal zwischen einer Testeinrichtung und einer Verbindung zu einer zu testenden Baugruppe (DUT), mit folgenden Verfahrensschritten: Abtasten von Testdaten in dem Kommunikationskanal im Bereich eines Punktes der Verbindung, um Abtastdaten zu erzeugen, wobei die Testdaten mit einer ersten Rate durch den Kommunikationskanal wandern und die Testdaten mit einer zweiten Abtastrate abgetastet werden, die niedriger als die erste Rate ist; Bestimmen einer ersten Phasenschwankungsmenge in den Abtastdaten im Verhältnis zu den Testdaten; und Bestimmen einer zweiten Phasenschwankungsmenge im Bereich des Punktes der Verbindung auf der Basis der ersten Phasenschwankungsmenge.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Phasenschwankungsmenge eine dritte Phasenschwankungsmenge enthält, die während der Abtastung eingeführt wird, und dass das Bestimmen der zweiten Phasenschwankungsmenge die Verarbeitung der ersten Phasenschwankungsmenge einschließt, um die Wirkung der dritten Phasenschwankungsmenge im Wesentlichen zu entfernen.
Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte Phasenschwankungsmenge (J₃) eine Phasenschwankung (J₄) enthält, die durch eine Einrichtung zur Abtastung eingeführt wird, und eine Phasenschwankung (J₅), die durch einen Abtastimpuls zur Taktung der Einrichtung eingeführt wird; und dass die zweite Phasenschwankungsmenge (J₂) wie folgt bestimmt wird: J2 = √(J1 2 – J4 2 – J5 2) hierbei entspricht J₁ der ersten Phasenschwankungsmenge.
Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte Phasenschwankungsmenge (J₃) eine Phasenschwankung (J₄) enthält, die durch eine Einrichtung zur Abtastung eingeführt wird; und dass die zweite Phasenschwankungsmenge (J₂) wie folgt bestimmt wird: J2 = √(J1 2 – J4 2),hierbei entspricht J₁ der ersten Phasenschwankungsmenge.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung zur Abtastung einen verriegelten Komparator enthält.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung zur Abtastung ein D-Flip-Flop enthält
Verfahren nach Anspruch 1, weiter gekennzeichnet durch Hinzufügen von Phasenschwankungen zu den Testdaten, wobei die Phasenschwankungen mindestens eine der beiden enthält: periodische Phasenschwankungen oder deterministische Phasenschwankungen.
System zum Kalibrieren von Phasenschwankungen in einem Kommunikationskanal mit folgenden Merkmalen: einer Abtasteinrichtung zum Abtasten von Testdaten in dem Kommunikationskanal zur Erzeugung von Abtastdaten, wobei die Abtasteinrichtung eingerichtet ist zum Abtasten der Testdaten im Bereich eines Punktes der Verbindung zwischen der zu testenden Baugruppe (DUT) und dem Kommunikationskanal, wobei die Testdaten mit einer ersten Rate durch den Kommunikationskanal wandern und die Testdaten mit einer zweiten Abtastrate abgetastet werden, die niedriger als die erste Rate ist; und einem Prozessor, der Folgendes ausführt: Bestimmen einer ersten Phasenschwankungsmenge in den Abtastdaten im Verhältnis zu den Testdaten; und Bestimmen einer zweiten Phasenschwankungsmenge im Bereich des Punktes der Verbindung auf der Basis der ersten Phasenschwankungsmenge.
System nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Phasenschwankungsmenge eine dritte Phasenschwankungsmenge enthält, die während der Abtastung eingeführt wird, und dass das Bestimmen der zweiten Phasenschwankungsmenge die Verarbeitung der ersten Phasenschwankungsmenge einschließt, um die Wirkung der dritten Phasenschwankungsmenge im Wesentlichen zu entfernen.
System nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte Phasenschwankungsmenge (J₃) eine Phasenschwankung (J₄) enthält, die durch eine Einrichtung zur Abtastung eingeführt wird, und eine Phasenschwankung (J₅), die durch einen Abtastimpuls zur Taktung der Einrichtung eingeführt wird; und dass die zweite Phasenschwankungsmenge (J₂) wie folgt bestimmt wird: J2 = √(J1 2 – J4 2 – J5 2),hierbei entspricht J₁ der ersten Phasenschwankungsmenge.
System nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte Phasenschwankungsmenge (J₃) eine Phasenschwankung (J₄) enthält, die durch eine Einrichtung zur Abtastung eingeführt wird; und dass die zweite Phasenschwankungsmenge (J₂) wie folgt bestimmt wird: J2 = √(J1 2 – J4 2), hierbei entspricht J₁ der ersten Phasenschwankungsmenge.
System nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Abtasteinrichtung einen verriegelten Komparator enthält.
System nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Abtasteinrichtung ein D-Flip-Flop enthält.
System nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfeinrichtung den Testdaten Phasenschwankungen hinzufügt, wobei die Phasenschwankungen mindestens eine der beiden enthält: periodische Phasenschwankungen oder deterministische Phasenschwankungen.
System nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Abtasteinrichtung eingerichtet ist zum Abtasten der Testdaten in Übereinstimmung mit einem Taktsignal; und dass das System weiter Folgendes enthält: eine Taktverteilereinrichtung zum Empfang des Taktsignals und zum Liefern des Taktsignals an die Abtasteinrichtung.
Automatische Testeinrichtung (ATE) mit folgenden Merkmalen: eine Baugruppen-Schnittstellenkarte mit einer Schnittstellenverbindung zum Verbinden mit der zu prüfenden Baugruppe (DUT); Anschlusselektronik zum Erzeugen von Testdaten zur Übertragung über einen Kommunikationskanal an die Schnittstellenverbindung, wobei die Testdaten Phasenschwankungen aufweisen; und eine mit der Schnittstellenverbindung verbundene Einrichtung anstelle der zu prüfenden Baugruppe (DUT), wobei die Einrichtung dazu ausgebildet ist, die Testdaten unter Benutzung der Unterratenabtasttechnik abzutasten, um Abtastdaten zu erzeugen; und einen Prozessor zur Benutzung der Abtastdaten, um eine Phasenschwankungsmenge in den Testdaten im Bereich eines der Schnittstellenverbindung entsprechenden Punktes zu bestimmen.
Automatische Testeinrichtung (ATE) nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Prozessor dazu ausgebildet ist, die Phasenschwankungsmenge durch Entfernen mindestens einer der durch die Einrichtung erzeugten Phasenschwankungen zu bestimmen und durch ein Taktsignal, das durch die Einrichtung zum Abtasten der Testdaten benutzt wird.
Automatische Testeinrichtung (ATE) nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Unterratenabstasttechnik eine schreitende Abtastung aufweist, bei der die Testdaten mit einer ersten Frequenz abgetastet werden, die niedriger als eine zweite Frequenz von Testdaten ist, wobei die erste Frequenz kein Vielfaches der zweiten Frequenz ist.
Automatische Testeinrichtung (ATE) nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Einrichtung eines von beiden enthält: einen verriegelten Komparator und ein D-Flip-Flop.
Automatische Testeinrichtung (ATE) nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass eine Taktverteilereinrichtung vorgesehen ist zum Empfang des Taktsignals und zum Liefern des Taktsignals an die Einrichtung, wobei die Einrichtung dazu ausgebildet ist, die Abtastung in Übereinstimmung mit dem Taktsignal durchzuführen.