CN109283450B - 一种测试机的控制方法、装置、介质及电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种测试机的控制方法、装置、介质及电子设备，测试机的侧壁设置有抖动数据采集器，用于采集测试机工作时所产生的抖动数据；该测试机的控制方法包括：接收抖动数据采集器采集的抖动数据；将抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果；基于对比结果实现控制测试机的工作状态。本发明实施例的技术方案能够及时的发现测试机不稳定现象并及时维修，大幅度降低了测试时间与测试成本，减少了非芯片因素产生的报废品率。

Description

一种测试机的控制方法、装置、介质及电子设备

技术领域

本发明涉及测试机技术领域，具体而言，涉及一种测试机的控制方法及一种测试机控制装置。

背景技术

目前，芯片测试对测试机的水平和垂直方向的稳定性具有极高的要求，测试机头一些小小的晃动都能导致芯片测试失效或报废，乃至整片晶圆的报废。

现有技术通常是将测试机头用各种螺丝连接并固定在控制杆上，然后将测试机头对接在测试机头固定柄上，最后将螺丝拧紧。

然而上述现有技术中并没有相关参数以反映测试机头的稳定性，并且不能及时地检测到螺丝出现松动的状况，以至于在测试的过程中出现异常或测试良品率大幅降低或芯片/晶圆被压坏才发现该问题，此时已经造成不可挽回的损失。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本发明的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种测试机的控制方法以及一种测试机控制装置，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的无法及时发现测试机不稳定而造成的测试良品率大幅降低或芯片/晶圆被压坏等一个或者多个问题。

本发明实施例的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本发明的实践而习得。

根据本发明实施例的第一方面，提供一种测试机的控制装置，所述测试机控制装置连接于抖动数据采集器和测试机，所述测试机的侧壁设置有抖动数据采集器，用于采集所述测试机工作时所产生的抖动数据；具体包括：

接收模块，用于接收所述抖动数据采集器采集的抖动数据；

对比模块，用于将所述抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果；

控制模块，用于基于所述对比结果实现控制所述测试机的工作状态。

在本发明的一个实施例中，上述测试机控制装置还用于：

每当所述抖动数据采集器设置于所述测试机的侧壁时，对所述抖动数据采集器进行归零初始化，确定出基准水平面。

在本发明的一个实施例中，上述测试机控制装置还用于：

当所述测试机进行作业时，所述抖动数据采集器随所述测试机抖动而连续地偏离所述基准水平面，产生多个偏离角度值；

将所述多个偏离角度值转换为数字信号后，生成抖动数据。

在本发明的一个实施例中，上述对比模块具体用于：

将所述抖动数据与预设的阈值进行对比；

当所述抖动数据小于所述预设的阈值时，生成第一对比结果；

当所述抖动数据大于等于预设的阈值时，生成第二对比结果。

在本发明的一个实施例中，上述控制模块具体用于：

当所述对比结果为第一对比结果时，确定所述测试机处于稳定状态，返回继续将所接收到的所述抖动数据与预设的阈值进行对比；

当所述对比结果为第二对比结果时，确定所述测试机处于不稳定状态，生成测试机抖动异常的报警信号，并向所述测试机发送停止当前作业的控制信号。

根据本发明实施例的第二方面，提供一种测试机，包括：抖动数据采集器和测试机控制器，所述测试机的侧壁设置有抖动数据采集器，用于采集所述测试机工作时所产生的抖动数据；所述测试机控制器连接于所述抖动数据采集器，用于获取所述测试机工作时所产生的抖动数据；所述测试机控制器电连接于所述测试机。

在本发明的一个实施例中，上述测试机控制器接收所述抖动数据采集器采集的抖动数据；测试机控制器基于所述抖动数据实现控制所述测试机的工作状态。

根据本发明实施例的第三方面，提供一种测试机控制方法，所述测试机的侧壁设置有抖动数据采集器，用于采集所述测试机工作时所产生的抖动数据；所述方法包括：

接收所述抖动数据采集器采集的抖动数据；

将所述抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果；

基于所述对比结果实现控制所述测试机的工作状态。

在本发明的一个实施例中，还包括：

每当所述抖动数据采集器设置于所述测试机的侧壁时，对所述抖动数据采集器进行归零初始化，确定出基准水平面。

在本发明的一个实施例中，上述确定出基准水平面之后，所述方法还包括：

当所述测试机进行作业时，所述抖动数据采集器随所述测试机抖动而连续地偏离所述基准水平面，产生多个偏离角度值；

将所述多个偏离角度值转换为数字信号后，生成抖动数据。

在本发明的一个实施例中，上述测试机控制器将所接收到的所述抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果，包括：

将所述抖动数据与预设的阈值进行对比；

当所述抖动数据小于所述预设的阈值时，生成第一对比结果；

当所述抖动数据大于等于预设的阈值时，生成第二对比结果。

在本发明的一个实施例中，上述基于所述对比结果实现控制所述测试机的工作状态，包括：

当所述对比结果为第一对比结果时，确定所述测试机处于稳定状态，返回继续将所接收到的所述抖动数据与预设的阈值进行对比；

当所述对比结果为第二对比结果时，确定所述测试机处于不稳定状态，生成测试机抖动异常的报警信号，并向所述测试机发送停止当前作业的控制信号。

根据本发明实施例的第四方面，提供了一种计算机可读介质，其上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现如上述实施例中第三方面所述的测试机的控制方法。

根据本发明实施例的第五方面，提供了一种电子设备，包括：一个或多个处理器；存储装置，用于存储一个或多个程序，当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器实现如上述实施例中第三方面所述的测试机的控制方法。

本发明实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：

本发明的一些实施例所提供的技术方案中，通过抖动数据采集器设置于测试机的侧壁，采集测试机工作时所产生的抖动数据；测试机控制器无线连接于抖动数据采集器；测试机控制器电连接于测试机；其中，测试机控制器无线连接于抖动数据采集器，以获取抖动数据采集器所采集的抖动数据；测试机控制器将所接收到的抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果，并基于对比结果实现控制测试机的工作状态。本发明实施例的技术方案能够及时的发现测试机不稳定现象并及时维修，大幅度降低了测试时间与测试成本，减少了非芯片因素产生的报废品率。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1示意性示出了根据本发明的一个实施例的测试机的控制方法的流程图；

图2示意性示出了根据本发明的一个实施例的测试机控制装置的框图；

图3示意性示出了根据本发明的一个实施例的测试机的框图；

图4示出了适于用来实现本发明实施例的电子设备的计算机系统的结构示意图。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本发明将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。

此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本发明的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本发明的技术方案而没有特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知方法、装置、实现或者操作以避免模糊本发明的各方面。

附图中所示的方框图仅仅是功能实体，不一定必须与物理上独立的实体相对应。即，可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。

附图中所示的流程图仅是示例性说明，不是必须包括所有的内容和操作/步骤，也不是必须按所描述的顺序执行。例如，有的操作/步骤还可以分解，而有的操作/步骤可以合并或部分合并，因此实际执行的顺序有可能根据实际情况改变。

图1示意性示出了根据本发明的一个实施例的测试机的控制方法的流程图。

参照图1所示，根据本发明的一个实施例的测试机的控制方法，包括以下步骤：

步骤S110，接收抖动数据采集器采集的抖动数据；

步骤S120，将抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果；

步骤S130，基于对比结果实现控制测试机的工作状态。

图1所示实施例的技术方案通过采集测试机的抖动数据判断测试机工作时的稳定性，当测试机不稳定时停止测试机的当前作业，从而能够及时的发现测试机不稳定现象并及时维修，大幅度降低了测试时间与测试成本，减少了非芯片因素产生的报废品率。

以下对图1中所示的各个步骤的实现细节进行详细阐述：

在步骤S110中，接收抖动数据采集器采集的抖动数据。

在本发明的一个实施例中，抖动数据采集器设置于测试机的侧壁，使抖动数据采集器可以随测试机倾斜而倾斜，以采集测试机的抖动数据。

在本发明的一个实施例中，抖动数据采集器可以通过粘贴、可拆卸式嵌入等直接或间接地设置于测试机的侧壁。

在本发明的一个实施例中，测试机的侧壁均可以设置抖动数据采集器，优选地，可以在测试机的机头侧壁设置抖动数据采集器，以实现采集到更精准的抖动数据。

在本发明的一个实施例中，基于前述方案，每当抖动数据采集器设置于测试机的侧壁时，例如：抖动数据采集器首次设置于测试机的侧壁时或抖动数据采集器从测试机的侧壁取下并再次设置于测试机的侧壁时，对抖动数据采集器进行归零初始化，确定出基准水平面。

在本发明的一个实施例中，基于前述方案，当测试机进行作业时，抖动数据采集器随测试机抖动而连续地偏离基准水平面，产生多个偏离角度值；将多个偏离角度值转换为数字信号后，生成抖动数据。

在本发明的一个实施例中，可以通过电感式抖动数据采集器或电容式抖动数据采集器采集抖动数据，其中，当电感式抖动数据采集器的基座因测试机倾斜而倾斜时，其内部摆锤因移动而造成感应线圈的电压变化，根据该电压变化确定出偏离角度值；电容式抖动数据采集器内部设有圆形摆锤，该圆形摆锤通过细线自由悬挂在电容式抖动数据采集器的内部，且悬浮处于无摩擦状态，该摆锤的两边均设有间隙相同并且电容量相等的电极，当电容式抖动数据采集器的基座因测试机倾斜而倾斜时，由于受地心重力所影响，摆锤两边间隙的距离改变即产生的电容量改变，基于该电容量改变确定出偏离角度值。

在本发明的一个实施例中，基于前述方案，抖动数据采集器采集测试机的偏离角度值并转换成数字信号传送给测试机控制器。

在步骤S120中，将抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果。

在本发明的一个实施例中，测试机控制器将抖动数据与预设的阈值进行对比；当抖动数据小于预设的阈值时，生成第一对比结果；当抖动数据大于等于预设的阈值时，生成第二对比结果。

在本发明的一个实施例中，测试机控制器可以根据测试机中测试弹簧针的弹性设置阈值，例如：现假设测试机的测试弹簧针的正常弹性抖动范围为±0.5度，为了更够提前发现测试弹簧针稳定性异常的问题，可以将阈值设置为±0.4度，当采集到测试机的抖动数据在上述阈值±0.4度范围内，则生成第一对比结果，表示测试机可以稳定工作，如超出该阈值±0.4度范围，则生成第二比对结果，表示测试机稳定性出现或即将出现异常。

在步骤S130中，基于对比结果实现控制测试机的工作状态。

在本发明的一个实施例中当对比结果为第一对比结果时，测试机控制器确定测试机处于稳定状态，并继续接收对比结果；当对比结果为第二对比结果时，测试机控制器确定测试机处于不稳定状态，生成测试机抖动异常的报警信号，并向测试机发送停止当前作业的控制信号。

上述实施例的技术方案在接收到抖动数据采集器所采集的抖动数据后，将抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果；基于对比结果实现控制测试机的工作状态。本发明实施例的技术方案能够及时的发现测试机不稳定现象并及时维修，大幅度降低了测试时间与测试成本，减少了非芯片因素产生的报废品率。

以下介绍本发明的装置实施例，可以用于执行本发明上述的测试机的控制方法。

图2示意性示出了根据本发明的一个实施例的测试机控制装置的框图。

参照图2所示，根据本发明的一个实施例的测试机控制装置200，包括：接收模块201、对比模块202、控制模块203。

接收模块201，用于接收抖动数据采集器采集的抖动数据；

对比模块202，用于将抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果；

控制模块203，用于基于对比结果实现控制测试机的工作状态。

在本发明的一个实施例中，测试机控制装置200连接于抖动数据采集器204和测试机205，测试机205的侧壁设置有抖动数据采集器204，用于采集测试机205工作时所产生的抖动数据。

在本发明的一个实施例中，抖动数据采集器204和测试机控制装置200可以配置无线模块，使得抖动数据采集器204和测试机控制装置200之间可以通过无线网络进行数据传输，例如：抖动数据采集器204将所采集到的抖动数据通过打包经由无线网络传输至测试机控制装置200，在不改造现有测试机的情况下实现准确、实时、快速地获取测试机205的抖动数据。

在本发明的一个实施例中，上述测试机控制装置200还用于：

每当抖动数据采集器204设置于测试机205的侧壁时，对抖动数据采集器204进行归零初始化，确定出基准水平面。

在本发明的一个实施例中，上述测试机控制装置200还用于：

当测试机205进行作业时，抖动数据采集器204随测试机205抖动而连续地偏离基准水平面，产生多个偏离角度值；将多个偏离角度值转换为数字信号后，生成抖动数据。

在本发明的一个实施例中，上述对比模块202具体用于：

将抖动数据与预设的阈值进行对比；

当抖动数据小于预设的阈值时，生成第一对比结果；

当抖动数据大于等于预设的阈值时，生成第二对比结果。

在本发明的一个实施例中，上述控制模块203具体用于：

当对比结果为第一对比结果时，确定测试机205处于稳定状态，并继续接收对比结果；

当对比结果为第二对比结果时，确定测试机205处于不稳定状态，生成测试机抖动异常的报警信号，并向测试机205发送停止当前作业的控制信号。

图3示意性示出了根据本发明的一个实施例的测试机的框图。

参照图3所示，根据本发明的一个实施例的测试机300，测试机300的侧壁设置有抖动数据采集器301，用于采集测试机300工作时所产生的抖动数据；测试机控制器302连接于抖动数据采集器301，用于获取测试机工作时所产生的抖动数据；测试机控制器302电连接于测试机300。

在本发明的一个实施例中，测试机控制器302接收抖动数据采集器301采集的抖动数据；将抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果；基于对比结果实现控制测试机300的工作状态。

在本发明的一个实施例中，抖动数据采集器301可以通过测试机控制器302进行矫正，也可以进行自矫正，例如：每当抖动数据采集器301设置于测试机300的侧壁时，测试机控制器302对抖动数据采集器301进行归零初始化，确定出基准水平面，或

每当抖动数据采集器301设置于测试机300的侧壁时，抖动数据采集器301自动进行归零初始化，确定出基准水平面。

在本发明的一个实施例中，抖动数据采集器301和测试机控制器302可以配置有无线模块，使得抖动数据采集器301和测试机控制器302之间可以通过无线网络进行数据传输，例如：抖动数据采集器301将所采集到的抖动数据通过打包经由无线网络传输至测试机控制装置302，在不改造现有测试机的情况下实现准确、实时、快速地获取测试机300的抖动数据。

在本发明的一个实施例中，抖动数据采集器301可以设置在测试机300的测试机头所在的侧壁，以实现可以更准确的采集测试机300的抖动数据。

在本发明的一个实施例中，测试机控制器302设置阈值范围，例如：抖动数据采集器301所采集数据的精度是0.1度，测试机300弹簧针的弹性范围为±0.5度，，为了更够提前发现测试弹簧针稳定性异常的问题，可以设置阈值范围为±0.4度，即当测试机控制器302所接收到的抖动数据超出该±0.4度阈值范围后，确定测试机300抖动异常，控制测试机300停止当前作业，并发出报警信息。

由于本发明的示例实施例的硬件平台的各个硬件设备与上述测试机的控制方法的示例实施例的步骤对应，因此对于本发明装置实施例中未披露的细节，请参照本发明上述的测试机的控制方法的实施例。

下面参考图4，其示出了适于用来实现本发明实施例的电子设备的计算机系统400的结构示意图。图4示出的电子设备的计算机系统400仅是一个示例，不应对本发明实施例的功能和使用范围带来任何限制。

如图4所示，计算机系统400包括中央处理单元(CPU)401，其可以根据存储在只读存储器(ROM)402中的程序或者从存储部分408加载到随机访问存储器(RAM)403中的程序而执行各种适当的动作和处理。在RAM 403中，还存储有系统操作所需的各种程序和数据。CPU401、ROM 402以及RAM 403通过总线404彼此相连。输入/输出(I/O)接口405也连接至总线404。

以下部件连接至I/O接口405：包括键盘、鼠标等的输入部分406；包括诸如阴极射线管(CRT)、液晶显示器(LCD)等以及扬声器等的输出部分407；包括硬盘等的存储部分408；以及包括诸如局域网(LAN)卡、调制解调器等的网络接口卡的通信部分409。通信部分409经由诸如因特网的网络执行通信处理。驱动器410也根据需要连接至I/O接口405。可拆卸介质411，诸如磁盘、光盘、磁光盘、半导体存储器等，根据需要安装在驱动器410上，以便于从其读出的计算机程序可根据需要被安装入存储部分408。

特别地，根据本发明的实施例，上文参考流程图描述的过程可以被实现为计算机软件程序。例如，本发明的实施例包括一种计算机程序产品，其包括承载在计算机可读介质上的计算机程序，该计算机程序包含用于执行流程图所示的方法的程序代码。在这样的实施例中，该计算机程序可以通过通信部分409从网络上被下载和安装，和/或从可拆卸介质411被安装。在该计算机程序被中央处理单元(CPU)401执行时，执行本申请的系统中限定的上述功能。

需要说明的是，本发明所示的计算机可读介质可以是计算机可读信号介质或者计算机可读存储介质或者是上述两者的任意组合。计算机可读存储介质例如可以是但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子可以包括但不限于：具有一个或多个导线的电连接、便携式计算机磁盘、硬盘、随机访问存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑磁盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。在本发明中，计算机可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。而在本发明中，计算机可读的信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了计算机可读的程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。计算机可读的信号介质还可以是计算机可读存储介质以外的任何计算机可读介质，该计算机可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。计算机可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于：无线、电线、光缆、RF等等，或者上述的任意合适的组合。

附图中的流程图和框图，图示了按照本发明各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，上述模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图或流程图中的每个方框、以及框图或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。

描述于本发明实施例中所涉及到的单元可以通过软件的方式实现，也可以通过硬件的方式来实现，所描述的单元也可以设置在处理器中。其中，这些单元的名称在某种情况下并不构成对该单元本身的限定。

作为另一方面，本申请还提供了一种计算机可读介质，该计算机可读介质可以是上述实施例中描述的电子设备中所包含的；也可以是单独存在，而未装配入该电子设备中。上述计算机可读介质承载有一个或者多个程序，当上述一个或者多个程序被一个该电子设备执行时，使得该电子设备实现如上述实施例中的测试机的控制方法。

例如，上述的电子设备可以实现如图1中所示的：步骤S110，接收抖动数据采集器采集的抖动数据；步骤S120，将抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果；步骤S130，基于对比结果实现控制测试机的工作状态。

应当注意，尽管在上文详细描述中提及了用于动作执行的设备的若干模块或者单元，但是这种划分并非强制性的。实际上，根据本发明的实施方式，上文描述的两个或更多模块或者单元的特征和功能可以在一个模块或者单元中具体化。反之，上文描述的一个模块或者单元的特征和功能可以进一步划分为由多个模块或者单元来具体化。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员易于理解，这里描述的示例实施方式可以通过软件实现，也可以通过软件结合必要的硬件的方式来实现。因此，根据本发明实施方式的技术方案可以以软件产品的形式体现出来，该软件产品可以存储在一个非易失性存储介质(可以是CD-ROM，U盘，移动硬盘等)中或网络上，包括若干指令以使得一台计算设备(可以是个人计算机、服务器、触控终端、或者网络设备等)执行根据本发明实施方式的方法。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (9)

1.一种测试机控制装置，其特征在于，所述测试机控制装置连接于抖动数据采集器和测试机，所述测试机的侧壁设置有抖动数据采集器，用于采集所述测试机工作时所产生的抖动数据；具体包括：

接收模块，用于接收所述抖动数据采集器采集的抖动数据；

对比模块，用于将所述抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果，所述阈值的绝对值小于所述测试机中测试弹簧针的正常弹性抖动范围的绝对值；

控制模块，用于基于所述对比结果实现控制所述测试机的工作状态以避免所述测试机的不稳定造成被测试的芯片或晶圆被压坏；

所述测试机控制装置还用于：每当所述抖动数据采集器设置于所述测试机的侧壁时，对所述抖动数据采集器进行归零初始化，确定出基准水平面；

当所述测试机进行作业时，所述抖动数据采集器随所述测试机抖动而连续地偏离所述基准水平面，产生多个偏离角度值；

将所述多个偏离角度值转换为数字信号后，生成抖动数据。

2.根据权利要求1所述的测试机控制装置，其特征在于，所述对比模块具体用于：

将所述抖动数据与预设的阈值进行对比；

当所述抖动数据小于所述预设的阈值时，生成第一对比结果；

当所述抖动数据大于等于预设的阈值时，生成第二对比结果。

3.根据权利要求1所述的测试机控制装置，其特征在于，所述控制模块具体用于：

当所述对比结果为第一对比结果时，确定所述测试机处于稳定状态，并继续接收所述对比结果；

当所述对比结果为第二对比结果时，确定所述测试机处于不稳定状态，生成测试机抖动异常的报警信号，并向所述测试机发送停止当前作业的控制信号。

4.一种测试机，其特征在于，包括：抖动数据采集器和测试机控制器，所述测试机的侧壁设置有抖动数据采集器，用于采集所述测试机工作时所产生的抖动数据；所述测试机控制器连接于所述抖动数据采集器，用于获取所述测试机工作时所产生的抖动数据，将所述抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果，所述阈值的绝对值小于所述测试机中测试弹簧针的正常弹性抖动范围的绝对值；所述测试机控制器电连接于所述测试机，用于基于所述对比结果实现控制所述测试机的工作状态以避免所述测试机的不稳定造成被测试的芯片或晶圆被压坏；

所述测试机控制器还用于：每当所述抖动数据采集器设置于所述测试机的侧壁时，对所述抖动数据采集器进行归零初始化，确定出基准水平面；

当所述测试机进行作业时，所述抖动数据采集器随所述测试机抖动而连续地偏离所述基准水平面，产生多个偏离角度值；

将所述多个偏离角度值转换为数字信号后，生成抖动数据。

5.一种测试机的控制方法，其特征在于，所述测试机的侧壁设置有抖动数据采集器，用于采集所述测试机工作时所产生的抖动数据；所述方法包括：

接收所述抖动数据采集器采集的抖动数据；

将所述抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果，所述阈值的绝对值小于所述测试机中测试弹簧针的正常弹性抖动范围的绝对值；

基于所述对比结果实现控制所述测试机的工作状态以避免所述测试机的不稳定造成被测试的芯片或晶圆被压坏；

每当所述抖动数据采集器设置于所述测试机的侧壁时，对所述抖动数据采集器进行归零初始化，确定出基准水平面；

当所述测试机进行作业时，所述抖动数据采集器随所述测试机抖动而连续地偏离所述基准水平面，产生多个偏离角度值；

将所述多个偏离角度值转换为数字信号后，生成抖动数据。

6.根据权利要求5所述的测试机的控制方法，其特征在于，所述测试机控制器将所接收到的所述抖动数据与预设的阈值进行对比，获得对比结果，包括：

将所述抖动数据与预设的阈值进行对比；

当所述抖动数据小于所述预设的阈值时，生成第一对比结果；

当所述抖动数据大于等于预设的阈值时，生成第二对比结果。

7.根据权利要求5所述的测试机的控制方法，其特征在于，所述基于所述对比结果实现控制所述测试机的工作状态，包括：

当所述对比结果为第一对比结果时，确定所述测试机处于稳定状态，返回继续将所接收到的所述抖动数据与预设的阈值进行对比；

当所述对比结果为第二对比结果时，确定所述测试机处于不稳定状态，生成测试机抖动异常的报警信号，并向所述测试机发送停止当前作业的控制信号。

8.一种计算机可读介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述程序被处理器执行时实现权利要求5至7中任一项所述的测试机的控制方法。

9.一种电子设备，其特征在于，包括：

一个或多个处理器；

存储装置，用于存储一个或多个程序，当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器实现权利要求5至7中任一所述的测试机的控制方法。