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QUERVERWEIS AUF VERWANDTE ANMELDUNG(EN)
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Diese Anmeldung beansprucht die Priorität der in Korea am 26. März 2015 angemeldeten
koreanischen Patentanmeldung 10-2015-0042563 gemäß §119 U. S. C., deren gesamte Offenbarung hier durch Verweis als Bestandteil aufgenommen ist.
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HINTERGRUND
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1. Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft einen Leckagesensor, der in der Lage ist, eine Flüssigkeitsleckage durch seitliche Detektion zu erkennen, und insbesondere einen Leckagesensor zur seitlichen Detektion, der mit einer Flüssigkeit, die auf einen Boden tropft oder fließt, in Kontakt kommt, auch wenn er sich nicht direkt unter der ausgetretenen Flüssigkeit befindet, und so die Flüssigkeitsleckage erkennt.
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2. Hintergrund
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Im Allgemeinen werden bei der Halbleiterfertigung viele chemische Substanzen verwendet. Es werden beispielsweise eine Reinigungslösung, die in einem Reinigungsvorgang nach den Schneid- und Polierprozessen für einen Wafer eingesetzt wird, eine lichtempfindliche Lösung, die in einem lichtempfindlichen Prozess für den Wafer eingesetzt wird, eine Entwicklerlösung, die in einem Entwicklungsprozess für den Wafer eingesetzt wird, und eine Ätzlösung, die in einem Ätzprozess für den Wafer eingesetzt wird, in Verfahren der Halbleiterfertigung verwendet.
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Diese chemischen Substanzen werden durch Transportleitungen dorthin gebracht, wo diese Prozesse jeweils durchgeführt werden sollen. Die chemischen Substanzen können aufgrund eines Schadens oder einer Beschädigung der Transportleitungen aus den Transportleitungen austreten. Da die ausgetretenen chemischen Substanzen einen negativen Einfluss auf andere Einheiten oder Bauteile in Halbleiterproduktionsanlagen haben können, muss eine Leckage in den Transportleitungen erkannt und schnell eine entsprechende Maßnahme getroffen werden.
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In einem Verfahren zum Erkennen der Leckage in den Transportleitungen sind ein positiver (+) Draht und ein negativer (–) Draht oder parallel angeordnet, wobei zwischen den Drähten ein Absorptionsmittel angeordnet ist, und es wird eine durch die ausgetretenen chemischen Substanzen erfolgende Widerstandsänderung gemessen. Ein nach einem solchen Verfahren arbeitender Sensor wird als Leckage-Zeilensensor bezeichnet.
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In einem Leckagedetektionsverfahren des Leckage-Zeilensensors sind debei der positive (+) Draht (oder elektrische Leiter) und der negative (–) Draht (oder elektrische Leiter) an einem Abfluß angeordnet, der von der Transportleitung ausgeht und die chemischen Substanzen aufnimmt, die aus den Transportleitungen austreten. So wird gemessen, ob eine Leckage aufgetreten ist. Ein Beispiel für den Leckage-Zeilensensor ist in der
koreanischen Patentanmeldung 10-2007-005234 offenbart.
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Zudem gibt es derzeit einen Leckage-Flächensensor, der einen größeren Leckageerkennungsbereich als der Leckage-Zeilensensor aufweist. Der Leckage-Flächensensor bildet einen vorgegebenen Erkennungsbereich, indem mehrere (+)-Stromleiterdrähten und (–)-Stromleiterdrähten einander kreuzend angeordnet sind oder ein Paar aus einem (+)-Stromleiterdraht und einem (–)-Stromleiterdraht in einem Zickzackmuster angeordnet sind. Ein Beispiel für einen derartigen Leckage-Flächensensor ist in der
japanischen Patentanmeldung 1989-171340 offenbart.
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Der Leckage-Flächensensor steht dabei mit einer ausgetretenen Flüssigkeit in Kontakt, die herabfällt, und kann so eine Flüssigkeitsleckage erkennen. Bei einem derartigen Detektionsverfahren sollte der Leckagesensor jedoch unmittelbar unter Abschnitten angeordnet sein, an denen es erwartungsgemäß zu einer Leckage kommt, und wenn die ausgetretene Flüssigkeit nicht auf eine Oberseite des Leckagesensors herabfällt, besteht das Problem, dass die Leckage nicht erkannt werden kann. Bei dem herkömmlichen Leckage-Flächensensor besteht also das Problem, dass das Auftreten der Leckage nicht erkannt werden kann, solange die austretende und auf einen Boden fließende Flüssigkeit nicht in einer ausreichenden Menge vorhanden ist, um die Oberseite des Leckagesensors zu erreichen, es sei denn, dass sich der Leckagesensor direkt unter einer Leckagestelle der Flüssigkeit befindet.
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KURZDARSTELLUNG
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Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Leckagesensors zur seitlichen Detektion, der mit einer Flüssigkeit, die auf einen Boden fließt, in Kontakt kommen kann, auch wenn er sich nicht direkt unter der ausgetretenen Flüssigkeit befindet, und so die Flüssigkeitsleckage erkennen kann.
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Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Leckagesensor bereitgestellt, der eine Grundschicht aufweist, die durch Tränken einer plattenförmigen Struktur mit einer Harzlösung, insbesondere einer Harzlösung auf Fluorbasis, gebildet wird, oder aus einer plattenförmigen Struktur aus einem Harz, insbesondere aus einem Harz auf Fluorbasis, gebildet wird; und eine Sensorschicht, in der ein Leckageerkennungsteil mit einer vorgegebenen Fläche durch Beschichten oder Bedrucken der Grundschicht in einem vorgegebenen Muster mit einer Mischung aus einem Flüssigharz, insbesondere einem Flüssigharz auf Fluorbasis, und einem leitfähigen Material gebildet wird, wobei der Leckageerkennungsteil der Sensorschicht auf einer Seitenfläche der Sensorschicht gebildet ist, sodass ihre Seitenfläche nach außen freiliegt, und die Grundschicht und die Sensorschicht ein Sensormodul bilden.
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Eine aus dem Harz, insbesondere dem Harz auf Fluorbasis, gebildete Schutzschicht kann mit einer Oberseite der Sensorschicht verbunden sein.
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Der Leckagesensor kann zwei oder mehr Sensormodule aufweisen und kann ferner eine Mehrzahl von durchgehenden Aussparungen aufweisen, die durch mindestens ein Sensormodul durchgehen, sodass die Sensorschicht des mindestens einen Sensormoduls seitlich nach außen freiliegt, und eine unter der Grundschicht, durch die sie hindurch gehen, angeordnete Sensorschicht nach oben und außen freiliegt, damit so ein Leckageerkennungsteil des Leckagesensors entsteht; und wobei im untersten Sensormodul keine durchgehende Aussparung gebildet ist.
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Der Leckagesensor kann zwei oder mehr Sensormodule aufweisen und kann ferner eine Mehrzahl von durchgehenden Aussparungen aufweisen, die durch die gesamte Schutzschicht und die Sensormodule hindurch verlaufen, sodass sie seitlich nach außen freiliegen und so ein Leckageerkennungsteil des Leckagesensors entsteht.
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An einer Unterseite des untersten Sensormoduls kann eine Aufnahmeaussparung mit einer vorgegebenen Fläche ausgebildet sein, und an der Aufnahmeaussparung ist ein Klebeband zum Anbringen der Grundschicht an einer weiteren Konstruktion oder einem Boden angebracht.
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Die Grundschicht und die Sensorschicht können über einen vorgegebenen Zeitraum bei einer vorgegebenen Temperatur plastisch bearbeitet werden, um das Sensormodul zu bilden, und das Sensormodul ist mit einem weiteren Sensormodul so verbunden, dass sie übereinander angeordnet sind.
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Die Verbindung zwischen den Sensormodulen kann durch plastisches Bearbeiten der Sensormodule über den vorgegebenen Zeitraum bei der vorgegebenen Temperatur erfolgen.
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Ein Rand der Schutzschicht kann sich weiter nach außen erstrecken als die Sensorschicht.
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Die Einzelheiten von einer oder mehreren Ausführungsformen sind in den beigefügten Zeichnungen und der nachstehenden Beschreibung dargelegt. Weitere Merkmale werden aus der Beschreibung und den Zeichnungen sowie aus den Ansprüchen ersichtlich.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Ausführungsbeispiele werden bezogen auf die folgenden Zeichnungen ausführlich beschrieben, in denen gleiche Bezugszeichen gleiche Elemente bezeichnen und in denen:
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1 eine perspektivische Ansicht ist, in der vereinfacht ein Leckagesensor zur seitlichen Detektion gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dargestellt ist;
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2 eine teilweise aufgeschnittene perspektivische Explosionsdarstellung des Leckagesensors zur seitlichen Detektion gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist;
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3 eine perspektivische Ansicht ist, in der vereinfacht ein Leckagesensor zur seitlichen Detektion gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dargestellt ist;
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4 eine perspektivische Ansicht ist, in der vereinfacht ein Leckagesensor zur seitlichen Detektion gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dargestellt ist;
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5 eine aufgeschnittene perspektivische Explosionsdarstellung des Leckagesensors zur seitlichen Detektion gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist und ein Leckageerkennungsmittel auf der Oberseite veranschaulicht;
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6 eine aufgeschnittene perspektivische Explosionsdarstellung des Leckagesensors zur seitlichen Detektion gemäß dem dritten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist und ein Leckageerkennungsmittel auf der Oberseite veranschaulicht, das sich von dem von 5 unterscheidet; und
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7 eine perspektivische Ansicht ist, in der vereinfacht ein Leckagesensor zur seitlichen Detektion gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dargestellt ist.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
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Es wird nun ausführlich auf die Ausführungsformen der vorliegenden Offenbarung Bezug genommen, für die in den beigefügten Zeichnungen Beispiele dargestellt sind.
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Unter Bezug auf 1 und 2 hat ein Leckagesensor zur seitlichen Detektion gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eine Grundschicht 110, die gegen chemische Mittel korrosionsbeständig ist, und eine Sensorschicht 120, die ebenfalls gegen die chemischen Mittel korrosionsbeständig ist.
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Die Grundschicht 110 wird durch Tränken einer plattenförmigen Struktur mit einem Harz, insbesondere einer Harzlösung auf Fluorbasis, über einen vorgegebenen Zeitraum gebildet. Die plattenförmige Struktur ist hier eine Struktur, die ein Gerüst der Grundschicht 110 bildet, und kann aus einem Glasfasergewebe gebildet sein. Alternativ kann die Grundschicht 110 als plattenförmige Struktur geformt sein, die aus einem Harz, insbesondere einem Harz auf Fluorbasis, gebildet ist.
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Die Sensorschicht 120 weist einen Leckageerkennungsteil mit einer vorgegebenen Fläche auf, der durch Mischen eines Flüssigharzes auf Fluorbasis mit einem leitfähigen Material und anschließendes Beschichten oder Bedrucken einer Oberseite der Grundschicht 110 mit einer Mischung daraus entsprechend einem vorgegebenen Muster gebildet wird. In dem Muster der Sensorschicht 120 sind hier ein positiver (+) Leiterpfad und ein negativer (–) Leiterpfad abwechselnd in einer Zickzackform angeordnet und bilden so einen Erkennungsbereich mit einer vorgegebenen Fläche.
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Das in der Grundschicht 110 und der Sensorschicht 120 verwendete Harz auf Fluorbasis kann bzw. können beispielsweise Ethylentetrafluorethlyen (ETFE), Fluorethylenprophylen (FEP), Polytetrafluorethylen (PTFE), perfluorierte Säuren (PFA) oder Ähnliches sein, was eine ausgezeichnete Chemikalienbeständigkeit und Wärmebeständigkeit aufweist.
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Der an der Sensorschicht 120 geformte Leckageerkennungsteil kann dabei über den gesamten Abschnitt einer Oberfläche der Sensorschicht 120 ausgebildet sein. Der Leckageerkennungsteil der Sensorschicht 120 ist also auf einer Oberfläche der Sensorschicht 120 gebildet, die von einer Oberseite der Grundschicht 110 weg zeigt. Der Leckageerkennungsteil kann zusätzlich auf der Seitenfläche der Sensorschicht 120 gebildet sein. Der Leckagesensor zur seitlichen Detektion gemäß der vorliegenden Erfindung kann deshalb sowohl eine ausgetretene Flüssigkeit erkennen, die auf einen oberen Abschnitt der Sensorschicht 120 herabfällt, als auch eine ausgetretene Flüssigkeit, die auf den Boden herabfällt und in der seitlichen Richtung der Sensorschicht 120 zur Sensorschicht 120 hin fließt.
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Die Grundschicht 110 und die Sensorschicht 120 können über einen vorgegebenen Zeitraum bei einer vorgegebenen Temperatur plastisch bearbeitet werden und können dann so verbunden werden, dass sie ein Sensormodul A bilden. Zur Bildung des Leckagesensors wird das Sensormodul A mit einem weiteren Sensormodul verbunden, das eine Grundschicht und eine Sensorschicht aufweist, sodass sie übereinander angeordnet sind. An dieser Stelle kann die Verbindung zwischen den Sensormodulen durch die plastische Bearbeitung über einen vorgegebenen Zeitraum bei einer vorgegebenen Temperatur erfolgen, auf dieselbe Weise wie die Verbindung zwischen der Grundschicht 110 und der Sensorschicht 120. Die in der Beschreibung vorgesehenen Zeichnungen veranschaulichen den Leckagesensor, bei dem zwei Sensormodule A und B verbunden sind. Die den Leckagesensor bildende Anzahl von Sensormodulen kann jedoch zwei oder mehr betragen. Die vorliegende Erfindung kann beispielsweise zwei oder mehr Sensormodule aufweisen und kann entsprechend erfassten Informationen der Sensormodule zusätzlich einen Flüssigkeitsstand erfassen.
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Wie zuvor beschrieben ist, weist der Leckagesensor mit einer Mehrzahl von Sensormodulen A und B den Leckageerkennungsteil auf, der auf einer Oberseite davon gebildet ist, und einen weiteren Leckageerkennungsteil, der auf der Seitenfläche davon gebildet ist, und kann somit sowohl die ausgetretene Flüssigkeit, die auf eine Oberseite herabfällt, als auch die ausgetretene Flüssigkeit erkennen, die auf einen Boden herabfällt und auf den Leckagesensor zu fließt.
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Mit anderen Worten kann der Leckagesensor gemäß der vorliegenden Erfindung mit der Flüssigkeit in Kontakt kommen, die auf einen Boden fließt, obwohl er sich nicht direkt unter der ausgetretenen Flüssigkeit befindet, und kann so die ausgetretene Flüssigkeit erkennen.
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Bezogen auf 3 kann in einem Leckagesensor zur seitlichen Detektion gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eine separate Schutzschicht 130 ganz oben angeordnet sein, sodass sie mit der Oberseite der Sensorschicht 120 verbunden ist. Wie die Grundschicht 110 ist die Schutzschicht 130 als plattenförmige Struktur geformt, die aus einem Harz, insbesondere einem Harz auf Fluorbasis, gebildet ist. Die Schutzschicht 130 ist mit der Oberseite der Sensorschicht 120 über die plastische Verbindung verbunden und kann so die Sensorschicht 120 schützen.
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Die Schutzschicht 130 dient dazu, zu verhindern, dass die Sensorschicht 120 beschädigt wird, wenn eine Person auf die Sensorschicht tritt oder andere Objekte auf die Sensorschicht fallen. Wenn die Schutzschicht 130 mit dem Leckagesensor verbunden ist, kann der Leckagesensor gemäß der vorliegenden Erfindung hier die ausgetretene Flüssigkeit, die von oben herabfällt, nicht mehr erkennen und kann über den Leckageerkennungsteil, der auf der Seite davon freiliegt, nur die ausgetretene Flüssigkeit erkennen, die in der seitlichen Richtung herausfließt.
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Obwohl dies nicht dargestellt ist, erstreckt sich ein Rand der Schutzschicht 130 über eine bestimmte Entfernung weiter nach außen als die Sensorschicht 120. Eine derartige Erweiterung der Schutzschicht 130 soll verhindern, dass der Leckageerkennungsteil der Sensorschicht 120 mit leitfähigen Fremdstoffen außer der ausgetretenen Flüssigkeit in Kontakt kommt, z. B. Metallpulver oder Ähnliches, die an einem Arbeitsplatz entstehen, und damit eine Funktionsstörung des Leckagesensors verhindern.
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Unter Bezug auf 4 und 5 weist ein Leckagesensor zur seitlichen Detektion gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zwei oder mehr Sensormodule A und B auf. Die Schutzschicht 130 ist mit der Oberseite der obersten Sensorschicht 120 verbunden. Es sind ein Leckageerkennungsmittel auf der Seitenfläche und ein Leckageerkennungsmittel auf der Oberseite vorhanden. Ein oberes Sensormodul A wird hier als erstes Sensormodul bezeichnet und ein unteres Sensormodul B wird als zweites Sensormodul bezeichnet.
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Das Leckageerkennungsmittel auf der Seitenfläche ist aus der Sensorschicht 120 gebildet, deren Seitenfläche nach außen freiliegt, wie in der ersten und zweiten Ausführungsform beschrieben ist. Das Leckageerkennungsmittel auf der Oberseite ist derweil aus einer Mehrzahl von durchgehenden Aussparungen 131 gebildet, die von der Schutzschicht 130 bis zu einem oberen Abschnitt des Leckageerkennungsteils der Sensorschicht 120 ausgebildet sind. In dieser Ausführungsform sind die durchgehenden Aussparungen jedoch nicht im zweiten Sensormodul ausgebildet, das heißt dem untersten Sensormodul.
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Die durchgehenden Aussparungen 131 sind insbesondere so geformt, dass sie wiederum durch die Schutzschicht 130, die Sensorschicht 120 und die Grundschicht 110 verlaufen, beginnend bei einer Oberseite der Schutzschicht 130. Die durchgehenden Aussparungen 131 verlaufen also durch die Schutzschicht 130 und das erste Sensormodul A. Die Mehrzahl der durchgehenden Aussparungen 131 ist über den gesamten Leckagesensor angeordnet, sodass sie in vorgegebenen Abständen einen Abstand zueinander aufweisen.
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Aufgrund der durchgehenden Aussparungen 131 liegt eine Oberseite des Leckageerkennungsteils der Sensorschicht 120 des zweiten Sensormoduls B nach oben frei und der Leckageerkennungsteil der Sensorschicht 120 des ersten Sensormoduls A ist am Umfang der durchgehenden Aussparungen 131 des ersten Sensormoduls A ausgebildet, sodass er nach außen freiliegt.
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Obwohl der Leckagesensor zur seitlichen Detektion gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Schutzschicht 130 aufweist, kann folglich der Leckageerkennungsteil der Sensorschicht 120 mit der Flüssigkeit in Kontakt kommen, die in die durchgehenden Aussparungen 131 gelangt, und kann somit die Flüssigkeit erkennen. Wie die erste und zweite Ausführungsform kann, da der Leckagesensor zur seitlichen Erkennung gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit der Flüssigkeit in Kontakt sein kann, die die seitliche Richtung entlangfließt, der Leckagesensor Undichtigkeiten auch über den Leckageerkennungsteil der Sensorschicht 120 erkennen, der auf der Seitenfläche des Leckagesensors ausgebildet ist und so nach außen freiliegt.
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Bezogen auf 6 kann der Leckagesensor zur seitlichen Detektion gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eine andere Art des Erkennungsmittels auf der Oberseite aufweisen, das sich von dem in 5 dargestellten unterscheidet.
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Das in 6 dargestellte Erkennungsmittel auf der Oberseite ist insbesondere aus einer Mehrzahl von durchgehenden Löchern 131' gebildet, die senkrecht durch den Leckagesensor verlaufen. Wie die zuvor beschriebenen durchgehenden Aussparungen 131 ist die Mehrzahl der durchgehenden Löcher 131' auch über den gesamten Leckagesensor angeordnet, sodass sie in vorgegebenen Abständen einen Abstand zueinander aufweisen.
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Die durchgehenden Löcher 131' sind insbesondere so geformt, dass sie wiederum durch die obere Sensorschicht 120, die obere Grundschicht 110, die untere Sensorschicht 120 und die untere Grundschicht 110 verlaufen, beginnend bei der obersten Schutzschicht 130. Die durchgehenden Löcher 131' verlaufen also durch die gesamte Schutzschicht 130, das erste Sensormodul A und das zweite Sensormodul B.
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Aufgrund der durchgehenden Löcher 131' sind die Leckageerkennungsteile der oberen Sensorschicht 120 des ersten Sensormoduls A und der unteren Sensorschicht 120 des zweiten Moduls B auf der Seitenfläche der Sensorschichten gebildet, sodass sie nach außen freiliegen.
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Obwohl der Leckagesensor zur seitlichen Detektion gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Schutzschicht 130 aufweist, kann deshalb der Leckageerkennungsteil der Sensorschicht 120 mit der Flüssigkeit in Kontakt kommen, die in die durchgehenden Löcher 131' gelangt, und kann somit die Flüssigkeit erkennen. Die in die durchgehenden Löcher 131' gelangende Flüssigkeit kann zudem durch die am weitesten unten befindliche Grundschicht 110 aus dem Leckagesensor geleitet werden.
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Bezogen auf 7 kann ein Leckagesensor zur seitlichen Detektion gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit einem Klebeband 140 an eine andere Konstruktion oder einen Boden des Arbeitsplatzes geklebt werden. Zu diesem Zweck ist an einer Unterseite der Grundschicht 110, die sich an der untersten Seite befindet, eine Aufnahmeaussparung 111 mit einer vorgegebenen Fläche ausgebildet. Und das Klebeband 140 ist an der Aufnahmeaussparung 111 angebracht.
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Wie zuvor beschrieben ist, wird der Leckagesensor, da das Klebeband 140 an der Aufnahmeaussparung 111 der Grundschicht 110 angebracht wird, an der weiteren Konstruktion oder dem Boden des Arbeitsplatzes angeheftet und somit sind das Klebeband 140 und die Grundschicht 110 im Wesentlichen auf derselben Ebene angeordnet, sodass zwischen der untersten Grundschicht 110 und einer weiteren Konstruktion, die sich von der untersten Grundschicht 110 unterscheidet, oder einer Klebefläche eines Bodens des Arbeitsplatzes selten ein Zwischenraum entsteht.
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Die ausgetretene Flüssigkeit, die zum Leckagesensor hin fließt, gelangt daher nicht über den Boden des Leckagesensors und kommt mit dem Leckageerkennungsteil der Sensorschicht 120 in Kontakt, womit so die Leistung zur Detektion der ausgetretenen Flüssigkeit sichergestellt werden kann.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung kann der Leckagesensor mit einer Flüssigkeit in Kontakt kommen, die auf einen Boden fließt, obwohl er sich nicht direkt unter der ausgetretenen Flüssigkeit befindet, und kann so die Flüssigkeitsleckage erkennen.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung kann zudem sowohl die ausgetretene Flüssigkeit, die auf die Oberseite des Leckagesensors fällt, als auch die ausgetretene Flüssigkeit erkannt werden, die von oben herabfällt und auf den Boden fließt, und zusätzlich kann auch ein Stand der ausgetretenen Flüssigkeit erfasst werden.
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Unter Bezug auf mehrere veranschaulichende Ausführungsformen sind zwar Ausführungsbeispiele beschrieben worden, jedoch sollte es sich verstehen, dass der Fachmann zahlreiche andere Abwandlungen und Ausführungsformen ersinnen kann, die in den Geist und Umfang der Grundgedanken dieser Offenbarung fallen. Insbesondere sind verschiedene Varianten und Abwandlungen an den Einzelteilen und/oder Anordnungen der vorliegenden Kombinationsanordnung innerhalb des Umfangs der Offenbarung, der Zeichnungen und der beigefügten Ansprüche möglich. Zusätzlich zu Varianten und Abwandlungen der Einzelteile und/oder Anordnungen werden für den Fachmann auch alternative Verwendungsmöglichkeiten ersichtlich.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- KR 10-2015-0042563 [0001]
- KR 10-2007-005234 [0006]
- JP 1989-171340 [0007]
