KR20070005234A

KR20070005234A - 누수 센서 및 누수 감지 시스템

Info

Publication number: KR20070005234A
Application number: KR1020050060428A
Authority: KR
Inventors: 임평호; 송종국; 조성호; 박기환; 김우건; 김태근
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2005-07-05
Filing date: 2005-07-05
Publication date: 2007-01-10
Also published as: US7398676B2; US20070006638A1

Abstract

본 발명은 누수 센서 및 누수 감지 시스템에 관한 것으로, 누수 센서는 유체와의 접촉 여부를 표지하는 유체 감지 부재와, 상기 유체 감지 부재와 조합된 적어도 두 개의 와이어와, 상기 적어도 두 개의 와이어를 피복하는 케이블을 포함하는 것을 특징으로 하고, 누수 감지 시스템은 상기 유체의 누수 여부에 대한 정보를 상기 케이블로부터 전기적 신호를 전달받아 상기 유체의 누수 발생 지점을 특정하여 표지하는 컨트롤 박스를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 인재 사고 방지, 반도체 라인 정지 사고 방지, 환경 안전 순찰 시간 단축 등을 통해 종국적으로는 무재해, 무결점 시스템을 달성할 수 있는 효과가 있다.

반도체, 화학 약품, 누수, 센서

Description

누수 센서 및 누수 감지 시스템{LEAK SENSOR AND LEAK SENSING SYSTEM}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 누수 센서를 도시한 사시도이다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 누수 센서의 적용예를 도시한 사시도이다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 누수 감지 시스템을 도시한 구성도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100; 누수 센서 110; 리트머스 시험지

122,123; 와이어 130; 케이블

140; 커넥터 500; 컨트롤 박스

510-540; 램프 550; 스피커

600; 드레인 배관

본 발명은 누수 감지 센서 및 누수 감지 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 화학 약품의 성분을 표시하는 필름을 이용한 누수 감시 센서 및 이를 이용한 누수 감시 시스템에 관한 것이다.

반도체소자가 고집적화되고 공정이 다양해짐에 따라 반도체 제조장비는 물론 공정에 사용되는 각종의 유틸리티(utility)들의 기능과 성능의 개선 또한 공정품질을 높이는데 중요한 역할을 담당하게 된다. 상술한 유틸리티의 대표적인 것으로 포토레지스트 및 세정액을 비롯한 각종의 화학약품 등을 반도체 설비에 공급하기 위한 배관을 비롯한 화학약품의 공급장치 내지는 폐수처리장치가 있다

반도체 설비의 특성상 설비에 유틸리티를 연결하여 사용하며, 유틸리티부의 연결부에서 누수 발생으로 사고가 빈번히 발생하고 있다. 이런 문제점으로 인해 수시로 환경 안전 순찰을 실시하고 있으나 미세한 누수의 경우 사람에 의해 즉시 발견되지 않아 작업자, 특히 화학 약품에 대한 기본이 없는 자에게 화학 약품이 접촉되는 사고가 빈번하다. 게다가 누수 사고시 조기 진압을 하지 못하여 누수가 발생한 배관, 전기 케이블, 기타 부대 설비 등의 안전 사고 등의 제2, 제3의 사고 발생으로 결국 반도체 라인이 정지되는 현상도 발생하게 된다.

종래의 누수 감지 시스템으로는 포인트형 누수 센서를 이용한 것이 있다. 포인트 센서의 원리는 센서에서 빛을 쏘아 빛의 반사된 광량을 계산하여 누수 발생 유무를 감지하는 것이다. 이와 다른 것으로, 와이어형 누수 센서를 이용한 것이 있다. 와이어 센서로는 2 종류가 있는데, 첫번째 종류는 와이어 내부에 2가닥의 케이블이 있어 누수 발생시 케이블이 쇼트되어 이를 통해 누수를 감지하는 것이다. 두번째 종류는 케이블의 저항을 계산하여 누수 발생을 감지하는 것이다.

그러나, 종래의 누수 센서는 반도체 설비나 밸브 박스 내에 설치되어 있어서 유틸리티 배관의 누수를 감지하지 못할 뿐더러 누수가 발생한 화학 약품의 종류를 판별할 수 없다. 더욱이, 포인트형 누수 센서는 누수 발생시 누수로 인해 센서의 빛을 누수가 흡수하여 센서로 반사되는 광량이 적게 되므로 누수가 있더라도 누수가 발생되지 않았다고 감지하는 단점이 있다. 이에 따라, 반도체 라인에 대한 환경 안전 순찰시 보다 효과적이고 환경 안전 사고를 조기에 진압하기 위한 유틸리티부의 누수 센서 및 누수 감지 시스템이 필요하다.

본 발명은 종래 기술에서의 요구와 필요에 부응하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 설비에서의 누수를 감지할 수 있는 누수 센서 및 누수 감지 시스템을 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 누수 감지 시스템은 화학 약품의 성분을 표시할 수 있는 필름을 이용하여 화학 약품의 누수를 감지하는 것을 특징으로 한다.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 누수 센서는, 유체와의 접촉 여부를 표지하는 유체 감지 부재와, 상기 유체 감지 부재와 조합된 적어도 두 개의 와이어와, 상기 적어도 두 개의 와이어를 피복하는 케이블을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 실시예의 누수 센서에 있어서, 상기 유체 감지 부재는 필름 형태이다. 상기 필름 형태의 유체 감지 부재는 리트머스 시험지를 포함한다.

본 실시예의 누수 센서에 있어서, 상기 적어도 두 개의 와이어는 상기 리트머스 시험지의 내부에 매립되는 형태로 조합된다. 상기 적어도 두 개의 와이어는 상기 유체와 접촉하였을 때 전기적으로 합선되도록 상기 리트머스 시험지 내부에 배치된다.

본 실시예의 누수 센서에 있어서, 상기 케이블은 테플론을 포함하는 재질로 피복되거나 구성된다. 상기 케이블은 끝단에 전기적 연결부를 포함한다.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 변형 실시예에 따른 누수 센서는, 유체가 흐르는 배관을 둘러싸며 상기 배관으로부터 누수된 유체와의 접촉 여부를 시각적으로 표지하기에 적합한 필름과, 상기 필름의 내부에 매립된 형태로 상기 필름과 조합된 그리고 상기 배관으로부터 누수된 유체와의 접촉에 의해 전기적으로 합선되는 적어도 두 개의 와이어와, 상기 적어도 두 개의 와이어 중에서 상기 필름과 조합되지 않는 부분을 감싸는 케이블을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 변형 실시예에 따른 누수 센서에 있어서, 상기 필름은 리트머스 시험지를 포함한다. 상기 필름은 상기 배관을 둘러싸는 면이 접착성이다.

본 변형 실시예에 따른 누수 센서에 있어서, 상기 케이블은 상기 적어도 두 개의 와이어를 상기 유체로부터 보호하는 테플론을 포함하는 재질로 피복되거나 구성된다. 상기 케이블의 끝단은 커넥터를 포함한다.

상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 누수 감지 시스템은, 유체가 흐르는 배관의 복수 지점을 감싸며 상기 배관으로부터 누수되는 유체와의 접촉 여부를 시각적으로 표지하는 복수개의 유체 감지부와, 상기 복수개의 유체 감지부와 조합되어 상기 유체와의 접촉 여부를 전기적으로 알리는 복수개의 케이블과, 상기 복수개의 케이블과 전기적으로 연결되어 상기 유체의 누수 여부에 대한 정보를 상기 케이블로부터 전기적 신호를 전달받아 상기 유체의 누수 발생 지점을 특정하여 표지하는 컨트롤 박스를 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 실시예의 누수 감지 시스템에 있어서, 상기 컨트롤 박스는 상기 유체의 누수 발생 지점을 특정하여 시각적으로 알리는 복수개의 램프를 포함한다. 상기 컨트롤 박스는 상기 유체의 누수 발생 유부를 청각적으로 알리는 스피커를 포함한다.

본 실시예의 누수 감지 시스템에 있어서, 상기 유체 감지부는 리트머스 시험지를 포함한다.

본 실시예의 누수 감지 시스템에 있어서, 상기 케이블은 상기 리트머스 시험지의 내부에 매립되어 상기 유체와의 접촉에 의해 전기적으로 합선되는 적어도 두 개의 와이어를 포함한다. 상기 케이블은 상기 적어도 두 개의 와이어 및 유체와의 접촉으로 상기 적어도 두 개의 와이어가 부식되는 것을 방지하기에 적합한 물질로 피복되거나 구성되는 것을 특징으로 하는 누수 감지 시스템. 상기 물질은 테플론을 포함한다.

본 실시예의 누수 감지 시스템에 있어서, 상기 배관의 복수 지점은 배관과 배관의 연결부위이다.

이하, 본 발명에 따른 누수 센서 및 누수 감지 시스템을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명과 종래 기술과 비교한 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명은 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명은 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.

(실시예)

도 1을 참조하면, 본 실시예의 누수 센서(100;leak sensor)는 누수 발생 여부를 외부로 표지하는 필름(110)을 구비한다. 이 필름(110)은 유체, 예를 들어, 반도체 설비에 사용되는 화학 약품의 성분을 외부로 표지하기에 적합한 리트머스 시험지(litmus paper)인 것이 바람직하다.

리트머스(litmus)는 산성물에 의하여 적색으로, 알칼리성물에 의하여 청색으로 색이 변하는 시약이다. 이 리트머스 시약을 여과지와 같은 종이에 적신 후에 건조시킨 것이 리트머스 시험지(litmus paper)이다. 이러한 리트머스 시험지(110)는 용액이 산성인지 알칼리성인지 색깔 변화로 쉽게 알 수 있게 해 주기 때문에 화학 약품의 누수 발생 여부를 표지하는 필름으로 적당하다. 한편, 누수 발생 여부 표지물을 리트머스 시험지(110)로 채택하게 되면 누수된 화학 약품의 산성도를 확인할 수 있어 이에 따라 적절하게 대처할 수 있다. 리트머스 시험지(110) 색깔이 변화는 정도는 pH 값이 5 이하이면 적색으로 변하고, pH 값이 8 이상이면 청색으로 변하며, pH 값이 5 내지 8이면 보라색으로 변한다고 알려져 있다. 따라서, 리트머스 시험지(110)의 색깔 변화를 관찰하면 누수된 화학 약품의 산성도를 확인할 수 있어서 간접적으로 누수된 화학 약품의 종류를 확인하는데 시간이 단축된다.

리트머스 시험지(110)는 후술하는 바와 같이 배관(도 2의 300 참조)의 연결부위를 둘러싸도록 감긴다. 따라서, 리트머스 시험지(110)의 길이(L)는 배관(300)의 굵기에 따라 달라질 것이나, 배관(300)을 충분히 감을 수 있을 만큼 그 길이(L)가 확보되어야 할 것이다. 그리고, 리트머스 시험지(110)의 폭(D)은 적어도 누수를 감지하기에 충분한 크기를 가져야 할 것이다. 예를 들어, 리트머스 시험지(110)의 폭(D)은 약 50 mm 안팎으로 설계할 수 있다. 그러나, 리트머스 시험지(110)의 폭(D)은 이에 한정되지 아니하고 필요에 따라 또는 설계에 따라 그 길이는 임의적이다. 그리고, 리트머스 시험지(110)는 배관(300)에 부착가능하도록 어느 한 면은 접착성을 가지는 것이 바람직하다.

리트머스 시험지(110)에는 누수 발생시 누수된 화학 약품에 의해 합선되도록 적어도 두 개의 와이어(122,123;wire)가 내부에 파묻히는 형태로 조합된다. 와이어(122,123)는 누수 발생시 합선되도록 그 간격(d)이 적절하게 조절되어야 할 것이다. 와이어(122,123)의 간격(d)이 아주 크면 누수 발생 감도가 떨어질 것이며, 반대로 아주 작으면 누수가 발생되지 아니하더라고 다른 요인에 의해 합선될 가능성이 있을 것이다. 따라서, 와이어(122,123)는 누수 발생 감도를 최대화하기 위해 그 간격(d)이 최대 약 2 mm 정도록 설정하는 것이 바람직하다 할 것이다.

각 와이어들(122,123)은 케이블(124,125;cable)에 의해 감싸져 보호받는다. 또한, 각 케이블들(124,125)은 누수 발생시 누수된 화학 약품에 의해 보호를 받아 부식되지 않도록 화학 약품에 내성이 있는 테플론(TEFLON) 재질로 피복되거나 구성된 케이블(130)에 의해 감싸진다. 한편, 본 누수 센서(100)는 일단 누수가 발생하 게 되면 더 이상 사용하지 못하므로 그 교체의 용이성을 위해 커넥터(140;connector)가 구비된다. 이 커넥터(140)는 후술하는 컨트롤 박스(도 3의 500 참조)에 전기적으로 연결된다.

도 2를 참조하면, 누수 센서(100)의 리트머스 시험지(110)는 배관(300), 특히 배관(300)의 연결부위에 감긴다. 여기서의 배관(300)은 화학 약품 공급 배관일 수 있고, 또는 산폐수나 알칼리폐수 등 폐수처리 배관일 수 있는 등 화학 약품을 비롯한 각종 유체의 흐름 경로를 제공하는 배관이면 어느 것이든 불문한다.

커넥터(140)는 컨트롤 박스(500)로 연결되는 케이블(400)의 커넥터(410)에 전기적으로 연결된다. 이에 따라, 배관(300)에서 누수가 발생한 경우 리트머스 시험지(110)는 누수된 화학 약품에 의해 특정색으로 변화하여 화학 약품의 성분을 외부로 표지하며, 리트머스 시험지(110)에 조합된 와이어(122,123)가 화학 약품에 의해 합선되어 그 시그널은 케이블(130,400)을 타고 컨트롤 박스(500)로 전달된다. 일단 누수된 화학 약품에 의해 와이어(122,123)가 합선된 누수 센서(100)는 더 이상 사용하지 못하므로 커넥터(140)가 다른 커넥터(410)로부터 탈락됨으로써 교체된다.

한편, 배관(300)의 연결부위에 리트머스 시험지(110)가 부착되어 있으므로 본 누수 센서(100)는 미세한 누수까지도 감지할 수 있다. 따라서, 본 누수 센서(100)는 미세한 누수 발생의 경우 작업자로 하여금 필요한 조치를 취하게 하여 누수의 조기 진압이 가능하게끔 구성되어 있다.

도 3을 참조하면, 반도체 설비의 배관, 예를 들어, 드레인 배관(600)의 연결부위, 가령 4개의 연결부위에 리트머스 시험지(110)를 이용한 센서(100)가 각각 부착된다. 케이블(130)은 컨트롤 박스(500)에 전기적으로 연결된다. 컨트롤 박스(500)는 소정의 전압의 파워(power)와 누수 발생시 스위치 역할을 하는 릴레이 등이 설치된다. 와이어(122,123)는 컨트롤 박스(500)로부터 전기적 파워를 인가받고 있어 합선될 경우 이 전기적 신호가 컨트롤 박스(500)로 전달된다. 컨트롤 박스(500)는 반도체 설비에 경고성 알람을 보내어 작업자로 하여금 빠른 피드백을 줄 수 있게끔 구성된다.

이 컨트롤 박스(500)에는 누수 센서(100)가 누수를 감지할 경우 누수가 발생된 지점을 시각적으로 외부로 표지하는 램프들(510-540)이 설치된다. 이 램프들(510-540)은 발광 다이오드로 구성될 수 있다. 가령, 드레인 배관(600)의 1번 연결부위에 부착된 누수 센서(100)로부터 누수 감지 시그널이 박스(500)에 전달되면 1번 램프(510)가 점멸됨으로써 1번 위치에서 누수가 발생하였다는 것을 외부로 표지한다. 다른 램프들(520-540)도 이와 마찬가지이다. 또한, 이 박스(500)에는 누수 센서(100)가 누수를 감지할 경우 이를 청각적으로 외부로 전달하는 스피커(550)가 배치된다.

예를 들어, 드레인 배관(600) 중 1번 연결부위에서 누수가 발생하게 되면 리트머스 시험지(110)는 누수된 화학 약품에 의해 색이 변하게 되어 누수된 화학 약품의 성분을 표지한다. 이와 동시에 리트머스 시험지(110)에 조합된 와이어 (122,123)가 누수된 화학 약품에 의해 합선되어 컨트롤 박스(500)로 전기적 신호를 전달하게 된다. 그러면, 1번 연결부위에 해당하는 램프(510)가 점멸하고 스피커(550)에서 알람 경고가 울리게 된다. 즉, 본 누수 감지 시스템은 누수 발생시 즉시 조치를 할 수 있으며, 누수 발생시 누수 부위를 알려주는 경고음 발생으로 누수 발생 지역 주위로부터 대피하게 할 수 있게끔 구성되어 있다.

도 3은 이해를 돕고자 하나의 드레인 배관(600)만을 도시하고, 이 드레인 배관(600)에 가령 총 4 개의 연결부위가 있다고 가정하여 각 연결부위에 누수 센서(100)를 부착한 것을 도시한 것이다. 가령, 반도체 세정 설비에 드레인 배관이 10개 있다고 가정하고, 각 드레인 배관에 10개씩의 연결부위가 있다고 가정하면 총 100개의 연결부위에 누수 센서를 부착하여 누수 발생 유무를 감지할 수 있도록 설계할 수 있다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.

첫째로, 화학 약품의 접촉에 따른 인재 사고를 예방하고, 누수 발생에 의한 화학 약품 배관, 전기 케이블, 기타 부대 설비에 대한 제2, 제3의 사고를 미연에 방지할 수 있어서 반도체 라인 정지에 따른 로스를 없애거나 최소화할 수 있는 효과가 있다.

둘째로, 리트마스 시험지를 이요한 누수 감지 시스템으로 인하여 반도체 라인의 환경 안전 순찰에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다. 특히, 지진 발생시 반도체 라인 순찰에 유용하다.

셋째로, 이상과 같이 인재 사고 방지, 반도체 라인 정지 사고 방지, 환경 안전 순찰 시간 단축 등을 통해 종국적으로는 무재해, 무결점 시스템을 달성할 수 있는 효과가 있다.

Claims

유체와의 접촉 여부를 표지하는 유체 감지 부재와;

상기 유체 감지 부재와 조합된 적어도 두 개의 와이어와;

상기 적어도 두 개의 와이어를 피복하는 케이블;

을 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 센서.
제1항에 있어서,

상기 유체 감지 부재는 필름 형태인 것을 특징으로 하는 누수 센서.
제2항에 있어서,

상기 필름 형태의 유체 감지 부재는 리트머스 시험지를 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 센서.
제3항에 있어서,

상기 적어도 두 개의 와이어는 상기 리트머스 시험지의 내부에 매립되는 형태로 조합되는 것을 특징으로 하는 누수 센서.
제4항에 있어서,

상기 적어도 두 개의 와이어는 상기 유체와 접촉하였을 때 전기적으로 합선 되도록 상기 리트머스 시험지 내부에 배치되는 것을 특징으로 하는 누수 센서.
제1항에 있어서,

상기 케이블은 테플론을 포함하는 재질로 피복되거나 구성된 것을 특징으로 하는 누수 센서.
제1항에 있어서,

상기 케이블은 끝단에 전기적 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 센서.
유체가 흐르는 배관을 둘러싸며, 상기 배관으로부터 누수된 유체와의 접촉 여부를 시각적으로 표지하기에 적합한 필름과;

상기 필름의 내부에 매립된 형태로 상기 필름과 조합된, 그리고 상기 배관으로부터 누수된 유체와의 접촉에 의해 전기적으로 합선되는 적어도 두 개의 와이어와;

상기 적어도 두 개의 와이어 중에서 상기 필름과 조합되지 않는 부분을 감싸는 케이블;

을 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 센서.
제8항에 있어서,

상기 필름은 리트머스 시험지를 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 센서.
제8항에 있어서,

상기 필름은 상기 배관을 둘러싸는 면이 접착성인 것을 특징으로 하는 누수 센서.
제8항에 있어서,

상기 케이블은 상기 적어도 두 개의 와이어를 상기 유체로부터 보호하는 테플론을 포함하는 재질로 피복되거나 구성된 것을 특징으로 하는 누수 센서.
제8항에 있어서,

상기 케이블의 끝단은 커넥터를 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 센서.
유체가 흐르는 배관의 복수 지점을 감싸며, 상기 배관으로부터 누수되는 유체와의 접촉 여부를 시각적으로 표지하는 복수개의 유체 감지부와;

상기 복수개의 유체 감지부와 조합되어 상기 유체와의 접촉 여부를 전기적으로 알리는 복수개의 케이블과;

상기 복수개의 케이블과 전기적으로 연결되어 상기 유체의 누수 여부에 대한 정보를 상기 케이블로부터 전기적 신호를 전달받아 상기 유체의 누수 발생 지점을 특정하여 표지하는 컨트롤 박스;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 감지 시스템.
제13항에 있어서,

상기 컨트롤 박스는 상기 유체의 누수 발생 지점을 특정하여 시각적으로 알리는 복수개의 램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 감지 시스템.
제14항에 있어서,

상기 컨트롤 박스는 상기 유체의 누수 발생 유부를 청각적으로 알리는 스피커를 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 감지 시스템.
제13항에 있어서,

상기 유체 감지부는 리트머스 시험지를 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 감지 시스템.
제13항에 있어서,

상기 케이블은 상기 리트머스 시험지의 내부에 매립되어 상기 유체와의 접촉에 의해 전기적으로 합선되는 적어도 두 개의 와이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 감지 시스템.
제17항에 있어서,

상기 케이블은 상기 적어도 두 개의 와이어 및 유체와의 접촉으로 상기 적어도 두 개의 와이어가 부식되는 것을 방지하기에 적합한 물질로 피복되거나 구성되는 것을 특징으로 하는 누수 감지 시스템.
제18항에 있어서,

상기 물질은 테플론을 포함하는 것을 특징으로 하는 누수 감지 시스템.
제13항에 있어서,

상기 배관의 복수 지점은 배관과 배관의 연결부위인 것을 특징으로 하는 누수 감지 시스템.