DE102012221945A1

DE102012221945A1 - Abscheidungsmaske und Abscheidungsvorrichtung, die diese aufweist

Info

Publication number: DE102012221945A1
Application number: DE201210221945
Authority: DE
Inventors: Jungmin Lee; Choong-ho Lee
Original assignee: Samsung Display Co Ltd
Current assignee: Samsung Display Co Ltd
Priority date: 2012-01-19
Filing date: 2012-11-30
Publication date: 2013-07-25
Also published as: KR20130085292A; US20130186330A1; JP5542905B2; KR101941077B1; US9221072B2; JP2013147739A

Abstract

Eine Abscheidungsmaske (300) und eine Abscheidungsvorrichtung (10) mit einer Maske (300) werden offenbart. Die Maske (300) weist eine Vielzahl von Öffnungen (310-OP) auf, wobei jede der Öffnungen (310-OP) durch eine erste Neigung (310-OPS1) und eine zweite Neigung (310-OPS2) definiert ist, die einander zugewandt sind und jeweils zu einer Seite (320-S1) der Maske (300) geneigt sind, und wobei ein Neigungswinkel der ersten Neigung (310-OPS1) einer der Öffnungen (310-OP) in einem mittleren Bereich (CL) der Maske (300) anders ist als ein Neigungswinkel der ersten Neigung (310-OPS1) einer anderen der Öffnungen (310-OP) in einem äußeren Bereich (CL-01, CL-02) der Maske (300).

Description

HINTERGRUND
1. Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abscheidungsmaske und eine Abscheidungsvorrichtung, die diese aufweist.
2. Beschreibung des Standes der Technik
Eine Flachtafelanzeige oder eine Halbleitervorrichtung wird durch die Abscheidung verschiedener Materialien auf einem Substrat hergestellt. Ein Abscheidungsverfahren wird unter Verwendung einer Abscheidungsmaske durchgeführt. Auf dem Substrat abgeschiedene Materialien bilden ein Dünnfilmmuster aus. In jüngster Zeit wird als Reaktion auf eine hohe Integration von Halbleitervorrichtungen und eine hohe Auflösung von Flachtafelanzeigen die Dichte des Dünnfilmmusters erhöht.
ZUSAMMENFASSUNG
Zur Verbesserung der Leistung von Halbleitervorrichtungen und Flachtafelanzeigen ist ein gleichmäßiges Dünnfilmmuster erwünscht.
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung enthalten eine Abscheidungsmaske. Die Maske kann einen Durchlassabschnitt für Abscheidungsmaterial, der zumindest eine Öffnungsspalte aufweist, die eine Vielzahl von Öffnungen aufweist, die in einer ersten Richtung angeordnet sind, und einen Rahmenabschnitt, der zum Durchlassabschnitt für Abscheidungsmaterial benachbart ist, aufweisen, wobei jede der Öffnungen durch eine erste Neigung und eine zweite Neigung, die einander entlang der ersten Richtung zugewandt sind und jeweils zu einer Seite des Rahmenabschnitts geneigt sind, und eine dritte Neigung und eine vierte Neigung definiert ist, die einander entlang einer zweiten Richtung zugewandt sind, die die erste Richtung kreuzt, und wobei ein Neigungswinkel der ersten Neigung einer der Öffnungen in einem mittleren Bereich einer der Öffnungsspalten anders ist als ein Neigungswinkel der ersten Neigung einer anderen der Öffnungen in einem äußeren Bereich der Öffnungsspalte. Jede der ersten bis vierten Neigung kann durch die Maske ausgebildet werden und an eine der Öffnungen grenzen.
Der äußere Bereich kann einen ersten äußeren Bereich und einen zweiten äußeren Bereich aufweisen, während sich der mittlere Bereich zwischen dem ersten und zweiten äußeren Bereich befinden kann.
Die erste Neigung jeder der einen der Öffnungen im ersten und zweiten äußeren Bereich kann sich näher am mittleren Bereich befinden als die zweite Neigung derselben.
Neigungswinkel der ersten Neigungen der einen der Öffnungen im ersten und zweiten äußeren Bereich können kleiner sein als Neigungswinkel der zweiten Neigungen der einen der Öffnungen im ersten und zweiten äußeren Bereich.
Die Neigungswinkel der ersten Neigungen der einen der Öffnungen im ersten und zweiten äußeren Bereich, die sich näher am mittleren Bereich befinden, können größer sein als die Neigungswinkel der ersten Neigungen von anderen der einen der Öffnungen im ersten und zweiten äußeren Bereich, die weiter vom mittleren Bereich entfernt sind.
Die Neigungswinkel der zweiten Neigungen der einen der Öffnungen im ersten und zweiten äußeren Bereich, die sich näher am mittleren Bereich befinden, können kleiner sein als die Neigungswinkel der zweiten Neigungen der anderen der einen der Öffnungen im ersten und zweiten äußeren Bereich, die weiter vom mittleren Bereich entfernt sind.
Ein Neigungswinkel der zweiten Neigung einer der Öffnungen im mittleren Bereich kann im Wesentlichen gleich einem Neigungswinkel der ersten Neigung der einen der Öffnungen im mittleren Bereich sein.
Die dritte und vierte Neigung von jeder der Öffnungen kann zu einer Seite des Rahmenabschnitts geneigt sein.
Ein Neigungswinkel der dritten Neigung kann gleich einem Neigungswinkel der vierten Neigung sein.
Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung stellen weiterhin eine Abscheidungsvorrichtung bereit. Die Abscheidungsvorrichtung kann einen Quellenabschnitt, der eine Vielzahl von Düsen aufweist, die in einer ersten Richtung angeordnet sind, und konfiguriert ist, ein Abscheidungsmaterial einem Substrat zuzuführen, und eine Abscheidungsmaske zwischen dem Substrat und dem Quellenabschnitt aufweisen. Die Maske kann die Maske gemäß der oben genannten Erfindung sein. Insbesondere kann die Abscheidungsmaske einen Durchlassabschnitt für Abscheidungsmaterial, der zumindest eine Öffnungsspalte aufweist, die eine Vielzahl von Öffnungen aufweist, die in der ersten Richtung angeordnet sind, und einen Rahmenabschnitt aufweisen, der zum Durchlassabschnitt für Abscheidungsmaterial benachbart ist, wobei die Öffnungen durch eine erste und zweite Neigung, die einander in der ersten Richtung zugewandt sind und zu einer Seite des Rahmenabschnitts geneigt sind, und durch eine dritte und vierte Neigung definiert sind, die einander in einer zweiten Richtung zugewandt sind, und wobei ein Neigungswinkel einer ersten Neigung von zumindest einer der Öffnungen in einem mittleren Bereich der Öffnungsspalte anders ist als Neigungswinkel erster Neigungen von einen der Öffnungen in äußeren Bereichen der Öffnungsspalte.
Ein Trennungsabstand zwischen einen aus der Vielzahl der Düsen in einem mittleren Bereich des Quellenabschnitts kann größer sein als ein Trennungsabstand zwischen einen aus der Vielzahl der Düsen in äußeren Bereichen des Quellenabschnitts.
Eine Länge des Quellenabschnitts entlang der ersten Richtung kann größer sein als eine Breite der Abscheidungsmaske entlang der ersten Richtung.
Der Quellenabschnitt kann konfiguriert sein, sich in die zweite Richtung zu bewegen, die die erste Richtung kreuzt.
Die Abscheidungsmaske kann konfiguriert sein, mit einer Seite des Substrats kombiniert zu werden, so dass die erste und zweite Neigung dem Quellenabschnitt zugewandt sind.
Die äußeren Bereiche können einen ersten äußeren Bereich und einen zweiten äußeren Bereich aufweisen, wobei sich der mittlere Bereich zwischen dem ersten und zweiten äußeren Bereich befinden kann und wobei sich eine erste Neigung von jeder der einen der Öffnungen im ersten und zweiten äußeren Bereich näher am mittleren Bereich befinden kann als eine zweite Neigung von jeder der einen der Öffnungen im ersten äußeren Bereich.
Neigungswinkel der ersten Neigungen im ersten und zweiten äußeren Bereich können kleiner sein als Neigungswinkel der zweiten Neigungen im ersten und zweiten äußeren Bereich.
Einer der Neigungswinkel der ersten Neigungen von einen der Öffnungen in äußersten Bereichen von jedem des ersten und zweiten äußeren Bereichs können Folgendem unterliegen: tanθ1 = 2Lt / Ls1 + Ls2 wobei θ1 ein Winkel des einen der Neigungswinkel der ersten Neigungen ist, Lt ein Abstand zwischen dem Quellenabschnitt und der Abscheidungsmaske ist, Ls1 eine Länge des Quellenabschnitts in der ersten Richtung ist, und Ls2 eine Breite der Abscheidungsmaske in der ersten Richtung ist. Insbesondere können die Neigungswinkel im Wesentlichen von der oben stehenden Formel in einem Proportionalglied abhängen.
Einer der Neigungswinkel der zweiten Neigungen der einen der Öffnungen in den äußersten Bereichen von jedem des ersten und zweiten Bereichs können Folgendem unterliegen: tanθ2 = 2Lt / Ls1 – Ls2 wobei θ2 ein Winkel von einem der Neigungswinkel der zweiten Neigungen ist. Die Neigungswinkel der ersten Neigungen der einen der Öffnungen im ersten und zweiten äußeren Bereich, die sich näher am mittleren Bereich befinden, können größer sein als die Neigungswinkel der ersten Neigungen von anderen der einen der Öffnungen im ersten und zweiten äußeren Bereich, die weiter vom mittleren Bereich entfernt sind. Insbesondere können die Neigungswinkel im Wesentlichen von der oben stehenden Formel in einem Proportionalglied abhängen.
Die Neigungswinkel der zweiten Neigungen der einen der Öffnungen im ersten und zweiten äußeren Bereich, die näher am mittleren Bereich sind, können kleiner sein als die Neigungswinkel der zweiten Neigungen der anderen der einen der Öffnungen im ersten und zweiten äußeren Bereich, die weiter vom mittleren Bereich entfernt sind.
KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung sollen weiter unten unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren ausführlicher beschrieben werden. Die Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung können allerdings in verschiedenen Formen ausgeführt werden und sollten nicht auf die hier dargestellten Ausführungsformen beschränkt ausgelegt werden. Vielmehr werden die folgenden Ausführungsformen bereitgestellt, damit diese Offenbarung genau und vollständig ist und der Schutzbereich der vorliegenden Erfindung dem Fachmann vollständig vermittelt wird. Gleiche Bezugszeichen beziehen sich immer auf gleiche Elemente.
1 zeigt eine Seitenansicht, in der eine Abscheidungsvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung von einer Seite dargestellt ist.
2 zeigt eine Seitenansicht, in der eine Abscheidungsvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung von einer anderen Seite als der in 1 gezeigten Seite dargestellt ist.
3A zeigt eine Draufsicht, in der eine Seite einer Maske gemäß der in 1 dargestellten Ausführungsform dargestellt ist.
3B zeigt eine Draufsicht, in der die andere Seite der Maske gemäß der in 1 dargestellten Ausführungsform dargestellt ist.
4 zeigt eine vergrößerte Ansicht eines Teils der Maske gemäß der Ausführungsform in 3A.
5 zeigt eine Querschnittdarstellung, die entlang der Linie I-I' in 4 verläuft.
6 zeigt eine Ansicht, in der ein Bereich dargestellt ist, in dem Abscheidungsmaterial einer Öffnung einer Maske zugeführt wird, die in 5 dargestellt ist.
7 zeigt eine Ansicht, in der ein Abscheidungsmaterial dargestellt ist, das einer der Öffnungen der Maske gemäß der in 6 dargestellten Ausführungsform zugeführt wird.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG
Nachfolgend sollen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten schematischen Figuren ausführlicher beschrieben werden, in denen Ausführungsformen der Erfindung gezeigt werden. Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung können indes in verschiedenen Formen ausgeführt werden, so dass die vorliegende Erfindung nicht auf die hier dargestellten Ausführungsformen beschränkt ausgelegt werden sollte. Diese Ausführungsformen werden vielmehr bereitgestellt, damit diese Offenbarung genau und vollständig ist und der Schutzbereich der vorliegenden Erfindung dem Fachmann vollständig vermittelt wird. In den Figuren können die Größe und relative Größen von Schichten und Regionen der Klarheit wegen übertrieben dargestellt sein. Gleiche Nummern beziehen sich überall in den Figuren auf gleiche Elemente.
1 zeigt eine Seitenansicht einer Abscheidungsvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung von einer Seite. 2 zeigt eine Seitenansicht einer Abscheidungsvorrichtung gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die in 1 dargestellt ist, von einer anderen Seite.
Wie in 1 und 2 dargestellt, weist eine Abscheidungsvorrichtung 10 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einen Quellenabschnitt 200 zum Zuführen eines Abscheidungsmaterials DM zu einem Substrat 100 und eine Maske 300 zwischen dem Substrat 100 und dem Quellenabschnitt 200 auf.
Das Substrat 100 kann ein ebenes Element sein, das eine Anzeige bildet, oder kann ein ebenes Element sein, das eine Halbleitervorrichtung bildet. Das Substrat 100 kann zum Beispiel Glas, Silizium, Metall und Kunststoff aufweisen. Das Substrat 100 bildet allerdings keinen Teil der Abscheidungsvorrichtung 10, sondern muss von der Abscheidungsvorrichtung 10 mit dem Abscheidungsmaterial DM beschichtet werden.
Nachfolgend wird das Substrat 100 als ebenes Element beschrieben, das eine Anzeige bildet. Das Substrat 100 kann eine Vielzahl von (nicht gezeigten) Pixelbereichen und einen (nicht gezeigten) Nicht-Pixelbereich aufweisen, der zu den Pixelbereichen benachbart ist. Zum Beispiel können die Pixelbereiche einer organischen lichtemittierenden Anzeigevorrichtung jeweils einen Pixel aufweisen, der eine organische lichtemittierende Schicht aufweist. Die Pixelbereiche können in einer Matrixform angeordnet sein. Der Nicht-Pixelbereich umgibt jeden der Pixelbereiche. Der Nicht-Pixelbereich ist zum Beispiel ein Bereich, in dem ein Dünnfilmtransistor und eine Signalverbindung ausgebildet sind.
Der Quellenabschnitt 200 weist eine Vielzahl von Düsen 210 auf, die in einer ersten Richtung D1 angeordnet sind. Vorzugsweise gibt jede der Düsen 210 das Abscheidungsmaterial DM ab. Das Abscheidungsmaterial DM kann eine organische Substanz oder eine anorganische Substanz sein. Die Art des Abscheidungsmaterials DM kann in Abhängigkeit davon ausgewählt werden, ob das Substrat 100 einen Abschnitt einer Anzeige oder einen Abschnitt einer Halbleitervorrichtung bildet. Die Art des Abscheidungsmaterials DM kann weiterhin abhängig von einem Schritt des Herstellungsverfahrens ausgewählt werden. Abscheidungsmaterial DM, das auf dem Pixel- oder Matrixbereich des Substrats 100 abgeschieden wird, bildet ein Dünnfilmmuster aus.
Die Düsen 210 können in regelmäßigen Abständen angeordnet sein oder können in verschiedenen Abständen in Abhängigkeit von einem Bereich angeordnet sein. In 1 und 2 ist der Quellenabschnitt 200 dargestellt, der Düsen 210 aufweist, die in verschiedenen Abständen in Abhängigkeit von einem Bereich angeordnet sind.
Der Quellenabschnitt 200 weist eine größere Länge entlang der ersten Richtung D1 auf als eine Breite der Maske 300 entlang der ersten Richtung D1 beträgt, was weiter unten beschrieben werden soll. Dadurch kann ein Teil der Düsen 210 außerhalb der Maske 300 angeordnet sein.
Die Maske 300 der vorliegenden Ausführungsform weist einen Durchlassabschnitt für Abscheidungsmaterial (310 in 3A) und einen Rahmenabschnitt (320 in 3A) auf, der zum Durchlassabschnitt 310 für Abscheidungsmaterial benachbart ist. Der Durchlassabschnitt 310 für Abscheidungsmaterial weist zumindest eine Öffnungsspalte (310-CL in 3A) auf. Wenn die Maske 300 eine Vielzahl von Öffnungsspalten 310-CL aufweist, können die Öffnungsspalten 310-CL in regelmäßigen Abständen angeordnet sein. Das Abscheidungsmaterial DM, das durch die Öffnungen 310-OP der Maske 300 hindurch gelangte, wird gleichmäßig in den Pixelbereichen des Substrats 100 abgeschieden.
Das oben beschriebene Abscheidungsverfahren kann in einem Zustand ablaufen, in dem die Maske 300 und das Substrat 100 miteinander kombiniert sind. Die Maske 300 und das Substrat 100, die miteinander kombiniert sind, können sich in eine zweite Richtung D2, die die erste Richtung D1 kreuzt, bewegen (zum Beispiel können sie sich bezüglich dem Quellenabschnitt 200 bewegen), oder der Quellenabschnitt 200 kann sich in die zweite Richtung D2 bewegen (zum Beispiel kann er sich bezüglich der Maske 300 und dem Substrat 100 bewegen).
In der vorliegenden Ausführungsform sind die Maske 300 und das Substrat 100 befestigt und bewegt sich der Quellenabschnitt 200 in die zweite Richtung D2.
Wenn sich der Quellenabschnitt 200 bewegt, lässt sich eine Schädigung des Substrats 100, zu der es aufgrund seiner Bewegung kommen kann, verhindern. Die Abscheidungsvorrichtung 10 kann weiterhin eine (nicht gezeigte) Kammer aufweisen, die einen Raum bereitstellt, in dem ein Abscheidungsverfahren durchgeführt wird. Das Substrat 100, der Quellenabschnitt 200 und die Maske 300 können in der Kammer angeordnet sein. Eine (nicht gezeigte) Vakuumpumpe kann mit der Kammer verbunden sein, so dass während des Abscheidungsverfahrens ein Vakuumzustand aufrechterhalten wird.
3A zeigt eine Draufsicht, in der eine Seite einer Maske der in 1 dargestellten Ausführungsform dargestellt ist. 3B zeigt eine Draufsicht, in der die andere Seite der Maske der in 1 dargestellten Ausführungsform dargestellt ist. 4 zeigt eine vergrößerte Ansicht eines Teils der Maske der in 3A dargestellten Ausführungsform. 5 zeigt eine Querschnittdarstellung die entlang der Linie I-I' in 4 verläuft. Nachfolgend soll die Maske 300 unter Bezugnahme auf 3A bis 5 ausführlich beschrieben werden.
Der Rahmenabschnitt 320 der vorliegenden Ausführungsform bildet im Wesentlichen einen Rahmen der Maske 300, stellt eine Seite 320-S1 und die andere Seite 320-S2 bereit und umgibt jede der Öffnungen 310-OP. 3A stellt eine Seite 320-S1 des Rahmenabschnitts 320 dar, während 3B die andere Seite 320-S2 des Rahmenabschnitts 320 darstellt. Wenn die Maske 300 und das Substrat 100 miteinander kombiniert werden, steht die andere Seite 320-S2 des Rahmenabschnitts 320 in Kontakt mit dem Substrat 100, und die eine Seite 320-S1 ist dem Quellenabschnitt 200 zugewandt.
Wie in 3A und 3B dargestellt, sind die Öffnungsspalten 310-CL in der zweiten Richtung D2 – zum Beispiel eine nach der anderen – angeordnet. Nachfolgend soll die vorliegende Ausführungsform mit einer Öffnungsspalte 310-CL als Zentrum beschrieben werden.
Die Öffnungen 310-OP sind in der ersten Richtung D1 angeordnet. Ein Trennungsabstand zwischen benachbarten Öffnungen 310-OP kann gleichmäßig sein. In 3A und 3B weist die Öffnungsspalte 310-CL zehn Öffnungen 310-OP auf.
Die Öffnung 310-OP (zum Beispiel die Ränder der Öffnung 310-OP, die vorzugsweise aus dem Material der Maske 300 ausgebildet sind) ist durch eine erste Neigung 310-OPS1 und eine zweite Neigung 310-OPS2, die entlang der ersten Richtung D1 einander zugewandt sind oder einander gegenüberliegend angeordnet sind, und durch eine dritte Neigung 310-OPS3 und eine vierte Neigung 310-OPS4 definiert, die entlang der zweiten Richtung D2 einander zugewandt sind oder einander gegenüberliegend angeordnet sind.
Die Öffnungsspalte 310-CL ist durch einen ersten äußeren Bereich CL-O1 und einen zweiten äußeren Bereich CL-O2 bestimmt, wobei sich ein mittlerer Bereich CL-C zwischen ihnen befindet. Zumindest eine Öffnung 310-OP ist im mittleren Bereich CL-C angeordnet, während eine Vielzahl der Öffnungen 310-OP jeweils in jedem des ersten äußeren Bereichs CL-O1 und des zweiten äußeren Bereichs CL-O2 angeordnet ist. Wenn die Öffnungsspalte 310-CL eine ungerade Zahl Öffnungen 310-OP aufweist, kann eine ungerade Zahl (zum Beispiel eins) der Öffnungen 310-OP im mittleren Bereich CL-C angeordnet sein. Wenn die Öffnungen 310-CL eine gerade Zahl Öffnungen 310-OP aufweisen, kann eine gerade Zahl (zum Beispiel zwei) der Öffnungen 310-OP im mittleren Bereich CL-C angeordnet sein. Die gleiche Zahl Öffnungen 310-OP ist im ersten äußeren Bereich CL-O1 und im zweiten äußeren Bereich CL-O2 angeordnet.
Die erste Neigung 310-OPS1 und die zweite Neigung 310-OPS2 sind in einem Winkel (zum Beispiel einem vorbestimmten Winkel) zu der einen Seite 320-S1 und der anderen Seite 320-S2 des Rahmenabschnitts 320 geneigt. Das heißt, dass die erste Neigung 310-OPS1 und die zweite Neigung 310-OPS2 sich schräg zur einen Seite 320-S1 und/oder zur anderen Seite 320-S2 von der einen Seite 320-S1 zur anderen Seite 320-S2 erstrecken.
Die erste Neigung 310-OPS1 von jeder der Öffnungen 310-OP, die im ersten äußeren Bereich CL-O1 und im zweiten äußeren Bereich CL-O2 angeordnet ist, ist derart angeordnet, dass sie sich, verglichen mit der zweiten Neigung 310-OPS2, näher am mittleren Bereich CL-C befindet. Zum Beispiel befindet sich gemäß 3A die erste Neigung 310-OPS1 von jeder der Öffnungen 310-OP im ersten äußeren Bereich CL-O1 unten an den jeweiligen Öffnungen 310-OP in einer Richtung D1, während sich die zweite Neigung 310-OPS2 von jeder der Öffnungen 310-OP im ersten äußeren Bereich CL-O1 oben auf der jeweiligen Öffnungen 310-OP in der Richtung D1 befindet. Im ersten äußeren Bereich CL-01 ist daher die erste Neigung 310-OPS1 vor der zweiten Neigung 310-OPS2 in der ersten Richtung D1 angeordnet. Zudem befindet sich die erste Neigung 310-OPS1 von jeder der Öffnungen 310-OP, die im zweiten äußeren Bereich CL-O2 angeordnet ist, oben auf der jeweiligen Öffnung 310-OP in der Richtung D1, während sich die zweite Neigung 310-OPS2 von jeder der Öffnungen 310-OP im zweiten äußeren Bereich CL-O2 unten an der jeweiligen Öffnung 310-OP in der Richtung D1 befindet. Im zweiten äußeren Bereich CL-02 ist daher die erste Neigung 310-OPS1 hinter der zweiten Neigung 310-OPS2 in der ersten Richtung D1 angeordnet.
Die erste Neigung 310-OPS1 der Öffnungen 310-OP im mittleren Bereich CL-C weist einen von der ersten Neigung 310-OPS1 der Öffnungen 310-OP im ersten äußeren Bereich CL-O1 oder im zweiten äußeren Bereich CLO2 verschiedenen Neigungswinkel auf. Zudem weist die zweite Neigung 310-OPS2 der Öffnungen 310-OP im mittleren Bereich CL-C einen von der zweiten Neigung 310-OPS2 der Öffnungen 310-OP im ersten äußeren Bereich CL-O1 oder im zweiten äußeren Bereich CL-O2 verschiedenen Neigungswinkel auf.
Dabei ist ein Neigungswinkel der ersten Neigung 310-OPS1 durch einen Winkel zwischen der ersten Neigung 310-OPS1 und der anderen Seite 320-S2 des Rahmenabschnitts 320 definiert. Ein Neigungswinkel der zweiten Neigung 310-OPS2 ist durch einen Winkel zwischen der zweiten Neigung 310-OPS2 und der anderen Seite 320-S2 des Rahmenabschnitts 320 definiert.
Die dritte Neigung 310-OPS3 und die vierte Neigung 310-OPS4 der Öffnung 310-OP können zu der einen Seite 320-S1 und der anderen Seite 320-S2 des Rahmenabschnitts 320 geneigt sein (zum Beispiel kann die dritte Neigung 310-OPS3 und die vierte Neigung 310-OPS4 der Öffnung 310-OP eine Neigung in der Öffnung 310-OP ausbilden, die sich von der einen Seite 320-S1 zur anderen Seite 320-S2 erstreckt). Dabei kann ein Neigungswinkel der dritten Neigung 310-OPS3 gleich einem Neigungswinkel der vierten Neigung 310-OPS4 sein.
4 und 5 zeigen vergrößerte Ansichten einer ersten Öffnung 310-OP im mittleren Bereich CL-C, einer zweiten Öffnung 310-OP2 im ersten äußeren Bereich CL-O1 und einer dritten Öffnung 310-OP3 im zweiten äußeren Bereich CL-O2. Die zweite Öffnung 310-OP2 und die dritte Öffnung 310-OP3 sind jeweils auf einer Außenseite (zum Beispiel einem Bereich, der vom mittleren Bereich CL-C am weitesten entfernt ist) des ersten äußeren Bereichs CL-O1 und des zweiten äußeren Bereichs CL-O2 angeordnet.
Wie in 5 dargestellt, weist die erste Neigung 310-OPS1 der ersten Öffnung 310-OP1 einen ersten Neigungswinkel θ1 auf. Die zweite Neigung 310-OPS2 der ersten Öffnung 310-OP1 kann den gleichen Neigungswinkel θ'1 wie die erste Neigung 310-OPS1 der ersten Öffnung 310-OP1 aufweisen. Winkel der ersten und zweiten Neigung 310-OPS1, 310-OPS2 werden im Ausführungsbeispiel in 5 in entgegengesetzte Richtungen gemessen. Da die erste Öffnung 310-OP1 im mittleren Bereich CL-C der Öffnungsspalte 310-CL angeordnet ist, ist die Menge an Abscheidungsmaterial DM, das der ersten Neigung 310-OPS1 und der zweiten Neigung 310-OPS2 von den Düsen 210 des Quellenabschnitts 200 zugeführt wird, im Wesentlichen identisch.
Die erste Neigung 310-OPS1 der zweiten Öffnung 310-OP2 weist einen zweiten Neigungswinkel θ2 auf, während die zweite Neigung 310-OPS2 der zweiten Öffnung 310-OP2 einen dritten Neigungswinkel θ3 aufweist. Die erste Neigung 310-OPS1 und die zweite Neigung 310-OPS2 der dritten Öffnung 310-OP3 weisen jeweils den zweiten Neigungswinkel θ2 und den dritten Neigungswinkel θ3 auf.
Um eine gleichmäßige Menge von Abscheidungsmaterial DM im Pixelbereich des Substrats 100 entsprechend den Öffnungen 310-OP und unabhängig von den Anordnungen der Öffnungen 310-OP in der Öffnungsspalte 310-CL abzuscheiden, ist der zweite Neigungswinkel θ2 kleiner als der erste Neigungswinkel θ1 und der dritte Neigungswinkel θ3.
Wie in 6 dargestellt, kann der Quellenabschnitt 200 als mittlerer Bereich 200-C zwischen einem ersten äußeren Bereich 200-O1 und einem zweiten äußeren Bereich 200-O2 bezeichnet werden. Der erste äußere Bereich 200-O1 und der zweite äußere Bereich 200-O2 können, verglichen mit dem mittleren Bereich 200-C, höheren Düsendichten entsprechen. Das heißt, dass ein Trennungsabstand der oder zwischen den Düsen 210 entsprechend dem mittleren Bereich 200-C größer ist als ein Trennungsabstand der oder zwischen den Düsen 210 entsprechend dem ersten äußeren Bereich 200-O1 und dem zweiten äußeren Bereich 200-O2.
Die oben genannte Ungleichheit betreffend die Düsen 210 dient zum Zuführen einer ausreichend großen Menge an Abscheidungsmaterial DM zu Pixelbereichen des Substrats 100, die nahe Rändern der Maske 300 positioniert sind. Der erste und zweite äußere Bereich 200-O1 und 200-O2 des Quellenabschnitts 200 muss nicht zwingend dem ersten und zweiten äußeren Bereich CL-O1 und CL-O2 entsprechen.
Um das oben beschriebene Ziel zu erreichen, ist es wünschenswert, dass eine Länge Ls1 des Quellenabschnitts 200 in der ersten Richtung D1 größer ist als eine Breite Ls2 der Maske 300. Die Länge Ls1 des Quellenabschnitts 200 ist ein Abstand zwischen den Düsen 210, die auf beiden Rändern des Quellenabschnitts 200 angeordnet sind (zum Beispiel ein Abstand zwischen Außenrändern der Düsen 210 auf beiden Rändern des Quellenabschnitts 200). Die Düsen 210, die auf den Außenseiten der Maske 300 angeordnet sind, führen Pixelbereichen des Substrats 100, die nahe Rändern der Maske 300 positioniert sind, ausreichend Abscheidungsmaterial DM zu.
Ein Bereich des ersten, zweiten und dritten Neigungswinkels θ1, θ2 und θ3 soll unter Bezugnahme auf 6 und 7 ausführlich beschrieben werden.
Die Öffnung 310-OP, die im äußersten Bereich des ersten äußeren Bereichs CL-O1 angeordnet ist (d. h., der zweite Neigungswinkel θ2 der zweiten Öffnung 310-OP2) unterliegt der unten stehenden mathematischen Formel 1. Der zweite Neigungswinkel θ2 der dritten Öffnung 310-OP3 des zweiten äußeren Bereichs CL-O2 unterliegt ebenfalls der mathematischen Formel 1. Mathematische Formel 1 tanθ2 = 2Lt / Ls1 + Ls2
Lt ist ein Abstand (zum Beispiel ein vertikaler Abstand) zwischen dem Quellenabschnitt 200 und der Maske 300, genauer, zwischen einem Ende einer der der Düsen 210 und der Maske 300. Ls1 ist die Länge des Quellenabschnitts 200 (zum Beispiel entlang der ersten Richtung D1), während Ls2 die Breite der Maske 300 ist (zum Beispiel entlang der ersten Richtung D1).
Der dritte Neigungswinkel θ3 von jeder der zweiten Öffnung 310-OP2 und der dritten Öffnung 310-OP3 unterliegt der mathematischen Formel 2. Mathematische Formel 2 tanθ3 = 2Lt / Ls1 – Ls2
Der erste Neigungswinkel θ1 der ersten Öffnung 310-OP1 ist größer als der zweite Neigungswinkel θ2 in der mathematischen Formel 1 und ist kleiner als 90°. Wenn die dritte Öffnung 310-OP3 einen zweiten Neigungswinkel θ2 aufweist, der kleiner ist als der Winkel gemäß der mathematischen Formel 1, wird ein Teil des Abscheidungsmaterials DM, das der dritten Öffnung 310-OP3 zugeführt wird, nur auf einem Teil der Pixel- oder Matrixregion PXR abgeschieden, wie in 7 dargestellt ist. Zum Beispiel wird das von der Düse 210, die im äußersten Bereich des ersten äußeren Bereichs 200-O1 angeordnet ist, abgegebene Abscheidungsmaterial DM auf einem zweiten Teil R2 der Pixelregion PXR abgeschieden, wird dagegen nicht auf einem ersten Teil R1 der Pixelregion PXR abgeschieden. Dadurch verringert sich die Gleichmäßigkeit des Dünnfilmmusters.
Zur Lösung dieses Problems wird der zweite Neigungswinkel θ2 der dritten Öffnung 310-OP3 vorzugsweise gemäß der mathematischen Formel 1 bestimmt. Die mathematische Formel 1 ist eine Formel, in der ein Winkel berücksichtigt wird, bei dem das von der Düse 210, die im äußersten Bereich des ersten äußeren Bereichs 200-O1 angeordnet ist, abgegebene Abscheidungsmaterial DM in die dritte Öffnung 310-OP3 gelangt.
Wenn die Öffnungen 310-OP nicht nur in der dritten Öffnung 310-OP3 angeordnet sind, sondern auch im zweiten äußeren Bereich CL-O2 und vorzugsweise den zweiten Neigungswinkel θ2 gemäß der mathematischen Formel 1 aufweisen, kann ein gleichmäßiger (zum Beispiel gleichmäßigerer) Dünnfilm ausgebildet werden. Der Grund dafür ist, dass die Öffnungen 310-OP im zweiten äußeren Bereich CL-O2, die benachbart zum mittleren Bereich CL-C sind, im Vergleich zu den Öffnungen 310-OP im zweiten äußeren Bereich CLO2, die nicht benachbart zum mittleren Bereich CL-C sind, einen größeren Winkel, bei dem das Abscheidungsmaterial DM in die Öffnungen 310-OP gelangt, aufweisen.
Wie in 6 dargestellt, kann die dritte Öffnung 310-OP3 das von der Düse 210, die im äußersten Bereich des zweiten äußeren Bereichs 200-O2 angeordnet ist, abgegebene Abscheidungsmaterial DM gleichmäßig erhalten, obwohl der dritte Neigungswinkel θ3 größer ist als der zweite Neigungswinkel θ2.
Wenn der dritte Neigungswinkel θ3 der mathematischen Formel 2 unterliegt, bleibt ein Abstand zwischen den Öffnungen 310-OP, die auf der Öffnungsspalte 310-CL angeordnet sind, konstant. Wenn der zweite Neigungswinkel θ2 kleiner wird, wird ein Bereich der ersten Neigung 310-OPS1 größer. Da jedoch ein Bereich der dritten Neigung 310-OPS3 kleiner wird, wenn der dritte Neigungswinkel θ3 größer wird, bleibt ein Abstand zwischen den Öffnungen 310-OP konstant.
Jede der Öffnungen 310-OP, die im ersten und zweiten äußeren Bereich CL-O1 und CL-O2 angeordnet ist, kann den zweiten Neigungswinkel θ2 gemäß der mathematischen Formel 1 aufweisen oder kann verschiedene zweite Neigungswinkel θ2 aufweisen. Wenn die Öffnungen 310-OP, die im ersten und zweiten äußeren Bereich CL-O1 und CL-O2 angeordnet sind, näher am mittleren Bereich CL-C angeordnet sind, wird der zweite Neigungswinkel θ2 zum Beispiel größer. Der zweite Neigungswinkel θ2 ist gleich dem oder kleiner als der erste Neigungswinkel θ1.
Jede der Öffnungen 310-OP, die im ersten äußeren Bereich CL-O1 angeordnet sind, kann den dritten Neigungswinkel θ3 gemäß der mathematischen Formel 3 aufweisen oder kann verschiedene dritte Neigungswinkel θ3 aufweisen. Wenn die Öffnungen 310-OP, die im ersten äußeren Bereich CL-O1 und im zweiten äußeren Bereich CL-02 angeordnet sind, näher am mittleren Bereich CL-C angeordnet sind, wird der dritte Neigungswinkel θ3 zum Beispiel kleiner. Der dritte Neigungswinkel θ3 ist gleich dem oder größer als der erste Neigungswinkel θ1. Die Abscheidungsmaske kann einen gleichmäßigen Dünnfilm in einem Bereich ausbilden, der mit der Öffnung korrespondiert, und zwar unabhängig von einer Anordnung der Öffnung.
Gemäß der Abscheidungsvorrichtung erhalten Öffnungen, die in einem äußeren Bereich der Öffnungsspalte angeordnet sind, das Abscheidungsmaterial effizient von den Düsen des Quellenabschnitts. Dadurch lassen die Öffnungen, die im mittleren Bereich der Öffnungsspalte angeordnet sind und die Öffnungen, die im äußeren Bereich der Öffnungspalte angeordnet sind, eine im Wesentlichen gleichmäßige Menge des Abscheidungsmaterials durch.

Claims

Abscheidungsmaske (300), aufweisend: einen Durchlassabschnitt (310) für Abscheidungsmaterial, der zumindest eine Öffnungsspalte (310-CL) aufweist, die eine Vielzahl von Öffnungen (310-OP) aufweist, die in einer ersten Richtung (D1) angeordnet sind; und einen Rahmenabschnitt (320), der benachbart zum Durchlassabschnitt (310) für Abscheidungsmaterial ist, wobei jede der Öffnungen (310-OP) durch eine erste Neigung (310-OPS1) und eine zweite Neigung (310-OPS2), die einander entlang der ersten Richtung (D1) zugewandt sind und jeweils zu einer Seite (320-S1) des Rahmenabschnitts (320) geneigt sind, und eine dritte Neigung (320-OPS3) und eine vierte Neigung (320-OPS4) definiert ist, die einander entlang einer zweiten Richtung (D2) zugewandt sind, die die erste Richtung (D1) kreuzt, dadurch gekennzeichnet, dass ein Neigungswinkel (θ1) der ersten Neigung (310-OPS1) einer der Öffnungen (310-OP) in einem mittleren Bereich (CL-C) einer der Öffnungsspalten (310-CL) anders ist als ein Neigungswinkel (θ3) der ersten Neigung (310-OPS1) einer anderen der Öffnungen (310-OP) in einem äußeren Bereich der Öffnungsspalte (310-CL).
Abscheidungsmaske (300) nach Anspruch 1, wobei der äußere Bereich einen ersten äußeren Bereich (CL-01) und einen zweiten äußeren Bereich (CL-02) aufweist, und wobei sich der mittlere Bereich (CL) zwischen dem ersten und zweiten äußeren Bereich (CL-01, CL-02) befindet.
Abscheidungsmaske (300) nach Anspruch 2, wobei die erste Neigung (310-OPS1) jeder der einen der Öffnungen (310-OP) im ersten und zweiten äußeren Bereich (CL-01, CL02) sich näher am mittleren Bereich (CL) befindet als die zweite Neigung (310-P2) davon.
Abscheidungsmaske (300) nach Anspruch 2 oder 3, wobei Neigungswinkel (θ1) der ersten Neigungen (310-OPS1) der einen der Öffnungen (310-OP) im ersten und zweiten äußeren Bereich (CL-01, CL-02) kleiner sind als Neigungswinkel (θ2) der zweiten Neigungen (310-OPS2) der einen der Öffnungen (310-OP) im ersten und zweiten äußeren Bereich (CL-01, CL-02).
Abscheidungsmaske (300) nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die Neigungswinkel (θ1) der ersten Neigungen (310-OPS1) der einen der Öffnungen (310-OP) im ersten und zweiten äußeren Bereich (CL-01, CL-02), die sich näher am mittleren Bereich (CL) befinden, größer sind als die Neigungswinkel (θ2) der ersten Neigungen (310-OPS2) der anderen der einen der Öffnungen (310-OP) im ersten und zweiten äußeren Bereich (CL-01, CL-02), die weiter vom mittleren Bereich (CL) entfernt sind.
Abscheidungsmaske (300) nach einem der Ansprüche 2 bis 5, wobei die Neigungswinkel (θ2) der zweiten Neigungen (310-OPS2) der einen der Öffnungen (300-OP) im ersten und zweiten äußeren Bereich (CL-01, CL-02), die sich näher am mittleren Bereich (CL) befinden, kleiner sind als die Neigungswinkel (θ1) der zweiten Neigungen (310-OPS2) der anderen der einen der Öffnungen (300-OP) im ersten und zweiten äußeren Bereich (CL-01, CL-02), die weiter vom mittleren Bereich (CL) entfernt sind.
Abscheidungsmaske (300) nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei ein Neigungswinkel (θ'1, θ2) der zweiten Neigung (310-OPS2) einer der Öffnungen (310-OP) im mittleren Bereich (CL) im Wesentlichen gleich einem Neigungswinkel (θ1) der ersten Neigung (310-OPS1) der einen der Öffnungen (310-OP) im mittleren Bereich (CL) ist.
Abscheidungsmaske (300) nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die dritte und vierte Neigung (310-OPS3, 310-OPS4) von jeder der Öffnungen (310-OP) zu einer Seite (320-S1) des Rahmenabschnitts (320) geneigt sind.
Abscheidungsmaske (300) nach Anspruch 8, wobei ein Neigungswinkel (θ3) der dritten Neigung (310-OPS3) gleich einem Neigungswinkel (θ4) der vierten Neigung (310-OPS4) ist.
Abscheidungsvorrichtung (10), aufweisend: einen Quellenabschnitt (200), der eine Vielzahl von Düsen (210) aufweist, die in einer ersten Richtung (D1) angeordnet sind, und der konfiguriert ist, einem Substrat (100) ein Abscheidungsmaterial (DM) zuzuführen; und eine Abscheidungsmaske (300) zwischen dem Substrat (100) und dem Quellenabschnitt (200), dadurch gekennzeichnet, dass die Maske (300) eine Maske (300) nach einem der Ansprüche 1 bis 9 ist.
Abscheidungsvorrichtung (10) nach Anspruch 10, wobei ein Trennungsabstand zwischen einen aus der Vielzahl der Düsen (210) in einem mittleren Bereich (200C) des Quellenabschnitts (200) größer ist als ein Trennungsabstand zwischen einen aus der Vielzahl der Düsen (210) in äußeren Bereichen (200-O1, 200-O2) des Quellenabschnitts (200).
Abscheidungsvorrichtung (10) nach Anspruch 10 oder 11, wobei eine Länge des Quellenabschnitts (200) entlang der ersten Richtung (D1) größer ist als eine Breite (Ls2) der Abscheidungsmaske (300) entlang der ersten Richtung (D1).
Abscheidungsvorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 10 bis 12, wobei der Quellenabschnitt (200) konfiguriert ist, sich in die zweite Richtung (D2) zu bewegen, die die erste Richtung (D1) kreuzt.
Abscheidungsvorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 10 bis 13, wobei die Abscheidungsmaske (300) konfiguriert ist, mit einer Seite des Substrats kombiniert zu werden, so dass die erste und zweite Neigung (310-OPS1, 310-OPS2) dem Quellenabschnitt (200) zugewandt sind.
Abscheidungsvorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 10 bis 14, wobei einer der Neigungswinkel (θ1) der ersten Neigungen (310-OPS1) von einen der Öffnungen (310-OP) in äußersten Bereichen von jedem des ersten und zweiten äußeren Bereichs (CL-01, CL-02) Folgendem unterliegt: tanθ1 = 2Lt / Ls1 + Ls2 wobei: θ1 ein Winkel des einen der Neigungswinkel (θ1) der ersten Neigungen (310-OPS1) ist; Lt ein Abstand zwischen dem Quellenabschnitt (200) und der Abscheidungsmaske (300) ist; Ls1 eine Länge des Quellenabschnitts (200) in der ersten Richtung (D1) ist; und Ls2 die Breite der Abscheidungsmaske (300) in der ersten Richtung (D1) ist.
Abscheidungsvorrichtung (10) nach einem der Ansprüche 10 bis 15, wobei einer der Neigungswinkel (θ2) der zweiten Neigungen (310-OPS2) der einen der Öffnungen (310-OP) in den äußersten Bereichen von jedem des ersten und zweiten äußeren Bereichs (CL-01, CL-02) Folgendem unterliegt: tanθ2 = 2Lt / Ls1 – Ls2 wobei θ2 der Winkel des einen der Neigungswinkel (θ2) der zweiten Neigungen (310-OPS2) ist.