CN109790615A - 蒸镀掩模的制造方法、有机半导体元件的制造方法、及有机el显示器的制造方法 - Google Patents

蒸镀掩模的制造方法、有机半导体元件的制造方法、及有机el显示器的制造方法 Download PDF

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Abstract

在具有与蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部(25)的树脂掩模(20)的一面上层叠具有金属掩模开口部(15)的金属掩模(10)而成的蒸镀掩模的制造方法中，形成多个树脂掩模开口部(25)时，多个树脂掩模开口部(25)中的任1个树脂掩模开口部(25a)在树脂掩模的厚度方向截面，以使形成该1个树脂掩模开口部的一内壁面与树脂掩模的另一面所成的锐角(θ1)、和形成该1个树脂掩模开口部的另一内壁面与树脂掩模的另一面所成的锐角(θ2)不同的方式形成树脂掩模开口部(25)。

Description

蒸镀掩模的制造方法、有机半导体元件的制造方法、及有机EL 显示器的制造方法
技术领域
本发明的实施方式涉及蒸镀掩模的制造方法、有机半导体元件的制造方法、及有机EL显示器的制造方法。
背景技术
使用了蒸镀掩模的蒸镀图案的形成通常通过使设置有与蒸镀制作的图案对应的开口部的蒸镀掩模和蒸镀对象物密合，使从蒸镀源放出的蒸镀材料通过开口部并附着于蒸镀对象物而进行。
作为用于上述蒸镀图案的形成的蒸镀掩模，已知有例如将具有与蒸镀作成的图案对应的树脂掩模开口部的树脂掩模、具有金属掩模开口部(有时也称为缝隙)的金属掩模层叠而成的蒸镀掩模(例如，专利文献1)等。另外，还已知有金属制蒸镀掩模(荫罩)(例如，专利文献2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第5288072号公报
专利文献2：日本特开平10-319870号公报
发明内容
发明所要解决的问题
本发明的实施方式的主要课题在于，提供一种可以在将树脂掩模和金属掩模层叠而成的蒸镀掩模、将该蒸镀掩模固定于框体而成的带框体的蒸镀掩模中、形成更高精细蒸镀图案的蒸镀掩模的制造方法，另外，提供一种能够以良好的精度制造该有机半导体元件的有机半导体元件的制造方法、能够以良好的精度制造有机EL显示器的有机EL显示器的制造方法。
解决问题的方法
本发明的一实施方式的蒸镀掩模的制造方法是在具有与蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部的树脂掩模的一面上层叠具有金属掩模开口部的金属掩模而成的蒸镀掩模的制造方法，该制造方法包括：准备在树脂板的一面上层叠有上述金属掩模的带金属掩模的树脂板的工序；以及，通过上述带金属掩模的树脂板的金属掩模开口部照射激光，从而在上述树脂板上形成多个树脂掩模开口部的工序，在形成上述树脂掩模开口部的工序中，上述多个树脂掩模开口部中的任1个树脂掩模开口部在上述树脂掩模的厚度方向截面，以使形成该1个树脂掩模开口部的一内壁面与上述树脂掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个树脂掩模开口部的另一内壁面与上述树脂掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成树脂掩模开口部。
另外，本发明的另一实施方式的蒸镀掩模的制造方法是在具有与蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部的树脂掩模的一面上层叠具有金属掩模开口部的金属掩模而成的蒸镀掩模的制造方法，该制造方法包括：准备在树脂板的一面上层叠有上述金属掩模的带金属掩模的树脂板的工序；以及通过上述带金属掩模的树脂板的金属掩模开口部照射激光，从而在上述树脂板形成多个树脂掩模开口部的工序，在形成上述树脂掩模开口部的工序中，在上述树脂掩模的厚度方向截面，以使形成上述多个树脂掩模开口部中的1个树脂掩模开口部的内壁面的一内壁面与上述树脂掩模的另一面所成的锐角、和形成另1个树脂掩模开口部的内壁面的一内壁面与上述树脂掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成树脂掩模。
在上述的蒸镀掩模的制造方法中，也可以在形成上述树脂掩模开口部的工序中，在上述树脂掩模的厚度方向截面，以使形成上述1个树脂掩模开口部的一内壁面与上述树脂掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个树脂掩模开口部的另一内壁面与上述树脂掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成树脂掩模。
本发明的另一实施方式的蒸镀掩模的制造方法是具有与蒸镀制作的图案对应的开口部的蒸镀掩模的制造方法，该制造方法包括：准备树脂板的工序；以及照射激光，从而在上述树脂板上形成多个开口部的工序，在形成上述开口部的工序中，将上述蒸镀掩模的面中位于蒸镀源侧的一面作为蒸镀掩模的一面时，上述多个开口部中的任1个开口部在上述蒸镀掩模的厚度方向截面，以使形成该1个开口部的一内壁面与上述蒸镀掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个开口部的另一内壁面与上述蒸镀掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成开口部。
本发明的另一实施方式的蒸镀掩模的制造方法是具有与蒸镀制作的图案对应的开口部的蒸镀掩模的制造方法，该制造方法包括：准备树脂板的工序；以及照射激光，从而在上述树脂板形成多个开口部的工序，在形成上述开口部的工序中，将上述蒸镀掩模的面中位于蒸镀源侧的一面作为蒸镀掩模的一面时，在上述蒸镀掩模的厚度方向截面，以使形成上述多个开口部中的1个开口部的内壁面的一内壁面与上述蒸镀掩模的另一面所成的锐角、和形成另1个开口部的内壁面的一内壁面与上述蒸镀掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成开口部。
在上述的蒸镀掩模的制造方法中，也可以在形成上述树脂掩模开口部的工序中，在上述蒸镀掩模的厚度方向截面，以使形成上述1个开口部的一内壁面与上述蒸镀掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个开口部的另一内壁面与上述蒸镀掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成开口部。
另外，本发明的一实施方式的有机半导体元件的制造方法包括使用蒸镀掩模在蒸镀对象物上形成蒸镀图案的蒸镀图案形成工序，在上述蒸镀图案形成工序中使用的上述蒸镀掩模是上述的蒸镀掩模。
另外，本发明的一实施方式的有机EL显示器的制造方法使用通过上述的制造方法制造的有机半导体元件。
发明的效果
根据本发明的蒸镀掩模的制造方法，可制造能形成高精细蒸镀图案的蒸镀掩模。另外，根据本发明的有机半导体元件的制造方法，能够以良好的精度制造有机半导体元件。另外，根据本发明的有机EL显示器的制造方法，能够以良好的精度制造有机EL显示器。
附图说明
图1(a)是示出从金属掩模侧俯视本发明的蒸镀掩模时的一例的正视图，(b)是(a)的剖面示意图。
图2是示出本发明的蒸镀掩模的一例的剖面示意图。
图3是示出本发明的蒸镀掩模的一例的剖面示意图。
图4是示出本发明的蒸镀掩模的一例的剖面示意图。
图5是示出从蒸镀源放出的蒸镀材料与树脂掩模开口部的关系的图。
图6是示出从蒸镀源放出的蒸镀材料与树脂掩模开口部的关系的图。
图7是示出从金属掩模侧俯视实施方式(A)的蒸镀掩模时的一例的正视图。
图8是示出从金属掩模侧俯视实施方式(A)的蒸镀掩模时的一例的正视图。
图9是示出从金属掩模侧俯视实施方式(A)的蒸镀掩模时的一例的正视图。
图10(a)、(b)都是示出从金属掩模侧俯视实施方式(A)的蒸镀掩模时的一例的正视图。
图11是示出从金属掩模侧俯视实施方式(B)的蒸镀掩模时的一例的正视图。
图12是示出从金属掩模侧俯视实施方式(B)的蒸镀掩模时的一例的正视图。
图13是示出带框体的蒸镀掩模的一例的正视图。
图14是示出带框体的蒸镀掩模的一例的正视图。
图15(a)～(c)是示出框体的一例的正视图。
图16是示出具有有机EL显示器的设备的一例的图。
图17(a)是示出从金属层侧俯视本发明的蒸镀掩模时的一例的正视图，图17(b)是(a)的A-A剖面示意图。
图18是示出从金属层侧俯视本发明的蒸镀掩模时的一例的正视图。
图19是示出从金属层侧俯视本发明的蒸镀掩模时的一例的正视图。
图20是用于说明本发明的蒸镀掩模的制造方法的图。
图21是用于说明本发明的蒸镀掩模的制造方法的图。
图22是用于说明本发明的蒸镀掩模的制造方法的图。
符号说明
10…金属掩模
15…金属掩模开口部
20…树脂掩模
25、25a、25b、25c、25d…树脂掩模开口部
60…框体
100…蒸镀掩模
具体实施方式
以下，结合附图等对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，本发明可以以多种不同的方式来实施，其解释并不受限于以下示例出的实施方式的记载内容。另外，就附图而言，为了使说明更为明确，与实际的实施方式相比，对于各部分的宽度、厚度、形状等，有时仅作出了示意性的表示，但终究仅为一例，并不限定本发明的解释。并且，在本申请说明书和各图中，对于与已对前面的图在前有所描述的相同的要素，采用相同的符号并有时适当省略其详细的说明。另外，为了便于说明，将使用上方或下方等语句进行说明，但上下方向也可以颠倒。对于左右方向也同样。
《蒸镀掩模》
如图1(a)、(b)所示，本发明的实施方式的蒸镀掩模100呈下述构成：将具有与蒸镀制作的图案对应的多个树脂掩模开口部25的树脂掩模20、和具有金属掩模开口部15的金属掩模10以使树脂掩模开口部25与金属掩模开口部15重叠的方式层叠而成的构成。需要说明的是，图1(a)是示出从金属掩模侧俯视本发明的实施方式的蒸镀掩模100时的一例的正视图，图1(b)是图1(a)的A-A剖面示意图。
而且，本发明的实施方式的蒸镀掩模100如下所述地构成：树脂掩模20具有多个树脂掩模开口部25，多个树脂掩模开口部25中的任1个树脂掩模开口部25(例如，图2的符号25a所示的树脂掩模开口部)在树脂掩模20的厚度方向截面，使形成该1个树脂掩模开口部25的一内壁面(图示的方式中相对的内壁面中位于左侧的内壁面)与树脂掩模20的另一面(图示的方式中树脂掩模的下表面)所成的锐角(例如，图2的符号25a所示的树脂掩模开口部的“θ1”)、和形成该1个树脂掩模开口部25的另一内壁面(图示的方式中相对的内壁面中位于右侧的内壁面)与树脂掩模20的另一面所成的锐角(例如，图2的符号25a所示的树脂掩模开口部的“θ2”)不同。以下，有时将满足该构成的条件称为“条件A”。
另外，本发明的实施方式的蒸镀掩模100除上述的构成以外、或者代替上述的构成而如下所述地构成：在树脂掩模20的厚度方向截面，使形成多个上述树脂掩模开口部25中的1个树脂掩模开口部25(例如，图3中符号25a所示的树脂掩模开口部)的内壁面的一内壁面(图示的方式中相对的内壁面中位于右侧的内壁面)与树脂掩模20的另一面(图示的方式中树脂掩模的下表面)所成的锐角(例如，图3的符号25a所示的树脂掩模开口部的“θa”)、和形成另1个树脂掩模开口部25(例如，图3中符号25b所示的树脂掩模开口部)的内壁面的一内壁面(图示的方式中相对的内壁面中位于右侧的内壁面)与树脂掩模20的另一面(图示的方式中树脂掩模的下表面)所成的锐角(例如，图3的符号25b所示的树脂掩模开口部的“θb”)不同。以下，有时将满足该构成的条件称作“条件B”。另外，有时将树脂掩模20的厚度方向截面中、形成树脂掩模开口部25的内壁面与树脂掩模20的另一面(不与金属掩模接触的一侧的面)所成的锐角称作“斜度”。另外，在本申请说明书中，树脂掩模20的厚度方向截面中、形成该1个树脂掩模开口部25的一内壁面、及形成另1个树脂掩模开口部25的一内壁面是指，树脂掩模20的厚度方向截面中位于相同方向侧的内壁面。对于另一内壁面而言也是同样的。
需要说明的是，在各图所示的方式中、树脂掩模开口部25的内壁面的形状成为直线形状，但也可以是除直线以外的形状，例如可以是曲率或重复凸折凹折的形状。在该情况下，内壁面与树脂掩模的另一面所成的锐角设为内壁面的形状的近似曲线(例如，线性近似)与树脂掩模的另一面所成的锐角即可。
根据本发明的实施方式的蒸镀掩模100，在形成如图5、图6所示的使用了该蒸镀掩模的蒸镀图案时，可抑制阴影的产生。具体而言，根据从蒸镀源放出的蒸镀材料的放出角度等适宜配置满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者的树脂掩模开口部25，由此可以抑制阴影的产生。
简而言之，对于本发明的实施方式的蒸镀掩模100而言，根据从蒸镀源放出的蒸镀材料的放出角度，使从截面观察树脂掩模20时的树脂掩模开口部25的开口形状适宜不同，从而可抑制阴影的产生(参照图5、图6)。需要说明的是，图5、图6是示出从蒸镀源放出的蒸镀材料与树脂掩模开口部25的关系的图，在图5中为从1个蒸镀源放出蒸镀材料的方式，在图6中为从3个蒸镀源放出蒸镀材料的方式。另外，在图5、图6中，使处于离蒸镀源的距离给定的位置的树脂掩模开口部25(例如，图5、图6中符号25x、25z所示的树脂掩模开口部)的“斜度”、与位于更近的位置的树脂掩模开口部(例如，图5、图6中符号25y所示的树脂掩模开口部)的“斜度”不同，另外，在1个树脂掩模开口部25(例如，图5、图6中符号25x、25z所示的树脂掩模开口部)中，使一内壁面与树脂掩模的另一面所成的“斜度”与形成相同树脂掩模开口部(例如，图5、图6中符号25x、25z所示的树脂掩模开口部)的、另一内壁面与树脂掩模的另一面所成的“斜度”不同。
对于蒸镀源，不限定于图示的方式，也可以为2个、或者4个以上蒸镀源。另外，也可以是可在给定的方向上扫描蒸镀源的线性源(Linear source)蒸镀源。在将蒸镀源设为任意方式的情况下，都考虑该从蒸镀源放出的蒸镀材料的放出角度，在树脂掩模20设置满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者的树脂掩模开口部25。
需要说明的是，本申请说明书中所述的阴影是指，从蒸镀源放出的蒸镀材料的一部分未与树脂掩模20的一面(图5、图6所示的方式中为下侧的面)中的树脂掩模开口部25附近、或者树脂掩模开口部25的内壁面碰撞并到达蒸镀对象物，而导致产生膜厚比目标的蒸镀膜厚薄的未蒸镀部分的现象。另外，本申请说明书中所述的树脂掩模开口部25的内壁面是指形成树脂掩模开口部25本身的树脂掩模的面，换言之，是指面向树脂掩模开口部内的空间的面。
图2是示出本发明的实施方式的蒸镀掩模100的一例的剖面示意图，对该蒸镀掩模进行截面观察时，树脂掩模20具有树脂掩模开口部25a、树脂掩模开口部25b、树脂掩模开口部25c、以及树脂掩模开口部25d作为树脂掩模开口部25。在图2所示的方式中，全部树脂掩模开口部25成为相同的截面形状，形成1个蒸镀掩模开口部的一内壁面与树脂掩模20的另一面所成的“斜度”、和形成树脂掩模开口部25的另一内壁面与树脂掩模20的另一面所成的“斜度”不同。也就是说，在图2所示的方式中，树脂掩模开口部25a中的“斜度”的关系成为θ1≠θ2，在树脂掩模开口部25a与其它树脂掩模开口部25(树脂掩模开口部25b、25c、25d)的“斜度”的关系中，成为θ1＝θ3＝θ5＝θ7，成为θ2＝θ4＝θ6＝θ8。
在图2所示的方式中，可以设为像成为θ1≠θ3≠θ5≠θ7的关系这样的“斜度”，也可以设为除此以外的其它构成。例如，可以设为成为θ1≠θ3＝θ5≠θ7、θ1＝θ3≠θ5＝θ7的关系这样的构成。另外，在图2所示的方式中，以成为θ2＝θ4＝θ6＝θ8的关系的方式设置树脂掩模开口部25，但不限定于该关系，考虑从蒸镀源放出的蒸镀材料的放出角度等确定即可。也就是说，根据蒸镀源的位置等适宜确定即可。需要说明的是，从提高阴影的产生的抑制效果的观点出发，优选设为随着离蒸镀源的距离变远、“斜度”变小这样的构成。
例如，对于图3所示的方式的蒸镀掩模100而言，树脂掩模20具有树脂掩模开口部25a、树脂掩模开口部25b、树脂掩模开口部25c、以及树脂掩模开口部25d作为树脂掩模开口部25，可以使各个树脂掩模开口部25中、树脂掩模开口部25的一内壁面与树脂掩模的另一面所成的“斜度”相同(图3的符号θ1所示的“斜度”)，并使各个树脂掩模开口部25的一内壁面与树脂掩模的另一面所成的“斜度”不同(使图3的符号θa、θb、θc、θd所示的“斜度”不同)。另外，除图3所示的方式以外，也可以使图3的符号θa、θb、θc、θd所示的“斜度”相同，使图3的符号θ1所示的“斜度”的一部分、或者全部不同。
图4所示的方式的蒸镀掩模100是设想蒸镀源在通过宽度方向的中央的基线上、且位于金属掩模侧的情况的方式，树脂掩模20具有树脂掩模开口部25a、树脂掩模开口部25b、树脂掩模开口部25c、以及树脂掩模开口部25d作为树脂掩模开口部25，以使树脂掩模开口部25a的“斜度”θ2、及树脂掩模开口部25d的“斜度”θ7小于树脂掩模开口部25b的“斜度”θ4、及树脂掩模开口部25c的“斜度”θ6的方式构成。
需要说明的是，在图4所示的方式中，可以使各个“斜度”不同。另外，也可以使一部分的“斜度”相同。
对于树脂掩模开口部25的“斜度”，没有任何限定，考虑从蒸镀源放出的蒸镀材料的放出角度适宜确定即可。需要说明的是，各个树脂掩模开口部25的“斜度”优选设为小于蒸镀材料的放出角度的角度。作为一例的“斜度”的范围为5°以上且85°以下的范围内，可列举15°以上且75°以下的范围内、25°以上且65°以下的范围内等。
在图1所示的方式中，从金属掩模侧俯视蒸镀掩模100时，树脂掩模开口部25的开口形状呈矩形，但对于开口形状没有特别限定，树脂掩模开口部25的开口形状可以是菱形、多边形，也可以是圆、椭圆等具有曲率的形状。需要说明的是，矩形、多边形的开口形状与圆、椭圆等具有曲率的开口形状相比，可使发光面积变大，从这方面考虑，可以说是优选的树脂掩模开口部25的开口形状。
另外，本申请说明书中所述的树脂掩模20的厚度方向截面在树脂掩模开口部25的开口形状为矩形、或者多边形的情况下是指与该开口部的内壁面正交的厚度方向截面，在为圆、椭圆等具有曲率的形状的情况下是指与切线正交的厚度方向截面。
以下，列举具体例对满足上述“条件A”、“条件B”的树脂掩模20、金属掩模10进行说明。
<树脂掩模>
对于树脂掩模20的材料并无限定，优选使用例如能够利用激光加工等形成高精细树脂掩模开口部25、在热、经时下的尺寸变化率、吸湿率小、且轻质的材料。作为这样的材料，可列举：聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚酯树脂、聚乙烯树脂、聚乙烯醇树脂、聚丙烯树脂、聚碳酸酯树脂、聚苯乙烯树脂、聚丙烯腈树脂、乙烯乙酸乙烯酯共聚物树脂、乙烯-乙烯醇共聚物树脂、乙烯-甲基丙烯酸共聚物树脂、聚氯乙烯树脂、聚偏氯乙烯树脂、赛璐玢、离聚物树脂等。在上述示例的材料中，优选其热膨胀系数在16ppm/℃以下的树脂材料，优选吸湿率在1.0％以下的树脂材料，特别优选为具备这两项条件的树脂材料。通过形成使用了该树脂材料的树脂掩模，可以使树脂掩模开口部25的尺寸精度提高，并且可以使在热、经时下的尺寸变化率、吸湿率变小。
对于树脂掩模20的厚度没有特殊限定，在要进一步提高阴影的产生的抑制效果的情况下，在具有满足但上述“条件A”、“条件B”中的任一者或两者的树脂掩模开口部的树脂掩模20中，树脂掩模20的厚度优选为25μm以下，更优选低于10μm。特别是通过使树脂掩模20的厚度为3μm以上且低于10μm、更优选为4μm以上且8μm以下，能够更有效地防止形成超过400ppi的高精细图案时的阴影的影响。通过将树脂掩模20的厚度设为优选的范围，从而可抑制针孔等缺陷、变形等的产生。
树脂掩模20与后述的金属掩模10可以直接接合、也可以隔着粘合剂层接合，但在使树脂掩模20与金属掩模10隔着粘合剂层接合的情况下，优选树脂掩模20与粘合剂层的总厚度在上述优选的厚度范围内。
<金属掩模>
如图1(b)所示，在树脂掩模20的一面上叠层有金属掩模10。金属掩模10由金属构成，如图1(a)所示，配置有在纵向或在横向上延伸的金属掩模开口部15。对金属掩模开口部15的配置例没有特殊限定，可以使在纵向及横向上延伸的金属掩模开口部15沿纵向及横向配置多列，也可以使在纵向上延伸的金属掩模开口部15沿横向配置多列，还可以使在横向上延伸的金属掩模开口部沿纵向配置多列。另外，也可以仅沿纵向或横向配置1列。另外，多个金属掩模开口部15也可以随机配置。另外，金属掩模开口部15也可以为1个。需要说明的是，本申请说明书中所述的“纵向”、“横向”指的是附图的上下方向、左右方向，可以是蒸镀掩模、树脂掩模、金属掩模的长度方向、宽度方向中的任意方向。例如，可以将蒸镀掩模、树脂掩模、金属掩模的长度方向视为“纵向”，也可以将宽度方向视为“纵向”。另外，在本申请说明书中，举出俯视蒸镀掩模时的形状为矩形的情况为例进行说明，但也可以是除此以外的形状，例如圆形、菱形等多边形。此时，将对角线的长度方向、径向、或任意的方向视为“长度方向”，将与该“长度方向”正交的方向视为“宽度方向(也有时称为短边方向)”即可。
对于金属掩模10的材料，没有特别限定，可适当选择使用在蒸镀掩模的领域中现有公知的材料，可列举例如不锈钢、铁镍合金、铝合金等金属材料。其中，作为铁镍合金的因瓦合金材料由于由热引起的变形少，因此可适宜使用。
对于金属掩模10的厚度，也没有特殊限定，但为了更有效地防止阴影的产生，优选为100μm以下、更优选为50μm以下、特别优选为35μm以下。需要说明的是，在比5μm薄的情况下，存在断裂、变形的风险提高、并且操作变得困难的倾向。
另外，在各图所示的方式中，俯视金属掩模开口部15的开口时的形状呈矩形，但关于开口形状，没有特别限定，金属掩模开口部15的开口形状可以是梯形、圆形等中的任意形状。
对于在金属掩模10形成的金属掩模开口部15的剖面形状没有特殊限定，但优选为图1(b)所示那样的向着蒸镀源扩大的形状。更具体而言，连结金属掩模10的金属掩模开口部15的下底顶端和相同金属掩模10的金属掩模开口部15的上底顶端的直线与金属掩模10的底面所成的角度、也就是在构成金属掩模10的金属掩模开口部15的内壁面的厚度方向剖面上、金属掩模开口部15的内壁面和金属掩模10的与树脂掩模20接触一侧的面(在图示的实施方式中，为金属掩模的上表面)所成的角度优选在5°以上且85°以下的范围内，更优选在15°以上且80°以下的范围内，进一步优选在25°以上65°以下的范围内。在该范围内，特别优选比所使用的蒸镀机的蒸镀角度小的角度。
另外，金属掩模开口部15的开口空间可以通过桥(bridge)来区分(未图示)。
对于在树脂掩模20的一面上层叠金属掩模10的方法没有特别限定，可以使用各种粘合剂将树脂掩模20和金属掩模10贴合，也可以使用具有自粘性的树脂掩模。树脂掩模20与金属掩模10的大小可以相同，也可以为不同的大小。需要说明的是，考虑其后任意进行的对框体的固定，使树脂掩模20的大小小于金属掩模10，设为金属掩模10的外周部分露出的状态时，金属掩模10与框体的固定变得容易，因而优选。
接下来，作为更优选的蒸镀掩模的具体例，举出实施方式(A)及实施方式(B)为例进行说明。
需要说明的是，以下说明的实施方式(A)及实施方式(B)的蒸镀掩模100的树脂掩模20满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者。
<实施方式(A)的蒸镀掩模>
如图7所示，实施方式(A)的蒸镀掩模100是用于同时形成多个画面部分的蒸镀图案的蒸镀掩模，且在树脂掩模20的一面上叠层有设置有多个金属掩模开口部15的金属掩模10而成，在树脂掩模20设置有为了构成多个画面所必要的树脂掩模开口部25，各金属掩模开口部15设置于至少与1个画面整体重合的位置。
实施方式(A)的蒸镀掩模100是为了同时形成多个画面部分的蒸镀图案而使用的蒸镀掩模，在1个蒸镀掩模100中，可同时形成与多个产品相对应的蒸镀图案。实施方式(A)的蒸镀掩模中的所述“树脂掩模开口部”是指，使用实施方式(A)的蒸镀掩模100所要制作的图案，例如在将该蒸镀掩模用于有机EL显示器中的有机层的形成的情况下，树脂掩模开口部25的形状为该有机层的形状。另外，所述“1个画面”由与1个产品相对应的树脂掩模开口部25的集合体构成，该1个产品为有机EL显示器的情况下，为了形成1个有机EL显示器所必要的有机层的集合体、也就是成为有机层的树脂掩模开口部25的集合体为“1个画面”。进而，就实施方式(A)的蒸镀掩模100而言，为了同时形成多个画面部分的蒸镀图案，在树脂掩模20中隔开给定的间隔配置有多个画面部分的上述“1个画面”。即，树脂掩模20中设置有为了构成多个画面所必要的树脂掩模开口部25。
实施方式(A)的蒸镀掩模在树脂掩模的一面上设置有金属掩模10，该金属掩模10设置有多个金属掩模开口部15，各金属掩模开口部分别设置于至少与1个画面整体重合的位置。换言之，在为了构成1个画面所必要的树脂掩模开口部25之间，在横向上相邻的树脂掩模开口部25之间不存在长度与金属掩模开口部15的纵向长度相同且与金属掩模10具有相同厚度的金属线部分、或在纵向上相邻的树脂掩模开口部25之间不存在长度与金属掩模开口部15的横向长度相同且与金属掩模10具有相同厚度的金属线部分。以下，也将长度与金属掩模开口部15的纵向的长度相同且与金属掩模10具有相同厚度的金属线部分、以及长度与金属掩模开口部15的横向长度相同且与金属掩模10具有相同厚度的金属线部分简单地统称为金属线部分。
根据实施方式(A)的蒸镀掩模100，在使对于构成1个画面而言必要的树脂掩模开口部25的大小、构成1个画面的树脂掩模开口部25间的间距变窄的情况下，即使在例如为了进行超过400ppi的画面的形成而使树脂掩模开口部25的大小、树脂掩模开口部25间的间距极为微小的情况下，也能够防止由金属线部分引起的干扰，能够形成高精细图像。需要说明的是，在1个画面被多个金属掩模开口部所分割的情况下，也就是在构成1个画面的树脂掩模开口部25间存在与金属掩模10具有相同厚度的金属线部分的情况下，随着构成1个画面的树脂掩模开口部25间的间距变窄，存在于树脂掩模开口部25间的金属线部分会成为在蒸镀对象物上形成蒸镀图案时的障碍，导致高精细蒸镀图案的形成变得困难。换言之，在构成1个画面的树脂掩模开口部25间存在与金属掩模10具有相同厚度的金属线部分的情况下，在制成带框体的蒸镀掩模时，该金属线部分会引起阴影的产生，导致难以形成高精细画面。
接着，结合图7～图10对构成1个画面的树脂掩模开口部25的一例进行说明。需要说明的是，在图示的实施方式中，由虚线封闭的区域成为1个画面。在图示的实施方式中，为了便于说明，将少数的树脂掩模开口部25的集合体作为1个画面，但并不限定于该实施方式，例如在将1个树脂掩模开口部25作为1像素时，在1个画面中可以存在数百万像素的树脂掩模开口部25。
在图7所示的实施方式中，由沿纵向、横向设置多个树脂掩模开口部25而成的树脂掩模开口部25的集合体构成了1个画面。在图8所示的实施方式中，由沿横向设置多个树脂掩模开口部25而成的树脂掩模开口部25的集合体构成了1个画面。另外，在图9所示的实施方式中，由沿纵向设置多个树脂掩模开口部25而成的树脂掩模开口部25的集合体构成了1个画面。进而，在图7～图10中，在与1个画面整体重合的位置设置有金属掩模开口部15。
如上述说明的那样，金属掩模开口部15可以设置在仅与1个画面重合的位置，也可以如图10(a)、(b)所示，设置在与2个以上画面整体重合的位置。在图7(a)中，在图10所示的蒸镀掩模100中，在与横向上连续的2个画面整体重合的位置设置了金属掩模开口部15。在图10(b)中，在与纵向上连续的3个画面整体重合的位置设置了金属掩模开口部15。
接着，列举图7所示的实施方式为例，对构成1个画面的树脂掩模开口部25间的间距、画面间的间距进行说明。关于构成1个画面的树脂掩模开口部25间的间距、树脂掩模开口部25的大小，没有特别限定，可以根据蒸镀制作的图案而适当设定。例如，进行400ppi的高精细蒸镀图案的形成的情况下，在构成1个画面的树脂掩模开口部25中，相邻的树脂掩模开口部25的横向的间距(P1)、纵向的间距(P2)为60μm左右。另外，作为一例的树脂掩模开口部的大小为500μm2以上且1000μm2以下的范围内。另外，并不限定于1个树脂掩模开口部25对应于1像素，例如根据像素排列，也可以将多个像素集中为1个树脂掩模开口部25。
对于画面间的横向间距(P3)、纵向间距(P4)也没有特殊限定，但在如图7所示，1个金属掩模开口部15设置在与1个画面整体重合的位置的情况下，在各画面间存在金属线部分。因此，在各画面间的纵向间距(P4)、横向间距(P3)小于或基本等于设置在1个画面内的树脂掩模开口部25的纵向间距(P2)、横向间距(P1)的情况下，容易导致存在于各画面间的金属线部分发生断线。因此，考虑到这一点，优选使画面间的间距(P3、P4)比构成1个画面的树脂掩模开口部25间的间距(P1、P2)宽。作为画面间的间距(P3、P4)的一例，在1mm以上且100mm以下的范围内。需要说明的是，画面间的间距指的是在1个画面与和该1个画面相邻的其它画面中，相邻的树脂掩模开口部间的间距。这对于后述的实施方式(B)的蒸镀掩模中的树脂掩模开口部25间的间距、画面间的间距也是同样的。
需要说明的是，如图10所示，1个金属掩模开口部15设置在与2个以上画面整体重合的位置的情况下，在设置在1个金属掩模开口部15内的多个画面间，不存在构成金属掩模开口部的内壁面的金属线部分。因此，在这种情况下，设置在与1个金属掩模开口部15重合的位置的2个以上画面间的间距与构成1个画面的树脂掩模开口部25间的间距基本相等。
另外，树脂掩模20上也可以形成有在树脂掩模20的纵向或横向上延伸的槽(未图示)。在蒸镀时施加了热量的情况下，存在树脂掩模20发生热膨胀、由此引起树脂掩模开口部25的尺寸、位置发生变化的可能性，而通过形成槽，可以吸收树脂掩模的膨胀，能够防止由于在树脂掩模的各部位产生的热膨胀累积而导致树脂掩模20在整体上沿给定的方向膨胀而导致树脂掩模开口部25的尺寸、位置发生变化。对于槽的形成位置并无限定，也可以设置在构成1个画面的树脂掩模开口部25间、或与树脂掩模开口部25重合的位置，但优选设置在画面间。另外，槽可以仅设置在树脂掩模的一侧的面、例如与金属掩模接触一侧的面，也可以仅设置在未与金属掩模接触一侧的面。或者，还可以设置在树脂掩模20的两面。
另外，可以使相邻的画面间形成在纵向上延伸的槽，也可以使相邻的画面间形成在横向上延伸的槽。进一步，还可以以将这些组合而成的实施方式形成槽。
对于槽的深度及其宽度没有特殊限定，但在槽的深度过深的情况下、或宽度过宽的情况下，存在导致树脂掩模20的刚性降低的倾向，因此考虑到这一点，需要进行设定。另外，对于槽的剖面形状也没有特殊限定，可以是U字形、V字形等，考虑到加工方法等任意选择即可。关于实施方式(B)的蒸镀掩模也是同样的。
<实施方式(B)的蒸镀掩模>
接下来，对实施方式(B)的蒸镀掩模进行说明。如图11所示，实施方式(B)的蒸镀掩模在设置有多个与蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部25的树脂掩模20的一侧的面上叠层有设置了1个金属掩模开口部15的金属掩模10，该多个树脂掩模开口部25全部设置在与设置于金属掩模10的1个金属掩模开口部15重合的位置。
实施方式(B)的蒸镀掩模中的所述树脂掩模开口部25是指，为了在蒸镀对象物上形成蒸镀图案所必要的树脂掩模开口部，对于在蒸镀对象物上形成蒸镀图案而言不必要的树脂掩模开口部也可以被设置在不与1个金属掩模开口部15重合的位置。需要说明的是，图11是从金属掩模侧俯视表示实施方式(B)的蒸镀掩模的一例的蒸镀掩模的正视图。
实施方式(B)的蒸镀掩模100在具有多个树脂掩模开口部25的树脂掩模20上设置有具有1个金属掩模开口部15的金属掩模10，并且，多个树脂掩模开口部25全部被设置在与该1个金属掩模开口部15重合的位置。在具有该构成的实施方式(B)的蒸镀掩模100中，在树脂掩模开口部25间不存在厚度与金属掩模的厚度相同、或比金属掩模的厚度厚的金属线部分，因此正如在上述实施方式(A)的蒸镀掩模中说明的那样，不会受到由金属线部分引起的干扰、能够按照在树脂掩模20所设置的树脂掩模开口部25的尺寸而形成高精细的蒸镀图案。
另外，根据实施方式(B)的蒸镀掩模，即使在使金属掩模10的厚度增大了的情况下，也基本不会受到阴影的影响，因此可使金属掩模10的厚度增大至能够使耐久性、操作性得到充分满足，能够在实现高精细蒸镀图案的形成的同时，也使耐久性、操作性提高。
实施方式(B)的蒸镀掩模中的树脂掩模20由树脂形成，如图11所示，在与1个金属掩模开口部15重合的位置设置有多个与蒸镀制作的图案相对应的树脂掩模开口部25。树脂掩模开口部25与蒸镀制作的图案相对应，通过使从蒸镀源释放出的蒸镀材料通过树脂掩模开口部25，可在蒸镀对象物上形成与树脂掩模开口部25相对应的蒸镀图案。需要说明的是，在图示的实施方式中，列举沿纵横配置有多列树脂掩模开口部的例子进行了说明，但也可以仅沿纵向或横向配置。
实施方式(B)的蒸镀掩模100中的“1个画面”指的是与1个产品相对应的树脂掩模开口部25的集合体，该1个产品为有机EL显示器的情况下，为了形成1个有机EL显示器所必要的有机层的集合体、也就是成为有机层的树脂掩模开口部25的集合体为“1个画面”。实施方式(B)的蒸镀掩模可以仅由“1个画面”构成，也可以配置有多个画面部分的该“1个画面”，配置有多个画面部分的“1个画面”的情况下，优选每单位画面均隔开给定间隔地设置有树脂掩模开口部25(参照实施方式(A)的蒸镀掩模的图7)。关于“1个画面”的实施方式，没有特别限定，例如在将1个树脂掩模开口部25作为1像素时，也可以由数百万个的树脂掩模开口部25构成1个画面。
实施方式(B)的蒸镀掩模100中的金属掩模10具有由金属制成的1个金属掩模开口部15。并且，在实施方式(B)的蒸镀掩模100中，在从金属掩模10的正面观察时，该1个金属掩模开口部15被配置在与全部树脂掩模开口部25重合的位置、也就是能够观察到配置于树脂掩模20的全部树脂掩模开口部25的位置。
构成金属掩模10的金属部分、即1个金属掩模开口部15以外的部分可以如图11所示那样地沿着蒸镀掩模100的外缘设置，也可以如图12所示那样使金属掩模10的大小比树脂掩模20小、从而使树脂掩模20的外周部分露出。另外，还可以使金属掩模10的大小比树脂掩模20大，从而使金属部分的一部分向树脂掩模的横向外侧或纵向外侧突出。需要说明的是，在任意情况下，均使1个金属掩模开口部15的大小小于树脂掩模20的大小地构成。
对于图11所示的金属掩模10的形成1个金属掩模开口部15的壁面的金属部分的横向的宽度(W1)、纵向的宽度(W2)，没有特殊限定，但随着W1、W2的宽度变窄，存在耐久性、操作性降低的倾向。因此，优选W1、W2为能够使耐久性、操作性得到充分满足的宽度。可以根据金属掩模10的厚度而适当设定适宜的宽度，但作为优选的宽度的一例，与实施方式(A)的蒸镀掩模的金属掩模同样地，W1、W2均为1mm以上且100mm以下的范围内。
在上述中，举例对蒸镀掩模100为由具有树脂掩模开口部25的树脂掩模20、和具有金属掩模开口部15的金属掩模10层叠而成的蒸镀掩模100的情况进行了说明，但也可以将蒸镀掩模设为仅由树脂掩模20构成的蒸镀掩模(未图示)、或者仅由金属掩模10构成的蒸镀掩模(未图示)。这些蒸镀掩模中，通过将树脂掩模开口部25、或金属掩模开口部15的构成设为满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者的构成，从而可以抑制阴影的产生。另外，也可以适用于含有与树脂材料、金属材料不同的材料的蒸镀掩模。
具体而言，其为具有与蒸镀制作的图案对应的开口部的蒸镀掩模，该蒸镀掩模具有多个开口部，将蒸镀掩模的面中位于蒸镀源侧的面作为蒸镀掩模的一面时，多个开口部中的任1个开口部可以设为在蒸镀掩模的厚度方向截面中、形成该1个开口部的一内壁面与蒸镀掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个开口部的另一内壁面与蒸镀掩模的另一面所成的锐角不同的构成。
代替上述构成或者除上述构成以外，可以设为在蒸镀掩模的厚度方向截面中、形成多个开口部中的1个开口部的内壁面的一内壁面与蒸镀掩模的另一面所成的锐角、和形成另1个开口部的内壁面的一内壁面与蒸镀掩模的另一面所成的锐角不同的构成。
在将蒸镀掩模设为仅包含树脂掩模20的蒸镀掩模的情况下，设为从上述说明的蒸镀掩模中除去金属掩模10的构成即可。在该情况下，为了担保蒸镀掩模的刚性，优选将树脂掩模20的厚度设为3μm以上。
另外，在将蒸镀掩模设为仅包含金属掩模的蒸镀掩模的情况下，设为从上述说明的蒸镀掩模中除去树脂掩模20的构成，并将金属掩模开口部15的构成设为满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者的金属掩模开口部15即可。作为该情况的金属掩模10的厚度，优选设为5μm以上且35μm以下的范围。
需要说明的是，若考虑与蒸镀作成的图案对应的开口部的精度，优选将与蒸镀作成的图案对应的开口部设为树脂掩模20所具有的树脂掩模开口部25。另外，若考虑刚性方面，优选在树脂掩模20的一面上层叠具有金属掩模开口部15的金属掩模10。
<带框体的蒸镀掩模>
本发明的实施方式的带框体的蒸镀掩模200呈现在框体60上固定有上述说明的本发明的各实施方式的蒸镀掩模100而成的构成。省略对蒸镀掩模100的说明。
带框体的蒸镀掩模200可以如图13所示地在框体60上固定有1个蒸镀掩模100，也可以如图14所示地在框体60上固定有多个蒸镀掩模100。
框体60为大致矩形形状的框构件，具有用于使固定于最终固定的蒸镀掩模100的树脂掩模20的树脂掩模开口部25在蒸镀源侧露出的贯通孔。作为框体的材料，可列举金属材料、玻璃材料、陶瓷材料等。
对框体的厚度没有特殊限定，但从刚性等的方面出发，优选为10mm以上且30mm以下的范围内。框体的开口的内周端面与框体的外周端面之间的宽度只要是可将该框体和蒸镀掩模的金属掩模固定的宽度，就没有特别限定，例如，为10mm以上且70mm以下的范围内。
另外，如图15(a)～(c)所示，可以使用在框体的贯通孔的区域设置有加强框体65等的框体60。换言之，框体60所具有的开口可以具有被加强框体等分割的构成。通过设置加强框体65，从而可以利用该加强框体65将框体60和蒸镀掩模100固定。具体而言，将上述说明的蒸镀掩模100在纵向及横向上并列多个而固定时，在该加强框体与蒸镀掩模重叠位置，也可以在框体60上固定蒸镀掩模100。
对框体60与蒸镀掩模100的固定方法没有特别限定，可利用通过激光等固定的点焊、粘接剂、止动螺丝、或者除此以外的方法固定。
<使用了蒸镀掩模的蒸镀方法>
对使用了本发明的各实施方式的蒸镀掩模形成蒸镀图案时利用的蒸镀方法没有特别限定，可列举例如：反应性溅射法、真空蒸镀法、离子镀、电子束蒸镀法等物理气相沉积法(Physical Vapor Deposition)、热CVD、等离子体CVD、光CVD法等化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposition)等。另外，蒸镀图案的形成可使用现有公知的真空蒸镀装置等进行。
《蒸镀掩模的制造方法》
接下来，对本发明的实施方式的蒸镀掩模的制造方法进行说明。
在本发明的实施方式的蒸镀掩模的制造方法中，准备用于形成上述说明的树脂掩模的树脂板。关于该树脂板的材质、厚度，如上所说明，省略此处的说明。
需要说明的是，要准备的树脂板可以仅为树脂板，可以为在树脂板的一面上层叠有上述说明的金属掩模的带金属掩模的树脂板，也可以为在树脂板的一面的一部分设置有下述说明的金属层的带金属层的树脂板。
在本发明的实施方式的蒸镀掩模的制造方法中，对准备好的树脂板照射激光，从而进行在树脂板形成多个树脂掩模开口部的工序。此处，在准备好的树脂板层叠有金属掩模时，通过金属掩模的金属掩模开口部照射激光。另外，在准备好的树脂板设置有下述说明的金属层时，从设置有金属层的一侧照射激光。
而且，在树脂板形成多个树脂掩模开口部的工序中，以使形成的树脂掩模开口部满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者的方式形成开口部。
对于形成满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者这样的开口部的具体方法，没有特殊限定，可使用例如以下举出那样的方法。
·带有角度地照射激光。
如图20(a)、(b)所示，通过在对树脂板照射激光时，使其带有角度而照射，从而可以满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者的方式形成开口部。需要说明的是，使其带有角度时，可以如图20(a)所示地使激光本身带有角度，也可以如图20(b)所示地从正上方照射激光本身，并使树脂板带有角度而设置。另外，虽未图示，但也可以通过使用反射体等使照射的激光的光路变化，从而使激光带有角度。
·多阶段地照射激光。
如图21所示，对树脂板照射激光时，如图21中的(1)、(2)、(3)···所示，通过将激光多阶段地照射，从而可以满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者的方式形成开口部。在该情况下，可以通过一边改变照射激光的位置，一边使其焦点距离变浅，形成期望的开口部，也可以通过一边改变激光的位置，一边改变照射的激光的能量，形成期望的开口部。
·使用激光用掩模。
如图22所示，对树脂板照射激光时，在树脂板上设置激光用掩模220，通过该激光用掩模220照射激光，由此可以满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者的方式形成开口部。更具体而言，在该激光用掩模设置有不衰减激光的能量而使其直接通过的开口区域221、以及位于该开口区域221的周围的使激光的能量衰减的衰减区域222。通过使用具有这样的衰减区域222的激光用掩模，通过该衰减区域222的激光的能量衰减，因此，在利用通过开口区域的激光形成开口部的时刻，该开口部的周边可形成尚未贯通的状态，由此可以满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者的方式形成开口部。对这样的衰减区域222的形成方法没有特殊限定，例如可以应用半色调掩模等技术，通过适宜涉及由该衰减区域222导致的衰减比例、衰减区域222的配置，从而可以满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者的方式形成开口部。
《有机半导体元件的制造方法》
接下来，对本发明的实施方式的有机半导体元件的制造方法进行说明。本发明的有机半导体元件的制造方法包括使用蒸镀掩模在蒸镀对象物上形成蒸镀图案的工序，在形成蒸镀图案的蒸镀图案形成工序中，使用上述说明的本发明的各实施方式的蒸镀掩模。
对于通过使用了蒸镀掩模的蒸镀法形成蒸镀图案的蒸镀图案形成工序没有特别限定，具有在基板上形成电极的电极形成工序、有机层形成工序、对电极形成工序、密封层形成工序等，在各任意的工序中，使用上述说明的本发明的蒸镀图案形成方法形成蒸镀图案。例如，在有机EL设备的R(红)、G(绿)、B(蓝)各色的发光层形成工序中分别应用上述说明的本发明的蒸镀图案形成方法的情况下，在基板上形成各色发光层的蒸镀图案。需要说明的是，本发明的有机半导体元件的制造方法不限定于这些工序，可适用于现有公知的有机半导体元件的制造中的任意工序。
根据以上说明的本发明的实施方式的有机半导体元件的制造方法，可在使蒸镀掩模与蒸镀对象物无间隙地密合的状态下，进行形成有机半导体元件的蒸镀，可以制造高精细有机半导体元件。作为通过本发明的有机半导体元件的制造方法制造的有机半导体元件，可列举例如：有机EL元件的有机层、发光层、阴极电极等。特别是本发明的有机半导体元件的制造方法可适宜用于要求高精细的图案精度的有机EL设备的R(红)、G(绿)、B(蓝)发光层的制造。
《有机EL显示器的制造方法》
接着，针对本发明的实施方式涉及的有机EL显示器(有机电致发光元件显示器)的制造方法进行说明。本发明的有机EL显示器的制造方法在有机EL显示器的制造工序中，可使用利用上述说明的本发明的有机半导体元件的制造方法制造的有机半导体元件。
作为可使用利用上述本发明的有机半导体元件的制造方法制造的有机半导体元件的有机EL显示器，可列举例如：用于笔记本电脑(参照图16(a))、平板终端(参照图16(b))、手机(参照图16(c))、智能电话(参照图16(d))、摄像机(参照图16(e))、数码相机(参照图16(f))、智能手表(参照图16(g))等的有机EL显示器。
以上，以本发明的实施方式的蒸镀掩模、有机半导体元件的制造方法、有机EL显示器的制造方法中使用的蒸镀掩模采取将具有树脂掩模开口部25的树脂掩模20、具有金属掩模开口部15的金属掩模10层叠而成的层叠构成的情况为中心进行了说明，但也可以将本发明的实施方式的蒸镀掩模设为在具有树脂掩模开口部25的树脂掩模20上部分地配置金属层10A的方式的蒸镀掩模来代替该方式的蒸镀掩模。另外，也可以将该方式的蒸镀掩模用于有机半导体元件的制造方法、有机EL显示器的制造方法。需要说明的是，该方式中的树脂掩模开口部25也满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者。
根据在具有树脂掩模开口部25的树脂掩模20上部分地配置有金属层10A的蒸镀掩模，与不具有金属层10A的蒸镀掩模、也就是说仅包括树脂掩模20的蒸镀掩模相比，可实现耐久性的提高。
图17(a)是示出从金属层侧俯视在具有树脂掩模开口部25的树脂掩模20上部分地配置有金属层10A的方式的蒸镀掩模时的一例的正视图，图17(b)是图17(a)的A-A部分的剖面示意图。需要说明的是，省略图17(b)中的蒸镀掩模的中央附近的一部分。另外，在图17(b)中，省略记载了对树脂掩模开口部25截面观察时的内壁面形状，但树脂掩模开口部25满足上述“条件A”及“条件B”中的任一者或两者。
对设置金属层10A的位置、及俯视金属层10A时的形状没有特殊限制。即，可以根据设置金属层10A的位置适宜设计金属层10A的平面形状。
例如，如图17(a)所示，在俯视构成蒸镀掩模100的树脂掩模20时的形状呈现具有长边和短边的长方形的情况下，将金属层10A的形状设为具有与其短边相同长度的带状，并且与树脂掩模20的短边平行地配置。另外，虽然未图示，但可以将金属层10A的形状设为具有与树脂掩模20的长边相同长度的带状，并且与树脂掩模的长边平行地配置。
图18、图19是示出从金属层10A侧俯视在具有树脂掩模开口部25的树脂掩模20上部分地配置有金属层10A的蒸镀掩模时的一例的正视图。
如图18所示，金属层10A不一定与树脂掩模20的周缘接触，可以仅配置于树脂掩模20的内部。例如，将在具有树脂掩模开口部25的树脂掩模20上部分地配置有金属层10A的蒸镀掩模与框体固定时，可以设为在与该框体在厚度方向上重叠的位置不配置金属层10A的方式。
另外，如图19所示，金属层10A不一定是带状，可以分散于树脂掩模20上的方式配置。在该情况下，图19所示的金属层10A为正方形，但不限定于此，可采用长方形、三角形、四边形以上的多边形、圆、椭圆、半圆、圆环形、字母“C”形、“T”形、以及“十字”形状、“星”形等、任意形状。在一片树脂掩模20上设置有多个金属层10A的情况下，全部金属层10A不必须为相同形状，上述列举的各种形状的金属层10A可以混合存在。
另外，金属层10A可以规则地配置，也可以随机地配置。
作为金属层10A的材料，可直接使用上述金属掩模10的材料。另外，金属层10A的厚度可以设为金属掩模10中说明的厚度。
另外，对于金属层10A的截面形状没有特殊限定，如图17(b)所示，金属层10A的相对的端面彼此可以大致平行，虽未图示，但可以与树脂掩模开口部25、金属掩模开口部15的开口同样地设为从金属层10A的与树脂掩模20接触的一侧面、向金属层10A的不与树脂掩模20接触的一侧面展开的形状。

Claims (8)

1.一种蒸镀掩模的制造方法，其是在具有与蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部的树脂掩模的一面上层叠具有金属掩模开口部的金属掩模而成的蒸镀掩模的制造方法，该制造方法包括：
准备在树脂板的一面上层叠有所述金属掩模的带金属掩模的树脂板的工序；以及
通过所述带金属掩模的树脂板的金属掩模开口部照射激光，从而在所述树脂板形成多个树脂掩模开口部的工序，
在形成所述树脂掩模开口部的工序中，
所述多个树脂掩模开口部中的任1个树脂掩模开口部在所述树脂掩模的厚度方向截面，以使形成该1个树脂掩模开口部的一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个树脂掩模开口部的另一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成树脂掩模开口部。
2.一种蒸镀掩模的制造方法，其是在具有与蒸镀制作的图案对应的树脂掩模开口部的树脂掩模的一面上层叠具有金属掩模开口部的金属掩模而成的蒸镀掩模的制造方法，该制造方法包括：
准备在树脂板的一面上层叠有所述金属掩模的带金属掩模的树脂板的工序；以及
通过所述带金属掩模的树脂板的金属掩模开口部照射激光，从而在所述树脂板形成多个树脂掩模开口部的工序，
在形成所述树脂掩模开口部的工序中，
在所述树脂掩模的厚度方向截面，以使形成所述多个树脂掩模开口部中的1个树脂掩模开口部的内壁面的一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角、和形成另1个树脂掩模开口部的内壁面的一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成树脂掩模。
3.根据权利要求2所述的蒸镀掩模的制造方法，其中，
在形成所述树脂掩模开口部的工序中，
在所述树脂掩模的厚度方向截面，以使形成所述1个树脂掩模开口部的一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个树脂掩模开口部的另一内壁面与所述树脂掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成树脂掩模。
4.一种蒸镀掩模的制造方法，该蒸镀掩模具有与蒸镀制作的图案对应的开口部，该制造方法包括：
准备树脂板的工序；以及
照射激光，从而在所述树脂板形成多个开口部的工序，
在形成开所述口部的工序中，
在将所述蒸镀掩模的面中位于蒸镀源侧的一面作为蒸镀掩模的一面时，
所述多个开口部中的任1个开口部在所述蒸镀掩模的厚度方向截面，以使形成该1个开口部的一内壁面与所述蒸镀掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个开口部的另一内壁面与所述蒸镀掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成开口部。
5.一种蒸镀掩模的制造方法，该蒸镀掩模具有与蒸镀制作的图案对应的开口部，该制造方法包括：
准备树脂板的工序；以及
照射激光，从而在所述树脂板形成多个开口部的工序。
在形成所述开口部的工序中，
在将所述蒸镀掩模的面中位于蒸镀源侧的一面作为蒸镀掩模的一面时，
在所述蒸镀掩模的厚度方向截面，以使形成所述多个开口部中的1个开口部的内壁面的一内壁面与所述蒸镀掩模的另一面所成的锐角、和形成另1个开口部的内壁面的一内壁面与所述蒸镀掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成开口部。
6.根据权利要求5所述的蒸镀掩模的制造方法，其中，
在形成所述树脂掩模开口部的工序中，
在所述蒸镀掩模的厚度方向截面，以使形成所述1个开口部的一内壁面与所述蒸镀掩模的另一面所成的锐角、和形成该1个开口部的另一内壁面与所述蒸镀掩模的另一面所成的锐角不同的方式形成开口部。
7.一种有机半导体元件的制造方法，该方法包括：
使用蒸镀掩模在蒸镀对象物上形成蒸镀图案的蒸镀图案形成工序，
所述蒸镀图案形成工序中使用的所述蒸镀掩模是通过所述权利要求1～6中任一项所述的蒸镀掩模的制造方法制造的蒸镀掩模。
8.一种有机EL显示器的制造方法，其中，
使用了利用权利要求8所述的有机半导体元件的制造方法制造的有机半导体元件。
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